DE2526569C3 - Tube made of quartz glass with a rectangular, oval or square flow cross-section, in which at least one end region is tapered, for carrying out semiconductor-technological processes and processes for its production - Google Patents

Tube made of quartz glass with a rectangular, oval or square flow cross-section, in which at least one end region is tapered, for carrying out semiconductor-technological processes and processes for its production

Info

Publication number
DE2526569C3
DE2526569C3 DE19752526569 DE2526569A DE2526569C3 DE 2526569 C3 DE2526569 C3 DE 2526569C3 DE 19752526569 DE19752526569 DE 19752526569 DE 2526569 A DE2526569 A DE 2526569A DE 2526569 C3 DE2526569 C3 DE 2526569C3
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
section
cap
tube
pipe
cross
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired
Application number
DE19752526569
Other languages
German (de)
Other versions
DE2526569A1 (en
DE2526569B2 (en
Inventor
6450 Hanau; Mohn Heinrich 6462 Gelnhausen; Herzog Heinz 8752 Dettingen AlbrechL Horst
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Heraeus Quarzschmelze GmbH
Original Assignee
Heraeus Quarzschmelze GmbH
Filing date
Publication date
Application filed by Heraeus Quarzschmelze GmbH filed Critical Heraeus Quarzschmelze GmbH
Priority to DE19752526569 priority Critical patent/DE2526569C3/en
Priority to CH527576A priority patent/CH612657A5/en
Priority to JP5143376A priority patent/JPS5244822A/en
Priority to FR7617608A priority patent/FR2314150A1/en
Priority to GB2439376A priority patent/GB1529385A/en
Publication of DE2526569A1 publication Critical patent/DE2526569A1/en
Publication of DE2526569B2 publication Critical patent/DE2526569B2/en
Application granted granted Critical
Publication of DE2526569C3 publication Critical patent/DE2526569C3/en
Expired legal-status Critical Current

Links

Description

Kappenbereich auf das gleiche Maß herabzusetzen wie für den sich an die Kappe anschließenden Rohrteil und die Herstellungskosten der Rohre zu senken.Reduce the cap area to the same level as for the pipe part adjoining the cap and to reduce the manufacturing costs of the tubes.

Gelöst wird diese Aufgabe für ein Rohr aus Quarzglas der in der Einleitung charakterisierten Art erfindungsgemäß dadurch, daß das Rohr mit Kappe einstückig und der verjüngte, kappenartige Endbereich schweißnahtfrei ausgebildet ist Rohre mit rechteckigem Strömungsquerschnitt, deren öuerschnittsdiagonale im nicht verjüngten Rohrteilstück größer als 100 mm ist, haben ,0 sich besonders zur Durchführung halbleitertechnologischer Verfahren, wie Epitaxie-Verfahren, bewährt. Es hat sich als vorteilhaft erwiesen, wenigstens im verjüngten kappenartigen Endbereich des Rohres die Kanten der Rohrinnenwand abgerundet auszubilden. Hierdurch werden die Strömungsverhältnisse für Gase im Rohrinneren wesentlich verbessert. Auch bei den erfindungsgemäßen Rohren kann an das verjüngte Rohrende ein Rohrstutzen angesetzt, insbesondere angeschweißt sein. M This object is achieved according to the invention for a tube made of quartz glass of the type characterized in the introduction in that the tube with the cap is one piece and the tapered, cap-like end region is formed without welds. , 0 have proven particularly useful for carrying out semiconductor technology processes, such as epitaxy processes. It has proven to be advantageous to design the edges of the inner wall of the pipe to be rounded at least in the tapered, cap-like end region of the pipe. This significantly improves the flow conditions for gases inside the pipe. In the case of the pipes according to the invention, too, a pipe socket can be attached, in particular welded, to the tapered pipe end. M.

In der F i g. 1 ist ein Ausführungsbeispiel eines erfindungsgemäß ausgebildeten Rohres in Ansicht dargestellt.In FIG. 1 is a view of an exemplary embodiment of a tube designed according to the invention shown.

