DE2204654C3 - Corpuscular beam device with a fluorescent screen and a television camera - Google Patents
Corpuscular beam device with a fluorescent screen and a television cameraInfo
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Description
3. Korpuskularstrahlgerät nach Anspruch 1,3. corpuscular beam device according to claim 1,
dadurch gekennzeichnet daß in der Wand (27) des Kornuskularstrahlgeräte, ein Beobachtung;-fenster (M) für den Leuchtschirm (10) vorgesejst characterized in that in the wall (27) of the Kornuskularstrahlgeräte, an observation; window (M) of the phosphor screen (10) vorgese j st
4. Korpuskularstrahlgerät nach Anspruch 1 a5 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß das auf dem Leuchtschirm (10) entworfene Bild mittels eines lichtoptischen Linsensystems (21) auf die Einirittsfläche einer Fernsehkamera (13) abgebildet jst 4. corpuscular beam device according to claim 1 a 5 or 2, characterized in that the image designed on the luminescent screen (10) by means of a light-optical lens system (21) imaged on the Einirittsfläche a television camera (13) j st
5 Korpuskularstrahlgerät nach Anspruch 4. dadurch gekennzeichnet, daß zwischen dem Leuchtschirr.i (10) und dem lichtoptischen Lintensystems (21) mindestens ein Spiegel (17) angeordnetist. 5 corpuscular beam device according to claim 4, characterized in that between the Leuchtschirr.i (10) and the light-optical lens system (21) at least one mirror (17) is arranged.
6. Korpuskularstrahl^ t nach Anspruch 1, «iadurch gekennzeichnet, daß der Leuchtschirm (10) lichtdurchlässig ausgebildet ist.6. corpuscular beam ^ t according to claim 1, «I characterized in that the luminescent screen (10) is translucent.
7. Korpuskularstrahlgerät nach Anspruch 1. dadurch gekennzeichnet, daß der Leuchtschirm (10) schräg zur Achse des Korpuskularstrahles angeordnet ist.7. corpuscular beam device according to claim 1, characterized in that the luminescent screen (10) is arranged obliquely to the axis of the corpuscular beam.
8. Korpuskularstrahlät nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß in der Blickrichtung durch das in der Wand (40) des KorpuskularstrahlgerUtes angeordnete erste Beobachtungsfen-Ster (45) für den Leuchtschirm (43) ein weiteres Beobachtungsfenster (46) angeordnet ist, hinter dem sich der Bildschirm des Monitors (471 hefindet. 8. corpuscular beam according to claim 3, characterized in that in the viewing direction through that in the wall (40) of the corpuscular beam device arranged first observation window (45) for the luminescent screen (43) another Observation window (46) is arranged, behind which the screen of the monitor (471 is found.
9. Korpuskularstrahlgerät nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, daß der Leuchtschirm (43) in Richtung des ersten Beobachtungsfensters (45) schwenkbar (44) angeordnet ist.9. corpuscular beam device according to claim 8, characterized in that the luminescent screen (43) is arranged pivotable (44) in the direction of the first observation window (45).
10. Korpuskularstrahlgerät nach Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß in der Blickrichtung tiurch das erste Beobachtungsfenster (45) eine Anzeigevorrichtung (53) für den Vergrößcrungsmaßstab angeordnet ist.10. corpuscular beam device according to claims, characterized in that in the viewing direction A display device (53) for the magnification scale through the first observation window (45) is arranged.
11. Korpuskularstrahlgerät nach Anspmchl, dadureh gekennzeichnet, daß das Fenster (52) des Leuchtschirmes (43) durch einen zusätzlichen Leuchtschirm (54) abdeckbar ist.11. Corpuscular beam device according to Anspmchl, dadureh characterized in that the window (52) of the luminescent screen (43) by an additional Luminous screen (54) can be covered.
