DE2125361C3

DE2125361C3 - Device for receiving and transporting a plate-shaped object

Info

Publication number: DE2125361C3
Application number: DE19712125361
Authority: DE
Inventors: William Scottsdale Ariz Radobenko (VStA)
Original assignee: Automated Equipment Corp, Phoenix, Ariz (VStA)
Priority date: 1970-05-21
Filing date: 1971-05-21
Publication date: 1977-08-25

Description

Die Erfindung bezieht sich auf eine Montagevorrichng für Plättchen auf Transistorstreifen od. dgl.
Gegenwärtig werden halbautomatische Montagevor- :htungen zum Verbinden von Transistorbauelementen it Transistorstreifen durch Anwendung von Wärme id Druck verwendet. Diese Plättchenmontagevorrichtungen führen verschiedene Arbeitsschritte aus, sie nehmen zunächst an einer Ladestelle ein einzelnes Plättchen auf, bewegen das Plättchen zu einer Montagestelle, verbinden das Plättchen mit dem Transistorstreifen und kehren zur Ladestelle zurück, um das nächste Plättchen aufzunehmen. Da die Plättchen äußerst klein sind und auf einem kleinen Transistorstreifen oder einem anderen Element exakt angeordnet und ausgerichtet werden müssen, müssen die Montagevor- richtungen genaiu gesteuerte Bewegungen ausführen. The invention relates to a mounting device for small plates on transistor strips or the like.
At present, semi-automatic assembly devices are used to connect transistor components to transistor strips by the application of heat or pressure. These platelet mounting devices perform different work steps, they first pick up a single platelet at a loading point, move the platelet to an assembly point, connect the platelet to the transistor strip and return to the loading point to pick up the next platelet. Since the platelets are extremely small and must be precisely arranged and aligned on a small transistor strip or other element, the assembly devices must perform precisely controlled movements.

Darüber hinauus müssen sie die Plättchen so schnell wie möglich transportieren. Bisher bekannte Montagevorrichtungen sind im allgemeinen nur imstande, Plättchenverbindungen mit einer Geschwindigkeit von 1800 Plättchen/Std. herzustellen, wobei nacheinander 100 Plättchen auf jedem Transistorstreifen montiert werden, und ein Transistorstreifen auf den anderen folgt. Darüber hinaus werden Bewegungen großer Trägheit verwendet, was zu langsamer Leistung und hohen Unterhaltskosten derartiger Vorrichtungen führt. In addition, you have to move the tokens as quickly as possible. Hitherto known assembly devices are generally only able to connect wafer connections at a rate of 1800 wafers / hour. one after the other, 100 platelets being mounted on each transistor strip, one transistor strip following the other . In addition, movements of great inertia are used, resulting in slow performance and high maintenance costs for such devices.

Es ist bereits eine Vorrichtung zur Aufnahme eines Gegenstandes in einer Aufnahmeposition und zu dessen Transport zu einer Ablageposition bekannt, die einen Aufnahmemechanismus zur Aufnahme des Gegenstandes und einen Transportarm aufweist, der den Aufnahmernechanismus an einem Ende trägt, bei der der Transportarm und eine ihn tragende Säule oder Stange mit dem Aufnahmemechanismus zwischen der Aufnahme- und der Abgabe-Position verschwenkt wird und vertikal an der Säule auf- und abbewegt wird, um den Gegenstand in der Aufnahmeposition aufzunehmen bzw. in der Abgabeposition abzugeben (OE-PS 2 16 096).It is already a device for receiving an object in a receiving position and for its Transport to a storage position known, which has a receiving mechanism for receiving the object and a transport arm that supports the pick-up mechanism at one end at which the transport arm and a column or rod supporting it with the receiving mechanism between the Pick-up and delivery position is pivoted and is moved vertically up and down on the column pick up the object in the pick-up position or deliver it in the release position (OE-PS 2 16 096).

Es ist ferner eine Vorrichtung zur Aufnahme eines Gegenstandes in einer Aufnahmeposition und zu dessen Transport zu einer Ablageposition,bestehend aus einem Aufnahmemechanismus zur Aufnahme des Gegenstandes, einem Transportarm, der den Aufnahmemechanismus an einem Ende trägt, und einem rotierenden Nocken und einem zugehörigen Nockenfolger zum Antrieb eines hin- und hergehenden Antriebshebels, der raumfest schwenkbar montiert ist, mit dem der Transportarm mit dem Aufnahmemechanismus in einer geraden Linie zwischen der Aufnahme- und der Abgabe-Position bewegt werden kann und der Aufnahmemechanismus vertikal bewegt werden kann, um den Gegenstand in der Aufnahmeposition aufzunehmen bzw. in der Abgabeposition abzugeben, bekannt (US-PS 31 49 765).It is also a device for receiving an object in a receiving position and for its Transport to a storage position, consisting of a pick-up mechanism for picking up the object, a transport arm that carries the pick-up mechanism at one end, and a rotating one Cam and an associated cam follower for driving a reciprocating drive lever, the is mounted pivotably fixed in space, with which the transport arm with the receiving mechanism in one straight line between the pick-up and the delivery position can be moved and the pick-up mechanism can be moved vertically to pick up the object in the pickup position or to deliver in the delivery position, known (US-PS 31 49 765).

