DE2231330A1 - METHOD AND DEVICE FOR GENERATING A SHARP FOCUS - Google Patents

METHOD AND DEVICE FOR GENERATING A SHARP FOCUS

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DE2231330A1
DE2231330A1 DE2231330A DE2231330A DE2231330A1 DE 2231330 A1 DE2231330 A1 DE 2231330A1 DE 2231330 A DE2231330 A DE 2231330A DE 2231330 A DE2231330 A DE 2231330A DE 2231330 A1 DE2231330 A1 DE 2231330A1
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Reinhold Dipl Phys Dr Deml
Ulrich Dipl Phys Dr Greis
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Description

Verfahren und Vorrichtung zur Erzeugung eines scharfen Föeas Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Erzeugung einer eng begrenzten Intensitätsverteilung im Fokus eines einen kohärenten Lichtstrahl auf ein licht- oder wärmeempfindliches Material fokussierenden optischen Systems, bei dem eine Einwirkung des Strahles auf das Material eine bestimmte Mindestintensitätsschwelle erfordert.Method and apparatus for producing a hot foie gras The invention relates to a method for generating a narrowly limited intensity distribution in the focus of a coherent beam of light on a light or heat sensitive Material focusing optical system in which an action of the beam requires a certain minimum intensity threshold on the material.

Die Intensitätsverteilung im. Fokus einer Linse bei kohärenter Beleuchtung ist in bekannter Weise durch die Fouriertransformation der Pupillenfunktion bestimmt. Bei der sog.The intensity distribution in the. Focus of a lens with coherent lighting is determined in a known manner by the Fourier transformation of the pupil function. In the so-called

"Apodisation" erreicht man durch Eingriffe in der Pupillenebene eine Unterdrückung der Nebenmaxima bei gleichzeitiger Verbreiterung des Maximum nullter Ordnung. Für viele Anwendungen, insbesondere die Lasertechnik, ist demgegenüber eine möglichst eng begrenzte zentrale Bündelung erwünscht, wobei die ausseraxiale Resthelligkeit aufgrund von vorliegenden Ansprechschwellen der in Frage kommenden Prozesse nicht stört."Apodization" is achieved through interventions in the pupil plane Suppression of the secondary maxima with simultaneous broadening of the zero maximum Order. In contrast, for many applications, in particular laser technology the narrowest possible central bundling is desirable, with the off-axis Residual brightness due to the response thresholds in question Processes does not interfere.

