DE2507430C2 - Molekularvakuumpumpe mit hohem Kompressionsverhältnis für leichte Moleküle - Google Patents

Molekularvakuumpumpe mit hohem Kompressionsverhältnis für leichte Moleküle

Info

Publication number
DE2507430C2
DE2507430C2 DE19752507430 DE2507430A DE2507430C2 DE 2507430 C2 DE2507430 C2 DE 2507430C2 DE 19752507430 DE19752507430 DE 19752507430 DE 2507430 A DE2507430 A DE 2507430A DE 2507430 C2 DE2507430 C2 DE 2507430C2
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
molecular
compression ratio
pump
vacuum pump
high compression
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired
Application number
DE19752507430
Other languages
English (en)
Other versions
DE2507430A1 (de
Inventor
Franz-Josef Dipl.-Phys. Dr. 5300 Bonn Schittko
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Balzers und Leybold Deutschland Holding AG
Original Assignee
Individual
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Individual filed Critical Individual
Priority to DE19752507430 priority Critical patent/DE2507430C2/de
Publication of DE2507430A1 publication Critical patent/DE2507430A1/de
Application granted granted Critical
Publication of DE2507430C2 publication Critical patent/DE2507430C2/de
Expired legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
    • F04D19/00—Axial-flow pumps
    • F04D19/02—Multi-stage pumps
    • F04D19/04—Multi-stage pumps specially adapted to the production of a high vacuum, e.g. molecular pumps
    • F04D19/046—Combinations of two or more different types of pumps

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Organic Low-Molecular-Weight Compounds And Preparation Thereof (AREA)
  • Non-Positive Displacement Air Blowers (AREA)

Description

Die Erfindung betrifft eine Mciekuiarvakinnnpuinpe der Hybridbauart, gemäß dem Oberbegriff des Patentanspruchs 1.
Der Nachteil aller bekannten Molekularvakuumpumpen besteht darin, daß sie for leichte Molekuhle wie H2 und He ein niedriges Kompressionsverhältnis K - (Vorvakuumdruck/Hochvakuumdruck) haben. Bei den bestehenden Konstruktionen werden für Wasserstoff K- Werte zwischen 103 und 104 angegeben, während für Nj Werte von 101' erreicht werden.
Es sind verschiedene Methoden bekannt, um diese Nachteile suszugleichen. Einmal ist es bekannt, zu diesem Zweck bei einer mit einer Vorpumpe betriebenen Turbomolekularpumpe auf der Vorvakuumseite Ballastgas einzuführen. Dadurch wird der Wasserstoffpartialdruck auf der Vorvakuumseite um den Faktor 2 oder 3 erniedrigt Daraus folgt auch auf der Hochvakuumseite eine Erniedrigung des Wasserstoffpartialdrucks um den gleichen Faktor. Dieses Ballastgas wirkt in Vorvakuumleitung und Vorpumpe. Nachteilig ist außerdem, daß relativ große Ballastgasmengen benötigt werden, der Wirkungsgrad also schlecht ist
Bekannt ist außerdem eine Molekularpumpe, die als Hybridpumpe bezeichnet wird (DE-OS 24 12 624). Auch diese Pumpe erreicht für Wasserstoff nur ein Kompressionsverhältnis von Al » 1,5 · 103.
Der Erfindung liegt deshalb die Aufgabe zugrunde, das Kompressionsverhältnis einer Molekularvakuumpumpe der eingangs erläuterten bekannten Art zu erhöhen.
Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß durch die so Merkmale des kennzeichnenden Teils des Anspruchs 1 ge!ö$t
Es wurde festgestellt, daß sich z. B. durch Einlaß von N 2 und Ar zwischen Turbo- und Holweckstufe das Kompressionsverhältnis für leichte Moleküle in der Molekularpumpe um mehrere Zehnerpotenzen, also wesentlich mehr als mit bisher bekannten Anordnungen und Verfahren, verbessern läßt. Die benötigte Ballastgasmenge liegt erheblich niedriger und somit der Wirkungsgrad wesentlich höher als mit den zur Zeit bekannten Methoden.
Es handelt sich offensichtlich um eine Maßnahme, die in der Molekularpumpe selbst eine Erhöhung des Kompressionsverhältnisses für leichte Moleküle bewirkt.
65

Claims (2)

Patentansprüche:
1. Molekularvakuumpumpe der Hybridbauart, bestehend aus einem Turbomolekular- und einem Hol· weckmolekularpumpenteil, dadurch gekennzeichnet, daß zwischen dem Turbomolekularpumpenteil und dem Holweckmolekularpumpenteil eine Gasballasteinrichtung zum Einlaß geringer Ballastgasmengen in die Molekularpumpe angeordnet ist
2. Molekularvakuumpumpe, nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß ein Teil der Turbomolekularpumpenstufen durch Scheibenmolekularpumpenstufen ersetzt ist
DE19752507430 1975-02-21 1975-02-21 Molekularvakuumpumpe mit hohem Kompressionsverhältnis für leichte Moleküle Expired DE2507430C2 (de)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE19752507430 DE2507430C2 (de) 1975-02-21 1975-02-21 Molekularvakuumpumpe mit hohem Kompressionsverhältnis für leichte Moleküle

