DE2054270B2 - MOVABLE WORKPIECE HOLDER IN ETCHING MACHINES - Google Patents

MOVABLE WORKPIECE HOLDER IN ETCHING MACHINES

Info

Publication number
DE2054270B2
DE2054270B2 DE19702054270 DE2054270A DE2054270B2 DE 2054270 B2 DE2054270 B2 DE 2054270B2 DE 19702054270 DE19702054270 DE 19702054270 DE 2054270 A DE2054270 A DE 2054270A DE 2054270 B2 DE2054270 B2 DE 2054270B2
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
workpiece holder
holder according
ramps
workpiece
movement
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
DE19702054270
Other languages
German (de)
Other versions
DE2054270A1 (en
Inventor
Günter Dipl.-Ing.; Schwung Lothar; Deus Hans-Werner; 5650 Solingen Decker
Original Assignee
Chemcut Corp., State College, Pa. (V.StA.)
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Chemcut Corp., State College, Pa. (V.StA.) filed Critical Chemcut Corp., State College, Pa. (V.StA.)
Priority to DE19702054270 priority Critical patent/DE2054270B2/en
Priority to FR7139165A priority patent/FR2112439B3/fr
Priority to GB5112871A priority patent/GB1306656A/en
Publication of DE2054270A1 publication Critical patent/DE2054270A1/en
Publication of DE2054270B2 publication Critical patent/DE2054270B2/en
Granted legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23F—NON-MECHANICAL REMOVAL OF METALLIC MATERIAL FROM SURFACE; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL; MULTI-STEP PROCESSES FOR SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL INVOLVING AT LEAST ONE PROCESS PROVIDED FOR IN CLASS C23 AND AT LEAST ONE PROCESS COVERED BY SUBCLASS C21D OR C22F OR CLASS C25
    • C23F1/00—Etching metallic material by chemical means
    • C23F1/08—Apparatus, e.g. for photomechanical printing surfaces

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • General Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Metallurgy (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • ing And Chemical Polishing (AREA)

Description

Die Erfindung betrifft eine bewegliche Werkstückhalterung in Ätzmaschinen, mittels der ein Werkstück zwischen einem unteren und einem oberen Satz von Sprühdüsen angeordnet werden kann und in einer Horizontalebene hin- und herbewegbar ist.The invention relates to a movable workpiece holder in etching machines, by means of which a workpiece can be arranged between a lower and an upper set of spray nozzles and is reciprocable in a horizontal plane.

Die Hin- und Herbewegung de Werkstückhalterung dient dazu, eine möglichst gleichmäßige Verteilung des Ätzmittels über das Werkstück zu erzielen, um unterschiedliche Ätzungen an unterschiedlichen Stellen der Werkstücke zu vermeiden. Es hat sich jedoch gezeigt, daß insbesondere bei relativ großflächigen Werkstücken die Ätzgleichmäßigkeit häufig zu wünschen übrig läßt.The back and forth movement of the workpiece holder serves to ensure that the distribution is as even as possible of the etchant over the workpiece to achieve different etchings on different Avoid placing the workpieces. It has been shown, however, that especially when relatively large workpieces the etching uniformity often leaves something to be desired.

Es ist somit Ziel der Erfindung, eine bewegliche Werkstückhalterung der eingangs genannten Gattung zu schaffen, welche eine gleichmäßigere Ätzung von Werkstücken gewährleistet.It is therefore the aim of the invention to provide a movable workpiece holder of the type mentioned at the beginning to create, which ensures a more even etching of workpieces.

Zur Lösung dieser Aufgabe sieht die Erfindung vor, daß der Hin- und Herbewegung eine periodische Kippbewegung um eine quer zur Translationsrichtung verlaufende Kippachse überlagert ist. Praktische Versuche haben gezeigt, daß durch diese Maßnahme die Ätzgleichmäßigkeit wesentlich gesteigert wird, was um so überraschender ist, als die Amplitude der Hin- und Herbewegung sowie der Sprübcharakter der verwendeten Sprühdüsen dabei unverändert bleiben können. Gute Ätzergebnisse werden bereits bei Kippwinkeln von wenigen Graden erzielt. Dieser Umstand macht es möglich, die erfindungsgemäße Kippbarkeit der Werkstückhalterung auch bei vorhandenen Ätzmaschinen noch nachträglich vorzusehen.To solve this problem, the invention provides that the reciprocating movement is a periodic Tilting movement is superimposed on a tilting axis extending transversely to the translation direction. Practical Tests have shown that this measure significantly increases the uniformity of the etching, which is all the more surprising as the amplitude of the back and forth movement and the spray character the spray nozzles used can remain unchanged. Good etching results will be achieved at tilt angles of just a few degrees. This fact makes it possible to use the invention The workpiece holder can also be tilted retrospectively, even with existing etching machines to be provided.

