DE2526753A1 - Verfahren und anordnung zur vermessung der bewegung und/oder deformation von grossen objekten - Google Patents

Verfahren und anordnung zur vermessung der bewegung und/oder deformation von grossen objekten

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DE2526753A1 DE19752526753 DE2526753A DE2526753A1 DE 2526753 A1 DE2526753 A1 DE 2526753A1 DE 19752526753 DE19752526753 DE 19752526753 DE 2526753 A DE2526753 A DE 2526753A DE 2526753 A1 DE2526753 A1 DE 2526753A1
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Description

  • VERFAHREN UND ANORDNUNG ZUR VERMESSUNG DER BEWEGUNG UND/ODER DEFORMATION VON GROSSEN OBJEKTEN Die vorliegende Erfindung betrifft einerseits ein Verfahren zur Messung der Bewegung und/oder der Deformation von grossen Objekten mittels Laserstrahlen.
  • Andererseits betrifft die Erfindung eine Anordnung zur Durchführung dieses Verfahrens.
  • In der Metrologie, insbesondere bei der Messung von Bewegungen oder von Deformationen von grossen Objekten wie beispielsweise Belastungen von Brücken, Staumauern, Wind an Gebäuden, Sonneneinstrahlung auf Antennenspiegeln, Sateliten, aber auch von Felsen oder Gletschern etc., wird oft eine Messmethode benötigt, die kontaktlos und aus gewisser Distanz arbeiten kann.
  • Der vorliegenden Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, ein Verfahren und eine Vorrichtung zur Messung der Bewegung und/oder Deformation von grossen Objekten zu schaffen, die unabhängig von der Form des Objektes und der Distanz zwischen der Messtelle und dem Objekt und der relativen Position der Messtelle gegenüber dem Objekt arbeiten. Zudem soll die Messgenauigkeit in der Grössenordnung von Bruchteilen von Millimetern liegen. Die Erfindung soll weiterhin eine absolute Messung in den drei räumlichen Koordinatenrichtungen ermöglichen. Die Vorrichtung soll im weiteren so konzipiert sein, dass sie mobil und universell einsatzbereit ist. Das Verfahren seinerseits soll so sein, dass es mit einem Minimum an Vorbereitungsarbeiten je nach der gewünschten Messgenauigkeit optimal ausgenützt werden kann. Die Dauer der Messungen soll so bemessen sein, dass die Messungen ambulant vorgenommen werden können. Die gemessenen Werte müssen leicht auswertbar sein.
  • Diese Aufgabe wird erfindungsgemäss einerseits durch ein Verfahren gelöst, das dadurch gekennzeichnet ist, dass ein Laserstrahl zu zumindest zwei voneinander unterschiedlichen Zeitpunkten mittels eines Strahlscanners über definierte Oberflächenflecke des Objektes gelenkt wird und ein Empfänger aufgrund des an diesen Flecken reflektierten Laserstrahls die Bestimmung deren relativer Lage gegenüber einem vorbestimmten Referenzfleck auslöst und dass die für jeden Fleck bei der zweiten Messung ermittelten, auf besagten Referenzfleck bezogenen, räumlichen Koordinaten x; y; z mit denjenigen der ersten Messung verglichen werden.
  • Andererseits wird diese Aufgabe durch die Erfindung mittels einer Vorrichtung gelöst, die dadurch gekennzeichnet ist, dass sie zumindest aus einem Laserstrahlsender, einem letzteren nachgeschalteten Strahlablenksystem, einem für die von den Objektoberflächenflecken reflektierten Strahlen empfindlichen Empfänger und einer diesem nachgeschalteten Auswerteinheit zur Berechnung der räumlichen Koordinaten von definierten Flecken auf der Objektoberfläche in bezug auf einen vorbestimmten Referenzfleck besteht.
  • Die Erfindung wird hiernach im Einzelnen beschrieben, ohne allerdings auf die erläuterten Ausführungsformen beschränkt zu sein.
  • Zum leichteren Verständnis nimmt die Beschreibung auf die sehr stark schematisierte Zeichnung bezug.
