DE2157565A1 - Kuehlfalle fuer den endbildraum eines elektronenmikroskops - Google Patents

Kuehlfalle fuer den endbildraum eines elektronenmikroskops

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Peter Dr Rer Nat Tischer
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    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J37/00Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
    • H01J37/02Details
    • H01J37/18Vacuum locks ; Means for obtaining or maintaining the desired pressure within the vessel
    • HELECTRICITY
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    • H01JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J37/00Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
    • H01J37/02Details

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  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Compressors, Vaccum Pumps And Other Relevant Systems (AREA)
  • Sampling And Sample Adjustment (AREA)

Description

  • Kühlfalle für den Endbildraum eines Elektronenmikroskops Die Erfindung bezieht sich auf eine Kühlfalle zum Kryopumpen mit einer Kühlmittel-Einlaßleitung, einer Kühlmittel-Abgasleitung, einer Rohr schlange und einem Flansch zum Einbau in einem Rezipienten.
  • Yryopumpen dieser Art sind bekannt. Sie bestehen im wesentlichen aus einer Rohrschlange, die als Kondensationsfläche für die zu pumpenden Gase dient. Die Rohrschlange ist an einem Ende mit der Kühlmittel-Einlaß leitung und an dem anderem Ende mit der Eühlmittel-Abgasleitung verbunden. Die Einlaßleitung steht mit einem Kältemittel-Yorratsgefäß in Verbindung.
  • Eine Aufgabe der Erfindung ist es, die oben angegebene Eühlfalle zu verbessern und insbesondereiso auszubilden, daß sie in dem Einbildraum eines Elektronenmikroskops angeordnet werden kann.
  • Diese Aufgabe .wird durch eine wie oben angegebenen Kühlfalle gelöst, die erfindungsgemäß dadurch gekennzeichnet ist, daß die Kühlfalle in dem Endbildraum eines Elektronenmikroskops angeordnet ist, daß die Kühlmittel-Einlaßleitung bzw. die Kühlmittel-Abgasleitung durch einen schlecht wärmeleitenden Zylinder mit dem Flansch gasdicht verbunden ist, wobei die Kühlmittel-Einlaßleitung bzw. die Eühlmittel-Abgasleitung an dem, dem Flansch gegenüberliegenden Ende des Zylinders an diesem befestigt ist, daß an der Rohrschlange ein Kühlblech wärmeleitend angebracht ist, daß eine Vorrichtung vorgesehen ist, mit der Aktivkohle am Kühiblech angeordnet werden kann, daß zwischen der Kühlfalle und der Gehäusewand des Elektronenmirkroskops Isolierstützen zur Wärmeisolierung vorgesehen sind und daß die gesamte Kühlfalle so geformt und angeordnet ist, daß ein im Endbildraum befindlicher Endbildschirm frei beweglich ist.
  • Gemäß einer Weiterbildung der Erfindung ist die Kühlfalle in dem Endbildraum eines Elektnmenmikroskops so geformt und so angeordnet, daß sie die Bewegungen im Endbildraum des Elektronenmikroskops und die Abbildung des Objektes nicht beeinträchtigt.
  • Durch die Verwendung einer erfindungsgemäßen Kühlfalle im Endbildraum eines Elektronenmikröskops kann das Vakuum im Elektronenmikroskop wesentlich verbessert werden.
  • Ein weiterer Vorteil der Erfindung besteht darin, daß die erfidungsgemäße Kühlfalle lageunabhägig in den Endbildraum eingebaut werden kann.
  • Zu der Erfindung führten die folgenden Überlegungen. In Elektronen m ikroskop /wsrden die elektronenm ik -roskopischen Bilder auf Fotoplatten registriert, da die Informationskapazität der Fotoplatte größer ist als die anderer bekannter Registriermittel. Außerdem ist es sehr einfach, die Elektronenverteilung eines elektronenmikroskopischen Bildes auf einer Fotoplatte zu speichern. Das Fotomaterial muß -dazu aber in den Vakuumraum des Elektronenmikroskops gebracht werden. Dabei gibt das Fotomaterial viel Gas, insbesondere Wässerdampf, ab. Durch diese Gase wird das Vakuum im Elektronenmikroskop empfindlich gestört. Beim Arbeiten mit einem gekühlten Objekt kondensieren diese Gase infolge der Kryopumpwirkung auf dem Präparat, wodurch die Beobachtung des Präparates beeinträchtigt wird.
  • Weitere Einzelheiten der Erfindung gehen aus der Beschreibung und den Figuren bevorzugter Ausführungsbeispiele der Erfindung und ihrer Weiterbildungen hervor.
  • Die Figuren 1 und 2 zeigen in schematischer Darstellung den Aufbau einer erfindungsgemäßen Kühlfalle.
  • Figur 3 zeigt die- Ansicht der Schnittebene des Schnittes A-B aus Figur 2.
  • In der Figur 1 ist die Rohrschlange mit dem Bezugszeichen 11 versehen. Die Rohrschlange ist mit dem Kühlblech 7 gut wärmeleitend verbunden, vorzugsweise verlötet. Die Lötnaht zwischen der Rohrsschlange und dem Kühlblech trägt das Bezugszeichen 12.
