DE2241558A1 - SPINNER FOR DRYING SEMI-CONDUCTIVE DISCS - Google Patents
SPINNER FOR DRYING SEMI-CONDUCTIVE DISCSInfo
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- DE2241558A1 DE2241558A1 DE19722241558 DE2241558A DE2241558A1 DE 2241558 A1 DE2241558 A1 DE 2241558A1 DE 19722241558 DE19722241558 DE 19722241558 DE 2241558 A DE2241558 A DE 2241558A DE 2241558 A1 DE2241558 A1 DE 2241558A1
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- B04—CENTRIFUGAL APPARATUS OR MACHINES FOR CARRYING-OUT PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES
- B04B—CENTRIFUGES
- B04B15/00—Other accessories for centrifuges
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- B04B3/00—Centrifuges with rotary bowls in which solid particles or bodies become separated by centrifugal force and simultaneous sifting or filtering
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- Cleaning Or Drying Semiconductors (AREA)
- Drying Of Solid Materials (AREA)
Description
Schleuder zum Trocknen von Halbleiterscheiben Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung zum gleichzeitigen Trocknen einer Vielzahl von Halbleiterscheiben unter Ausnutzung der Zentrilugalraft, welche aus einem Schleuderkäfig, der einen Drehteller mit Schleudereinsätzen zur Aufnahme von mit Halbleiterscheiben besetzten Horden umschließt, einem Lager der Antriebswelle des Drehtellers, einem Antriebsmotor und einem diese Teile umschließenden Metallgehäuse besteht, das mit einem Deckel versehen ist und gleichzeitig Elemente zur elektrischen Steuerung der Vorrichtung trägt Eines der größten Probleme in der Halbleitertechnik ist die Vorbereitung der Halbleiterscheiben für Hochtemperaturprozesse wie Diffusionsprozesse, welche peinlich gesäuberte und getrocknete Hälbleiterscheiben erfordern. Spin dryer for drying semiconductor wafers The invention relates to a device for drying a plurality of semiconductor wafers at the same time using the Zentrilugalraft, which from a centrifugal cage, the one Turntable with centrifugal inserts for holding semiconductor wafers Horde encloses, a bearing of the drive shaft of the turntable, a drive motor and a metal housing enclosing these parts, which is provided with a cover is provided and at the same time elements for the electrical control of the device One of the biggest problems in semiconductor technology is the preparation of the Semiconductor wafers for high temperature processes such as diffusion processes, which are embarrassing require cleaned and dried semiconductor wafers.
Unter den möglichen Trockenprozessen, wie Trocknung durch Wärmestrahlung oder durch Anblasen mit heißen Gasen, wird dem Trockenschleudern unter Ausnutzung der Zentrifugalkraft der Vorzug gegeben, da normalerweise bei dieser Art der Trocknung keine unerwünschten Eindampfrückstände auf den Halbleiterscheiben verbleiben. Among the possible drying processes, such as drying by thermal radiation or by blowing hot gases on, the spin-dry is taking advantage of centrifugal force is preferred, as this is normally the case with this type of drying no undesired evaporation residues remain on the semiconductor wafers.
Für die Behandlung jeweils einer Scheibe wird eine Schleuder benutzt, bei der die Scheibe um die zur Oberfläche senkrechte Symmetrieachse rotiert. Sie wird von einem-batteriegespeisten Motor angetrieben und liefert 2000 - 3000 UpM. A centrifuge is used to treat one pane at a time, in which the disk rotates around the axis of symmetry perpendicular to the surface. she is driven by a battery-powered motor and delivers 2000 - 3000 rpm.
Diese Schleudernssind für Einzelarbeiten gut zu verwenden, jedoch für das Trockenschleudern größerer Stückzahlen im Fertigungsbereich ungeeignet.These slingshots are fine to use for single jobs, however unsuitable for spin-drying larger quantities in the production area.