Bei beiden bekannten Vorrichtungen ist ein Schlitten vorgesehen, der auf der Säule bzw. einer Welle längsverschiebbar ist und mit der Säule bzw. um die Welle verschwenkbar ist. Für die Längsverschiebung müssen also entsprechend präzise Führungen vorhanden sein. Weiterhin wird für die Vertikalbewegung der ganze Schlitten bewegt, es müssen also relativ große Massen bewegt werden. Damit sind hohe Geschwindigkeiten nicht möglich, weil die relativ große Masse nichi schlagartig auf hohe Geschwindigkeit gebracht unc wieder abgebremst werden kann; überdies besteht aucr bei mäßigen Geschwindigkeiten infolge der großer Masse die Gefahr, daß empfindliche Gegenstand« beschädigt werden.In both known devices, a slide is provided which is on the column or a shaft Is longitudinally displaceable and is pivotable with the column or around the shaft. For the longitudinal shift accordingly precise guides must be available. Furthermore, for the vertical movement of the entire slides are moved, so relatively large masses have to be moved. So there are high speeds not possible because the relatively large mass was not suddenly brought up to high speed unc can be braked again; In addition, there is also at moderate speeds due to the large There is a risk of sensitive objects being damaged.

Aufgabe der Erfindung ist, eine zuverlässigen halbautomatische Montagevorrichtung für Plättchen zi schaffen, die exakt mit geringer Trägheit und höhere Geschwindigkeit arbeitet.The object of the invention is to provide a reliable semi-automatic assembly device for platelets zi create that works precisely with less inertia and higher speed.

Ausgehend von der letztgenannten bekannten VorBased on the latter known before

•ichU-ng wird diese Aufgabe erfindungsgemäß dadurch zelöst, daß zwei Gelenkmechanismen vorgesehen sind, die jeweils an einem Ende an den Transportarm und am inderen Ende raumfest schwenkbar gelagwt sind, und der Antriebshebel mit einem der beiden Gelenkmechanismen schwenkbar gekuppelt ist, und daß auf dem Transportarm eine Schubstange verschiebbar gelagert ist deren eines Ende mit dem Aufnahmemechanismus gekuppelt ist, um eine horizontale Längsbewegung der Schubstange in eine vertikale Auf- bzw. Abbewegung des Aufnahmemechanismus umzuwandeln. Mit einer solchen Vorrichtung werden die normalerweise im Betrieb auftretenden Schwierigkeiten erheblich verringert und exakte Montagen mit einer Geschwindigkeit fm Bereich von 6000 bis 7200 Plättchenverbindungen/ Std. hergestellt. Die Vorrichtung sorgt auch für eine exakte lineare Bewegung, um jedes einzelne P'ättchen von der Aufnahmeposition zur Abgabeposition zu • ichU-ng this task is achieved according to the invention in that two joint mechanisms are provided, each of which is hinged in a fixed manner at one end to the transport arm and at the other end, and the drive lever is pivotably coupled to one of the two joint mechanisms, and that on the Transport arm, a push rod is slidably mounted, one end of which is coupled to the receiving mechanism in order to convert a horizontal longitudinal movement of the push rod into a vertical upward or downward movement of the receiving mechanism. With such a device, the difficulties normally encountered in operation are considerably reduced and precise assemblies are produced at a speed in the range from 6000 to 7200 wafer connections / hour. The device also ensures an exact linear movement in order to move each individual platelet from the receiving position to the dispensing position

Die Erfindung und vorteilhafte Einzelheiten der Erfindung werden anhand von Zeichnungen eines Ausführungsbeispiels näher erläutert.The invention and advantageous details of the invention are explained in more detail with reference to drawings of an exemplary embodiment.

Fig. 1 ist eine Seitenansicht einer Montagevorrichtung gemäß einem bevorzugten AusführungsbeispielFig. 1 is a side view of a mounting device according to a preferred embodiment

der Erfindung, ..,„·.. u *⁵ of the invention, .., "· .. u * ⁵

Fig.2 ist eine Vorderansicht der Vorrichtung nach F i g· 1 >Figure 2 is a front view of the device of Figure 1 >

Fig.3 ist eine teilweise im Schnitt gezeigt Ansicht einer Vakuumhohlwellenanordnung der Montagevorrichtung gemäß F i g. 1 und 2,Figure 3 is a partially sectioned view of a vacuum hollow shaft assembly of the assembly device according to FIG. 1 and 2,

Fig.4, 5 und 6 sind eine Ober-, Seiten- bzw. Vorderansicht einer hin- und herbeweglichen Vorrichtung der Montagevorrichtung gemäß F i g. 1 und 2, mittels der ein Plättchen von einem Lagerbock an der Ladestelle zu einem block an der Montagestelle bewegtFigures 4, 5 and 6 are top, side and Front view of a reciprocating device the assembly device according to FIG. 1 and 2, by means of which a plate from a bearing block to the Loading point moved to a block at the assembly point

wird, .will, .

