DE2165680A1 - Piezoelektrischer koerper und verfahren zur polarisation - Google Patents

Piezoelektrischer koerper und verfahren zur polarisation

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DE2165680A1
DE2165680A1 DE19712165680 DE2165680A DE2165680A1 DE 2165680 A1 DE2165680 A1 DE 2165680A1 DE 19712165680 DE19712165680 DE 19712165680 DE 2165680 A DE2165680 A DE 2165680A DE 2165680 A1 DE2165680 A1 DE 2165680A1
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polarization
electrodes
tubular body
electrode
tubular
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DE19712165680
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Max Dr Rer Nat Guntersdorfer
Hellmut Dr Rer Nat Thomann
Richard Dipl Phys Veith
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Siemens AG
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Siemens AG
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    • HELECTRICITY
    • H03ELECTRONIC CIRCUITRY
    • H03HIMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
    • H03H9/00Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
    • H03H9/15Constructional features of resonators consisting of piezoelectric or electrostrictive material
    • H03H9/17Constructional features of resonators consisting of piezoelectric or electrostrictive material having a single resonator
    • H03H9/176Constructional features of resonators consisting of piezoelectric or electrostrictive material having a single resonator consisting of ceramic material
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01HMEASUREMENT OF MECHANICAL VIBRATIONS OR ULTRASONIC, SONIC OR INFRASONIC WAVES
    • G01H1/00Measuring characteristics of vibrations in solids by using direct conduction to the detector
    • G01H1/10Measuring characteristics of vibrations in solids by using direct conduction to the detector of torsional vibrations
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01GCAPACITORS; CAPACITORS, RECTIFIERS, DETECTORS, SWITCHING DEVICES, LIGHT-SENSITIVE OR TEMPERATURE-SENSITIVE DEVICES OF THE ELECTROLYTIC TYPE
    • H01G7/00Capacitors in which the capacitance is varied by non-mechanical means; Processes of their manufacture
    • H01G7/02Electrets, i.e. having a permanently-polarised dielectric
    • H01G7/025Electrets, i.e. having a permanently-polarised dielectric having an inorganic dielectric

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Description

  • Piezoelektrischer Körner und Verfahren zur Polarisation Die Erfindung bezieht sich auf einen rohrförmigen Körper aus Piezokeramik mit permanenter .tusrichtung der Polarisation und mit ifttteln zur Anregung einer Scherschwingung in dem Körper, sowie auf ein Verfahren zur Polarisation eines derartigr.
  • Körpers.
  • Rohrförmige Trfö rper aus Piezokeramik als Schwinger, zu ve-rwenden ist bekannt. Zur Erzeugung mechanischer Schwingungen in einem derartigen Körper sind entsprechende Mittel vorgesehen, mit denen ein elektrisches Signal mechanische Schwingungen umgesetzt werden kann. Dies können an dem Körper angebrachte elektromechanische Wandler sein.
  • Es ist eine Aufgabe der Erfindung einen rohrförmigen Körper aus Piezokeramik anzugeben, der in einfacher Weise zu Scherschwingungen angeregt werden kann, sowie ein Verfahren aufzzufinden, nach dem dieser Körper dazu in geeigneter Qise polarisiert werden kann. Diese Aufgabe wird durch einen wie oben bezeichneten rohrförmigen Körper gelöst, der erfindungsgemäß dadurch gekennzeichnet ist, daß er wenigstens zu einem Anteil seiner Länge eine in Umfangs richtung gerichtete Polarisation aufweist. Vorzugsweise ist der Körper in seiner gesamten Länge in Umfangsrichtung polarisiert. GemiR einer Weiterbildung der Erfindung sind an dem Körper ein oder mehrere Elektroden mit Gegenelektrode (-n) zur Ein- und7oder Auskopplung eIner mechanischen Welle vorgesehen.