Erfindungsgemäss wird diese dadurch erreicht, dass in die Eintrittspupille des optischen Systems ein Filter mit einer Transparenz- und optischen Weglångennrerteìl.ung eingebracht wird, das eine Intensitätsverteilung im Fokus mit einem verhältnismässig flachen Untergrund und einem scharfen Maximum erzeugt, sc dass die Untergrundfttensität noch unter der Ansprechschwelle des zu beeinflussenden Mediums liegt. Das Transparenzfiiter dient dabei zur Änderung der Amplitude und das Filter mit der optischen Wegldngenverteilung zur Änderung der Phase des die Eintrittspupiile des Systems durchsetzenden Iiichtbündels. Die Filter können eine eindimensionale Verteilung ihrer optischen Eigenschaften aufweisen, was in Verbindung mit einem Zylinderlinsensystem zu einem scharfen strichförmigen Fokus führt; sie können eine radialsymmetrische Verteilung aufweisen, was mit einem rotationssymmetrischen Linsensystem zu einem punktförmiger Fokus führt. Die Anwendung von solchen Filtern ist bei elektrooptischer Bildaufzeichnung zur Beeinflussung des funktionellen Zusammenhanges zwischen Bildsignal und aufgezeichneter Dichte in der Pupille einer Fokussieroptik besonders vorteilhaft. Dabei wird auf einfache Weise die Kennlinie und die Gradation des Bildaufzeichnungssystems gesteuert Beispiele für vorteilhafte Ausführungen solcher Filter sind aus den Unteransprüchen in Verbindung mit der Beschreibung zu ersehen und anhand von Figuren erläutert. Es zeigen: Fig. 1 die Intensitätsverteilung im Fokus einer Linse ohne Eingriff in die Pupillenebene, Fig. 2 die Intensitätsverteilung im Fokus einer Linse mit einem erfindungsgemässen Filter in der Pupillenebene 9 Fig. 3a die Transparenzverteilung eines Filters 3b die aus einem Filter gemäss Fig. 3a resultierende Intensitåts-Amplituden-Verteilung im Fokus Fig. 4a die Transparenzvertelung eines weiteren Filters 4b die aus einem Filter gemäss Fig, 4a resultierende Amplitudenverteilung im Fokus, Fig. 5a die Transparenzverteilung eines weiteren Filters, 5b die optische Seglängenverteilung eines dazugehörigen Phasenfiiters 5c die durch Kombination dieser Filter erreichbare Intensitätsverteilung im Fokus, Fig 6 eine schematische Darstellung einer Zylinderlinse mit einem erfindungsgemässen Amplitudenfilter Fig. 7 eine schematische Abtastvorrichtung.According to the invention, this is achieved in that in the entrance pupil of the optical system a filter with a transparency and optical path length division is introduced that has an intensity distribution in focus with a relatively flat subsurface and a sharp maximum, sc that the subsurface intensity is still below the response threshold of the medium to be influenced. The transparency filter serves to change the amplitude and the filter with the optical path length distribution to change the phase of the light bundle penetrating the entry pupils of the system. The filters can have a one-dimensional distribution of their optical properties have what, in connection with a cylindrical lens system, results in a sharp line-shaped Focus leads; they can have a radially symmetrical distribution, what with a rotationally symmetrical lens system leads to a point-like focus. The application such filters are used to influence electro-optical image recording the functional relationship between the image signal and the recorded density particularly advantageous in the pupil of focusing optics. It is based on simple Way, the characteristic and the gradation of the image recording system are controlled examples for advantageous designs of such filters are linked from the subclaims to be seen with the description and explained with reference to figures. Show it: Fig. 1 the intensity distribution in the focus of a lens without interfering with the pupil plane, 2 shows the intensity distribution in the focus of a lens with a lens according to the invention Filter in the pupil plane 9 FIG. 3a shows the transparency distribution of a filter 3b the intensity-amplitude distribution resulting from a filter according to FIG. 3a in focus Fig. 4a, the transparency distribution of a further filter 4b from a Filter according to FIG. 4a resulting amplitude distribution in focus, FIG. 5a shows the transparency distribution another filter, 5b the optical segment length distribution of an associated one Phase filter 5c the intensity distribution that can be achieved by combining these filters in focus, FIG. 6 shows a schematic representation of a cylindrical lens with an inventive one Amplitude filter Fig. 7 shows a schematic sampling device.

Wie bereits eingangs erwähnt, ist die Intensitätsverteilung im Fokus einer Linse bei kohärenter Beleuchtung in bekannter Weise durch die Fouriertransformation der Pupillenfunktion bestimmt. Durch gezielte Gestaltung der Eigenschaften der Pupille entsprechend der Fouriertransformation der erwünschten Amplitudenverteilung lässt sich die Intensitätsverteilung im Fokus beeinflussen.As already mentioned at the beginning, the focus is on the intensity distribution a lens with coherent illumination in a known manner by the Fourier transform the pupil function is determined. Through targeted design of the properties of the pupil according to the Fourier transform of the desired amplitude distribution influence the intensity distribution in the focus.

