DE2049077A1 - Verfahren zur Handhabung von elektri sehen Traganschluss Vorrichtungen - Google Patents

Verfahren zur Handhabung von elektri sehen Traganschluss Vorrichtungen

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DE2049077A1 DE19702049077 DE2049077A DE2049077A1 DE 2049077 A1 DE2049077 A1 DE 2049077A1 DE 19702049077 DE19702049077 DE 19702049077 DE 2049077 A DE2049077 A DE 2049077A DE 2049077 A1 DE2049077 A1 DE 2049077A1
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Description

Patentanwalt
7 Stuttgart N. Menzelstraße 40
Western Electric Company Inc.
195, Broadway
New York / USSA -6. Okt, 1970
A 31 922 fd
Verfahren zur Handhabung von elektrischen Tfraga ns eh luss-Vorrichtungen
Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Handhabung von elektrischen Traganschluss-Vorrichtungen an einer Bearbeitun',ss ta tion, insbesondere einer Prüf station, bei dem die zugejrfführten Vorrichtungen unter Ausrichtung ihrer Traganschlüsae in einer vorgegebenen Koordinatenrichtung (X-Z) in einem Halterun, ,swachs auf einem Substrat angeordnet und aufeinanderfolgend an einem ersten Festpunkt in Stellung gebracht sowie aufeinanderfolgend unter Aufrechterhaltung ihrer Ausrichtung von dem ersten Festpunkt zu einem zweiten Festpunkt an der mit in der vorgegebenen Koordinatenrichtung angeordneten Anschlüssen, insbesondere PrUfanschlüssenen versehenen Bearbeitungsstation überführt werden. Derartige Arbeitsverfahren treten insbesondere bei der Herstellung von integrierten Schaltungen auf, die mit beispielsweise als mikroskopische Kragbalken ausgebildeten TragansohlUssen versehen sind. Verbreitet kommen solche Arbeitsgänge vor allem beim Prüfen und AnschHessen bzw. Befestigen solcher integrierten Schaltungen oder anderer elektrischer bzw. elektronischer Bauteile an SchaItung^ubstraten zur Anwendung. Im folgenden werden derartige Elemente kurz als "Traganschluss-Vorrichtungen11 bezeichnet.
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BAD CrüGiNAL
Nach der Herstellung und dem Abätzen werden Traganschluss-Vorrichtungen la allgemeinen zu einer Prüfstation Überführt, und zwar eingebettet In Halterungswachs auf einer SaphieVscheibe, wobei die TraganschlUsse wie bereits erwähnt in einer vorgegebenen Koordinatenrichtung und die einzelnen Vorrichtungen voneinander in einem bestimmten Mittelpunktsabstand angeordnet sind. Jede Vorrichtung wird hier elektrisch geprüft und anschliessend zur Lagerung, zur Vorbereitung der Anschlussverbindung oder auch als Ausschuss in den Abfall weiterbefördert.
Es sind bereits zahlreiche Hilfsmittel und Systeme zur Erleichterung der Handhabun.; von Vorrichtungen der erwähnten Art vorgeschlagen worden, „edoch war die für die Handhabung aufzuwendende Zeitdai& und die Fördergeschwindi^keit unbefriedigend. Eine ochwierigkeit bestand hierbei vor allem darin, dass jede Vorrichtung vor dem PrUfen aus dem Halterun^swachs auf einen Träger und sodann auf einen PrUfhalter überführt werden muss. Hierbei wird die Ausrichtung der Vorrichtungen oft gestört, so dass zur Vermeidung ungeauer PrUfresultate ein erneutes Ausrichten erforderlieh I^ t. In anderen Fällen wurde eine elektrische Prüfung der Vorrichtungen von ihrer Rückseite aus mit Hilfe von nadeiförmigen Sonden während der Anordnung der Vorrichtungen im Halterungswachs angewendet. Hierbei tritt Jedoch häufig infolge des Angriffes der nadeiförmigen Sonden eine seitliche Verschiebung der Vorrichtungen auf, wodurch die einzuhaltenden, engen Maßtoleranzen für die Anschlußverbindungen verloren gehen.