  • Fig. 1 zeigt eine erste Variante einer erfindungsgemässen Anordnung zur Vermessung eines Objektes mit Strahlscanner und Distanzmessung, Fig. 2 zeigt eine zweite Variante einer erfindungsgemässen Anordnung zur Vermessung der Deformation eines grossen Objektes mit einer TV-Kamera und einem Strahlscanner in Stereoanordnung, Fig. 3 zeigt eine dritte Variante einer erfindungsgemässen Anordnung zur Vermessung eines Objektes mit einem Fächer von Laserstrahlen und zwei TV-Kameras in Stereoanordnung, Fig. 4 zeigt eine vierte Variante einer erfindungsgemässen Anordnung mit einem Fächer von Laserstrahlen und einer holographischen Kamera, Fig. 5 zeigt in Form eines Blockschaltbildes eine Variante einer erfindungsgemässen Auswertelektronik für die Distanzmessung in der Anordnung nach Fig. 1, Fig. 6 zeigt in Form eines Blockschaltbildes eine Variante einer erfindungsgemässen Auswertelektronik für die Distanzmessung mittels eines Pulszuges in einer Anordnung nach Fig. 1, Fig. 7 zeigt die für die Auswertung der in Fig. 2 dargestellten Variante notwendigen Grössen.
  • Man erkennt in'Fig. 1 eine Oberfläche 1 eines Objektes, die mit mehreren diffus reflektierenden Messflecken 2 versehen ist. Wie weiter unten beschrieben, hängt die Grösse der Messflecken von der geforderten Messgenauigkeit ab. Diese Oberfläche 1 wird durch einen Laserstrahl 3 abgetastet, der von einem Laser 4 erzeugt wird und unter anderem eine Optik 5 zur Fokussierung oder Kolimierung des Strahls und ein Strahlablenksystem 6 passiert. An den Flecken 2 wird der Strahl 3 diffus reflektiert, wodurch zumindest ein Teil des Laserstrahls 3 als Strahl 3' auf einen Detektor 7 gestreut wird.
  • Um eine elektronische Auswertung der Messergebnisse vornehmen zu können, wird in der Anordnung gemäss Fig. 1 noch ein Strahlteiler 11, ein Detektor 10, ein elektronischer Zähler 8 und ein Auswertcomputer 9 benötigt. Deren gegenseitiges Zusammenspiel wird weiter unten erläutert.
  • Es ist bekannt, dass wenn die relative Position des Strahlablenksy stems 6 gegenüber dem Detektor 7 festgelegt und unveränderlich ist, der relative Standort eines jeden Fleckes 2 gegenüber der Position des Detektors 7 mittels der Winkel a und y, und dem Zeitintervall tl zwischen Aussendung eines Lichtimpulses im Strahlablenksystem 6 und dem Empfang desselben im Detektor 7, bestimmt werden kann.
  • Wenn nun gemäss der Erfindung ein beliebiger Fleck 2, beispielsweise der Fleck 20 als Referenzpunkt mit den Koordinaten x = 0; y = 0 und z = 0 festgelegt und mit einer logischen Struktur versehen wird, können die räumlichen Koordinaten sämtlicher Flecke 20 - 2n in bezug auf den Referenzfleck 20 bestimmt werden. Dadurch lässt sich durch einmaliges Abtasten sämtlicher Flecke 2 ein räumliches Bild der Oberfläche 1 zum Zeitpunkt T1 mittels Zahlenwerten erstellen. Die dabei ermittelten Koordinaten der einzelnen Flecke 2 werden vorzugsweise mit Hilfe eines Computers 9 erfasst oder mit Hilfe eines in der Zeichnung nicht dargestellten Druckers herausgeschrieben.
  • Um die Deformation oder die Bewegung einzelner Flecke 2 auf der Oberfläche 1 zu bestimmen, werden zu einem Zeitpunkt T2 wiederum alle Flecke 2 abgetastet und ihre relative Position zum Referenzfleck 20 bestimmt und diese Werte mit den im Zeitpunkt T1 ermittelten Koordinatenwerten verglichen.
