DE2025686C3 - Method and device for diffusion coating of workpieces made of superalloys - Google Patents

Method and device for diffusion coating of workpieces made of superalloys

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DE2025686C3 DE19702025686 DE2025686A DE2025686C3 DE 2025686 C3 DE2025686 C3 DE 2025686C3 DE 19702025686 DE19702025686 DE 19702025686 DE 2025686 A DE2025686 A DE 2025686A DE 2025686 C3 DE2025686 C3 DE 2025686C3
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    • C23CCOATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
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Description

Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Diffusionsbeschichtung von Werkstücken aus Superlegierungen auf der Grundlage von Kobalt oder Nickel, wobei die Werkstücke in eine Pulvermischung einer zerkleinerten, aluminiumenthaltenden Legierung eingebettet und erhitzt werden.The invention relates to a method for diffusion coating workpieces made from superalloys based on cobalt or nickel, the workpieces in a powder mixture of a crushed, aluminum-containing alloy are embedded and heated.

Bei einschlägigen Verfahren hat man bereits bestimmte Verfahrensparameter angewandt, die jedoch außerhalb der nachfolgend gekennzeichneten neuartigen Lehre zum technischen Handeln liegen. Dies trifft zu z. B. auf den Aluminiumgehalt der in Anwendung kommenden Legierung sowie den Teilchengrößen-Bereich (USA.-Patentschrift 3 079 276 und USA.-Patentschrift 3 096 160).In the case of relevant processes, certain process parameters have already been used, but these lie outside of the novel teaching on technical action identified below. this applies e.g. B. on the aluminum content of the alloy used and the particle size range (U.S. Patent 3,079,276 and U.S. Patent 3,096,160).

Vergleichbares gilt auch für weitere vorbekannte Verfahren, nach denen unterschiedliche Zusammensetzungen der die Diffusionsbeschichtung bewirkenden Legierungen herangezogen werden, sowie hier-The same applies to other previously known methods according to which different compositions the alloys causing the diffusion coating are used, as well as here-

nach ein Halogen oder Halogenverbindung in Anwendung kommt (britische Patentschrift 911414).after a halogen or halogen compound is used (British Patent 911414).

Der Erfindung liegt nun die Aufgabe zugrunde, ein Verfahren der angegebenen Art zu schaffen, das es ermöglicht in einwandfreier und reproduzierbarer Weise Diffusionsbeschichtungen auszubildend, h. bei Werkstücken aus Superlegierungen die Beschichtungsdicke innerhalb eines vorgegebenen Rahmens aufzubringen, auch in Abhängigkeit von den technischen Erfordernissen auf einem Werkstück verschiedene Oberflächenbereiche mit unterschiedlichen Beschichtungsdicken zu versehen.The invention is now based on the object of creating a method of the specified type which enables diffusion coatings to be formed in a flawless and reproducible manner, h. at Workpieces made from superalloys, the coating thickness within a specified range to apply, also depending on the technical requirements on a workpiece different To provide surface areas with different coating thicknesses.

