DE2258007A1

DE2258007A1 - CLAMPING DEVICE

Info

Publication number: DE2258007A1
Application number: DE19722258007
Authority: DE
Inventors: Italo Dr Caroli
Original assignee: Unicast Technologies Inc
Current assignee: Unicast Technologies Inc
Priority date: 1972-05-01
Filing date: 1972-11-27
Publication date: 1973-11-22
Also published as: JPS4921779A; FR2182787B1; IT974867B; FR2208757A2; FR2182787A1

Description

Patentanwalt Dipl.-Phys. Gerhard Liedl 8 München 22 Steinsdorfstr.21-22 Tel.29 8462Patent attorney Dipl.-Phys. Gerhard Liedl 8 Munich 22 Steinsdorfstrasse 21-22 Tel. 29 8462

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DBM Industries Ltd. ,of 10340 Cote de Liesse Road, Lachine 620, Quebec, CanadaDBM Industries Ltd. , of 10340 Cote de Liesse Road, Lachine 620, Quebec, Canada

E infeed device

Die Erfindung betrifft ein Verfahren und eine Vorrichtung zur Erzeugung einer Haltekraft, die ein Werkstück fest in einer gewünschten Lage hält. Die Erfindung bezieht sich insbesondere auf eine Vorrichtung zum lösbaren Befestigen bzw. Haltern eines Werkstückes in einer gewünschten Lage mit einem Bodenteil, an dessen einer Oberfläche das Werkstück lagert, mit einer an dieser Oberfläche in einem bestimmten Muster an-The invention relates to a method and a device for generating a holding force that holds a workpiece firmly in a desired position. The invention relates in particular to a device for releasable Fastening or holding a workpiece in a desired position with a bottom part, on one surface of which the workpiece with a certain pattern on this surface.

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geordneten Abdichteinrichtung zur Bildung einer Vielzahl abgegrenzter Zonen und mit einer im Bodenteil vorgesehenen Durchlaßeinrichtung, die zum Anschluß an unteratmosphärischen Druck mit einer Unterdruckquelle verbindbar ist.ordered sealing device to form a large number of delimited Zones and with a passage device provided in the bottom part, which is used for connection to subatmospheric pressure with a negative pressure source is connectable.

Es sind verschiedene magnetische sowie mit Vakuum arbeitende Einspannvorrichtungen bekannt. Magnetische Einspannvorrichtungen sind selbstverständlich in ihrem Anwendungsbereich dahingehend beschränkt, als sie lediglich solche Werkstücke haltern können, die aus einem Material mit magnetischen Eigenschaften bestehen. Vakuumeinspannvorrichtungen sind insofern etwas vielseitiger anwendbar, als hieran Werkstücke aus fast jedem beliebigen Material gehaltert werden können, insbesondere wenn das Material luftundurchlässig ist. Vakuumeinspannvorrichtungen finden daher eine relativ große Anwendung zum Baltern von sperrigen oder bahn- bzw. bogenförmigen metallenen Werkstücken, Glasscheiben oder Kunststoffbögen, Holz, Leder und dergleichen. Ein den bekannten Vakuumeinspannvorrichtungen schon seit langer Zeit eigener Nachteil liegt darin begründet, daß es nicht leicht ist, die Vorrichtung an aufeinander folgende Werkstücke von ungleicher Größe und/oder Form anzupassen. Im einzelnen weisen hierzu die bekannten Vakuumeinspannvorrichtungen Abdichtstreifen auf, die sich in entsprechend ausgebildeten Nuten oder Kanälen in der das Werkstück tragenden Oberfläche der Einspannvorrichtung befinden. Es sind hierbei Bohrlöcher vorgesehen, die über eine den Nuten zugeordnete Verteilerkammer mit einer Vakuumquelle in Verbindung stehen. Hierdurch kann ein Vakuum geschaffen werden, welches das Werkstück festhält. Der Abdichtstreifen muß jedoch zuvor derart in die Nuten eingesetzt werden, daß seine Ausbildung im allgemeinen der Form des Werkstückes entspricht oder zumindest vollständig hiervon abgedeckt wird. Jedesmal, wenn sich die Größe oder Form eines Werkstückes ändert, muß der Abdichtstreifen nach BedarfThere are various magnetic and vacuum clamping devices known. Magnetic clamping devices are of course limited in their field of application to the effect that than they can only hold workpieces made of a material with magnetic properties. Vacuum chucks are somewhat more versatile in that they can be used to hold workpieces made of almost any material, in particular if the material is impermeable to air. Vacuum clamping devices therefore find a relatively large application for holding bulky ones or sheet or arc-shaped metal workpieces, glass panes or plastic sheets, wood, leather and the like. A well-known one Vacuum chucks have long had their own drawback is that it is not easy to attach the jigs to one another adapt the following workpieces of unequal size and / or shape. In detail, the known vacuum clamping devices have sealing strips for this purpose, which are designed accordingly Grooves or channels are located in the workpiece-bearing surface of the clamping device. There are boreholes provided here, which are in communication with a vacuum source via a distribution chamber assigned to the grooves. This can create a vacuum, which holds the workpiece in place. However, the sealing strip must first be used in the grooves that its training in generally corresponds to the shape of the workpiece or is at least completely covered by it. Every time the size or If the shape of a workpiece changes, the sealing strip must be used as required

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manuell verstellt werden, da ansonsten keine wirksame Vakuumkammer ausgebildet werden kann. Die bekannten Vakuumeinspannvorrichtungen sind außerdem häufig in ihrer Größe begrenzt. Diese Begrenzung beruht zürn Teil darauf, daß nicht immer Vakuumpumpen von entsprechender Leistung hinsichtlich der pro Minute abzusaugenden Luftmenge zur Verfügung stehen. Dies bedeutet häufig, daß beispielsweise in einigen Fällen Vakuumeinspannvorrichtungen von geeigneter Größe oder Fläehe nicht verwendet werden können, da entweder leistungsfähige Vakuumpumpen nicht zur Verfugung stehen oder derart teuer sind, daß sich ihre Anwendung nicht rechtfertigt.can be adjusted manually, otherwise there is no effective vacuum chamber can be trained. The known vacuum clamping devices are also often limited in size. This limitation is partly due to the fact that vacuum pumps are not always of the appropriate type Performance in terms of the amount of air to be extracted per minute are available. This often means that, for example, in some cases Vacuum chucks of suitable size or area cannot be used as either powerful vacuum pumps are not available or are so expensive that their use is not justified.

Der Erfindung liegt daher die Aufgabe zugrunde, diese Nachteile zu beseitigen und ein Verfahren sowie eine Vorrichtung der eingangs genannten Art zu schaffen, mittels der ein Werkstück sieher an der Vorrichtung gehalten werden kann, und zwar mittels Kräften, die aufgrund eines Druckunterschiedes zwischen dem Umgebungsdruck und einer Druckkammer geschaffen werden. Die zu schaffende Vakuumeinspannvorrichtung soll ein Werkstück fest, jedoch lösbar in seiner Lage halten können, ohne daß es erforderlich ist, daß die an einer das Werkstück haltenden Oberfläche vorgesehenen Abdichtung Bei wechselnder Größe und/oder Form der Werkstücke verändert werden müssen.The invention is therefore based on the object of eliminating these disadvantages and to create a method and a device of the type mentioned at the outset, by means of which a workpiece can be seen on the device can be held, namely by means of forces due to a pressure difference between the ambient pressure and a pressure chamber be created. The vacuum chuck to be created should be able to hold a workpiece firmly but detachably in its position, without it being necessary that the seal provided on a surface holding the workpiece changes in size and / or The shape of the workpieces must be changed.

Die Merkmale des zur Lösung dieser Aufgabe vorgesehenen Verfahrens und der Vorrichtung gemäß der Erfindung ergeben sich aus den Ansprüchen. The characteristics of the method envisaged to solve this problem and the device according to the invention emerge from the claims.

Gemäß einer Ausführungsform der Erfindung zeichnet sich die Vorrichtung der eingangs genannten Art dadurch aus, daß auf der Bodenteiloberfläche in jeder abgegrenzten Zone eine hierin eine Vertiefung bildende Einrichtung vorgesehen ist, die mit der Abdichteinrichtung sowie mitAccording to one embodiment of the invention, the device is distinguished of the type mentioned in that on the bottom part surface in each delimited zone a means forming a recess is provided therein, which means with the sealing means as well as with

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einem die Abdichteinrichtung berührenden und wenigstens eine der Zonen bedeckenden Werkstück zur Bildung einer Druckkammer zusammenwirkt und mit der Durchlaßeinrichtung in Strömungsverbindung steht, und daß in jeder Durchlaßeinrichtung eine Einrichtung zur Drosselung des Luftstromes angeordnet ist, die, unabhängig davon, ob alle Zonen auf der Bodenteiloberfläche vom Werkstück abgedeckt sind, kontinuierlich eine gesteuerte, zur Aufrechterhaltung des Unterdruckes in jeder Druckkammer ausreichende Luftmenge hindurchläßt, wobei die durch sämtliche Drosseleinrichtungen hindurchgeleitete gesteuerte Luftmenge ein Gesamtvolumen besitzt, das geringer ist als das volumetrische Leistungsvermögen der Unterdruckcpelle. Die Drosseleinrichtung weist vorzugsweise einen Stopfen aus porösem Material auf, das eine mittlere Porengröße von weniger als 15 Mikron besitzt. Gemäß einer anderen bevorzugten Ausführungsform weist die Drosseleinrichtung einen Einsatz aus gesintertem, porösem, rostfreiem Stahl auf, dessen mittlere Porengröße in der Größenordnung von etwa 5 Mikron liegt. Selbstverständlich sind auch andere Ausführungsformen möglich. So kann beispielsweise eine Ventilanordnung verwendet werden, bei der durch das Ventil eine gesteuerte Luftmenge strömen kann. Es kann statt dessen aber auch eine kleine Öffnung verwendet werden, bei der die Länge wenigstens das 25-fache des wirksamen Durchmessers beträgt. Es kommt in jedem Fall darauf an, lediglich eine Drosseleinrichtung vorzusehen, durch die eine gesteuerte Luftmenge strömt. Der Strom dieser kontrollierten Luftmenge muß ausreichend groß sein, um unabhängig davon, ob alle abgegrenzten Zonen tatsächlich von der Werkstückfläche abgedeckt sind, in einem Zwischenraum einen Unterdruck zu erzeugen, wobei dieser Raum gebildet ist zwischen einer Oberfläche des Werkstückes, zwischen der Oberfläche, an der das Werkstück gehaltert ist, und zwischen wenigstens einer abgegrenzten Zone, die durch die von der Bodenteiloberfläche getragenen Abdichteinrichtungen sowie durch die Höhlungen oder Vertiefungen in jeder dieser Zonen gebildet ist.one of the zones in contact with the sealing device and at least one of the zones covering workpiece cooperates to form a pressure chamber and is in flow connection with the passage device, and that in each passage device a device for throttling of the air flow is arranged, which, regardless of whether all zones on the bottom part surface are covered by the workpiece, continuously a controlled, sufficient to maintain the negative pressure in each pressure chamber passes through the air volume, the through controlled air volume passed through all throttle devices has a total volume which is less than the volumetric Capacity of the vacuum cell. The throttle device has preferably a plug of porous material having an average pore size of less than 15 microns. According to another preferred Embodiment, the throttle device has an insert made of sintered, porous, stainless steel, the mean pore size of which is on the order of about 5 microns. Of course, other embodiments are also possible. For example a valve arrangement can be used in which a controlled amount of air can flow through the valve. But it can also be used instead a small opening can be used, the length of which is at least 25 times the effective diameter. It comes in everyone It is a matter of providing only a throttle device through which a controlled amount of air flows. The stream of these controlled The amount of air must be large enough to ensure that, regardless of whether all delimited zones are actually covered by the workpiece surface, to generate a negative pressure in an intermediate space, this space being formed between a surface of the workpiece, between the surface on which the workpiece is held and between at least one delimited zone which is defined by the surface of the base part carried sealing means as well as the cavities or depressions formed in each of these zones.

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Durch die erfindungsgemäße Vakuumeinspannvorrichtung werden die Nachteile der bekannten Einrichtung vollkommen beseitigt. Die Vorrichtung gemäß der Erfindung ist weder in ihrer Größe noch in ihrer . Form beschränkt. Darüber hinaus ist es nicht mehr erförderlich, die Ausbildung bzw. Anordnung der bei den bekannten Vorrichtungen in den Nuten vorgesehenen Abdichteinr leitungen zu ändern. Das hat zur Folge, daß die Gefahr eines Luftverlustes aufgrund schlechtsitzender Dichtungen oder einer Zerstörung oder sogar eines Bruchs der Abdichteinrichtung selbst weitgehend vermindert ist. Die Vorrichtung eignet sich darüber hinaus äußerst gut zur Handhabung von magnetischem oder unmagnetischem Metall, Kunststoff, geschichteten Stücken, Holz, Glas in Scheibenform, Leder, Vinylbögen, Papier und anderen solchen weitgehend nichtporösen Materialien.The vacuum clamping device according to the invention completely eliminates the disadvantages of the known device. The device according to the invention is neither in their size nor in their. Form restricted. In addition, it is no longer necessary that To change the training or arrangement of the sealing devices provided in the grooves in the known devices. This has the consequence that the risk of air loss due to poorly fitting seals or destruction or even breakage of the sealing device itself is largely reduced. The device is suitable over it Also extremely good for handling magnetic or non-magnetic metal, plastic, layered pieces, wood, glass in Disc shape, leather, vinyl sheets, paper and other such largely non-porous materials.

