DE2164898B2 - Interferometer fuer zweidimensionale laengenmessungen - Google Patents
Interferometer fuer zweidimensionale laengenmessungenInfo
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Description
Die Erfindung bezieht sich auf ein Interferometer für zweidimensionale Längenmessungen, unter Verwendung
des Prinzips der Lichtquellen-Interferenz 5ί bei der Messung ode. Ausrichtung zweidimensionaler
Koordinaten bzw. Abmessungen.
In jüngster Zeit sind kleine und kompakte Interferometer, weiche einen Laser als Lichtquelle verwenden,
verfügbar. Für nahezu alle von diesen wird die ideale Leistungsfähigkeit bei der eindimensionalen
Längenmessung linearer Abstände beansprucht. Es ist selbstverständlich möglich, diese Interferometer
bei der Messung zweidimensionaler Koordinaten bzw. Abmessungen zu verwenden. Beispielsweise
kann jeweils eines eines Paares dieser geläufigen Interferometer jeweils einer Achse eines Koordinatensystems
!'nachfolgend als X-Achse oder Y-Achse bezeichnet) zugeordnet werden, so daß es möglich
ist, Längenmessungen in jeder der beiden Koordinatenrichtungen unabhängig von der in der anderen
Richtung vorzunehmen. Ein derartiges Vorgehen wäre jedoch sowohl teuer als auch unangemessen bei
einer genauen Ablesung der Einstellung zweidimensionaler Koordinaten, und zwar aus den folgenden
Gründen:
Der erste Grund ist darin zu sehen, daß ein in Koordinatenrichtung verschiebender Mechanismus,
welcher ein Meßobjekt aufnimmt, im allgemeinen nicht unabhängig ist, denn wenn ein in einer Koordinatenri Jitung verschieblicher Support und damit auch
ein damit verbundenes Meßobjekt sich beispielsweise in Richtung der AT-Achse bewegt, so verschiebt sich
auch die optische Achse des der Y-Achse zugeordneten Interferometers in Richtung der X-Achse, so
daß auch dann, wenn ein exakter Wert zumindest im Hinblick auf eine der beiden Korrdinaten-Achsen
erhalten wird, es unmöglich ist, einen korrekten Wert hinsichtlich der anderen Koordinatenachse zu bestimmen,
sofern kein Kunstgriff in der optischen Anordnung angewendet wird oder die Meßwerte rechnerisch
berichtigt werden.
Der zweite Grund ist darin zu sehen, daß der Abbe-Fehler infolge der Zickzack-Schiebung des Koordinaten-Verschiebungsmechanismus
nicht kompensiert werden kann, selbst wenn eine entsprechende optische
Anordnung vorgesehen wäre, Λ. h. mit anderen Worten, daß es unmöglich ist, durch einfache Anwendung
der Interferometer für eindimensionales Arbeiten wie sie augenblicklich verfügbar sind, den Abbe-Fehler
zu kompensieren oder zu erreichen, dal die Koordinaten (X, Y), die zu messen sind, mit de
optischen Achse der entsprechend zugeordneten Interferometer zusammenfallen.
Der dritte Grund ist darin zu sehen, daß zwei Lichtquellen, beispielsweise Laser-Anordnungen, erforderlich
sind, um jede· Achse ein Interferometer für Längenmessung zuordnen zu können, so daß eine
solche interferometisierte Anordnung zur Messung zweidimensionaler Koordinaten bzw. Abmessungen
unwirtschaftlich ist. Weiterhin ist auch der zusätzliche Einsatz eines optischen Systems oder eines
Prozeßrechners, wie sie in Verbindung mit dem ersten Grund erwähnt wurden, nicht nur unwirtschaftlich,
sondern auch nachteilig aus dem Gesichtspunkt der leichten Bedienbarkeit des Meßsystems.
