DE2304489C3 - Vorrichtung zum Ausrichten der Oberfläche eines Halbleiterplättchens - Google Patents

Description

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)ie Erfindung betrifft eine Vorrichtung zum Ausrichder durch eine Maske zu belichtenden Oberfläche ;s Halbleiterplättchens, bei welcher auf der Untere des Plättchens durch Saugnäpfe befestigte, senkrit zur Plattenfläche verschiebbare Halter angeordsind, und den Stellgetrieben der Halter Signale zuführbar sind, die durch Vergleich von voreingestelltei Soll-Werten mit von die Plattenoberfläche abtastende: Meßeinrichtungen gelieferten Ist-Weiten erzeugt wer

den.

Bei der Herstellung integrierter Schaltungen werdei bei photolitliographischen Verfahrensschritten Phcto lackschichten auf Halbleiteroberflächen durch Maskei belichtet. Bei den heute gebräuchlichen Belichtungsver fahren, bei denen entweder die Maske mit der Photo lackschicht Kontakt hat, oder dem Verfahren der Pt,, jektionsbelichtung, bei dem die Maske auf die Photo iackschicht projiziert wird, ist eine völlig ebene Platt c._;enoberfläche eine wesentliche Voraussetzung füi eine verzerrungsfreie und scharfe Wiedergabe der Mu

Bei Halbleiterplättchen muß aber eine Welligkeit mi Höhenunterschieden bis zu 5 μ in Kauf jenommer] werden, und die Abweichung der Plättchen von de Plaiiarität kann bei einem Durchmesser von etw;] 50 mm bis zu 1 mm betragen.

Beim Kontaktbelichten wird versucht, die Uneben! heiten zu glätten, indem Plättchen und Maske zusammengepreßt werden. Dabei werden jedoch die Masken die bei der Halbleiterherstellung einen wesentlicher] Kostenpunkt darstellen, stark abgenutzt, und müsser] bald ausgeschieden werden. Diese Nachteile treten bei der Projektionsbeiichtung nicht auf.

Bei einem für die Projektionsbeüchtung geeigneten bekannten Verfahren, das im »Journal of the Optical Society of America«, Bd. 45, Nr. 12, 1955, S. 1009, beschrieben ist, wird die Ebenheit bzw. Unebenheit einer Platte mit einem Interferometer bei Infrarotlicht gemessen und die Platte dann durch an Saugnäpfen an den Seiten der Platte befestigte Einstellschrauben gebogen. Die Einstellung wird von Hand ausgeführt. Dieses Verfahren ist zeitaufwendig und deshalb für die Fabrikation großer Stückzahlen nicht geeignet.

Die Probleme des Messens und Regeins bei Platten mit unebenen Oberflächen treten aber nicht nur bei der Halbleiterherstellung, sondern auch in verschiedenen anderen technischen Gebieten auf.

So ist beispielsweise (DT-AS 14 48 708) eine Meß- und Überwachungseinrichtung für die relative Höhenlage mehrerer über die Grundfläche eines Fundamentes verteilter Meßstellen an Maschinen, wie Dampfturbinen, bekannt. Bei dieser Meßeinrichtung ist das Flüssigkeitsniveau in Meßgefäßen, die durch Röhren miteinander verbunden sind, ein Maß für die Höhendifferenz der Meßstellen. In den Meßgefäßen sind durch Schwimmer gesteuerte Meßwandler angeordnet, die Signale an ein Auswertegerät geben.

Bei einer anderen bekannten Vorrichtu _J (britische Patentschrift 12 00 213) wird eine kontaktlose Abstandsmessung vorgenommen. In einem Meßfühler strömt ein Gas oder eine Flüssigkeit durch eine Düse mit konstantem Druck gegen die Oberfläche des Meßobjektes. Die Düse ist gegen eine Feder verschiebbar, so d;iß sich entsprechend dem Druck ein bestimmter Abstand einstellt, der den Schwankungen der Oberfläche folgt. Die jeweilige Lage der Düse kann über einen Wandler einer Auswerteeinrichtung zugeführt werden. Diese Vorrichtung wird unter anderem benutzt zur Regelung der Dicke von Materialbahnen, die in einem Walzwerk entstehen. Die Meßfühler sind zu beiden Seiten der Materialbahn angeordnet, und ihre Meßwerte werden einer Regeleinrichtung zugeführt, die bei Abweichungen der Dicke der Materialbahn entsprechende Verstellungen der Walzwerkrollen vornimmt.