Nach einer bevorzugten Ausführungsform sind die Perioden der Translations- und Kippbewegung gleich. Diese Maßnahme erleichtert es, ein und denselben Antrieb zur Erzeugung beider Bewegungen zu verwenden.According to a preferred embodiment, the periods are translational and tilting movement same. This measure makes it easier to use one and the same drive to generate both movements to use.

Bei Ätzmaschinen mit um parallel zueinander verlaufende Achsen hin- und herschwenkbarenIn the case of etching machines, they can be swiveled back and forth about axes that run parallel to one another

3 43 4

Düsen sieht die Erfindung vor, daß die Kippachse Die Rollen weisen zweckmäßigerweise in Bewesenkrecht zu den Schwenkachsen der Düsen ver- gungsrichtung einen solchen Abstand und die Ramläuft. Hierdurch bewegt sich das zu ätzende Werk- pen nur eine solche Höhe auf, daß alle Rollen des stück periodisch in zwei senkrecht aufeinander- Werkstückhalterungsrahmens in der Mittellage auf stehenden Richtungen relativ zu den Sprühstrahlen, 5 dem ebenen Mittelstück der Schienen stehen. Auch wobei als wesentliche dritte Bewegungskninponente hierdurch wird das Herausziehen der Schublade die Kippung um die horizontale Kippachse hinzu- erleichtert.The invention provides nozzles that the tilting axis The rollers expediently point vertically such a distance to the swivel axes of the nozzles and the ram runs. As a result, the work to be etched only moves to such a height that all the rollers of the piece periodically in two perpendicular workpiece holder frames in the central position standing directions relative to the spray jets, 5 are the flat middle section of the rails. Even Pulling out the drawer becomes the third essential component of movement tilting around the horizontal tilt axis is also facilitated.

kommt. Bei dieser Ausführungsform wird ein be- Eine weitere Ausführungsform sieht vor, daß diecomes. In this embodiment, a further embodiment provides that the

sonders hoher Grad an Ätzgleichmäßigkeit erzielt. Kupplung eine Ausnehmung aufweist und das Kupp-achieved a particularly high degree of etching uniformity. Coupling has a recess and the coupling

Eine besonders bevorzugte Ausführungsform der io lungsgegenstück ein in diese eingreifender Stift ist Erfindung sieht vor, daß die überlagerte Trans- Die Kupplung ist vorzugsweise im Bereich der Kipplations- und Kippbewegung durch in Bewegungs- achse angeordnet, d. h. also in der Nähe des Drehrichtung schräg ansteigende bzw. abfallende Auflauf- punktes.A particularly preferred embodiment of the io treatment counterpart is an engaging pin The invention provides that the superimposed trans- The coupling is preferably in the area of the tilting and tilting movement arranged by in the axis of movement, d. H. so close to the direction of rotation inclined rising or falling approach point.

rampen, die mit Rollen, Kugeln oder Gleitstücken Eine besonders gute Ätzgleichmäßigkeit wird er-ramps with rollers, balls or sliders. Particularly good etching uniformity is achieved.

zusammenarbeiten, erzielt wird. Diese Ausbildung 15 zielt, wenn die Amplitude der Hin- und Herbewe-work together is achieved. This training 15 aims when the amplitude of the back and forth movement

hat den Vorteil, daß z. B. ein bereits vorhandener gung größer ist als der Düsenabstand in dieserhas the advantage that, for. B. an already existing supply is greater than the nozzle spacing in this

Hin- und Herbewegungsantrieb weiter verwendet Richtung. Herstellungsmäßig ^sonders günstig istFloat drive further used direction. Production-wise it is particularly cheap

werden kann, während die zusätzliche Kinpung allein es, wenn die Auflauframpen geradlinig sind,can be, while the additional kinpung alone is when the ramp ramps are straight,

durch die geeignet angeordneten Auflautrampen be- Um das Eingreifen der beiden Kupplungsteilethe suitably arranged ramp-up ramps ensure that the two coupling parts engage

wirkt wird. 20 beim Einschieben der Schublade zu erleichtern, istis effective. 20 to facilitate the insertion of the drawer is

