DE2354249A1 - Pumpvorrichtung, bestehend aus einer mit einem piezo-elektrischen kristall verbundenen membran - Google Patents

Pumpvorrichtung, bestehend aus einer mit einem piezo-elektrischen kristall verbundenen membran

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DE2354249A1
DE2354249A1 DE19732354249 DE2354249A DE2354249A1 DE 2354249 A1 DE2354249 A1 DE 2354249A1 DE 19732354249 DE19732354249 DE 19732354249 DE 2354249 A DE2354249 A DE 2354249A DE 2354249 A1 DE2354249 A1 DE 2354249A1
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    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04BPOSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS
    • F04B43/00Machines, pumps, or pumping installations having flexible working members
    • F04B43/02Machines, pumps, or pumping installations having flexible working members having plate-like flexible members, e.g. diaphragms
    • F04B43/04Pumps having electric drive
    • F04B43/043Micropumps
    • F04B43/046Micropumps with piezoelectric drive

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  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Reciprocating Pumps (AREA)

Description

•/ν/-
[E
Patentanwälte Dipl.-Ing. V. Beyer Dipl.-Wirtsch.-Ing. B. Jochem
6 Frankfurt am Main Staufenstraße
Aktiebolaget
Original-Odhner
Gothenburg/Schweden
Pumpvorrichtung, bestehend aus einer mit einem piezoelektrischen Kristall verbundenen Membran
Die Erfindung betrifft eine Pumpvorrichtung, bestehend aus einer mit einem radial kontrahierbaren piezo-elektrisehen Kristall verbundenen, steifen Membran, welche einen Teil der Wand einer Pumpenkammer bildet. Vorzugsweise werden derartige Vorrichtuigen zur Erzeugung von Flüssigkeitstropfen in schneller Folge verwendet.
Es ist bereits bekannt, piezo-elektrische Elemente als Antrieb für Membranen in Pumpvorrichtungen einzusetzen, die. dazu be.stimmt sind, mit großer Geschwindigkeit kleine
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• '2 -
Flüssigkeitsmengen abzugeben. Wegen der geringen Masse der beweglichen Teile sind diese Membranen besonders geeignet für sogenannte ventillose Pumpen, bei denen nicht-lineare Kennlinien des Flüssigkeitssystems für die Pumpwirkung ausgenutzt werden. Bei einer bekannten derartigen Pumpvorrichtung, wie sie in der Drucktechnik zur Förderung von Tinte bzw. Druckfarben benutzt wird, gehört zu dem inneren Flüssigkeitssystem eine Kapillare, die mit einer relativ zu deren Querschnitt sehr großen Kammer in Verbindung steht. Eine aus Metall bestehende, über der Kammer angeordnete Membran ist mit der Kammerwand durch Kleben oder Löten verbunden. Auf der Membran sitzt in fester Verbindung, geklebt oder verlötet, ein piezoelektrischer Kristall. Weil die zur Membran weisende Oberfläche des Kristalls im allgemeinen eine Elektrode ist, sollt· die Verbindung mit der Membran leitend sein.
Die bekannte Vorrichtung hat sich als unzuverlässig erwiesen, weil oft ein Leck zwischen der Membran und der Kammerwand entsteht, so daß Luft in die Kammer eindringen kann. Die Pumpe funktioniert dann nicht mehr, weil die sehr geringen Bewegungen der Membran in der inkompressiblen Flüssigkeit keine kräftige Druckwelle mehr erzeugen können, sondern lediglich die eingedrungene Luft komprimieren. Eine genaue Untersuchung der Ursachen der Fehlerquelle zeigten, daß die Verbindung zwischen der Membran und der Kammerwand sehr starken Reaktionskräften ausgesetzt ist, wenn dem Kristall ein elektrischer Impuls erteilt wird. Der in radialer Richtung oszillierende Kristall biegt jeweils bei seiner Kontraktion die Membran mit Bezug auf die Kammer nach einwärts, und dabei ist die Membran einem äusserst starken Stoß ausgesetzt, welcher die bekannte Art der Verbindung zwischen Membran und Kammerwand
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zu lösen in der Lage ist
Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, ©ine Pumpvorrichtung der eingangs genannten Art zu schaffen, bei welcher durch bessere Befestigung der Membran an.der Kammerwand eine größere Zuverlässigkeit erreicht wird«,
Vorstehende Aufgabe;wird, erfindungsgemäß dadurch gelöst, daß die Membran im Umfangsbereich auf der der Pumperikammer abgewandten Seite fest abgestützt ist« Die Erfindung wird nachstehend unter Bezugnahme auf die Zeichnung näher erläutert« Es zeigen: ν
Figur 1 : einen Querschnitt durch eine Pumpvorrichtung gemäß ■■: der Erfindung, '
Figur 2 ? ebenfalls im Querschnitt gegenüber Figur 1 abge-1111 -*'. - wandelte Ausführungsbeispiele ο
Figur 1 zeigt ein© Pumpvorrichtung mit einem geeigneten, im Querschnitt runden piezo-elektrischen Kristall, z.B. vom !Dyp Blei-Z^irconat-Titanate Der Kristall ist mit einer metallischen Membran ΛΛ durch eine gelötete oder geklebte Verbindung 12 fest verbunden« Die obere und unter© ebene Oberfläche des Kristalls 10 ist jeweils metallbeschichtet und^wirkt somit als Elektrodeο Aus diesem Grund sollte die Verbindung 12 elektrisch leitend sein, also im Fall® einer Klebverbindung ein geeigneter, elektrisch leitfähiger Kleber gewählt werden.
Der Kristall 10 und die mit ihm verbundene Membran sind in einer Einsenkung oder Bohrung 1J in "einer Platte 14 montieit, die als Deckel diente Die Tiefe der Einsenkung 13 ist so ge-
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wählt, daß zwischen der Membran 11 und einem Gehäuse 15 einHohlraum 16 bleibt, welcher .die eigentliche Pumpenkammer bildet. Diese hat einen Auslaß 17.
Die Membran 11 ist am Deckel 14 befestigt, und zwar vorzugsweise angelötet oder mit einem leitfähigen Kleber festgeklebt. Die elektrischen Anschlußleitungen des Kristalls sind eine erste Leitung 18, welche mit der oberen Metallbeschichtung verbunden ist und eine weitere, nicht gezeigte Leitung, die mit dem Deckel 14 verbunden ist.
Wenn der Kristall mit einem elektrischen Impuls geeigneter Polarität beaufschlagt wird, erfolgt eine radiale Kontraktion, wodurch die Membran mit Bezug auf die Zeichnungsfiguren nach Tinten gekrümmt wird. Wenn die Anstiegszeit des Impulses kurz und die Masse des Membransystems klein ist, bewegt sich die Membran mit sehr großer Geschwindigkeit in Sichtung zur Flüssigkeitsoberfläche. Da die Flüssigkeit jedoch inkompressibel ist und der einzige Auslaß eine nicht gezeigte, mit dem Auslaß 17 in Verbindung stehende Kapillare ist, wirkt im ersten Augenblick eine sehr starke Reaktionskraft auf die Membran, und zwar mit Bezug auf die Zeichnungsfiguren in Richtung nach oben. Da jedoch die Membran im Gegensatz zur bisher bekannten Befestigungsart entsprechend der Belastungsrichtung richtig befestigt ist, wird sie nur gegen ihre Sitzfläche in der Einsenkung 13 gedruckt, und es besteht keine Gefahr, daß die Verbindung bricht. Dadurch ist das Risiko einer Leckage beträchtlich verringert.
Bei der Ausführung nach Figur 2 ist die Membran 11 in einem Gehäuse 19 montiert, welches in diesem Fall unterhalb der
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Membran eine flache Einsenkung 20 hat, diel als Pumpenkammer funktioniert. Über der Membran befindet sich als Deckel ein Spannring oder eine Spannscheibe 21 mit einer Bohrung 22 für die Aufnahme des Kristalls 10; Der Spannring 21 liegt über dem Umfang der Membran auf dieser auf und wird durch Schrauben 23 unter Zwischenspannung der Membran 11 gegen das Gehäuse 19 angezogen. Bei dieser Ausführung ist es im allgemeinen nicht notwendig, die Membran mit dem Gehäuse oder dem Deckel zu verlöten. Der Spanndruck der Schrauben ist normalerweise ausreichend, um eine gegenseitige dichte Anlage der miteinander verspannten Teile zu erreichen.
Wie Figur 3 zeigt, ermöglicht die Konstruktion nach Figur 2 die Verwendung eines einzigen Gehäuses und einer gemeinsamen Membran 24 für eine Mehrzahl von Pumpvorrichtungen gemäß der Erfindung. \
Pat entansprüche
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Claims (3)