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Bei einer weiteren bekannten Ausbildung einer druckempfindlichen Detektorvorrichtur.g zur Bestimmung des Abstandes der Vorrichtung von einer Oberfläche und Auslösung eines bestimmten Vorganges jjeim Erreichen eines vorgegebenen Abstandes (deui- s ic'hes Gebrauchsmuster 19 39 860) wird der Abstand der Oberfläche des Meßobjekles von einer Düse, durch die fcin Gas auf die Oberfläche strömt, mit HiKe des Rückdruckes ermittelt, der im Rohr de,- Düse wirksam wird. Die Detektorvorrichtung enthält einen Druck- :o ichalter, dessen beweglicher Kontaktarm umgeschaltet wird, wenn der Rückdruck einen bestimmten Wert überschreitet.

Aufgabe der Erfindung ist es, eine Vorrichtung zum Ausrichten der Oberfläche eines Halbleiterpläuehens anzugeben, mit der die Oberfläche der dünnen, spröden Plättchen entsprechend einer vorgegebenen Form ichnell, automatisch und reproduzierbar unter Einhaltung von engen Toleranzen und ohne Beschädigung so ausgerichtet werden können, daß bei den nachfolgenden Prozeßschritten die ausgerichtete Oberfläche unbeschränkt zugänglich ist.

Erfindungsgemäß wird diese Aufgabe mit einer Vorrichtung der eingangs genannten Art dadurch gelöst, daß oberhalb der Oberfläche des Plättchens rohrförmige Meßfühler angeordnet sind, in denen auf die Plättchenoberfläche strömende Luft einen Staudruck aufbaut, und daß den Meßfühlern Vergleicher zugeordnet find, mit zwei, durch eine kontaktgebende Membran getrennten Kammern, von denen eine mit dem Stau druck des Meßfühlers und die andere mit einem vorgegebenen Druck beaufschlagt ist.

Vorteilhafte und einfache Ausbildungen im Aufbau der Vorrichtung werden darin gesehen, daß der rohrförmige Meßfühler und die mit dem Soll-Druck bcauffchlagbare Kammer des Vergleichers mit einer gemeinsamen Drucklufizuführung verbunden sind, und daß die Kammer ein Ablaßventil zur Einstellung des Soll-Druckes aufweist, daß die den Vergleicher in zwei Kammern trennende Membran auf beiden Seiten Kontaktflächen aufweist, denen im einstellbaren Abstand Kontaktflächen in den Außenwänden der Kammern gegenüberliegen, und daß über dem jeweils geschlossc nen Kontakt das Einstellgetriebe des Plättchenhalters in der einen oder der anderen Richtung bewegbar ist, und daß die rohrförmigen Meßfühler in ringförmigen Trägern angeordnet sind und eine seitliche öffnung aufweisen, durch die über einen allen Meßfühlern eines Ringes gemeinsamen Kanal die Luftzuführung erfolgt. Vorteilhaft ist es auch, daß die Meßfühler gegenüberliegend zu den mit evakuierbaren Saugnäpfen versehenen Haltern des Halbleiterplättchcns angeordnet sind. Ein weiterer Vorteil besteht darin, daß die Meßfühler und Vergleicher in einem gemeinsamen Rahmen angeordnet und auf einem schwenkbaren Arm befestigt sind.

Die Vorrichtung gestattet eine schnelle und automalische Einrichtung ohne Anwendung von Druck und Temperatur auf die auszurichtende Plattenoberfläche. Nachdem die Meßanordnung der Vorrichtung entfernt worden ist, ist die ausgerichtele Oberfläche bei nachfol- ^h> genden Prozeßschritten unbeschränkt zugänglich, und es ist ein weiterer Vorteil der Vorrichtung, daß die vorgegebene Form beliebig und nicht notwendigerweise eben sein muß. Mit den Vergleichern lassen sich Soll-Werte, z. B. indem an Stelle des Halbleiterplältchens ''^ς ein entsprechend der gewünschten Form ausgerichtetes Muster eingelegt wird, rasch und bequem einstellen. Außerdem lassen sich die geforderten Toleranzen reproduzierbar einstellen.