Fernsehmonitors besitzt. Gemäß derErfradung bestet der Leuchtschirm ein Fenster md 1,e Fermehkamera ist zur Erfassung des durch das Fenster besfimmten Te.les des Bildes in Strahlrichtung hinter dem Fenster angeordnet. Dadurch wird erreicht, daß ein Übers.chlbild und ein elektronisch vergrößertes Ausschnittbild gleichzeitig betrachtet werden kön- TV monitor owns. According to the erfradung, the luminescent screen has a window and a television camera is arranged behind the window in the direction of the beam in order to capture the part of the image determined by the window. This ensures that an overview image and an electronically enlarged detail image can be viewed at the same time.
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3ei der Untersuchung von Objekten mittels eines rpuskularstrahlgcrätcs, beispielsweise eines EIek-When examining objects by means of a rpuscular beam device, for example an EIek-
Durch vorteilhafte Weiterbildungen der Erfindung können dem Benutzer des Korpuskularstrahlgerätes das Übersichtbild und das vergrößerte Ausschnittbild besonders sinnfällig dargeboten werden. Dies kann beispielsweise dadurch geschehen, daß zur Betrachtung des auf dem Leuchtschirm entworfenen Bildes eine gesonderte Fernsehkamera vorgesehen ist. Damit können sowohl das Ausschnitt- als auch das Übersichtbild auf Monitoren sichtbar gemacht werden. Diese können derart aufgestellt sein, daß der Betrachter beide Bilder bequem erfassen kann.Through advantageous developments of the invention, the user of the corpuscular beam device the overview image and the enlarged detail image are presented particularly clearly. This can be done, for example, that for viewing a separate television camera is provided for the image drawn on the fluorescent screen. In order to Both the detail and the overview image can be made visible on monitors. These can be set up in such a way that the viewer can comfortably capture both images.
Unabhängig hiervon kann jedoch in der Wand des Korpuskularstrahlgerätes ein Beobachtungsfenster für den Leuchtschirm vorgesehen sein. Es besteht dann jederzeit die Möglichkeit, den Leuchtschirm unmittelbar, d. h. unter Umgehung der Fernsehübertragung, zu betrachten.Independently of this, however, an observation window can be provided in the wall of the particle beam device be provided for the luminescent screen. There is then always the option of using the fluorescent screen immediately, d. H. bypassing the television broadcast.
Das auf dem Leuchtschirm entworfene Bild kann mittels eines lichtoptischen Linsensystems auf die Eintrittsfläche einer Fernsehkamera abgebildet sein. Hierzu kann auch die bereits zur Übertragung des Ausschnittbildes vorgesehene Fernsehkamera benutzt werden. Zweckmäßig werden in diesem Fall die Strahlengänge des Übersicht- und des Ausschnittbildes so geführt, daß beide Bilder die Eintrittsfläche der Fernsehkamera jeweils zur Hälfte beanspruchen. Der Vorteil dieser Einrichtung liegt darin, daß nur ein Übertragungsweg benötigt wird und dementsprechend das Übersicht- und das Ausschnittbild nebeneinander auf einem Monitor erscheinen. Mitteis des lichtoptischen Linsensystems kann das Übersichtbild aber auch der bereits erwähnten gesonderten Fernsehkamera zugeleitet werden, so daß das Übersicht- und das Aussehnittbild auf gesonderten Monitoren erscheinen. In beiden Fällen erscheint die dem Fenster des Leuchtschirmes entsprechende Bildfläche in dem Übersichtbild dunkel.The image drawn on the luminescent screen can be viewed by means of a light-optical lens system Be shown the entrance surface of a television camera. For this purpose, the already used for the transmission of the Cutout image provided television camera can be used. In this case, the The optical paths of the overview and the detail image are guided so that both images form the entrance surface of the television camera each half. The advantage of this facility is that only a transmission path is required and accordingly the overview image and the detail image next to one another appear on a monitor. The overview image but can also be fed to the separate television camera already mentioned, so that the overview and the cutout image appear on separate monitors. In both cases the window appears of the luminescent screen corresponding image area in the overview image dark.
