DE2205354B2

DE2205354B2 - Device for dividing a semiconductor wafer

Info

Publication number: DE2205354B2
Application number: DE2205354A
Authority: DE
Inventors: Heinz F. Santa Cruz Calif. Carlson (V.St.A.)
Original assignee: Individual
Current assignee: Individual
Priority date: 1971-03-08
Filing date: 1972-02-04
Publication date: 1979-06-28
Also published as: US3743148A; JPS5232553B1; DE2205354A1; FR2128717B1; CA958492A; DE2205354C3; GB1388928A; FR2128717A1

Description

Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung zum Zerteilen einer Halbleiterscheibe längs einander parallel in sie eingeritzter Bruchlinien, mit einem im wesentlichen undehnbaren Band zum Andrücken der Halbleiterscheibe an eine einfach konvex gekrümmte Oberfläche eines relativ zu dem Band bewegbaren Blocks.The invention relates to a device for dividing a semiconductor wafer lengthwise and parallel to it incised break lines, with a substantially inextensible tape for pressing the semiconductor wafer against a simply convex curved surface of a blocks movable relative to the tape.

Mit der Entwicklung der Mikroelektronik in MiniaWith the development of microelectronics in Minia

turbauweise, beispielsweise der integrierten Schaltungen, wurde das einzelne, eine integrierte Schaltung bildende Halbleitersystem (Chip) so klein, daß seine Handhabung Schwierigkeiten bereitet Umsomehr bringt die Herstellung solcher Systeme Probleme mit sich. Ein allgemein verbreitetes Verfahren besteht darin, eine Scheibe (Wafer) mit verhältnismäßig großem Durchmesser herzustellen, auf der einzelne Bereiche, die die einzelnen integrierten Schaltungssysteme darstructure, for example the integrated circuits, became the individual, an integrated circuit forming semiconductor system (chip) so small that its handling is all the more difficult the manufacture of such systems poses problems. A common practice is to to produce a disc (wafer) with a relatively large diameter on which individual areas, which represent the individual integrated circuit systems stellen, durch eingeritzte Bruchlinien begrenzt werden, die in eine Oberfläche der Scheibe ein Netzmuster bilden, das aus zueinander senkrechten Gruppen paralleler Linien besteht Solche Bruchlinien sind gewöhnlich von etwa 0,025 mm Tiefe und einerset, delimited by incised break lines, which form a network pattern in one surface of the disc, consisting of groups that are perpendicular to one another Such break lines are usually about 0.025 mm in depth and one

< 5 möglichst geringen Breite, so schmal sich eben derartige Linien mit einem geeigneten Schneidgerät, etwa einem Diamantschneider oder einem Laser einritzen, lassen.<5 the smallest possible width, such are just as narrow Score lines with a suitable cutting device, such as a diamond cutter or laser.

Scheiben, aus denen die Halbleiter-Chips geschnitten werden, um integrierte Schaltungssysteme oder HaIb-Disks from which the semiconductor chips are cut to form integrated circuit systems or semi-conductor !eiterbauelemente zu bilden, gibt es in verschiedenen Größen und Dicken. Im allgemeinen ist es jedoch notwendig, die Scheibe in einzelne Chips zu zerteilen, die sehr viel kleiner sind. Häufig haben einzelne Chips, die ein vollständiges integriertes SchaltungssystemThere are various sizes and thicknesses for forming structural elements. In general, however, it is necessary to cut the disc into individual chips that are much smaller. Often individual chips which is a complete integrated circuit system

& darstellen, nicht mehr als 0,6 bis 1,2 mm Seitenlange und eine Dicke von vieTteicht 0,25 oder 03 mm. Unter diesen Umständen ist es natürlich schwer, die Scheibe entlang den Anreißlinien zu brechen, ohne daß die Chips an falschen Stellen Risse bekommen, durch die sie & represent, no more than 0.6 to 1.2 mm on a side and a thickness of perhaps 0.25 or 03 mm. Under these circumstances it is of course difficult to break the disc along the scribe lines without cracking the chips in the wrong places through which they are unbrauchbar werden. Die bisher gebräuchliche Ausrüstung zum Zerbrechen der Scheibe arbeitet mit einem Ausschuß von 30 bis 50% der aus einer Scheibe gewinnbaren Systeme. Aus der US-PS 35 07 426 ist eine Vorrichtung zumbecome unusable. The equipment previously used to break the pane works with one Reject from 30 to 50% of the systems that can be extracted from one disk. From US-PS 35 07 426 a device for Zerteilen von mit eingeritzten Bruchlinien versehenen Halbleiterscheiben bekannt geworden, deren Funktion auf dem Einpressen der Halbleiterscheiben in ein Widerlager beruht, das auf seiner den Halbleiterscheiben zugekehrten Seite eine eine Anpreßfläche bildendeDivision of those with incised break lines Semiconductor wafers have become known whose function is based on pressing the semiconductor wafers into a Abutment is based, which forms a pressing surface on its side facing the semiconductor wafers konkave Ausnehmung besitzt Dies ist auf zweierlei Weise möglich.Has a concave recess. This can be done in two ways.

Bei einer ersten Ausführungsform sind zwei — insbesondere zylindrische — Blöcke mit jeweils einer kugelförmigen konkaven Ausnehmung vorgesehen.In a first embodiment, there are two - in particular cylindrical - blocks, each with one spherical concave recess provided.

Über diese konkaven Ausnehmungen ist jeweils eine Membran aus flexiblem dehnbarem Material, wie beispielsweise Gummi gespannt, weiche die Ausnehmungen luftdicht abschließen. Auf der der Membran gegenüberliegenden Seite weisen die Blöcke eineAbout these concave recesses is a membrane made of flexible, stretchable material, such as for example rubber stretched, soft seal the recesses airtight. On the membrane opposite side, the blocks have a

öffnung auf, an die eine Preßluft liefernde Vorrichtung anschließbar ist oder über die die Ausnehmung einfach mit der umgebenden Atmosphäre in Verbindung steht Auf die Membran eines Blocks wird eine mit eingeritzten Bruchlinien versehene Halbleiterscheibeopening to which a compressed air supplying device can be connected or via which the recess is simply connected to the surrounding atmosphere A semiconductor wafer with incised break lines is placed on the membrane of a block aufgelegt, wonach der andere Block mit der seine konkave Ausnehmung überspannenden Membran der Halbleiterscheibe zugekehrt auf den einen Block aufgesetzt wird. Wird nun durch die öffnung in einem Block Preßluft in dessen konkave öffnung eingeleitet,placed, after which the other block with the membrane spanning its concave recess of the Semiconductor wafer facing towards the one block is placed. Is now through the opening in one Block of compressed air introduced into its concave opening, so werden die beiden Membranen mit der zwischen ihnen liegenden Halbleiterscheibe in die konkave Ausnehmung des anderen Blocks gepreßt, wobei die Halbleiterscheibe längs der in sie eingeritzten Bruchlinien zerbrochen wird. Da es sich bei den Auflagern fürso are the two membranes with the between them lying semiconductor wafer pressed into the concave recess of the other block, the Semiconductor wafer is broken along the break lines scratched into it. Since the bearings for die zu brechende Halbleiterscheibe um Membranen aus flexiblem dehnbarem Material handelt, sind bei solchen Vorrichtungen Schlupferscheinungen zwischen Membranen und Halbleiterscheiben zu erwarten. Derthe semiconductor wafer to be broken involves membranes made of flexible, stretchable material, are such membranes Devices Slippage phenomena between membranes and semiconductor wafers are to be expected. Of the

Bruchvorgang läuft insbesondere bis zum Erreichen der Fläche der konkaven Ausnehmung in dem das PreBwiderlager bildenden Block aufgrund des Schlupfs Undefiniert ab, wobei es beim Anpreßvorgang sogar zu Verkantungen der Halbleiterscheibe kommen kann.Breaking process runs in particular until reaching the surface of the concave recess in which the PreBwiderlager forming block from undefined due to the slip, whereby it even closed during the pressing process Canting of the semiconductor wafer can occur.

Bei einer weiteren aus der US-PS 35 07 426 bekannten Ausführungsform ist ein eine konkave Ausnehmung Aufweisender Block der oben erläuterten Art vorgesehen, der eine den Außenrand der konkaven Ausnehmung umgebende Schulter aufweist Für das Brechen von Halbleiterscheiben wird auf diese Schulter eine Schichtstruktur aufgelegt, in der die zu brechende Halbleiterschicht beidseitig zunächst mit Aluminiumfolien bedeckt ist, auf denen wiederum Folien aus flexiblem Metall, wie beispielsweise Federstahl vorgesehen sind. Diese Schichtstruktur wird durch einen Metallzylinder, dessen Durchmesser an den Durchmesser der zylindrisch ausgebildeten Ausnehmung in dem als Preßwiderlager dienenden Block angepaßt ist, in die Ausnehmung gepreßt Da die Schichtstruktur nur lose auf der Schulter aufliegt treten auch Jei dieser Ausführungsform nachteilige Schlupferscheinungen auf, zu denen noch eine besonders nachteilige Kantenbeanspruchung an der Kante zwischen Schulter und konkaver Ausnehmung hinzutrittIn another embodiment known from US Pat. No. 3,507,426, a is a concave Recess-having block of the type explained above is provided, one of which is the outer edge of the concave Has the shoulder surrounding the recess. This shoulder is used for breaking semiconductor wafers a layer structure is placed in which the to be broken Semiconductor layer is initially covered on both sides with aluminum foils, on which in turn foils are made flexible metal such as spring steel are provided. This layer structure is created by a Metal cylinder, the diameter of which corresponds to the diameter of the cylindrical recess in the is adapted as a press abutment block, pressed into the recess Since the layer structure is only loosely rests on the shoulder, disadvantageous slippage phenomena also occur in this embodiment, to which a particularly disadvantageous edge stress on the edge between shoulder and concave recess is added

Bei den beiden erläuterten Ausführungsformen sind die Schlupferscheinungen deshalb nachteilig, weil sie einen ungenauen Brechvorgang begünstigen, durch den Ecken und Kanten der Einzelsysteme, in welche die Halbleiterscheibe zerteilt werden soll, beschädigt werden können. Der Brechvorgang ist auch nicht steuerbar. Druck und Geschwindigkeit sind unbestimmt. Dies hat eine schlechte Ausbeute zur Folge.In the two embodiments explained, the slip phenomena are disadvantageous because they favor an imprecise breaking process, through the corners and edges of the individual systems into which the Semiconductor wafer is to be divided, can be damaged. The breaking process is also not controllable. Pressure and speed are indefinite. This results in a poor yield.