Die Erfindung wird an Hand eines durch die Zeichnungen erläuterten Ausführungsbeispieles beschrieben. Es zeigt

F 1 ^. 1 schem-itisch, teilweise im Ausschnitt die Einrichtung in Seitenansicht,

F i g. 2 einen Ausschnitt der Einrichtung in Draufsicht entlang der Linie 2-2 in F i g. 1,

F i g. 3 ein vergrößertes De'ail der in F i g. 1 gezeigten Einrichtung im Schnitt,

Fig. 4 einen Ausschnitt in Draufsicht der in F i g. 1 gezeigten Einrichtung,

F i g. 5 den in F i g. 4 gezeigten Ausschnitt in Seitenansicht und

Figo schematisch eine elektrische Schaltung, die in der Einrichtung verwendet wird.

Die Einrichtung zur Formung der Oberfläche eines dünnen Elementes, z.B. eines Halbleiterplättchcns 11 isi in F 1 g. 1 mit JO bezeichne!. In der folgenden Beschreibung wird unter »Plättchen« ein dünnes. Element beliebiger geometrischer Form verstanden, dessen Oberfläche zu formen, z. B. in eine Ebene zu bringen ist.

Die Einrichtung enthält mehrere einzelne Haltevorrichtungen 15 zum Angreifen an bestimmten Stellen einer Oberfläche 11A des Plättchens 11. Gegenüber der entgegengesetzten Oberfläche llßdes Pläuchens. aber in einem bestimmten Abstand davon, befinden sich mehren: Meßfühler 20 zur Abkühlung der Form der Oberfläche llßdes Plättchens. Die Vergleicher 30 sine mit den Meßfühlern verbunden und vergleichen die vor den Meßfühlern ermittelte Ist-Form mit der Soll-Fonr der Oberfläche llßdes Plättchens 11. jeder Vergieieher 30 ist mit einem Betätiger 60 verbunden, der je eine Haltevorrichtung 15 anhebt oder absenkt, wenr der Vergleicher eine Differenz zwischen Soll- und Ist Form der Piättchenoberfläche llß feststellt. Die Halte vorrichtungen 15 greifen die Oberfläche 11A des Plattchens an einzelnen Stellen so an, daß sie unter Kraft aufwand die gegenüberliegende Oberfläche llß de Plättchens in eine gewünschte Form entsprechend dei vom Vergleicher kommenden Befehle bringen. Zu die scm Zweck enthält jede Haltevorrichtung 15 einer Saugnapf 16 auf einem beweglichen, hohlen Stempe 17, der im Gehäuse 12 in einer Kammer 14 endet. Eir F.nde MA eines jeden Stempels 17 enthält eine abge rundete Fläche, und ein Auflagering oder Flansch 17/ wirkt als Anschlag für eine Vorspannfeder 18, die zwi sehen diesem Ring 17ß und der inneren Oberfläche Ii des Gehäuses 13 eingeschlossen ist. Die Vorspannfedei 18 bewegt den Stempel 17 nach unten, so daß dieser au der Schräge eines Keilstiftes 61 aufliegt, der durch dk Seitenwand 2\A des Gehäuses 13 verläuft und mit den Betätiger 60 verbunden ist.

Um die Haltevorrichtung in inniger Berührung mi der Oberfläche IM des Plättchens 11 zu halten, weiset die Saugnäpfe 16 eine (nicht dargestellte) Miltelöffnunj auf, die durch den hohlen Stempel 17 und eine öffnung 17C mit der Kammer 14 des Gehäuses 13 in Verbin dung steht. Über eine Leitung 14Λ wird eine Vakuum pumpe angeschlossen und dadurch die Oberfläche 11/ des Pläuchens auf der Haltevorrichtung festgesaugt.