  • Die in Umfangsrichtung ausgerichtete Polarisation des Körpers wird nach einem der Erfindung gemaßeia Verfahren ausgeführt, das dadurch gekennzeichnet ist, daß die Oberfläche des Körpers in Umfangsrichtung in zwei ungleichgroße Anteile aufgeteilt wird, wobei die in Richtung des Umfangs gemessene Breite eines ersteren Anteils kleiner als die entsprechende Breite des übrigen, zweiten Umfangsanteils ist. An den beiden Rändern der Oberfläche dieses ersteren Anteils, die-Mantellinien des Körpers entsprechen, wird eine in Umfangsrichtung gaichtete elektrische Spannring zur Polarisation des Materials des Körpers angelegt. Die Größe dieser Spannung wird so bemessen, daß sie in dem Material des ersten Anteils des Körpers eine permanente Ausrichtung bzw. Ordnung der Polarisation erzeugt und in dem Material des zweiten Anteils des Körpers im wesentlichen keine Veränderung des dortigen Polarisationszustandes bewirkt. Diese Maßnahme der Polarisation des Körpers kann schrittweise nacheinander für andere Irufteilllr:en der Oberfläche des Körpers durchgeführt werden, bis der Körper in Umfangsrichtung im wesentlichen vollständig polarisiert ist.
  • Durch das Anlegen einer elektrischen Polarisationsapannung an den Körper erfolgt in dem Material aufgrund der darin auftretenden elektrischen Feldstärke eine Ausrichtung bzw.
  • Ordnung elektrischer Einzelmomente, die eine resultierende Polarisation ergibt und die bei piezoelektrischem Material unter den belannten Vor2ussetzungen, z.B. Temperatur unter halb des Curie-Punktes, permanent ist.
  • Gemäß einer \eiterbildung dieses Verfahrens wird die elektrische Polarisationsspannung sowohl auf der Innenals auch auf der Außenseite des rohrförmigen Körpers an diesen angelegt.
  • Vorteilhafterweise wird die Polarisation unter kontinuierlicher Umdrehung des Körpers durchgeführt.
  • Weitere Einzelheiten der Erfindung gehen aus der Beschrei.
  • bung und den Figuren eines bevorzugten Ausführungsbeispiels der Erfindung und seiner Varianten hervor.
  • Figur 1 zeigt einen erfindungsgemäßen rohrförmigen Körper mit Elektroden zur piezoelektrischen Anregung.
  • Figur 3 zeigt einen Querschnitt eines Kbrpers nach Figur 1, und zwar mit Mitteln zur Polarisation.
  • Figur 2 zeigt eine Figur 1 ähnliche Ausführungsform mit einer ElektrOdenanordnunF , die speIell ftir die Verwendung als Verzögerungsleitung geeignet ist.
  • Mit 1 ist ein Schrrschwinger bezeichnet, der im wesentlichen aus dem-rohrförmigen Körper 2 und auf dessen Oberflächen angebrachten Elektroden besteht. Erfindungsgemäß ist der Körper 2 in Umfangsrichtung durchgehend elektrisch permanent polarisiert, wie dies durch die Pfeile 4 auf der Stirnfläche angedeutet ist: Es sei erwähnt, daß die Polarisation auch diesen Pfeilen 4 entgegengesetzt gerichtet sein kann. Vorzugsweise erstreckt sich die Polarisation in der angegebenen Richtung 4 über die gesamte Länge des Körpers 2. In einzelnen Anwendungsfällen kann es jedoch von Vorteil sein, wenn der ausgerichtete, permanent polarisierte Zustand im wesentlichen nur im Bereich der im folgenden noch näher zu beschreibenden Elektroden vorliegt. rit 6 und 8 sind auf der Oberfläche der Außenseite bzw. der Innenseite des rohrförmigen Körpers 2 angebrachte Elektroden bezeichnet. 6 und 8 bilden ein zusammengehöriges Elektrodenpaer,bestehend aus einer Elektrode 6 und der ihr zugehörigen Gegenelektrode. Die Elektroden sind vorzugsweise auf das Material des Körpers 2 aufgetragen, z.E. durch eine Versilberung mit einer Silbertinktur. Mit 16 und 18 sind elektrische Zuleitungen bezeichnet. Diese Zuleitungen sind vorzugsweise an Stellen eines Schwingungaknotens bzw. einer Schwingungsknotenlinie an der jeweiligen Elektrode befestigt.
  • Figur diese Anschlußleitungen werden dünne Drähte bevorzugt, die daE Schwingungsverhalten des Körpers 2-nicht störend beeinflussen.