Für das gleichzetige Trocknen mehrerer Halbleiterscheiben stehen bisher Trockenschleudern zur Verfügung, bei denen immer wieder infolge der vergroßerten Masse Unwuchten auftreten, die sich auf das gesamte Gerät übertragen und dadurch eine erhebliche Anzahl Scheiben zu Bruch geht. Solche Trockenschleudern bestehen aus einem Metallgehäuse, das die wesentlichen Bestandteile, wie Trockentrommel mit Drehteller und Einsätzen zur Halterung der Habieiterscheiben, Lager des Drehtellers und Antriebsmotor, umschließt. Das Gehäuse besitzt weiterhin einen die Trommel gut abschließenden Deckel und trägt außerdem die zur Steuerung des Gerätes notwendigen Elemente. Zum Trocknen werden die Scheiben in Rund- bzw. Langhorden in geeigneten Halterungen des Drehtellers eingesetzt. Um die Trocknung der Scheiben zu verbessern, wird während des Trockenprozesses zusätzlich ein Zusatzgas eingeblasen.For the simultaneous drying of several semiconductor wafers have been available so far Spin dryers available, where repeatedly as a result of the enlarged Mass imbalances occur, which are transferred to the entire device and thereby a significant number of panes break. Such spin dryers exist from a metal housing that contains the essential components, such as the drying drum Turntable and inserts for holding the Habieiterscheiben, bearings of the turntable and drive motor, encloses. The case still has a drum well final cover and also carries the necessary to control the device Elements. For drying, the panes are placed in round or long trays in suitable Brackets of the turntable used. To improve the drying of the panes, an additional gas is blown in during the drying process.
Allen handelsublichen Modellen ist eine starre Lagerung des Drehtellers gemeinsam; häufig sind dabei der Motor und der Drehteller auf einer Achse untergebracht. Der besondere Nachteil dieser Trockenschleudern besteht darin, daß sie stets gleichmäßig mit Halbleiterscheiben besetzt werden müssen, um Unwuchten zu vermeiden. Trotzdem treten auch bei sorgfältigster Beachtung dieser Betriebsvorschrift bei hohen Umdrehungszahlen starke Rütteleffekte auf, welche zu Scheibenbruch und mitunter sogar zum Zerreißen der tunststoffhorden führen.All commercially available models have a rigid bearing for the turntable together; the motor and the turntable are often housed on one axis. The particular disadvantage of these spin dryers is that they are always uniform must be filled with semiconductor wafers in order to avoid imbalances. Nevertheless occur even if these operating instructions are carefully observed at high speeds strong jolting effects, which can lead to broken glass and sometimes even to tearing the plastic trays lead.
Es wurde weiterhin festgestellt, daß das während des Schleudervorgangs abgegebene Wasser innerhalb der Trommel vernebelt wird, also Nebeltröpfchen gebildet werden, die sich ihrerseits erneut auf den Scheiben niederschlagen.It was also found that this occurred during the spinning process released water is misted inside the drum, so mist droplets are formed which in turn are reflected again on the panes.
Aufgabe der vorliegenden Erfindung ist es, eine Vorrichtung zum gleichzeitigen Trocknen einer Vielzahl von Halbleiterscheiben unter Ausnutzung der Zentrifugalkraft so ZU verbessern, daß eine völlige und rückstandsfreie Trocknung der Scheiben erreicht wird und daß in allen Umdrehungszahlbereichen auch bei üngleichmäßig mit Scheiben'besetzten Horden ein überaus ruhiger Lauf der apparatur gewährleistet wird und damit die Gefahr des Brechens für die hochempfindlichen Halbleiterscheiben ausgeschlossen ist.The object of the present invention is to provide a device for simultaneous Drying a large number of semiconductor wafers using centrifugal force TO improve so that a complete and residue-free drying of the panes is achieved and that in all speed ranges even when unevenly occupied with disks Hordes an extremely smooth running of the equipment is guaranteed and thus the danger breaking for the highly sensitive semiconductor wafers is excluded.
Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß dadurch gelöst, daß das Lager der Antriebswelle des Brehtellers elastisch in einer Lagerhalterung eingebettet und die Lagerhalterung elastisch und schwingungsdämpfend in dem Metallgehäuse befestigt ist, daß der Schleudereinsatz und der S-chleuderkäfig mehrere Offnungen besitzen, durch welche im Innern des Schleuderkäfigs ein abwärtsgerichteter Gasstrom, dessen Eintritt durch eine Einlaßöffnung im Gehäusedeckel ermöglicht wird, erzeugt wird und daß der Innenraum des Schleuderkäfigs mit einem Drahtgewebe versehen ist.This object is achieved in that the bearing of the Drive shaft of the Brehteller is elastically embedded in a bearing holder and the bearing holder is fastened in the metal housing in an elastic and vibration-damping manner is that the spin insert and the spin cage have several openings, through which inside the centrifugal cage a downward gas flow, whose Entry through an inlet opening in the housing cover is enabled, is generated and that the interior of the centrifugal cage is provided with a wire mesh.