Aufgabe der Erfindung ist es daher, ein Interferometer für zweidimensionale Längenmessung zu
schaffen, welches frei von den oben erläuterten
Mangeln ist, wobei für beide Koordinaten nur eine einzige Lichtquelle verwendet zu wenden braucht und
fiieiclizeitig cenaue Meßwerte der zweidimensionalen
Koordinaten hinsichtlich beider Achsen mittels einer optischen Anordnung erhalten werden, die geeignet
ist, die zu messenden Koordinaten bzw. Koordinatenwerte in Koinzidenz mit der optischen Achse des
Interferometers zu halten, so daß kein Abbe-Fehler in die Messung eingeht.
Diese Aufgabe wird erfiridungsgemäß dadurch gelöst, daß an einem in Richtung der Y-Achse verschieblichen
Y-Träger ein erster Lichtreflektor befestigt ist, der den Lichtstrahl eines ersten Interferometers
zur Längenmessung in Richtung der Y-Achse reflektiert, daß an einem in Richtung der
X-Achse entlang der Oberfläche des Y-Trägers verschieblichen,
das Meßobjekt tragenden Support ein
zweiter Lichtreflektor befestigt ist, der den Lichtstrahl
eines zweiten Interferometers zur Längenmessung iu Richtung der ^T-Achse reflektiert, und daß die optischen
Achsen des ersten und zweiten Interferenz-Strahles sich stets senkrecht im Meßpunkt schneiden,
wobei beide Interferenzsysteme durch eine einzige kohärente Lichtquelle beaufschlagt werden.
Ein Interferometer zur Längenmessung, welches so im Hinblick auf die X- und Y-Achse angeordnet ist,
hat folgende wesentlichen Voizüge:
1. kann eine einzige kohärente Lichtquelle gemeinsam für beide Achsen verwendet werden.
2. fallen die Koordinaten mit den zugeordneten
des Entladungstyps sowie als Einrichtung zur Überwachung numerischer Werte bei Verwendung in optischen
Schneidmaschinen.
Die Erfindung ist in der folgenden Beschreibung eines bevorzugten Ausführungsbeispiels an Hand der
Zeichnung erläutert. Es zeigt
Fig.1 schematisch ein Interferometer für zweidimensionale
Längenmessung gemäß der Erfindung
Fig 2 schematisch ein optisches Sysiem zur
Kompensation eines Fehlers in der Längenmessung infolge der Rotation eines zu messenden Objekts.
Bei der Ausführungsform gemäß der Fig-1 sina
an der oberen Fläche eines Maschinenbettes 14 ein Obflähfhungen gY unü gi
Xl^_„ „ an der oDeren r lacne cm» ««Bumu»»»-—-
optischen Achsen zusammen, 15 p2ar von Gleit-Oberflächenführungen gYi unü git
3. kar* eine Veränderung der Lichtwegiänge, die ^^JS^fJSSS^T^ £äger
15 fst ein weiteres Paar von Führungen gXx rad gX,
senkrecht zu den Führungen gY undg^ s vorgesehen,
entlang derer ein Koordinaten-Gunport 16 in Richtung
der X-Achse verschieblich ist Wenn ein zu messendes Objekt an der Oberfläche des Koordinaten-Supports 16 befestigt ist, kann jeaer Punkt
des übjeLs durch den vorerwähnten Mechmmus
durch eine Verschiebung in Richtung einer der beiden Achsen gegenüber der anderen verursacht
wird, optisch ausgeglichen werden,
ist es möglich, den Abbe-Fehler, der auf irgendeinem mechanischen Defekt des Verschiebemechanismus
beruht, zu kompensieren.
Weiter gibt es nur wenige optische Teile, die auf
. β ^ ptische Teile, die aut des JDjeiues aun-u ucu *«».....- --
dem Verschiebemecbanismus angeordnet werden 25 in oeiden Ebenen {X, Y) frei verschoben werden,
müssen, und der VerF.hiebemecharTismus selbst kann Ein Lichtstrahl, der von einer kohärenten Lichtkompakt
mit geringem Gewicht hergestellt werden, " " "J *" °'n<MT1
so daß es möglich ist, unnötige Schwierigkeiten ί ei
ordnet ist.