Fig.7 ist eine Seitenansicht einer motorgetriebenen Steuerscheibe der in F i g. 4, 5 und 6 gezeigten hin- und herbeweglichen Vorrichtung,Fig.7 is a side view of a motor-driven Control disk of the in F i g. 4, 5 and 6 reciprocating device shown,

Fig.8 ist ein Querschnitt der Steuerscheibe gemäß F i g. 7.Fig.8 is a cross section of the control disk according to F i g. 7th

Fig.9 ist ein Zeitablaufschema, welches den Betrieb der Montagevorrichtung gemäß F i g. 1 und 2 veranschaulicht, . „ . ._c FIG. 9 is a timing diagram illustrating the operation of the mounting apparatus of FIG. 1 and 2 illustrates. ". . _c

F i g. 10 ist eine Draufsicht auf eine Transistorslreifen-Schaltvorrichtung der Montagevorrichtung gemäßF i g. 10 is a plan view of a transistor tire switching device the assembly device according to

F i g. 1 und 2, .F i g. 1 and 2, .

Fig. 11 ist eine Vorderansicht der in Fig. gezeigten Vorrichtung.Fig. 11 is a front view of the circuit shown in Fig. device shown.

Wie aus F i g. 1 und 2 hervorgeht, umfaßt eine Montagevorrichtung gemäß der Erfindung eine Hauptstütze bzw. ein Bett 21, auf dem links und rechts je ein Transistorstreifenmagazinhalter 22 bzw. 23, eine Transistorstreifenschaltvorrichtung 24, eine Heizeinrichtung 25 ein Scheiben- bzw. Plättchenlagerbock 26, eine hin- und herbewegliche Vorrichtung 27, ein Mikroskop sowie ein Abteil 29 für eine elektronische logische Steuerung abgestützt sind. Ein zehn Transistorstreifen enthaltendes Magazin 31 und ein leeres Magazin werden von der Bedienungsperson in den linken bzw. rechten Transistorstreifenmagazinhalter 22 bzw. gebracht. Bei Beginn eines Montagevorganges wird der erste Transistorstreifen von der Bedienungsperson der Schaltvorrichtung zugeführt. Die Bedienungsperson beobachtet alle Plättchen auf einer Halbleiterscheibe, die auf einer Oberplatte 33 des Scheibenlagerbocks liegt durch das Mikroskop 28 und steuert das Anhalten und den Anlauf der Montagevorrichtung, während jedes der Plättchen auf der Oberplatte 33 unter eine Aufnahmevorrichtung der Montagevorrichtung bewegt wird. Solange ein Plättchen nach dem anderen ohne Verfehlung oder Auslassen aufgenommen und einer Montagestelle an der Heizeinrichtung 25 der Transistorstreifenschaltvorrichtung 24 zugeführt wird, hält die Bedienungsperson die Vorrichtung eingeschaltet, d.h. im Betriebszustand. As shown in FIG. 1 and 2, a mounting device according to the invention comprises a main support or a bed 21, on which a transistor strip magazine holder 22 and 23, a transistor strip switching device 24, a heating device 25, a disk or plate bearing block 26, a back and a movable device 27, a microscope and an electronic logic control compartment 29 are supported. A magazine 31 containing ten transistor strips and an empty magazine are placed in the left and right transistor strip magazine holders 22 and 22, respectively, by the operator. At the beginning of an assembly process, the first transistor strip is fed to the switching device by the operator. The operator observes all the wafers on a semiconductor wafer lying on a top plate 33 of the disc bearing block through the microscope 28 and controls the stopping and starting of the mounting device while each of the wafers on the top plate 33 is moved under a receiving device of the mounting device. As long as one plate after the other is picked up without missing or missing and fed to an assembly point on the heating device 25 of the transistor strip switching device 24, the operator keeps the device switched on, ie in the operating state.

Die Aufnahmevorrichtung der Montagevorrichtung umfaßt ein Gehäuse 34 für eine Vakuumhohlwellenan ordnung, welches mittels eines Zapfens 35 an einem Winkelhebel 36 drehbar gelagert ist, der seinerseits über einen Zapfen 37 am äußeren Ende eines Stößelarmes 38 schwenkbar angebracht und gleichfalls mit dem Ende 39 einer Schubstange 4t über einen Drehzapfen 42 gekoppelt ist. Das Gehäuse 34 der Vakuumhohlwellenanordnung ist am Stößelarm mittels zwei parallelen flexibler Blattfedern bzw. Zungen 43 beweglich angebracht, die eine senkrechte Bewegung des Gehäuses 34 am Ende des Stößelarms 38 unter Steuerung durch die seitliche Bewegung der Schubstange 41 ermöglichen. Das Gehäuse 34 der Vakuumhohlwellenanordnung trägt ein hohles Kapillarrohr 44, welches über einen Vakuumschlauch 45 mit einem Vakuumventil verbunden ist, das so betätigbar ist, daß es im Kapillarrohr 44 ein Vakuum zur Aufnahme und zum Halten eines Plättchens am Ende des Kapillarrohrs erzeugt, während das Gehäuse der Vakuumhohlwellenanordnung am Ende des Stößelarmes 38 in die Montagestellung an der Heizeinrichtung 25 der Transistorstreifenschaltvorrichtung 24 bewegt wird. The receiving device of the mounting apparatus comprises a housing 34 proper for a Vakuumhohlwellenan which is rotatably supported by a pin 35 at an angle lever 36 which in turn pivotally mounted by a pin 37 at the outer end of a follower arm 38, and also a push rod 4t with the end 39 via a pivot 42 is coupled. The housing 34 of the vacuum hollow shaft arrangement is movably attached to the plunger arm by means of two parallel flexible leaf springs or tongues 43 , which enable a vertical movement of the housing 34 at the end of the plunger arm 38 under control by the lateral movement of the push rod 41. The housing 34 of the vacuum hollow shaft assembly carries a hollow capillary tube 44 which is connected via a vacuum hose 45 to a vacuum valve which is operable to generate a vacuum in the capillary tube 44 for receiving and holding a plate at the end of the capillary tube while the housing the vacuum hollow shaft arrangement at the end of the plunger arm 38 is moved into the assembly position on the heating device 25 of the transistor strip switching device 24.