Mit einfachen Filtern lässt es sich nicht erreichen, dass nur der Fokus verscharft wirig da eine gewisse ausseraxiale Resthelligkeit unvermeidbar ist. Dieselbe ist aber nicht störend, wenn sie unter der Ansprechschwelle des beaufschlagten Mediums liegt. Beispielsweise bei der fotografischen Aufzeichnung von Daten kann der Schwellenwert für die Schwärzung der Schicht durch den fotografischen Prozess in gewissen Grenzen verändert werden. Es ist also möglich, mit einem scharfen Fokus entsprechend scharfe Aufzeichnungen vorzunehmen, ohne dass die ausseraxiale Resthelligkeit die fotografische Schicnt beeinflusst, Ferner lassen sich auch Materialien thermisch mit entsprechender Genauigkeit bearbeiten. So ist es beispielsweise bei der Materialbearbeitung mit Hochenergielasern möglich, schärfere Schneidekanten zu erzielen oder bei Nikro-Schweissungen die Schweißstelle genau zu lokalisieren. Dabei liegt die Intensitätsspitze über, die Restintensität unter der Schmelzschwelle des Materials. Als weiteres Anwendungsbeispiel sei die Herstellung und das Trimmen integrierter Schaltkreise genannt. Ferner sei als Einsatzmöglichkeit noch das Schneiden und Schweissen von Körpergewebe erwähnt. Schliesslich ist es noch möglich, die Auflösung astronomischer Instrumente zu steigern.With simple filters it cannot be achieved that only the Focus is sharpened because a certain off-axis Residual brightness is inevitable. But it is not annoying if it is below the response threshold of the pressurized medium. For example in photographic recording of data can be the threshold for the blackening of the layer by the photographic Process can be changed within certain limits. So it is possible with a sharp Focus to make correspondingly sharp recordings without affecting the off-axis Residual brightness influences the photographic look. Furthermore, materials can also be used process thermally with appropriate accuracy. This is the case with material processing with high-energy lasers possible, sharper cutting edges or to precisely localize the welding point in the case of Nikro welds. The intensity peak is above, the remaining intensity below the melting threshold of the material. Another application example is manufacturing and trimming integrated circuits called. Another possible application is cutting and welding of body tissue mentioned. Finally, it is still possible to dissolve to boost astronomical instruments.

Die Figur -i zeigt die bekannte Intensitätsverteilung im Fokus einer Linse ohne Eingriff in die Pupillenebene. Fig. 2 stellt die zu erreichende Intensitätsverteilung dar. r ist die Ortskoordinate in der Fokalebene. Die Lage der Schwelle des durch den fokussierten Strahl auszulösenden Prozesses (Schwärzung, Schmelzen) ist auf der Intensitätskoordinate 1 mit AS bezeichnet, die Restintensität mit RI und die Intensitätsspitze mit IS. Da die Ansprechschwelle AS über der Restintensität RI liegt, wirkt der fokussierte Strahl nur in einem schmalen Bereich W auf das Material ein.The figure -i shows the known intensity distribution in the focus of a Lens without intervention in the pupil plane. Fig. 2 shows the intensity distribution to be achieved represents. r is the position coordinate in the focal plane. The location of the threshold of is the process to be triggered by the focused beam (blackening, melting) on the intensity coordinate 1 labeled AS, the remaining intensity with RI and the intensity peak with IS. Since the response threshold AS is above the residual intensity RI, the focused beam acts only in a narrow area W on the material a.

Im folgenden sind einige Formen von Amplituden- und Phasen verteilungen in der Eintrittspupille eines optischen Systems und der bewirkten Amplitudenverteilung in dessen Fokus angegeben.The following are some forms of amplitude and phase distributions in the entrance pupil of an optical system and the resulting amplitude distribution indicated in its focus.

Die Amplitudendarstellung wurde gewählt, um den Zusammenhang deutlicher herauszustellen. Die Transparenzverteilung der Filter bezüglich der Intensität ist dem Quadratder Aniplitudenverteilung proportional; unter der Phasenverteilung versteht man die ortsabhängige optische Weglänge n.d des Filters, wobei n den Brechnungsindex und d die Schichtdicke bezeichnen.The amplitude display was chosen to make the connection clearer to highlight. The transparency distribution of the filters with respect to the intensity is proportional to the square of the aniplitude distribution; understood by the phase distribution the location-dependent optical path length n.d of the filter, where n is the refractive index and d denotes the layer thickness.

Als Koordinate in der Pupille dient für den eindimensionalen Fall f , für den zweidimensionalen, rotationssymmetrischen Fall In der Fokalebene interessiert letztlich die Intensität, die proportional zum Quadrat der Amplitude ist. Als Koordinaten wurde im eindimensionalen Fall x und im zweidimensionalen, rotationssymmetrischen Fall r gewählt.The coordinate in the pupil is used for the one-dimensional case f, interested in the two-dimensional, rotationally symmetrical case in the focal plane ultimately the intensity, which is proportional to the square of the amplitude. As coordinates became in the one-dimensional case x and in the two-dimensional, rotationally symmetrical case Case r chosen.