Die Einspannvorrichtung kann auf sehr verschiedene Weise angewendet werden. So kann die Vorrichtung beispielsweise die Form einer Vakuumeinspannvorrichtung aufweisen, wie sie in heutigen mechanischen Werkstätten verwendet werden. Hierbei wird die Vorrichtung dazu verwendet, um ein Werkstück fest in einer gewünschten Position zu halten. Das gehaltene bzw. eingespannte Werkstück kann sodann bearbeitet werden, wobei eine Fräsmaschine, eine Bohrmaschine, eine Bohrbank, eine Schneidemaschine, eine Schrämmaschine, eine Schleifmaschine, eine Poliermaschine oder eine große Vielzahl anderer solcher Werkzeugmaschinen zur Anwendung gelangen kann. Statt dessen kann die erfindungs gemäße Vorrichtung auch eine Ausführungsform aufweisen, die häufig als "Vakuumbett" bezeichnet wird. Die Fläche solch eines Vakuumbettes kann sehr groß sein und beispielsweise an der Oberfläche in derThe jig can be used in very different ways will. For example, the device can be in the form of a vacuum chuck as they are used in today's mechanical workshops. Here, the device is used to to hold a workpiece firmly in a desired position. The held or clamped workpiece can then be processed, with a milling machine, a drill, a drill bench, a Cutting machine, a cutting machine, a grinding machine, a polishing machine or a wide variety of other such machine tools can be used. Instead, the fiction, contemporary Apparatus also have an embodiment which is often referred to as a "vacuum bed". The area of such a vacuum bed can be very large and, for example, on the surface in the

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Größenordnung von mehreren m liegen. Solch eine Vorrichtung wird sehr häufig zur Handhabung von Werkstücken in Platt- oder Bogenform verwendet.ο
Order of magnitude of several meters. Such a device is very often used for handling workpieces in a flat or arched form.

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Im Gegensatz zur bisherigen Annahme ist es nicht erforderlich, daß ein Vakuumsystem völlig luftdicht ist, um in der wünschenswerten Weise zu funktionieren. So wurde erfindungsgemäß gefunden, daß sich bedeutende Vorteile mit einer Anordnung in einem Vakuumsystem erzielen lassen, bei dem die Durchlässe, durch die hindurch ein Vakuum oder der Unterdruck angesaugt wird, vorsätzlich zur Atmosphäre hin off engelassen werden, und zwar über eine Drosseleinrichtung, die lediglicheine gesteuerte Luftmenge hindurchströmen läßt. Der Durchlaß lediglich einer gesteuerten Luftmenge ermöglicht es, daß in einer Druckkammer ein Unterdruck angesaugt und aufrechterhalten wird, wobei diese Druckkammer zum Teil durch eine "abgegrenzte Zone" begrenzt und bei der ihre eine Wand von einer Oberfläche des Werkstückes gebildet ist. Dieser Unterdruck läßt sich unabhängig davon aufrechterhalten, ob andere abgegrenzte Zonen tatsächlich nicht abgedeckt und daher zur Atmosphäre geöffnet sind. Es ist lediglich erforderlich, daß die gesteuerte Luftmenge, die bei einer besonderen Ausführungsform der Erfindung durch sämtliche Drosseleinrichtungen hindurchgeleitet wird, ein Gesamtvolumen besitzt, welches das volumetrische Leist^^^iormögen der Vakuumpumpe, des Sauggebläses oder einer anderen zum Ansaugen des Unterdruckes verwendeten Vorrichtung nicht überschreitet.Contrary to the previous assumption, it is not necessary that a vacuum system is completely airtight in order to function in the desirable manner. According to the invention it was found that significant Can be achieved advantages with an arrangement in a vacuum system, in which the passages through which a vacuum or the negative pressure is sucked in, deliberately let it open to the atmosphere, via a throttle device which is only one allows controlled air volume to flow through. The passage of only a controlled amount of air enables that in a pressure chamber a negative pressure is sucked in and maintained, this pressure chamber being limited in part by a "demarcated zone" and one wall of which is formed by a surface of the workpiece is. This negative pressure can be maintained regardless of whether other demarcated zones are in fact not covered and therefore open to the atmosphere. It is only necessary that the controlled Amount of air that is passed through all throttle devices in a particular embodiment of the invention, possesses a total volume, which the volumetric power ^^^ iormögen the vacuum pump, the suction fan or any other device used to suck in the negative pressure.

Die Erfindung wird im folgenden in Form mehrerer bevorzugter Ausführungsbeispiele anhand der Zeichnung erläutert. Diese zeigt in:The invention is described below in the form of several preferred exemplary embodiments explained with reference to the drawing. This shows in:

Fig. 1 perspektivisch eine aufgeschnittene Teilansicht einer Ausführungsform der Einspannvorrichtung;Fig. 1 is a perspective cut-away partial view of an embodiment the jig;

Fig. 2 eine abgewandelte Ausführungsform hiervon und Fig. 3 eine weitere abgewandelte Ausführungsform;FIG. 2 shows a modified embodiment thereof and FIG. 3 shows a further modified embodiment;

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Fig. 4 eine perspektivische teilweise aufgeschnittene Ansicht der Vakuumeinspannvorrichtung;Fig. 4 is a perspective partially cut-away view of the vacuum chuck;

Fig. 5 perspektivisch eine abgewandelte Ausführungsform der Vorrichtung gemäß Fig. 4;5 shows a modified embodiment of the device in perspective according to FIG. 4;

Fig. 6 perspektivisch eine weitere abgewandelte Ausführungsform der Vakuumeinspannvorrichtung,·6 shows a further modified embodiment in perspective the vacuum chuck,

Fig. 7 perspektivisch im Schnitt eine bevorzugte Ausführungsfoi'm der Erfindung;7 is a perspective section of a preferred embodiment the invention;

Fig. 8 eine für die Ausführungsform gemäß Fig. 7 vorgesehene Drosseleinrichtung in Draufsicht und8 shows a throttle device provided for the embodiment according to FIG. 7 in plan view and FIG

Fig. 9 · in Seitenansicht;9 in a side view;

Fig. 10 eine weitere bevorzugte Ausführungsform der Erfindung im Schnitt sowieFig. 10 shows a further preferred embodiment of the invention in Cut as well

Fig. 11 in Draufsicht undFig. 11 in plan view and

Fig. HA in Draufsicht eine gegenüber der Vorrichtung gemäß Fig. abgewandelte Ausführungsform.Fig. HA in plan view of an embodiment modified compared to the device according to FIG.

Aus Fig. 1 bis 3 ist ein Teil eines Bodenteils 10 ersichtlich, das die Form einer Bodenabdeckplatte aufweist. Die Platte 10 ist häufig aus rostfreiem Aluminiumstahl oder aus einem anderen geeigneten festen starren Material in nichtporöser Form gefertigt. Die Platte 10 kann, eine Vielzahl möglicher Größen aufweisen und zur Anwendung bei einerFrom Fig. 1 to 3, a part of a bottom part 10 can be seen, which the Has the form of a bottom cover plate. The plate 10 is often off stainless aluminum steel or some other suitable solid made of rigid material in a non-porous form. The plate 10 can, have a variety of possible sizes and for use in a

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Vakuumeinspannvorrichtung des häufig bei modernen Werkstätten verwendeten Typs die Abmessungen 15 x. 30 cm aufweisen, Statt dessen kann die Platte 10 aber auch beträchtlich größer sein und beispielsweise Abmessungen hinsichtlich ihrer Breite und/oder Länge in der Größenordnung von 30 oder 60 cm, ja sogar mehreren Metern Länge besitzen. Bi diesen Fällen bildet die Platte 10 eine Bettplätte, die sich zur Handhabung von Bögen oder Bahnen aus Kunststoffolie, Glas, Holz, Papier oder dergleichen weitgehend unporösem Material eignet.Vacuum clamping device of the type often used in modern workshops, the dimensions 15 x. 30 cm, but instead the plate 10 can also be considerably larger and, for example, have dimensions in terms of its width and / or length of the order of 30 or 60 cm, even several meters in length. In these cases, the plate 10 forms a bed plate which is suitable for handling sheets or webs made of plastic film, glass, wood, paper or the like, largely non-porous material.

Wie aus Fig. 1 ersichtlich, ist an dem Bodenteil 10 eine erste und nach außen gerichtete Oberfläche 12 mit einer "Vertiefungsbildungseinrichtung" in Form von Riefen oder Unvollkommenheiten 14 vorgesehen^ d Ie sich naturgemäß dann ergeben, wenn die Oberfläche 12 durch maschinelle Bearbeitung oder Schleifen gebildet worden ist. Diese Riefen oder Unvollkommenheiten 14 sind in der Zeichnung der besseren Deutlichkeit wegen erheblich vergrößert dargestellt. Diese Vertiefungsbildungseinrichtung kann auch die Form bewußt hergestellter Ausnehmungen 16 annehmen, wie aus Fig. 2 ersichtlich. Sie kann auch mit einem abgeschrägten, kegelförmigen Ventilsitz 18, wie aus Fig. 3 ersichtlich, kombiniert sein. Die genaue Form und Tiefe dieser Vertiefungsbildungseinrichtungen 14, 16 oder 18 ist bis zu einem gewissen Ausmaß frei Wählbar, wie sich aus der weiter unten stehenden Beschreibung ergibt,As can be seen from Fig. 1, on the bottom part 10 is a first and after outwardly facing surface 12 with a "dimple forming device" provided in the form of grooves or imperfections 14 ^ d Ie naturally arise when the surface 12 has been formed by machining or grinding. These shouts or Imperfections 14 are shown significantly enlarged in the drawing for better clarity. This deepening facility can also take the form of deliberately produced recesses 16, as can be seen from FIG. You can also use a beveled, conical valve seat 18, as can be seen from Fig. 3, combined be. The exact shape and depth of these pit-forming devices 14, 16 or 18 is to a certain extent freely selectable, such as yourself from the description below,

Die nach außen gerichtete Oberfläche 12 ist außerdem mit absichtlich gebildeten Nuten oder Kanälen 20 versehen^ die derart angeordnet und ausgebildet sind, daß sie in einem bestimmten ausgewählten Muster Abdichteinrichtungen 22 aufnehmen, die ihrerseits eine Reihe abgegrenzter Zonen bilden. Die Dichtungen 22 sind lösbar in die Kanäle 20 eingesetzt^ vorzugsweise dort durch die Reibung der leicht zusammengepreßten und eingesetzten Dichtungen 22 gehalten. Die Dichtungen 22 können aus einemThe outward facing surface 12 is also intentional formed grooves or channels 20 provided ^ which are so arranged and are designed to have sealing devices in a certain selected pattern 22 record, which in turn form a series of demarcated zones. The seals 22 are releasably inserted into the channels 20 ^ preferably held there by the friction of the slightly compressed and inserted seals 22. The seals 22 can consist of a

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Material wie beispielsweise Bartgummi von 40° - 50° Shorehärte bestehen, das bei Bedarf zermahlen bzw. geschliffen werden kann. Statt dessen kann auch ein Hartgummi in Kombination mit einem sehr viel weicheren schaumähnlichen Gummi gebunden werden, das in die Kanäle 20 eingesetzt ist. In jedem Fall weist die Äbdichteinrichtung 22 eine Elastizität auf, die ein leichtes Anpassen sowie Abdichten gegenüber der zugehörigen Oberfläche eines Werkstückes ermöglicht, das an der Oberfläche 12 gehaltert oder gelagert ist. Die entsprechende zugehörige Oberfläche des Werkstückes weist häufig ebenfalls Unvollkommenheiten auf, die den aus Fig. 1 ersichtlichen Unvollkommenheiten 14 ähnlich sind und in Kombination zusammen mit den in der Oberfläche 12 vorliegenden Unvollkommenheiten 14 einen Zwischenraum oder eine Höhlung ergeben, aus der die Luft dann evakuiert wird. Wenn daher ein Werkstück auf das Bodenteil 10 gelegt bzw. gesetzt wird, drückt es die Dichtungen 22 wenigstens teilweise zusammen. Die entsprechende Oberfläche des Werkstückes muß wenigstens eine der oben erwähnten abgegrenzten Zonen abdecken, wobei sie mit der Oberfläche 12 sowie mit der hierin enthaltenen Vertiefungsbildungseinrichtung zusammenwirkt und eineMaterial such as beard rubber with a shore hardness of 40 ° - 50 °, which can be ground or sanded if necessary. Instead, a hard rubber can be combined with a lot softer foam-like rubber that is bound into the ducts 20 is used. In any case, the sealing device 22 has an elasticity that can be easily adapted and sealed allows the associated surface of a workpiece that is attached to the Surface 12 is supported or stored. The corresponding associated surface of the workpiece often also has imperfections which are similar to the imperfections 14 shown in FIG. 1 and in combination with those present in the surface 12 Imperfections 14 provide a space or cavity from which the air is then evacuated. Therefore, if a workpiece is placed or set on the bottom part 10, it presses the seals 22 at least partially together. The corresponding surface of the workpiece must be delimited at least one of the above-mentioned Cover zones, wherein it cooperates with the surface 12 as well as with the recess forming device contained therein and a

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Druckkammer 24 bildet. Es ergibt m jedem Fall dann eine Druckkammer 24, wenn die entsprechende Oberfläche des Werkstückes eine der abgegrenzten Zonen vollständig abdeckt. Demgemäß bildet auch die zugehörige Oberfläche des Werkstückes eine Fläche oder Wand jeder derart geformten Druckkammer 24. Wie aus Fig. 1 ersichtlich, wird die Druckkammer 24 wenigstens zum Teil durch die wahllos verlaufenden oder in ihrem Verlauf absichtlich gewählten Riefen oder Unvollkommenheiten 14 gebildet. Gemäß Fig. 2 wird die Druckkammer 24 größtenteils durch die maschinell hergestellte Ausnehmung 16 gebildet. Demgegenüber bildet bei der Ausführungsform gemäß Fig. 3 der Raum oberhalb des kegelförmigen Ventilsitzes 18 den überwiegenden Teil dieser Druckkammer 24. In jedem dieser Fälle ergibt sich die Ausbildung einerPressure chamber 24 forms. It then results in a pressure chamber in each case 24 when the corresponding surface of the workpiece completely covers one of the delimited zones. Accordingly, the associated Surface of the workpiece is a surface or wall of each pressure chamber 24 shaped in this way. As can be seen from FIG. 1, the Pressure chamber 24 at least in part due to the indiscriminate or deliberately chosen grooves or imperfections in their course 14 formed. According to FIG. 2, the pressure chamber 24 is largely formed by the machine-made recess 16. In contrast In the embodiment according to FIG. 3, the space above the conical valve seat 18 forms the predominant part of this pressure chamber 24. In each of these cases the formation of one arises

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Druckkammer, aus der Luft abgesaugt werden soll, lediglich aufgrund derjenigen abgegrenzten Zonen, die vollständig von der zugehörigen Werkstückoberfläche, die den die hier in Rede stehendenabgegrenzten Zone begrenzenden Abdichtungen 22 anliegt, abgedeckt sind.Pressure chamber, from which air is to be sucked out, only due to of those demarcated zones that are completely separate from the associated Workpiece surface, which rests against the seals 22 delimiting the delimited zone in question here, are covered.