Wie F i g. 3 im einzelnen zeigt, umfaßt das Gehäuse der Vakuumhohlwellenanordnung eine rohrförmige Hohlwelle 34', in deren Ende das Kapillarrohr 44 befestigt ist. Die Hohlwelle 34' ist in senkrechter Richtung in einer Buchse 34" gleitend beweglich, wobei sie mittels einer am Gehäuse 34 der Vakuumhohlwellenanordnung angebrachten Spiralfeder 40 in Richtung nach unten gedrängt wird, um einen Druck auf das Plättchen gegen den Transistorstreifen an der Montagestelle auszuüben. Das äußere Ende der Spiralfeder steht mit einem an der Hohlwelle 34' befestigten Kragen 40' im Eingriff.Like F i g. 3 shows in detail, the housing of the vacuum hollow shaft assembly comprises a tubular shape Hollow shaft 34 ', in the end of which the capillary tube 44 is attached. The hollow shaft 34 'is vertical Direction in a socket 34 ″ slidably movable by means of a on the housing 34 of the vacuum hollow shaft arrangement attached coil spring 40 is urged in the downward direction in order to exert pressure on the Exercise platelets against the transistor strip at the mounting point. The outer end of the coil spring is in engagement with a collar 40 'attached to the hollow shaft 34'.

Wie F i g. 4 und 5 zeigen, ist der Stößelarm 38 durch zwei eine lineare Bewegung vermittelnde Vorrichtungen abgestützt, die zwei jochförmige Bindeglieder und 49 umfassen, welche an einem Ende mittels Zapfen 46 bzw. 47 am Stößelarm 38 und am anderen Ende mittels Zapfen 53 bzw. 54 an einem oberen und unteren Ausgleichsglied 51 bzw. 52 drehbar gelagert sind. Das obere und untere Ausgleichsglied 51 bzw. 52 ist jeweils an seinem anderen Ende mittels Drehwellen 55 bzw. am Hauptrahmen der Montagevorrichtung drehbar gelagert. Zwei hin- und herbewegliche Bindeglieder und 58, die an einem Ende mittel·. Zapfen 59 bzw. 61 mit der Mitte der Jochbindeglieder 48 und 49 verbunden sind, sind an ihrem anderen Ende mittels Drehwellen bzw. 63 am Hauptrahmen der Montagevorrichtung drehbar gelagert. Diese hin- und herbewegliche Vorrichtung wird durch ein schwingendes Antriebsglied 64 angetrieben, welches an einem Ende über eine Drehwelle 65 am Hauptrahmen der Montagevorrichtung drehbar gelagert und am anderen Ende mit den schwingenden Bindeglied 57 mittels eines Schuhs 6i gekoppelt ist, der durch eine Schraube 67 am Bindegliec 57 befestigt und innerhalb eines Schlitzes 68 im Ende de: hin- und herbeweglichen Antriebsbindegliedes 6< gleitend aufgenommen ist.Like F i g. 4 and 5 show, the plunger arm 38 is supported by two devices imparting a linear movement, which comprise two yoke-shaped connecting links 14 and 49, which are attached to the plunger arm 38 at one end by means of pins 46 and 47 and at the other end by means of pins 53 and 54, respectively an upper and lower compensating member 51 and 52 are rotatably mounted. The upper and lower compensating members 51 and 52 are each rotatably mounted at their other end by means of rotating shafts 55 or on the main frame of the assembly device. Two reciprocating links and 58 that are centered at one end ·. Pins 59 and 61, respectively, are connected to the center of the yoke connecting members 48 and 49, are rotatably supported at their other end by means of rotary shafts and 63, respectively, on the main frame of the assembly device. This reciprocating device is driven by a vibrating drive member 64 which is rotatably supported at one end via a rotary shaft 65 on the main frame of the assembly device and at the other end is coupled to the vibrating link 57 by means of a shoe 6i , which is connected by a screw 67 Link 57 attached and within a slot 68 in the end de: reciprocating drive link 6 <is slidably received.