Die Rollen, Kugeln oder Gleitstücke sind dabei die Kupplung vorzugsweise mit einer trichterförmi-The rollers, balls or sliders are the coupling, preferably with a funnel-shaped

vorzugsweise an einem Werkstückhalterungsrahmen gen Erweiterung versehen.preferably provided on a workpiece holder frame for expansion.

vorgesehen, während die schrägen Auflauframpen Um ein einwandfreies Herausziehen der Schubsich an dessen Unterlage befinden. lade nach dem Anhalten der Bewegungen zu ge-provided, while the inclined ramps to ensure proper pulling out of the push itself are on its document. load after stopping the movements

Normalerweise weist der Werkstückhalterungs- 35 währleisten, ist diese vorzugsweise beim Herausrahmen Mittel zum Festklemmen eines platten- oder ziehen ncch vor dem Freikommen von ihrem Anfolienartig-ϊη, zu ätzenden Werkstückes auf. trieb seitlich geführt. Hierzu können an der Schub-Normally, the workpiece holder 35 ensure this is preferably when framing Means to clamp a plate or pull after it is released from its foil-like ϊη, workpiece to be etched. drove laterally. For this purpose, at the push

Bei einer weiteren Ausführungsform ist die den lade seitlich Führungsleisten angebracht sein, die mit Durchlaß des Ätzmittels ermöglichende Innenöffnung fest angeordneten Gegenstücken zusammenarbeiten, des Werkstückhalterungsrahmens unten durch ein 30 welche gegenüber den Führungsleisten um ein sol-Sieb abgedeckt, dessen Einzeldrähte unter einem ches Stück in Herausziehrichtung versetzt sind, daß Winkel zur Translct'-ionsrichtung und zur Kippachse die Führungsleisten und Gegenstücke erst dann in verlaufen. Der Winkel beträgt im allgemeinen 30 bis Eingriff kommen, wenn di~ Schublade ein Stück 60°, vorzugsweise 45°. Auf Grund dieser Ausbildung herausgezogen, jedoch noch nicht völlig "om Kuppwird eine Schattenbildung auf der Unterseite des 35 lungsgegenstück freigekommen ist. Zweckmäßiger-Werkstückcs weitgehend vermieden, inoem Draht- weise ist ein Sicherheitsschalter vorgesehen, der den richtung und Bewegungsrichtungen nicht überein- Antrieb abschaltet, noch bevor die Führungsleisten stimmen. und die Gegenstücke in Eingriff gekommen sind.In a further embodiment, the side of the loading guide strips are attached to the The inner opening allowing passage of the etchant works together with fixed counterparts, of the workpiece holder frame below by a 30 which is opposite the guide strips around a sol sieve covered, the individual wires are offset under a ches piece in the pull-out direction that Angle to the translating direction and to the tilting axis the guide strips and counterparts only then in get lost. The angle is generally 30 to engage when the drawer is a piece 60 °, preferably 45 °. Because of this training pulled out, but not yet completely "om Kuppwird a shadow has emerged on the underside of the counterpart. Appropriate-Workpiececs largely avoided, inoem wire-wise a safety switch is provided that the Direction and directions of movement do not match - drive switches off before the guide rails voices. and the counterparts have engaged.

Eine weitere Ausführungsform ist so ausgebildet, Diese Ausführungsform macht es nicht erforderlich, daß die Auflauframpen sich an der Innenseite der 40 daß die Rollen in irgendeiner Stellung der periodibeiden Stirnteile einer rahmenartigen, keinen Boden sehen Hin- und Herbewegung auf ein ebenes Stück aufweisenden Schublade befinden, welche zur Be- der Laufschienen gelangen. Vielmehr wird eine ein- und Entladung aus der Ätzkammer herausziehbar wandfreie Führung der Schublade beim Herausist. Hierbei sind die Auflauframpen vorzugsweise an ziehen und Hineinschieben auch allein durch die den beiden Enden flacher Schienen ausgebildet, 45 vergenannten Maßnahmen gewährleistet,
welche an den Innenseiten der Stirnteile befestigt Die Erfindung wird im folgenden beispielsweise sind. an Hand der Zeichnung beschrieben, deren einzigeA further embodiment is designed in such a way that this embodiment does not require that the ramps are on the inside of the 40 that the rollers are in any position of the periodic two end parts of a frame-like, no-bottom see-to-and-fro movement on a flat piece of drawer, which get to the rails. Rather, an loading and unloading from the etching chamber is pulled out wall-free guidance of the drawer when it is removed. In this case, the run-up ramps are preferably pulled and pushed in, also formed solely by the two ends of the flat rails, 45 the aforementioned measures are guaranteed.
which are attached to the insides of the forehead parts. The invention will hereinafter be exemplified. described on the basis of the drawing, the only one