Unabhängig von ihrer jeweils besonderen Ausbildung ist jede abgegrenzte Zone und/oder Druckkammer 24 mittels eines Durchlasses 26 mit einer Verteilerkammer 28 in einem Sockel 30 verbunden, wie aus Fig. 4 ersichtlich. Es ist von Vorteil, den Sockel 30 als große Kammer, die evakuiert werden kann, in der Nähe der Durchlässe 26 vorzusehen. Der sich aus solch einer Ausbildung ergebende Vorteil liegt darin, daß jeder mögliche Luftleckverlust an den Abdichtungen 22, die mit der zugehörigen Oberfläche des am Bodenteil 10 gehaltenen Werkstückes in Eingriff stehen, auf ein Minimum reduziert wird. Wie aus Fig. 5 ersichtlich, ist es statt dessen auch möglich, ein Bodenteil 32 mit Nuten und Kanälen 34, 36 vorzusehen, die untereinander verbunden sind und mit einer Unterdruckquelle,. beispielsweise einer Vakuumpumpe, verbunden werden können. Aus Gründen der besseren Übersichtlichkeit ist der in Fig. und 5 gezeigte Sockel 30 oder 32 bei den Ausführungsformen gemäß Fig. bis 3 nicht dargestellt. Wie insbesondere aus Fig. 4 ersichtlich, ist die Bodenabdeckplatte 10 mit dem Sockel 30 abgedichtet verbunden. Selbstverständlich kann an wenigstens einem Auslaß der Verte ilerkammer 28 eine sogenannte "Schnellverbinderkupplung" vorgesehen werden. Mit diesen Kupplungen ist es möglich, den Sockel 30 und insbesondere die Verteilerkammer 28 schnell mit einer Unterdruckquelle in Form eines Sauggebläses, einer Vakuumpumpe oder dergleichen zu verbinden oder hiervon zu trennen. Bei den beschriebenen Ausführungsformen kann es jedoch gentigen, die Unterdruckquelle direkt oder aber unter Zwischenschaltung eines weiteren Teils, beispielsweise einer Venturidüse, wirken zu lassen, um hierdurch in der Verte iler kammer 28 einen Unterdruck zu erzeugen und aufrecht zu erhalten. Das Ausmaß des in derRegardless of their particular training, each is delimited Zone and / or pressure chamber 24 connected by means of a passage 26 to a distribution chamber 28 in a base 30, as can be seen from FIG. 4. It is advantageous to provide the base 30 as a large chamber that can be evacuated in the vicinity of the passages 26. Of the The benefit of such a configuration is that any possible air leakage from the seals 22 associated with the associated Surface of the workpiece held on the bottom part 10 is in engagement, is reduced to a minimum. As can be seen from Fig. 5, it is instead also possible to have a bottom part 32 with grooves and channels 34, 36 to be provided, which are connected to one another and to a vacuum source. for example a vacuum pump can. For the sake of clarity, the base 30 or 32 shown in FIGS. 1 and 5 is in the embodiments according to FIG. to 3 not shown. As can be seen in particular from FIG. 4, the Floor cover plate 10 is connected to the base 30 in a sealed manner. Of course can at least one outlet of the distribution chamber 28 a so-called "quick connector coupling" can be provided. With these couplings, it is possible to use the base 30 and in particular the Distribution chamber 28 to quickly connect or the like to a negative pressure source in the form of a suction fan, a vacuum pump or the like to separate from this. In the embodiments described, it can however, the negative pressure source can be used directly or with the interposition a further part, for example a Venturi nozzle, to act in order to thereby create a negative pressure in the distributor chamber 28 to generate and maintain. The extent of the in the

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VerteilerMmmer 2$ erzeugten Unterdruckes öder Vakuums ist eine Funktion von mehreren Veränderlichen^ die weiter unten kurz »erHau*· tert werden.Manifold 2 $ generated negative pressure or vacuum is one Function of several variables ^ which are briefly mentioned below. be tert.

Aus Fig. 1 bis 4 ist deutlich der Strömungsverbindungsweg von jeder Druckkammer 24 über die Drosseleinrichtung und die Durchlässe 26 zur Verteiler kammer 28 gemäß Fig. 4 ersichtlich. Wenn die Verteilerkatnmer 28 oder ihr entsprechender Kanal 36 gemäß Fig. 5 an eine Vakuumpumpe angeschlossen wird, so kann diese Vakuumpumpe in der Verteilerkammer einen Unterdruck erzeugen. Wie schon erwähnt, war es bis* her in vielen Fällen erforderlich, die Lage eines in den Nuten 20 angeordneten Abdichtstreifens erneut zu korrigieren und an aufeinander folgende Werkstücke anzupassen, die unterschiedliche Größe und/oder Form aufwiesen. Diese Lagekorrektur war erforderlich, damit zwischen einer Druckkammer, deren Form und Größe entsprechend der Form oder Größe des Werkstückes schwankte, und zwischen der Atmosphäre ein ausreichend hohes Vakuum oder ein Druckunterschied erzeugt werden konnte. Mittels der Kräfte, die sich aus diesem Druckunterschied ergaben, wurde das Werkstück an seinem Platz gehalten. Die Lagekorrektur der Abdichtung 1st jedoch äußerst zeitraubend. Sie trägt außerdem zu einer bedeutend erhöhten Abnutzung der Abdichtung bei und erzeugt ernstliche Schwierigkeiten im Hinblick auf eine leistungsfähige Produktion, wenn bekannte Vakuumeinspannvorrichtungen dazu verwendet werden, um Werkstücke zu haltern, die durch Werkzeugmaschinen bearbeitet oder behandelt werden sollen.From Figs. 1 to 4, the flow communication path of each is clear Pressure chamber 24 via the throttle device and the passages 26 to Distributor chamber 28 as shown in FIG. 4 can be seen. If the distribution list 28 or its corresponding channel 36 according to FIG. 5 to a vacuum pump is connected, this vacuum pump can generate a negative pressure in the distribution chamber. As already mentioned, it was until * In many cases, it is necessary to correct the position of a sealing strip arranged in the grooves 20 again and to adjust to successive ones Adapt workpieces that had different size and / or shape. This position correction was necessary so that between one Pressure chamber, the shape and size of which varied according to the shape or size of the workpiece, and between the atmosphere sufficiently high vacuum or a pressure difference could be generated. By means of the forces that resulted from this pressure difference, the workpiece was held in place. However, correcting the position of the seal is extremely time consuming. It also contributes to significantly increased wear of the seal and creates serious difficulties in terms of efficient production, when known vacuum chucks are used to hold workpieces that are being machined by machine tools or to be treated.

Der Gedanke, ein Vakuum zu verwenden, um ein Werkstück in seiner Lage zu halten, ist immer unabdingbar damit verbunden gewesen, daß das Vakuumsystem im maximal möglichen Ausmaß luftdicht gegenüber der Atmosphäre abgedichtet werden muß. Demgegenüber werden bei derThe idea of using a vacuum to hold a workpiece in place has always been inevitable with that the vacuum system must be sealed airtight from the atmosphere to the maximum extent possible. In contrast, the

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Erfindung jedoch bewußt viele Durchlässe zur Atmosphäre hin offengelassen; jeder Durchlaß ist jedoch mit einer Strömungsbeschränkungseinrichtung, d.h. einer Drosseleinrichtung, versehen, die lediglich eine sehr kleine gesteuerte Luftmenge durchströmen läßt. Aufgrund dieser Anordnung werden die vorerwähnten Schwierigkeiten, die mit der luftdichten Abdichtung des gesamten Systems gegenüber der Atmosphäre verbunden waren, vollständig beseitigt. Weiterhin ist die kostenaufwendige Totzeit der bekannten Vakuumeinspannvorrichtungen beseitigt, die bisher erforderlich war, um die Lagekorrektur eines Abdichtstreifens oder das Schließen und Öffnen eines Zweipunktventils zu ermöglichen, d.h. eines Ventils, das entweder vollständig geöffnet oder vollständig geschlossen war. Die Erfindung weist daher entscheidende Vorteile auf.Invention, however, deliberately left many passages open to the atmosphere; however, each passage is provided with a flow restriction device, i.e. a throttle device, which only allows a very small controlled amount of air to flow through. Because of this arrangement, the aforementioned difficulties associated with the airtight seal of the entire system from the atmosphere were completely eliminated. Furthermore, the is costly Dead time of the known vacuum clamping devices eliminated, which was previously necessary to correct the position of a sealing strip or to close and open a two-point valve, i.e. a valve that was either fully open or fully closed. The invention therefore has crucial Benefits on.

Wie aus der Zeichnung ersichtlich, ist daher eine Luftströmungs-Drosselungseinrichtung 40 vorgesehen, die mit jedem der Durchlässe 26 in Verbindung steht. Jeder der abgegrenzten Zonen, die durch das Muster, in dem die Abdichtungen 22 und die Kanäle 20 vorgesehen sind, gebildet sind, ist ein Durchlaß 26 zugeordnet. Die Drosseleinrichtung kann im Durchlaß 26 an derjenigen Stelle angeordnet sein, an welcher der Durchlaß 26 in jede abgegrenzte Zone mündet. Aus Fig. 7 bis 11 sind zwei bevorzugte Ausführungsformen ersichtlich. Die Drosselungs einrichtung 40 ist speziell derart ausgebildet, daß die Luftmenge, die hindurchgeleitet werden kann, auf ein gesteuertes berechenbares Volumen begrenzt wird. Dieser gesteuerte Luftmengenstrom durch sämtliche Durchlässe 26 hindurch weist ein Gesamtvolumen auf, welches das volumetrische Leistungsvermögen einer vorgegebenen Vakuumpumpe, eines Sauggebläses oder dergleichen, das beispielsweise in m /min. ausgedrückt wird, nicht überschreitet. Die gesteuerte Luftmenge ist andererseits ausreichend groß, um innerhalb jeder abgegrenzten Zone, die nachAs can be seen from the drawing, therefore, there is an air flow throttling device 40 is provided which is in communication with each of the passages 26. Each of the demarcated zones defined by the A passage 26 is assigned to a pattern in which the seals 22 and the channels 20 are provided. The throttle device may be arranged in the passage 26 at the point at which the passage 26 opens into each delimited zone. From Figs. 7-11 two preferred embodiments can be seen. The throttling device 40 is specially designed such that the amount of air that can be passed through, is limited to a controlled, calculable volume. This controlled air flow through all Passages 26 therethrough have a total volume which is the volumetric capacity of a given vacuum pump, a suction fan or the like, for example in m / min. expressed will not exceed. The controlled amount of air, on the other hand, is sufficiently large to be able to move within each delimited zone following

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ihrer Abdeckung durch eine entsprechende Werkstückoberfläche in eine Druckkammer verwandelt worden ist, einen Unterdruck zu erzeugen und aufrecht zu erhalten. Der in einer derart gebildeten Druckkammer erzeugte Unterdruck bildet ein Druckgefälle gegenüber der Atmosphäre, wodurch ein Werkstück fest an seinem Platz gehalten und befestigt wird. Dies ergibt sich unabhängig davon, ob die entsprechende Werkstückoberfläche sämtliche oder lediglich einige wenige abgegrenzte Zonen abdeckt. Hierdurch ist außerdem die Verwendung auch einer nicht absolut vollkommenen Abdichtung möglich, die durch die mit der entsprechenden Werkstückoberfläche in Eingriff stehenden Abdichtungen 22 gebildet ist. Das bedeutet mit anderen Worten,daß es ohne Bedeutung ist, wenn viele abgegrenzten Zonen und Durchlässe 26 direkt mit der Atmosphäre in Verbindung stehen. Die Drosselungseinrichtung 40 in jedem Durchlaß erfüllt dabei weiterhin immer noch ihren Zweck, die durchströmende Luftmenge auf ein Gesamtvolumen zu begrenzen, da kleiner ist als das volumetrische Leistungsvermögen der bei der jeweiligen Vorrichtung verwendeten Vakuumpumpe. Dieses Gesamtvolumen der Luftströmung wird auf ein gesteuertes Volumen begrenzt, das berechenbar ist und es immer noch ermöglicht, daß diejenigen abgegrenzten Zonen, die von einer zugehörigen Werkstückoberfläche abgedeckt und daher in eine Druckkammer umgewandelt sind, ausreichend stark evakuiert werden, so daß sich beträchtliche Druckkräfte entwickeln, welche das Werkstück in seiner Lage halten.their cover by a corresponding workpiece surface in a Pressure chamber has been transformed to create and maintain a negative pressure. The one in a pressure chamber formed in this way The negative pressure generated creates a pressure gradient in relation to the atmosphere, thereby holding and securing a workpiece firmly in place. This arises regardless of whether the corresponding workpiece surface covers all or only a few delimited zones. As a result, the use is also not absolutely perfect Sealing possible, which is formed by the seals 22 which are in engagement with the corresponding workpiece surface. In other words, this means that it is of no importance if many demarcated zones and passages 26 are directly connected to the atmosphere Connected. The restriction device 40 in each passage Still fulfills its purpose of limiting the amount of air flowing through to a total volume, since it is smaller than that volumetric capacities of the respective device used vacuum pump. This total volume of air flow is limited to a controlled volume that is predictable and it still allows those delimited zones that are covered by an associated workpiece surface and therefore in a Pressure chamber are converted, are evacuated sufficiently strong, so that considerable pressure forces develop, which the workpiece hold in place.