  • Wenn gemäss der Erfindung der Referenzfleck 20 sich derart von den Messflecken 21 - 2n unterscheidet, dass der Detektor 7 ihn unfehlbar als solchen erkennt, ist es unwesentlich, ob die beiden Messungen zu den Zeitpunkten T1 und T2 von derselben Stelle im Raum aus vorgenommen werden oder nicht, da der Computer 9 die ermittelten Koordinatenwerte jederzeit auf das vorgegebene Koordinatennetz x; y; z mit dem Nullpunkt 20 zurückführen kann.
  • Dabei ist vorzugsweise darauf zu achten, dass die Koordinatenachsen x und y parallel zu den beiden Drehachsen (a und y) des Strahlablenksystems 6 stehen, um eine vereinfachte Auswertung ohne Korrekturfaktoren zu erhalten. Als Koordinatenachse z wird die Verbindungslinie Referenzfleck 20- Strahlablenkeinheit 6 festgelegt.
  • Der Fachmann erkennt leicht, dass die Verschiebung eines jeden Fleckes 2 bei der Messung im Zeitpunkt T2 gegenüber der Messung im Zeitpunkt T1 in absoluten Werten für die drei Koordinatenachsen x; y; z bestimmt werden kann. Dies aufgrund der für jeden Fleck 2 zwischen der ersten und der zweiten Messung ermittelten Differenz der Winkelwerte a und y und dem Zeitintervall tn, das in der Praxis vorteilhafterweise mittels einer Laufzeitmessung zwischen ausgesendetem und empfangenem Signal oder Lichtimpuls bestimmt wird.
  • Die dazu benötigte Elektronik ist in Fig. 6 dargestellt. Die Distanzmessung kann aber auch mittels einer Phasenmessung durchgeführt werden, wozu eine Elektronik gemäss Fig. 5 notwendig ist. Die Arbeitsweise dieser zwei Schaltungen ist weiter unten beschrieben.
  • Für die drei Koordinatenrichtungen x; y; und z errechnen sich die absoluten Verschiebungen Ex; Ay und Az für jeden Fleck 2 anhand der Formeln: AX2n " X2n(Tl) - X2n(T2) wobei X2n(Tl) = Zn(Tl)sina2n(Tl) und X2n(T2) = Zn(T2)sina2n(T2) #y2n = Y2n(T1) - y2n(T2) Y2n (T1) = z,(T1)Siny2n(Tl)cosa2,(T1) Y2n(T2) = Zn(T2)siny2n(T2)cos«2n(T2) #z2n = z2n(T1) - Z2n(T2) z2n(T1) = z2n*(T1)cosα2n(T1)cosy2n(T1) Z2n(T2) = z2n*(T2)cosα2n(T2)cosy2n(T2) Z2n*(T1) = Ct2n(T1) z2n*(T2) = ct2n(T2) worin α2n(T1) = Ablenkwinkel a des Fleckes 2n im Zeitpunkt T1 Y2n(T1) = Ablenkwinkel γ des Fleckes 2n im Zeitpunkt T1 t2n(Tl) = Laufzeit des Messpulses in Sekunden zwischen Scanner 6 und Detektor 7 im Zeitpunkt T1 und c = Lichtgeschwindigkeit In der Praxis kann die Anordnung nach Fig. 1 beispielsweise aus folgenden Elementen aufgebaut werden: - als Laser 4 ein Modell 164 - 10 Ionen Laser von Spectra Physics (eingetragenes Warenzeichen) mit einer Modell 365 Intrakavitäts-Modulation mit folgenden Daten: Wellenlänge X - 0,5p; Strahlstruktur TEM00 Mode; mittlere Leistung ~ 1W; Pulsdauer - 15 ns; Pulsänstiegsdauer 5 ns und Pulsfrequenz 20 MHz; - als Strahlablenksystem 6 ein Scanner mit folgenden Eigenschaften: maximaler Ablenkwinkel + 0,14 rad; Winkelauflösung + 0,14 mrad und einer Ablenkgrenzfrequenz von 600 Hz; LIMO Staxy 240011 von Lasag.
  • - als Detektor 7 typischerweise ein phasenempfindlicher Detektor der Art ITL Type HSD 1850 - Instrument Technology Ltd., mit folgenden Eigenschaften: Auflösungsvermögen bei 20 MHz Pulsfrequenz und 5 ns Anstiegszeit: -10 Detektorfläche -18mm p = 2,5cm?; Empfindlichkeit 40 mA/w (Modell) wobei bei einer Distanz Scanner -Objekt von 1Cm die Brennweite der Detektorlinse ca. 10cm und die Oeffnung F/2 beträgt; - als Zähler 8 ein Hewlett Packard HP 4355 A oder ein HP 5345 A.