  • Da die wärmeleitende Kontaktfläche zwischen dem Kühlblech und der Rohrschlange möglichst groß sein soll, wird die Rohrschlange vorzugsweise mehrmals über die gesamte Oberfläche des Kühlblechs geführt. Das Kühlblech und die an dem Kühlblech angebrachte Rohrschlange sind so geformt, daß ihr Abstand von der Wandung des Endbildraumes möglichst gering ist. Um einen Wärmeübergang zwischen der Wandung des Endbildraumes und der Rohrschlange zu vermeiden, muß eine Berührung zwischen der Rohrschlange und der Wandung 14 vermieden werden. Dazu dienen die Isolationsstützen 9, die auf dem Kühlblech angebracht sind. Diese Isolationsstützen bestehen vorzugsweise aus Teflon. Ein Ende der Rohrschlange 11 ist mit der Kühlmittel-Einlaßleitung, das andere Fnde der Rohrschlange 11 mit der Kühlmittel-Abgasleitung verbunden. Vorzugsweise sind die Kühlmittel-Einlaßleitung und die Kühlmittel-Abgasleitung mit den Enden der Rohrschlange 11 verlötet und bestehen vorzugsweise aus Kupfer. Die erfindungsgemäße Kühlfalle wird vorzugsweise durch ein im Endbildraum befindliches Fenster in den Endbildraum eingeführt. Der Flansch 3 wird mit Hilfe der Dichtung 15 vakuumdicht mit der Wandung 17 des Endbildraumes verbunden. Bei der Dichtung handelt es sich vorzugsweise um einen O-Ring. Da die Kühlmittel-Einlaßleitung und die Abgele}tung durch das Kühlmittel- gekühlt werden und Eis ansetsen- können, muß verhindert werden, daß die Kühlmittel-Einlaßleitung und die Kühlmittel-Abgasleitung mit dem Flansch möglichst wenig wärmeleitend in Verbindung stehen, da die zwischen dem Flansch 3 und der Gehäusewand 18 des Endbildraumes angeordnete Dichtung 15 bei s ndiger Kühlung spröde und damit undicht werden würde. Bei der Verwendung einer Metalldichtung würde von der KUhlmitteleinlaßleitung und der Abgasleitung Wärme an die Gehäusewand des Endbildraumes abgegeben, wodurch der Kühlmittelverbrauch steigen und die das Vakuum verschlechternden Gase an der Gehäusewand ausfrieren würden. Sowohl die Kühlmittel-Einlaßleitung als auch die Kühlmittel-Abgasleitung sind daher huber den wärmeisolierenden Zylinder 5 mit dem Flansch 3 verbunden. Vorzugsweise besteht dieser wärmeisolierende Zylinder 5 aus V2A Stahl und ist den wandig. Der Zylinder 5 ist vorzugsweise an einem Ende mit dem Flansch 3 und an dem anderen Ende mit dem Teil 13 verlötet.
  • Das Teil 13, das vorzugsweise aus Kupfer besteht ist mit der Kühlmittel-Einlaßleitung bzw. mit der Kuhlmittel-Abgasleitung verlötet. Die Lötnähte tragen die Bezugszeichen 6.
  • Figur 2 zeigt die Anordnung einer erfindungsgemäßen Kühlfalle im Endbildraum des Elektronenmikroskops. Mit dem Bezugszeichen 14 ist die Gehäusewand des Endbildraumes bezeichnet. Die Rohrschlange der erfindungsgemäßen Kühlfalle ist vorzugsweise so àngeordnet, daß sie möglichst nahe an der Gehäusewand 14 liegt, um bei der elektronenmikroskopischen Abbildung im Endbildraum notwendige Bewegungsvorgänge nicht zu behindern. Vorzugsweise sind die Kanten des Kühlblechs 7 winkelförmig abgebogen.
  • Die Vorrichtung, mit der die Aktivkohle am Kühlblech angeordnet wird, besteht vorsugsweise aus einem Gitter 8.
  • Aus der Figur 3 ist ersichtlich, wie der vorzugsweise aus dem Kühlblech 7 und dem Gitter 8 gebildete Raum (16) zur Aufnahme von granulierter Aktivkohle aufgebaut ist. Das Gitter 8 ist mit den vier winkelförmig abgebogenen Kanten 77 des Kühlblechs 7 so verbunden, /da8 zwischen dem Gitter 8 und dem Kühlblech 7 der Raum 16 zur Aufnahme der Aktivkohle entsteht. Vorzugsweise besteht das Gitter 8 aus Kupfer und ist mit den abgewinkelten Kanten 77 des Edhlblechs verlötet. Das Gitter 8 kann auch auf die Kanten 77 aufgesteckt, oder mit den Kanten 77 verschraubt sein.
  • Bei einer weiteren Ausbildungsform der Erfindung wird ein schichtförmiger, poröser Körper mit einer großen, inneren Oberfläche zur Aufnahme der störenden Gase mit der Hilfe von entsprechend ausgebildeten Vorrichtungen an dem Kühlblech angebracht, beispielsweise angeklammert.
  • Die erfindungsgemäße Kühlfalle wird vorzugsweise mit flüssigem Stickstoff oder flüssigem Helium betrieben. Dabei wird das flüssige Kühlmittel durch Uberdruck aus einem Vorratsbehälter in die Kühlfalle gedruckt.-Nach etwa 5 Minuten ist die Eühlfalle abgekühlt und damit funktionsfähig. Durch die Aktivkohle wird die wirksame Kühlfläche der Kühlfalle beträchtlich vergrößert, so daß man beispielsweise mehrere Plattenmagazine mit Fotoplatten in das Elektronenmikroskop einschleusen kann, -ohne die Kühlfalle regenerieren zu müssen. ZurRegenerierung wird die Kühlfalle auf Zimmertemperatur erwärmt. Dabei werden die während der Kühlperiöde an den Kondensationsflächen der Kühlfalle ausgeforenen Gase wieder frei gegeben. Durch eine an der Kühlfalle angebrachte Heizung 18 kann der Regenerationsprozess beschleunigt werden. Bei der Heizung handelt es sich vorzugsweise um euEn Koaxialheizer.
  • 8 Patentansprüche 3 Figuren