Bei den Ausführungsformen gemäß Fig. 1 und 2 besteht die Drosselungseinrichtung 40 aus einem Stopfen 42 aus porösem Material. Dieses poröse Material ist vorzugsweise ein rostfreier, poröser Sinterstahl mit einer mittleren Porengröße in der Größenordnung von etwa 5-10 Mikron. Der Stopfen 42 ist in der Drauf sie 1± kreisförmig und weist einenIn the embodiments according to FIGS. 1 and 2, there is a throttling device 40 from a plug 42 made of porous material. This porous material is preferably a stainless, porous sintered steel with an average pore size on the order of about 5-10 microns. The plug 42 is in the plan it 1 ± circular and has a

Durchmesser von etwa 3,18 mm sowie eine Dicke von etwa 1,59 mm auf.Diameter of about 3.18 mm and a thickness of about 1.59 mm.

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Bei einem versuchsweise ausgeführten Prototyp einer Ausführungsform der Erfindung wurde eine Vakuumeinspannvorrichtung von etwa 12,7 cm Breite und 25,4 cm Länge hergestellt und derart ausgebildet, daß sie sich zur Verwendung bei einer Schleifmaschine eignete. Bei dieser besonderen Ausführungsform waren 28 abgegrenzte Zonen und Einsätze 42 vorgesehen. Jeder Stopfen 42 hatte einen durchschnittlichen Durchmesser von etwa 3,18 mm sowie eine Dicke von 1,59 mm und war aus porösem, rostfreiem Sinterstahl der Güte "H" und des Typs 316 L gefertigt. Dieses besondere poröse Material ist im Handel erhältlich. Der verwendete spezielle Prototyp wurde entsprechend den Merkmalen der aus Fig. 4 ersichtlichen Ausführungsform konstruiert. Die Vakuumverteilerkammer 28 wurde an eine Vakuumpumpe mit einem volumetrischen Leistungsvermögen von etwa 0,113 m /min. angeschlossen, um ein Vakuum von maximal etwa 71,1 cm Quecksilber-Säule zu erzeugen. Wenn bei eingeschalteter Vakuumpumpe sämtliche 28 abgegrenzten Zonen und Einsätze 42 zur Atmosphäre hin offen waren, ergab sich ein Druckabfall, d.h. ein Vakuumverlust, von 71,1 cm Quecksilber-Säule auf 66, 0 cm Quecksilber-Säule. Solch ein Druckverlust hat jedoch beim Betrieb dieser Art einer Valoiumeinspannvorrichtung keinerlei nachteilige Wirkungen.In a tentative prototype of an embodiment of the invention was a vacuum chuck approximately 12.7 cm Width and 10 inches long and formed so that it was suitable for use on a grinding machine. With this particular one In the embodiment, 28 delimited zones and inserts 42 were provided. Each plug 42 had an average diameter of about 3.18 mm and a thickness of 1.59 mm and was made of porous, stainless sintered steel of grade "H" and type 316 L. This particular porous material is commercially available. The one used A special prototype was constructed in accordance with the features of the embodiment shown in FIG. The vacuum distribution chamber 28 was attached to a vacuum pump with a volumetric capacity of about 0.113 m / min. connected to a Create a vacuum of a maximum of about 71.1 cm mercury column. If all 28 demarcated zones and inserts 42 were open to the atmosphere with the vacuum pump switched on, this resulted in a Pressure drop, i.e. a loss of vacuum, from 71.1 cm of mercury column on 66.0 cm mercury column. However, such a pressure loss has the Operation of this type of valium chuck does not cause any deleterious effects Effects.

Anstelle des rostfreien Sinterstahls 316 L können selbstverständlich auch andere poröse Materialien verwendet werden. So sind beispielsweise die folgenden porösen Materialien normalerweise im Handel in Form poröser Metallbleche erhältlich: Inconel, Monel, Nickel, rostfreier Stahl 347, rostfreier Stahl 410, Silber, Kupfer, hochlegierte Nickel-Molybdän-Legierungen und einige poröse synthetische Polymermaterialien. Instead of the stainless sintered steel 316 L, other porous materials can of course also be used. For example, the following porous materials are typically commercially available in the form of porous metal sheets: Inconel, Monel, nickel, 347 stainless steel, 410 stainless steel, silver, copper, high-alloy nickel-molybdenum alloys, and some porous synthetic polymer materials.

Es ist darauf hinzuweisen, daß der Stopfen oder Einsatz 42 aus porösem It should be noted that the plug or insert 42 is made of porous

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Material erfindungsgemäß als Drosselungselement funktioniert, jedoch nicht als Filtermittel, wie nämlich solche poröse Materialien üblicherweise bisher benutzt wurden. Dies ist ein wesentlicher Unterschied, da Filterelemente mit einem minimalen Druckabfall über das Filtermaterial arbeiten sollen; demgegenüber wird der aus porösem Material bestehende Stopfen gemäß der Erfindung absichtlich dazu benutzt, um einen maximalen Druckabfall zu schaffen, wobei gleichzeitig eine beschränkte oder kontrollierte Luftmenge durch das Material strömen kann.Material according to the invention works as a throttle element, however not as a filter medium, as such porous materials usually do have been used so far. This is a major difference, as filter elements have a minimal pressure drop across the filter material should work; In contrast, the stopper made of porous material according to the invention is used intentionally to create a maximum pressure drop with a limited or controlled amount of air flowing through the material at the same time can.

Bei der Ausführungsform gemäß Fig. 3 weist die Drosselungseinrichtung 40 ein selbsteinstellendes Kugelventil auf, bei dem ein kegelförmiger Ventilsitz 18 eine Stahlkugel 44 aufnimmt. Hierbei weisen entweder die Stahlkugel 44 und/oder der Ventil/fö einige Oberflächenunvollkommenheiten auf. Hierdurch kann eine gesteuerte Luftmenge durch diese Drosselungseinrichtung 40 in den Durchlaß 26 strömen, und zwar selbst dann, wenn das Ventil durch die Stahlkugel 44 verschlossen ist. Ein Ventilsitz, der eine abschließende Oberflächenbearbeitung von 32-64 r.m.s. aufwies und zusammen mit einer aus einem Kugellager stammenden 3,18 mm dicken Kugel verwendet wurde, arbeitete zufriedenstellend und hielt ein Werkstück sicher an seinem Platz. Die Luftmenge, die durch die Kugelventilanordnung gemäß Fig. 3 hindurchströmen kann, kann gesteuert werden. So läßt sich leicht experimentell bestimmen, welches Ausmaß an abschließender Oberflächenbearbeitung bei der Kugel 44 oder beim Ventilsitz 18 es einer berechenbaren gesteuerten Luftmenge ermöglicht, an der aufsitzenden Kugel 44 vorbeizuströmen, wobei die Anzahl der bei der jeweiligen Vorrichtung vorhandenen abgegrenzten Zonen, ein vorbestimmter Druckabfall und das LeistungsvermögenIn the embodiment according to FIG. 3, the throttle device 40 has a self-adjusting ball valve in which a conical Valve seat 18 receives a steel ball 44. Here either the steel ball 44 and / or the valve / for some surface imperfections on. As a result, a controlled amount of air can flow through this throttling device 40 into the passage 26, to be precise itself when the valve is closed by the steel ball 44. A valve seat that has a final surface finish of 32-64 r.m.s. and used with a 3.18 mm thick ball derived from a ball bearing worked satisfactorily and held a workpiece securely in place. The amount of air that can flow through the ball valve arrangement according to FIG. 3, can be controlled. In this way, it is easy to determine experimentally what degree of final surface treatment on the ball 44 or at the valve seat 18 it enables a calculable controlled amount of air to flow past the seated ball 44, wherein the number of demarcated zones present in the particular device, a predetermined pressure drop, and the performance

in m /min. einer speziellen Vakuumpumpe oder eines Sauggebläses vorgegeben sind., Diese gesteuerte Menge der Luftströmung reicht aus, umin m / min. a special vacuum pump or suction fan are., This controlled amount of air flow is sufficient to

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einen bestimmten Druckabfall zwischen der Atmosphäre und denjenigen abgegrenzten Zonen zu erzeugen, die vollständig von einer entsprechenden Oberfläche des Werkstückes abgedeckt und in eine Druckkammer umgewandelt worden sind, und zwar unabhängig davon, ob tatsächlich sämtliche, lediglich einige wenige oder aber nur eine einzige dieser Kammern abgedeckt sind. Wie aus Fig. 3 ersichtlich, wird die Stahlkugel 44 mittels eines Sprengringes 46 in ihrer Lage gehalten. Dieser Sprengring ist durch Verklebung, Punktschweißung oder auf andere ähnliche Weise fest mit der Bodenabdeckplatte 10 verbunden.a certain pressure drop between the atmosphere and those to generate delimited zones, which are completely covered by a corresponding surface of the workpiece and in a pressure chamber have been converted, regardless of whether actually all, only a few or only one of these Chambers are covered. As can be seen from Fig. 3, the steel ball 44 held in place by means of a snap ring 46. This snap ring is made by gluing, spot welding or on other firmly connected to the base cover plate 10 in a similar manner.

Die aus Fig, 4 und 5 ersichtlichen abgewandelten Ausführungsformen können in sehr vielen Größen ausgebildet werden. So kann die Vorrichtung beispielsweise zur Verwendung in einer mechanischen Werkstätte ausgebildet werden, um ein relativ kleines Werkstück zum Schleifen, spanabhebenden Bearbeiten, Bohren oder zu einer anderen "Behandlung" dieses Werkstückes sicher in seiner Lage zu halten. Die Oberflächengröße solch einer Vorrichtung beträgt wahrscheinlich wenigerThe modified embodiments shown in FIGS. 4 and 5 can be made in many sizes. For example, the device can be used in a mechanical workshop be designed to use a relatively small workpiece for grinding, machining, drilling or other "treatment" to hold this workpiece securely in its position. The surface area of such a device is likely to be less

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als 0, 09 m , obwohl bei anderen Ausführungsformen die hier in Rede stehende Oberfläche noch sehr viel größere Werte annehmen kann. Bei der Ausführungsform sowohl gemäß Fig. 4 als auch gemäß Fig. 5 ist ebenfalls ein Bodenteil 30 vorgesehen, das bei der Ausführungsform gemäß Fig. 4 eine Vakuumverteiler kammer 28 aufweist. Gemäß Fig. 5 besitzt das Bodenteil 30 eine Bodenplatte 32, die ein Netz untereinander verbundener Kanäle 34 sowie eine im allgemeine in der Mitte der Bodenplatte 32 vorgesehene Vakuumverteilerkammer 36 aufweist. Die Ausführungsform gemäß Fig. 4 stellt eine bevorzugte Ausführungsform dar, bei der die Vakuumverteilerkammer 28 ein großes leeres Gehäuse bildet, dessen Innenvolumen sehr groß ist im Vergleich zu der gesteuerten Luft menge, die durch die Drosselungseinrichtung 40 und den Durchlaß hindurch in diese Vakuumkammer 28 strömen kann. Es hat sich als vorteilhaft erwiesen, wenn eine großvolumige Vakuumkammer sehr nahe2
than 0.09 m, although in other embodiments the surface in question can still assume much larger values. In the embodiment both according to FIG. 4 and according to FIG. 5, a bottom part 30 is also provided, which in the embodiment according to FIG. 4 has a vacuum distributor chamber 28. According to FIG. 5, the base part 30 has a base plate 32 which has a network of interconnected channels 34 and a vacuum distribution chamber 36 generally provided in the center of the base plate 32. The embodiment according to FIG. 4 represents a preferred embodiment in which the vacuum distribution chamber 28 forms a large empty housing, the internal volume of which is very large compared to the controlled amount of air flowing through the throttle device 40 and the passage into this vacuum chamber 28 can. It has proven advantageous to have a large volume vacuum chamber very close

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bei der Drosselungseinrichtung 40 angeordnet ist. Statt dessen kann aber auch die aus Fig. 5 ersichtliche Anordnung verwendet werden, mit der sich ähnliche Ergebnisse erzielen lassen."is arranged at the throttle device 40. Instead, you can however, the arrangement shown in FIG. 5 can also be used, with which similar results can be achieved. "