Der Licl
Der Licl
nete Interferometer χ / iam, wuu v»»«w
Ienteiler4 in zwei Strahlen aufgespalten. Dc eine
Lichtstrahl, der eine halbtransparente Membran-Fläche 5 des Strahlteilers 4 durchläuft, wird durch ein
quelle 1 (insbesondere Laser) kommt, wird in einem halbdurchlässigen (halbverspiegeiten) Spiegel 2 in
r optischen Justierung zu vermeiden. zwei Strahlen geteilt, von denen einer auf der AT-Achse
Darüber hinaus wird durch Verwendung einer ge- 30 zugeordnetes Interferometer 17 fällt, während der
mcinsamen Lid .tquelle und dank des dritten, vor- andere von einem Reflektor 3 um einen Winkel von
erwähnten Voizuges ein wirtschaftliches und hoch- 90: abgelenkt wird und dann in ein anderes Interwirksames
Interferometer für Längenmessungcn ge- ferometer 18 eintritt, welches der Y-Achse zugeschaffen,
mittels dessen eine Längenmessung gleich- ordnet ist.
zeitig hinsichtlich der X- und Y-Achse erfolgen 35 Der Lichtstrahl, der auf das der .Y-Achse zugeordkann,
ohne daß irgendwelche besonderen Elemente nete Interferometer 17 fällt, wird durch einen Strah-
zur Kompensation des Zählvorganges vorgesehen - - .. , ,*— r>a, ,.:„„
werden. Eines der Verfahren zur Durchführung der
Messung ist die sogenannte Streifen-Zählmethode, r'läches aes atranuencis-» aUI^u^..,
bei der die Impulse eines Interferenzstreifens direkt 4° Dove-Prisma 10, welches an dem Y-Träger 15 befe^lgt
gezählt werden. Bei einem anderen Verfahren werden ir.t, zu eine.a Reflektor 7 geführt, der ebenfalls an dem
die Bestimmung der Geschwindigkeit sowie die Zäh- Y-Träger 15 festgelegt ist. Durch den Reflektor 7 wird
lung der Pulse, die den Verschiebebetrag repräsen- der Lichtstrahl um 90° umgelenkt und fällt dann auf
tieren, mittels eines Interferometers durchgeführt. einen Spiegel 8, welcher entlang der ΛΓ-Achse verweiches
einen Laser mit zwei Wellenlängen, als Licht- 45 schieblich und an dem Koordinaten-Support 16 bequelle
benutzt, und zwar auf der Basis der Doppler- festigt ist. An d^m Spiegel 8 wird der Strahl reflektiert
Verschiebung der Lichtquellen-Frequenz der Strah- und läuft dann auf dem gleichen Strahlenweg zurück
len, welche bei Verschiebung eines beweglichen zu einc-n Punkt B an dem Strahlteiler 4. Der andere
Spiegeis auftritt. D<is Interferometer zur Längen- Strahl, der durch eine reflektierende Fläche 6 des
messung gemäß der Erfindung kann bei beiden vor- 50 Strahlteilers 4 abgelenkt wird, wird seinerseits durch
erwähnten Methoden Verwendung finden. einen beweglichen Kompensationsspiegel 9 reflektiert,
Das Längenmessungs-Interferometer gemäß der der an dem Y-Träger 15 befestig' ist, und nimmt
Erfindung ist besonders geeignet zum Einbau in eine dann den gleichen Strahlengang zurück zu dem
Arbeitsmaschine, welche dazu bestimmt ist, relativ Punkt B an der halbdurchlässigen Fläche 5 des
kurze Strecken (200 · 200 mm) mit überhoher Ge- 55 Strahlteilers 4, wo sich die beiden Strahlen bzw.