Der vorliegenden Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, eine Vorrichtung der in Rede stehenden Art anzugeben, mit der Halbleiterscheiben unterschiedlichen Durchmessers und unterschiedlicher Dicke in Chips unterschiedlicher Größe exakt ohne Schädigung der Chips .teuerbar und damit mit hoher Ausbeute zerteilbar sind.The present invention is based on the object of providing a device of the type in question indicate with the semiconductor wafers of different diameters and different thicknesses in Chips of different sizes exactly without damaging the chips. Controllable and therefore with high yield are divisible.

Diese Aufgabe wird bei einer Vorrichtung der eingangs genannten Art erfindungsgemäß dadurch gelöst, daß der Block relativ zum Band mit steuerbarer Geschwindigkeit bewegbar ist und daß das Band beidseitig des Blocks über einfach konvex gekrümmte Umlenkgücder zu Spannvorrichtungen steuerbarer Spannung geführt istThis object is achieved according to the invention in a device of the type mentioned at the beginning solved that the block is movable relative to the tape with controllable speed and that the tape Controllable on both sides of the block via simply convex curved deflectors to form clamping devices Voltage is performed

Ausgestaltungen des Erfindungsgedankens sind in Unteransprüchen gekennzeichnetRefinements of the inventive concept are characterized in the subclaims

Die Erfindung wird nachfolgend anhand von in den Figuren c'er Zeichnung ddrgestellten Ausführungsbeispielen näher erläutert Es zeigtThe invention is explained in more detail below with reference to the exemplary embodiments shown in the figures and the drawing

Fig. 1 einen vertikalen Schnitt durch eine Ausführungsform der Erfindung, wobei einige Teile im Aufriß gezeigt sind;Figure 1 is a vertical section through an embodiment of the invention, with some parts in elevation are shown;

F i g. 2 eine Aufsicht der erfindungsgemäßen Vorrichtung, wobei die Deckplatte entfernt ist, um die darunterliegende Struktur sichtbar zu machen;F i g. 2 is a plan view of the device according to the invention, with the cover plate removed to allow the make the underlying structure visible;

F i g. 3 einen vertikalen Schnitt in der durch die Linie 3-3 in F' i g. 2 angedeuteten Ebene, wobei einige Teile in Aufsicht dargestellt sind;F i g. 3 is a vertical section in the direction taken by line 3-3 in FIG. 2 indicated level, with some parts in Top view are shown;

F i g. 4 einen vertikalen Detailschnitt der Vorrichtung zum Vorschieben und Drehen einer Halbleiterscheibe;F i g. 4 shows a vertical detail section of the device for advancing and rotating a semiconductor wafer;

F i g. 5 eine Aufsicht des in F i g. 4 gezeigten Vorschubmechanismus;F i g. 5 is a plan view of the in FIG. 4 advancing mechanism shown;

Fig.6 eine Vorde ansicht des Vorschub- und Drehmechanismus für eine Halbleiterscheibe;6 is a front view of the advancing and rotating mechanism for a semiconductor wafer;

F i ε. 7 eine Dctailschnittansicht in der durch die LinieF i ε. 7 is a detailed sectional view taken through the line

7-7 der F i g, 1 gekennzeichneten Ebene;7-7 of the level marked in FIG. 1;

Fig.8 ein Schema des Steuerkreises für eine pneumatisch betätigte Scheibenbrechvorrichtung;Fig.8 is a diagram of the control circuit for a pneumatically operated disc breaking device;

F i g. 9 eine Draufsicht auf die geritzte Oberseite einer Halbleiterscheibe, wobei die eingeritzten Bruchlinien ziemlich weit beabstandet sind, um die Darstellung deutlicher zu machen;F i g. 9 is a plan view of the scored upper side of a Semiconductor wafer, with the incised break lines spaced quite a long way around the illustration to make it clearer;

Fig. 10 eine Draufsicht auf die in Fig.9 gezeigte Halbleiterscheibe, die in einem biegsamen Träger ίο gehaltert ist der für die Vorrichtung der Fig. 1—3 verwendbar ist;FIG. 10 is a plan view of that shown in FIG Semiconductor wafer held in a flexible carrier ίο is that for the device of FIGS. 1-3 is usable;

F i g. 11 eine schematisierte perspektivische Ansicht die zeigt wie sich die Halbleiterscheibe unter Zwang an die einfach gekrümmte Oberfläche eines Blocks, auf der sie liegt anpaßt;F i g. 11 is a schematic perspective view which shows how the semiconductor wafer is forced to the simply curved surface of a block on the she lies conforms;

Fig. 12 eine schematisierte perspektivische Ansicht der gleichen Halbleiterscheibe, um 90° gedreht und an die einfach gekrümmte Oberfläche des Blocks angepaßt;12 is a schematic perspective view the same semiconductor wafer, rotated by 90 ° and adapted to the simply curved surface of the block;

Fig. 13 eine schematische Schnntansicht, die die Beziehung zwischen dem nichtelastischen, darunterliegenden einfach gekrümmten Block, der unzerteilten, geritzten und in ihrem Träger aufgenommenen Halbleiterscheibe und des darüberliegenden gespannten ebenen Abschnittes eines Stahlbandes der F i g. 1 zueinander veranschaulicht;13 is a schematic sectional view showing the Relationship between the inelastic, underlying simply curved block, the undivided, scratched and received in its carrier semiconductor wafer and the tensioned over it flat section of a steel strip of FIG. 1 illustrates each other;

Fig. 14 die erste Bruchstelle, die entlang einer Bruchlinie der Halbleiterscheibe ϊ■ > einer Mittelebene entsteht so daß sie in zwei gleiche, gegeneinander gekehrte Hälften zerfällt in schematischer Darstellung;14 shows the first break point, which along a break line of the semiconductor wafer ϊ ■> a central plane is created so that it splits into two equal, mutually facing halves in a schematic representation;

Fig. 15 eine schematische Schnittansicht die das15 is a schematic sectional view showing the

gleichzeitige Abbrechen zweier einzelner Streifen vonsimultaneous breaking of two individual strips of den beiden Scheibenhälften bei der fortschreitendenthe two halves of the disc as it progresses

Anpassung des gespannten Bandes an die KrümmungAdjustment of the tensioned belt to the curvature

der darunterliegenden Platte zeigt;the plate below shows;

Fig. !6 eine der Fig. 15 ähnliche Ansicht, die veranschaulicht, auf welche Weise die beiden nächsten Streifen gleichzeitig von den beiden größeren Scheibenteilen abgebrochen werden, wenn sich das gespannte Strhlband weiter der Krümmung der Platten anpaßt;Fig. 6 is a view similar to Fig. 15, illustrating the manner in which the next two Strips can be broken off at the same time from the two larger disc parts when the tensioned The belt continues to adapt to the curvature of the panels;

F i g. 17 eine Skizze, die den einfach gekrümmten Block, die Halbleiterscheibe und da? gespannte Stahlband in ein Koordinatensystem mit A"/Z-Achsen eingeordnet zeigt;F i g. 17 a sketch showing the simply curved Block, the semiconductor wafer and there? tensioned steel strip in a coordinate system with A "/ Z axes shows classified;

Fig. 18 eine Skizze, die die Lage des einfach gekrümmten Blocks zu dem gespannten Stahlband zeigt, sowie die Richtung, in der sich der Block bewegt und die Richtung, in der ein Zug auf das Stahlband ausgeübt wird.18 is a sketch showing the position of the single curved block in relation to the tensioned steel strip shows, as well as the direction in which the block is moving and the direction in which a pull is applied to the steel belt is exercised.

•50 Für die nachfolgende Beschreibung wird der Kürze halber angenommen, daß die Vorrichtung zum Zerteilen von Halbleiterscheiben pneumatisch betrieben wird. Wie schon erwähnt, kann sie jedoch auch auf andere Weise, nämlich hydraulisch, elektrisch, elektromachanisch und mechanisch betätigt werden.• 50 For the sake of brevity, the following description assumes that the device for dividing operated pneumatically by semiconductor wafers. As already mentioned, however, it can also affect others Way, namely hydraulically, electrically, electro-mechanically and mechanically.