Wie schon erwähnt, können die Ausführungsformen gemäß Fig. 4 und 5 in ihrer Größe beträchtlich schwanken, wobei die jeweilige Größe im Belieben des Herstellers oder Benutzers steht. Im einzelnen weist die Vorrichtung jedoch eine Bodenabdeckplatte 50 auf, die bei der Ausführungsform gemäß Fig. 4 abgedichtet mit einem Bodengehäuseelement 52 und bei der Ausführungsform gemäß Fig. 5 abgedichtet mit der Bodenplatte 32 verbunden ist. Diese luftdichte Verbindung wird durch eine Dichtungsscheibe 54 geschaffen. Darüber hinaus ist die nach außen gerichtete Oberfläche der Bodenabdeckplatte 50 mit in einem bestimmten Muster vorgesehenen Nuten oder Kanälen 56 versehen. Diese Nuten oder Kanäle 56 sind derart ausgebildet, daß sie ohne Spiel Abdichteinrichtungen 58 aufnehmen können, die vorzugsweise ähnlich der in Verbindung mit Fig. 1 bis 3/Abaicriteinrichtungen 22 konstruiert sind. Genau wie dort wird hier durch die Anordnung der Abdichteinrichtungen 58 in Nuten 56 wenigstens eine abgegrenzte Zone 60 geschaffen. Innerhalb jeder dieser abgegrenzten Zonen 60 ist eine Öffnung oder ein Durchlaß 62 vorgesehen, der sich durch die Bodenabdeckplatte 50 hindurch erstreckt. Bei der Ausführungsform gemäß Fig. 4 sind diese Durchlässe 62 direkt mit der gehäuseähnlichen Verteiler kammer 28 verbunden, während die Durchlässe bei der Ausführungsform gemäß Fig. 5 über in der Bodenplatte 32 vorgesehenen Nuten oder Kanäle 34 in Strömungsverbindung mit der Vakuumverteilerkammer 36 stehen. Es sind ebenfalls wieder Drosselungseinrichtungen vorgesehen, und zwar in Form von Stopfen oder Einsätzen 64, die aus einem porösen Material bestehen/fn¹]edem der in eine abgegrenzte Zone mündenden Durchlässe 62 angeordnet sind. Die Einsätze 64 bestehen vorzugsweise aus einem porösen Sintermetall, beispielsweise rostfreiemAs already mentioned, the embodiments according to FIGS. 4 and 5 can vary considerably in size, the respective size being at the discretion of the manufacturer or user. In detail, however, the device has a base cover plate 50 which, in the embodiment according to FIG. 4, is sealed to a base housing element 52 and, in the embodiment according to FIG. 5, is connected to the base plate 32 in a sealed manner. This airtight connection is created by a sealing washer 54. In addition, the outwardly directed surface of the base cover plate 50 is provided with grooves or channels 56 provided in a specific pattern. These grooves or channels 56 are designed in such a way that they can accommodate sealing devices 58 without play, which are preferably constructed in a manner similar to that in connection with FIGS. 1 to 3 / Abaicrit devices 22. Exactly as there, the arrangement of the sealing devices 58 in grooves 56 creates at least one delimited zone 60. Within each of these delimited zones 60, an opening or passage 62 is provided which extends through the bottom cover plate 50. In the embodiment according to FIG. 4, these passages 62 are connected directly to the housing-like distributor chamber 28, while the passages in the embodiment according to FIG. 5 are in flow connection with the vacuum distributor chamber 36 via grooves or channels 34 provided in the base plate 32. There are throttling means also provided again, namely in the form of plugs or inserts 64 which are made of a porous material / fn ^1] edem the opening into a delimited zone passages are arranged 62nd The inserts 64 are preferably made of a porous sintered metal, for example stainless

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Stahl, weisen eine mittlere Porengröße von etwa 5-10 Mikron auf und sind etwa 1,59 mm dick. Bei einer größeren mittleren Porengröße ist anzunehmen, daß ein dickerer Einsatz 64, beispielsweise mit einer Dicke, die größer ist als 1,59 mm, erforderlich ist, um den hindurchgehenden Luftstrom auf die zuvor erwähnte gesteuerte Menge zu begrenzen. Steel, have an average pore size of about 5-10 microns and are about 1.59 mm thick. With a larger mean pore size, it can be assumed that a thicker insert 64, for example with a Thickness, which is greater than 1.59 mm, is required in order to pass through Limit airflow to the aforementioned controlled amount.

Wie schonerwähnt, ist die Gesamtströmungsmenge, die durch die Drosselungseinsätze 64 hindurchströmen darf, kleiner als das volumetrische Leistungsvermögen der verwendeten Vakuumpumpe, des Sauggebläses oder dergleichen, wobei gleichzeitig in jeder Druckkammer, die durch eine mittels einer Werkstückoberfläche abgedeckte abgegrenzte Zone gebildet wird, ein Unterdruck erzeugt wird. Der Druckunterschied zwischen dem Umgebungsdruck und der Druckkammer kann verschiedene Werte annehmen, und zwar in Abhängigkeit von der relativen Größe der erforderlichen Haltekraft. So erfordert beispielsweise ein kleines, jedoch schweres Werkstück lediglich eine geringe Haltekraft, wenn es geschliffen oder poliert werden soll. Das selbe Werkstück benötigt jedoch eine erheblich größere Haltekraft, wenn es auf einer Fräsmaschine oder einer Stoßmaschine spanabhebend bearbeitet wird. In gleicher Weise ist dann, wenn die Berührungsfläche zwischen der entsprechenden Werkstückoberfläche und der Haltefläche der Vorrichtung in einer vertikalen Ebene angeordnet ist, eine größere Haltekraft erforderlich, als wenn bei der gleichen Anordnung diese Berührungsfläche horizontal ausgerichtet ist. Wenn die Schwerkraft unterstützend hinzukommt, kann die durch den Druckunterschied zu erzeugende Haltekraft im Vergleich zu derjenigen erforderlichen Haltekraft reduziert werden, bei der die Schwerkraft nicht unterstützend hinzukommt oder darüber hinaus eine Behinderung darstellt.As already mentioned, is the total flow rate that is passed through the throttling inserts 64 may flow through, smaller than the volumetric capacity of the vacuum pump used, the suction fan or the like, at the same time in each pressure chamber, the delimited zone covered by a workpiece surface is formed, a negative pressure is generated. The pressure difference between the ambient pressure and the pressure chamber can be different Assume values, depending on the relative size of the required holding force. For example, requires a small, however heavy workpiece only has a low holding force when it is to be ground or polished. However, the same workpiece is required a significantly greater holding force when it is machined on a milling machine or slotting machine. In the same way is when the contact surface between the corresponding workpiece surface and the holding surface of the device is arranged in a vertical plane, a greater holding force is required than when with the same arrangement this contact surface is oriented horizontally. If the force of gravity is added, the can be reduced by the pressure difference to be generated holding force compared to that required holding force at which the Gravity is not a supportive factor or is also a disability.

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_₁₉_ 225800?_ ₁₉ _ 225800?

Bei den Ausführungsformen gemäß Fig. 4 und 5 ist die nach außen gerichtete Fläche der Bodenabdeckplatte 50 ebenfalls mit Vertiefungen bildenden Einrichtungen versehen. Bei der Ausführungsform gemäß Fig. 5 weisen diese Vertiefungsbildungseinrichtungen die Form bewußt maschinell hergestellter Ausnehmungen 66 auf, während bei der Ausführungsform gemäß Fig. 4 die entsprechende Oberfläche eine gitterartige Struktur besitzt und aus dieser Oberfläche herausragende Rippen aufweist, wobei das allgemeine Erscheinungsbild dieser Oberfläche dem einer Feile oder Raspel ähnelt. Diese Rippen oder Vorsprünge sind in Fig. 4 schematisch durch die gezackte Kante 68 dargestellt. In der Praxis enthält die nach außen gerichtete Oberfläche eine große Anzahl s pikes ähnlicher Vorsprünge, die sich zur Halterung eines brettähnlichen Holzstückes bei der Produktion von Holzfurnier als sehr wirksam erwiesen haben. Demgemäß kann die Ausführungsform gemäß Fig. 4, wenn sie bei der Herstellung von Holzfurnier Anwendung findet, eineIn the embodiments according to FIGS. 4 and 5, the is directed outwards Surface of the bottom cover plate 50 is also provided with means for forming depressions. In the embodiment according to 5, these indentation means are in the form of deliberately machined recesses 66, while in the embodiment According to FIG. 4, the corresponding surface has a grid-like structure and ribs protruding from this surface The general appearance of this surface is similar to that of a file or rasp. These are ribs or protrusions shown schematically in FIG. 4 by the serrated edge 68. In practice, the outward facing surface contains a large number s pikes of similar protrusions, which are used to hold a board-like Piece of wood have proven to be very effective in the production of wood veneer. Accordingly, the embodiment according to FIG. 4, if it is used in the manufacture of wood veneer, a

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Oberflächengröße aufweisen, die Werte bis zu mehreren dm oder m annimmt. In der Praxis ist eine Vakuumeinspannvorrichtung mit einer Breite von etwa 86,4 cm und einer Länge von etwa 152 cm mit Erfolg zum Schneiden von Holzfurnier verwendet worden. Bei diesem Vorgang wird ein vorget ränkter und behandelter Balken diametral in zwei Hälften zerschnitten, worauf die Schnittfläche'beispielsweise durch Hobeln geglättet und sodann auf die Abdichteinrichtung 58 sowie auf die Bodenabdeckplatte 50 gesetzt wird. Hierbei wird die Bodenabdeckplatte 50 als Bett angesehen, auf das der Balken zu setzen ist. Die in Fig. 4 schematisch dargestellten Vorsprünge 68 dringen eine kurze Wegstrekke in die Schnittfläche des Balkens ein und erzeugen einen zusätzlichen Widerstand gegenüber jeglicher möglichen seitlichen Bewegung. Die Abdichteinrichtungen 58 werden etwas zusammengedrückt und wirken mit der Schnittfläche des Balkens sowie mit denjenigen abgegrenzten Zonen 60, die durch diese Schnittfläche abgedeckt sind, derart zusam-Have surface size that takes on values up to several dm or m. In practice, a vacuum chuck has a About 86.4 cm wide and about 152 cm long has been used with success for cutting wood veneer. In this process a pre-soaked and treated beam is cut diametrically in half, whereupon the cut surface is, for example, by planing smoothed and then on the sealing device 58 and on the bottom cover plate 50 is set. Here, the floor cover plate 50 is viewed as a bed on which the beam is to be placed. The in Fig. 4 projections 68 shown schematically penetrate a short distance into the cut surface of the beam and create an additional one Resistance to any possible sideways movement. The sealing devices 58 are compressed somewhat and act with the cut surface of the bar as well as with those delimited zones 60 which are covered by this cut surface in such a way

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men, daß eine Anzahl Druckkammern gebildet werden. Wenn die Vakuumverteiler kammer 28 mittels einer Schnellverbinderkupplung 70 an eine entsprechende Vakuumpumpe, beispielsweise an ein Sauggebläse oder dergleichen, angeschlossen wird, wird in jeder derart gebildeten Druckkammer ein Unterdruck erzeugt.men that a number of pressure chambers are formed . When the vacuum distribution chamber 28 is connected to a corresponding vacuum pump, for example to a suction fan or the like, by means of a quick connector coupling 70, a negative pressure is generated in each pressure chamber formed in this way.

Bei der Herstellung von Holzfurnier ist üblicherweise ein "Schneidschnitt" mittels eines Abschneidemessers erforderlich, was im Gegensatz beispielsweise zur Verwendung eines Sägeblattes steht. Durch die Verwendung eines Sägeblattes würde nämlich aufgrund des weggeschnittenen Materials zu viel Abfall anfallen, wobei zu berücksichtigen ist, daß Holzfurnier außerordentlich dünn ist, d. h. eine Dicke von etwa 0, 508 -3,18 mm besitzt; Bei der Durchführung eines Schneidschnittes mit solch einem Scherblatt, d. h. Abschneidemesser, ergibt sich ein beträchtlicher Axialdruck, der seitlich zur Ebene des Bettes gerichtet ist, auf dem der anfänglich halbzylindrische Balken bzw. das halbzylindrische Holzscheit liegt. Bei der Durchführung dieser Scherschnitte lassen sich im Anfangsstadium diese seitlich gerichteten Kräfte durch Krampen, Klemmfinger oder dergleichen überwinden, die das Holzscheit fest erfassen. Im weiteren Verlauf des Sc her Schnittvorganges ist es jedoch bisher immer erforderlich gewesen, den Schneidvorgang dann völlig zum Stillstand zu bringen, wenn sich das Scherblatt diesen Krampen oder Klemmfingern dicht angenähert hat. Der verbleibende Holzstumpf des Scheites mußte an dieser Stelle entfernt und weggeworfen werden, da es keine Möglichkeit gab, ihn an seiner Stelle zu halten. Bei Verwendung der Vorrichtung gemäß Fig. 4 ist dieses Problem auf wirksame Weise beseitigt.When producing wood veneer, a "cutting cut" is usually required by means of a cutting knife, which is in contrast to the use of a saw blade, for example. Through the Using a saw blade would be because of the cut away There is too much waste material, taking into account that wood veneer is extremely thin, i. H. a thickness of about 0.508 -3.18 mm; When making a cutting cut with such a blade, i. H. Cutting knife, results in a considerable Axial pressure which is directed laterally to the plane of the bed on which the initially semi-cylindrical beam or the semi-cylindrical one Log lies. When performing these shear cuts, these laterally directed forces can be reduced by means of clamps, Overcome clamping fingers or the like that firmly grasp the log. In the further course of the cutting process, however, it is So far it has always been necessary to bring the cutting process to a complete standstill when the shear blade is these staples or Has closely approximated clamping fingers. The remaining stump of the log had to be removed and thrown away at this point because it was gave no way to keep him in his place. Using the apparatus of Figure 4, this problem is effective eliminated.