nauigkeit (mit einer Empfindlichkeit in der Größen- Teilstrahlen vermischen. Im Punkt B erzeugen die
Ordnung von 0.1 μ) zu messen, beispielsweise in einer beiden Strahlen den sogenannten Interferenzstreifen,
Maschine zur Herstellung von IC-Masken (Masken welcher Hell-Dunkel-Wechsel in einem Zyklus
für integrierte Schaltkreise), in der ein pl.otoemp- wiederholt, der genau der Hälfte der Licht-Wellenfindliches
Material auf den Koordinaten-Support auf- δ° länge (nachfolgend /. genannt) entspricht, wenn sich
gebracht und das IC-Muster durch die Muster- der Koordimten-Support 16 in Z-Richtung ver-Belichtungsanordnung,
die genau oberhalb des schiebt. Dieser Hell-Dunkel-Wechsel des InterPunktes O in Fig. ;'. gegenüber dem photoempfind- ferenzstreifens wird mittels eines photoempfindlichen
liehen Material angeordnet ist, belichtet wird. Das Elementes 11 photoelektrisch in ein Stromsignal 12
erfindungs.gemäße Interferometer kann auch in 65 umgewandelt, welches seinerseits durch einen Imandere
Maschinen eingebaut werden bzw. Teil an- pulskreis in ein Impulssignal mit der Basis λ/4 oder
derer Maschinen sein, z. B. als genauer Zeichner A/8 umgewandelt wird. Dieses Impulssignal zusam-CPhoto-Markier-Einrichtung),
als Arbeitsmaschine men mit einem Impuls, der ein Plus- oder Minus-
signal abhängig von der Richtung, in der der Koordi- A'-Achse, welche durch eine Verschiebung in Rich-
natcn-Support 16 in A'-Richtung verschoben wird, tung der Y-Achse verursacht ist, eliminiert werden,
wiedergibt, kann in einem geeigneten Zählkreis zur Obwohl der Abbe-Fehler auftreten kann, der der
Zählung und entsprechenden Bestimmung des Ver- Differenz in den Änderungen beider Lichtwege BD
schiebungswertes in A'-Richtung ausgenutzt werden. 5 und CF entspricht, kann dieser Abbe-Fehler doch
Die Anordnung des Interferometers 18, das der so gesteuert werden, daß er eine gewünschte Genauig-
Y-Achse zugeordnet ist, ist die gleiche wie die des keit des Meßsystems zuläßt, indem die Entfernung
Interferometers 17, welches der A'-Achse zugeordnet zwischen den Achsen beider Lichtstrahlen entspre-
ist, abgesehen davon, daß bei dem letzteren der chend vermindert wird. Insbesondere wenn eine
Strahlteiler 4 senkrecht zu dem darauffallenden Strahl io Laser-Anordnung als Lichtquelle 1 verwendet wird,
angeordnet ist. Wenn sich ein am Y-Träger 15 be- ist der effektive Durchmesser des kohärenten Licht-
festigter Spiegel 13 entlang der Y-Achse verschiebt, Strahles nur einige Millimeter. Aus diesem Grund
so erhält man ein Ausgangssignal 19 zur Impuls- können die Abmessungen der optischen Einzelele-
zählung (Verschiebungswert in Y-Richtung) in der mente und infolgedessen auch die Entfernung zwi-
gleichen Weise, wie es oben in Verbindung mit dem 15 sehen den Achsen der Lichtstrahlen extrem klein
der A'-Achse zugeordneten Interferometer 17 er- gemacht werden. In diesem Falle sind der bewegliche
läutert wurde. Das der Y-Achse zugeordnete Inter- Kompensationsspiegel 9, der entlang der A'-Achse
ferometer 18 ist in der Zeichnung vereinfacht darge- verschiebliche Spiegel 8 und der entlang der Y-Achse
stellt. verschiebliche Spiegel 13 von identischer Art in der
Das wesentliche Merkmal dieser Anordnung der ao Form optischer Systeme des Katzenaugen-Typs oder
Interferometer liegt darin, daß die Messung stets im von Würfelecken-Prismen. Das charakteristische
Schnittpunkt O der Verlängerungen der optischen Merkmal dieser optischen Komponenten gewähr-Strecke
ED, welche sich entlang der Af-Achse or- leistet stets, daß die Achse des reflektierenden Lichtes
streckt, und des optischen Weges GH, welcher ent- koaxial zu der Achse des einfallenden Lichtes verlang
der Y-Achse verläuft, erfolgt, unabhängig von as läuft, unabhr" igig von der Verdrehung bzw. Rotation
der Stellung des Koordinaten-Supports 16 zum Zeit- um einen sehr kleinen Wert, welche die Verschiebung
punkt der Messung. Die Wahl der beiden optischen entlang beider Achsen begleitet.