Wie aus F i g. 4 bis 8 hervorgeht, ist ein Kurvenfolgeglied mit einer einen größeren Durchmesser aufweisenden Rolle 69 und einer einen kleineren Durchmesser aufweisenden Rolle 71, die auf einer Exzenterrollenachse bzw. einem Zapfen 72 drehbar gelagert sind, mittels dieses Zapfens 72 mit dem hin- und herbeweglichen Antriebsbindeglied 64 verbunden. Die Rollen 69 und 71 sind durch eine Steuerscheibe 73 antreibbar, die auf einer Antriebswelle 74 angebracht und über einen Treibriemen 75 mit einem Hauptantriebsmotor 76 verbunden ist. Eine vollständige Umdrehung der Steuerscheibe 73 erzeugt eine Hin- und Herschwingung des Antriebsgliedes 74, was wiederum eine Hin- und Herschwingung des schwingenden Bindegliedes 57 verursacht und damit das jochartige Bindeglied 48 und folglich den Stößelarm 38 zunächst vorwärts und dann rückwärts in einer 114,3 mm langen linearen Strecke bewegt. Wie Fig.9 zeigt, folgt auf die Vorwärtsbewegung des Stößelarms 38 und der Vakuumhohlwellenanordnung 34 eine erste Verweilzeit an der Ladestelle an der Oberplatte 33 des Plättchenlagerbockes 26 und auf die Rückwärtsbewegung des Stößelarmes und der Vakuumhohlwellenanordnung eine zweite Verweilzeit an der Montagestelle am Transistorstreifen.As shown in FIG. 4 to 8 is a cam follower with a larger diameter Roller 69 and a smaller diameter roller 71, which on an eccentric roller axis or a pin 72 are rotatably mounted, by means of this pin 72 with the reciprocating Drive link 64 connected. The rollers 69 and 71 can be driven by a control disk 73, which on attached to a drive shaft 74 and via a drive belt 75 to a main drive motor 76 connected is. One complete revolution of the control disk 73 generates a back and forth oscillation of the drive member 74, which in turn causes the oscillating link 57 to oscillate back and forth caused and thus the yoke-like link 48 and consequently the plunger arm 38 first forward and then moved backwards in a 114.3 mm linear distance. As Figure 9 shows, the forward movement follows of the ram arm 38 and the vacuum hollow shaft assembly 34 have a first dwell time at the loading point the top plate 33 of the plate bearing block 26 and the backward movement of the plunger arm and the Vacuum hollow shaft arrangement a second dwell time at the assembly point on the transistor strip.