Zwischen dem Leuchtschirm und dem lichtopti- :schcn Linsensystem kann mindestens ein Spiegel angeordnet sein. Mittels eines oder mehrerer Spiegel kann das Obersichtbild entweder aus dem Vakuum-At least one mirror can be arranged between the luminescent screen and the light-optical lens system being. Using one or more mirrors, the top view can either be taken from the vacuum
raum des Korpuskularstrahl rute;, hinausgeleüet und dort einer Fernsehkamera zugeführt oder innerhalb des Vakuumraumes derart umgelenkt werden, daß es der für das Übersicht- und das Ausschnittbild gemeinsamen Fernsehkamera zugeleitet werden kann. Für die Anordnung des lichtoptischen Linsensystems und der Spiegel kann es vorteilhaft sein, einen lichtdurchlässig ausgebildeten Leuchtschirm (Durchsichtleuchtscbirm) zu verwenden. Andererseits besteht durchaus die Möglichkeit, auch das auf einem AuihichÜeuchtschirm entworfene Bild mittels eines Spiegels und eines lichtoptischen Linsensysteras zu erfassen und weiterzuleiten.space of the corpuscular ray rod ;, leached out and fed to a television camera there or diverted within the vacuum space in such a way that that it is fed to the television camera common for the overview image and the detail image can. For the arrangement of the light-optical lens system and the mirror, it can be advantageous to use a translucent luminescent screen (see-through luminescent screen) to use. On the other hand, there is also the possibility of doing that on one AuihichÜ Leuchtschirm designed image by means of a mirror and a light-optical lens system capture and forward.
Werden in der erwähnten Weise ein oder mehrere Spiegel und ein lichtoptisches Linsensystem verwendet, so empfiehlt es sich, den Leuchtschirm schräg zur Achse des Korpuskularstrahies anzuordnen, weil sich hierdurch ein günstiger Strahlengang ergibtIf one or more mirrors and a light-optical lens system are used in the manner mentioned, so it is advisable to arrange the fluorescent screen at an angle to the axis of the corpuscular beam, because this results in a favorable beam path
Während bei den zuvor erwähnten Ausführungsformen der Erfindung das Ausschnitibiid auf einem Fernsehmonitor wiedergegeben wird, der sieh an einer beliebigen Stelle unmittelbar neben dem Korpuskularstrahlgerät oder entfernt hiervon befinden lann, kann in Weiterbildung der Erfindung in der Blickrichtung durch das in der Wand des Korpuskularsirahlgerätes angeordnete erste Beobachtungsfenster für den Leuchtschirm ein weiteres Beobachtungsfenster angeordnet sein, hinter dem sicli der liild.schirm des Monitors befindet. Damit werden das Übersicht- und das Ausschnittbild ebenfalls in engem raumlichem Zusammenhang dargeboten, jedoch unmittelbar an bzw. in dem Korpuskularstrahlgerät. Bei dieser Ausgestaltung der Erfindung empfiehlt es sich, den Leuchtschirm in Richtung des ersten Beobachtungsfenster! schwenkbar anzuordnen. Damit kann iowohl ein günstigerer Betrachtungswinkel als auch <lie Möglichkeit erreicht werden, durch völliges Wegklappen des Leuchtschirmes den Durchtritt des Korpusku!arstrahles zu einer fotografischen Registriereinrichtung freizugeben.While in the aforementioned embodiments According to the invention, the cut-out image is displayed on a television monitor that is watching any point immediately next to the corpuscular beam device or removed therefrom, can in a further development of the invention in the Direction of view through the one in the wall of the corpuscular beam device arranged first observation window for the luminescent screen a further observation window be arranged, behind which the screen of the monitor is located. So that will Overview and detail images are also presented in a close spatial context, but immediately on or in the corpuscular beam device. In this embodiment of the invention, it is advisable to the luminescent screen in the direction of the first observation window! to be arranged pivotable. So can both a more convenient viewing angle as well <The possibility can be achieved by completely folding away of the luminescent screen the passage of the body beam to a photographic registration device.