Fig.2 zeigt einen Längsschnitt durch das Rohr gemäß F ig. 1. 2J FIG. 2 shows a longitudinal section through the tube according to FIG. 1. 2Y

Anhand der schematischen Fig.3 bis 6 werden Verfahren erläutert, die sich zur Herstellung erfindungsgemäßer Rohre als besonders vorteilhaft herausgestellt haben.With the aid of the schematic FIGS. 3 to 6, methods are explained which are suitable for producing inventive Pipes have proven to be particularly advantageous.

Wie aus F i g. 1 ersichtlich, ist das Rohr aus Quarzglas einstückig ausgebildet. Es besitzt ein Rohrteil 1 mit rechteckigem Strömungsquerschnitt 2. An den Rohrteil schließt sich ein verjüngter, kappenartiger und schweißnahtfreier Endbereich 3 an, an den der Stutzen 4 angeschweißt ist. Die Querschnittsdiagonale 5 ist größer als 100 mm.As shown in FIG. 1, the tube is made of quartz glass in one piece. It has a pipe part 1 with rectangular flow cross-section 2. A tapered, cap-like and weld-free section is attached to the pipe part End area 3 to which the nozzle 4 is welded. The cross-sectional diagonal 5 is larger than 100 mm.

Aus F i g. 2 ist deutlich zu erkennen, daß die Kanten 6, 7 am Übergang zwischen dem Rohrteil 1 und der Kappe 3 abgerundet sind.From Fig. 2 it can be clearly seen that the edges 6, 7 at the transition between the pipe part 1 and the cap 3 are rounded.

Die Herstellung eines erfindungsgemäß ausgebildeten Rohres erfolgt in der Weise, d&B als Ausgangsmaterial ein Rohr mit unrundem, also beispielsweise rechteckigem Querschnitt in an sich bekannter Weise mittels der Vorrichtung 12 in Rotation (Pfeil 8) versetzt wird. Während der Rotation wird der Endbereich 3 des Rohres mittels einer im Abstand vom Rohr angeordneten Heizquelle 9 gleichmäßig bis zum Plastischwerden des Rohrwerkstoffs erhitzt. Unte- Aufrechterhaltung der Rotation wird der plastische Endbereich 3 unter Verwendung eines der gewünschten Verjüngung des Strömungsquerschnitts angepaßten Innenformwerkzeuges 10 und/oder Außenformwerkzeuges 11 verformt. Als Innenformwerkzeug 10 wird beispielsweise ein Dorn aus Graphit verwendet, der während des Verformungsvorgangs, wie durch Pfeil 13 angedeutet, in Richtung der Rohrachse 14 bewegbar ist. Der plastische Endbereich schlägt sich auf dem Innenformwerkzeug nieder und bildet nach Erkalten die Kappe 3. Es hat sich als vorteilhaft erwiesen, während der Verformung des plastischen Endbereichs einen Unterdruck im Inneren des Rohres aufrechtzuerhalten, beispielsweise durchA tube designed according to the invention is produced in such a way that d & B as the starting material a tube with a non-circular, thus for example rectangular, cross-section in a manner known per se is set in rotation (arrow 8) by means of the device 12. During the rotation, the end area 3 of the Pipe by means of a heating source 9 arranged at a distance from the pipe evenly until it becomes plastic of the pipe material is heated. While maintaining the rotation, the plastic end region 3 is below Use of an internal forming tool adapted to the desired tapering of the flow cross-section 10 and / or outer forming tool 11 is deformed. The internal molding tool 10 is, for example a mandrel made of graphite is used, which during the deformation process, as indicated by arrow 13, in Direction of the pipe axis 14 is movable. The plastic end area hits the internal molding tool down and forms the cap 3 after cooling. It has proven to be advantageous during the deformation of the plastic end area to maintain a negative pressure inside the pipe, for example by

45 Absaugen der Luft über die Leitung 15 mittels der Pumpe 25. 45 Sucking off the air via the line 15 by means of the pump 25.