Die Transparenzvertei lungen und Intensitätsverteilungen folgen in ihrem Verlauf bildlich den Amplitudenverteilungen; dem quadratischen Zusammenhang entsprechend sind sie selbstverständlich steiler und positiv. Der Einfachheit halber sind sie deshalb nicht eigens dargestellt.The transparency distributions and intensity distributions follow in their course shows the amplitude distributions; the quadratic relationship accordingly, of course, they are steeper and more positive. For the sake of simplicity they are therefore not shown separately.

Zunächst sei ein Filter mit einer Transparenzverteilung betrachtet, das in der Pupille eine Amplitudenverteilung der Form ergibt. (Fig. 3a). r der Fokalebene ergibt sich eine Amplitudenverteilung der Form A(x) = J1(x) /2x, die in Fig. 3b dargestellt ist, wobei J1 die Besselfunktion bezeichnet.First, consider a filter with a transparency distribution that has an amplitude distribution of the shape in the pupil results. (Fig. 3a). r the focal plane results in an amplitude distribution of the form A (x) = J1 (x) / 2x, which is shown in Fig. 3b, where J1 denotes the Bessel function.

Als nächstes sei ein Filter für eine Amplitudenverteilung der Form genannt (Fig. 4a), das eine Verteilung im Fokus der Form A(x) = e ergibt (Fig. 4b).Next let us be a filter for an amplitude distribution of the shape called (Fig. 4a), which gives a distribution in the focus of the form A (x) = e (Fig. 4b).

a ist eine Konstante und gibt die Steilheit der Verteilung an.a is a constant and indicates the steepness of the distribution.

Wie aus der Form der Verteilungen im Fokus zu ersehen ist, ergibt sich im ersten Fall eine verhältnismässig schmale Intensitätsverteilung und im zweiten Fall eine scharfe Intensitätsspitze.As can be seen from the shape of the distributions in focus, results In the first case there is a relatively narrow intensity distribution and in the second Fall a sharp peak in intensity.

In Fig. 5a ist eine Amplitudenverteilunguhi in Fig. 5b eine Phasenverteilung für ein Filter dargestellt. Bei Kombination beider Filter ergibt sich eine Intensitätsverteilung der Form A(x ) = 0 fürxQO und A(x) = e ax fürx>O. Die Amplituden-Phasen-Verteilung in der Pupille ist in diesem Fall von der Form A(f ) = 1/(a + it ) a ist wieder eine Konstante.In Fig. 5a, an amplitude distribution, in Fig. 5b, is a phase distribution shown for a filter. A combination of both filters results in an intensity distribution the Form A (x) = 0 for xQO and A (x) = e ax for x> O. The amplitude-phase distribution in the pupil is in this case of the form A (f) = 1 / (a + it) a is again a constant.

Die Aufspaltung des komplexen einen Amplitudenteil der Form der in Fig. 5a aufgezeichnet ist und die Transparenzfunktion des Filters ergibt. Der Phasenteil (f) = arctanX /a ergibt die optische -Weglängenverteilung des Filters.The splitting of the complex is an amplitude part of the shape which is recorded in Fig. 5a and gives the transparency function of the filter. The phase part (f) = arctanX / a gives the optical path length distribution of the filter.

Aus fertigungstechnischen Gründen ist es vorteilhaft, die Filter getrennt herzustellen und dann zu kombinieren.For manufacturing reasons, it is advantageous to separate the filters manufacture and then combine.

Die Transparenzfilter können fotografisch hergestellt werden; die Phasenfilter können beispielsweise durch fotografische Aufzeichnung und anschliessendes Bleichen, sowie durch Ätz-Aufdampf- und Gravierverfahren erhalten werden. Derartige Methoden sind bekannt und bedürfen keiner weiteren Erläuterung.The transparency filters can be produced photographically; the Phase filters can be used, for example, by photographic recording and then Bleaching, as well as by etching vapor deposition and engraving processes. Such Methods are known and do not require any further explanation.