Durch die elastische Lagerung der Antriebswelle innerhalb von zwei Spannringlagern, die ihrerseits mit Hilfe von Gummiauflageringen elastisch in eine gemeinsame Halterung eingepaßt sind,- werden Unwuchten, die im wesentlichen durch ungleich mit Halbleiterscheiben besetzte Horden hervorgerufen werden, aufgefangen.Due to the elastic mounting of the drive shaft within two Tension ring bearings, which in turn are elastically integrated into a common bracket are fitted, - are imbalances, which are essentially due to unevenly occupied with semiconductor wafers hordes are caused, collected.
Die Vorrichtung nach der Erfindung zeichnet sich durch eine besonders elastisch und schwingungsdämpfende Installierung der wesentlichen Bauteile, wie Antriebsmotor und Schleuderkäfig, insbesondere der rotierenden Bauteile, wie Antriebswelle und des mit ihr fest verbundenen Drehtellers, auf einer ebenfalls schwingungsdämpfend an der Gehäusedeckplatte gehalterten Antriebsplatte unter jeweiliger Zwischenschaltung von Schwingmetallelementen aus.The device according to the invention is characterized by a particular elastic and vibration-damping installation of the essential components, such as Drive motor and centrifugal cage, especially the rotating components, such as the drive shaft and the turntable, which is firmly connected to it, also dampens vibrations on one the drive plate held on the housing cover plate with the respective interconnection from vibration metal elements.
Ein weiteres Merkmal der Erfindung ist eine sorgfältig ausgearbeitete Luftführung innerhalb des Schleuderkäfigs, welche durch mehrere Öffnungen in Form von geeignet dimensionierten Fenstern in der Mantelfläche des Schleudereinsatzes erreicht wird. Diese Öffnungen bewirken in Verbindung mit weiteren geeigneten Öffnungen in der Mantelfläche des Schleuderkäfigs, daß ein Luftstrom erzeugt wird, der durch einen im Deckel des Gerätes vorgesehenen Einlaß angesaugt und über die zu trocknenden Scheiben abwärts geleitet wird.Another feature of the invention is a carefully worked out one Air duct inside the centrifugal cage, which through several openings in the form of suitably dimensioned windows in the outer surface of the extractor insert is achieved. These openings work in conjunction with other suitable openings in the outer surface of the centrifugal cage that an air flow is generated through an inlet provided in the lid of the device is sucked in and over the to be dried Discs is directed downwards.
Die Scheiben befinden sich somit stets im angesaugten Gasstrom, und ein sich am Anfang der Schleuderzeit ausbildender Wassernebel wird von den Scheiben weggeführt. Es ist selbatverständlich, daß die Trockenschleuder so aufgestellt wird, daß nur trockene und gereinigte Luft bzw. Gase angesaugt werden oder daß ein geeignetes Gasfilter der Einlaßöffnung vorgeschaltet wird.The disks are therefore always in the sucked-in gas flow, and a water mist that forms at the beginning of the spin cycle is released from the panes led away. It goes without saying that the dryer should be set up in such a way that that only dry and purified air or gases are sucked in or that a suitable one Gas filter is connected upstream of the inlet opening.