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BAD
Bei zahlreichen System besteht ferner eine Schwierigkeit darin, dass die Aufnahmewerkzeuge nicht genügend vielseitig ausgebildet sind, um die Prüf- und Anschlussabeiten in einer Folge unter zuverlässiger, genauer ausrichtung der Vorrichtungen in jedem Arbeitsüchritt durchführen zu können. Einige z.Zt. praktisch verwendeten Aufnahmewerkzeu.se sind z.B. nicht fUr das Verbinden einer Tramanschluss-Vorrichtung mit einem Jabstat geeignet, sondern können lediglich eine verklebungsartige Haftverbindung bei erhöhter Temperatur des Substrates herstellen. Aufgabe der Erfindung ist daher die Verminderung der für das Prüfen von Tragansohluds-Vorrichtungen aufzuwendenden Zeitdauer und ".rbe its kos ten sowie die Steigerung der Pörder- bzw. Arbeitsgeschwindigkeit während der Prüf- und Verblndungsschritte bei der Herstellung von Traganschluss-Vorrichtungen. ü\e erfindungsgemässe Lösung dieser Aufgabe kennzeichnet sich bei einem Verfahren der eingangs erwähnten Art hauptsächlich dadurch, dass Jede Vorrichtung an dem ersten Festpunkt durch pulsartige Erhitzung eines Aufnahmekopfes unter Herbeiführung einer leichten Haftung-an den Traganschlüssen festgelegt wird. Auf diese Weise entfällt die Notwendigkeit einer Ausrichtung der einzelnen Vorrichtungen bevor diese in Berührung mit einem Prüfhalter gebracht bzw. bevor sie nachfolgend an ein Schaltungssubstrat angeschlossen werden. Ausserdem sind die Traganschlüsse hierbei während der Prüf- und Verbindungsarbeiten besser geschützt. Weiterhin entfallen besondere Aufnahme-Arbeitsschritte für das Prüfen und Anschliessen der Vorrichtungen.
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Bei einer speziellen AusfUhrungsform des erfindungs^eimUssen Verfahrens wird jede Vorrichtung aus ihrer genau ausgerichteten Lage auf einer mit Halterungswaohs versehenen Saphirscheibe mittels eines Handhabungswerkzeugs aufgenommen, bei dem die Halterun; und Lagesicherung der betreffenden Vorrichtung mittels einer Kombirafclon von Saugkräften und HaftkrMften verwirklicht wird. Das Werkzeug wird sodann mittels einer hochgenauen Einstellvorrichtung auf einen entsprechenden Prüfhalter sowie danach auf eine Substratstation ausgerichtet, wo die Vorrichtung angeschlossen bzw. mit Hilfe eines Luftstromes vom Werkzeug abgelöst und in den Auschuss gefördert wird.
Bei einer bestimmten AusfUhrungsform einer hierfür vorgesehenen Arbeitseinrichtuncs wird ein pulsartig aufheizbarer und rechteckig-kammerförmig ausgesparter, aus Titancarbid bestehender Aufnahmekopf verwendet. Die Kanten der Kaaraerförmigen Ausnehmung treten mit allen Traganschliissen einer Vorrichtung in Berührung, während die Kammer selbst den z.B. aus Silizium bestehenden Halbleiterkörper der Vorrichtung aufnimmt. Innerhalb der Kammer wird zur Unterstützung der Aufnahmewirkung Unterdruck sowie für das Absetzen oder Abwerfen ein pulsartiger überdruck erzeugt.
Es kann beispielsweise ein im Temperaturbereich zwischen 1000C und 3000C flüssiges Halterungswachs verwendet werden. Aufheizpulse mit Wechselstrom von etwa 100 A und einer Zeitdauer von etwa 1 Sekunde bringen den Aufnahmekopf auf eine Spitzentemperatur von etwa 950° C, wobei sich an den Vorrichtungen jedoch nur
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eine Temperatur von etwa 300° C ergibt.
Im Verfahrensablauf wird die Saphirscheibe, welche die Vorrichtungen trägt, z.B. mit Hilfe eines optischen Verfahrens ^emäss einer bestimmten, vorgegebenen Bewegun: des Aufnahmekopfes eingestellt. Beispielsweise kann die Scheibe so eingestellt werden, dass die Traganschllisse mit einer den Aufnahmekanten des Kopfes entsprechenden Koordinatenrichtung (X-Z) fluchten. Der Kopf wird dann m Über einer bestimmten Vorrichtung in Stellung gebracht und hier abgesenkt, bis die Aufnahmekanten unter einer vorbestimmten,abwärts gerichteten Kraft mit den Traganschlüssen der Vorrichtung in Berührung treten. Sodann wird der Kopf mit einem Stromstoss beaufschlagt und dadurch das Halterungswachs unterhalb der aufzunehmenden Vorrichtung sowie rings um diese durch die entsprechende ölheizung des Kopfes zum Schmelzen gebracht. Ferner wird hierdurch eine Haftverbindung zwischen den TraganschlUssen und den Aufnahmekanten des Kopfes hergestellt. Ein Unterdruck von etwa 254 mm Quecksilbersäule in der Aufnahmekammer des Kopfes unterstützt den AufnähmeVorgang.