Bis å jetzt wurden eindimensionale Filter behandelt. Diese liefern in Verbindung mit Zylinderlinsen, die parallel zur Symmetrieachse der Filter orientiert sind, einen strichförmigen Fokus. Anwendungsbeispiele sind anhand von Fig. 6 und Fig. 7 beschrieben.So far, one-dimensional filters have been dealt with. These deliver in connection with cylindrical lenses, which are oriented parallel to the axis of symmetry of the filter are, a line-shaped focus. Application examples are based on FIGS. 6 and Fig. 7 described.

Ein paralleles, kohärentes Strahlenbündel 1 wird mittels einer Zylinderlinse 2 auf ein Materialstück 3 fokussiert.A parallel, coherent bundle of rays 1 is created by means of a cylindrical lens 2 focused on a piece of material 3.

Im optischen Weg ist ein Amplitudenfilter 4, dessen verlaufende Schwärzung durch Punkte dargestellt ist, und ein Phasenfilter 5, dessen optische Weglängenverteilung an seiner Dickenänderung (stark überhöht) ersichtlich ist, eingebracht.In the optical path there is an amplitude filter 4, its blackening is represented by dots, and a phase filter 5 whose optical path length distribution can be seen from its change in thickness (greatly exaggerated).

Diese bewirken im Fokus 6 eine scharfe Mittellinie 6m und eine verlaufende Randzone 6z. Die Randzone 6z beeinflusst das Material 3 nicht; die Intensität ist dazu zu gering.These cause a sharp center line 6m and a running one in the focus 6 Edge zone 6z. The edge zone 6z does not affect the material 3; the intensity is too low for that.

Es wirkt nur die Mittellinie 6m auf das Material 3 ein.Only the center line 6m acts on the material 3.

Bei manchen Aufzeichnungsverfahren ist es notwendig, mit einem Laserstrahl ein Autotypieraster zu schreiben, wie es aus der Drucktechnik bekannt ist. Dabei ist die aufgezeichnete örtliche Dichteverteilung des Bildes durch die jeweilige Grösse der Rasterpunkte bzw. durch die Breite der Rasterlinien bestimmt. Aus Fig. 1 ist unmittelbar ersichtlich, dass diese Breite bei Aufzeichnungsmaterialien mit einer Schwelle AS durch die Grösse W gegeben ist. In Fig. 7 ist schematisch ein Laserstrahl-Aufzeichnungssystem dargestellt. Dem Bildsignal B entsprechend steuert ein Modulator 7 (z.B. ein elektronischer Lichtmodulator) die Intensität des Strahles 10 eines Lasers 9. Das bedeutet, dass die Intensitätsverteilung im Fokus 60 gemäss Fig. 1 längs der I-Achse verschoben wird. Dadurch ändert sich auch die Grösse W entsprechend der vorliegenden Intensitätsverteilung. Mittels eLLer Ablenkeinbeit 11 wird der Strahl in bekannter Weise abgeienkt. Durch Einbringen der beschriebenen Ampiltauen- und/oder Phasenfilter 40 in die Pupille einet Fokässierungsoptik 20 in Fig.7 lasst sich der funktionale Zusammenhang zwischen Bildsignal, Rasterbreite und Dichte im aufgezeichneten Bild vorgeben, d.h. es lässt sich eine beliebige vorzugsweise lineare Kennlinie realisieren. Um die nichtlinearen Teilschritte der Übertragungskette (s.z.B. @astertonwert-Dichte-Kurve der Drucktechnik) zu kompensieren, mussten bisher elektnonische Bildsignal-Vorverzerrungen durchgefünrt werden. Diese Kompensation lässt sich durch die Verwendung erfindungsgemässer Filter in einfachster Welse direkt durchtuhren.With some recording methods it is necessary to use a laser beam to write an autotype grid, as is known from printing technology. Included is the recorded local density distribution of the image by the respective Size of the grid points or determined by the width of the grid lines. From Fig. 1 it can be seen immediately that this width in recording materials with a threshold AS is given by the size W. In Fig. 7 is a schematic Laser beam recording system shown. The image signal B controls accordingly a modulator 7 (e.g. an electronic light modulator) the intensity of the beam 10 of a laser 9. This means that the intensity distribution in the focus 60 according to Fig. 1 is shifted along the I-axis. This also changes the size W according to the present intensity distribution. Using eLLer Deflection 11, the beam is deflected in a known manner. By bringing in the ampile rope and / or phase filter 40 described in the pupil of a focusing optics 20 in FIG. 7 shows the functional relationship between the image signal and the raster width and density in the recorded image, that is, any one can be preferred realize linear characteristic. About the non-linear sub-steps of the transmission chain (see e.g. @ asteroid value-density curve of printing technology) had to be compensated up to now electronic image signal predistortions are carried out. This compensation can be directly catfish in the simplest possible way through the use of filters according to the invention perform.