Es hat sich weiterhin als besonders vorteilhaft erwiesen, die innere Mantelfläche des Schleuderkäfigs mit einem Drahtgewebe in 5 - 15 mm, insbesondere 10 mm Entfernung zu versehen. Das Drahtgewebe bewirkt einmal, daß das bei Beginn des Schleudervorgangs abgeschleuderte Wasser relativ fein verteilt in Ihm hängen bleibt. Durch die damit geschaffene Vergrößerung der Wasseroberfläche wird eine Verkürzung der Trockenzeit erreicht. Darüber hinaus verhindert das Drahtgewebe, daß Bruchstücke einer bereits beim Einsetzen in die Schleuder beschädigten Scheibe, die infolge der großen Fliehkraft während des Schleuderns bricht, von der Wandung des Schleuderkäfigs abprallen und auf die rotierenden Scheiben zuruckgeschleudert werden.It has also proven to be particularly beneficial for the internal Outer surface of the centrifugal cage with a wire mesh in 5-15 mm, in particular 10 mm distance to be provided. The wire mesh once causes that at the beginning The water thrown off during the spinning process is relatively finely distributed in it remain. The resulting enlargement of the water surface becomes a Reduced drying time achieved. In addition, the wire mesh prevents that fragments of a pane that was already damaged when it was inserted into the centrifuge, which breaks as a result of the great centrifugal force during the spin, from the wall of the centrifugal cage and thrown back onto the rotating disks will.
In Weiterbildung der Erfindung sind zusätzlich symmetrisch an dem Schleudereinsatz bzw. dem Drehteller Metallflügel angebracht, welche den Raum zwischen Schleudereinsatz und Drahtgewebe während der Rotation des Drehtellers durchfahren. Infolge der hohen Umdrehungszahlen des Gerätes werden evtl. in diesem Raum befindliche Bruchstücke fein zermahlen und durch den abwärtsgerichteten Luftstrom weggefUhrt.In a further development of the invention are also symmetrical on the Centrifugal insert or the turntable metal wing attached, which the space between Pass through the centrifugal insert and wire mesh while the turntable is rotating. Due to the high number of revolutions of the device, there may be in this room Finely grind fragments and remove them by the downward air flow.
Weitere Einzelheiten der Erfindung ergeben sich aus der nachfolgenden Beschreibung der Vorrichtung an Hand der Figur. Die Figur zeigt eine Schleuder zum gleichzeitigen Trocknen einer Vielzahl von Halbleiterscheiben mit wesentlichen Verbesserungen der Lagerung der Antriebswelle 4, der Gasführung im Innern des Schleuderkäfigs 2 und der Gestaltung des Innenraums des Schleuderkäfigs 2.Further details of the invention emerge from the following Description of the device on the basis of the figure. The figure shows a slingshot for simultaneous drying of a large number of semiconductor wafers with significant improvements the bearing of the drive shaft 4, the gas guide inside the centrifugal cage 2 and the design of the interior of the centrifugal cage 2.
Die Trockenschleuder besteht aus einem Metallgehäuse 1, das die Hauptbestandteile, nämlich den Schleuderäfig 2 mit Drehteller 3, die Lagerung der Antriebswelle 4-und den Antriebsmotor 5, umschließt.The spin dryer consists of a metal housing 1, which contains the main components, namely the centrifugal cage 2 with turntable 3, the bearing of the drive shaft 4 and the drive motor 5 encloses.
Um eine elastische Lagerung der Antriebswelle 4 des Drehtellers 3 zu erreichen, ist sie in zwei Spannringlager 6 -und 7 mit Gummiauflageringen 8 und 9 eingebettet. Die gemeinsame Halterung 10 der beiden auf diese Weise elastisch gelagerten Kugellager 11 und 12 besitzt eine Ringnut 13, in die Halteplatten 14 eingreifen und welche die Verbindung über Schrauben 39, 40 einmal zur Grundplatte 15 des Schleuderkäfigs 2 und zum anderen über Verbindungsstücke 16 und Schwingmetallelemente 17 zur Antriebsplatte 18 herstellen.In order to provide an elastic mounting of the drive shaft 4 of the turntable 3 to achieve, it is in two clamping ring bearings 6 and 7 with rubber support rings 8 and 9 embedded. The common holder 10 of the two is elastic in this way The ball bearings 11 and 12 mounted on bearings have an annular groove 13 in which the retaining plates 14 engage and which the connection via screws 39, 40 once to the base plate 15 of the centrifugal cage 2 and on the other hand via connecting pieces 16 and anti-vibration metal elements 17 to drive plate 18.