  • Mit 10 ist eine weitere, der Elektrode 6 entsprechende, auf dem Körper 2 angebrachte Elektrode bezeichnet. Als Gegenelektrode zur Elektrode 10 ist auf der Innenseite eine der Elektrode 10 gegenüberliegende Elektrode vorgesehen. Soweit eine Gegenelektrode verwendet wird, die in ihrer Anordnung der Elektrode 8 entspricht, ist diese in der Darstellung der Figur 1 nicht sichtbar. Beim Beispiel der Figur 1 ist die Elektrode 8 als eine durchgehende Belegung der Innenseite des Körpers 2 ausgebildet und ist damit nicht nur Gegeneiektrode zur Elektrode 6, sondern auch Gegenelektrode zur Elektrode 10.
  • Anstelle der Innenseite könnte auch die Außenseite des Körpers diese durchgehende Belegung aufweisen und getrennte Elektroden könnten auf der Innenseite des Körpers vorgesehen sein. Mit 110 ist eine 16 und 1&'entsprechende Zuleitung für die Elektrode 10 bezeichnet.
  • Eine Scherschwingung kann bei dem speziellen Ausführungsbeispiel nach Figur 1 in verschiedener Weise, je nach dem geunschten Anwendungszweck, bewirkt werden. Beim Anlegen einer elektrischen Wechsel- oder Impulsspannung an die Elektrodenpaare6 und 8 bzw. 10 und 8 wird im Bereich der Elektroden aufgrund des piezoelektrischen Effektes eine mechanische Welle im Körper erzeugt. Beim Ausführungsbeispiel nach Figur 1 werden im wesentlichen Volumen-Scherwellen erzeugt.
  • Eine bevorzugte Anwendung eines Scherschwingers der beschriebenen Art ist diejenige als Verzögerungsleitung, da Scherwellen in rohrförmigen Körpern relativ geringe Dispersion haben. Für diesen Anendungszeck wird das zu verzögernde Eingangssignal an eines der Elektrodenpaare 6 und 8 oder 10 und 8 angelegt. Die erzeugte Welle pflanzt sich in dem Körper 2 in Richtung auf das andere Ende zu fort. Sobald die der erzeugten mechanischen Welle entsprechendeEnregung den Bereich. des anderen Elektrodenpaares- durchläuft, wird aufgrund des piezoelektrischen Effektes zwischen der- Elektrode 10 und der jeweiligen Gegenelektrode eine der Erregung entsprechende elektrische Spannung erzeugt. Der Laufzeit der Welle entsprechend tritt diese Spa'nnung- zeitlich verzögert auf.
  • In manchen Anwendungsfällen wird die Elektrode 10 weggelas.sen bzw. elektrisch nicht angeschlossen und d'as. Ausgangssignal des als Verzögerungsleitung wirkenden Körpers 2-wieder an den Elektroden 6 uni 8 abgenommen. Hiersu ist es erforderlich, daß eine Reflexion der in das Material des rohrförmigen Körpers piezoelektrisch eingeprägten Welle am gegenüberliegenden Ende des Körpers 2 erfolgt und daß; ein eventuelles zeitliches Zusammentreffen des reflektierten, Signals mit einem neu einzugebenden Signal berücksichtigt ist--.
  • In den Fällen, in denen keine Reflexion an den Enden der Verzögerungsleitung gewüngscht ist, werden diese En -den in einer, in der Figur nicht dargestellten", jedoch grundsätzlich bekannten Art und Weise mit Mitteln zur Dämpfung von Reflexionen verse-hen. Die Elektroden 6 und 10 befinden sich in diesen Fallen nicht am äußersten Ende des Körpers, sondern sind etwas weiter nach innen verschoben auf dem Körper 2: angebracht und die Enden selbst sind mit einem Absorptionsmittel für mechanische Wellen-, beisp-ielswe-ise mit einem Kunstharzklebestoff, ausreichend dick beschichtet.
  • In einzelnen Anwendungsfällen kann es von Vorteil sein auch zwischen den den Eingang und den Ausgang der Verzögerungsleitung bildenden Elektroden eine oder-mehrere weitere Elektroden mit Gegenelektrode auf dem Körper 2 anzubringen, um an diesen Stellen ein zu verwertendes elektrisches Signal der Verzögerungsleitung entnehmen zu können.
  • Beim Beispiel der Figur 1 ist dafür die Elektrode 14 mit der Elektrode 8 als Gegenelektrode vorgesehen.
  • Die eingetragenen Doppélpfeile 5 weisen auf die Richtung des elektrischen Feldes hin, das bei Anlegen einer elektrischen-Signal-Wechselspannung zwischen den Elektroden 6 und 8 im.
