DE2507430C2 - Molekularvakuumpumpe mit hohem Kompressionsverhältnis für leichte Moleküle - Google Patents

Molekularvakuumpumpe mit hohem Kompressionsverhältnis für leichte Moleküle

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DE2507430C2
DE2507430C2 DE19752507430 DE2507430A DE2507430C2 DE 2507430 C2 DE2507430 C2 DE 2507430C2 DE 19752507430 DE19752507430 DE 19752507430 DE 2507430 A DE2507430 A DE 2507430A DE 2507430 C2 DE2507430 C2 DE 2507430C2
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high compression
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Franz-Josef Dipl.-Phys. Dr. 5300 Bonn Schittko
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Balzers und Leybold Deutschland Holding AG
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    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
    • F04D19/00—Axial-flow pumps
    • F04D19/02—Multi-stage pumps
    • F04D19/04—Multi-stage pumps specially adapted to the production of a high vacuum, e.g. molecular pumps
    • F04D19/046—Combinations of two or more different types of pumps

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  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
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Description

Die Erfindung betrifft eine Mciekuiarvakinnnpuinpe der Hybridbauart, gemäß dem Oberbegriff des Patentanspruchs 1.
Der Nachteil aller bekannten Molekularvakuumpumpen besteht darin, daß sie for leichte Molekuhle wie H2 und He ein niedriges Kompressionsverhältnis K - (Vorvakuumdruck/Hochvakuumdruck) haben. Bei den bestehenden Konstruktionen werden für Wasserstoff K- Werte zwischen 103 und 104 angegeben, während für Nj Werte von 101' erreicht werden.
Es sind verschiedene Methoden bekannt, um diese Nachteile suszugleichen. Einmal ist es bekannt, zu diesem Zweck bei einer mit einer Vorpumpe betriebenen Turbomolekularpumpe auf der Vorvakuumseite Ballastgas einzuführen. Dadurch wird der Wasserstoffpartialdruck auf der Vorvakuumseite um den Faktor 2 oder 3 erniedrigt Daraus folgt auch auf der Hochvakuumseite eine Erniedrigung des Wasserstoffpartialdrucks um den gleichen Faktor. Dieses Ballastgas wirkt in Vorvakuumleitung und Vorpumpe. Nachteilig ist außerdem, daß relativ große Ballastgasmengen benötigt werden, der Wirkungsgrad also schlecht ist
Bekannt ist außerdem eine Molekularpumpe, die als Hybridpumpe bezeichnet wird (DE-OS 24 12 624). Auch diese Pumpe erreicht für Wasserstoff nur ein Kompressionsverhältnis von Al » 1,5 · 103.
Der Erfindung liegt deshalb die Aufgabe zugrunde, das Kompressionsverhältnis einer Molekularvakuumpumpe der eingangs erläuterten bekannten Art zu erhöhen.
Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß durch die so Merkmale des kennzeichnenden Teils des Anspruchs 1 ge!ö$t
Es wurde festgestellt, daß sich z. B. durch Einlaß von N 2 und Ar zwischen Turbo- und Holweckstufe das Kompressionsverhältnis für leichte Moleküle in der Molekularpumpe um mehrere Zehnerpotenzen, also wesentlich mehr als mit bisher bekannten Anordnungen und Verfahren, verbessern läßt. Die benötigte Ballastgasmenge liegt erheblich niedriger und somit der Wirkungsgrad wesentlich höher als mit den zur Zeit bekannten Methoden.
Es handelt sich offensichtlich um eine Maßnahme, die in der Molekularpumpe selbst eine Erhöhung des Kompressionsverhältnisses für leichte Moleküle bewirkt.
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Claims (2)

Patentansprüche:
1. Molekularvakuumpumpe der Hybridbauart, bestehend aus einem Turbomolekular- und einem Hol· weckmolekularpumpenteil, dadurch gekennzeichnet, daß zwischen dem Turbomolekularpumpenteil und dem Holweckmolekularpumpenteil eine Gasballasteinrichtung zum Einlaß geringer Ballastgasmengen in die Molekularpumpe angeordnet ist
2. Molekularvakuumpumpe, nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß ein Teil der Turbomolekularpumpenstufen durch Scheibenmolekularpumpenstufen ersetzt ist
DE19752507430 1975-02-21 1975-02-21 Molekularvakuumpumpe mit hohem Kompressionsverhältnis für leichte Moleküle Expired DE2507430C2 (de)

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D2 Grant after examination
8364 No opposition during term of opposition
8327 Change in the person/name/address of the patent owner

Owner name: LEYBOLD AG, 6450 HANAU, DE

8381 Inventor (new situation)

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