Achsen in dieser Weise hat den Vorteil, daß sogar Es gibt einige andere Verfahren, durch die es bei einem sehr kleinen Wert der Rotation des Ko- möglich ist, eine Veränderung des Lichtweges entordinaten-Supports 16 um den Punkt O infolge der 30 lang der Af-Achse, die durch eine Verschiebung in Zickzack-Verschiebung der Abbe-Fehler wirksam Richtung der Y-Achse hervorgerufen ist, auszuvermindert wird. schalten. Bei einem dieser Verfahren wird das Inter-
Achsen in dieser Weise hat den Vorteil, daß sogar Es gibt einige andere Verfahren, durch die es bei einem sehr kleinen Wert der Rotation des Ko- möglich ist, eine Veränderung des Lichtweges entordinaten-Supports 16 um den Punkt O infolge der 30 lang der Af-Achse, die durch eine Verschiebung in Zickzack-Verschiebung der Abbe-Fehler wirksam Richtung der Y-Achse hervorgerufen ist, auszuvermindert wird. schalten. Bei einem dieser Verfahren wird das Inter-
Es sei nun erläutert, weshalb der bewegliche Korn- ferometer 17, welches der A'-Achse zugeordnet ist,
pensationsspiegel 9 bei dem optischen Interferenz- an der Oberfläche des Y-Trägers befestigt, so daß die
System, das der Af-Achse zugeordnet ist, erforderlich 35 optische Achse dieses Interferometers 17 mit OD zuist.
Es sei zum Zwecke der Erläuterung angenommen, sammenfällt. Ist jedoch dann die kohärente Lichtdaß
dieser bewegliche Kompensationsspiegel 9 fehlt quelle 1 außerhalb des Y-Trägers angeordnet, so
und der Strahlteiler 4 dem vorerwähnten identisch kann eine unerwünschte Aberration zwischen den
ist, welcher der Y-Achse zugeordnet ist. Es wird optischen Achsen der Lichtquelle 1 und des der
weiter angenommen, daß kein Dove-Prisma 10 Ver- 40 Af-Achse zugeordneten, auf dem Y-Träger 15 bewendung
findet, festigten Interferometers infolge der Verschiebung
Wenn die Verschiebung des Supports 16 entlang des Y-Trägers 15 auftreten. Weiterhin ist es erder A'-Achse gestoppt wird und der Y-Träger 15 in wünscht, die Oberfläche des Y-Trägers 15 möglichst
Richtung der Y-Achse in den oben vorausgesetzten von irgendwelchen Elementen freizuhalten, da die
Zustand verschoben wird, so wird sich der Strahlen- 45 Ablesung oder Ausrichtung zweidimensionaler Koweg
BD, der entlang der Af-Achse verläuft und sich ordinaten im allgemeinen die Kompaktheit und
nicht verschieben sollte, ebenfalls in Richtung der Leichtigkeit des Koordinaten-Supports 16 und ue<;
Y-Achse verschieben. Es ist infolgedessen ein Mittel Y-Trägers 15 erfordert, da diese beiden mit niedrigem
erforderlich, um einen gezählten Wert am Ausgang Drehmoment und niedriger Trägheit angetrieben
19 des Interferometers 18 einer algebraischen Sub- 50 werden sollen. Aus diesem Grunde sind auch in der
fraktion zu einem späteren Zeitpunkt der Verarbei- Praxis verschiedene Elemente, die auf dem Y- Träger
tung des Ausgangssignals 12 des Interferometers 17 angeordnet werden müssen, beispielsweise der Komzu
unterwerfen. Algebraische Subtraktion bedeutet pensationsspiegel 9, von einer Größe, die geringer
hierbei eine reversible Zählung, welche von der ist als die des Interferometers 17.