B wurde gefunden, daß es hierzu erforderlich ist, eine Mehrzahl an Verfahrensparametern innerhalb bestimmter Grenzwerte zu halten. Demgemäß ist es »5 kennzeichnend für den Erfindungsgegenstand, daß eine Legierung angewandt wird, die wenigstens 40% Aluminium enthält und deren Rest aus Chrom, Eisen, Nickel und Kobalt sowie üblichen Verunreinigungen besteht, das Pulver eine Teilchengröße von 0,29 bis 0,044 mm aufweist, die Pulvermischung mit den darin eingebetteten Werkstucken auf eine Temperatur von wenigsten 875° C mit einer Erhitzungsgeschwindigkeit von 540" C bis 650° C pro Stunde unter einem Druck von maximal 10 Mikron erhitzt, sodann bei einer Temperatur von etwa 875" C etwa 2,5 Stunden gehalten und sodann auf eine Temperatur von etwa 1050° C mit einer Erhitzungsgeschwindigkeit von 54O0-C bis 650° C pro Stunde erhitzt wird, unter Halten bei einem Druck von maximal 1 Mikron absolut, und sodann bei dieser Temperatur 5 bis 10 Stunden lang gehalten wird.It has been found that for this purpose it is necessary to keep a large number of process parameters within certain limit values. Accordingly, it is characteristic of the subject matter of the invention that an alloy is used which contains at least 40% aluminum and the remainder of which consists of chromium, iron, nickel and cobalt as well as common impurities, the powder has a particle size of 0.29 to 0.044 mm , the powder mixture with the workpieces embedded therein is heated to a temperature of at least 875 ° C at a heating rate of 540 "C to 650 ° C per hour under a pressure of a maximum of 10 microns, then at a temperature of about 875 " C about 2, is kept 5 hours and then heated to a temperature of about 1050 ° C at a heating rate of 54O 0- C to 650 ° C per hour, completely while maintaining it at a pressure of up to 1 micron, and then at this temperature for 5 to 10 hours is held long.

Ein Ausführungsbeispiel der Erfindung ist in den Zeichnungen dargestellt und wird im folgenden näher beschrieben. Es zeigtAn embodiment of the invention is shown in the drawings and will be described in more detail below described. It shows

Fig. 1 eine schematische Draufsicht, die eine Art und Weise der Beschickung einer Ofeneinheit zwecks Ausbilden der verjüngt zulaufenden Dicke des Überzugs eines Turbinenflügels zeigt, und zwar längs einer Ebene entsprechend B-B nach den Fig. 2, 3 oder 4,Fig. 1 is a schematic plan view showing a manner of loading a furnace unit for the purpose of forming the tapered thickness of the coating of a turbine blade, namely along a plane corresponding to BB of Figs. 2, 3 or 4,

Fi g. 2,3 und 4 schematische Ansichten, die weitere Anordnungen für das Ausbilden nicht einheitlicher Überzüge auf den Gegenständen zeigen, und zwar längs einer Ebene entsprechend A-A nach Fig. 1,Fi g. 2, 3 and 4 are schematic views showing further arrangements for the formation of non-uniform coatings on the objects, namely along a plane corresponding to AA of FIG. 1,

Fig. 5 eine der Fig. 1 ähnliche Ansicht und zeigt ein Beschickungsmuster, vermittels dessen ein einheitlicherer Überzug erhalten wird,Fig. 5 shows a view similar to Fig. 1 and shows a loading pattern by means of which a more uniform coating is obtained,

Fig. 6 eine schematische Ansicht im Schnitt eines vermittels des erfindungsgemäßen Verfahrens überzogenen Turbinenflügels,6 is a schematic view in section of a turbine blades coated by means of the method according to the invention,

Fig. 7 eine weggebrochene Ansicht, stark vergrößert, die schematisch ein vermittels des erfindungsgemäßen Verfahrens überzogenes Produkt wiedergibt,7 is a broken away view, greatly enlarged, which schematically represents a product coated by means of the method according to the invention,

F i g. 8 und 9 schematische Draufsicht und Aufriß einer Vakuumofenanordnung, und zwar teilweise weggebrochen.F i g. 8 and 9 are schematic plan and elevation views of a vacuum furnace assembly, in part broken away.