Die so am Kopf festgelegte Vorrichtung wird vom Wachs abgehoben, ohne dass letzteres am Körper oder an den TraganscHUssen der Vorrichtung anhaftet. Auch eine Lageänderung der benachbarten Vorrichtungen kann hierbei nicht auftreten. Der Kopf wird sodann auf eine Priifhalterun; mit den TraganschlUssen in ihrer geometrischen Anordnung entsprechenden Anschlüssen eingestellt. Die PrUfhalterung ist in Vertikalrichtung nachgiebig ausgebildet, so dass etwaige
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Höhendifferenzen zwischen den TragansohlUssen ausgeglichen werden. Sodann wird eine vollständige dynamische Prüfung zur Peststellung der Wechselstrom-Kennwerte der Vorrichtung durchgeführt.
Nach dem PrüfVorgang kann der Kopf auf eine beliebige von mehreren nachfolgenden Bearbeitungsstationen eingestellt werden. Beispielsweise Kann die untersuchte Vorrichtung durch Einstellen des Kopfes auf ein üchaltungssubstrat unmittelbar mit diesem verbunden werden, wobei ein weiterer geeigneter Aufheiz-ütromstoss die für eine vollständige Anschlussverbindun/<; erforderliche Werkzeugtemperatur herstellt. Andererseits kann das Werkzeug ggf. auch nur so weit erhitzt werden, dass sich nur eine Haftverbindung ergibt, die später durch Preßschweissen oder ein anderes Verfahren verstärkt wird. Weiterhin können die Vorrichtungen mit Hilfe des Kopfes auch in geeigneter Aufeinanderfolge mit gegenseitigem Abstand für Zwecke der Lagerung wieder in das Halterun^swachs eines Trägers eingebettet werden.
Die Wiedereinbringung einer Vorrichtung in das Halterungswachs und das Lösen der Vorrichtung vom Werkzeug kann durch Aufheizen des letzteren und ansohllesende Wiederverfestigung des umgebenden Wachses vor dem Anheben des Kopfes herbeigeführt werden, üie Vorrichtungen können in reselmassiger Anordnung auf harten oder auf mit welchem, kleb fähigem Material beschichteten Trägern durch Anpressen gegen die Trägeroberfläche und Abschalten des Unterdruokes im Werkzeug abgesetzt werden. Dieses Absetzen kann ferner durch
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Einführen von Gas unter niedrigem Druck in die Aufnahmekammer des Werkzeugs erleichtert werden. Durch stärkere Druckbeaufschla.inirv* der Aufnahmekamraer kann die jeweils anhaftende Vorrichtung auch - beispielsweise als Ausschuss - abgeworfen werden.
Weitere Merkmale und Vorteile der Erfindung ergeben sich aus der folgenden Beschreibung von 'lusführun,;sbeispielen anhand der Zeichnungen. Hierin zei-t
Piß. 1 eine schematisch-perspekti/vische Gesamtdarstellung eines erfindungs^emässen Handhabungs sys tems,
Pig. 2 eine perspektivische Seitenansicht eines
Aufnahmekopfes,
Pig. 3, 4 und 5
jeweils eine Stellung des erfindungsgemässen Aufnahme kopfes innerhalb derArbeitsf ol/^e , jeweils in perspektivischer Darstellung,
Pig. 6 eine Prüfhalterung in Zusammenwirkung mit einem Aufnahmekopf bei der Durchführung des erf indun^sgemlissen Verfahrens und
Pig. J eine schematisch-perspektivische Gesamtdarstellung einer anderen Ausführungsform eines Handhabunr;ssystems -emäss der irfindun^.