Zusätzlich zu dem Innenformwerkzeug 10 kann, wie Fig.4 zeigt, auch noch ein Außenformwerkzeug 11 beispielsweise das schematisch angedeutete Außenkopierwerkzeug, verwendet werden, wodurch der Verformungsvorgang verbessert wird, insbesondere eine gleichmäßigere Wandstärke der Kappe 3 erzielt werden kann. Dieses Außenkopierwerkzeug ist, wie durch das Pfeilkreuz 16 angedeutet, sowohl parallel als auch senkrecht zur Rohrachse 14 bewegbar. Wie schon erwähnt, kann die Verformung des Endbereichs 3 auch unter Verwendung nur eines Außenformwerkzeuges erfolgen.In addition to the internal molding tool 10, as FIG. 4 shows, an external molding tool 11 can also be used For example, the schematically indicated outside copying tool can be used, whereby the deformation process is improved, in particular a more uniform wall thickness of the cap 3 can be achieved can. This external copying tool is, as indicated by the arrow cross 16, both parallel and Movable perpendicular to the pipe axis 14. As already mentioned, the deformation of the end region 3 can also be done using only one external forming tool.

Die Verjüngung des plastischen Endbereichs zur Kappe 3 ist auch, wie in F i g. 5 dargestellt, dadurch möglich, daß über diesen Endbereich eine der Kappe 3 entsprechende Form 19 aus Graphit geschoben wird und unter Aufrechterhaltung eines Überdrucks durch Einleiten eines gegenüber dem Rohrwerkstoff inerten Gases über die Leitung 17 im Rohrinneren der plastische Werkstoff gegen die Wände dieser Form geblasen wird. Anstelle oder zusätzlich zum Gasüberdruck kann auch noch ein Preßwerkzeug 18 (F i g. 6) verwendet werden, um ein gutes Anliegen des plastischen Werkstoffes an die Form 19 und eine gleichmäßige Kappenwandstärke zu erlangen.The tapering of the plastic end region to the cap 3 is also, as in FIG. 5 shown thereby possible that a shape 19 made of graphite corresponding to the cap 3 is pushed over this end region and while maintaining an overpressure by introducing an inert to the pipe material Gas via the line 17 inside the pipe, the plastic material against the walls of this form is blown. Instead of or in addition to the excess gas pressure, a pressing tool 18 (FIG. 6) can also be used. used to make a good fit of the plastic material to the mold 19 and a to achieve uniform cap wall thickness.

Für eine gleichmäßige Erhitzung des Endbereichs bis zum Plastischwerden des Rohrwerkstoffes hat es sich bewährt, die Heizquelle 9 unter Aufrechterhaltung konstanter Heizleistung derart auf die Rohrachse 14 zu- bzw. von ihr wegzubewegen, daß der kürzeste Abstand jedes durch die Heizzone rotierenden Umfangpunktes des Endbereichs von der Heizquelle gleich ist.It is important to ensure that the end area is heated evenly until the pipe material becomes plastic proven, the heating source 9 while maintaining constant heating power in such a way to the pipe axis 14- or move away from it that the shortest distance of each circumferential point rotating through the heating zone of the end range from the heating source is the same.

Eine gleichmäßige Erhitzung des Endbereichs bis zum Plastischwerden des Rohrwerkstoffes ist auch dadurch erzielbar, daß unter Beibehaltung eines konstanten Abstands zwischen Rohrachse 14 und Heizquelle 9 die Heizleistung der Heizquelle in Abhängigkeit vom kürzesten Abstand jedes Umfangpunktes des Endbereiches von der Heizquelle derart verändert wird, daß jede Flächeneinheit des Endbereichs beim Durchgang durch die Heizzone mit der gleichen Energiemenge beaufschlagt wird.This also ensures that the end area is heated evenly until the pipe material becomes plastic achievable that while maintaining a constant distance between the pipe axis 14 and the heating source 9, the Heating output of the heating source depending on the shortest distance between each peripheral point of the end area is changed by the heating source in such a way that each unit area of the end region when passing through the same amount of energy is applied to the heating zone.

Als Heizquelle haben sich insbesondere Gasbrenner als geeignet erwiesen.Gas burners in particular have proven to be suitable as a heating source.

Sollte die Heizzonenerstreckung parallel zur Rohrachse kleiner sein als die Länge der Kappe, so wird die Heizquelle parallel zur Rohrachse über eine der Länge des zu verformenden Endbereichs entsprechenden Strecke verschoben, um eine Erhitzung des gesamten Endbereichs bis zum Plastischwerden sicherzustellen.The extension of the heating zone should be parallel to the pipe axis be smaller than the length of the cap, the heating source will be parallel to the pipe axis over one of the length of the end region to be deformed corresponding distance shifted in order to heat the whole Ensure the end area until it becomes plastic.