Der schematisch in den Fi g. 8 und 9 gezeigte Ofen weist eine Umkleidung 10 mit einer Erhitzungsanordnung, nicht gezeigt, auf, die in bekannter Weise unter Ausbilden jeder gewünschten Temperatur in dem Ofen und Halten des Ofens und dessen Inhaltes bei dieser Temperatur einreguliert werden kann. Durch eine Wand 12 der Umkleidung 10 erstreckt sich eine Leitung 14, die die Umkleidung mit einer Vakuumquelle, hier als eine Diffusionspumpe 16 und eine mechanische Pumpe 18 in Serie durch die Leitung 20 verbunden, verbindet. Eine weitere Leitung 22 verbindet das Innere der Umkleidung 10 mit einer Argon- oder anderen Inertgasquelie, die sich in einem Vorratsbehälter 24 befindet. Die Umkleidung der Erhifiungskammer 10 ist mit einem Herd 30 versehen, auf den eine oder mehrere Behälter 32, wie in den Fig. 1 bis 5 gezeigt, als oben offene Kannen aus Nikkei oder Stahl angeordnet werden können, wobei dieselben durch eine lose angepaßte Abdeckung 34 abgedeckt werden können. Dieselbe weist eine oder mehrere Durchlöcherungen 36 auf, um einen freien Gasaustausch zwischen der Erhitzungsumkleidung 10 und den einzelnen Behältern 32 zu ermöglichen und dienen weiterhin dazu, daß der Inhalt der einzelnen Behälter einem niedrigerem als Normaldruck dann unterworfen werden kann, sobald der Ofen 10 evakuiert wird oder Atmosphären gewünschter Zusammensetzung in den Ofen durch die Leitung 22 eingeführt werden.The schematically in Fi g. 8 and 9 has a casing 10 with a heating arrangement, not shown, in a known manner to form any desired temperature in the Oven and holding the oven and its contents can be regulated at this temperature. By a wall 12 of the casing 10 extends a conduit 14 which connects the casing to a vacuum source, here as a diffusion pump 16 and a mechanical pump 18 in series through the line 20 connected, connects. Another line 22 connects the interior of the casing 10 with an argon or other inert gas source located in a storage container 24. The casing of the heating chamber 10 is provided with a hearth 30 onto which one or more containers 32, as in FIG 1 to 5 shown as Nikkei open-top jugs or steel, the same covered by a loosely fitted cover 34 can be. The same has one or more perforations 36 to allow a free one To enable gas exchange between the heating jacket 10 and the individual containers 32 and also serve to ensure that the contents of the individual containers then have a lower than normal pressure may be subjected once the furnace 10 is evacuated or atmospheres of the desired composition into the furnace through line 22.