Wenn sich das Plättchen 11 in de; richtigen Lag< befindet und durch die Saugnäpfc 16 auf den einzelner Stempeln 17 festgehalten wird, wird der auf einen Schwenkarm 21.4 befestigter Kopf 21 in der horizonta len Ebene um eine vertikale Achse geschwenkt, bis dii Meßfühler über der Oberfläche llß des Plättchens Γ

stehen. Danach fühlen die Meßfühler die Form der Oberfläche 11 ödes Plättchens 11 ab. Zu diesem Zweck enthält jeder der Meßfühler 20 ein Rohr 22 von geringem Durchmesser, mit offenen Enden 224 bzw. 22ß, wobei das obere Ende 22ß durch eine Leitung 22Cmit dem zugehörigen Vergleicher 30 verbunden ist. Die Rohre 22 ruhen im Kanalvertciler 23 mit mehreren Kammern 24, die über die Luflzufuhrleitung 25 mit dem Luftverteiler 26 verbunden sind. Die Kammern 24 sind ringförmig und stehen miteinander in Verbindung durch die radial verlaufenden öffnungen 24/4. Durch Einlaßöffnungen 22D steht jedes Rohr 22 in Verbindung mit einer Kammer 24, so daß Luft aus dem Verteiler 26 in die Rohre 22 durch die Kammern 24 strömt und aus den Enden 22A und 22ß der Rohre 22 austreten kann.

Der Druck im Rohr 22C, das zu einem bestimmten Fühler gehört, steht in direkter Beziehung zum Durchsatz am offenen Ende 22A des Rohres 22 und ist somit ein Maß für den Abstand des Plättchens 11 vom Lndc des Rohres. Um den Abstand des Endes 224 des Rohres 22 von der Oberfläche des Plättchens an einer bestimmten Stelle zu messen, vergleicht der Vergleicher 30 den Druck im Rohr mit dem festen Druck am Ausgang des Verteilers 26 und steuert bei Druckunterschied den Betätiger 60 zur Bewegung des betreffenden Teiles des Plättchens in die richtige Lage, d. h. in eine bestimmte Distanz vom Ende des Rohres 22. Zu diesem Zweck enthält der in F i g. 3 dargestellte Vergleicher 30 einen Körper 31 mit einem Oberteil 32 und einem Unterteil 33. Zwischen Ober- und Unterteil befindet sich eine Kammer 34 mit einer Membran 35. welche die Kammer 34 in einen oberen Hohlraum 344 und einen unteren Hohlraum 34ß teilt. Auf der Membran ist eine obere Kontaktfläche 36 und eine untere Kontaktfläche 37 angebracht, die durch die Leitungen 364 bzw. 37A mit dem elektrisch leitenden Auflageblock 38 verbunden sind, der bei 39 an eine Stromquelle angeschlossen ist. Der Auflageblock dient auch zum Festklemmen der Membran und Abdichten des oberen Hohlraums 34A gegen den unteren Hohlraum 34B. Über und unter der Membran 35 gegenüber den Kontaktflächen 36 und 37 sind durch Schrauben 40 bzw. 41 verstellbare Kontaktflächen 40/4 und 41/4 angeordnet.

Um den Abstand vom Ende des Rohres 22 zur Oberfläche 11 B des Plättchens 11 mit einem vorgegebenen Abstand, d. h. der gewünschten Plättchenform, zu vergleichen, steht der untere Hohlraum 344 über eine Bohrung 42 mit dem Rohr 22Cin Verbindung, welches an das Ende 22ß des Rohres 22 angeschlossen ist. Genauso steht der obere Hohlraum 344 über eine Bohrung 43 durch ein Rohr 27 mit dem Luftverteiler 26 in Verbindung. Um den Vergleicher so voreinzustellen, daß sich die Membran in Neutralstellung befindet, d. h. weder der obere Kontakt 404, 36 noch der untere Kontakt 414, 37 geschlossen ist, wenn das Ende 224 des Rohres in einem vorgegebenen Abstand von der Oberfläche llßdes Plättchens 11 sich befindet, verbindet eine Bohrung 44 den oberen Hohlraum 344 der Kammer 34 mit einem Ablaßventil 45, welches so ein- to gestellt ist, daß Luft aus dem oberen Hohlraum 344 entweichen kann, um den Druck zwischen oberem und unterem Hohlraum auszugleichen.