Die. Antriebsplatte 18, welche gleichzeitig den Antriebsmotor 5 trägt, ist mit Hilfe von St-ehbolzen 19 unter Zwischenschaltung von weiteren Schwingmetallelementen 17 an der Gehäusedeckplatte 20 befestigt. Unter Zuhilfenahme von Schwingmetallelementen 17 bei der Aufhängung der Antriebsplatte 18 einerseits und andererseits bei der Herstellung der Verbindung zur Grundplatte 15 des Schleuderkäfigs 2 sowie zur Halterung der Kugellager 11 und 12 wird ein überaus ruhiger Lauf der Trokkenschleuder gewährleistet.The. Drive plate 18, which at the same time carries the drive motor 5, is with the help of stud bolts 19 with the interposition of further anti-vibration metal elements 17 attached to the housing cover plate 20. With the help of anti-vibration elements 17 in the suspension of the drive plate 18 on the one hand and on the other hand in the Establishing the connection to the base plate 15 of the centrifugal cage 2 and to the holder the ball bearings 11 and 12 ensure that the dryer runs extremely smoothly.
In-dem Schleuderkäfig 2 befindet sich der mit der Antriebswelle. 4-fest verbundene, a.B. angeschweißte Drehteller 3.The one with the drive shaft is located in the centrifugal cage 2. 4-fixed connected, a.B. welded turntable 3.
Dieser trägt den mit Hilfevon Schrauben 21 gehaltenen Schleudereinsatz 22 ziir Aufnahme einer mit Halbleiterscheiben besetzten Horde (in der Zeichnung nicht dargestellt). Es existieren für Rund- und auch Langhorden verschiedene Schleudereinsätze 22, die mühelos und in kurzer Zeit ausgewechselt werden können. Für die Verwendung von Rundhorden mit langem Stiel ist es wichtig, daß die Antriebswelle 4 als Hohlwelle ausgebildet ist.This carries the centrifugal insert held by screws 21 22 for the inclusion of one occupied with semiconductor wafers Horde (in not shown in the drawing). There are different ones for round and long hordes Centrifugal inserts 22, which can be exchanged easily and in a short time. When using round trays with a long handle, it is important that the drive shaft 4 is designed as a hollow shaft.
Für eine besondere Gasführung im Innern des Schleuderkä.fi£rs besitzt der Deckel 24 des etallgehäuses eine EinlaßöffnunE, 25, welche - sofern es erforderlich ist - mit einem geeigneten Gasfilter (in der Figur nicht dargestellt) kombiniert werden kann. Durch diese Einlaßöffnung 25 wird während des Betriebes der Schleuder Luft bzw. Gas angesaugt, die in dem Schleuderkäfig 2 und dem Schleudereinsatz 22, welche mit Öffnungen 23, 38 in Form von Fenstern versehen sind, einen Gasstrom bildet, der über die mit Scheiben bestzten Horden streicht und abwärts geleitet wird. Es ist dabei darauf zu achten, daß stets getrocknetes und gereinigtes Gas angesaugt wird. Die Scheiben befinden sich dann immer in einem trockenen Gas strom, der am Anfang der Schleuderzeit ausgebildete Peuchtigkeitsnebel von den Scheiben wegführt.For a special gas flow inside the centrifugal drum the cover 24 of the metal housing an EinlaßöffnunE, 25, which - if necessary is - combined with a suitable gas filter (not shown in the figure) can be. Through this inlet opening 25, the centrifuge is during operation Air or gas is sucked in, which is in the centrifugal cage 2 and the centrifugal insert 22, which are provided with openings 23, 38 in the form of windows, forms a gas flow, which strokes over the hordes studded with discs and is led downwards. It Care must be taken to ensure that dried and purified gas is always sucked in will. The disks are then always in a dry gas stream, which is on At the beginning of the centrifuge time, it removes moisture from the panes.
Es ist weiterhin zu vermerken, daß in der Grundplatte 15 des Schleuderkäfigs 2 eine Abflußöffnung 26 mit Abflußansatz 27 vorgesehen ist. Für den gleichen Zweck, nämlich das abtropfende Wasser beim Einsetzen der nassen mit Scheiben besetzten Horden abzuführen, ist die Antriebswelle 4 als Hohlwelle, die am unteren Ende einen mit einer Bohrung 28 versehenen Stopfen 29 besitzt, ausgebildet.It should also be noted that in the base plate 15 of the centrifugal cage 2, a drain opening 26 with a drain extension 27 is provided. For the same purpose namely the dripping water when inserting the wet occupied with washers Discharge hordes, the drive shaft 4 is a hollow shaft, the one at the lower end with a bore 28 provided with plug 29 is formed.