In F i g. 1 ist eine Ausführungsform der erfindungsgemäßen Vorrichtung dargestellt, die insgesamt mit 2 bezeichnet ist. Di~ Vorrichtung weist ein Gehäuse auf, das von einer Deckwand 3, einem Boden 4, einer Rückwand 6 und einer Vorderwand 7 gebildet ist. Etwa in der Mitte zwischen Decke und Boden ist eine horizontale Zwischenwand 8 angebracht, die an ihren Enden mit nach außen vorstehenden Teilen 9 und 12 versehen ist, die ge&^n die Zwischenwand 8 unter einem v> Winkel von etwa 45" geneigt und an der Zwischenwand mit passenden Schrauben befestigt sind. Wie aus F i g. 1 deutlich wird, folgen die Vorderwand und die Rückwand im wesentlichen dem Umriß, der durch die seitlichen,In Fig. 1 shows an embodiment of the device according to the invention, which is designated as a whole by 2 . The device has a housing which is formed by a top wall 3, a bottom 4, a rear wall 6 and a front wall 7. Approximately in the middle between ceiling and floor a horizontal partition 8 is attached, which is provided at its ends with outwardly projecting parts 9 and 12, which incline the partition 8 at a v> angle of about 45 "and at the As is clear from Fig. 1, the front wall and the rear wall essentially follow the outline defined by the lateral,

nach oben zu schräg laufenden Teile 9 und 12 gegeben ist.upwards to inclined parts 9 and 12 is given.

Der Abschnitt des Gehäuses oberhalb der Zwischenwand 8 kann als Scheibenbrechteil betrachtet werden, während der unter der Zwischenwand 8 liegende Gehäuseabschnitt als Steuerungsteil angesehen werden kann. Die beiden Seiten des Gehäuses sind im Scheibenbrechteil durch Seitenplatten 13 und 14 geschlossen, und im Steuerungsteil durch Seitenplatten 16 und 17. Im wesentlichen passen sich die Vorder- und Rückwand der Kontur der Seitenwände an, so daß ein vollständig geschlossenes Gehäuse mit zwei Kammern entsteht, wobei in der einen Kammer das Brechen der Scheibe stattfindet und in der anderen Kammer die meisten Elemente zur Steuerung und Betätigung untergebracht sind. Die erstgenannte Kammer enthält nur ein Minimum von Steuer- und Energiekomponenlen. so daß dieser Teil des Gehäuses ziemlich frei von Verunreinigungen gehalten werden kann, zumal der Steuerungsteil des Gehäuses von dem Scheibenbrechteil isoliert ist.The section of the housing above the partition 8 can be regarded as a disk breaking part, while the housing section located under the partition 8 can be viewed as a control part can. The two sides of the housing are in the disc breaking part by side plates 13 and 14 closed, and in the control part by side panels 16 and 17. Essentially, the front and Rear wall of the contour of the side walls, so that a completely closed housing with two chambers arises, whereby in one chamber the breaking of the disc takes place and in the other chamber the most elements for control and actuation are housed. The first chamber contains only a minimum of control and energy components. so that this part of the case is pretty much free of Impurities can be kept, especially since the control part of the housing of the disc breaking part is isolated.

An der Zwischenwand 8 sind zwei pneumatische Zylinder gehaltert. In dem gezeigten Beispiel sind die Zylinder an den schräg nach oben verlaufenden Seitenteilen 9 und 12 angebracht und jeder Zylinder trägt eine Mutter 21, mit der er an einem Vorsprung des Seitenteils festgeklemmt ist.Two pneumatic cylinders are held on the intermediate wall 8. In the example shown, the Cylinder attached to the sloping upwardly extending side parts 9 and 12 and each cylinder carries a nut 21 with which it is clamped to a projection of the side part.

Eine ausfahrbare Stange 22 des Zylinders ist im Inneren an einen druckluftgetriebenen Kolben 23 angeschlossen. Jeder Druckluftzylinder ist in üblicher Weise mit einer Einlaßöffnung 24 versehen, durch die Druckluft über dem Kolben eingeführt wird, wodurch der Kolben in seine untere Stellung eingefahren wird. Der Raum des Zylinders hinter dem Kolben wird durch Auslässe 26 in der Endwand oder in einer Seitenwand des Zylinders zur Umgebung entlüftet.An extendable rod 22 of the cylinder is attached to a compressed air-driven piston 23 inside connected. Each air cylinder is provided in a conventional manner with an inlet port 24 through which Compressed air is introduced over the piston, whereby the piston is retracted to its lower position. The space of the cylinder behind the piston is through outlets 26 in the end wall or in a side wall of the cylinder is vented to the environment.

Die Stange 22 jedes Druckluftzylinders ist mit einem Gabelkopf 27 versehen, in dem ein Bügel 28 in Form einer U-förmigen Klemme schwenkbar gelagert ist. Die Klemme hat in Querrichtung durchgehende Schlitze, in denen eines der beiden Enden eines gespannten Stahlbandes 29 festgehalten werden kann.The rod 22 of each compressed air cylinder is provided with a fork head 27 in which a bracket 28 in the form a U-shaped clamp is pivotally mounted. The clip has transverse slots extending through it, in which one of the two ends of a tensioned steel belt 29 can be held.

Wie aus F i g. 1 deutlich wird, läuft das Stahlband 29 über zwei in seitlicher Richtung beabstandete Rollen 31, die auf einer Achse 32 gelagert sind, die sich in horizontaler Richtung zwischen der Vorder- und der Rückwand des Gehäuses erstreckt. Jede Rolle hat ein Mittelteil 33, das von abstehenden Flanschen 34 an beiden Enden der Rolle begrenzt wird. Wenn also das Band 29 über die Rollen läuft und dabei auf dem Mittelteil 33 aufliegt, bieten die abstehenden Flansche eine Führung und einen seitlichen Anschlag für die Ränder des Bandes und verhindern so, daß sich das Stahlband in dem Gehäuse nach vorne oder hinten verschiebt In dem gezeigten Beispiel ist das Stahlband nächst einem Rand mit einem Loch 61a (Fig.2) versehen. Vorzugsweise ist es aus rostfreiem Stahl mit einer Dicke von etwa 0,25 mm hergestellt Die Breite des Bandes ist in dem Beispiel etwa 83 mm (3,25 Zoll). Wichtig ist, daß der Arbeitsabschnitt des Bandes in der in F i g. 1 dargestellten Lage sich horizontal quer durch das Gehäuse erstreckt und tangential zum oberen Umfang der beiden Rollen 31 verläuft Wichtig ist ferner, daß ungeachtet der Stellung des Arbeitsabschnittes 36 die mit den Gabelköpfer. 27 verbundener. Enden des Stahlbandes tangential von den zugehörigen Rollen weglaufen. Auf diese Weise wird auf die Stangen 22 niemals eine Belastung in Querrichtung wirksam, die eine Abnützung der Dichtungen und Lager mit sich bringen könnte.As shown in FIG. 1 becomes clear, the steel belt 29 runs over two laterally spaced rollers 31, which are mounted on an axis 32 that extends in the horizontal direction between the front and the Extends rear wall of the housing. Each roller has a central part 33 that extends from projecting flanges 34 both ends of the roll is limited. So when the belt 29 runs over the rollers and thereby on the Middle part 33 rests, the protruding flanges provide a guide and a side stop for the Edges of the band and thus prevent the steel band in the housing from moving forwards or backwards shifts In the example shown, the steel belt is next to an edge with a hole 61a (Fig. 2) Mistake. Preferably it is made of stainless steel about 0.25mm thick. The width of the tape is about 83 mm (3.25 inches) in the example. It is important that the working section of the tape is in the position shown in FIG. 1 position shown horizontally across the housing extends and runs tangentially to the upper circumference of the two rollers 31 is important also that regardless of the position of the working section 36 with the fork heads. 27 connected. end up of the steel belt run away tangentially from the associated rollers. In this way, the bars 22 never a load in the transverse direction effective, which wears the seals and bearings with it could bring.

In dem Steuerungsteil des Gehäuses unter der Zwischenwand 8 ist ein Arbeitszylinder 41 untergebracht, der einen mit Gewinde versehenen Ansatz 42 hat, welcher durch ein Loch 43 in der Zwischenwand 8 nach oben ragt und an dieser Zwischenwand mit einer Mutter 44 festgemacht ist. Der Arbeitszylinder 41 ist in dem gezeigten Beispiel vorzugsweise ein pneumatischer doppeltwirkender Zylinder, in den Druckluft gesteuert auf den beiden Seiten eines Kolbens 46 eingeleitet wird. Der Kolben ist mit einer Stange 47 verbunden, die mit ihrem äußeren Ende 48 über die Zwischwand 8 nach oben in den Scheibenbrechteil des Gehäuses vorsteht und mit einem Gewindeende 49 versehen ist; auf dieses ist ein Befestigungsring 51 mit einem Innengewinde aufgeschraubt, der auf dem Gewinde der Stange durch eine Mutter 52 gehalten wird. Am oberen Ende trägt der Befestigungsring 51 einen im Durchmesser reduzierten Schaftstummel 53, der zusammen mit dem breiteren Befestigungsring 51 einen Absatz 54 bildet, auf dem ein insgesamt mit 56 bezeichneter Block abnehmbar liegt.In the control part of the housing under the A working cylinder 41 is accommodated between wall 8 and has a thread 42 has, which protrudes through a hole 43 in the partition 8 upwards and on this partition with a Nut 44 is moored. In the example shown, the working cylinder 41 is preferably a pneumatic one double-acting cylinder into which compressed air is introduced in a controlled manner on both sides of a piston 46. The piston is connected to a rod 47 which, with its outer end 48, over the intermediate wall 8 according to protrudes into the top of the disc breaking portion of the housing and is provided with a threaded end 49; on this a fastening ring 51 is screwed with an internal thread that passes through the thread of the rod a nut 52 is held. At the upper end of the fastening ring 51 has a reduced diameter Shank stub 53, which together with the wider fastening ring 51 forms a shoulder 54 on which a a total of 56 designated block is removable.