Es sind auch radialsymmetrische Filter möglich. Zur Ermittlung der Amplitudenpunktion für die Pupille wird hier die gewünschte Amplitudenfunktion des Fokus einer Hankeltransformation unterzogen. Für einen Amplitudenabfall der Form A(n), e@ar im Fokus ergibt sich eine Amplitudenfuriktioy der orm für die Pupille; für eine Fokusfunktion der Form A(r) Se -ar/r eine Pupillenfunktion Die Erfindung ist nicht aul die Anwendung nur der explizit angegebener Filter auf Schwellwertprozesse beschränkt. Es kann jede bellebige Intensitatsverteilung im Fokus durch die entsprechenden Filter in der Pupiíle erreicht werden, bei der die Intensität so verteilt ist dass die Schwelle für den einzuleitenden Prozess nur an bestimmten, genau definierten Stellen überschritten wirdRadially symmetrical filters are also possible. To determine the amplitude puncture for the pupil, the desired amplitude function of the focus is subjected to a Hankel transformation here. For a decrease in amplitude of the form A (n), e @ ar in the focus, there is an amplitude furictioy of orm for the pupil; for a focus function of the form A (r) Se -ar / r a pupil function The invention is not limited to the application of only the explicitly specified filters to threshold value processes. Any luminous intensity distribution in the focus can be achieved through the corresponding filter in the pupil, in which the intensity is distributed in such a way that the threshold for the process to be initiated is only exceeded at certain, precisely defined points

Claims (8)