Im Bereich der vier Ecken des Werkstückhalte- Figur in einer schematisierten perspektivischen Darrungsrahmens ist vorteilhafterweise je eine Rolle stellung eine zwischen zwei beweglichen Sprühdüsenvorgesehen, von denen je zwei auf einer Achse 50 gruppen angeordnete bewegliche Werkstückhalterung liegen und jeweils mit einer schrägen Auflauframpe gemäß der Erfindung zeigt.In the area of the four corners of the workpiece holder figure in a schematic perspective Darrungsrahmens one roller position is advantageously provided between two movable spray nozzles, each of which has two movable workpiece holders arranged in groups on an axis 50 and each with an inclined ramp according to the invention shows.

zusammenwirken. Der Anstiegswinkel der Auflauf- Nach der Zeichnung ist ein ein Sieb 19 einfassen-cooperate. The angle of rise of the casserole - According to the drawing, a sieve 19 is to be enclosed -

rampen zu beiden Seiten der Kippachse ist Vorzugs- der Werkstückhalterungsrahmen 20 im Bereich seinerramps on both sides of the tilting axis is preferably the workpiece holder frame 20 in the area of it

weise gleich. Er beträgt zweckmäßigerweise 10 vier Ecken rr it Laufrollen 16 versehen, so daß einewise right away. It is expediently provided 10 four corners rr it rollers 16 so that one

bis 40°. 55 Art Wagen entsteht. Die Rollen 16 stehen auf Auf-up to 40 °. 55 Art wagon is created. The rollers 16 are on

Die Auflauframpen können erfindungsgemäß oben lauframpen 15, die an den beiden Enden von Schiein ein ebenes Stück übergehen, um das Heraus- nen 22 ausgebildet sind. Die Schienen 22 sind an ziehen der Schublade zu erleichtern. gegenüberliegenden Stirnteilen 21 einer rahmen-According to the invention, the run-up ramps can run up ramps 15, which are at the two ends of the slide pass over a flat piece around which gates 22 are formed. The rails 22 are on pulling the drawer to make it easier. opposite end parts 21 of a frame

Am hinteren Ende des Werkstückhalterungs- artigen Schublade 18 befestigt. Von den beidenAttached to the rear end of the workpiece holder-like drawer 18. Of the two

rahmens ist vorzugsweise eine Kupplung befestigt, 60 Schienen 22 und den Schubladenstirnteilen 21 istA coupling is preferably attached to the frame, rails 22 and the drawer front parts 21 are 60

die bei voll eingeschobener Schublade mit einem jeweils nur eines in der Zeichnung dargestellt.when the drawer is fully pushed in with only one in each case shown in the drawing.

Kupplungsgegenstück in Eingriff kommt, das an Die rahmenartige Schublade 18 weist keinenCoupling counterpart comes into engagement that the frame-like drawer 18 has no

einem motorisch hin- und herbewegten Antriebsteil Boden auf, so daß das von unteren Sprühdüsen 14a motor-driven back and forth drive part on the bottom, so that the lower spray nozzles 14

angebracht ist. nach oben gesprühte Ätzmittel ungehindert zumis appropriate. etchant sprayed upwards unhindered to the