Der Block 56 hat in dem gezeigten Beispiel vertikale Endwände 57. Der solide, nicht-deformierbare Stahl-The block 56 has vertical end walls 57 in the example shown. The solid, non-deformable steel

2ϊ block weist eine einfach gekrümmte Oberfläche 58 auf, die verchromt ist, um aus noch zu erläuternden Gründen ein Ma'imum an Glätte und Härte zu bieten. Es ist wichtig, daß der Block 56 sich nicht auf dem Schaftstummel 53 dreht. Um eine solche Drehung zu verhindern, kann der Schaftstummel 53 zur Sicherung gegen Verdrehen mit einem entsprechenden Querschnitt versehen sein und die Stange 48 des Druckluftzylinders kann passend verkeilt sein, so daß sie sich nicht dreht. Im Interesse einer rationellen Fertigung ist es jedoch günstiger, den doppeltwirkenden Zylinder nicht mit einer solchen speziellen Konstruktion zu versehen, da diese die Kosten erhöht. Daher sind zur Sicherung gegen eine Drehung des Blocks 56 um die vertikale Achse der Stange 48 Anschlagklötze 59 und 59' an der Rückwand 6 des Gehäuses etwa mittels Schrauben befestigt und die zugehörige Endwand 57 der Platte legt sich gegen diese Anschlagklötze, so daß jede Drehung der Platte unterbunden wird.2ϊ block has a simply curved surface 58, which is chrome-plated in order to offer a maximum of smoothness and hardness for reasons to be explained below. It is It is important that the block 56 does not rotate on the shaft stub 53. To get such a twist can prevent the shaft stub 53 to secure against rotation with a corresponding cross section be provided and the rod 48 of the air cylinder can be keyed properly so that they do not turns. In the interests of efficient production, however, it is better not to use the double-acting cylinder to be provided with such a special construction, as this increases the cost. Hence, they are for backup against rotation of the block 56 about the vertical axis of the rod 48 stop blocks 59 and 59 'on the The rear wall 6 of the housing is fastened approximately by means of screws and the associated end wall 57 of the plate is attached against these stop blocks, so that any rotation of the plate is prevented.

Wie schon erwähnt, ist es wichtig, daß sich das Band 29 nicht nach vorne oder hinten verschieben kann. Um dies zu verhindern, haben die beiden Rollen 31 ihre abstehenden Flansche 34. Es ist aber auch wichtig, daß keine Verschiebung des Bandes in Längsrichtung zur darunterliegenden Platte stattfindet, während sich dasAs already mentioned, it is important that the belt 29 cannot shift forwards or backwards. Around To prevent this, the two rollers 31 have their projecting flanges 34. But it is also important that there is no displacement of the belt in the longitudinal direction to the underlying plate while the

so Band verbiegt um sich der Krümmung der ei-fach gekrümmten Oberfläche 58 anzupassen. Um eine solche Längsverschiebung des Bandes zu verhindern, ist der Block nächst seinem einen Ende mit einem hochstehenden Stift 61 versehen, der in das Loch 61a (Fig.2) eingreift Wenn also der Arbeitszylinder 41 in Gang gesetzt wird, bewegt sich der Block 56 nach oben in Achsrichtung des Arbeitszylinders und stößt nach einem kurzen Weg gegen die Unterseite des Arbeitsabschnittes 36 des Stahlbandes. Bei Fortsetzung seiner Aufwärtsbewegung drückt der Block den Mittelteil des Bandes nach oben, wobei das Band gezwungen wird, sich an die Krümmung der einfach gekrümmten Oberfläche 58 des Blocks anzupassen. Zu beachten ist, daß diese Formanpassung allmählich vor sich geht, beginnend an der Achse· des Blocks und init der Weiterbewegung des Blocks allmählich zunehmendso the band bends to adapt to the curvature of the double curved surface 58. To such a To prevent longitudinal displacement of the tape, the block is next to its one end with an upstanding one Provided pin 61 which engages in the hole 61a (Figure 2) so when the working cylinder 41 is in motion is set, the block 56 moves up in the axial direction of the working cylinder and pushes after a short way against the underside of the working section 36 of the steel belt. With continuation of his Upward movement, the block pushes the middle part of the belt upwards, forcing the belt to conform to the curvature of the single curved surface 58 of the block. It should be noted that this shape adaptation takes place gradually, beginning at the axis of the block and beginning with the Movement of the block gradually increasing

Durch Versuche wurde gefunden, daß ein Druck von etwa 7 at auf das Kopfende des Kolbens 23 in jedemIt has been found through experiments that a pressure of about 7 atm on the head end of the piston 23 in each

Druckluftzylinder 18 und 19 durch die Einlaßöffnung 24 angelegt für die meisten Größen- und Dickenabmessungen der Scheiben befriedigende Ergebnisse liefert. Dieser Druck kann, wie weiter unten erklärt wird, durch geeignete Mittel erhöht oder herabgesetzt werden. Es ist zweckmäßig, wenn der von den Zylindern 18 und 19 auf dt"- Stahlband ausgeübte Zug dem vom Arbeitszylinder 41 aufgebrachte Druck genau angepaßt ist. Daher sind die Arbeitsflächen der Kolben in den Hilfszylindern 18 und 19 so proportioniert, daß sie gleich der Arbeitsfläche des Kolbens 46 des Hauptzylinders 41 sind.Air cylinders 18 and 19 applied through inlet port 24 will give satisfactory results for most sizes and thicknesses of the disks. This pressure can, as will be explained below, be increased or decreased by suitable means. It is expedient if the tension exerted by the cylinders 18 and 19 on the dt "steel strip is precisely matched to the pressure exerted by the working cylinder 41 Pistons 46 of the master cylinder 41 are.

In Fig. 9 ist ein Beispiel für eine Halbleiterscheibe (Wafer) 62 dargestellt. Die Scheibe ist mit einer ersten Gruppe von Bruchlinien 63 versehen, die in dieser Abbildung horizontal verlaufen und den gewünschten Abstand voneinander haben. Eine zweite Gruppe von9 is an example of a semiconductor wafer (Wafer) 62 shown. The disc is provided with a first group of break lines 63 in this Run horizontally and have the desired distance from each other. A second group of