Zu dem Zeitpunkt während des Schneidvorganges, bei dem bisher die verwendeten Krampen oder Klemmfinger entfernt werden mußten, wurdeAt the time during the cutting process at which previously the staples or clamp fingers used had to be removed

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die Vorrichtung gemäß Fig. 4 an eine Vakuumpumpe oder an eine andere ähnliche Unter druckquelle angeschlossen. Diese Vorrichtung bildete das Bett, auf welches das halbzylindrische Holzscheit anfänglich gelegt war, bevor mit dem Schneidvorgang begonnen wurde. Die zahlreichen Druckkammern, die durch die viele abgegrenzte Zonen 60 abdeckende Schnittfläche des Holzscheites gebildet waren, wurden durch die Vakuumpumpe luftleer gepumpt, und es wurde in ihnen ein Druckunterschied gegenüber dem Umgebungsdruck erzeugt. Dieser Druckunterschied hielt den verbleibenden Stumpf des Holzscheites fest an der Bettplatte, selbst wenn die früher verwendeten bekannten Klemmfinger nunmehr entfernt waren. Die Vorsprünge 68 trugen zur Überwindung der bei der Betätigung des Scherblattes hervorgerufenen Seitenkräfte bei. Diese Vorsprünge 68 dringen, wie schon erwähnt, in das Holzscheit lediglich eine sehr kurze Wegstrecke ein. Mit der beschriebenen Vorrichtung läßt sich daher bei der großindustriellen Herstellung von Holzfurnier eine bedeutende Verbesserung erzielen. Bisher betrug der Abfall, der sich aufgrund des Wegwerfens des verbleibenden Stumpfes des Holzscheites ergab, etwa 5 - 6 % desjenigen Holzscheites, aus dem das Furnier geschnitten wurde. Dieser Betrag stellt die Holzmenge dar, die bisher aufgrund der verwendeten Klemmfinger nicht geschnitten werden konnte. Durch Verwendung der Vorrichtung gemäß der Erfindung wurde dieser Abfall auf etwa 1 % reduziert. Tatsächlich beruht es hauptsächlich auf der natürlichen Porosität des Holzes und der Eindringtiefe «der Vorsprünge 68, daß das Furnier nicht auch noch auf eine geringere Tiefe als 1, 59 mm - 3,18 mm über der Bettplatte, auf dem das Holzscheit gelagert ist, geschnitten werden kann, fix der Praxis hat sich jedoch auch noch aus dem letzten an der Bettplatte gehaltenen Holzstück ein brauchbares Furnierstück ergeben.the device according to FIG. 4 to a vacuum pump or to another Similar vacuum source connected. This device made the bed on which the semi-cylindrical log was initially placed before the cutting process began. The numerous Pressure chambers, which were formed by the many delimited zones 60 covering the cut surface of the log, were through the vacuum pump evacuated, and a pressure difference was generated in them compared to the ambient pressure. This pressure difference held the remaining stump of the log firmly to the bed plate, even if the known clamping fingers used earlier were now removed. The projections 68 helped overcome the lateral forces caused when the shear blade was actuated at. As already mentioned, these projections 68 only penetrate a very short distance into the log. With the device described can therefore be used in the large-scale industrial production of wood veneer make a significant improvement. So far, the amount of waste that resulted from discarding the remaining stump of the Logs yielded about 5 - 6% of the log from which the veneer was cut. This amount represents the amount of wood that so far not be cut due to the clamping fingers used could. Using the device according to the invention has been this drop is reduced to around 1%. In fact, it is mainly based on the natural porosity of the wood and the depth of penetration Projections 68 that the veneer is not even to a shallower depth than 1.59 mm - 3.18 mm above the bed plate on which the log was placed is stored, can be cut, but practice has fixed fix also result in a usable piece of veneer from the last piece of wood held on the bed plate.

Bei Versuchen mit einer Vakuumeinspannvorrichtung gemäß der Erfin-In experiments with a vacuum clamping device according to the invention

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dung, die speziell zur Herstellung von Holzfurnier abgewandelt worden war, war die Vorrichtung gemäß Fig. 4 in einer Größe von etwa 86,4 cm χ 152 cm konstruiert worden. Es waren 1.300 abgegrenzte Zonen 60 mit jeweils einem in ihnen vorgesehenen Drosselungseinsatz oder Stopfen 64 gebildet worden, wobei die Einsätze 64 über jeweils einen Druchlaß 62 mit einer Vakuumverteilerkammer 28 und von da aus mit einer Vakuumpumpe verbunden waren. Zur Herstellung der Einsätze 64 mit einem Durchmesser von etwa 3,18 mm und einer Dicke von etwa 1,59 mm wurde ein poröser, rostfreier Sinterstahl Güte "H" verwendet. Die Vorrichtung wurde an eine Vakuumpumpe mit einem volumetrischen Leistungsvermögen von 1,42 m /min. bei einem Vakuum von maximal etwa 71,1 cm Quecksilber-Säule angeschlossen. Wenn sämtliche abgegrenzten Zonen 60 und Drosselungseinsätze 64 zur Atmosphäre hin geöffnet waren, betrug der Gesamt druckabfall an denDrosselungseinsätzen 64 etwa 25,4 cm Quecksilber-Säule, d.h. ein Druckabfall von einer maximal möglichen Quecksilber-Säule von 71,1 cm auf ein gemess enes Vakuum von 45,7 cm Quecksilber-Säule. Wenn jedoch ein Holzr stück auf die Vorrichtung gelegt ist und viele abgegrenzte Zonen 60 abdeckt, ist der Druckabfall sehr viel geringer als der soeben erwähnte Wert von 25,4 cm Quecksilber-Säule. Bei Verwendung in solch einer Vorrichtung ließ sich das Holzfurnier sehr vorteilhaft und wirtschaftlich er zeugen, und zwar einschließlich des letzten auf der Bettplatte verbleibenden Furnier Stückes, das dort aufgrund des von der 1,42 m /min. starken Vakuumpumpe erzeugten Vakuums festgehalten wurde.dung that has been specially modified for the production of wood veneer 4 was constructed to be approximately 86.4 cm 152 cm. There were 1,300 demarcated zones 60 have each been formed with a throttle insert or plug 64 provided therein, the inserts 64 each having a passage 62 with a vacuum distribution chamber 28 and from there connected to a vacuum pump. To manufacture the Inserts 64 approximately 3.18 mm in diameter and thickness of about 1.59 mm was a porous, stainless sintered steel grade "H" used. The device was connected to a vacuum pump with a volumetric capacity of 1.42 m / min. at a vacuum connected by a maximum of about 71.1 cm mercury column. If all demarcated zones 60 and restriction inserts 64 were open to the atmosphere, the total pressure drop across the restriction inserts was 64 about 25.4 cm mercury column, i.e. a pressure drop from a maximum possible mercury column of 71.1 cm to a measured A vacuum from 45.7 cm mercury column. However, if a Holzr piece is placed on the device and covers many delimited zones 60, the pressure drop is much less than that just mentioned Value of 25.4 cm mercury column. When used in such a device, the wood veneer has been found to be very advantageous and economical he beget, including the last one left on the bedplate Veneer piece, which there due to the 1.42 m / min. strong vacuum pump generated vacuum was held.

Aufgrund zahlreicher Versuche mit der be schriebenen Vorrichtung hat sich herausgestellt, daß eine solche Drosselungseinrichtung zufriedenstellend ihren Zweck erfüllt, die bei einem Druckunterschied in der Größenordnung von etwa 38,1 cm - 68,6 cm Quecksilber-Säule eine Strömungsmenge von etwa 0,283 - 0,566 dm /min. hindurchläßt.Due to numerous attempts with the device described has been It has been found that such a throttle device satisfactorily fulfills its purpose, which at a pressure difference in the On the order of approximately 38.1 cm - 68.6 cm column of mercury one Flow rate of about 0.283-0.566 dm / min. lets through.

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Wie schon erwähnt, eignet sich die Vorrichtung gemäß der Erfindung für zahlreiche Anwendungsgebiete, bei denen auch schon bisher Vakuumeinspannvorrichtungen verwendet wurden. Es kann daher ebenfalls eine Aufnahmewalze desjenigen Typs konstruiert werden, die häufig bei Druckerpressen verwendet wird. Hierbei weist die Aufnahmewalze eine innere zylindrische Vakuumkammer auf, die über zahlreiche sich radial nach außen erstreckende Durchlässe mit einer entsprechenden Anzahl abgegrenzter Zonen verbunden werden kann, die auf der Außenfläche dieser Aufnahmewalze vorgesehen sind. Die allgemeine Ausbildung und Funktion einer derart konstruierten Aufnahmewalze entsprechen hierbei für die hier in Frage kommenden Zwecke denen der beschriebenen Ausführungsform.As already mentioned, the device according to the invention is suitable for numerous areas of application in which vacuum clamping devices have already been used were used. It can therefore also be constructed a take-up roller of the type that is often used in Printing presses is used. Here, the take-up roller has an inner cylindrical vacuum chamber that extends over numerous radially outwardly extending passages can be connected to a corresponding number of delimited zones on the outer surface this take-up roller are provided. The general design and function of a take-up roller constructed in this way correspond here for the purposes in question here, those of the embodiment described.

Bei einer weiteren aus Fig. 6 ersichtlichen Ausführungsform 80 ist hierbei eine flexible Saugvorrichtung ähnlich einer Decke vorgesehen. Die Vorrichtung. 80 ist in ihrer Struktur und Funktion der Ausführungsform gemäß Fig. 5 sehr ähnlich. Die Oberfläche 82 der Vorrichtung 80 ist verformbar und kann ganz allgemein der Form des anzuhebenden Werkstükkes oder eines anderen Gegenstandes angepaßt werden. Die Vorrichtung weist ein Bodenteil 84 auf, das einen federnd verformbaren Körper mit entsprechenden, jedoch nicht dargestellten Verstärkungsteilen besitzt, wodurch ein bis zu mehreren Tonnen schwerer Gegenstand angehoben werden kann. Die schematisch angedeutete Tragvorrichtung 86 ermöglicht sowohl den Durchlaß eines Vakuums als auch die Aufnahme von Kräften, die von dem Gewicht des anzuhebenden Gegenstandes stammen. Die Oberfläche 82 ist zur spielfreien Auf nähme von Abdichteinrichtungen gefurcht oder genutet, wobei die Abdichteinrichtungen 88 mit ihren entsprechenden Nuten in einem bestimmten Muster angeordnet sind, das'eine Vielzahl von abgegrenzten Zonen 90 bildet. Jede dieser Zonen 90 besitzt eine Ausnehmung 92, die bewußt dort ausgebildet und über einen entspre-In a further embodiment 80 shown in FIG. 6, here a flexible suction device similar to a blanket is provided. The device. 80 is in its structure and function according to the embodiment Very similar to Fig. 5. The surface 82 of the device 80 is deformable and can generally be adapted to the shape of the workpiece or other object to be lifted. The device has a bottom part 84 which has a resiliently deformable body corresponding, but not shown, reinforcement parts, which lifted an object weighing up to several tons can be. The schematically indicated support device 86 enables both the passage of a vacuum and the absorption of forces arising from the weight of the object to be lifted. The surface 82 is for play-free on acquisition of sealing devices grooved or grooved, the sealing devices 88 with their corresponding Grooves are arranged in a specific pattern that forms a plurality of delimited zones 90. Each of these zones 90 has a recess 92, which is intentionally formed there and via a corresponding

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chenden Durchlaß mit Verbindungskanälen in Verbindung steht, die zur Unter druckquelle in Form einer Vakuumpumpe, eines Sauggebläses oder dergleichen führen. Diese Durchlässe, Kanäle sowie die Unterdruckquelle weisen ganz allgemein dieselbe Konstruktion und Funktion wie die entsprechenden Teile bei der Vorrichtung gemäß Fig. 2 oder 5 auf. Genau wie bei diesen zuvor beschriebenen Ausführungsformen weist jeder der in den Ausnehmungen 92 vorgesehenen Durchlässe bei der Ausführungsform gemäß Fig. 6 eine in ihm angeordnete Drosselungseinrichtung auf. Diese in der Zeichnung schematisch dargestellte Drosselungseinrichtung 94 bestell vorzugsweise aus einem Einsatz aus porösem Metall. Gemäß der Erfindung kann durch jeden Einsatz 94 lediglich eine gesteuerte Luftmenge hindurchströmen, wobei die Gesamtströmungsmenge, die durch diese auf der gesamten Oberfläche 82 der Vorrichtung 80 vorhandenen Einsätze 94 strömt, geringer ist als das volumetrische Leistungsvermögen der Vakuumpumpe oder des Sauggebläses, an das die Vorrichtung anschließbar ist. Weitere Konstruktion details der Hebevorrichtung 80 werden hier nicht angeführt, da diese Vorrichtung ansonsten bekannt und im Handel erhältlich ist.corresponding passage is in communication with connecting channels, which for Run under pressure source in the form of a vacuum pump, a suction fan or the like. These passages, channels and the vacuum source generally have the same construction and function as the corresponding parts in the device according to FIG. 2 or 5 on. Exactly as with these previously described embodiments each of the passages provided in the recesses 92 in the embodiment according to FIG. 6 has a throttling device arranged in it on. This throttling device 94, shown schematically in the drawing, is preferably ordered from an insert porous metal. According to the invention, only a controlled amount of air can flow through each insert 94, the total flow amount, that flows through these inserts 94 present on the entire surface 82 of device 80 is less than that volumetric capacity of the vacuum pump or suction fan to which the device can be connected. More construction details the lifting device 80 are not mentioned here, since this device is otherwise known and commercially available.