  • Material des Körpers 2 auftritt. Wie ersichtlich, ist die Richtung des elektrischen Feldes 5 im wesentlichen orthogonal zur Polarisationsrichtung 4,- was zur Erzeugung ein :uechanischen Scherwelle in-dem Körper 2 führt.. Diese Scherwelle ist.
  • vorzugsweise eine Torsions- oder Drillungsüelle. Lediglich ergänzendsei darauf hingels-lesen, daß zusätzlich zur Grundschwingung in dem Körper 2 auch Oberwellenschwinguiigen a--uftreten können. Aufgrund der relativ geringen Dispersion von Scherwellen ist jedoch deren abweichende Au sbreltungsgeschwindigkeit inden Körper 2 für die meisten Anwendungsfälle nicht störend.
  • Figur 2 zeigt einen erfindungsgemäß polarisierten rohrförmigen Körper 2, auf dessen Oberfläche 2 Elektrodenpaare angeordnet sind Jedes der beiden Elektrodenpaare besteht aus zwei nahe benachbarten ringförmigen Elektroden 101, 102 bzw. 103, 104. Eine zwischen die Elektroden eines der Elektrodenpaare angelegte elektrische Signalwechselspannung erzeugt in dem Körper 2 eyine sich in Längsrichtung fortpflanzende Oberflächen-Scherwelle.
  • An dem anderen Elektrodenpaar kann mit einer der Laufzeit entsprechenden Zeitverzögerung ein entsprechendes Signal abgenommen werden.
  • Insbesondere aus der Figur 3 sind Einzelheiten für das der Erfindung gemäße Polarisationsverfahren des rohrförmigen Körpers 2 zu entnehmen. Wie bereits oben erwähnt, wird der Körper 2 in Richtung des Umfanges in zwei ungleichbreite Antile seiner Oberfläche aufgeteilt. Diese Aufteilung verläuft dabei im wesentlichen entlang Mantellinien der Oberfläche des Körpers. Das Aufteilungsverhältnis ist dabei so gewShlt, daß durch Anlegen der Polarisationsspannung- an dem ersteren, kleineren Anteil des Körpers 2 in dem dort vorhandenen Material des Körpers eine ausgerichtete permanente elektrische Polarisation erreicht wird. In dem dagegen größeren, zweiten Anteil, erfolgt keine Veränderung des dortigen Poiarisationszustandes.
  • Zum Anlegen der Polarisationsspannung werden an dem Körper 2 vorübergehend, und zwar noch bevor die Elektroden 6, 8,--'rn10, 14 usw. aufgebracht sind, Elektroden 22 und 26 vorgesehen.
  • Diese Elektroden bilden ein Paar Polarisationselektroden.
  • Vorzugsweise wird auch gegenüberliegend auf der Innenseite -des Körpers ein Paar Polarisatiönselektroden 24 und 28 vorge-sehen. Bei innen und außen angebrachten Elektroden werden jeweils die einander gegenüberliegenden Elektroden, beim Beispiel der Figur 2 die Elektroden 22 und 24 sowie 26 und 28 paarweise miteinander kurzgeschlossen. Die zwischen den Elektroden 22 und 26 anzulegende elektrische Põiarisationsspannung polarisiert den zwischen diesen Elektroden liegenden Anteil des rohrförmigen Körpers in der durch die Pfeile 4 angedeuteten Art. Die Polarisationsrichtung, in Pfeilrichtung oder , in Gegenrichtung, hängt lediglich von der gegenseitigen Polarität der zwischen 22 und 26 angelegten elektrischen Spannung ab. Die Höhe dieser angelegten Spannung ist so gewählt, daß das Material in diesem Anteil- des Körpers eine resultierende Ausrichtung der permanenten Polarisation erhält. Sie ist aber auf einen solchen Wert beschränkt, der einen vorhandenen, insbesondere in dem übrigen sweitenUmSangsanteil des Körpers 2 bereits erreichten ausgerichteten Polarisationszustand nicht wesentlich verändert.
  • Im vorliegenden Beispiel umfaßt der erste Anteil etwa ein Viertel des gesamten Umfanges des Körpers 2. Erfindungsgemäß wird das zur Polarisierung dieses Umfangsantells beschriebene Verfahren aufeinanderfolgend für aen gesamten Umfang des Körpers 2 durchgeführt. Hierzu nicht mehrbenötigte Polarisationselektroaen werden vorsugsweise wieder entfernt. Es, kann aber im allgemeinen auch ausreichend seinf diese Elektroden lediglich elektrisch offen zu lassen und erst nach Abschluß der Polarisation und vor dem Aufbringen der Elektroden 6, 10 und 14 alle für den Polarisationsprozeß verwendeten Elektroden zu entfernen.