LM UUIIIlItIVIlLM UUIIIlItIVIl

3IHl Uli3IHl Uli

Gruppe 63, so daß ein Netzmuster von Bruchlinien auf der Oberseite 66 der Scheibe entsteht. Die Rückseite 67 der Scheibe ist nicht geritzt. Wenn es wirtschaftlich vertretbar ist, kann jedoch in Betracht gezogen werden, auch diese Rückseite einzuritzen. Die geritzte Scheibe wird dann auf einen Träger 68 gelegt, der aus einer Unterlage 69 besteht, auf die ein mit einem Fenster versehenes Deckblatt 71 aufgeklebt ist (siehe Fig. 10). Das Fenster 72 ist im Deckblatt etwas größer im Durchmesser als die unzerteilte Scheibe, die eingelegt werden soll. Der etwas größere Durchmesser des Deck' .'atts hat den Zweck, genügend Spielraum zu lassen, denn selbstverständlich benötigt die zerteilte Scheibe etwas mehr Raum als im unzerteilten Zustand, da ja zwischen den einzelnen Chips kleinste Spalte entstehen. Es ist in der Technik üblich, Halbleiterscheiben, die zerbrochen werden sollen, in Kunststoffhüllen einzuhüllen, die eine oder mehr Klebeflächen haben und auf der einen Oberfläche oder auf beiden Oberflächen der Scheibe haften, so daß die abgesonderten Chips nach dem Abbrechen in der gleichen Lage bleiben, die sie vor dem Abbrechen innehatten. Wie sich herausgestellt hat, sind bei dem in Fig. 10 gezeigten Träger solche Hüllen und insbesondere die Verwendung von Klebeflächen für die zerteilte Scheibe unnötig. Es hat sich jedoch als zweckmäßig erwiesen, ein sehr dünnes Blatt Schutzpapier 73 über die geritzte Seite der Scheibe zu legen, nachdem die Scheibe in dem Fenster 72 des Deckblattes 71 eingelegt ist. In Fig. 10 ist eine Ecke eines solchen Schutzpapiers an der unteren rechten Ecke des Tragers dargestellt, in dieser Abbildung ist ein Teil der Scheibe weggebrochen, um das Fenster, in dem die Scheibe liegt, deutlicher sichtbar zu machen. Zum Zerteilen der Scheibe wird der Träger mit der unzerteilten Scheibe, die mit einem Blatt Schutzpapier 73 abgedeckt ist, in einen Transporteur gelegt, der insgesamt mit 76 bezeichnet ist Der Transporteur ist an der Vorderwand 7 des Gehäuses mit Hilfe eines Winkelstückes 77 gehalten, das mit einem Schlitz 78 in der Gehäusevorderwand zusammenwirkt, durch den die Scheibe in die Vorrichtung eingeschoben wird. Wie aus F i g. 4 ersichtlich, trägt das Winkelstück 77 eine Führungsplatte 79, deren eines Ende auf dem Winkelstück aufliegt und deren anderes Ende im rechten Winkel von der Gehäusevorderwand wegragt Die Führungsplatte ist in der Mitte mit einer Schwai'oenschwanznui Si versehen, von deren Boden ein Anschlagstift 82 hochsteht und die so bemessen ist, daß sie einen komplementär geformten Keil 83 aufnimmt, der am Boden eines Zuführschlittens 84 angebracht ist. Wie Fig. 5 zeigt, ist der Zuführschlitten mit zwei seitlich voneinander beabstandeten, nach vorne stehenden Armen 86 und 87 versehen, die an ihren Innenrändern Falze 88 haben, die eine Ausnehmung > bilden, in die der die Scheibe enthaltene Träger gelegt werden kann. An dem Zuführschlitten ist ein Knopf 89 angebracht, an dem der Schlitten durch den Schlitz 78 in der Vorderwand gegen die an der Rückwand 6 angebrachten Anschlagklötze 59 und 59' geschobenGroup 63 so that a reticulated pattern of break lines is formed on top 66 of the disc. The rear side 67 of the disc is not scored. If it is economically feasible, however, consideration can be given to scratching this reverse side as well. The scored disk is then placed on a carrier 68 which consists of a base 69 to which a cover sheet 71 provided with a window is glued (see FIG. 10). The window 72 in the cover sheet is slightly larger in diameter than the undivided disc that is to be inserted. The purpose of the slightly larger diameter of the deck '.'atts is to leave enough leeway, because of course the cut disc requires a little more space than in the undivided state, since the smallest gaps arise between the individual chips. It is common in the art to encase semiconductor wafers which are to be broken in plastic sleeves which have one or more adhesive surfaces and which adhere to one or both surfaces of the wafer so that the separated chips remain in the same position after the breaking off that they held before canceling. As has been found, in the case of the carrier shown in FIG. 10, such sleeves and in particular the use of adhesive surfaces for the divided disk are unnecessary. However, it has proven to be expedient to place a very thin sheet of protective paper 73 over the scored side of the pane after the pane has been placed in the window 72 of the cover sheet 71. In Fig. 10 a corner of such a protective paper is shown at the lower right corner of the carrier, in this figure a part of the pane has been broken away in order to make the window in which the pane lies more clearly visible . To cut the pane, the carrier with the undivided pane, which is covered with a sheet of protective paper 73, is placed in a conveyor, which is designated as a whole by 76 cooperating with a slot 78 in the housing front wall through which the disc is pushed into the device. As shown in FIG. 4, the elbow 77 carries a guide plate 79, one end of which rests on the elbow and the other end protrudes at a right angle from the front wall of the housing and which is sized to receive a complementary shaped wedge 83 attached to the bottom of a feed slide 84. As FIG. 5 shows, the feed slide is provided with two laterally spaced apart, forwardly projecting arms 86 and 87 which have folds 88 on their inner edges which form a recess in which the carrier containing the disc can be placed. A button 89 is attached to the feed slide, on which the slide is pushed through the slot 78 in the front wall against the stop blocks 59 and 59 'attached to the rear wall 6

in werden kann. Diese Stellung des Zufuhrschlittens ist in den F i g. 2 und 3 dargestellt, wogegen die F i g. 4 und 5 den Schlitten in seiner äußeren Stellung zeigen.in can be. This position of the feed carriage is in the F i g. 2 and 3, while the F i g. Figures 4 and 5 show the carriage in its outer position.

Wenn der Zuführschlitten die in den Fig. 2 und 3 gezeigte Stellung einnimmt, kommt die im Träger aufgenommene Scheibe unmittelbar über der gekrümmten Fläche 58 des Blocks zu liegen, wie dies in F i g. I gestrichelt und in Fig. 13 schematisch angedeutet ist. InWhen the feed carriage assumes the position shown in FIGS. 2 and 3, it comes in the carrier received disc to lie immediately above the curved surface 58 of the block, as shown in FIG. I. is indicated by dashed lines and in Fig. 13 schematically. In

.i: c»~ii :-*.i: c »~ ii: - *

i:~ o-i—:u~ :.— ι—..--.~i:.*i: ~ o-i—: u ~: .— ι —..--. ~ i:. *

der Seitenränder 91 und 9Γ des Trägers so ausgerichtet,the side edges 91 and 9Γ of the carrier aligned so

2» daß eine Gruppe der Bruchlinien, beispielsweise die Bruchlinien 64 der F i g. 9 parallel zu den Seitenrändern 91 und 9Γ verlaufen. Bei dieser Ausrichtung laufen die Bruchlinien 63 der anderen Gruppe natürlich im rechten Winkel zu den Seitenrändern 91 und 9Γ und parallel zu2 »that a group of fault lines, for example the Break lines 64 of FIG. 9 run parallel to the side edges 91 and 9Γ. With this alignment the Break lines 63 of the other group, of course, at right angles to the side edges 91 and 9Γ and parallel to them

2¹) den Seitenrändern 92 und 92'. Gemäß Fig. 11 sind, wenn die Scheibe derart im Träger 68 orientiert ist, die Bruchlinien 64 parallel zur V-Achse, die ihrerseits parallel zu den Seitenrändern 91, 91' des Trägers ist. Entsprechend liegen die Bruchlinien 63 parallel zur2 ¹ ) the side margins 92 and 92 '. 11, when the disk is oriented in this way in the carrier 68, the break lines 64 are parallel to the V-axis, which in turn is parallel to the side edges 91, 91 'of the carrier. Correspondingly, the break lines 63 are parallel to the

)o X-Achse, die ihrerseits parallel zu den Seitenrändern 92 und 92'ist.) o X-axis, which in turn is parallel to the side edges 92 and 92 'is.

Betätigt man bei dieser Ausrichtung der Scheibe den Arbeitszylinder 41, dann legt sich die Scheibe mit dem Träger, in dem sie angebracht ist, flach und fest gegenIf you actuate the working cylinder 41 with this alignment of the disc, then the disc lies with the Carrier in which it is attached, flat and firm against

!■> die Unterseite des Arbeitsabschnitts 36 des Stahlbandes 29. Da die vertikale Mittelebene, die die Achse des Blocks enthält und senkrecht zur Vorder- und Rückwand verläuft, auch die Achse Y einschließt, wie aus F i g. 11 ersichtlich, bewirkt ein fortgesetzter Druck des Blocks nach oben, daß die Scheibe entlang der ersten Bruchlinie A bricht, die mit der V-Achse zusammenfällt (siehe Fig. II, sowie schematisch in Fig. 13 und 14). Dieser erste Bruch in der Scheibe entlang der Bruchlinie A teilt die Scheibe entlang einer durch die K-Achse definierten Mittelebene in zwei gleiche Hälften. Ursache für das Zerbrechen der Scheibe an dieser Bruchlinie ist die auf das Band 36 ausgeübte Spannung, da das Band in festem Kontakt von Fläche zu Fläche mit der Oberseite 66 der Scheibe! ■> the underside of the working section 36 of the steel strip 29. Since the vertical median plane, which contains the axis of the block and runs perpendicular to the front and rear walls, also includes the axis Y , as shown in FIG. 11, continued upward pressure on the block causes the disk to break along the first break line A which coincides with the V axis (see Fig. II, and schematically in Figs. 13 and 14). This first break in the disk along the break line A divides the disk into two equal halves along a median plane defined by the K axis. The cause of the disk breaking at this break line is the tension exerted on the belt 36 as the belt is in firm face-to-face contact with the top surface 66 of the disk

V- steht und durch den sich nach oben bewegenden Block 56 gegen die Unterseite der Scheibe gegenüber der Bruchiinie A ein konzentriertes Biegemoment ausgeübt wird. Die beiden Hälften der Scheibe sind zwischen der Unterseite des straffen Stahlbandes und der Oberseite des Blockes gefangen, so daß von dem Stahlband der V- and a concentrated bending moment is exerted against the underside of the disk opposite the breaking line A by the block 56 moving upwards. The two halves of the disk are caught between the underside of the taut steel band and the top of the block, so that the steel band of the

Aufwärtsbewegung der Scheibe eine HemmkraftUpward movement of the disc creates a drag

entgegengesetzt wird, die sich über die gesamte geritzteis opposed, which is incised over the entire

Oberfläche der beiden Scheibenhälften verteiltSurface of the two halves of the disc distributed Während sich der Block gegen die Unterseite desWhile the block is against the bottom of the

μ Trägers 68 nach oben bewegt und die Scheibe in Anlage an der Unterseite des Stahlbandes gebracht wird, wird der Träger selbstverständlich vom Zuführschlitten 84 abgehoben und von dem Block nach oben mitgenommen. Gleichzeitig prägt der nach oben laufende Kolbenμ carrier 68 moved upwards and the disc in contact is brought to the underside of the steel belt the carrier is of course lifted from the feed carriage 84 and taken upwardly by the block. At the same time, the piston running upwards makes an impression

f>"> dem Band eine Spannung auf, die der von den Druckluftzylindern 18 und 19 aufgebrachten Spannung entgegengerichtet ist und bewirkt, daß die Kolben 23 in diesen Druckluftzylindern entgegen dem in denf> "> the tape has a tension similar to that of the Pneumatic cylinders 18 and 19 applied tension is opposite and causes the pistons 23 in these compressed air cylinders contrary to the

Zylindern über den Kolben herrschenden Druck von 7 at nach oben geschoben werden.Cylinders are pushed upwards by the pressure of 7 at prevailing over the piston.