Der Vergleicher wird durch das Ablaßventil 45 auf eine gewünschte Oberflächenform des Plättchens an einem Punkt unter dem Ende 224 eines jeden Rohres 22 eingestellt. Der Luftaustritt aus dem Rohr wird erschwert und dadurch der Druck im unteren Hohlraum 34ß der Kammer 34 angehoben, wenn der Punkt aul der Oberfläche 11 jedes Plättchens zu dicht am Ende des Rohres 224 liegt. Dieser Druckanstieg im unteren Hohlraum veranlaßt die Membran zu einer Bewegung bis die Kontaktfläche 36 mit der oberen Kontaktfläche 404 einen Stromkreis schließt und den Betätiger veranlaßt, sich nach unten zu bewegen und dadurch den Abstand zwischen dem Rohrende 224 und der Plättchenoberfläche lißzu vergrößern. Wenn andererseits der Abstand zwischen dem Ende des Rohres 22 und der Oberfläche 115 größer als gewünscht ist, nimmt der Druck im unteren Hohlraum 34ßab, der festeingestellte Druck im Hohlraum 344 bewegt die Membran aus der Ruhestellung, und die Kontaktfläche 37 schließt mit der Kontaktfläche 414 den Stromkreis. Dadurch wird der Betätiger veranlaßt, den Teil des PläKchens 11 £ unter dem offenen Ende 224 des Rohres 22 anzuheben und so den Druck im unteren Hohlraum 345 ebenfalls zu erhöhen, bis der Kontakt wieder geöffnet wird. Zu diesem Zeitpunkt befindet sich die Membran in ihrer Neutralstellung, die in F i g. 3 gezeigt ist.

Wenn die Oberfläche 11B des Plältchens 11 nicht in der richtigen vorgegebenen Stellung relativ zum Ende 224 des Rohres 22 steht, steuert der Vergleicher 30 ein Anheben oder Absenken der zu dem jeweiligen Meßfühler gehörenden Haltevorrichtung 15. Zu diesem Zweck enthält der in Fig.] gezeigte Betätiger einen Schrittmotor 62, mit einem Antriebszahnrad 63, welches in das Zahnrad 64 auf Welle 65 eingreift, die an einem Ende ein feines Gewinde 66 aufweist. Die Welle ist in einem Lagerblock 674 gelagert. Auf dem Feingewinde der Welle 65 läuft das Keilstiftantriebsteil 67, mit welchem der Stift 61 gekoppelt ist. Eine Erregung des Schrittmotors 62 bewirkt die Drehung der Welle 65 wodurch der Keilstift vorgeschoben oder zurückgezogen und dadurch der Stempel 17 angehoben oder abgesenkt wird. Jeder Betätiger ist gleich, und es sind genauso viele Betätiger vorhanden wie Vergleicher und Meßfühler.

Der Antrieb für den Schrittmotor 62 ist schematisch in F i g. 6 gezeigt. Ein Oszillator 71 speist einen Eingang eines ersten UND-Gliedes 72 durch die Leitung 714 sowie einen Einging eines zweiten UND-Gliedes 73. Wenn der Prüfschaiier 74 geschlossen ist, ieitei das UND-Glied 73. eine Lampe 75 leuchtet auf und zeigt dadurch die Erregung des Oszillators 71 an. Wenn der Betriebsschalter 76 geschlossen ist. erhält der Motortreiber 78 Strom von einer Gleichstromquelle 77. Über den Schalter 76 wird außerdem ein zweiter Eingang zum UND-Glied 72 gespeist und ein drittes UND-Glied 79 betätigt, dessen zweites Eingangssignal vom Priifschalter 74 kommt, und das eine Maschinenbetriebslampe 80 aufleuchten läßt. Wenn der Betriebsschalter 76 geschlossen ist, liefert das UND-Glied 72 ein Ausgangssignal an die jeweilige Leitung 39 (s F i g. 3) aller Vergleicher 30. Die Leitung 39 wird dann in dem Vergleicher entweder über den Kontakt 404, 36 oder 414, 37 gemäß der Darstellung in F i g. 3 geschlossen, wenn sich die Membran 35 nicht in Neutralstellung befindet. 1st z. B. der Kontakt 40 geschlossen so wird ein viertes UND-Glied 81 erregt, und die Lampe 82 zeig! an. daß die Oberfläche IIS des Plättchens 11 zu dicht am Fühler 224 steht und daher durch die Leitung 83 dem Motortreiber 78 signalisiert, daß der Schrittmotor 62 den Keilstift 61 zurückziehen und damit den Stempel 17 senken soll. Das Signal besteht weiter bis die Kontaktfläche 36 durch die Druckabnahme im unteren Hohlraum 34ß nicht mehr die Kontaktflä-

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ehe 40 berührt, dadurch aas Antnebssignai zum Motortreiber verschwindet und das UND-Glied 81 abschaltet. Die Lampe 82 geht dann aus.