Gegenüber den eingangs erwähnten Verfahren zur Herstellung von Epitaxie-Rohren hat das erfindungsgemäß nicht nur den Vorteil, daß Verluste an Rohrwerkstoff vermieden werden, sondern daß die Kappe in einem Arbeitsgang hergestellt werden kann, so daß der mit dem Schneiden, Putzen und Schweißen verbundene Kostenaufwand und auch das Bruchrisiko erheblich gesenkt werden.Compared to the above-mentioned method for producing epitaxial tubes, this has according to the invention not only the advantage that losses of pipe material are avoided, but that the cap in can be produced in one operation, so that the associated with cutting, cleaning and welding Costs and also the risk of breakage are significantly reduced.

Hierzu 2 Blatt ZeichnungenFor this purpose 2 sheets of drawings

Claims (10)

Patentansprüche: Überdruck im Innern des Rohres aufrechterhält wird.Claims: Overpressure is maintained inside the pipe. 1. Rohr aus Quarzglas mit rechteckigem, ovalem oder quadratischem Strömungsquerschnitt, bei dem wenigstens ein Endbereich zur Reduzierung des Strömungsquerschnitts unter Bildung einer Kappe verjüngt ist, zur Durchführung halbleitertechnologischer Verfahren, dadurch gekennzeichnet, daß das Rohr mit Kappe einstückig und der verjüngte, kappenartige Endbereich schweißnahtfrei ausgebildet ist.1. Tube made of quartz glass with a rectangular, oval or square flow cross-section, in which at least one end region for reducing the flow cross-section with the formation of a cap is tapered, for carrying out semiconductor technology processes, characterized in that that the tube is integral with the cap and the tapered, cap-like end region is free of welds is trained. 2. Rohr nach Anspruch 1 mit rechteckigem Strömungsquerschnitt, dadurch gekennzeichnet, daß die Querschnittsdiagonale im nichtverjüngten Rohrteilstück größer als 100 mm ist.2. Tube according to claim 1 with a rectangular flow cross-section, characterized in that the cross-sectional diagonal in the non-tapered pipe section is greater than 100 mm. 3. Rohr nach den Ansprüchen 1 und/oder 2 mit vieleckigem Querschnitt, dadurch gekennzeichnet, daß wenigstens im verjüngten, kappenartigen Endbereich die Kanten der Rohrinnenwand abgerundet sind.3. Pipe according to claims 1 and / or 2 with a polygonal cross-section, characterized in that that at least in the tapered, cap-like end region, the edges of the inner wall of the pipe are rounded are. 4. Rohr nach den Ansprüchen 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß an das verjüngte Rohrende ein Rohrstutzen angesetzt, insbesondere angeschweißt ist.4. Pipe according to claims 1 to 3, characterized in that a tapered pipe end Pipe socket attached, in particular welded on. 5. Verfahren zur Herstellung eines Rohres nach einem oder mehreren der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, daß ein Rohr mit rechteckigem, ovalen oder quadratischen Querschnitt in an sich bekannter Weise in Rotation versetzt, während der Rotation der zu verjüngende Endbereich mittels einer im Abstand von ihm angeordneten Heizquelle gleichmäßig bis zum Plastischwerden erhitzt und unter Aufrechterhaltung der Rotation der plastische Endbereich unter Verwendung eines der Verjüngung angepaßten Innen- und/oder Außenformwerkzeuges verformt wird.5. A method for producing a pipe according to one or more of claims 1 to 4, characterized in that characterized in that a tube with a rectangular, oval or square cross-section in itself in a known manner set in rotation, during the rotation of the end region to be tapered by means of a heat source arranged at a distance from it evenly heated until it becomes plastic and while maintaining the rotation of the plastic end area using one of the taper adapted inner and / or outer forming tool is deformed. 