Der Antrieb ist vorzugsweise durch einen End- 65 Werkstückhalterungsrahmen 20 gelangen kann,The drive is preferably passed through an end 65 workpiece holder frame 20,

schalter so gesteuert, daß das Kupplungsgegenstück An seinem hinteren Ende weist der Werkstück-switch controlled so that the coupling counterpart at its rear end has the workpiece

nach dem Abschalteh der Maschine in der Mittel- halterungsrahmen 20 eine Kupplung 17 mit einerafter the machine has been switched off, a coupling 17 with a in the middle holding frame 20

stelluna stehenbleibt. trichterförmigen Erweiterung 25 auf. In diese greiftstelluna stops. funnel-shaped extension 25. In this engages

bei eingeschobener Schublade ein mit einem Antriebsteil 24 verbundenes Kupplungsgegenstück 23 ein. Das Antriebsteil 24 wird durch nicht dargestellte Mittel in Richtung des Doppelpfeiles zu einer Hin- und Herbewegung angetrieben. Hierbei nimmt der Stift 23 den Werkstückhalterungsrahmen 20 zu einer translatorischen Hin- und Herbewegung in Richtung des Doppelpfeiles 12 mit. In der Zeichnung ist das Kupplungsgegenstück 23 der Anschaulichkeit halber außer Eingriff mit der Kupplung 17 dargestellt. Es befindet sich jedoch bei der gezeigten Relativstellung der noch zu beschreibenden Führungsleisten 26 und der Gegenstücke 27 im Eingriff mit der Kupplung 17.one with a drive part when the drawer is pushed in 24 connected coupling counterpart 23 a. The drive part 24 is not shown by Means driven in the direction of the double arrow to a reciprocating motion. Here the Pin 23 the workpiece holder frame 20 to a translatory reciprocating movement in the direction of the double arrow 12 with. In the drawing, the coupling counterpart 23 is for the sake of clarity shown disengaged from clutch 17. However, it is in the relative position shown the guide strips 26 to be described below and the counterparts 27 in engagement with the coupling 17.

Die Führungsleisten 26 sind an dem Werkstückhalterungsrahmen 20 seitlich befestigt. Sie arbeiten mit fest an der Maschine verankerten Gegenstücken 27 derart zusammen, daß beim Herausziehen der Schublade 18 die Elemente 26 und 27 in Eingriff kommen, noch bevor der Kupplungsstift 23 aus der Kupplung 17 ausgetreten ist. Auf diese Weise bleibt eine einwandfreie Führung des Werkstückhalterungsrahmens 20 in seitlicher Richtung auch beim Herausziehen der Schublade 18 stets gewährleistet.The guide strips 26 are attached to the side of the workpiece holding frame 20. they work with firmly anchored to the machine counterparts 27 together in such a way that when pulling out the Drawer 18 the elements 26 and 27 come into engagement even before the coupling pin 23 out of the Coupling 17 has emerged. In this way, the workpiece holding frame remains properly guided 20 always guaranteed in the lateral direction even when pulling out the drawer 18.

Oberhalb und unterhalb der Schublade 18 sind um Achsen 13 schwenkbare Düsen 14 angeordnet. Die Schwenkbewegung der Düsen 14 verläuft senkrecht zur Translationsrichtung 12.Nozzles 14 pivotable about axes 13 are arranged above and below the drawer 18. The pivoting movement of the nozzles 14 runs perpendicular to the translation direction 12.

Auf Grund der erfindungsgemäßen Anordnung schwenkt der Werkstückhalterungsrahmen 20 während seiner Hin- und Herbewegung in Translaüonsrichtung 12 zusätzlich um eine quer dazu liegende Kippachse 11, welche schematisch als genau durch den Stift 23 verlaufend dargestellt ist. Dies ist jedoch kein unbedingtes Erfordernis; die Kippachsc 11 kann auch an anderer Stelle verlaufen, sie sollte jedoch in jedem Falle quer zur Translationsrichtung 12 liegen.Due to the arrangement according to the invention, the workpiece holder frame 20 pivots during its back and forth movement in the translaüonsrichtung 12 in addition to a transverse to it Tilting axis 11, which is shown schematically as running exactly through pin 23. However, this is not an absolute requirement; the Kippachsc 11 can also run elsewhere, it should however, they are always transverse to the direction of translation 12.

Das Sieb 19 hat den Zweck, herausgeätzte Teile des Werkstückes aufzufangen. Durch die gezeigte Anordnung der Siebdrähte wird auch auf der Unterseite des Werkstückes eine weitgehend gleichmäßige Ätzung gewährleistet. Die erfindungsgemäßeThe purpose of the sieve 19 is to collect parts of the workpiece that have been etched out. Through the shown The arrangement of the screen wires is also largely uniform on the underside of the workpiece Etching guaranteed. The inventive

ίο Schwenkbarkeit des Werkstückhalterungsrahmens 2(1 um die Kippachse 11 bleibt auch dann sinnvoll, wenn nur die obere Gruppe von Düsen 14 vorgesehen ist.ίο Pivotability of the workpiece holder frame 2 (1 around the tilt axis 11 remains useful even if only the upper group of nozzles 14 is provided is.