Verschieberichtung entlang der Y-Achse abhängt. 55 Es soll nun die Funktion des Dove-Prismas 10 Als weiterer Mangel bringt der Abbe-Fehler auf des optischen Interferenzsystems 17, welches der Grund eines mechanischen Defektes des Verschiebe- X-Achse zugeordnet ist, beschrieben werden. Die mechanismus entlang der Y-Achse üblicherweise eine optischen Elemente, die auf den Y-Träger 15 mon-Differenz zwischen der Veränderung von GH (Länge tiert sind, rotieren bzw. verschwenken um einen sehr des Lichtweges entlang der Y-Achse) und der Ver- 60 kleinen Winkel infolge der Zickzack-Verschiebung, änderung von DE (Länge des Lichtweges entlang der die sich auf die Verschiebung des Y-Trägers aus-A"-Achse) mit sich, was zu einem Fehler im Subtrak- wirkt. Obwohl der entlang der Af-Achse verschiebtionsprozeß führt. liehe Spiegel 8 und der Kompensationsspiegel 9, wie
Verschieberichtung entlang der Y-Achse abhängt. 55 Es soll nun die Funktion des Dove-Prismas 10 Als weiterer Mangel bringt der Abbe-Fehler auf des optischen Interferenzsystems 17, welches der Grund eines mechanischen Defektes des Verschiebe- X-Achse zugeordnet ist, beschrieben werden. Die mechanismus entlang der Y-Achse üblicherweise eine optischen Elemente, die auf den Y-Träger 15 mon-Differenz zwischen der Veränderung von GH (Länge tiert sind, rotieren bzw. verschwenken um einen sehr des Lichtweges entlang der Y-Achse) und der Ver- 60 kleinen Winkel infolge der Zickzack-Verschiebung, änderung von DE (Länge des Lichtweges entlang der die sich auf die Verschiebung des Y-Trägers aus-A"-Achse) mit sich, was zu einem Fehler im Subtrak- wirkt. Obwohl der entlang der Af-Achse verschiebtionsprozeß führt. liehe Spiegel 8 und der Kompensationsspiegel 9, wie
Wird nun jedoch ein beweglicher Kompensations- oben erläutert, durch diese Rotation nicht beeinflußt
Spiegel 9 verwendet, so heben sich die Längenver- 65 werden, neigt sich doch der Weg DE dts auf den
änderungen der kohärenten Lichtwege BD und CF in entlang der A'-Achse verschieblichen Spiegel 8 fallen-Richtung
der Af-Achse gegenseitig auf. Dadurch kann den Lichtes um einen Winkel von 2 Θ, wenn der Reeine
Veränderung des Lichtweges entlang der flektor um einen Winkel von θ verschwenkt wird
2757
bzw. rotiert. Dies hat zur Folge, daß der von dem Spiegel 8 und dem Reflektor 7 zurückreflektierte
Strahl parallel zu BD, jedoch nicht vollständig fluchtend hiermit, verläuft. Die Größe des Abstandes zwischen
den beiden optischen Achsen der Strahlen vergrößert sich, wenn sich der Lichtweg DE verlängert.