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Bei der in Pi4J. 1 dargestellten Anlage ißt an einer Aufnahmestation 10 eine grössere Anzahl von Traganschluss-Vorrichtungen 11 in einem Halterungswachs angeordnet. Die Positionierung und Ausrichtung der Vorrichtungen innerhalb des Wachses ist durch den vorangehenden Ätzschritt des Herstellungsverfahrens gejeben, wobei die einzelnen Vorrichtungen aus dem Zusammenhang einer grösseren Herste 1lungseinheit herausgelöst wrden sind. Das Halterungswachs befindet sich auf einer Saphirscheibe 12. Ein mit hoher Genauigkeit gelagertes Aufnahmewerkzeu^ 15 kann auf vorgegebene Punkte innerhalb der X-Y-Ebene eines festen Koordinatensystems 9 eingestellt bzw. von diesen Punkten entfernt werden. Diese Einstellbewegung ist durch die in Fij;. 1 angedeuteten Bewegungsbahnen 13a dargestellt. Die Aufnahmestation 10 sitzt auf einem Tisch 8, der mit einem Fortschalt-Schrittantrieb versehen und in der X-Z-Ebene verstellbar ist. Bei einer geeigneten Sinstellbewegung des Tisches 8 gelangen also aufeinanderfolgende Vorrichtungen 11 unter den festen Aufnahmepunkt des Werkzeugs 13.
Eine PrUfhalterung 15 kann mit Hilfe von nicht dargestellten Antriebs- und Einstellmitteln ähnlich dem Tisch 8 in der X-Z-Ebene verstellt werden und ist im Normalfall beispielsweise mit einer zugehörigen PrUfaufnähme in eine mit dem festen PrUfpunkt des Werkzeugs 13 übereinstimmende Lage eingestellt. Weiterhin ist eine Verbindungsstation 16 fUr das Ansohllessen von Vorrichtungen an ein Substrat bzw. ein Lagerungsträger vorgesehen. Eine derartige Station ist ebenfalls in der X-Z-Ebene derart einstellbar.
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dass Übereinstimmung der Lage des Werkzeugs 13 einerseits und einer vorgesehenen Anschlußstelle oder der für eine Vorrichtung vorgesehenen AbsetzstelLe innerhalb einer gewünschten X-Z-Anordnung andererseits hergestellt werden kann. Bei der Prüfung innerhalb der Halterung als fehlerhaft festgestellte Vorrichtungen werden in einen lusschußbehälter 7 abgeworfen.
Der gegenseitige Mittelpunktsabstand der Vorrichtungen innerhalb des Jialfcerungswachsesauf der Scheibe 12 richtet sich im einzelnen nach der örösse der Vorrichtun :en und dem vorgesehenen Kantenabstand der einzelnen Vorrichtun ;en. Für den Mitteipunktsabstand kommt ein Wert von z.B. etwa 1,75 nun in Betracht. ηus.gehend von einer Ausrichtung der gesamten Scheibe 12 in der X-Z-Ebene lässt sich also das Werkzeug durch aufeinanderfolgende ochrittbewegungen des Tisches 6 so einstellen, dass entsprechend aufeinanderfolgende Vorrichtungen zur Prüfung und WeIterverarbeitung bzw. Weiterbeförderung aufgenommen werden können. In jedem Fall ist nur ein Aufnahmevorjan; des Kopfes für eine J de Vorrichtung erforderlich. Bei genauer Einstellung der Scheibe 12 im Aus <;angszustand ist für die einzelnen Vorrichtungen keine weitere Ausrichtung mehr erforderlich.
Das in Fi,",. 2 dargestellte Werkzeug 13 umfasst einen blockförmigen Kopf 14 mit einer in dessen Innerem gebildeten Auf nähme kammer Ha, deren Öffnung durch rech teekförmlg angeordnete Aufnahmekanten 14b begrenzt ist. Oe Stirnbreite dieser Kanten kann z.B. 0,125 nun und die Kantenlänge 1,7 mm betragen, je nach den Abmessungen der zu bearbeitenden
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BAD C';:O!NAL
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Traganschluae-Vorrichtungen über eine Öffnung 17 ist die Kammer 14a mit einer Pneunatikleitung 27a verbunden.
