DE2264253A1 - Verfahren zur scharfeinstellung eines objektivs relativ zu rauhen oder glatten flaechen - Google Patents

Verfahren zur scharfeinstellung eines objektivs relativ zu rauhen oder glatten flaechen

Info

Publication number
DE2264253A1
DE2264253A1 DE19722264253 DE2264253A DE2264253A1 DE 2264253 A1 DE2264253 A1 DE 2264253A1 DE 19722264253 DE19722264253 DE 19722264253 DE 2264253 A DE2264253 A DE 2264253A DE 2264253 A1 DE2264253 A1 DE 2264253A1
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
optics
grating
probing
image
beam path
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
DE19722264253
Other languages
German (de)
English (en)
Inventor
Joerg Dipl Ing Wilhelm
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Ernst Leitz Wetzlar GmbH
Original Assignee
Ernst Leitz Wetzlar GmbH
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Ernst Leitz Wetzlar GmbH filed Critical Ernst Leitz Wetzlar GmbH
Priority to DE19722264253 priority Critical patent/DE2264253A1/de
Priority to FR7343803A priority patent/FR2212556B3/fr
Priority to JP14174873A priority patent/JPS4999047A/ja
Publication of DE2264253A1 publication Critical patent/DE2264253A1/de
Pending legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B27/00—Optical systems or apparatus not provided for by any of the groups G02B1/00 - G02B26/00, G02B30/00
    • G02B27/42—Diffraction optics, i.e. systems including a diffractive element being designed for providing a diffractive effect
    • G02B27/46—Systems using spatial filters
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B27/00—Optical systems or apparatus not provided for by any of the groups G02B1/00 - G02B26/00, G02B30/00
    • G02B27/40—Optical focusing aids

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
  • Mounting And Adjusting Of Optical Elements (AREA)
DE19722264253 1972-12-30 1972-12-30 Verfahren zur scharfeinstellung eines objektivs relativ zu rauhen oder glatten flaechen Pending DE2264253A1 (de)

Priority Applications (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE19722264253 DE2264253A1 (de) 1972-12-30 1972-12-30 Verfahren zur scharfeinstellung eines objektivs relativ zu rauhen oder glatten flaechen
FR7343803A FR2212556B3 (OSRAM) 1972-12-30 1973-12-07
JP14174873A JPS4999047A (OSRAM) 1972-12-30 1973-12-18

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE19722264253 DE2264253A1 (de) 1972-12-30 1972-12-30 Verfahren zur scharfeinstellung eines objektivs relativ zu rauhen oder glatten flaechen

Publications (1)

Publication Number Publication Date
DE2264253A1 true DE2264253A1 (de) 1974-07-04

Family

ID=5865835

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE19722264253 Pending DE2264253A1 (de) 1972-12-30 1972-12-30 Verfahren zur scharfeinstellung eines objektivs relativ zu rauhen oder glatten flaechen

Country Status (3)

Country Link
JP (1) JPS4999047A (OSRAM)
DE (1) DE2264253A1 (OSRAM)
FR (1) FR2212556B3 (OSRAM)

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5081364A (en) * 1990-11-26 1992-01-14 Ncr Corporation Multifocal scanning system

Also Published As

Publication number Publication date
FR2212556A1 (OSRAM) 1974-07-26
FR2212556B3 (OSRAM) 1976-10-15
JPS4999047A (OSRAM) 1974-09-19

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE2156617C3 (de) Einrichtung zur Bestimmung der Lage der Ebene maximaler Amplitude einer Ortsfrequenz, beispielsweise bei einem Entfernungsmesser
DE2260474C3 (de) Verfahren und Einrichtung zur Scharfeinstellung eines Objektivs
DE1548707C3 (de) Fotoelektrischer Schrittgeber
DE3707331A1 (de) Interferometer zur messung von optischen phasendifferenzen
DE2934263C3 (de) Verfahren und Vorrichtung zur automatischen Messung der Scheitelbrechwerte in den Hauptschnitten torischer Brillengläser
EP0112399A1 (de) Interferometrisches Messverfahren für Oberflächen
DE1547403A1 (de) Auswerteverfahren fuer Interferometer
DE2602158A1 (de) Lichtinterferenzgeraet
EP0218151B1 (de) Messverfahren und Vorrichtung zur berührungslosen Durchmesserbestimmung dünner Drähte
DE2451994A1 (de) Verfahren und anordnung zur erzeugung photoelektrischer signale
EP0819966B1 (de) Lichtprojektionsanordnung mit einem Linsenplattenintegrator
DE2144487A1 (de) Einrichtung zur beruehrungslosen messung
DE2264253A1 (de) Verfahren zur scharfeinstellung eines objektivs relativ zu rauhen oder glatten flaechen
DE1804028C3 (de) Ablesevorrichtung für Meßteilungen oder andere periodische Objekte
DE2059502B2 (de) Optische Tastvorrichtung zur Bestimmung der Lage einer ebenen oder sphärischen Oberfläche eines strahlenreflektierenden Objekts
DE2221894C2 (de) Einrichtung zur Geschwindigkeitsmessung aufgrund der Dopplerfrequenzverschiebung einer Meßstrahlung
EP0222787A1 (de) Verfahren und anordnung zur ausrichtung, prüfung und/oder vermessung zweidimensionaler objekte.
DE2241443A1 (de) Verfahren zum automatischen fotoelektrischen einfang von lokalen aenderungen optisch wirksamer objektstrukturen sowie einrichtungen zu seiner durchfuehrung
DE927239C (de) Verfahren und Einrichtung zur objektiven Scharfeinstellung von durch optische Systeme entworfenen Bildern
DE895914C (de) Anordnung zur mehrfachen Abtastung der Teilbilder eines stetig bewegten Films
DE1099212B (de) Verfahren zur Empfindlichkeitsveraenderung bei interferometrischen Messverfahren
DE589045C (de) Messgeraet
DE2330940C3 (de) Verfahren und Einrichtungen zur fotoelektrischen Bestimmung der Lage mindestens einer Schärfenebene eines Bildes
DE2922839A1 (de) Anordnung zur erzeugung von mindestens einem koplanaren paar mit langzeitig stabil einstellbarem durchdringungswinkel
DE1623789C3 (de) Vorrichtung zum Bestimmen der Verschiebung eines Einzelteils eines Werkzeugs mit Hilfe mindestens eines mit dem Einzelteil mechanisch fest verbundenen beweglichen Rasters