Sowohl bei der zuletzt genannten Ausführungslorm als auch den zuvor erwähnten Ausführungsformen der Erfindung kann ein zusätzlicher Leuchtichirm zur Abdeckung des Fensters des Lcuchtsdiir-Hies vorgesehen sein, auf dem das Übersichtbild ent-Iteht. Somit kann im Bedarfsfall das gesamte Bild »line den durch das Fenster bedingten Ausschnitt betrachtet werden.Both in the case of the last-mentioned embodiment standard as well as the aforementioned embodiments According to the invention, an additional luminous screen can be used to cover the window of the Lcuchtsdiir-Hies be provided on which the overview image is created. Thus, if necessary, the entire picture »Line viewed the section made by the window will.
Insbesondere in Verbindung mit der Ausfühiungslorm der Erfindung, bei der zwei Beobachtungsfenster vorgesehen sind, kann eine Anzeigevorrichtung lür den Vergrößerungsmaßstab benutzt werden.. l)icse Anzeigevorrichtung kann derart zwischen Jen. tweiten Beobachtungsfenster und dem Leuchtschirm •ngeordnet sein, daß sie sich stets im Blickkid des lictrachtcrs befindet.Especially in connection with the execution standard of the invention, in which two observation windows are provided, a display device Can be used for the enlargement scale. wide observation window and the luminescent screen so that they are always in view of the lictrachtcrs is located.
Die Erfindung wird im folgenden ar' Kami dir Fi
guren naher erläutert. DieThe invention is described in the following ar 'Kami di r Fi
guren explained in more detail. the
Fig. I zeigt eine Ausführiing^fnrm eine-. l'.'ekfronenmikroskops mit zwei Spiegeln und einer Fernsehkamera; Fig. I shows an embodiment. l '.' electron microscope with two mirrors and a television camera;
F i ». 2 zeigt eine rindere Ausführung:-.!!«1 -n. bei dor ein Spiegel und /wc! [einsehkameras vorgesehen sind: inF i ». 2 shows a bovine version: -. !! « 1 -n. at dor a mirror and / wc! [surveillance cameras are provided: in
F i g. 3 isl ein Ausfiihrungsh', ispie! ähn'ich tier 1·' i >j. 2 dargei-.ellt. wobei sich jedoch der Spiegel in StrahlriclituMg 'or dem Leuchtschirm bcimiiel:F i g. 3 is an embodiment, ispie! I am similar to tier 1 · 'i > j. 2 shown. however, the mirror is in beam position or the luminescent screen:
F i g. 4 /ciut im weiten.-1- Ausfülmmgsbeispiei mit zwei Beobachtungsfenstern und emer Fernsehkamera. F i g. 4 / ciut in the wide. - 1 - Ausfülmmgsbeispiei with two observation windows and a television camera.
Die Fig. 1 zeigt in schematischer Darstellung eir Elektronenmikroskop I im Schnitt. Dei Elektronenstrahl wird mittels einer Kathode 2 und eines Weh nelt-Zy linde rs 3 und einer nicht dargestellten Hochspannungsquelle erzeugt. Zur Sammlung des Strahle; dient eine magnetische Kondensorlinst 4. Ein Objekt 5 wird mittels einer magnetischen ObjektivLiise ίFig. 1 shows a schematic representation of eir Electron microscope I in section. The electron beam is by means of a cathode 2 and a Weh nelt-Zy Lind rs 3 and a high voltage source, not shown generated. To the collection of the beam; a magnetic condenser lens serves 4. An object 5 is captured using a magnetic lensLiise ί
ίο vergrößert und durch eine Projektivlinse 7 abgebildet. Der aus der Projektivlinse 7 austretende Strahl 8 entwirft auf einem Leuchtschirm 10 ein Bild, das im folgenden als Übersichtbild bezeichnet wird. Dei Leuchtschirm 10 besitzt ein Fenster 12, durch das ein Strahl 9 hindurchtreten kann. Dieser Strahl entspricht einem Ausschnittbild, dessen Sichtbarmachung zunächst erläutert wird. Der Strahl 9 ist aui eine Fernsehkamera 13 gerichtet, die mit einem Bildverstärker 14 und einer Faseroptik 15 ausgestatte!ίο enlarged and imaged through a projective lens 7. The beam 8 emerging from the projective lens 7 creates an image on a luminescent screen 10 which is in the hereinafter referred to as the overview image. The luminescent screen 10 has a window 12 through which a beam 9 can pass through. This ray corresponds to a detail image, its visualization will be explained first. The beam 9 is directed to a television camera 13 with an image intensifier 14 and a fiber optic 15!