Der Kopf 14 ist durch Schweissen an Platinstreifen und 19 befestigt, die ihrerseits an Tragarmen 20 und 21 verschwelest sind. Letztere bestehen zweckmässig aus Nickel und stellen gleichzeitig eine elektrische Leitverbindung her. Mit Hilfe von Befestigung löchern 22? sind die Tragarme 20, 21 und damit das Werkzeug 13 an einer in Fic. 1 schematisch angedeuteten, aus einem X-Y-Teil 25a und einem X-Z-Teil 25b bestehenden Einstellvorrichtung befestigt. Weiterhin sind in der aus Fig. 2 ersichtlichen Weise beiderseits der Platinstreifen 18 und 19 warmeisolierende Blöcke 2k angeordnet, welche den Anpressdruck einer Klammer 23 auf den Kopf 14 Übertragen. Die StromzufUhren zum Kopf 14 erfolgt über die Platinstreifen 18 und I9 sowie Drähte 23a von einer L istun^s-Pulsquelle 26 (s. Fig. 1).
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Entsprechend einer erfindungsgemäßen Ausbildungsmöglichkeit sind die Außenflächen, im Beispielsfall die Aufnahmekanten 14b, elekt/risoh isolierend, so daß keine Störung des jeweils aufgenommenen Schaltungselementes bzw. der Traganschluß- Vorrichtung auftreten kann. Andererseits ist der Körper des Aufnahmekopfes 14 selbst elektrisch leitend, um eine unmittelbare Zufuhrung der Heizstrompulse zu ermöglichen.
Im Ausführungsbeispiel beisteht der Kopf Ik aus Titancarbld mit einer oxidierten Oberflächenschicht von einer Tiefe im Sngström-Bereich. Diese aus Titandioxid bestehende Schicht bietet die erwünschte Isolierung mit einer Betriebs-Durchbruchsspannung von etwa 100 Volt. Der Gleichspannungswiderstand zwischen Werkzeug und Traganschlüssen beträgt wenigstens 30 Megohm und die Kapazität zwischen dem Werkzeug und einem 0,05 mm breiten Traganschluß etwa 0,17 pP bei lOOMHz.
Der aus Titancarbid bestehende Körper des Kopfes Ik steht unmittelbar in Kontakt mit den Platinstreifen 18, 19 und erhält ._, hierüber die Heizstrompulse. Die Oxidschicht an den Aufnahmekanten des Kopfes erleichtert ferner die Bildung einer Haftverbindung mit den'Traganschlüssen. Insbesondere hat hierbei Titaxicai'bi ι den Vorteil einer hohen Temperaturbeständigkeit sowie üer Fähigkeit zur Bildung einer l'est anhaftenden Oxidc :hijht, üie ihrerseits eine gute Haft- bzw. Klebfähigkeit tSegerüber Gold aufweist. Die Leitfähigkeit ν η Titancarbid mach sich wiederum in einer raschen Aufheizung des Kopfes vorteilhaft bemerkbar.
Das in Pig. 1 dargestellte System umi'aut außer den Stellantrieben 25a und 2^b und der Pulsquelle 26 eine Pneumatikijuelle 27, eine Prüfschaltung 28 und eine Haupt-Steuers ^.haltung 2j. Der Stellantrieb 25a bewegt auf entsprechende Befehle von cer Steuerschaltung 29 hin das Werkzeug 1.5 in zeitlicher Aufeinanderfolge zu bestimmten X-iT-Koordinatenschnittpunkten im Verlauf eines Prüfzyklus. Der Stellantrieb 25b bewirkt in der
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BAD (}Γ·,:·α;«·ίΑί.
bereits erläuterten Weise die Einstellungen des Tisches 8 in zeitlicher Aufeinanderfolge. Auch die Pulsquelle 26 und die Pneumatikquelle 27 sowie die Prüfschaltung 28 sind an die Steuerschaltung 29 angeschlossen und werden in ihrem Arbeitsablauf von dieser bestimmt.