Um die Hin- und Herbewegung sowie die gering-To ensure the back and forth movement as well as the slight

fügige Kippbewegung des Werkstückhalterungsrahmens 20 zu veranschaulichen, ist dieser außer ir seiner Mittellage zusätzlich teilweise in zwei weiteren Stellungen in strichpunktierten Linien angedeutet.
Um den Antrieb des WerkstückhalterungsrahmensTo illustrate compliant tilting movement of the workpiece holder frame 20, this is indicated in addition to its central position in two other positions in dash-dotted lines.
To drive the workpiece holder frame

unmöglich zu machen, wenn die Schublade 18 herausgezogen wird, ist ein nicht dargestellter Sicherheitsschalter vorgesehen, der den Antrieb 23, 24 anhält, noch bevor die Führungsleisten 26 sowie deren Gegenstücke 27 in Eingriff kommen. Der Antrieb ist außerdem so ausgebildet, daß er beim Abschalten stets in der in der Zeichnung veranschaulichten Mittelstellung zum Halten kommt.impossible to make when the drawer 18 is pulled out is a safety switch, not shown provided, which stops the drive 23, 24 even before the guide rails 26 and their Counterparts 27 come into engagement. The drive is also designed so that it is switched off always comes to a halt in the middle position illustrated in the drawing.

Innerhalb des WerkstückhaUerungsrahmens 20 sind außer dem Sieb 19 normalerweise noch Kicrnrn- oder Halterungsvorrichtungen für ein platten- odei folienartiges Werkstück vorgesehen, welche jedocli der Übersichtlichkeit halber in der Zeichnung nich! dargestellt sind.In addition to the sieve 19, Kicrnrn- or holding devices for a plate or sheet-like workpiece provided, which jedocli not in the drawing for the sake of clarity! are shown.

Hierzu 1 Blatt Zeichnungen1 sheet of drawings

Claims (16)