— σ "" Pat entanspruche ssssssssssssssssss.
1. Pumpvorrichtung, bestellend aus einer mit einem radial kontrollierbaren piezo-elektrischen Kristall verbundenen steifen Membran, welche einen Teil der Wand einer Pumpenkammer bildet, dadurch gekennzeichnet, daß die Membran (11) im Umfangsbereich auf der der Pumpenkammer (16, 20) abgewandten Seite fest abgestützt ist.
2. Pumpvorrichtung nach Anspruch 1, -dadurch, ge*· kennzeichnet, daß die Membran (11) am Boden einer Einsenkung oder Bohrung (13) eines dicht mit dem Pumpengehäuse (15) verbundenen Deckels (14-) abgestützt und befestigt ist, wobei die Einsenkung oder Bohrung (13) tiefer ist als die Dicke der Membran (11) und der Baum (16) zwischen der Membran (11), dem Deckel (14-) und dem Pumpengehäuse(i5) die Pumpenkammer bildet.
3. Pumpvorrichtung nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Membran (11) mittels einer Spannscheibe (21) oder Spannplatte gegen das Pumpengehäuse (19) festklemmbar ist und dieses gegenüber dem mittleren Bereich der Membran (11) eine Einsenkung (20) aufweist, welche die Pumpenkammer bildet.·
4-, Pumpvorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 3* dadurch gekennzeichnet, daß in einem gemeinsamen Pump eng ehäuse (19) mehrere Pumpenkanuaern (20)
EL/ίΌ 1O4-/29.1O.1973
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angeordnet sind, wobei in entsprechender Anzahl piezoelektrische Kristalle (Ϊ0) auf ein die Membranen bildendes, gemeinsames Teil (24) wirken«
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Leerseite
DE19732354249 1973-04-25 1973-10-30 Pumpvorrichtung, bestehend aus einer mit einem piezo-elektrischen kristall verbundenen membran Withdrawn DE2354249A1 (de)

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Cited By (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0025005A1 (de) * 1979-08-18 1981-03-11 Schaldach, Max, Prof. Dr. Ing. Vorrichtung zum Fördern und Dosieren kleinster Flüssigkeitsmengen
EP0134614A1 (de) * 1983-08-15 1985-03-20 Vitafin N.V. Piezoelektrische Mikropumpe
FR2554516A1 (fr) * 1983-11-08 1985-05-10 Inf Milit Spatiale Aeronaut Microcompresseur piezo-electrique
WO1995022477A1 (en) * 1994-02-22 1995-08-24 Bosch Braking Systems Corporation Ultrasonic hydraulic booster pump and braking system
US5597292A (en) * 1995-06-14 1997-01-28 Alliedsignal, Inc. Piezoelectric booster pump for a braking system
WO1998014707A1 (fr) * 1996-10-03 1998-04-09 Westonbridge International Limited Dispositif fluidique micro-usine et procede de fabrication
CN101520035B (zh) * 2008-02-26 2013-03-20 研能科技股份有限公司 流体输送装置

Families Citing this family (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4515534A (en) * 1982-09-30 1985-05-07 Lawless William N Miniature solid-state gas compressor
EP0398031A1 (de) * 1989-04-19 1990-11-22 Seiko Epson Corporation Tintenstrahlkopf
SE508435C2 (sv) * 1993-02-23 1998-10-05 Erik Stemme Förträngningspump av membranpumptyp
US5961298A (en) * 1996-06-25 1999-10-05 California Institute Of Technology Traveling wave pump employing electroactive actuators

Cited By (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0025005A1 (de) * 1979-08-18 1981-03-11 Schaldach, Max, Prof. Dr. Ing. Vorrichtung zum Fördern und Dosieren kleinster Flüssigkeitsmengen
EP0134614A1 (de) * 1983-08-15 1985-03-20 Vitafin N.V. Piezoelektrische Mikropumpe
FR2554516A1 (fr) * 1983-11-08 1985-05-10 Inf Milit Spatiale Aeronaut Microcompresseur piezo-electrique
WO1995022477A1 (en) * 1994-02-22 1995-08-24 Bosch Braking Systems Corporation Ultrasonic hydraulic booster pump and braking system
US5597292A (en) * 1995-06-14 1997-01-28 Alliedsignal, Inc. Piezoelectric booster pump for a braking system
WO1998014707A1 (fr) * 1996-10-03 1998-04-09 Westonbridge International Limited Dispositif fluidique micro-usine et procede de fabrication
US6237619B1 (en) 1996-10-03 2001-05-29 Westonbridge International Limited Micro-machined device for fluids and method of manufacture
CN101520035B (zh) * 2008-02-26 2013-03-20 研能科技股份有限公司 流体输送装置

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SE378029B (de) 1975-08-11

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