i>t, dean Eintrittsfläche etwa zur Hälfte eiu.-.preciieriii der Projektionsflache des Strahles 9 mn cinin Leuchtschicht 16 vers^en ist. Die verbleibende fläche 20 der Faseroptik Ii steht für Jas Ubtrsichtbild zur Verfugung, das der Fernvhkümera 13 au:i> t, about half of the entry surface eiu .-. preciieriii the projection area of the beam 9 mn cinin Luminous layer 16 is vers ^ en. The remaining Surface 20 of the fiber optics Ii stands for Jas overhead image at the disposal of the Fernvhkümera 13:
folgende Weise zugeführt wird: Der Leuchtschirm H) ist schräg zur Achse des Kurpuskularstrahles 8 bzw. 9 angeordnet und lichtdurchlässig ausgebildet (Durchsichtleuchtschirm). In Richtung des Strahles 8 gesehen unterhalb des Leuchtschirrnes 10 befindetis fed in the following way: The fluorescent screen H) is oblique to the axis of the curpuscular ray 8 or 9 arranged and designed to be translucent (see-through fluorescent screen). In the direction of the beam 8 seen below the Leuchtschirrnes 10 is located
sich ein Spiegel 17, der das an der Unterseite des Leuchtschirmes 10 sichtbare Bild annähernd senkrecht zur Achse des Strahles 8 bzw. 9 reflektier;. Ir. weherer Spiegel 18 erfaßt das Bild und lenkt es wieder etwa in die Richtung des Strahles 9. Mittels einjsa mirror 17, which is at the bottom of the Luminescent screen 10 reflecting visible image approximately perpendicular to the axis of the beam 8 or 9 ;. Ir. Another mirror 18 captures the image and redirects it approximately in the direction of the ray 9. Means einjs
lichtoptischen Linsensystem^ 21 wird das Übersichtbild dann auf die Fläche 20 der Faseroptik 15 abgebildet. optical lens system ^ 21 is the overview image then mapped onto the surface 20 of the fiber optic 15.
An der Fernsehkamera 13 stehen somit Bildsignale für das Übersichtbild als auch für d :s Ausschnittbild iur Verfugung. Die Bildsignale werden über geeignete Verstärker, die nicht dargestellt sind, einem Fernsehmonitor 23 zugeführt, der nebeneinander das Übersichtbild 24 und das Ausschnittbüd 25 zeigt, das in dem Übersichtbild 24 als dunkle Fläche 26 er-The television camera 13 therefore has image signals for the overview image as well as for the detail image iur disposal. The image signals are via suitable Amplifiers, which are not shown, fed to a television monitor 23, the side by side the Overview image 24 and the section 25 shows that in the overview image 24 as a dark area 26
scheint.seems.
In dem Ausführungsbeispiel gemäß der F i g. 2 sind die oberhalb der Projektivlinse angeordneten Teile fortgelassen. Die mit Fig. 1 übereinstimmenden Teile sind mit den gleichen Bezugszeichen versehen.In the embodiment according to FIG. 2 are those arranged above the projective lens Parts left out. The parts that correspond to FIG. 1 are provided with the same reference numerals.