6. Verfahren nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, daß zur Erzielung der gleichmäßigen Erhitzung des Endbereichs die Heizquelle unter Aufrechterhaltung konstanter Heizleistung derart auf die Rohrachse zu- bzw. von ihr wegbewegt wird, daß der kürzeste Abstand jedes durch die Heizzone rotierenden Umfangpunktes des Endbereichs von der Heizquelle gleich ist.6. The method according to claim 5, characterized in that to achieve the uniform Heating the end area of the heat source while maintaining constant heating power in this way is moved towards or away from the pipe axis so that the shortest distance of each is through the heating zone rotating circumferential point of the end area of the heating source is the same. 7. Verfahren nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, daß unter Beibehaltung eines konstanten Abstandes zwischen Rohrachse und Heizquelle die Heizleistung der Heizquelle in Abhängigkeit vom kürzesten Abstand jedes Umfangpunktes des Endbereichs von der Heizquelle derart verändert wird, daß jede Flächeneinheit des Endbereichs beim Durchgang durch die Heizzone mit der gleichen Energiemenge beaufschlagt wird.7. The method according to claim 5, characterized in, that while maintaining a constant distance between the pipe axis and the heating source Heating output of the heating source as a function of the shortest distance between each peripheral point of the end area is changed by the heating source such that each unit area of the end region at Passage through the heating zone is charged with the same amount of energy. 8. Verfahren nach den Ansprüchen 5 und 6 oder 7, dadurch gekennzeichnet, daß die Heizquelle parallel zur Rohrachse über eine der Länge des zu verformenden Endbereichs entsprechenden Strecke verschoben wird.8. The method according to claims 5 and 6 or 7, characterized in that the heating source in parallel to the pipe axis over a distance corresponding to the length of the end region to be deformed is moved. 9. Verfahren nach einem oder mehreren der Ansprüche 5 bis 8, dadurch gekennzeichnet, daß während der Verformung des plastischen Endbereichs mittels eines Innenformwerkzeugs ein Unterdruck im Innern des Rohres aufrechterhalten wird.9. The method according to one or more of claims 5 to 8, characterized in that a negative pressure during the deformation of the plastic end region by means of an internal molding tool is maintained inside the tube. 10. Verfahren nach einem oder mehreren der Ansprüche 5 bis 8, dadurch gekennzeichnet, daß während der Verformung des plastischen Endbereichs mittels eines Außenformwerkzeugs ein Die Erfindung bezieht sich auf ein Rohr aus Quarzglas mit rechteckigem, ovalem oder quadratischem Strömungsquerschnitt, bei dem wenigstens ein Endbereich zur Reduzierung des Strömungsquerschnittes unter Bildung einer Kappe verjüngt ist, zur Durchführung halbleitertechnologischer Verfahren und auf ein Verfahren zur Herstellung solcher Rohre.10. The method according to one or more of claims 5 to 8, characterized in that during the deformation of the plastic end region by means of an external forming tool The invention relates to a tube made of quartz glass with a rectangular, oval or square flow cross-section, in which at least one end area to reduce the flow cross-section below Formation of a cap is tapered to carry out semiconductor technology processes and to a process for the production of such pipes. Rohre aus Quarzglas, die entsprechend der vorstehend charakterisierten Art ausgebildet sind, sind bekannt. Sie weisen einen rechteckigen oder ovalen Strömungsquerschnitt auf. Das eine Ende des Rohres ist mit einer Kappe versehen, an die ein Stutzen angesetzt ist. Die Rohre werden zur Durchführung von Epitaxie-Verfahren auf dem Gebiet der HalbleitertechnologieTubes made of quartz glass, which are designed according to the type characterized above, are known. They have a rectangular or oval flow cross-section. One end of the tube is provided with a cap to which a nozzle is attached. The tubes are used to carry out epitaxial processes in the field of semiconductor technology ;!0 verwendet. Die Standzeiten dieser bekannten Rohre sind recht gut. Das Bruchrisiko dieser Rohre ist zwar nicht übermäßig groß, jedoch auch nicht vernachlässigbar klein. Es beruht darauf, daß die Kappen dieser Rohre Inhomogenitäten aufweisen, die sich aus dem Herstellungsverfahren der Rohre, und zwar insbesondere der Kappe ergeben. ;! 