Bei der fortgesetzten Aufwärtsbewegung des Blocks paßt sich das flexible Stahlband 29 immer mehr der Krümmung des Blocks an, wodurch beide Scheibenhälften gleichzeitig entlang den zwei Bruchlinien B und B' gebrochen werden (siehe Fig. 15). Nach dem ersten Bruch an dev Sruchlinie A wird jede dabei entstandene Scheibenhälfte nacheinander und gleichzeitig mit der anderen Hälfte in einzelne Streifen zerteilt, die zwischen dem Band und der oberen gekrümmten Fläche des Blocks eingesperrt bleiben. Die Streifen behalten ihre ursprüngliche Orientierung zum Träger, in dem sie untergebracht sind, bei. Bei Fortsetzung der Aufwärtsbewegung des Blocks kommt es zur dritten Bruchstelle entlang den Bruchlinien C und C(siehe Fig. 16) und dieses Zerbrechen der Scheibenhälften geht weiter, bis die gesamte Scheibe entlang den zur V-Achse parallelen Bruchlinien 64 zerteilt ist.With the continued upward movement of the block, the flexible steel band 29 adapts itself more and more to the curvature of the block, whereby both disk halves are broken simultaneously along the two breaking lines B and B ' (see FIG. 15). After the first break at the break line A , each resulting half of the disc is divided one after the other and simultaneously with the other half into individual strips that remain trapped between the band and the upper curved surface of the block. The strips retain their original orientation to the carrier in which they are housed. As the upward movement of the block continues, the third break occurs along break lines C and C (see FIG. 16) and this breaking of the disk halves continues until the entire disk is divided along break lines 64 parallel to the V-axis.

Im zweiten Arbeitsschritt wird der Block zurückgezogen, der Träger und die darin aufgenommene, in einzelne Streifen zerteilte Scheibe werden in dem Zuführschlitten in eine neue Lage gebracht und dann wird der Vorgang wiederholt, so daß die Scheibe nun in gleicher Weise entlang den Bruchlinien 63 gebrochen wird, wobei sie in einzelne Chips zerfällt. F i g. 11 zeigt die geritzte Oberfläche der Scheibe, nachdem die Scheibe vollständig entlang den Bruchlinien 64 parallel zur V-Achse zerteilt ist. Fig. 12 veranschaulicht die geritzte Scheibenoberfiäche, nachdem die Scheibe entlang beiden Gruppen der Bruchlinien 63 und 64, parallel zur X- und zur V-Achse gebrochen ist. Wie ersichtlich, haben sich allein durch den Vorgang des Brechens die einzelnen Chips etwas voneinander entfernt, so daß nun das in dem Träger 68 angebrachte Fenster 72 ausgefüllt ist.In the second work step, the block is withdrawn, the carrier and the disc, which is contained therein and cut into individual strips, are brought into a new position in the feed carriage and the process is then repeated so that the disc is now broken along the break lines 63 in the same way , breaking up into individual chips. F i g. Figure 11 shows the scribed surface of the disk after the disk has been completely sliced along break lines 64 parallel to the V-axis. Figure 12 illustrates the scribed disc surface after the disc has broken along both sets of break lines 63 and 64, parallel to the X and V axes. As can be seen, the individual chips have moved away from one another somewhat as a result of the breaking process alone, so that the window 72 made in the carrier 68 is now filled.

Fig. 17 und 18 zeigen schematisch die Lagerbeziehungen zwischen dem gestrafften Stahlband, des darunterliegenden Blocks und der im Träger eingelegten Scheibe zu der X-, Y- und Z-Achse. Überträgt man dieses Koordinatensystem aus Fig. 1, dann liegen die X- und V-Achse horizontal, wobei die X-Achse von links nach rechts in Längsrichtung des Stahlbandes 29 und parallel dazu verläuft, während die V-Achse von vorne nach hinten senkrecht zur Vorder- und Rückwand des Gehäuses und quer zum Stahlband verläuft und mit einer vertikalen Achse durch den Arbeitszylinder 41 zusammenfällt. Die Z-Achse erstreckt sich in Fig. 1 vertikal und im rechten Winke! zur X- und V-Achse und auch zum Stahlband.17 and 18 show schematically the bearing relationships between the tightened steel strip, the block below and the disk inserted in the carrier in relation to the X, Y and Z axes. If this coordinate system is transferred from FIG. 1, the X and V axes are horizontal, the X axis running from left to right in the longitudinal direction of the steel strip 29 and parallel to it, while the V axis from front to back is perpendicular to the The front and rear walls of the housing run transversely to the steel strip and coincide with a vertical axis through the working cylinder 41 . The Z-axis extends vertically and at right angles in Fig. 1! to the X and V axes and also to the steel belt.

Fig. 18 veranschaulicht schematisch die Richtungen, in denen Druck ausgeübt v/ird zwischen dem gespannten Stahlband und dem bewegten Block, um die oben beschriebene Wirkung zu erzielen. Natürlich können auch andere Anordnungen getroffen werden, um einen gleichen Effekt zu erzielen. Beispielsweise kann der Block stationär sein und das gespannte Stahlband, das an beiden Enden elastisch verankert sein kann, kann mit Hilfe von Rollen zu beiden Seiten des Blocks nach unten gedruckt werden. Es kann also jedes geeignete Mittel verwendet werden, das bewirkt, daß sich das Band über den Block legt.Fig. 18 schematically illustrates the directions in which pressure is exerted between the tensioned Steel belt and the moving block to achieve the effect described above. Of course you can other arrangements can be made to achieve the same effect. For example, the Block be stationary and the tensioned steel band, which can be elastically anchored at both ends, can with Using rolls to be printed down on either side of the block. So it can be any suitable means used, which causes the tape to stretch over lays the block.

Wenn die Scheibe entlang den zur V-Achse parallelen Bruchlinien zerteilt ist, wird der Zufahrschlitten 84 wieder in die in F i g. 4 gezeigte Stellung zurückgszogen und der Träger 68, der die jetzt an der einen Liniengruppe gebrochene Scheibe enthält, muß in eine neue Ljage zum Schlitten gebracht werden, damit, wenn er wieder bis ";ber die Platte vorgeschoben wird, die Bruchlinien 63 parallel zur V-Achse zu liegen kommen. Für diese neue Lageeinstellung des Trägers ist eine Drehvorrichtung vorgesehen, die insgesamt mit % bezeichnet ist und am besten aus den Fig.3 bis 6 ersichtlich ist. Die Drehvorrichtung ist an der Unterseite der Führungsplatte 79 angebracht. Sie weist ein Gehäuse 97 auf, das eine Bohrung 98 und einen nach unten stehenden Rand 99 hat. Der Rand ist mit einemWhen the pane has been cut up along the break lines parallel to the V-axis, the feed slide 84 is returned to the position shown in FIG. 4 is withdrawn and the carrier 68, which contains the pane now broken at one group of lines, must be moved to a new position on the slide so that when it is pushed back over the plate, the break lines 63 parallel to the V For this new adjustment of the position of the carrier, a rotating device is provided, which is designated as a whole by% and can best be seen in Figures 3 to 6. The rotating device is attached to the underside of the guide plate 79. It has a Housing 97 , which has a bore 98 and a downwardly extending edge 99. The edge is with a