Claims (8)

  1. Patentansprüche 1. Kühlfalle zum Kryopumpen mit einer KUhlmittel-Einlaßleitüng,-einer Kühlmittel-Abgasleitung, einer Rohrschlange und einem Flansch zum Einbau in einem Rezipienten, dadurch g e k e n n -z e i c h n e t , daß die Kilhlfalle in dem Endbildraum eines Elektronenmirkroskops angeordnet ist, daß die Eühlmittel-Einlaßleitung (1) bzw. die Kühlmittel-Abgasleitung (2) durch einen schlecht wärmeleitenden Zylinder (5) mit dem Flansch (3) gasdicht verbunden ist, wobei die Kühlmittel-Einlaßleitung bzw. die Eühlmittel-Abgasleitung an dem, dem Flansch gegenüberliegenden Ende des Zylinders (5) an diesem befestigt ist, daß an der Rohrschlange (11) ein Kühlblech (7) wärmeleitend angebracht ist, daß eine Vorrichtung (8) vorgesehen ist, mit der Aktivkohle am Kühlblech angeordnet werden kann1 daß zwischen der tühlfalle und der Gehäusewand (14) des Elektronenmikroskop Isolierstützen (9) zur Wärmeisolierung vorgesehen sind und daß die gesamte Kühlfalle so geformt und angeordnet ist, daß ein im Endbildraum befindlicher Endbildschirm frei beweglich ist.
  2. 2. Kühlfalle anch Anspruch 1, dadurch g e k e n II z e i c h n e t daß als Vorrichtung ein Gitter (8) an dem Kühlblech derart angeordnet ist, daß zwischen dem Kühlblech und-dem Gitter ein Raum (16) zur Aufnahme der Aktivkohle entsteht.
  3. 3. Kühlfalle nach Anspruch 1 oder 2, dadurch g e k e n n -z e i c h n e t , daß das Kühlblech aus Kupfer ist.
  4. 4. Kühlfalle nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch g e -k e n n z e i c h n e t , daß die Rohrschlange aus Kupfer ist.
  5. gühlfalle nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch g e -k e n n z e i c h n e t , daß die Rohrschlange mit dem EUhlblech verlötet ist.
  6. 6. Kühlfalle nach einem der Ansprüche 1 bis 5, dadurch g e -k e n n z e i c h n e t , daß der Zylinder 5 aus V2A Stahl ist.
  7. 7. Kühlfalle nach einem der Ansprüche 1 bis 6, dadurch g e -k e n n z e i c h n e t , daß als Material für das Gitter Kupfer vorgesehen ist.
  8. 8. Kühlfalle nach einem der Ansprüche 1 bis 7, dadurch g e -k e n n z e i c h n e t , daß an dem Kühlbiech ein -Heizkörper (18) vorgesehen ist.
    Leerseite
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