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE19752507430 DE2507430C2 (de) 1975-02-21 1975-02-21 Molekularvakuumpumpe mit hohem Kompressionsverhältnis für leichte Moleküle

Publications (2)

Publication Number Publication Date
DE2507430A1 DE2507430A1 (de) 1976-08-26
DE2507430C2 true DE2507430C2 (de) 1985-04-04

Family

ID=5939419

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE19752507430 Expired DE2507430C2 (de) 1975-02-21 1975-02-21 Molekularvakuumpumpe mit hohem Kompressionsverhältnis für leichte Moleküle

Country Status (1)

Country Link
DE (1) DE2507430C2 (de)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE4333980C1 (de) * 1993-10-05 1994-11-03 Saskia Hochvakuum Und Labortec Spülgasquelle

Families Citing this family (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS62113887A (ja) * 1985-11-13 1987-05-25 Hitachi Ltd 真空ポンプ
JPH01277698A (ja) * 1988-04-30 1989-11-08 Nippon Ferrofluidics Kk 複合型真空ポンプ
EP4108931B1 (de) * 2022-09-01 2024-06-26 Pfeiffer Vacuum Technology AG Verfahren zum betreiben einer molekularvakuumpumpe zur erzielung eines verbesserten saugvermögens

Family Cites Families (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
FR2224009A5 (de) * 1973-03-30 1974-10-25 Cit Alcatel

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE4333980C1 (de) * 1993-10-05 1994-11-03 Saskia Hochvakuum Und Labortec Spülgasquelle

Also Published As

Publication number Publication date
DE2507430A1 (de) 1976-08-26

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE3485922T2 (de) Stickstoff-generator-verfahren zur herstellung von kleinen volumina hochreinen stickstoffs aus pressluft.
DE2507430C2 (de) Molekularvakuumpumpe mit hohem Kompressionsverhältnis für leichte Moleküle
DE3307974A1 (de) Verfahren zur gewinnung von stickstoff
DE3941487C1 (de)
DE3828608A1 (de) Vakuumpumpvorrichtung
DE3516933A1 (de) Verfahren zum aufbringen einer mos(pfeil abwaerts)2(pfeil abwaerts)-beschichtung auf ein substrat
EP0038410A2 (de) Vorrichtung zur Trennung oder fraktionierenden Reinigung von Gasgemischen
DE1809902C3 (de) Mehrstufige Turbo Molekularhoch vakuumpumpe
DE2009004C3 (de) Anordnung zur quantitativen Bestimmung der von einer Gasquelle abgegebenen Gase
DE69231025T2 (de) Verfahren zur Herstellung eines Gases mit hohem Sauerstoffgehalt
DE3124205A1 (de) Lecksuchanordnung
DE3317868A1 (de) Reibungspumpe
EP0373229B1 (de) Mechanische Vakuumpumpe mit einer federbelasteten Rückschlagklappe
DE4228148A1 (de) Vakuum-Lecksuchgerät für die Testgaslecksuche mit leichten Gasen
DE10224604A1 (de) Evakuierungseinrichtung
DE19602450C1 (de) Vakuumdruckwechseladsorptionsverfahren und -vorrichtung
DE7237362U (de) Turbomolekularvakuumpumpe
CH622066A5 (en) Radial blower having a high coefficient of pressure
WO2001006129A1 (de) Reibungsvakuumpumpe für den einsatz in einem system zur druckregelung sowie druckregelungssystem mit einer reibungsvakuumpumpe dieser art
DE4219268A1 (de) Anordnung zur Vakuumerzeugung
DD201461A1 (de) Verfahren zur erzeugung eines oertlich konstanten arbeitsgasdruckes
DE10334455B4 (de) Lecksuchverfahren und Lecksuchanordnung zur Durchführung des Verfahrens
DE544386C (de) Anreicherung von Gasen an Krypton und Xenon
DE2430117B1 (de) Mehrstufiger Axialverdichter
DE970801C (de) Verfahren und Anordnung zur Erhoehung der Wirtschaftlichkeit mehrstufiger Turbokompressoren

Legal Events

Date Code Title Description
8110 Request for examination paragraph 44
8139 Disposal/non-payment of the annual fee
D2 Grant after examination
8364 No opposition during term of opposition
8327 Change in the person/name/address of the patent owner

Owner name: LEYBOLD AG, 6450 HANAU, DE

8381 Inventor (new situation)

Free format text: SCHITTKO, FRANZ-JOSEF, DIPL.-PHYS. DR., 5300 BONN, DE