ίο Schlitz 101 in Form eines umgekehrten U versehen, dessen beide nach unten stehende Schenkel in dem Rand 99 in Umfangsrichtung um 90° versetzt sind. In der Wand des Gehäuses ist eine öffnung 102 vorgesehen und in der Bohrung 98 ist ein Hahnschieber 103 verschieblich aufgenommen. An dem Hahnschieber ist ein Handgriff angebracht, der in dem U-förmigen Schlitz 101 derart beweglich ist, daß er in einem Bcg2n von 90° geschwenkt werden kann, wobei sich der Hahnschieber in dem Gehäuse um 90° dreht. Der Hahnschieber 103 ist mit einem Durchlaß 106 in Querrichtung versehen, der bei angehobener Stellung des Hahnschiebers mit der öffnung 102 in Verbindung steht. Wenn der Hahnschieber nach unten geschoben ist, wie dies in F i g. 3 gezeigt ist, ist der Durchlaß 106 durch die Innenwand der Bohrung 98 versperrt. In dem Hahnschieber ist noch ein zweiter Durchlaß 107 angebracht, der sich in Achsrichtung des Schiebers erstreckt und mit dem querverlaufenden Durchlaß 106 in Verbindung steht. Das obere Ende des Durchlasses 107 mündet in eine Ringkammer 108, die unter einer mit öffnungen versehenen Kappe 109 angeordnet ist. Die öffnungen 112 in der Kappe verbinden die Oberseite der Kappe mit der darunterliegenden Ringkammer 108. Hebt man den Handgriff 104 an, dann wird der querlaufende Durchlaß 106 mit der Öffnung 102 zur Deckung gebracht, so daß ein an dieser Öffnung angelegtes Vakuum einen verminderten Druck in der Ringkammer 108 und den öffnungen 112 zur Folge hat, wodurch der Träger 68 fest nach unten an die Oberseite der Kappe 109 gesaugt wird. Da beim Anheben des Hahnschiebers bis zur Deckung des Durchlasses 106 mit der öffnung 102 die Oberseite der Kappe 109 nach oben geführt wird, wird auch der Träger 68 nach oben gehoben, bis die Seitenränder 91,91' und 92,92' von den Falzen des Zuführschlittens freikommen, so daß der Träger nun um 90° gedreht werden kann. Diese Drehung erfolgt durch Schwenken des Handgriffes 104 um einen Bogen von 90°, wie dies in Fig.5 und 6 in gestrichelten Linien angedeutet ist. Dann wird der Handgriff 104 wieder nach unten geführt, wodurch der Hahnschieber nach unten gleitet und der Träger 68 zurück auf seine Aufnahme sinkt, die von den Falzen im Zuführschlitten 84 gebildet wird. Die Scheibe ist nunmehr bereit, wieder eingeschoben zu werden, um in der entgegengesetzten Richtung zerteilt zu werden. Die öffnung 102 ist an eine Vakuumquelle über eine nicht gezeigte Schlauchleitung angeschlossen, die in das Gehäuse hineinreicht und an der nächstpassenden Stelle, um an ein Anschlußstück 113 angeschlossen zu werden, das an der Rückwand 6 des Gehäuses angebracht istίο provided slot 101 in the form of an inverted U, the two downward legs of which are offset in the circumferential direction by 90 ° in the edge 99. An opening 102 is provided in the wall of the housing and a valve slide 103 is slidably received in the bore 98. A handle is attached to the valve slide, which is movable in the U-shaped slot 101 in such a way that it can be pivoted in a Bcg2n of 90 °, the valve slide rotating through 90 ° in the housing. The valve slide 103 is provided with a passage 106 in the transverse direction, which is connected to the opening 102 when the valve slide is in the raised position. When the valve slide is pushed down, as shown in FIG. 3, the passage 106 is blocked by the inner wall of the bore 98. A second passage 107 , which extends in the axial direction of the slide and is in connection with the transverse passage 106, is provided in the valve slide. The upper end of the passage 107 opens into an annular chamber 108 which is arranged under a cap 109 provided with openings. The openings 112 in the cap connect the top of the cap with the underlying annular chamber 108. If the handle 104 is lifted, the transverse passage 106 is brought into congruence with the opening 102 , so that a vacuum applied to this opening results in a reduced pressure the annular chamber 108 and has the openings 1 12 results in being drawn whereby the carrier 68 down firmly on to the top of the cap 109th Since the top of the cap 109 is guided upwards when the valve slide is raised until the passage 106 is covered with the opening 102 , the carrier 68 is also lifted upwards until the side edges 91, 91 ' and 92, 92' of the folds of the Feed slide come free so that the carrier can now be rotated 90 °. This rotation takes place by pivoting the handle 104 through an arc of 90 °, as indicated in FIG. 5 and 6 in dashed lines. The handle 104 is then guided downwards again, as a result of which the valve slide slides downwards and the carrier 68 sinks back onto its receptacle, which is formed by the folds in the feed carriage 84 . The disc is now ready to be pushed back in to be divided in the opposite direction. The opening 102 is connected to a vacuum source via a not shown hose line, which extends into the housing and which is mounted on the rear wall 6 of the housing at the next matching point to be connected to a connecting piece 1 13

Die oben beschriebene Vorrichtung wird von einer pneumatischen Schaltung betätigt die in Fig.8 schematisch dargestellt ist Von einer DruckluftquelleThe device described above is actuated by a pneumatic circuit shown in Fig. 8 is shown schematically from a compressed air source

oi wird Druckluft über ein Anschlußstück 1!6 an der Gehäuserückwand 6 zugeführt das durch eine Schlauchleitung 117 mit den Einlassen zweier Miniatur-Druckregler 118 und 119 verbunden ist Die Druckregler sindoi is compressed air via a connecting piece 1. 6 on the rear wall 6 is supplied with the two through tubing 117 with the inlets miniature pressure regulators 118 and 119 is connected the pressure regulators are

einstellbar und können an Regclknöpfen 121 (Fig. 1) auf einen bestimmten Ausgangsdruck eingestellt werden, der an einem Druckmesser 122 ablesbar ist. Der Druckmesser ist durch die Vorderwand 7 des Gehäuses sichtbar. Der Druckregler 119 ist ebenfalls mit einem Druckmesser 123 versehen, der auch in der Gehäusevorderwand, aber an deren anderem Rand 16 angebracht ist.adjustable and can be adjusted with control buttons 121 (Fig. 1) can be set to a specific output pressure which can be read on a pressure gauge 122. Of the Pressure gauge is visible through the front wall 7 of the housing. The pressure regulator 119 is also with a Pressure gauge 123 is provided, which is also located in the front wall of the housing, but on its other edge 16 is appropriate.

Der Auslaß 126 des Druckreglers 118 ist über einen Schlauch 127 mit der Einlaßöffnung 24 des Druckluftzylinders 18 und über eine Zweigleitung 127' mit der Einlaßöffnung 24 des Druckluftzylinders 19 verbunden. Bei Betätigung des Regelknopfes 121 für den Druckregler 118 wird c'.so der auf die Kolben in den Zylindern 18 und 19 einwirkende Druck verändert und damit die an η das Stahlband 29 angelegte Spannung. Dieser Druck wird konstant angelegt, solange die Vorrichtung an eine Druckluftquelle angeschlossen ist, und es ist keine Unterbrechung notwendig oder erwünscht. Der Ausgang des Druckreglers 119 ist mittels eine Leitung 128 mit gefederten Ventilen 129 und 131 verbunden. Beide Ventile werden in Normalstellung durch eine Feder geschlossen gehalten. Das Ventil 129 hat einen von der Vorderseite des Gehäuses her zugänglichen Druckknopf 132 (siehe Fig.!). Das Ventil 131 wird dagegen r, automatisch di"-ch die Bewegung des Blocks 56 in ihre obere Grenzstellung betätigt, wozu der Block einen kurzer. Hebel 13 trägt, der mit dem Stößel 133 des Ventils 131 in Kontakt komm». Um den Hubweg des Blocks verändern zu können, ist die Lage des Ventils 131 in dem Gehäuse, die am besten aus den Fig. 1 und 3 ersichtlich ist, mit Hilfe eines Knopfes 136 verstellbar, der das Ventil an einem Tragarm 137 festklemmt, der an der Gehäuserückwand angebracht ist.The outlet 126 of the pressure regulator 118 is connected to the inlet opening 24 of the compressed air cylinder via a hose 127 18 and connected to the inlet opening 24 of the compressed air cylinder 19 via a branch line 127 '. When the control button 121 for the pressure regulator 118 is actuated, c'.so that is applied to the pistons in the cylinders 18 and 19 acting pressure changes and thus the tension applied to η the steel strip 29. This pressure is constantly applied as long as the device is connected to a Compressed air source is connected, and no interruption is necessary or desired. The exit of the pressure regulator 119 is connected to spring-loaded valves 129 and 131 by means of a line 128. Both Valves are kept closed in the normal position by a spring. The valve 129 has one of the Push-button 132 accessible from the front of the housing (see FIG.!). The valve 131, however, is r, automatically di "-ch the movement of block 56 in their Upper limit position actuated, including the block a short. Lever 13 carries which with the plunger 133 of the Valve 131 come into contact ». In order to be able to change the stroke of the block, the position of the valve 131 is important adjustable in the housing, which can best be seen in FIGS. 1 and 3, with the aid of a button 136, which clamps the valve on a bracket 137 which is attached to the rear wall of the housing.