Wenn das Signal über den unteren Schaltkontakt 41 des Vergleichen 30 geleitet wird und cas fünfte UND-Glied 84 sein zweites Eingangssignal empfängt, geht die Lampe 85 an. Der Motortreiber 78 erhalt ein Signal. das anzeigt, daß die Oberfläche US des Plättchens U zu weit vom Ende 22A des Fühlers 22 entfernt ist. und der Schrittmotor schiebt den Keilstift dann in F > g. 1 nach vorn, so daß der Stempel 17 angehoben wird, bis die Drücke im oberen Hohlraum 344 und im unteren Hohlraum 34Ö des Vergieichers 30 gleich sind. In der Praxis können die Lampen 82 und 85 sowie die UND-Glieder 81 und 84 weggelassen und der Strom direkt durch den mit jedem Vergleicher verbundenen Eingang 39 geführt werden, weil die ganze Formgebung der Oberfläche eines Siliciumplättchens von etwa 60 mm Durchmesser nur 1 Sekunde oder weniger benötigt. Die Lampen können jedoch zur \nzeige dafür benutzt werden, ob ein bestimmter Vergleicher in Betrieb ist und so eine geeignete Prüfhilfe für das System bilden. Auch können die Signale zur Verriegelung weiterer Funktionen bis zur Beendigung der Formgebung benützt werden.

Üblicherweise wird das Plättchen so gerichtet, daß seine Oberfläche nicht mehr als etwa 1 μ von der PIa-. narität abweicht. Obwohl kleinere Toleranzen mit dem vor iegenden Gerät eingehalten werden können, werden diese beim gegenwärtigen Stand der Halbleiterfertigung nicht für notwendig gehalten. Nachdem das Plättchen wunschgemäß geformt wurde, kann eine Maske darauf gelegt und deren Muster photographisch auf das Plättchen übertragen werden. Zu diesem Zweck kann die Maske so gelegt werden, daß sie das Plättchen berührt, ohne das Muster auf der Maske zu beschädigen, oder sie kann einen Abstand zur Oberfläche des Plättchens haben. Anschließend wird das Muster der Maske auf das mit Photolack beschichtete Material übertragen. Man kann also belichten, ohne daß die Maske die Phoiolackschicht kontaktiert, da die die Verzerrung der Muster verursachenden Unebenheiten des Plättchens durch das oben beschriebene Glätten mit der Einrichtung !0 beseitigt worden sind. Zur Belichtung wird der Kopf 21 vom Plättchen weg geschwenkt, so daß über die Oberfläche 11B des Plättchens It eine Maske gesetzt werden kann. Um sicherzustellen, daß die Umerfläche einer Mask. ζ. B Uer in der. r· : g. 4 ■_■·"--· 5 gezeigten Glasrriaske 90. para'tiel zum Plättchen 11 liegt, kann die auf das Plättchen gelegte Maske an drei Punkten genauso wie das Plättchen selbst unterstützt

> werden.

Die Maskenha'uerung 91 er-,tha:i drei Stempel 92. die genauso mit der Maske verbinden sind, wie es oben fur die Stempel und den Betätiger 16 beschrieben wurde. Im gezeigten Beispiel umfaßt die Maskenrultenjng

ic einen Stempel 92. eine untere abgerundete Noekentiäche 93 und eine Spannfeder 94. die den Stempel nach unten gegen einen Nockenstift 95 drückt, der mit einem Betätigungsmechanismus % verbunden ist. In ahnlicher Weise kann die Abfühleinrichtung Düsen 97 umfassen.

die unter der Maske 90 liegen und eine -\bfüh!ung des Abstandes der unteren Oberfläche der Maske zum Düsenende gestalten. Die abfühleinrichtung enthält einen Verteiler 98 mit einem Lufteinlaß 99 und einer Verbindung 100 zu einem \ ergleicher, der mit der in F ι g. 3

:o gezeigten Einrichtung identisch ist. Der Verteiler 98 enthält außerdem einen zweiten Ausgang IUl. der mit der gegenüberliegenden Seite des Vergleichers verbunden ist. Somit kann die Maske 90 geebnet und eine Ebene erzielt werden, die parallel zur Oberfläche 11. B des Plättchens verläuft, so daß die Maske in direktem Kontakt mit dem Plättchen oder in einem bestimmten Abstand davon angeordnet werden kann.