Ansprüche 1. Verfahren zur Erzeugung einer eng begrenzten Intensitätsverteilung im Fokus eines einem kohärenten Lichtstrahl auf ein licht- oder wärmeemplindliches Material fokussierenden optischen Systems, bei dem eine Einwirkung des Strahles auf das Material eine bestimmte Mindestintensitätsschwelle erfordert, dadurch gekennzeichnet, dass in die Eintrittspupille des optischen Systems (2) ein Filter mit einer Transparenz <4j und/oder optischen Weglängenverteilung (5) eingebracht wird, das eine Intensitätsverteii.wng im Fokus (6) mit einem verhältnismässig flachen Untergrund tx6z) und einem scharfen Maximum (6m) erzeugt, so das-s die Untergrundintensitäft (6z) noch unter der Ansprechschwelle des zu beeinflussenden Mediums (3ì liegt. Claims 1. A method for generating a narrowly limited intensity distribution in the focus of a coherent beam of light on a light or heat sensitive Material focusing optical system in which an action of the beam requires a certain minimum intensity threshold on the material, characterized in that that in the entrance pupil of the optical system (2) a filter with a transparency <4j and / or optical path length distribution (5) is introduced, which has an intensity distribution in focus (6) with a relatively flat background tx6z) and a sharp one Maximum (6m) generated, so that the background intensity (6z) is still below the response threshold of the medium to be influenced (3ì lies. 2. Verfahren nach Anspruch 1 dadurch gekennzeichnet, dass bei elektrooptischer Bildaufzeichnung zur Beeinflussung des funktionelien Zusammenhanges zwischen Bildsignal und aufgezeichneter Dichte in der Pupille einer Fokussieroptik (20) ein Filter 40j mit einer die Intensitätsverteilung im Fokus (60) beeinflussenden Transparenz-und/oder optischen Weglängenverteilung verwendet wird. 2. The method according to claim 1, characterized in that in electro-optical Image recording to influence the functional relationship between the image signal and recorded density in the pupil of a focusing optics (20) a filter 40j with a filter that influences the intensity distribution in the focus (60) Transparency and / or optical path length distribution is used. 3. Verfahren nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, dass mittels eines Filters ,40) mit einer die Intensitätsverteilung im Fokus beeinflussenden Transparenz- und/ oder optischen Weglängenverteilung die Kennlinie und die Gradation des elektro optischen Bildaufzeichnungssystems gesteuert wird.3. The method according to claim 2, characterized in that by means of a filter, 40) with an influencing the intensity distribution in the focus Transparency and / or optical path length distribution, the characteristic and the gradation of the electro-optical image recording system is controlled. 4. Filter zur Durchführung des Verfahrens nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, dass es zur Erzeugung eines strichförmigen Fokus (6m) in Verbindung mit einem Zylinderlinsensystem t2) eine Transparenzverteilung der Form = const.4. Filter for carrying out the method according to one of claims 1 to 3, characterized in that there is a transparency distribution of the shape for generating a line-shaped focus (6m) in connection with a cylindrical lens system t2) = const. aufweist, wobei die Koordinate der Richtung quer zur Achse der Zylinderlinsen und die Koordinate ß der Richtung parallel zur Achse der Zylinderlinsen entspricht. having, the coordinate of the direction transverse to the axis of the cylinder lenses and the coordinate β corresponds to the direction parallel to the axis of the cylindrical lenses. 5. Filter zur Durchführung des Verfahrens nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, dass es zur Erzeugung eines strichförmigen Fokus (6m) in Verbindung mit einem Zylinderlinsensystem (2)-eine Transparenzverteilung der Form = const.5. Filter for performing the method according to one of claims 1 to 3, characterized in that it is used to generate a line-shaped focus (6m) in conjunction with a cylindrical lens system (2) -a transparency distribution of the shape = const. aufweist, wobei a eine dem Abfall der Intensitätsverteilung Fokus (6) entsprechende Konstante, J die Kocrdinate quer zur Achse der Zylinderlinsen und J die Koordinate längs derselben ist. has, where a is a focus on the decrease in the intensity distribution (6) Corresponding constant, J the coordinate transverse to the axis of the cylindrical lenses and J is the coordinate along it. 6. Filter zur Durchführung des Verfahrens nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, dass es zur Erzeugung eines strichförmigen, unsymmetrisch quer zur Richtung des Striches abfallenden Fokus aus einer Platte mit einer Transparenzverteilung entsprechend dem Amplitudenteil, und einer Platte mit einer optischen Weglängenverteilung entsprechend dem Phasenteil der Form = const.6. Filter for performing the method according to one of claims 1 to 3, characterized in that it is used to generate a line-shaped, asymmetrically sloping focus transversely to the direction of the line from a plate with a transparency distribution corresponding to the amplitude part, and a plate with an optical path length distribution corresponding to the phase part of the shape = const. besteht, wobei a eine dem Abfall der Intensitätsverteilung im Fokus entsprechende Konstante, die Koordinate quer zur Strichrichtung und die Koordinate längs derselben ist. consists, where a is the decrease in the intensity distribution in focus corresponding constant, the coordinate perpendicular to the direction of the line and the coordinate is along the same. 7. Filter zur Durchführung des Verfahrens nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, dass es zur Erzeugung eines punktförmigen Fokus eine3 Transparenzverteilung der Form A(> ) = a(a2 2 2) aufweist, wobei a eine dem Intensitätsabfall im Fokus entsprechende Konstante undS die Radialkoordinate ist.7. Filter for performing the method according to one of the claims 1 to 3, characterized in that it is used to generate a point focus a3 transparency distribution of the form A (>) = a (a2 2 2), where a is a constant corresponding to the decrease in intensity in the focus and S the radial coordinate is. 8. Filter zur Durchführung des Verfahrens nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, dass es zur Erzeugung eines punktförmigen Fokus eine Transparenzverteilung der Form A(S) = (a² + S²) - 2@ aufweist, wobei a eine dem Intensitätsabfall im Fokus entsprechende Konstante und g die Radialkoordinate ist.8. Filter for performing the method according to one of the claims 1 to 3, characterized in that it is used to generate a point focus has a transparency distribution of the form A (S) = (a² + S²) - 2 @, where a is a constant corresponding to the decrease in intensity in the focus and g the radial coordinate is. L e e r s e i t eL e r s e i t e
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