Wie in F i g. 1 erzeugt der Strahl 8 auf dem Leuchtschirm 10 ein Ubersichlbild, während der Strahl 9 durch das Fenster 12 hindurchtritt und ein Ausschnitibiid liefert. Für dieses Ausschnittbild steht in F1 g. 2 jedoch die gesamte Fintrittsfläche derAs in Fig. 1, the beam 8 generates an overview image on the luminescent screen 10, while the Beam 9 passes through window 12 and provides a cut-out image. For this detail image stands in F1 g. 2, however, the entire footprint of the
Fernsehkamera 13 zur Verfugung. De/nentspavhend
ist die Faseroptik 15 mit einer Leuchtschicht 16' \eriehen
in J der Monitor 23 /.eigt auf der *:an/en
Flächt"·, lcs Bildschirmer fin ■Viisschnitlliild 25 .
Im I. nteiNchieu /u Fig. I ist das hchtcplisi'·. I inTV camera 13 available. De / nentspavhend is the optical fiber 15 with a luminescent layer 16 '\ i take it in J the monitor 23 on the /.eigt *: on / s Flächt "·, lcs videos fin ■ Viisschnitlliild 25th
In the I. nteiNchieu / u Fig. I this is hchtcplisi '·. I in
fit. sensystem 21 in tier Wand 27 des LlektronemirKtoskops angeordnet. Das durch den Spiegel 17 rcfk-ktierte übersichthiU! wirtl des'salb aus dem Vakuumraum ties Elektronenmikroskops herausgclciiiM Für die weiten: Bildverarbeitung ist eine zusätzlichefit. sensor system 21 in the wall 27 of the electron microscope arranged. That rcfk-ktiert through the mirror 17 overviewhiU! Wirtl des'salb out of the vacuum room ties electron microscope outgclciiiM for the wide: image processing is an additional one
6;, Fernsehkamera 30 mil einem Biltlvei- iärker 31 und einer Faseroptik 32 vorgesehen. Die Bildsignale werden verstärkt und einem weiteren Momltir 33 /ugt führ', tier aiii dem gesamten Bild .Ip; m das (!her-6;, television camera 30 with an image intensifier 31 and a fiber optic 32 is provided. The image signals are amplified and lead to a further moment tier aiii the entire picture .Ip; m the (! her-
sichtbild 24' zeigt, in dem wiederum das Ausschniltbild als dunkle Fläche 26' erscheint.Visual image 24 'shows, in which in turn the detail image appears as a dark area 26 '.
In P*ig. 2 ist zusätzlich ein Beobachtungsfenster 28 gezeigt, das in der Wand 27 des Korpuskularstrahlgerätes angeordnet ist. Durch dieses Beobachtungsfenster kann der Leuchtschirm 10 unmittelbar betrachtet werden. Die gleiche Anordnung kann auch in dem Ausführtingsbeispicl gemäß der Fig. I und der noch zu erläuternden Fig. 3 vorgesehen sein.In P * ig. 2 is also an observation window 28, which is arranged in the wall 27 of the corpuscular beam device. Through this observation window the luminescent screen 10 can be viewed directly. The same arrangement can also in the exemplary embodiment according to FIG and FIG. 3, which is yet to be explained, may be provided.
In den Beispielen gemäß den Fig. 1 und2 sind Durchsichtleuchtschirme vorgesehen, wobei die Spiegel in Strahl richtung hinter dem Durchsichtleuchtschirm angeordnet sind. Es kann aber auch ein Aufsichtleuchtschirm 16' entsprechend F i g. 3 in Verbindung mit einem in Strahlrichtung vor dem Leuchtschirm angeordneten Spiegel 17' verwendet werden. Die Anordnung der Fernsehkameras 13 und 30 und der Monitoren 23 und 33 stimmt mit der F i g. 2 im wesentlichen überein.In the examples according to Figures 1 and 2 are Transparent fluorescent screens provided, the mirror in the beam direction behind the transparent fluorescent screen are arranged. But it can also be a supervisory fluorescent screen 16 'according to FIG. 3 in connection can be used with a mirror 17 'arranged in front of the fluorescent screen in the beam direction. The arrangement of the television cameras 13 and 30 and the monitors 23 and 33 corresponds to FIG. 2 in essential match.