Während der ersten Verweilzeit wird die Vakuumhohlwellenanordnung zunächst abgesenkt, um ein Plättchen von der Oberplatte 33 des Lagerbocks 26 aufzunehmen, und dann mit dem Plättchen angehoben und während der zweiten Verweilzeit abgesenkt, um das Plättchen an der Montagestelle auf den Transistorstreifen abzulegen, woraufhin die Hohlwellenanordnung wieder angehoben wird. Um diesen Bewegungsablauf zu erreichen, sind zwei L-förmige Auslösestücke 81 und 82 mittels Zapfen 83 bzw. 84 am Stößelarm 38 in gegenseitigem Abstand drehbar gelagert. Die Auslösewinkelstücke 81 und 82 haben jeweils einen Schenkel, der mit der Schubstange 41 über Zapfen 85 bzw. 86 verbunden ist, während jeweils ein anderer Schenkel zum Eingriff mit einem Folgearm angeordnet ist. Wenn der Stößelarm 38 sich während der ersten Verweilzeit in seiner vorderen Stellung befindet, wirkt die Steuerscheibe 73 auf eine Folgerolle 87, um einen L-förmigen Folgearm 88 entgegen dem Uhrzeigersinn um eine Drchwelle 89 zu drehen, wobei der Folgearm 88 am Hauptrahmen der Montagevorrichtung angebracht ist. Bei seinem Schwenken um die Welle 89 dreht der Folgearm 88 das Auslöscwinkelstück 81 entgegen dem Uhrzeigersinn um den Zapfen 83, um die Schubstange 41 entgegen der Spannkraft einer Feder 91 am Stößelarm 28 vorwörtszubewegen. Hierdurch wird der Winkelhebel 36 veranlaßt, um den Zapfen 37 zu schwenken und das Gehäuse 34 der Vakuumhohlwellenanordnung abzusenken, so daß das Ende des Kapillarrohres 44 mit einem auf der Oberplatte 33 des Lagerbocks 26 liegenden Plättchen In Eingriff tritt. In diesem Zeitpunkt wird das Kapillarrohr 44 unter Unterdruck gesetzt, um das Plättchen am Ende desselben zu halten, während es zur Montagestelle transportiert wird. Wenn sich die Steuerscheibe 73 weilerdreht, dreht sich der Folgearm 88 unter der Kraft einer Druckfeder 93 im Uhrzeigersinn zurück. Dies ermöglicht es der Schubstange 41, sich unter der Kraft der Feder 91 rückwärts in Ihre hintere Lage zu bewegen und damit das Gehäuse 34 der Vakuumhohlwellenanordnung und das am Kaplllarrohr 44 gehaltene Plättchen anzuheben. Wenn sich der Stößelarm 38 in seiner hintersten Stellung befindet, ist das Gehäuse 34 der Vnkuumhohlwellcnanordnung oberhalb der Heizeinrichtung 25 der Schaltvorrichtung 24 angeordnet, und der Folgearm 88 wird wiederum betätigt, um das Auslösewinkelstück 82 entgegen dem Uhrzeigersinn um den Zapfen 84 zu drehen. Hierdurch wird wiederum die Schubstange 41 entgegen der Kraft der Feder 91 vorwärtsbewegt, um das Gehäuse 34 der Vakuumhohlwellenanordnung abzusenken und damit das am Kapillarrohr 44 gehaltene Plättchen nach unten auf den auf der Heizeinrichtung 25 angeordneten Transistorstreifen abzusenken. Daraufhin wird das Plättchen durch Aufbringen von Wärme und Druck mit dem Transistorstreifen verbunden.During the first dwell time, the vacuum hollow shaft arrangement is first lowered in order to pick up a plate from the top plate 33 of the bearing block 26, and then raised with the plate and lowered during the second dwell time in order to deposit the plate on the transistor strip at the assembly point, whereupon the hollow shaft arrangement again is raised. In order to achieve this sequence of movements, two L-shaped release pieces 81 and 82 are rotatably mounted on the tappet arm 38 at a mutual distance by means of pins 83 and 84, respectively. The trigger angle pieces 81 and 82 each have a leg which is connected to the push rod 41 via pins 85 and 86, respectively, while a different leg is arranged for engagement with a follower arm. When the plunger arm 38 is in its forward position during the first dwell time, the control disc 73 acts on a follower roller 87 to rotate an L-shaped follower arm 88 counterclockwise about a thrust shaft 89, the follower arm 88 being attached to the main frame of the assembly device is. When it is pivoted about the shaft 89, the follower arm 88 rotates the release angle piece 81 counterclockwise about the pin 83 in order to move the push rod 41 forwards against the tensioning force of a spring 91 on the plunger arm 28. This causes the angle lever 36 to pivot the pin 37 and lower the housing 34 of the vacuum hollow shaft arrangement, so that the end of the capillary tube 44 engages a plate lying on the top plate 33 of the bearing block 26. At this point, the capillary tube 44 is placed under vacuum to hold the wafer at the end of the same while it is transported to the assembly site. When the control disk 73 rotates, the follower arm 88 rotates back under the force of a compression spring 93 in a clockwise direction. This enables the push rod 41 to move backwards into its rear position under the force of the spring 91 and thus to lift the housing 34 of the vacuum hollow shaft arrangement and the plate held on the capillary tube 44. When the plunger arm 38 is in its rearmost position, the housing 34 of the vacuum hollow shaft arrangement is arranged above the heating device 25 of the switching device 24, and the follower arm 88 is in turn actuated to rotate the trigger bracket 82 counterclockwise about the pin 84. This in turn moves the push rod 41 forward against the force of the spring 91 in order to lower the housing 34 of the vacuum hollow shaft arrangement and thus lower the plate held on the capillary tube 44 down onto the transistor strip arranged on the heating device 25. The chip is then connected to the transistor strip by applying heat and pressure.

Die Antriebssteuerscheibe 73 und die drei Folgelrollen 69, 71 und 87 sind im einzelnen in Fig.7 und 8 gezeigt. Die kleinere Rolle 71 steht mit der Oberseite 94 einer Nut in der Steuerscheibe 73 im Eingriff, während die größere Rolle 69 auf der Unterseite 95 der Nut abrollt. Die am Folgearm 88 angebrachte Folgerolle 87 läuft auf der Umfangsfläche % der Steuerscheibe 73 entlang. Wie Fig.4 und 6 zeigen, erstreckt sich die Antriebswelle 74 für die Steuerscheibe 73, auf der ein weiterer Nocken 102 angebracht ist, durch ein Stützlager 101. Der Nocken 102 betätigt über ein Kurvenfolgeglied 103 ein Vakuumventil 104, um das Anlegen des Vakuums am Kapillarrohr 44 der Vakuumhohlwellenanordnung zum richtigen Zeitpunkt während des Plättchenaufnahmezyklus zu steuern. Ein Lichtquellengehäuse 105 ist gleichfalls auf der Antriebswelle 74 angeordnet; hiermit wird das von drei innerhalb des Gehäuses angeordneten Lichtquellen 106, 107 und 108 auf drei außerhalb des Gehäuses angebrachte Photozellen 109,111 und 112 fallende Licht gesteuert. Die Lichtquelle 106 und die Photozelle 109 dienen dazu, die Montagevorrichtung am Ende eines fertigen Zyklus in betriebsfähigem Zustand zu halten, falls die Bedienungsperson die Vorrichtung in der Mitte des Zyklus ausschalten sollte; die Lichtquelle 107 und die Photozolle 111 dienen zur Betätigung eines unten beschriebenen Elektromagneten zum Festklemmen, und die Lichtquelle 108 und die Photozelle 112 dienen dazu, einen Startimpuls für die unten beschriebene Schaltvorrichtung 24 zu liefern.The drive control disk 73 and the three follow-up rollers 69, 71 and 87 are shown in detail in FIGS. The smaller roller 71 is in engagement with the upper side 94 of a groove in the control disk 73, while the larger roller 69 rolls on the lower side 95 of the groove. The follower roller 87 attached to the follower arm 88 runs along the circumferential surface% of the control disk 73. As shown in FIGS. 4 and 6, the drive shaft 74 for the control disk 73, on which a further cam 102 is attached, extends through a support bearing 101. The cam 102 actuates a vacuum valve 104 via a cam follower 103 in order to apply the vacuum to the To control capillary tube 44 of the vacuum tube assembly at the appropriate time during the wafer acquisition cycle. A light source housing 105 is also arranged on the drive shaft 74; This controls the light falling from three light sources 106, 107 and 108 arranged inside the housing onto three photocells 109, 111 and 112 mounted outside the housing. The light source 106 and photocell 109 are used to keep the fixture operational at the end of a completed cycle in the event that the operator should turn off the fixture in the middle of the cycle; the light source 107 and the photocollector 111 serve to actuate an electromagnet described below for clamping, and the light source 108 and the photocell 112 serve to provide a starting pulse for the switching device 24 described below.