In dem Gehäuse ist an der Rückwand ein Vierwegventil 141 befestigt, dessen Einlaß 142 mit dem Auslaß des Druckreglers 119 verbunden ist. Wie bei Vierwegventilen üblich, ist der Haupteinlaß 142 von Auslassen flankiert, die in den Fig. 1 und 8 durch kurze Pfeile schematisch angedeutet sind. Die Arbeitsöffnungen A und Bdes Ventils mit öffnungen 143 und 144 verbunden (siehe Fig. 8). Die beiden Enden des Vierwegventils sind mit Steueranschlüssen 146 und 147 versehen, von denen der Steueranschluß 147 mit dem Auslaß des Ventils 129 verbunden ist. Der Steueranschluß 146 ist über eine Schlauchleitung 148 an den Auslaß des Ventils 131 angeschlossen. Um die Vorrichtung in Gang zu setzen, wird das Anschlußstück 116 mit einer Druckluftquelle verbunden unc' die beiden Druckregler 118 und 119 werden aul die gewünschte Druckhöhe eingestellt. Zu beachten ist, daß der Druckregler 119 über den Einlaß 142 an das Vierwegventil angeschlossen ist und daher den Druck der durch dieses Ventil in den Arbeitszylinder 41 strömende Luft steuert. Nach der Druckeinregulierung wird eine Scheibe über den Block 56 gebracht, wie dies oben geschildert ist, und wenn die Scheibe richtig plaziert ist, wird der Druckknopf 132 kurzzeitig niedergedrückt. Dabei wird das Ventil 129 geöffnet und läßt Druckluft in den Steueranschluß 147 eintreten, die den Schieber in dem Ventilgehäuse des Vierwegventils in F i g. 8 nach links verschiebt. In dieser Stellung kann die Druckluft durch das Ventilgehäuse und die Öffnung B in den Arbeitszylinder 41 durch die Öffnung 143 einströmen, so daß der Kolben des Arbeitszylinders nach oben bewegt wird. Dieser Auswärtsbewegung des Kolbens und des damit verbundenen Blocks wirkt die Spannung in Band 29 entgegen, die von den Zylindern 18 und 19 angelegt wird.A four-way valve 141, the inlet 142 of which is connected to the outlet of the pressure regulator 119, is attached to the rear wall of the housing. As is usual with four-way valves, the main inlet 142 is flanked by outlets, which are indicated schematically in FIGS. 1 and 8 by short arrows. The working openings A and B of the valve are connected to openings 143 and 144 (see FIG. 8). The two ends of the four-way valve are provided with control connections 146 and 147, of which the control connection 147 is connected to the outlet of the valve 129. The control connection 146 is connected to the outlet of the valve 131 via a hose line 148. In order to start the device, the connection piece 116 is connected to a compressed air source and the two pressure regulators 118 and 119 are set to the desired pressure level. It should be noted that the pressure regulator 119 is connected to the four-way valve via the inlet 142 and therefore controls the pressure of the air flowing through this valve into the working cylinder 41. Once the pressure has been adjusted, a disk is brought over the block 56, as described above, and when the disk is properly placed, the push button 132 is depressed momentarily. The valve 129 is opened and allows compressed air to enter the control connection 147, which pushes the slide in the valve housing of the four-way valve in FIG. 8 shifts to the left. In this position, the compressed air can flow through the valve housing and the opening B into the working cylinder 41 through the opening 143, so that the piston of the working cylinder is moved upwards. This outward movement of the piston and associated block is counteracted by the tension in belt 29 applied by cylinders 18 and 19.

Wenn der Kolben seine höchste Stellung erreicht, legt sich der Hebel 134 (F ig. 3) gegen den Stößel 133 des Ventils 131 und läßt Druckluft durch dieses Ventil, durch die Schlauchleitung 148 in den Steueranschluß 146 des Vierwegventils strömen. Der Ventilschieber wird nach rechts geschoben und verbindet die öffnung B mit einem der Auslässe und die öffnung A mit der Druckluftquelle, so daß Druckluft jetzt in die öffnung 144 des Arbeitszylinders 41 über dem Kolben gelangt und den Kolben nach unten treibt, wodurch der Block in eine Ladestellung gebracht wird. Nach dem Herausziehen des Zuführschlittens wird die Drehvorrichtung 96 für die Scheibe betätigt, die die Scheibe um 90° dreht und damit in die richtige Lage bringt, um die zu den beim ersten Arbeitsgang gebrochenen Bruchlinien rechtwinklig verlaufenden Bruchlinien zu brechen. Der Zuführschlitten wird wieder eingeschoben, der Druckknopf 132 wird wiede,· niedergedrückt und die Vorrichtung führt automatisch einen nächsten Arbeitsgang aus, um die Scheibe in der anderen Richtung zu zerbrechen.When the piston reaches its highest position, the lever 134 (Fig. 3) rests against the plunger 133 of the valve 131 and lets compressed air flow through this valve through the hose line 148 into the control connection 146 of the four-way valve. The valve slide is pushed to the right and connects the opening B with one of the outlets and the opening A with the compressed air source, so that compressed air now enters the opening 144 of the working cylinder 41 above the piston and drives the piston down, whereby the block into a Is brought to the loading position. After pulling out the feed slide, the rotating device 96 for the disc is actuated, which rotates the disc by 90 ° and thus brings it into the correct position in order to break the break lines running at right angles to the break lines broken in the first operation. The feed slide is pushed back in, the push button 132 is depressed again and the device automatically carries out a next operation to break the pane in the other direction.

Vorstehend wurde eine Ausführungsform -: ·τ Erfindung mit Handbetätigung beschrieben. Selbstverständlich kann die Vorrichtung durch eine automatisierte Vorschubeinrichtung und automatische Steuerungen so umgestellt werden, daß der Arbeitsgang praktisch ganz ohne menschliche Hilfe abläuft.Above was an embodiment -: · τ invention described with manual operation. Of course, the device can be automated by an Feed device and automatic controls can be adjusted so that the operation is practically complete runs without human help.

Hierzu 4 Blatt ZeichnungenFor this purpose 4 sheets of drawings

Claims

Patent claims:

1. Vorrichtung zum Zerteilen einer Halbleiterscheibe längs einander parallel in sie eingeritzter Bruchlinien, mit einem im wesentlichen undehnbaren Band zum Andrücken der Halbleiterscheibe an eine einfach konvex gekrümmte Oberfläche eines relativ zu dem Band bewegbaren Blocks, dadurch gekennzeichnet, daß der Block (56) relativ zum Band (29) mit steuerbarer Geschwindigkeit bewegbar ist und daß das Band (29) beidseitig des Blocks (56) über einfach konvex gekrümmte Umlenkglieder (32, 33) zu Spannvorrichtungen (18, 19) steuerbarer Spannung geführt ist1. Apparatus for dividing a semiconductor wafer along one another, scratched into it parallel to one another Break lines, with a substantially inextensible tape for pressing the semiconductor wafer against one simply convex curved surface of a block movable relative to the belt, thereby characterized in that the block (56) relative to the belt (29) at a controllable speed is movable and that the band (29) on both sides of the block (56) via simple convex curves Deflection members (32, 33) is guided to tensioning devices (18, 19) of controllable tension

2. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der Block (56), das Band (29) und die Umlenkglieder (31,32) in einem Gehäuse (3, ü, 7, 8, 9, 12, 12, 14) untergebracht sind, auf dessen Außenseite die Spannvorrichtungen (18,19) und eine Antriebsvorrichtung (41) zur Bewegung des Blocks (56) relativ zu dem Band (29) angeordnet sind und daß das Band (29) angreifende Glieder (22, 27) der Spannvorrichtung (18,19) und die Relativbewegung des Blocks (56) zu dem Band (29) bewirkende Glieder (48,49,51,52,53,54) durch Wände (8,9,12) dieses Gehäuses (3,6,7,8,9,12,13,14) geführt sind.2. Device according to claim 1, characterized in that the block (56), the belt (29) and the deflecting members (31,32) in a housing (3, ü, 7, 8, 9, 12, 12, 14) are housed, on the outside of which the tensioning devices (18,19) and a drive device (41) for moving the block (56) relative to the belt (29) are arranged and that the belt (29) engaging members (22, 27) of Clamping device (18,19) and the relative movement of the block (56) to the belt (29) causing members (48,49,51,52,53,54) through walls (8,9,12) of this housing (3,6 , 7,8,9,12,13,14).

3. Vorrichtung nach Anspruch 2, gekennzeichnet durch einen die Halbleiterscheibe (62) zwischen dem Block (56) i-nd dem Band (29) halternden, durch eine schlitzförmige Öffnung (78) in einer Wand (7) des Gehäuses (3.6,7,8, &, 12,13,14) schiebbaren Träger (76).3. Apparatus according to claim 2, characterized by the semiconductor wafer (62) between the Block (56) i-nd the tape (29) holding it by a slot-shaped opening (78) in a wall (7) of the housing (3,6,7,8, &, 12,13,14) sliding support (76).

4. Vorrichtung nach Anspruch 3, gekennzeichnet durch eine auf der Außenseite des Gehäuses (3,6,7, 8, 9, 12, 13, 14) angeordnete Vorrichtung (96) zum Verdrehen des Trägers (76) um 90°.4. Apparatus according to claim 3, characterized by one on the outside of the housing (3,6,7, 8, 9, 12, 13, 14) arranged device (96) for Rotate the carrier (76) by 90 °.

5. Vorrichtung nach einem der Ansprüche I bis 4, dadurch gekennzeichnet, daß das Band (29) ein Stahlband ist5. Device according to one of claims I to 4, characterized in that the belt (29) is a Steel belt is

6. Vorrichtung nach einem der vorstehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die Spannvorrichtungen (18, 19) federnde Verankerungseinrichtungen für das Band (29) aufweisen.6. Device according to one of the preceding claims, characterized in that the clamping devices (18, 19) have resilient anchoring devices for the band (29).

7. Vorrichtung nach einem der vorstehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die Spannvorrichtungen (18, 19) Druckluftzylinder zum Spannen des Bandes (29) aufweisen.7. Device according to one of the preceding claims, characterized in that the clamping devices (18, 19) have compressed air cylinders for tensioning the belt (29).

8. Vorrichtung nach einem der vorstehenden Ansprüche, gekennzeichnet durch ein Ventil (142) zum Steuern eier Druckluftzufuhr zu einem den Block (56) relativ zu dem Band (29) bewegenden Druckluftzylinder (41), einen Druckluftregler (118) zum Regeln der Druckluftzufuhr zu den an dem Band (29) angreifenden Druckluftzylindern (18, 19) und durch Ventile (131, 132) zur Rückführung des Blocks (56) nach einem vorgegebenen Hub.8. Device according to one of the preceding claims, characterized by a valve (142) for controlling a supply of compressed air to one moving the block (56) relative to the belt (29) Compressed air cylinder (41), a compressed air regulator (118) for regulating the supply of compressed air to the on the Band (29) attacking compressed air cylinders (18, 19) and through valves (131, 132) to return the Blocks (56) after a predetermined stroke.