0 used. The service lives of these known pipes are quite good. The risk of these pipes breaking is not excessive, but also not negligibly small. It is based on the fact that the caps of these tubes have inhomogeneities which result from the manufacturing process of the tubes, in particular the cap. Die bekannten Epitaxie-Rohre hat man nach zwei unterschiedlichen Verfahren hergestellt Bei dem einen Verfahren wurde zunächst aus vorgeschnittenen Wand-The known epitaxial tubes have been manufactured using two different methods Process was initially made from pre-cut wall :io teilen aus Quarzglas durch Verschweißen der einzelnen Teile miteinander eine Kappe gebildet, deren freier rechteckiger Querschnitt sich zum einen Ende hin stetig verkleinert, also verjüngt. Das Kappenende mit dem größten Querschnitt wird danach mit einem Quarzglas-: io divide from quartz glass by welding each one Parts formed a cap with each other, the free rectangular cross-section of which is steadily increasing towards one end reduced in size, i.e. rejuvenated. The end of the cap with the largest cross-section is then covered with a quartz glass rohr rechteckigen Querschnitts verschweißt. Nach dem anderen Verfahren wird von einem Rohr rechteckigen Querschnitts ausgegangen und die Kappe in der Weise hergestellt, daß zunächst an einem Ende des Rohres eine Kappen-»krone« geschnitten wird und anschließend die »Zacken« der Krone in Richtung auf die Rohrachse hin umgebogen und an ihren Kanten miteinander zur Bildung der sich im Querschnitt verjüngenden Kappe verschweißt werden. Bei beiden Verfahren ergeben sich im Bereich der Schweißstrecke Inhomogenitäten im Ouarzglas, durch die die Bruchgefahr erhöht wird.welded tube of rectangular cross-section. The other method is to make a pipe rectangular Cross-section assumed and the cap made in such a way that first at one end of the tube a The “crown” of the cap is cut and then the “prongs” of the crown in the direction of the pipe axis bent over and together at their edges to form the cap which is tapered in cross section be welded. Both methods result in inhomogeneities in the area of the welding path Ouarzglas, which increases the risk of breakage. Außerdem ist das Bruchrisiko bei der Herstellung der Rohre nicht unerheblich, weil empfindliche Einzelteile oder Zacken be- und verarbeitet werden müssen.In addition, the risk of breakage during the manufacture of the pipes is not insignificant because individual parts are sensitive or spikes have to be machined and processed. Es ist weiterhin bekannt, sich zur Kalibrierung von Glas- oder Quarzglasrohren mit rundem Querschnitt eines Domes zu bedienen, der im erhitzten Rohr angeordnet ist. Zur Kalibrierung können Dorn und Rohr relativ zueinander in Richtung der Rohrachse bewegt und der Dorn zusätzlich um seine Längsachse gedrehtIt is also known to calibrate glass or quartz glass tubes with a round cross-section to use a dome, which is arranged in the heated tube. A mandrel and tube can be used for calibration moved relative to each other in the direction of the pipe axis and the mandrel is also rotated about its longitudinal axis 55 werden.55 to be. Zum genauen Kalibrieren der Innenabmessung eines Glaskolbens für eine elektrische Entladungsröhre ist es bekannt, das erhitzte Glas zur Anlage an einen Kern zu bringen. Glaskolben und Kern werden während des Erhitzens gegenüber der Wärmequelle gedreht.For precisely calibrating the inside dimension of a glass bulb for an electric discharge tube, it is known to bring the heated glass to rest on a core. The glass bulb and core are turned off during the Heating rotated relative to the heat source. Schließlich ist es noch bekannt, zum Umformen eines einseitig offenen Glasrohres einen axial rotierenden Formdorn zu verwenden, auf dem das erhitzte Glas zum Anliegen infolge seines Eigengewichts kommt. Giasröhren mit kreisförmigem Querschnitt können in solche von ovalem Querschnitt übergeführt werden.Finally, it is also known to use an axially rotating one for reshaping a glass tube that is open on one side To use a mandrel on which the heated glass comes to rest due to its own weight. Glass tubes with a circular cross-section can be converted into those with an oval cross-section. Aufgabe der Erfindung ist es, das Bruchrisiko bei Rohren der eingangs charakterisierten Art auch imThe object of the invention is to reduce the risk of breakage in pipes of the type characterized in the introduction
DE19752526569 1975-06-13 1975-06-13 Tube made of quartz glass with a rectangular, oval or square flow cross-section, in which at least one end region is tapered, for carrying out semiconductor-technological processes and processes for its production Expired DE2526569C3 (en)