In den Figuren 3* 4 und 5 ist die Aufnahme einer Traganschluß-Vorrichtüng durch den Kopf 14 dargestellt. Gemäß Pig.3 1st der Tisch 8 auf die Aufnahmestellung des Kopfes 14 eingestellt, so daß letzterer bis zur Berührung seiner Aufnahmekanten 14b mit den TraganschlUssen 30 einer bestimmten Vorrichtung 11a abgesenkt werden kann. Die Anpreßkraft zwischen Werkzeug und Anschlüssen beträgt hierbei etwa 500 Gramm. In dieser Arbeitsstufe befindet sich das Halterungswachs, in welches die Vorrichtung 11a eingebettet ist, in festem Zustand. Wenn die Aufnahmekanten 14b des Kopfes gemäß Fig.4 die Traganschlüsse berühren, so gibt die Pulsquelle einen Heizstromstoß von etwa 100 Ampere und einer Dauer von etwa einer Sekunde über den Kopf, der dadurch entsprechend aufgeheizt wird. Das unterhalb des Kopfes und in dessen Umgebung befindliche Wachs wird hierdurch geschmolzen, während gleichzeitig eine Haft- bzw. Klebeverbindung zwischen den Aufnahmekanten 14b und einigen oder allen Traganschlüssen 30 entsteht. Währenddessen wird die Aufnahmekammer 14a von der Pjneumatikquelle 27 über Leitung 27a mit einem Unterdruck von etwa 254 mm Quecksilbersäule beaufschlagt.
Nach Herstellung der Haftverbindung mit den Anschlüssen bzw. Leitern der aufzunehmenden Vorrichtung und bei noch geschmolzenem Wachs wird der Kopf gemäß Fig.5 in Vertikalrichtung verstellt und damit die Vorrichtung 11a aus dem Wachs herausgehoben. Der Heizstromstoß kann vor dem Schmelzen des Wachses abklingen, da die im heißen Werkzeug gespeicherte Wärme für das Schmelzen des Wachses ausreicht.
Infolge der intermittierenden Aufheizung des Kopfes wird in dem erfindungsgemäßen System im Vergleich zu einer kontinuler-
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lichen Heizung weniger Wärme erzeugt. Die aufzunehmenden bzw. zu bearbeitenden Vorrichtungen können daher mit Sicherheit unter einer Temperaturgrenze gehalten werden, bei der Schäden eintreten, beispielsweise unter der eutektischen Temperatur von GoId-Silieium von 3800C. Bei gemessenen Spittfzentemperaturen des Kopfes von etwa 10000C blieb die Temperatur der Vorrichtungen in einem Bereich von nicht mehr als JOO C.
Die im einzelnen aus Fig.6 ersichtliche Prüfhalterung 15 umfaßt eine Druckplatte 35 mit auf deren Oberseite angeordneter, federnd nachgiebiger Aufnahme 36, deren Oberseite wiederum mit einer Tragschicht 37 für die Halterung von goldplattierten Kupferleitern 39 versehen ist. Letztere stimmen in ihrer Anordnung und Ausrichtung genau mit den Anschlüssen der Vorrichtungen 11 Uberein und treten mit diesen bei abgesenktem Kopf in Berührung. Ein über der Tragschicht 37 angeordnetes, aus Ton bestehendes Substrat38 umschließt aus Gold bestehende Leiter 42, die durch eine Öffnung 40 im Substrat 38 verlaufen und die erforderlichen Verbindungen zur Prüfschaltung 28 herstellen. Die Leiter 42 auf dem Substrat 38 stehen mit den Leitern 39 auf der Tragschicht 37 infolge der Anpressung durch die Aufnahme 36 in galyanischem Kontakt.
Eine zu prüfende Vorrichtung wird durch die Öffnung 40 abgesenkt und in Kontakt mit den Leitern 39 gebracht. Sodann iverden die vorgesehenen Prüfungen durchgeführt und die Ergebnisse der Steuerschaltung 29 zugeleitet.
Das Aufnehmen und Prüfen einer Vorrichtung im Umfang des bisher beschriebenen Verfahrensablaufes kann Innerhalb eines Zeitraumes von etwa fünf Sekunden oder weniger durchgeführt werden. Die bisherige, weit verbreitete Sondenprüfung und die Anwendung von Stichprobenverfahren können also erfindungsgemäß durch eine vollständige Prüfung sämtlicher Exemplare ersetzt werden.
Bei der Prüfung als unzureichend festgestellte Exemplare werden durch Beaufschlagung der Aufnahmekammer des Kopfes 14 mit einen
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Druckluftstoß von etwa 1,4 kp/cm , der über die öffnung 17 zugeführt wird, nach entsprechender Verstellung des Kopfes 14 in einen Ausschußbehälter 7 abgeworfen. Diejenigen Exemplare, welche die Prüfung bestehen, können in eine Verbindungsstation 16 überführt und dort in der vorgesehenen Stellung an ein Substrat 50 angeschlossen werden. Anderenfalls können die mit gutem Ergebnis geprüften Exemplare auch auf einen ge/eigneten Träger, beispielsweise eine mit Weichmaterial beschichtete Glasplatte, abgelegt werden. PUr die Beschichtung kommt z.B. ein unter dem Handelsnamen Sylgard bekanntes Material in Betracht.