  • Abhängig von dem zu polarisierenden Material kann es vorteilhaft sein, während des Polarisationsvorganges eine Temperaturerhöhung des Materials vorzusehen. Bei dieser Temperaturerhöhung ist selbstverständlich darauf zu achten, daß nicht bereits erfindungsge-mäß ausgerichtet polarisierte Anteile des Körpers, insbesondere durch zu starke Annäherung an die Curietemperatur, wieder depolarisiert werden. Insbesondere ist es von Vorteil, wenn die abschnittsweise auf einanderfolgende Polarisation des Körpers durch eine nur abschnittsweise Erwärmung desselben begleitet wird, Z.B.
  • durch Anblasen des Körpers 2 mit einer durch die büse 27 gefUhrtenheißm Luft an dem zu polarisierenden Bereich kann eine weitgehend partielle Erwärmung des Körpers 2 vorgenommen werden. Durch Wärmeeinwirkung der vorbei strömenden Luft und durch Wärmeleitung des Materials selbst erfolgt zwar eine Erwärmung auch des übrigen Anteils des Körpers 2, Jedoch bleibt dessen Temperatur gegenüber dem zu polarisierenden, unmittelbar angeblasenen Anteil zurück. Anstelle des Anblasens mit Luft oder mit einem anderen Gas kann auch eine Wärmezufuhr durch Wärme strahlung vorgesehen sein. Es können auch Wärmestrahlung und heiße Luft zusammen verwendet werden. Be im Augenblick nicht zu polarisierende Bereich kann auch gekühlt werden, z.B. durch Anblasen mittels kalter Luft. In axialer Richtung des Körpers 2 gesehen wird das Anlegen der elektrischen Spannung und, soweit vorgesehen, die Erwärmung des Materials. so weist ausgedehnt, ie eine Polarisation in dem Material erwünscht ist. Wie bereits oben erwähnt, kann nämlich auch vorgesehen sein, daß der Körper nicht auf seiner gesamten Länge polarisiert ist. Fiir die piezoelektrische Einkopplung und Auskopplung des Signals in bzw. aus dem Körper genügt es nämlich, daß das Material wenigstens im Bereich der ringförmigen Elektroden polarisiert ist.
  • Für die Polarisationselektroden können insbesondere. auch Schleifkontakte an den Körper angelegt sein. In diesem Falle ist es möglich, den Körper durch kontinuierliches Rotieren um seine Achse durchgehend'zu polarisieren. Hierbei ist allerdings darauf zu achten, daß ein sehr guter elektrischer Kontakt zur Oberfläche erreicht wird, da das für den Körper 2 vorgesehene Material in der Regel relativ hohe Dielektrizitätskonstante hat. Aus diesem Grunde empfiehlt es sich, die Schleifkontakte mit Quecksilber zu benetzen. Das Quecksilber benetzt die Oberfläche des rohrförmigen Körpers an den gencinschten Kontaktstellen ausreichend gut.
  • Als' Material für einen der Erfindung gemäßen Scherschwinger kommt jegliches ferroelektrisches Material mit permanent ausrichtbarer Polarisation in Betracht. Insbesondere eignet sich Bleizirkonat-Titanatkeramik. Das erfindungsemäße Verfahren zur Polarisation ist besonders dann einfach auszuführen, wenn das verwendete ferroelektrische Material eine annähernd rechteckige Hystereseschleife aufweist.
  • 13 Patentansprüche 3 Figuren

Claims (13)

  1. Patentansprüche ?.1 Rohrförmiger Körper aus Plezokeramik mit permanenter Ausrichtung der Polarisation und mit Mitteln zur Anregung einer Scherschwingung in dem Körper, dadurch g e k e n n -z e i c h n e -t , daß der Körper (2) wenigstens zu einem Anteil seiner Länge eine in Umfangsrichtungrichtete Polarisation (4) aufweist.
  2. 2. Rohrförmiger Körper nach Anssrucn 1, dadurch g e k e n n -z e i c h n e t , daß auf der Oberlce des Körpers zwei oder mehrere Elektroden zur Einkopplung und/oder Auskopplung einer mechanischen Scherwelle vorgesehen sind.