Priority Applications (5)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE19752526569 DE2526569C3 (en) 1975-06-13 Tube made of quartz glass with a rectangular, oval or square flow cross-section, in which at least one end region is tapered, for carrying out semiconductor-technological processes and processes for its production
CH527576A CH612657A5 (en) 1975-06-13 1976-04-27 Quartz glass and process for the preparation thereof
JP5143376A JPS5244822A (en) 1975-06-13 1976-05-07 Tube of vitreous matertal having nonncircular flow section and its production method
FR7617608A FR2314150A1 (en) 1975-06-13 1976-06-10 TUBE MADE OF VITREOUS MATERIAL WITH NON-CIRCULAR SECTION, INCLUDING AT LEAST ONE CONICAL END, AND PROCESS FOR ITS PRODUCTION
GB2439376A GB1529385A (en) 1975-06-13 1976-06-11 Tubes of non-circular cross-section and the manufacture thereof

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE19752526569 DE2526569C3 (en) 1975-06-13 Tube made of quartz glass with a rectangular, oval or square flow cross-section, in which at least one end region is tapered, for carrying out semiconductor-technological processes and processes for its production

Publications (3)

Publication Number Publication Date
DE2526569A1 DE2526569A1 (en) 1976-12-16
DE2526569B2 DE2526569B2 (en) 1977-04-28
DE2526569C3 true DE2526569C3 (en) 1977-12-08

Family

ID=

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE2648877C3 (en) Process for making pipes
DE1804673B2 (en) Method for producing a hollow motor vehicle axle
DE2430428C2 (en) Method and device for producing a tube from quartz glass or quartz material with narrow diameter tolerances
DE2538106C2 (en) METHOD AND DEVICE FOR FORMING A SLEEVE ON A PIPE END AND SLEEVE PIPE PRODUCED BY THIS METHOD
DE2643340A1 (en) PROCESS FOR HOT FORMING WORKPIECES
EP0813229A2 (en) Method of manufacturing a halogen incandescent lamp
DE2526569C3 (en) Tube made of quartz glass with a rectangular, oval or square flow cross-section, in which at least one end region is tapered, for carrying out semiconductor-technological processes and processes for its production
DE1660169A1 (en) Spinning nozzle and method for producing a spinning channel of a spinning nozzle
DE2526569B2 (en) TUBE MADE OF QUARTZ GLASS WITH RECTANGULAR, OVAL OR SQUARE FLOW CROSS-SECTION, WHICH AT LEAST ONE END AREA IS TAPERED, FOR THE PERFORMANCE OF SEMI-CONDUCTOR TECHNOLOGY PROCESSES AND PROCESS FOR ITS MANUFACTURING
DE2320125C3 (en) Method of manufacturing a pipe unit
DE2740717B2 (en) Process for the production of a corrugated pipe from polytetrafluoroethylene
DE2500472A1 (en) ELECTRIC LIGHT BULB
DE573890C (en) Process for the production of pipe bends or the like.
DE2548853A1 (en) METHOD AND DEVICE FOR MANUFACTURING RING-SHAPED METAL BLANKS
DE102008037549B3 (en) Thin-walled tubular workpiece e.g. reservoir tube, producing method for shock absorber of vehicle, involves removing punching tool from workpiece that is transformed, and pulling out support mandrel from transformed workpiece
DE3200631C2 (en)
DE4238815A1 (en) Textile bobbins for synthetics - has one piece all metal construction
CH628555A5 (en) METHOD FOR PRODUCING A BALEMENT EQUIPMENT AND DEVICE FOR CARRYING OUT THIS METHOD.
EP0061757A2 (en) Method for manufacturing a pinched seal for an electric lamp envelope and pinching device for carrying out the method
DE2112692C3 (en) Run-up bodies for a process for the production of glass tubes or rods
EP0103044B1 (en) Method of producing annular bodies, particularly blanks for synchronizing rings
DE2758134C2 (en) Process for the production of heat exchanger tubes!) With inner and outer longitudinal ribs
DE2434090B2 (en) PROCESS FOR MANUFACTURING AN ELECTRODE SYSTEM FOR MULTIPOLE MASS FILTER
AT201253B (en) Method for producing hollow bodies made of glass, closed at one end, in particular for producing bulbs of discharge tubes, and tools for carrying out the method
DE2807596A1 (en) METHOD AND DEVICE FOR CALIBRATING GLASS TUBE SECTIONS