In Fig. 7 bis 11 A sind zwei bevorzugte Ausführungsformen der Erfindung dargestellt. Die Anordnung gemäß Fig. 7 bis 9 eignet sich hierbei besonders dazu, um brettähnliche Holzstücke zur Herstellung von Holzfurnier sicher an ihrem Platz zu halten. Demgegenüber können die bevorzugten Ausführungsformen gemäß Fig. 10, 11 und 11 A in einer mechanischen Werkstätte verwendet werden, in der ein Werkstück sicher an seinem Platz zu halten ist.In Figs. 7-11A are two preferred embodiments of the invention shown. The arrangement according to FIGS. 7 to 9 is particularly suitable for moving board-like pieces of wood for the production of wood veneer to hold securely in place. In contrast, the preferred embodiments according to FIG. 10, 11 and 11 A in a mechanical Workshops are used in which a workpiece is to be held securely in place.

Bei der Ausführungsform gernäß Fig. 7 bis 9 ist ein Vakuumbett 100 vorgesehen, das in der Zeichnung lediglich zum Teil dargestellt ist, Tn diesem speziellen Fall weist das Vakuumbett 100 eine etwa 30,4 8 cm lange und 5, 08 cm breite Aluminiumplatte 102 auf. Die Dicke der Aluniinium-In the embodiment according to FIGS. 7 to 9, a vacuum bed 100 is provided, which is only partially shown in the drawing, Tn this In the specific case, the vacuum bed 100 is approximately 30.48 cm long and 5.08 cm wide aluminum plate 102. The thickness of the aluniinium

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platte 102 kann davon abhängen, ob ein Sockel bzw. ein Bodenteil gemäß der Ausführungsform in Fig. 5 Oder in Fig. 4 verwendet wird. Im vorliegenden Fall wurde eine der aus Fig. 5 ersichtlichen Ausführungsform ähnliche Anordnung verwendet, wobei die Aluminiumplatte 102 eine Dicke von etwa 1, 9 cm aufwies. Die Platte 102 weist eine Vielzahl von Löchern 104 auf, die sowohl in Längs- als auch in Querrichtung der Platte 102 in regelmäßigen Abständen voneinander in die Platte 102 gebohrt sind. Jede Öffnung oder Bohrung 104 besitzt ein Innengewinde 106 und steht mit einer Reihe von Kanälen 108 in Verbindung, die sich in Seitenrichtung und Längsrichtung auf einer Fläche 110 der Platte 102 erstrecken. Diese längs und seitlich verlaufenden Kanäle 108 bilden eine Verteilerkammer, die mittels einer nicht dargestellten Schnellverbinderkupplung an eine Unter druckquelle angeschlossen werden kann» Eine Gegenplatte 112 bildet einen Teil des Rahmens, an demdas Vakuumbett 100 mittels beispielsweise Bolze.n, Nieten oder anderen Bef estigungs mitteln dieser Art befestigt ist. Die der Fläche 110 gegenüberliegende Fläche der Platte 102 ist mit einem nachgiebigen Bogen oder einer Bahn 114 aus Abdicht material abgedeckt, die zur Schaffung eines bestimmten Musters von Öffnungen 116 eingeschnitten, gestanzt oder auf andere Weise mit Öffnungen versehen ist» Es ist vorteilhaft, die Bahn 114 derart auszubilden, daß sich auf der nach außen gekehrten Seite eine Hartgummi« schicht 118 befindet, unterhalb der eine dickere und weichere schaumähnliche Schicht 120 liegt. Die gesamte Bahn 114 ist mittels Klebstoff oder dergleichen fest mit der Aluminiumplatte 102 verbunden. Diejenigen Teile der nachgiebigen Bahn 114, die nach der Herstellung der Vielzahl der Öffnungen 116 verbleiben, bilden eine entsprechende Vielzahl abgegrenzter Zonen. Wie aus Fig. 1 ersichtlich, umgibt jede abgegrenzte Zone eine der in der Aluminiumplatte 120 vorgesehenen Gewindeöffnungen 104. Bei dieser bevorzugten AusführuEgsform weist die 30,48 cm lange und 5, 08 cm breite Aluminiumplatte 102 etwa 2.750 Öffnungen und abgegrenzte Zonen auf.Plate 102 can depend on whether a base or a base part according to the embodiment in FIG. 5 or in FIG. 4 is used. In the present case, an arrangement similar to the embodiment shown in FIG. 5 was used, the aluminum plate 102 having a thickness of approximately 1.9 cm. The plate 102 has a multiplicity of holes 104 which are drilled into the plate 102 at regular intervals from one another in both the longitudinal and transverse directions of the plate 102. Each opening or bore 104 is internally threaded 106 and communicates with a series of channels 108 extending laterally and longitudinally on a surface 110 of plate 102. These longitudinally and laterally running channels 108 form a distribution chamber that can be connected to a vacuum source by means of a quick connector coupling, not shown this type is attached. The face of plate 102 opposite face 110 is covered with a resilient sheet or sheet 114 of caulking material which is cut, punched, or otherwise apertured to create a particular pattern of openings 116. It is advantageous to use the sheet 114 in such a way that there is a hard rubber layer 118 on the outward-facing side, below which a thicker and softer foam-like layer 120 lies. The entire web 114 is firmly connected to the aluminum plate 102 by means of an adhesive or the like. Those portions of the resilient web 114 that remain after the plurality of openings 116 are formed form a corresponding plurality of delimited zones. As seen from Fig. 1, each bounded region surrounding one of the provided in the aluminum plate 120 threaded holes 104. In this preferred AusführuEgsform, the 30.48 cm long and 5, 08 cm wide aluminum plate 102 about 2. 750 openings and delimited zones.

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Jede Gewindeöffnung 104 ist mit einem Stopfen 130 versehen, der ein entsprechendes Gewinde besitzt. Jeder Gewindestopfen 130 weist eine Sacköffnung 132 auf, die sich in Längsrichtung zum Stopfen 130, vorzugsweise koaxial hierzu, erstreckt. Wie aus Fig. 9 ersichtlich, weist der Stopfen 130 einen sogenannten inneren Abschnitt, an dem sich das Gewinde 134 befindet, sowie einen äußeren Abschnitt 136 auf, der als sechseckige Mutter ausgebildet ist und einen wirksamen Durchmesser besitzt, der größer ist als derjenige des Gewindeabschnittes 134. In dem vergrößerten Abschnitt 136 ist eine quer verlaufende Sacköffnung vorgesehen, die mit der sich längs erstreckenden Sacköffnung 132 in Verbindung steht. Aus Gründen der leichteren Herstellung empfiehlt es sich, die Sacköffnung 138 derart anzuordnen, daß sie senior echt zur Achse des Gewindestopfens 130 verläuft. Die Stirnfläche des sechseckigen Abschnittes 136 weist einen Vorsprung 140 auf, der ebenfalls wieder aus Gründen der leicKeren Herstellung vorzugsweise eine konische Form besitzt. Selbstverständlich können jedoch auch Vorsprünge von anderer Form verwendet werden.Each threaded opening 104 is provided with a plug 130 which is a has a corresponding thread. Each threaded plug 130 has a blind opening 132 which extends in the longitudinal direction of the plug 130, preferably coaxial with this, extends. As can be seen from FIG. 9, the plug 130 has a so-called inner section on which the Thread 134 is located, and an outer portion 136, which is designed as a hexagonal nut and an effective diameter which is larger than that of the threaded portion 134. In the enlarged portion 136 is a transverse blind opening which is in communication with the longitudinally extending bag opening 132. It is recommended for reasons of easier production to arrange the bag opening 138 in such a way that it is senior genuinely to the Axis of the threaded plug 130 runs. The end face of the hexagonal Section 136 has a projection 140, which is again preferably conical for reasons of easier manufacture Owns shape. Of course, projections of a different shape can also be used.

In der querverlaufenden Sacköffnung 138 ist ein Drosselungseinsatz aus porösem Material befestigt. Wie schon bei den zuvor beschriebenen Ausführungsformen ist der Einsatz 144 vorzugsweise aus porösem, rostfreiem Sinterstahl gefertigt, der eine mittlere Porengröße in der Größenordnung von etwa 5-10 Mikron aufweist. Aus Fig. 7 und 8 wird deutlich, daß der Gewindestopfen 130 mittels des sechseckigen Abschnittes 136 leicht in die Gewinde öffnung 104 eingeschraubt werden kann. Wenn dies erfolgt ist und der Stopfen 130 einen festen Sitz aufweist, ist es unter keinen denkbaren Umständen möglich, daß sich zwischen der öffnung und dem Gewindedurchlaß 104 - selbstverständlich mit Ausnahme des Drosselungseinsatzes 144 - eine Strömung ergibt. Die üblicherweise senkrechte Anordnung des porösen Einsatzes 144 weist den Vorteil auf,In the transverse bag opening 138 is a throttling insert attached from porous material. As with the ones previously described In embodiments, the insert 144 is preferably made of porous sintered stainless steel that has an average pore size on the order of magnitude of about 5-10 microns. It is clear from FIGS. 7 and 8 that the threaded plug 130 by means of the hexagonal section 136 can easily be screwed into the threaded opening 104. When this is done and the plug 130 is snug, it is under no conceivable circumstances possible between the opening and the threaded passage 104 - with the exception of the throttle insert 144, of course - results in a flow. Usually perpendicular arrangement of the porous insert 144 has the advantage

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daß dieser Einsatz 144 nicht beschädigt werden kann, wenn ein Stück Bauholz oder Nutzholz auf die Bettplatte 102 .gesetzt wird. Hierbei drückt sich wie bei der Ausführungsform gemäß Fig, 4 der nachgiebige Bogen 114 aus abdichtendem Material leicht zusammen und bildet zusammen mit der Oberfläche des gehalterten Werkstückes einen relativ luftdichten Abschluß. Dabei dringt der an jedem der Stopfen 130 vorgesehene konische Vorsprung 130 etwas in das Holzstück ein, von dem Holzfurnierstücke abgeschnitten werden sollen. Die Ebene, in der sich die Oberfläche des das Holz tragenden Vakuumbettes 100 befindet, ist im allgemeinen vertikal ausgerichtet. Demgemäß tragen die Vorsprünge 140 dazu bei, das Holz, d. h. das Werkstück sicher an seinem Platz zu halten. Der sich im einzelnen beim Schneiden der Holzfurnierstücke ergebende Vorgang wurde schon in Verbindung mit der Ausführungsform gemäß Fig. 4 beschrieben.that this insert 144 cannot be damaged if a piece Lumber or lumber is placed on the bed plate 102. Here As in the embodiment according to FIG. 4, the flexible sheet 114 of sealing material compresses slightly and forms together with the surface of the workpiece being held a relatively airtight seal. The one provided on each of the plugs 130 penetrates conical projection 130 slightly into the piece of wood from which pieces of wood veneer are to be cut. The level in which the surface of the vacuum bed 100 carrying the wood is generally vertically oriented. Accordingly, the projections carry 140 contributes to the wood, i.e. H. to hold the workpiece securely in place. Which is in detail when cutting the wood veneer pieces The resulting process has already been described in connection with the embodiment according to FIG. 4 described.

Es wurde mit äußerst großem Erfolg ein 30,48 cm langes und 5,08 cm breites Vakuumbett 100 verwendet, wobei 2.750 Öffnungen mit jeweils einem Drosselungseinsatz 144 in jeder Öffnung 116 vorgesehen waren und das Vakuumbett 100 mit dem federnd nachgiebigen Bogen 114 aus abdichtendem Material verbunden war. Die gesamte Anordnung wurdeIt became a 12 "long and 2" tall with great success wide vacuum bed 100 was used, 2,750 openings with a restriction insert 144 in each opening 116 being provided and the vacuum bed 100 was connected to the resilient sheet 114 of sealing material. The entire arrangement was made

3 an eine Vakuumpumpe mit einem Leistungsvermögen von 1,42 m /min.3 to a vacuum pump with a capacity of 1.42 m / min.

und einer Vakuumleistungsfähigkeit von etwa 66, 0 - 68,6 cm Quecksilber-Säule angeschlossen. Wenn sämtliche 2.750 Öffnungen über die Drosselungseinsätze 144 direkt mit der Atmosphäre verbunden waren, betrug das durch die 1,42 m /min. starke Pumpe erzeugbare Vakuum 38,1 cm Quecksilber-Säule. Ein Holzscheit wurde zuerst diametral zerschnitten und sodann zur Schaffung einer gleichmäßigen Oberfläche etwas gehobelt; dieses derart bearbeitete Holzscheit wurde sodann auf die aus Abdichtmaterial bestehende Bahn 114 gelegt. Es ist jedoch zu vermuten, daß sich hinsichtlich der Wirksamkeit der Abdichtung, die durch die nacligiebige Abdichtbahn 114 zusammen mit der geschnittenen Oberflächeand a vacuum capacity of about 66.0-68.6 cm column of mercury connected. If all of the 2,750 openings were connected directly to the atmosphere via the restriction inserts 144, this was 1.42 m / min. strong pump can be generated vacuum 38.1 cm mercury column. A log was first cut diametrically and then planed a little to create an even surface; this log of wood worked in this way was then used on the Sealing material existing web 114 placed. However, it can be assumed that the effectiveness of the seal, which is achieved by the nacligiebige sealing sheet 114 along with the cut surface

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des Holzstückes gebildet ist, keine sehr großen Unterschiede bei Verwendung eines grobzersägten Holzscheites mit rauher Oberfläche ergeben. Im vorliegenden Fall betrug bei Verwendung eines kleinen, 20, 32 cm langen und 38,10 cm dicken Holzscheites das durch die 1,42 m /min. starke Pumpe abgesaugte minimale Vakuum 45,72 cm Quecksilber-Säule. Bei Verwendung eines größeren Holzscheites, nämlich eines 27, 94 cm langen und 50, 80 cm dicken Holzscheites,betrug das erzeugte Vakuum 53,3 cm Quecksilber-Säule. Das in diesen beiden Fällen jeweils erzeugte Vakuum oder der Unterdruck reichte vollkommen aus, um vom Holzscheit, d.h. dem hier zur Rede stehenden Werkstück, auf zufriedenstellende Weise Holzfurnierstücke abzuschneiden.of the piece of wood is formed, no very large differences in use of a roughly sawn log with a rough surface. In the present case, when using a small, 20, 32 cm long and 38.10 cm thick logs through the 1.42 m / min. strong pump sucked out minimal vacuum 45.72 cm Mercury column. When using a larger log, namely of a log 27.94 cm long and 50.80 cm thick, the vacuum generated was 53.3 cm column of mercury. That in these two The vacuum generated in each case or the negative pressure was completely sufficient to remove the log, i.e. the workpiece in question, cut off pieces of wood veneer in a satisfactory manner.