  3. 3. Rohrförmiger Körper nach Anspruch 1 oder 2, dadurch g e -k e n n z e i c-h n e t , daß wenigstens zwei ringförmige Elektroden,die ein Elèktrodenpaar bilden, vorgesehen sind und die auf einer Oberfläche des Körpers nebeneinander angeordnet sind.
  4. 4. Rohrförmiger Körper nach Anspruch 1 oder 2, dadurch g e -k e n n z e i c h n e t , daß zwei ringförmige, sich auf den Oberflächen der Innenseite und der Außenseite des rohrförmigen Körpers gegenüberstehende Elektroden (6,8), die eine Elektrodenanordnung bilden, vorgesehen sind.
  5. 5. Rohrförmiger Körper nach Anspruch 4, dadurch g e k e n n -z e i c h n e t , daß die Elektrode (8) auf der Innenseite oder die Elektrode auf der Außenseite die gesamte Innen-bzw. Außenseite des rohrförmigen Körpers überdeckt.
  6. 6. Rohrförmiger Körper nach einem der AnsprticS 1 bis 5, dadurch g e k e n n z e i c h n e t', daß auf dem Körper wenigstens eine weitere Elektrodenanordnung (14) mit zwei oder mehreren Elektroden zum Abgriff einer elektrischen Spannung , die dr h eine den Körper durchlaufende mechanische Welle pie-soelektrisch erzeugt ist, vorgesehen ist.
  7. 7. Verfahren zur Polarisation eines rohrförmigen Körpers eines nach einem der Ansprüche 1 bis 6, dadurch ''g g e k e n n -z e i c h n e t , daß die Oberfläche des Körpers bzgl. des Umfangs in zwei ungleich große Anteile aufgeteilt wird (Fig. 3), wobei die in Richtung des Umfanges gemessene Breite eines ersteren Anteils kleiner als die entsprechende Breite des übrigen, zweiten Umfangsanteiles ist, daß zwischen den,Mante1iinien des Körpers entsprechenden, Rändern dieses ersten Anteils eine in einer Umfangsrichtung gerichtete elektrische Spannung zur Polarisationsausrichtung des Materials des Körpers angelegt wird; wobei die Größe dieser Spannungso bemessen wird, daß sie in dem Material des ersten Anteils des Eörpers eine permanente ausgerichtete Polarisation erzeugt und in dem Material des zweiten Anteils des Körpers im wesentlichen keine Veränderung des dortigen Polarisationszustandes bewirkt, und daß diese Maßnahme schrittweise nacheinander- für andere Aufteilungen der Oberfläche des Körpers wiederholt wird, bis der Körper in Umfangsrichtung im wesentlichen vollständig polarisiert ist.
  8. 8. Verfahren nach Anspruch 7, dadurch g e k e n n z e i c h n e t daß die zur Polarisation vorgesehene elektrische Spannung an der Innen- und der Außenseite des Körpers angelegt wird.
  9. 9. Verfahren nach Anspruch 7 oder 8, dadurch g e k e n n -e e i c h n e t , daß der, Körper während der Polarisation in einem erwärmten Zustand gehalten wird.
  10. 10. Verfahren nach Anspruch 9, dadurch g e k e n n z e i c h --n e t , daß für den im Augenblick zu polarisierenden Bereich des Körpers eine erhöhte Erwärmung des Materials vorgesehen wird.
  11. 11. Verfahren nach-einem der Ansprüche 7 bis 10, dadurch g e -k e n n s e i c h n e t , daß die elektrische Polarisationsspannung unter Verwendung von Schleifkontakten an den Körper angelegt wird.
  12. 12. Verfahren nach Anspruch 11, dadurch g e k e n n z e i c h -n e t , daß für die Schleifkontakte Quecksilber verwendet wird.
  13. 13. Verfahren nach Anspruch 11 oder 12, dadurch g e k e n n -z e i c h ne t , daß die Polarisation des Körpers unter im wesentlichen stetiger Drehung des Körpers vorgenommen wird.
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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
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FR2327677A1 (fr) * 1972-12-27 1977-05-06 Ngk Spark Plug Co Transducteur de torsion
EP0427177A2 (de) * 1989-11-07 1991-05-15 Murata Manufacturing Co., Ltd. Vibrator

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