Wie F i g. 10 und 11 zeigen, ist die Heizeinrichtung 25 innerhalb der Schaltvorrichtung 24 angebracht und dient zum Abstützen eines hier nicht gezeigten Transistorstreifens, auf den die Plättchen montiert werden. Die Schaltvorrichtung 24 umfaßt einer Schaltmotor 116, der über einen Antriebsriemen 117 und eine Riemenscheibe 118 mit einer Welle IIS gekoppelt ist, auf der zwei Kegelräder 121 und 12: sitzen. Die Kegelrader 121 und 122 dienen zum Antriet von zwei Transistorstreifen-Antriebswalzen 123 bzw 124 über zwei Kegelräder 125 und 126, die auf zwe Wellen 127 bzw. 128 angebracht sind Zwei jeweils zun Like F i g. 10 and 11 show, the heating device 25 is attached within the switching device 24 and serves to support a transistor strip, not shown here, on which the platelets are mounted. The switching device 24 comprises a switching motor 116 which is coupled via a drive belt 117 and a pulley 118 to a shaft IIS on which two bevel gears 121 and 12: sit. The bevel gears 121 and 122 serve to feed two transistor strip drive rollers 123 and 124 via two bevel gears 125 and 126, which are mounted on two shafts 127 and 128, respectively

SS Bilden eines Walzenspaltes dienende Walzen 131 um 132 sind an zwei Hebelarmen 133 bzw. 134 angebracht' die auf zwei Wellen 135 bzw. 136 drehbar gelagert sine Diese mit den Antriebswalzen jeweils einen Walzen spalt bildenden Walzen 131 und 132 werden durch diSS nip forming rolls 131 around 132 are attached to two lever arms 133 and 134 'which are rotatably mounted on two shafts 135 and 136, respectively These rollers 131 and 132, which each form a roller gap with the drive rollers, are replaced by di Wirkung von zwei Federn 133' und 136', die mit dei Hebelarmen 133 bzw. 134 gekoppelt sind, gegen di Antriebswalzen 123 bzw. 124 gepreßt. Der Transistor streifen wird von der Bedienungsperson in den Spa zwischen die Antriebswalze 123 und die Walze 13Effect of two springs 133 'and 136', which with dei Lever arms 133 and 134 are coupled, pressed against di drive rollers 123 and 124, respectively. The transistor The operator slides into the spa between the drive roller 123 and roller 13

«S eingeführt, und die Antriebswalze 123 wird voi Schaltmotor 116 angetrieben, bis ein auf dem Trans storstreifen vorhandenen Streifen eines reflektierende Materials unter einem Faseroptikbündel 137 hlndurcl«S inserted, and the drive roller 123 becomes voi Shift motor 116 driven until a strip of reflective material present on the trans Material under a fiber optic bundle 137 hlndurcl