  • Zähler mit einer zeitlichen Auflösung von 2psec bei einer Repetitionsfrequenz von < 500 MHz; - als Detektor 10 ein dem Detektor 7 identischer Bauteil; - als Strahlteiler 11 ein LIMO StTl Nr. 24007 der Lasag SA; - und als Computer 9 ein beliebiger handelsüblicher Rechner.
  • Eine Anordnung, die aus obigen Teilen besteht, hat eine Auflösung, die es gestattet, auf 1Cm einen Fleck 2 eines Durchmessers von ca.
  • lmm zu idenzifizieren und in allen drei Koordinatenrichtungen auf lmm genau auszumessen. Die Messdauer beträgt dabei bei einer Ablenkfrequenz von 600 Ez ca. 1,6 sec. pro m2 abgetastete Fläche.
  • Die hiervor erwähnte Elektronik zur Bestimmung der Distanz Referenzfleck 2o - Strahlablenkeinheit 6 mittels einer Phasenmessung ist in Form eines Blockschaltbildes in Fig. 5 dargestellt. Darin erkennt man eine Uhr 13, die auf zwei Oszillatoren 14 und 15 mit Frequenzen fl respektive f2 wirkt, den durch den Oszillator gesteuerten Laser 4, einen ersten Mischkreis 16, der die beiden Frequenzen fl und f2 vergleicht, und den Detektor 7 sowie einen zweiten Mischkreis 17, der die Frequenz f2 mit der durch die Messung um die Grösse t veränderten Frequenz fl vergleicht, sowie ein Phasenmesskreis 18, der die durch die Mischkreise 16 und 17 ermittelten Daten auswertet.
  • Demgegenüber zeigt die in Fig. 6 dargestellte Elektronik, wie die Distanz Referenzfleck 20 - Strahlablenkeinheit 6 mittels eines Pulszuges bestimmt werden kann. Man erkennt in der Zeichnung den Laser 4, den Scanner 6, den Strahlteiler 11, den Detektor 10, sowie den Detektor 7 mit dem Zähler 8 und dem Computer 9. Zudem benötigt man für dieses Messverfahren zwei Diskriminatoren 19 und 20 und einen Mittler 21. Die Funktionsweise dieser Schaltung braucht dem Fachmann nicht erläutert zu werden, sodass hier darauf verzichtet wird.
  • Eine zweite Variante einer erfindugsgemässen Anordnung zur Vermessung von Objekten geht aus Fig. 2 hervor, in der man wie in Fig. 1 eine Oberfläche 1 mit den darauf befindlichen Mess-Flecken 2, einen Laser 4, eine Optik 5, eine Strahlablenkung 6 und einen Detektor 7 erkennt. Zusätzlich sind eine TV-Kamera 22, eine Steuerelektronik 23, eine Messelektronik 24, ein Computer 25 und eine Datenausgabeeinheit 26 dargestellt.
  • Die Auswertung der ausgesendeten und empfangenen Signale respektive Laserstrahlung in der Steuerelektronik 22 und der Messelektronik 24 zur Bestimmung der Koordinaten x; y; z der einzelnen Punkte 2 kann anhand von Fig. 7 erläutert werden.