Zum Abfangen abgeschleuderter Wassertröpfchen ist die innere Mantelfläche des Schleuderkäfigs 2 in ungefähr 10 mm Entfernung mit einem Drahtgewebe 30 versehen. Außerdem verhindert das elastische Drahtgewebe, daß feste Bestandteile von der Wand des Schleuderkäfigs auf die Scheiben zurückgeschleudert werden. Dazu sind zusätzlich an dem Schleudereinsatz 22 bzw.The inner jacket surface is used to catch thrown-off water droplets of the centrifugal cage 2 is provided with a wire mesh 30 at a distance of approximately 10 mm. In addition, the elastic wire mesh prevents solid components from the wall of the centrifugal cage can be thrown back onto the discs. These are additionally on the extractor insert 22 resp.
am Drehteller 3 Metallflügel 31 symmetrisch (in der Zeichnung ist nur ein Metallflügel dargestellt) befestigt, die bei Rotation den unteren Raum zwischen Drahtgewebe 30 und Schleudereinsatz 22 durchfahren.on the turntable 3 metal wings 31 symmetrically (in the drawing is only one metal wing shown), which when rotated the lower space between Pass through wire mesh 30 and centrifugal insert 22.
Die Antriebswelle 4 wird vom Antriebsmotor 5 mit einem Riemenantrieb 32 über die Riemenscheiben 33 und 34 angetrieben.The drive shaft 4 is driven by the drive motor 5 with a belt drive 32 driven by pulleys 33 and 34.
An dem Metallgehäuse 1 sind weiterhin Elemente 35 zur elektrischen und elektronischen Steuerung der Schleuder, eine Sicherheitsverri-egelung -36, die das Öffnen des Deckels 24 während des Betriebes verhindert, und eine Deckelhalterung 37, die den Deckel in geöffnetem Zustand arretiert, befestigt.On the metal housing 1 are elements 35 for electrical and electronic control of the slingshot, a safety interlock -36, the prevents the opening of the lid 24 during operation, and a lid holder 37, which locks the lid in the open state, attached.
Mit Hilfe einer Trockenschleuder, welche sich durch die oben beschriebenen Bauteile auszeichnet, wird eine vollständige und rückstandsfreie Trocknung einer Vielzahl von Halbleiterscheiben in einer überaus kurzen Schleuderzeit - ungefähr 90 - 120 sec - bei hohen Drehzahlen erreicht.With the help of a spin dryer, which is through the above described Components, a complete and residue-free drying of a Large number of semiconductor wafers in an extremely short spin time - approximately 90 - 120 sec - reached at high speeds.
Das dargelegte Prinzip der Wellenlagerung gewährleistet dabei einen so ruhigen Lauf, daß der Bruch von unbeschädigten Halbleiterscheiben ausgeschlossen ist.The illustrated principle of shaft bearings ensures one so smooth running that undamaged semiconductor wafers cannot break is.
8 Patentansprüche 1 Figur.8 claims 1 figure.
Claims (8)
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| DE19722241558 DE2241558A1 (en) | 1972-08-24 | 1972-08-24 | SPINNER FOR DRYING SEMI-CONDUCTIVE DISCS |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| DE19722241558 DE2241558A1 (en) | 1972-08-24 | 1972-08-24 | SPINNER FOR DRYING SEMI-CONDUCTIVE DISCS |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| DE2241558A1 true DE2241558A1 (en) | 1974-02-28 |
Family
ID=5854383
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| DE19722241558 Ceased DE2241558A1 (en) | 1972-08-24 | 1972-08-24 | SPINNER FOR DRYING SEMI-CONDUCTIVE DISCS |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| DE (1) | DE2241558A1 (en) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE19548595A1 (en) * | 1995-12-23 | 1997-06-26 | Krieg Gmbh E | Surface treatment for heat exchangers, especially those with aluminium fins |
-
1972
- 1972-08-24 DE DE19722241558 patent/DE2241558A1/en not_active Ceased
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE19548595A1 (en) * | 1995-12-23 | 1997-06-26 | Krieg Gmbh E | Surface treatment for heat exchangers, especially those with aluminium fins |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
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