Patentansprüche:Patent claims: 1. Bewegliche Werkstückhalterung in Ä;zmaschinen, mittels der ein Werkstück zwischen einem unteren und einem oberen Satz von Sprühdüsen angeordnet werden kann und in einer Horizontalebene hin- und herbewegbar ist, dadurch gekennzeichnet, daß der Hin- und Herbewegung eine periodische Kippbewegung um eine quer zur Translationsrichtung (12) verlaufende Kippachse (11) überlagert ist1. Movable workpiece holder in Ä; zmaschinen, by means of a workpiece between a lower and an upper set of spray nozzles can be arranged and is reciprocable in a horizontal plane, thereby characterized in that the reciprocating movement is a periodic tilting movement is superimposed on a tilting axis (11) running transversely to the translation direction (12) 2. Werkstückhalterung nach Anspruch 1 bei Ätzmaschinen mit um parallel zueinander verlaufende Achsen hin- und herschwenkbaren Düsen, dadurch gekennzeichnet, daß die Kippachse (11) senkrecht zu den Schwenkachsen (13) der Düsen verläuft.2. Workpiece holder according to claim 1 in etching machines with parallel to each other Axes that can be swiveled back and forth, characterized in that the tilt axis (11) runs perpendicular to the pivot axes (13) of the nozzles. 3. Werkstückhalterung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die überlagerte Translations- und Kippbewegung durch in Bewegungsrichtung schräg ansteigende bzw. abfallende Aufiauframpen (15), die mit Rollen (16), Kugeln oder Gleitstücken zusammenarbeiten, erzielt wird.3. Workpiece holder according to one of the preceding claims, characterized in that that the superimposed translational and tilting movement through oblique in the direction of movement rising or falling ramps (15) with rollers (16), balls or sliders work together is achieved. 4. Werkstückhalterung nach Anspruch 3, dadurch gekennze'-.knet, daß die Rollen (16), Kugeln oder Gleitstücke an einem Werkstückhalterungsrahmen (20) und die schrägen Auflauframpen (15) an dessen Unter1 age (21) vorgesehen sind.4. Workpiece holder according to claim 3, characterized gekennze '- knet that the rollers (16), balls or sliding elements are provided on a workpiece holding frame (20) and the oblique ramps (15) on whose lower 1 age (21).. 5. Werkstückhalterung nach Anspruch 4, dndurch gekennzeichnet, daß der Werkstückhalterungsrahmen (20) Mittel zum Festklemmen eines platten- oder folienarti3en, zu ätzenden Werk-Stückes aufweist.5. workpiece holder according to claim 4, characterized in that the workpiece holder frame (20) Means for clamping a plate-like or foil-like work piece to be etched having. 6. Werkstückhalterung nach Anspruch 4 oder 5, dadurch gekennzeichnet, daß die Auflauframpen (15) sich an der Innenseite der beiden Stirnteile (21) einer rahmenartigen, keinen Boden aufweisenden Schublade (18) befinden, welche zur Be- und Entladung aus der Ätzkammer herausziehbar ist.6. workpiece holder according to claim 4 or 5, characterized in that the ramp ramps (15) on the inside of the two front parts (21) of a frame-like, not having a bottom Drawer (18) are located, which can be pulled out of the etching chamber for loading and unloading is. 7. Werkstückhalterung nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, daß die Auflauframpen (15) an den beiden Enden flacher Schienen (22) ausgebildet sind, welche an den Innenseiten der Stirnteile (21) befestigt sind.7. workpiece holder according to claim 6, characterized in that the ramp ramps (15) are formed at the two ends of flat rails (22), which on the inner sides of the Front parts (21) are attached. 8. Werkstückhalterung nach einem der Ansprüche 4 bis 7, dadurch gekennzeichnet, daß im Bereich der vier Ecken des Werkstückhalterungsrahmens (20) je eine Rolle (16) vorgesehen ist, von denen je zwei auf einer Achse liegen und jeweils mit einer schrägen Auflauframpe (15) zusammenwirken.8. Workpiece holder according to one of claims 4 to 7, characterized in that im A roller (16) is provided in the area of the four corners of the workpiece holder frame (20), two of which are on one axis and each with an inclined ramp (15) cooperate. 9. Werkstückhalterung nach einem der Ansprüche 3 bis 8, dadurch gekennzeichnet, daß der Ansticgswinkel der Auflauframpen (15) zu beiden Seiten der Kippachse (11) gleich ist.9. workpiece holder according to one of claims 3 to 8, characterized in that the starting angle of the ramp ramps (15) is the same on both sides of the tilt axis (11). 1.0. Werkstückhalterung nach einem der Ansprüche 3 bis 9, dadurch gekennzeichnet, daß der Anstiegswinkel der Auflauframpen (15) 10 bis 40° beträgt.1.0. Workpiece holder according to one of Claims 3 to 9, characterized in that the rise angle of the ramp ramps (15) is 10 to 40 °. 11. Werkstückhalterung nach einem der Ansprüche 3 bis 10, dadurch gekennzeichnet, daß die Aufiauframpen (15) oben in ein ebenes Stück übergehen.11. Workpiece holder according to one of claims 3 to 10, characterized in that the ramps (15) merge into a flat piece at the top. 12. Werkstückhalterung nach Anspruch 11,12. Workpiece holder according to claim 11, dadurch gekennzeichnet, daß die Rollen (16) in Bewegungsrichtung einen solchen Abstand und die Rampen (15) nur eine solche Höhe aufweisen, daß alle Rollen (16) des Werkstückhalterungsrahmens (20) in der Mittellage auf dem ebenen Mittelstück dsr Schienen (22) stehen.characterized in that the rollers (16) in the direction of movement such a distance and the ramps (15) only have such a height that all rollers (16) of the workpiece holding frame (20) stand in the middle position on the flat middle section of the rails (22). 13. Werkstückhalterung nach einem der Ansprüche 4 bis 12, dadurch gekennzeichnet, daß am hinteren Ende des Werkstückhalterungsrahmens(20) eine Kupplung (17) befestigt ist, die eine trichterartige Ausnehmung (25) aufweist und in die ein Stift (23) eingreift, der mit einem hin- und hergehenden Antriebsteil (24) verbunden ist13. Workpiece holder according to one of claims 4 to 12, characterized in that a coupling (17) is attached to the rear end of the workpiece holding frame (20), which has a funnel-like recess (25) and into which a pin (23) engages, which with a reciprocating drive member (24) is connected 14. Werkstückhalterung nach Anspruch 13, dadurch gekennzeichnet, daß die Kupplung (17) im Bereich der Kippachse (11) angeordnet ist.14. Workpiece holder according to claim 13, characterized in that the coupling (17) is arranged in the area of the tilt axis (11). 15. Werkstückhalterung nach einem der Ansprüche 2 bis 14, dadurch gekennzeichnet, daß die Amplitude der Hin- und Herbewegung größer ist als der Düsenabstand in dieser Richtung.15. Workpiece holder according to one of claims 2 to 14, characterized in that the amplitude of the reciprocating movement is greater than the nozzle spacing in that direction. 16. Werkstückhalterung nach einem der Ansprüche 3 bis 15. dadurch gekennzeichnet, daß die Auflauframpen (15) geradlinig sind.16. Workpiece holder according to one of claims 3 to 15, characterized in that the ramp ramps (15) are straight.
DE19702054270 1970-11-04 1970-11-04 MOVABLE WORKPIECE HOLDER IN ETCHING MACHINES Granted DE2054270B2 (en)