  • Gemäss dieser Variante (Fig. 2) wird das auszumessende Objekt von zwei Punkten (A und B, die dem Scanner 6, respektive der TV-Kamera 22 entsprechen) abgescannt. Von Punkt A aus mit dem Laserstrahl 3 und von Punkt B aus durch den Elektronenstrahl der Kamera. Dabei ist vorzugsweise darauf zu achten, dass die Scangeschwindigkeit der TV-Kamera 22 so hoch ist, dass der Elektronenstrahl jeweils während der Zeit, während welcher der Laserstrahl 3 von einem Fleck 2 reflektiert wird, zumindest einmal das gesamte Objekt abscannt. Die Vermessung des Objektes, respektive seiner Oberfläche 1 erfolgt dabei folgendermassen. Die Ablenkwinkel a und y des Laserstrahles 3 am Scanner 6 werden für jeden Reflexionsfleck 2 ermittelt, wobei dies wie bei der Anordnung nach Fig. 1 mittels des Detektors 7 geschieht. Gleichzeitig werden die Ablenkwinkel e und y des Elektronenstrahls der TV-Kamera für diesen durch den Laserstrahl 3 angestrahlten Fleck 2 bestimmt. Die Ermittlung der Koordinaten x; y zum Zeitpunkt T1 des ausgemessenen Fleckes 2n in bezug zum Referenzfleck 20 mit den Koordinaten al; y= 0 respektive e1; y5 0 erfolgt anhand der nachfolgenden Formeln, aus welchen auch ersichtlich ist, wie nach der Vermessung des Fleckes 2n im Zeitpunkt T2 die Verschiebung des Fleckes 2n in den drei Roordinatenachsen berechnet wird.
  • #x2n = x2n (T1) - X2n(T2) AY2n = Y2n(Tl) - Y2n(T2) Az2n = Z2n(Tl) - Z2n(T2) worin a - Distanz zwischen Punkt A und Punkt B ist.
  • Der Fachmann erkennt leicht, dass die erfindungsgeznässe Anordnung mobil, beispielsweise in einem Messwagen untergebracht, gebaut werden kann. Weiter weist sie gegenüber herkömmlichen Anordnungen den Vorteil auf, dass ihre Messgenauigkeit praktisch unabhängig ist von ihrer relativen Lage gegenüber dem auszumessenden Objekt. Als einzige Vorbereitung der Messungen genügt es, die Objektcberfläche mit diffus reflektierenden Flecken, beispielsweise aus weisser Farbe, zu versehen, wobei dabei die Stellen, für die eine erhöhte Messgenauigkeit erforderlich ist, dichter mit derartigen Flecken versehen werden können. Bei hellen, Licht reflektierenden Objekten können die Messflecke auch schwarz oder dunkel sein, sodass dann die nicht reflektierenden Flecke vermessen werden. Die Grösse der Flecke wird entsprechend der erwünschten Messgenauigkeit gewählt.
  • Es ist naheliegend, dass je nach Objekt ein Auftragen von Reflexionsflecken 2 unmöglich ist. In solchen Fällen kann das erfindungsgemässe Verfahren aber in einer Variante dennoch angewendet werden, indem der Laserstrahl 3 in mehrere einzelne Strahlen aufgeteilt wird, welche durch den Scanner 6 so abgelenkt wird, dass er auf der Oberfläche des Objektes einen zeitlich gestaffelten Raster von leuchtenden Flecken 2'o - 2' aufprojiziert. Diese Flecken 2 werden dann beispielsweise, wie in Fig. 3 dargestellt, mit zwei TV-Kameras 27 und 28 in Stereoanordnung bezüglich ihrer Position (x;y;z) vermessen. Die Bestimmung der Koordinaten geschieht dabei analog zum im Zusammenhang mit Fig. 2 beschriebenen Verfahren.
  • Dabei ist festzuhalten, dass dieses Verfahren nicht für alle Deformationen gleich empfindlich ist, da die Verschiebungen von Oberflächenteilen in den Richtungen x und y durch den Vergleich mit den Verschiebungen der benachbarten Leuchtflecken 2' bestimmt werden müssen.
  • Als weitere allerdings kostspieligere Variante des erfindungsgemässen Verfahrens kann auf, nicht mit Reflexionsflecken 2 versehbaren Objekten, mit einem Laser- und Strahlenteiler ein Raster von Lichtflecken projiziert und diese Lichtflecken holographisch aufgenommen werden, sodass die dreidimensionale Information jedes Fleckens auf der Fotoplatte gespeichert ist. Die Auswertung dieser Information kann nachträglich im Labor, z.B. mit einer Stereoscananordnung wie nach Fig. 2 erfolgen. Diese Methode bietet aber den Vorteil, dass sie besonders für schnelle Bewegungen des Objektes geeignet ist. Sie ist in Fig. 4 dargestellt, in der die holographische Kamera die Referenznummer 29 trägt.