In Fig.4 ist ebenfalls der Endteil eines Elektronenmikroskops teilweise im Schnitt dargestellt, wobei das Gehäuse mit 40 und das Projektiv mit 41 bezeichnet ist. Der Elektronenstrahl 42 ist auf einen Leuchtschirm 43 gerichtet, der um eine Achse 44 schwenkbar angeordnet ist. Der Leuchtschirm 43 kann durch ein Beobachtungsfenster 45, das in das Gehäuse 40 des Elektronenmikroskops 1 eingelassen ist, unmittelbar beobachtet werden. Auf der dem Beobachtungsfenster 45 gegenüberliegenden Seite des Gehäuses 40 bcflidet sich ein weiteres Beobachtungsici 'er 46, hi.iter dem ein Femsehmonitor 47 aufger ~i.t ist. Die Beobachtungsfenster 45 und 46 sind derart angeordnet, daii ein Beobachter, dessen Auge bei 50 angedeutet ist, sowohl den Leuchtschirm 43 als auch den Bildschirm des Monitors 47 übersehen kann.In FIG. 4, the end part of an electron microscope is also shown partially in section, the housing being denoted by 40 and the projection lens by 41. The electron beam 42 is directed onto a fluorescent screen 43 which is arranged pivotably about an axis 44. The luminescent screen 43 can be observed directly through an observation window 45 which is let into the housing 40 of the electron microscope 1. On the side of the housing 40 opposite the observation window 45, a further observation camera 46, after which a television monitor 47 is opened. t is. The observation windows 45 and 46 are arranged in such a way that an observer, whose eye is indicated at 50, can overlook both the luminescent screen 43 and the screen of the monitor 47.
Auf dem Bildschirm des Monitors 47 erscheint ein Detailbild, das mittels einer Fernsehkamera 51 gewonnen wird. Die Fernsehkamera 51 befindet sich in der Richtung des Elektronenstrahles 42 hinter einem Fenster 52, das in den Leutschirm 43 eingearbeitet ist. Ein Beobachter kann somit gleichzeitig das Übersichtbild auf dem Leuchtschirm 43 und eine Ausschnittvergrößerung auf dem Bildschirm des Monitors 47 wahrnehmen.A detailed image, obtained by means of a television camera 51, appears on the screen of the monitor 47 will. The television camera 51 is behind you in the direction of the electron beam 42 Window 52 which is incorporated into the Leutschirm 43. An observer can thus see the overview image at the same time on the luminescent screen 43 and an enlarged section on the screen of the monitor 47 perceive.
Unterhalb des Leuchtschirmes 43 kann in bekannter Weise eine fotografische Registriereinrichtung vorgesehen sein, die aus einem Magazin und einer Ablage für fotografische Platten sowie einer Transporteinrichtung für die Platten besteht. Zur Vereinfachung ist diese Einrichtung nicht näher dargestellt. Below the luminescent screen 43 can be a photographic registration device in a known manner be provided, consisting of a magazine and a tray for photographic plates and a transport device for the plates. For the sake of simplicity, this device is not shown in more detail.