Die aus Fig. 10, 11 und 11 A ersichtliche Ausführungsform eignet sich in erster Linie zur Verwendung in Verbindung mit Werkzeugmaschinen. Hierbei zeigt Fig. 10 und 11 eine kleine Vakuumeinspannvorrichtung 150, deren jeweilige Seitenlänge etwa 10,16 cm beträgt. Im Gegensatz zu der Ausführungsform gemäß Fig. 7 weist die Vakuumeinspannvorrichtung gemäß Fig. 10 und 11 eine vorzugsweise aus Aluminium gefertigte Platte 152 auf, die an ihrer einen Oberfläche maschinell bearbeitet wurde, um einen kreisförmigen Kanal 154 zu schaffen. In diesem Kanal 154 ist fest, jedoch lösbar ein hohles Gummirohr in Form eines O-Ringes 156 angeordnet. Wie aus Fig. 10 ersichtlich, ist der Durchmesser des O-Ringes 156 etwas größer als die Tiefe des Kanals 154, so daß ein Teil des Gummirohres 156 über die Oberfläche der Platte hinausragt. Das hat zur Folge, daß ein auf diese Oberfläche gesetztes Werkstück mit dem Gummirohr 156 in dichtem Eingriff steht. Die Breite des Kanals 154 weist einen größeren Wert als der Durchmesser des O-Ringes 156 auf. Hierbei liegt der O-Ring 156 an der seinem Innendurchmesser entsprechenden Stelle dielt an der entsprechenden Wand des Kanals 154 an, während auf der gegenüberliegenden Seite an der demThe embodiment shown in FIGS. 10, 11 and 11A is suitable primarily for use in connection with machine tools. 10 and 11 show a small vacuum chuck 150, each side of which is about 10.16 cm. In contrast to the embodiment according to FIG. 7, the vacuum clamping device 10 and 11, a plate 152, preferably made of aluminum, which is machined on one surface thereof was to create a circular channel 154. In this channel 154 is fixed, but detachable, a hollow rubber tube in the form of a O-ring 156 arranged. As can be seen from Fig. 10, the diameter is of the O-ring 156 slightly larger than the depth of the channel 154, so that part of the rubber tube 156 protrudes above the surface of the plate. As a result, a Workpiece with the rubber tube 156 is in tight engagement. The width of the channel 154 has a larger value than the diameter of the O-ring 156. Here, the O-ring 156 lies on its inner diameter corresponding point stopped on the corresponding wall of the channel 154, while on the opposite side on the

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Außendurchmesser des O-Rings 156 entsprechenden Stelle ein bestimmter freier Raum vorhanden ist.Outside diameter of the O-ring 156 corresponding point a certain free space is available.

Wie schon bei den zuvor beschriebenen Ausführungsformen bildet das Gummirohr oder der O-Ring 156 eine abgegrenzte Zone, in deren Mittelbereich eine sich vollständig durch die Platte 152 erstreckende Öffnung 158 vorgesehen ist. Die Öffnung 158 weist einen Teil 160 mit einem größeren Durchmesser sowie eine Senkbohrung 162 auf. In der kleineren Öffnung 162 ist ein Drosselungseinsatz 164 vorgesehen, der dazu dient, die durchströmende Luft menge auf ein gesteuertes Volumen zu begrenzen. Die Öffnung 160 steht mit einer gehäuseähnlichen Verteilerkammer in Verbindung, die derjenigen der aus Fig. 4 ersichtlichen Ausführungsform sehr ähnlich ist. Statt dessen kann selbstverständlich auch eine der Ausführungsform gemäß Fig. 5 ähnliche Anordnung verwendet werden, jedoch ergeben sich bestimmte Vorteile, wenn eine in der Nähe des Drosselungseinsatzes 164 angeordnete großvolumige Vakuumverteiler kammer verwendet wird. Wie schon bei den zuvor beschriebenen Ausführungsformen sind die Einsätze 164 vorzugsweise aus porösem Sinterstahl gefertigt, der eine mittlere Porengröße in der Größenordnung von etwa 5-10 Mikron aufweist.As with the previously described embodiments, this forms Rubber tube or the O-ring 156 a delimited zone in the central area an opening 158 extending completely through plate 152 is provided. The opening 158 has a portion 160 with a larger diameter and a counterbore 162. A throttle insert 164 is provided in the smaller opening 162, which serves to to limit the amount of air flowing through to a controlled volume. The opening 160 stands with a housing-like distribution chamber in connection which is very similar to that of the embodiment shown in FIG. Instead, of course, a the embodiment of FIG. 5 similar arrangement can be used, but certain advantages result if one in the vicinity of the Throttle insert 164 arranged large-volume vacuum manifold chamber is used. As with the previously described embodiments The inserts 164 are preferably made of porous sintered steel having an average pore size on the order of about 5-10 microns.

Bei der aus Fig. 11 A ersichtlichen abgewandelten Ausführungsform weist eine größere Vakuumeinspannvorrichtung Kanäle 154 sowie Abdichteinrichtungen in der Form von O-Ringen 156 auf, die dort versetzt angeordnet sind. Jede Abdichteinrichtung 156 bildet ebenfalls eine abgegrenzte Zone, in deren Mitte eine Öffnung mit einem Drosselungseinsatz vorgesehen ist. Oberflächenunebenheiten sowohl im Werkstück als auch in der oberseitigen Fläche der Platte 152 reichen normalerweise, wie in Verbindung mit der Ausführungsform gemäß Fig. 1 beschrieben, zur Bildung einer Vakuumkammer aus, obwohl es selbstverständlich, fallsIn the modified embodiment shown in FIG. 11A has a larger vacuum chuck channels 154 as well as sealing devices in the form of O-rings 156, which are arranged offset there. Each sealing device 156 also forms a delimited one Zone with an opening with a throttle insert in the middle. Surface unevenness both in the workpiece and in the upper surface of the plate 152 are normally sufficient, as described in connection with the embodiment of FIG. 1, to Formation of a vacuum chamber, though of course, if

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erwünscht, möglich ist, bewußt Vertiefungen vorzusehen.desirable, it is possible to deliberately provide indentations.

Bei Verwendung einer Anordnung gemäß Fig. 10 und 11 A, wobei eine Platte 152 in der Größe von 91,4 cm χ 122 cm vorgesehen war, wurde eine Pumpe mit einem volumetrischen Leistungsvermögen von 0, 326 m /min. angeschlossen und in Betrieb gesetzt.Mit dieser Pumpe war die Erzeugung eines Vakuums von etwa 66, 0 - 68, 6 cm Quecksilber-Säule möglich. Wenn alle abgegrenzten Zonen unbedeckt waren, wurde durch die Pumpe ein Vakuum von etwa 48, 26 cm Quecksilber-Säule geschaffen. Nachdem über eine bestimmte Anzahl der abgegrenzten Zonen ein 102 cm χ 76,2 cm großes Aluminiumstück gelegt worden war, ergab sich ein Vakuum von etwa 58,4 cm Quecksilber-Säule. Das aus Aluminium bestehende Werkstückwurde darauf maschinell bearbeitet, wobei ein öllösliches Kühlmittel verwendet wurde, das etwas dazu neigte, den Drosselungseinsatz 164 zuzusetzen bzw. zu verstopfen. Das hatte zur Folge, daß das Vakuum von 58,4 cm Quecksilber-Säule auf etwa 63, 5 cm Quecksilber-Säule anstieg. Nach Beendigung des Bearbeitungsvorganges wurde das Werkstück entfernt und Preßluft in umgekehrter Richtung durch den Drosselungseinsatz 164 geblasen, um den Einsatz vollständig zu reinigen und sämtliche öllöslichejlückstände sowie Metallspäne zu entfernen.Using an arrangement according to FIGS. 10 and 11A , wherein a plate 152 in the size of 91.4 cm × 122 cm was provided , a pump with a volumetric capacity of 0, 326 m / min. connected and put into operation. With this pump it was possible to generate a vacuum of about 66.0 - 68.6 cm mercury column. When all of the demarcated zones were uncovered, the pump created a vacuum of approximately 48.26 cm column of mercury. After a 102 cm χ 76.2 cm piece of aluminum had been placed over a certain number of the delimited zones, a vacuum of about 58.4 cm mercury column resulted. The aluminum workpiece was then machined using an oil-soluble coolant which had a slight tendency to clog the restriction insert 164. As a result, the vacuum increased from the 58.4 cm mercury column to about 63.5 cm mercury column. After completion of the machining process, the workpiece was removed and compressed air was blown in the opposite direction through the throttle insert 164 in order to completely clean the insert and to remove all oil-soluble residues and metal chips.

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Claims

. Patent claims

Device for releasably securing or holding a workpiece in a desired position with a bottom part, on one surface of which the workpiece rests, with one on this surface Sealing device arranged in a certain pattern to form a plurality of delimited zones and with one provided in the bottom part Passage device which can be connected to a negative pressure junction for connection to subatmospheric pressure, characterized in that, that on the surface (12) of the bottom part (10) in each delimited Zone a recess-forming device (14, 16, 68) is provided which is used to form a pressure chamber (24) with the sealing device (22) and cooperates with a workpiece which touches the sealing device and covers at least one of the zones and in flow communication with the passage device (26, 62) and that a device (40, 64, 94, 144) is arranged to throttle the air flow, regardless of whether all zones on the bottom part surface are covered by the workpiece are, continuously a controlled, sufficient amount of air to maintain the negative pressure in each pressure chamber lets through, the total volume of the controlled amount of air passed through all of the throttling devices being less than the volumetric Capacity of the vacuum source.

2. Apparatus according to claim 1, characterized in that the bottom part (84) to the shape of the workpiece surface cooperating with it is conformable and consists of a deformable sheet of resilient material having bendable reinforcements.

3. Apparatus according to claim 1, characterized in that the bottom part (10, 50, 152) has a rigid plate element.

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4. Device according to one of claims 1 to 3, characterized in that that the recess-forming device provided on the surface (12) of the bottom part (10) from Ob erf Iac he nu besides he it s (14) consists, each via the throttling device (40) with the passages message (26).

5. Vorr ic llung according to one of claims 1 to 4, characterized in that that the throttling device (40) is a plug made of porous material,

6. Device according to one of claims 1 to 4, characterized in that that the throttle device (40) an insert (42) made of sintered stainless steel mi! an average pore size of the order of magnitude is about 5-10 microns.

7. Device according to one of claims 1 to 4, in particular according to Claim 3, characterized in that the throttling device has an opening (62) extending through the plate element (50), the length of which is approximately 25 times its clear diameter and whose clear diameter is chosen such that the amount of air flowing through the opening, regardless of whether all delimited Zones on the surface of a workpiece are covered on the controlled volume is limited.

8. Device according to one of claims 1 to 4, characterized in that that the throttling device has a valve arrangement (18, 44) by means of which the amount of air flowing through is independent of whether all delimited zones on the surface are covered by the workpiece, in order to generate and maintain a negative pressure a sufficiently large controlled volume can be limited in each pressure chamber (24).

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9. Device according to one of claims 1 to 3 and 5, characterized in that that the well-forming device consists of an arrangement machine-made recesses (16, 66), one of which is located in each delimited zone and is fixed a plug (42, 64) made of porous material for limiting the amount of air flowing through to the controlled volume.

10. The device according to claim 1, characterized in that on the surface of the bottom part below the sealing device is a porous, stainless sintered steel sheet with an average pore size of about 5 microns with selected areas in one for location of the cooperating sealing means identical patterns are impregnated with impermeable resinous material, with the remaining areas within each so formed delimited zone for the passage of the controlled amount of air with a passage device in connection.

11. The device according to claim 1, characterized in that the throttling device has a conical valve seat (18) which a valve ball (44) receives and has at least one groove through which while maintaining the negative pressure in the pressure chamber (24) the controlled air volume flows, regardless of whether all zones are on the Surface are covered by the workpiece.

12. The device according to claim 1, characterized in that the Passage device has a threaded opening (104) which has a threaded plug (130) with a flow passage (132, 138) extending through its central axis, wherein in the flow passage an insert (144) made of porous material and serving as a throttle device is arranged in a plane parallel to the axis of the stopper is.

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13, device according to claim 12, characterized in that the The threaded plug (130) has a projection (140) which interacts with the surface of a workpiece covering a delimited zone and generates an auxiliary force which assists the pressure forces generated by the vacuum in holding the workpiece in its position.

14. Method for releasably holding a workpiece in a desired position Position on a base part that has a sealing device in a specific pattern to form at least one delimited zone and is provided in each delimited zone with an opening, whereby this zone can be connected to a vacuum source and whereby the workpiece, which completely covers at least one delimited zone with its surface, can be fixed on the base part, characterized in that, that a controlled amount of air is passed through a throttling device, the total amount of the through all throttling devices conducted air is less than the volumetric capacity of the vacuum source, causing each through the workpiece surface completely covered delimited zone largely evacuable and a pressure difference can be generated here in relation to the atmosphere that holds the workpiece firmly in place.

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