Um die beiden optischen Achsen zur Überdeckung zu bringen, wird, wie in F i g. 2 gezeigt, ein Dove-Prisma 10 benutzt. Wird angenommen, daß aich das
Prisma 10 und der Reflektor 7 um einen Winkel θ in die Stellungen?' bzw. 10' verdrehen, so ist der
Lichtstrahl PQRST der in das Dove-Prisma 7' parallel zu dessen Basis eingetreten ist, nun um einen
Winkel 2 θ geneigt, wenn er das Prisma verläßt. Dieser Lichtstrahl STS', der das Prisma 10 nebst
Reflektor 7 verläßt, nimmt nach Reflexion am verschieblichen Spiegel 8 den gleichen Lichtweg zurück
und fällt zusammen mit dem einfallenden Lichtstrahl PQ. Das Prisma 10 und der Reflektor 7 können genügend
nahe beieinander angeordnet \verden, um die
Aberration TT' des Lichtweges auf ein vernachlässigbares Maß zu vermindern. Infolgedessen tritt
keine Aberration hinsichtlich des Lichtstrahles DB auf, der zu dem Strahlteiler 4 zurückgeführt wird, im
ίο Gegensatz zu dem Fall, bei dem kein Dove-Prisma
10 verwendet wird. Das Dove-Prisma 10 braucht natürlich nicht verwendet zu werden, falls es möglich
ist, die Zickzack-Verschiebung des Y-ILägers 15
durch irgendwelche Kunstgriffe an dem verwendeten
209H
-1SSUiIf
2757
Claims (5)
1. Interferometer für zweidimeiisionale Längenmessungen, unter Verwendung des Prinzips der
Lichtwellen-interferenz bei der Messung oder
Ausrichtung zweidimensionaler Koordinaten bzw. Abmessungen, dadurch gekennzeichnet,
daß an einem in Richtung der Y-Achse ver- schieblichen Y-Trager (15) ein erster licht-
to
reflektor (13) befestigt ist, der den Lichtstrahl (GH) eines ersten Interferometers (18) zur
Längenmessung in Richtung der Y-Achse reflektiert, daß an einem in Richtung der X-Achse
entlang der Oberfläche des Y-Trägers (15) verschieblichen, das Meßobjekt tragenden Support
(16) ein zweiter Lichtreflektor (8) befestigt ist, der den Lichtstrahi φΕ) eines zweiten Interferometers
(17) zur Längenmessung in Richtung der X-Achse reflektiert, und daß die optischen Achsen
des ersten und zweiten Interferenzstrahles (GH bzw. DE) sich stets senkrecht im Meßpunkt (O)
schneiden, wobei beide Interferenzsysteme (17, 18) durch eine einzige kohärente Lichtquelle (1)
beaufschlagt werden.
2. Interferometer nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß ein optisches System (4, 5,
6, 9) zur Kompen'Hlion einer Änderung des
Lichtweges (BD) des zweiten Interferenzsystems
(17) infolge einer Verschieoung des Supports (16) in Richtung der Y-Achse vorgesehen is*.
3. Interferometer nach Anspruch Ά, dadurch
gekennzeichnet, daß das Kompensationssystem einen in Richtung der Y-Achse mit dsm Y-Träger
(15) beweglichen Reflektor (9) aufweist, der einen von dem zweiten Interferenzsystem (17) abgeteilten
Lichtstrahl (CF) reflektiert.
4. Interferometer nach einem oder mehreren der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet,
daß ein weiteres optisches System (10) zum Ausgleich einer Verdrehung des beweglichen Y-Trägers
(15) während einer Verschiebung in Richtung der Y-Achse vorgesehen ist.
5. Interferometer nach Ansprach 4, dadurch gekennzeichnet, daß das optische System (10)
von einem Dove-Prisma gebildet ist.
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP45122567A JPS5117303B1 (de) | 1970-12-30 | 1970-12-30 |
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| DE2164898A1 DE2164898A1 (de) | 1972-07-13 |
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| DE2164898C3 DE2164898C3 (de) | 1975-07-03 |
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ID=14839075
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| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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Country Status (5)
| Country | Link |
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| DE2164898A1 (de) | 1972-07-13 |
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