In Fi g. 4 ist ferner gezeigt, daß das Fenster 52 des Leuchtschirmes 43 durch einen zusätzlichen Leuchtschirm 54 abgedeckt werden kann. Damit wird erreicht, daß bei Bedarf auch das gesamte Bild ohne den durch das Fenster bedingten Ausschnitt betrachtet werden kann. Wenn auch der zusätzliche Leuchtschirm 54 in F i g. 4 unterhalb des Leuchtschirmes 43In Fi g. 4 it is also shown that the window 52 of the Luminescent screen 43 can be covered by an additional luminescent screen 54. This achieves that, if necessary, the entire picture can be viewed without the section caused by the window can be. Even if the additional luminescent screen 54 in FIG. 4 below the fluorescent screen 43
te angeordnet ist, so kann dennoch dieselbe Wirkung erzielt werden, wenn der zusätzliche Leuchtschirm 54 oberhalb des Fensters 52 angeordnet ist oder unmittelbar in den Fensterausschnitt eingefügt ist. Für die genannten Anordnungen können mechanischete is arranged, it can still have the same effect can be achieved when the additional luminescent screen 54 is arranged above the window 52 or directly is pasted into the window pane. Mechanical
ao Vorrichtungen vorgesehen sein, die es gestatten, den zusätzlichen Leuchtschirm 54 im Bedarfsfall in den Bereich des Fensters 52 zu transportieren und wieder zu entfernen. Es sei erwähnt, daß der zusätzliche Leuchtschirm auch bei den zuvor erläuterten Aus-ao devices may be provided that allow the to transport additional luminescent screen 54 in the area of the window 52 and again if necessary to remove. It should be mentioned that the additional luminescent screen can also be used in the previously explained
»5 führungsbeispielen anwendbar ist. »5 examples can be used.
Eine weitere Besonderheit des Beispiels gemäß der Fig. \ ist eine Anzeigevorrichtung 53 für den Vergrößerungsmaßstab. Die Anzeigevorrichtung ist zwischen dem Beobachtungsfenster 46 tür den MonitorAnother special feature of the example according to FIG. 1 is a display device 53 for the magnification. The display device is between the observation window 46 for the monitor
47 und dem Leuchtschirm 43 angeordnet und befindet sich damit in der Blickrichtung, die durch das Beobachtungsfenster 45 gegeben ist. Es können beispielsweise Leuchtziffern verwendet werden, die den Vergrößerungsmaßstab als Zahlenwert angeben. Mit-47 and the luminescent screen 43 and is thus in the viewing direction indicated by the Observation window 45 is given. For example Luminescent numbers are used, which indicate the magnification as a numerical value. With-
tels der Anzeigevorrichtung kann sowohl der Maßstab des Übersicht- als auch des Ausschnittbildes oder für beide Bilder angezeigt werden. Die Anzeigevorrichtung kann auch außerhalb des Vakuumraumes des Korpuskularstrahlgerätes beispielsweise soBy means of the display device, both the scale of the overview and the detail image can be or for both images. The display device can also be outside the vacuum space of the corpuscular beam device, for example
angeordnet sein, daß sie durch das Beobachtungsfenster 46 hindurch erkennbar ist.be arranged so that it can be seen through the observation window 46.
Zur vergrößerten Betrachtung des Leuchtschirmes 43 ist in F i g. 4 noch eine Lupe 55 angedeutet. Diese Lupe kann fest oder wegnehmbar oder derart ange-For an enlarged view of the luminescent screen 43 is shown in FIG. 4 a magnifying glass 55 is indicated. This Magnifying glass can be fixed or removable or in such a way
bracht sein, daß sie sich nach Bedarf auf eine beliebige Stelle des Leuchtschirmes richten läßt.be useful that it can be aimed at any point on the fluorescent screen as required.
Hierzu 4 Blatt Zeichnungen For this purpose 4 sheets of drawings
43824382
Claims (1)
Priority Applications (5)
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|---|---|---|---|
| DE2204654A DE2204654C3 (en) | 1972-01-28 | 1972-01-28 | Corpuscular beam device with a fluorescent screen and a television camera |
| NL7217847A NL7217847A (en) | 1972-01-28 | 1972-12-29 | |
| US00324798A US3835246A (en) | 1972-01-28 | 1973-01-18 | Television display system for electromagnetic beam apparatus |
| GB310673A GB1425181A (en) | 1972-01-28 | 1973-01-22 | Corpuscular beam apparatus |
| JP48011823A JPS49107170A (en) | 1972-01-28 | 1973-01-29 |
Applications Claiming Priority (1)
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| E77 | Valid patent as to the heymanns-index 1977 | ||
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