lauft. Dieses Fascroplikbündcl umfaßt ein inneres Faseroptikbündcl und ein ringförmiges äußeres Faseroptikbündel, welches das innere umgibt. Durch das ringförmige äußere Faseroptikbündel reflektiertes Licht vom Streifen reflektierenden Materials auf dem Transistorstreifen zeigt die Anwesenheit des Transistorstreifens an der Montagestellc an, und daraufhin wird die Montagevorrichtung in Betrieb gesetzt, um den Plättchenaufnahme- und -transpnrt/yklus zu beginnen. Das innere Fascroplikbündcl dient dazu, ein Markierungsloch in dem Streifen reflektierenden Materials auf dem Transislorstrcifen festzustellen, wenn der Transistorstreifen über die Heizeinrichtung 25 läuft. Das Vorhandensein eines Markierungsloches unterhalb des inneren Faseroptikbündels gibt dem Schallmotor 116 ein Signal zum Anhalten und hält damit den Tiansistorsü'cifen an. Kurze /.eil darauf wird der das Festklemmen bewerkstelligende Elektromagnet 141 von der Lichtquelle 107 und der Photozelle 111 betätigt, um ein Ritzel 142 zu drehen, welches über einen 'Zahnstangenantrieb ein Gleitstück 143 nach unten bewegt, um einen die Lage bestimmenden und den Transistorslrcifcn einklemmenden Arm 144 auf den Transistorslrcifcn abzusenken. Hierdurch wird der Transislorstrcifen während der Plütlehenbefesligung auf die Heizeinrichtung 25 hcrunicrgcklcmmt gehalten. Wenn das Gleitstück 143 sich abwärts /ti bewegen beginnt, treten mil demselben einheitlich verbundene Stifte 143' mit den inneren F.nden der beiden I lebelarme 133 und 134 in Eingriff, die daraufhin um die Wellen 135 bzw. 136 schwenken, um die Druckwalzen 131 und 132 vom Transistorstreifen abzuheben, so daß dieser nicht länger zwischen den Walzenpaaren gehalten ist. Wenn das Gleitstück 143 und damit der Arm 144 weiter nach unten bewegt wird, treten zwei am Arm vorgesehene Stifte 145 mit zwei Markierungslöchern im Transistorstreifen in Eingriff und bringen die VerbindungsstelU auf dem Transistorstreifen in genaue l'hichtunt unterhalb des Kapillarrohrcs 44 der Vakuumhohlwcl lenanordnung, unmittelbar ehe der Transistorstrcifei von dem seine Lage bestimmenden und ihn festklem tuenden Arm fest eingeklemmt wird.running. This Fascroplikbündcl comprises an inner one Fiber optic bundle and an annular outer fiber optic bundle, which surrounds the inside. Light reflected by the annular outer fiber optic bundle from the strip of reflective material on the transistor strip shows the presence of the transistor strip at the Montagestellc, and then the assembly device is put into operation to the Platelet uptake and transpnrt / cycle to begin. The inner Fascroplikbündcl serves to mark a hole in the strip of reflective material the transistor strip to determine if the transistor strip runs over the heating device 25. The presence of a marking hole below the inner fiber optic bundle gives the sonic motor 116 a signal to stop and thus holds the Tiansistorü'cifen at. Short /.eil then that will be Clamping electromagnet 141 actuated by light source 107 and photocell 111, to rotate a pinion 142 which, via a rack and pinion drive, moves a slider 143 downwards moved to a position-determining and the transistor Lrcifcn pinching arm 144 on the Lower the transistor load. As a result, the Transislorstrcifen becomes during the Plütlehenbefesligung Hcrunicrgcklcmmt held on the heating device 25. When the slider 143 begins to move downward / ti, step with it unitarily connected Pins 143 'with the inner ends of the two lever arms 133 and 134 in engagement, which then around the shafts 135 and 136 pivot to lift the pressure rollers 131 and 132 from the transistor strip, so that this is not is held longer between the roller pairs. If the slider 143 and thus the arm 144 continues to is moved below, two pins 145 provided on the arm with two marking holes enter the transistor strip into engagement and bring the connection points on the transistor strip into exact l'hichtunt below the capillary tube 44 of the vacuum tube assembly, immediately before the transistor tube is firmly clamped by the arm determining its position and clamping it.

Hier/u (i HIaU /.eichnimujnHere / u (i HIaU /.eichnimujn

Claims

I. Claims:

1. Device for receiving an object in a receiving position and for its transport to a storage position, consisting of a receiving mechanism for receiving the object, a transport arm that carries the receiving mechanism at one end, and a rotating cam and an associated Nok kenfolder for driving a reciprocating drive lever, which is mounted pivotably fixed in space, with which the transport arm with the pick-up mechanism can be moved in a straight horizontal line between the pick-up and delivery position and the pick-up mechanism can be moved vertically to the object in the pick-up position take up or deliver in the delivery position, characterized in that two joint mechanisms (48, 51, 57; 49, 52, 58) are provided, each of which at one end (46, 47) is attached to the transport arm (38) at the other end ( 55, 56, 62, 63) are pivotally mounted in a spatially fixed manner, and the drive lever (64) with one of the two joint arms mechanisms (48, 51.57; 49,52,58) is pivotally coupled, and that a push rod (41) is slidably mounted on the transport arm (38), one end (39) of which is coupled to the receiving mechanism in order to achieve a horizontal longitudinal movement of the push rod in a vertical upward direction. or downward movement of the pick-up mechanism.

2. Device according to claim 1, characterized in that that the cam follower assigned to the drive pivot lever consists of two rollers (69, 71) consists, which are rotatably mounted on a common shaft (72), one of which is a roller (69) one side (95) of a groove of the cam rests and the other roller (71) on the opposite Side (94) of the groove.

3. Apparatus according to claim 2, characterized in that the diameter of one roller (69) is larger than the diameter of the other roller (71).

4. Device according to one of claims 1 to 3, characterized in that the two joint mechanisms each have a yoke (48, 49), a compensation member (51, 52), which with one end pivotable to one end of the associated yoke and pivotably fixed in space with the other end is mounted, and a swivel arm (57,58) one end of which can be swiveled to the middle part of the Yoke is coupled and pivotally mounted in a fixed space at the other end, and that the yoke (48) of one of the two joint mechanisms on one (46) and the yoke (49) of the other of the two Joint mechanisms at another (47), remote from the former (46) with the Transport arm is coupled.

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