  • Weitere, hier nicht im Einzelnen aufgeführte Varianten des erfindungsgemässen Verfahrens s4nd durchaus möglich und bilden Teil der vorliegenden Erfindung.
  • Ebenso kann die erfindungsgemässe Vorrichtung von den hier beschriebenen Varianten wesentlich abweichen, ohne ausserhalb des durch die Erfindung gedeckten Schutzumfanges zu fallen. Bo kann beispielsweise die TV-Kamera durch eine Diode-Matrix-camera (receiver) oder durch eine CCD (charge - coupled device) oder durch eine CID (charge - injection device) Bildkamera ersetzt werden.

Claims (17)

  1. PATENTANSPRUECHE
    ½yVerfahren zur Messung der Bewegung und/oder der Deformation von grossen Objekten mittels Laserstrahlen, dadurch gekennzeichnet, dass ein Laserstrahl zu zumindest zwei voneinander unterschiedlichen Zeitpunkten mittels eines Strahlscanners über definierte Oberflächenflecke des Objektes gelenkt wird und ein Empfänger aufgrund des an diesen Flecken reflektierten Laserstrahls die Bestimmung deren relativer Lage gegenüber einem vorbestimmten Referenzfleck auslöst, und dass die für jeden Fleck bei der zweiten Messung ermittelten, auf besagten Referenzfleck bezogenen, räumlichen Koordinaten x; y; z mit denjenigen der ersten Messung verglichen werden.
  2. 2) Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Oberflächenflecke als diffus reflektierende Farbflecke auf das Objekt aufgetragen werden.
  3. 3) Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Oberflächenflecke mittels eines Licht- oder Laserstrahles auf das Objekt aufprojiziert werden.
  4. 4) Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass als Empfänger ein Lichtempfindlicher Detektor verwendet wird.
  5. 5) Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass der Referenzfleck mit einer logischen Struktur versehen wird.
  6. 6) Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Koordinaten x und y aufgrund der Ablenkwinkel cx und y des Strahlscanners bestimmt werden, und die z-Koordinate mittels einer Phasenmessung des Laserstrahles bestimmt wird.
  7. 7) Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Koordinaten x; y und z aufgrund der Ablenkwinkel cx und y des Strahlscanners und der Ablenkwinkel e und y eines zweiten Strahlablenksystems bestimmt werden.
  8. 8) Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 7, dadurch gekennzeichnet, dass die Bestimmung der Koordinaten aufgrund von holographischen Bildern des mit Reflexionsflecken versehenen Objektes erfolgt.
  9. 9) Anordnung zur Durchführung des Verfahrens nach Patentanspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass sie zumindest aus einem Laserstrahlsender, einem letzteren nachgeschalteten Strahlablenksystem, einem für die von den Objektoberflächenflecken reflektierten Strahlen empfindlichen Empfänger und einer diesem nachgeschalteten Auswerteinheit zur Berechnung der räumlichen Koordinaten von definierten Flecken auf der Objektoberfläche in bezug auf einen vorbestimmten Referenzfleck besteht.
  10. 10) Anordnung nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet, dass es sich beim Strahlablenksystem um einen x-y-Scanner handelt.
  11. 11) Anordnung nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet, dass es sich beim Empfänger um einen Laserstrahldetektor handelt.
  12. 12) Anordnung nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet, dass die Auswerteinheit aus einem Zähler, einem Detektor, einem Strahlteiler und einem Computer besteht.
  13. 13) Anordnung nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet, dass sie zusätzlich eine TV-Kamera als Abscanvorrichtung enthält.
  14. 14) Anordnung nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet, dass sie zusätzlich zwei TV-Kameras als Empfänger aufweist.
  15. 15) Anordnung nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet, dass der Empfänger aus einer holographischen Kamera besteht.
  16. 16) Anordnung nach einem der Ansprüche 9 bis 15, dadurch gekennzeichnet, dass sie zusätzlich eine Datenausgabeeinheit umfasst.
  17. 17) Anordnung nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, dass die Koordinaten x und y aufgrund der Ablenkwinkel «und y des Strahlscanners bestimmt werden, und die z-Koordinate mittels einer Lauf-Zeitmessung des Laserstrahls bestimmt wird.
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