Nach Absenken einer anzuschließenden Vorrichtung in Kontakt mit einem Substrat 50 wird der Kopf 14 wieder mit einem Heizstromstoß zur Herstellung einer Haftverbindung oder auch einer endgültigen Verbindung beaufschlagt, wobei das Substrat zweckmäßig in jedem Fall auf Raumtemperatur gehalten wird. Wenn mittels des Werkzeugs eine endgültige Verbindung hergestellt werden soll, so muß ein geeigneter Kraftausgleich vorgesehen werden, z.B. durch eine Schwenkbewegung des Werkzeugs, so daß die Traganschlüsse im wesentlichen gleichzeitig beaufschlagt werden.
Pig.7 zeigt eine erfindungsgemäße Anlage in Porm einer Produktionsstraße mit vier Stationen A, B, C und D, die alle mit einer gemeinsamen Prüfschaltung 4la in Zeitschachtelung zusammenwirken. Für jede dieser Stationen A bis D kommt eine Ausführung gemäß Plg.l in Betracht.
über die dargestellten Ausführungsbeispiele hinaus sind zahlreiche Abwandlungen unter sinngemäßer Anwendung der Erfindungsgedanken möglich.
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Claims (7)

Ansprüche
1. Verfahren zur Handhabung von elektrischen Tra^unschluÖ-Vorrichtun/jen an einer Bearbeitungsstation, insbesondere einer Prüfstation, bei dem die zu.geführten Vorrichtungen unter Ausrlchtun, Ihrer Tra.janschlUsse in einer vorgegebenen Koordi na tenr ichtun,; (X-Z) in einem Halterun^swachs auf einem Substrat angeordnet und aufeinanderfolgend an einem ersten Pestpunkt in Stellung gebracht sowie aufeinanderfolgend unter Aufrechterhalten^ ihrer Ausrichtung von dem ersten Pestpunkt zu einem zweiten Festpunkt an der mit In der vorgegebenen Koordinatenrichtung angeordneten Anschlüssen, insbesondere PriifanschlUssen, versehenen Bearbeitungsstation überfuhrt werden, dadurch gekennzeichnet, dass jede Vorrichtung (11a) an dem ersten Pestpunkt (1ο-) durch pulsartige Erhitzung eines Aufnahmekopfe 3 (14) unter HerbeifUhrung einer leichten Haftung an den Traganschlilssen (j50) festgelegt wird.
2. Verfahren nach \nspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die jeweils anhaftende Vorrichtung an einem dritten Pestpunkt (7) durch Beaufschlagung mit einem Gasstrom von dem Aufnahmekopf gelöst wird.
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BAD OHiGlNAL
-r-
4b
3. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass der Aufnahmekopf In eine mit einer vorgegebenen Zone im Bereich eines vierten Festpunktes (16) fluchtende Ausrichtung gebracht und die betreffende Vorrichtung auf der vorgegebenen Zone abgesetzt wird.
4. Verfahren nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet« dass die Vorrichtungen an einer im Bereich des vierten Pestpunktes angeordneten Verbindungsstation durch pulsartiges Erhitzen des Aufnahmekopfes aufeinanderfolgend mit Schaltungesubstraten (50) verbunden werden.
5. Verfahren nach einem oder mehreren der vorangehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Festlegung der Vorrichtungen mittels eines Aufnahmekopfes durchgeführt wird, der einen blockförmigem kammerartig ausgepsarten und elektrisch leitfähigen Körper mit rechteckförmig ausgebildeten und elektrisch isolierenden Aufnahmekanten ( 14b) aufweist.
6. Verfahren nach Anspruch 5# gekennzeichnet durch die Verwendung eines wenigstens teilweise aus Titancarbid bestehenden Aufnahmekopfes mit eine Aussehschicht aus Titandioxid aufweisenden Aufnahmekanten.
7. Verfahren nach Anspruch 5 oder 6, dadurch gekennzeichnet, dass die kammerförmige Aussparung des Aufnahmekopfee wechselweise mit unter Druck fUr dta« Aufnehmen und mit Überdruck für das 4bs#tz#ri $#r Vorrichtungen b*iuf schlagt wird ^
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