DE2341764A1 - Verfahren und vorrichtung zur interferometrischen beobachtung einer kleinen verschiebung - Google Patents

Verfahren und vorrichtung zur interferometrischen beobachtung einer kleinen verschiebung

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DE2341764A1
DE2341764A1 DE19732341764 DE2341764A DE2341764A1 DE 2341764 A1 DE2341764 A1 DE 2341764A1 DE 19732341764 DE19732341764 DE 19732341764 DE 2341764 A DE2341764 A DE 2341764A DE 2341764 A1 DE2341764 A1 DE 2341764A1
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DE19732341764
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Charles Aplin
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Alcatel Lucent SAS
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Compagnie Generale dElectricite SA
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    • G01MEASURING; TESTING
    • G01BMEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B9/00Measuring instruments characterised by the use of optical techniques
    • G01B9/02Interferometers
    • G01B9/021Interferometers using holographic techniques

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EP0024167A3 (en) * 1979-08-07 1982-08-04 Rolls-Royce Plc Method and apparatus for speckle pattern interferometric determination of point displacements

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