Priority Applications (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE19702054270 DE2054270B2 (en) 1970-11-04 1970-11-04 MOVABLE WORKPIECE HOLDER IN ETCHING MACHINES
FR7139165A FR2112439B3 (en) 1970-11-04 1971-11-02
GB5112871A GB1306656A (en) 1970-11-04 1971-11-03 Movable workpiece mounting

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE19702054270 DE2054270B2 (en) 1970-11-04 1970-11-04 MOVABLE WORKPIECE HOLDER IN ETCHING MACHINES

Publications (2)

Publication Number Publication Date
DE2054270A1 DE2054270A1 (en) 1972-05-31
DE2054270B2 true DE2054270B2 (en) 1972-11-30

Family

ID=5787144

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE19702054270 Granted DE2054270B2 (en) 1970-11-04 1970-11-04 MOVABLE WORKPIECE HOLDER IN ETCHING MACHINES

Country Status (3)

Country Link
DE (1) DE2054270B2 (en)
FR (1) FR2112439B3 (en)
GB (1) GB1306656A (en)

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
FR3129348B1 (en) 2021-11-24 2024-01-12 Psa Automobiles Sa Method of assisting the driving of a motor vehicle and associated device and vehicle

Also Published As

Publication number Publication date
DE2054270A1 (en) 1972-05-31
GB1306656A (en) 1973-02-14
FR2112439A3 (en) 1972-06-16
FR2112439B3 (en) 1974-06-21

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE3416176C2 (en)
EP0585311B1 (en) Easel, especially for interchangeable picture frames, for use in artistic painting
DE4026098C1 (en) Room partition of displaceable wall elements - which have support bolts, each horizontally, slidably mounted w.r.t. another one
DE1602500B2 (en) CARRIER MOVABLE ON ROLLERS FOR TOOL SETS OF PRESSES
DE10228470A1 (en) drawer guide
DE3016940A1 (en) Orientating oblong-section containers on moving conveyor - using endless friction belts to either side moving forward at different speeds
WO1999010116A1 (en) Bending machine
AT515638B1 (en) Pull-out guide for a drawer
DE2054270B2 (en) MOVABLE WORKPIECE HOLDER IN ETCHING MACHINES
DE1104713B (en) Device for tilting a support
DE3220489A1 (en) Screen printing machine
DE2750086A1 (en) Kitchen cupboard with door and pull-out basket - has rails on which these slide, and is fitted with height adjustment pieces
AT398309B (en) DEVICE FOR COATING SPACER FRAME
DE2634924A1 (en) Cupboard unit for corner - has two covers connected by levers so that movement of one causes other to slide over
DE2701571A1 (en) Universal rolling mill with roll changing cassette - which has wear resistant rails carrying the roll chocks
DE1622982B2 (en) Device for viewing photographic recordings, in particular X-ray recordings
DE1290902B (en) Device for rounding dough
DE1452017C3 (en) Setting up and moving device for rolled bars, in particular for profiles
DE102010032237B4 (en) Handling device for loading and unloading a tool of a thermoforming machine
DE1571652A1 (en) Push rod for Koksausdrueckmaschinen
DE2914374C2 (en) Device for adjusting a swiveling bed frame part
DE2914373C2 (en) Device for adjusting a swiveling bed frame part
DE259341C (en) Device for turning cigar rolls lying in molds
DE7225665U (en) Bending device
DE644210C (en) Device for clamping photographic films in developing frames

Legal Events

Date Code Title Description
C3 Grant after two publication steps (3rd publication)