Nachdem das photoempfindliche Material auf der Oberfläche MB des Plättchens 11 belichtet worden ist, können Maske und Plättchen entfernt, ein neues Plättchen oben auf die Pläuchenhalterung gelegt und der Kopf 21 herumgeschwenkt werden, bis die Meßfühler 20 wieder über dem Plättchen liegen.

Für den richtigen Betrieb der Einrichtung ist natürlieh die Anfangseinstellung kritisch, die so erfolgen muß, daß die Enden 22Λ der Rohre 22 über den Stempeln der Haltevorrichtungen liegen. Diese Anfangseinstellung kann mit Hilfe von Probestücken bekanntet Oberflächenwelligkeit vorgenommen werden, einen Interferometer und durch Einstellung der Ablaßventile 45. die sich im oberen Hohlraum 34Λ des Vergleicher: befinden. Die beschriebene Einrichtung kann auch dazi benutzt werden, eine bestimmte Kontur dünner flache Elemente einzustellen, um so z. B. Linsenfehler bzw Defekte von Projektionsbeüchtungssystemen auszu gleichen.

Hierzu 4 Blatt Zeichnungen

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Claims (6)

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   Patentansprüche:

   Maske zu belichtenden Oberfläche eines Halbleiterplätichens, bei welcher auf der Unterseite des Plättchens durch Saugnäpfe befestigte, senkrecht zur Plattenfläche verschiebbare Halter angeordnet sind, und den Steiigetrieben der Halter Signale zuführbar sind, die durch Vergleich von voreingestellten Soll-Werten mit von die Plattenoberfläche abtastei.den Meßeinrichtungen gelieferten Ist-Werten erzeugt werden, dadurch gekennzeichnet, daß oberhalb der Oberfläche (11 B) des Plättchens (11) rohrförmige Meßfühler (22) angeordnet sind, in denen auf die Plättchenoberfläche stromende Luft einen Staudruck aufbaut, und daß den Meßfühlern (22) VergJeJcher (30) zugeordne. sind, mh zwei, durch eine kontaktgebende Membran (35) getrennten Kammern (34A, 348), von denen eine mit dem Staudruck des Meßfühlers (22) und die andere mit einem vorgegebenen Druck beaufschlagt ist.
2. 2. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der rohrförmige Meßfühler (22) und die mit dem Soll-Druck beaufschlagte Kammer (34,4) des Vcrgleichers (30) mit einer gemeinsamen Druckluftzuführung (26) verbunden sind, und da!j die Kammer (34A) ein Ablaßventil (45) zur Einstellung des Soll-Druckes aufweist.
3. 3. Vorrichtung nach den Ansprüchen 1 und 2, dadurch gekennzeichnet, daß die den Vergleicher (30) in zwei Kammern (34A 34B) trennende Membran (35) auf beiden Seiten Kontaktflächen (36, 37) aufweist, denen in einstellbarem Abstand Kontaktflächen (4OA, 4iA) in den Außenwänden (32. 33) der Kammern gegenüberliegen, und daß über den jeweils geschlossenen Kontakt das Einstellgetnebe (60) des Plättchenhalters (15) in der einen oder anderen Richtung bewegbar ist.
4. 4. Vorrichtung nach den Ansprüchen Ί bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß die rohrförmigen Meßfühler (22) in ringförmigen Trägern (23) angeordnet sind und eine seitliche öffnung (22D) aufweisen, durch die über einen allen Meßfühlern eines Ringes gemeinsamen Kanal (24) die Luftzuführung erfolgt.
5. 5. Vorrichtung nach den Ansprüchen 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, daß die Meßfühler (22) gegenüberliegend zu den mit evakuierbaren Saugnäpfen (16) versehenen Haltern (15) des Halbleiterplättchens (11) angeordnet sind.
6. 6. Vorrichtung nach den Ansprüchen 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, daß die Meßfühler (22) und Vergleicher (30) in einem gemeinsamen Rahmen (21) angeordnet und auf einem schwenkbaren Arm (21/4) befestigt sind.