Wie in den Fig. 2,3 und 4 gezeigt, können die Behälter 32 und 32' und die Anordnung der zu aluminisierenden Gegenstände verändert werden unter Ausbilden einer Nichteinheitlichkeit in der Dicke des darauf aufgebrachten Aluminiumüberzuges. So kann z. B. eine Dickenveränderung dadurch erzielt werden, daß die Gegenstände radial um eine Metallstange oder Dorn 40, siehe die Fig. 1, verteilt werden. Der Dorn 40 kann an dem Boden des Behälters 32 verschweißt werden. Sobald die Umkleidung 10 erhitzt wird, fließt die Wärme in Richtung auf die Gegenstände durch die Wände der Behälter 32, 32', wie durch die Pfeile 42 wiedergegeben, und es fließt zusätzliche Wärme in Richtung auf die Gegenstände von den mittig angeordneten Metalldornen 40, 40'. Die Temperatur an einer beliebigen Steile auf der Oberfläche des Gegenstandes hängt von der Temperatur im Inneren der Erhitzungsumkleidung 10, der scheinbaren Wärmediffusionsfähigkeit des Packungsmaterials - im wesentlichen eine Funktion des Ofendrucks - und ebenfalls von der Entfernung von der Stelle an der Oberfläche des Gegenstandes bis zu der Oberfläche 32 und zu der Oberfläche des Doms 40 ab. Es wurde gefunden, daß die Anordnung nach der F i g. 1 sehr zweckmäßig für das Überziehen von Turbinenflügeln ist, und zwar selbst diejenigen, die eine Breite von nur 12,7 mm aufweisen, wobei die vorderen Kanten derselben einen stärkeren Überzug als die hinteren Kanten erfordern. Die vorderen Kanten werden am nächsten bezüglich der Wand der Retorte 32 und die hinteren Kanten benachbart zu den Metalldornen 40 angeordnet. Auf Grund der längs der Oberfläche der Gegenstände vorliegenden Temperaturdifferenz, und dies wird durch das Anwenden eines Vakuums noch verstärkt, das durch die Uberzugspackung zu einer geringen Wänneübertragungsgeschwindigkeit führt, wird mehr Uberzugsmaterial auf die wärmeren vorderen Kanten als auf die kühleren hinteren Kanten aufgebidcht, da ein dickerer Überzug auf der wärmsten Oberfläche des Gegenstandes aufgebracht wird, sowie der Überzug, der auf der kühlsten Oberfläche des Gegenstandes aufgebracht wird, dünner ist. Die Gesamtmenge des aufgebrachten Materials hängt an einer beliebigen Stelle sowohl von der Temperatur als auch dem Zeitintervall ab, innerhalb dessen diese Stelle ah der Oberfläche des Gegenstandes sich unter den Bedingungen des Aufbringens des Überzugs befindet.As shown in Figs. 2, 3 and 4, the containers 32 and 32 'and the arrangement of the objects to be aluminized can be changed while forming a non-uniformity in the thickness of the aluminum coating applied thereon. So can z. B. a change in thickness can be achieved in that the objects radially around a metal rod or Mandrel 40, see FIG. 1, are distributed. The mandrel 40 may be welded to the bottom of the container 32 will. As soon as the casing 10 is heated, the heat flows through towards the objects the walls of the containers 32, 32 'as indicated by the arrows 42, and additional heat flows in the direction of the objects from the centrally arranged metal spikes 40, 40 '. The temperature on any position on the surface of the object depends on the temperature inside the heating jacket 10, the apparent thermal diffusivity of the packing material - essentially a function of the furnace pressure - and also of the distance from the point on the surface of the article down to the surface 32 and to the surface of the dome 40. It was found, that the arrangement according to FIG. 1 is very useful for covering turbine blades, namely even those as small as 12.7mm in width, the leading edges of which are one require thicker coating than the rear edges. The leading edges will be closest related the wall of the retort 32 and the rear edges adjacent to the metal mandrels 40. Because of the temperature difference present along the surface of the objects, and this is increased by the application of a vacuum, which is reduced by the coating packing to a low one As the speed increases, more coating material is placed on the warmer front Edges than on the cooler rear edges, since a thicker coating is applied to the warmest surface of the item, as well the coating applied to the coolest surface of the article is thinner. The total amount of the applied material depends at any point on both the temperature and the time interval within which this point on the surface of the object is under the conditions of the application of the coating.

Fig. 6 zeigt einen Turbinenflügel, auf dem der Überzug eine unterschiedliche Dicke ausgehend von einem kleinsten Wert von 0,0445 mm an einem Ende aufweist, und zwar bedingt durch die Veränderung inFig. 6 shows a turbine blade on which the coating has a different thickness starting from has a smallest value of 0.0445 mm at one end due to the change in

dem Zeit-Temperatur-Verhältnis, wobei der Flügel eine Abmessung von 19 mm von dem vorderen bis zum hinteren Ende aufweist.the time-temperature relationship, with the wing measuring 19 mm from the front to to the rear end.

In der Fig. 2 ist der Stab 40' von einem dickeren oberen zu einem dünneren unteren Ende verjüngt zulaufend gezeigt, um so ein Erhitzungsmuster zu ergeben, das sich axial längs des Behälters verändert, und zum Zwecke der Erläuterung ist die Verjüngung hier übertrieben dargestellt.In Fig. 2, the rod 40 'is of a thicker one upper tapered to a thinner lower end so as to provide a heating pattern, which varies axially along the container, and for purposes of illustration is the taper shown here exaggerated.

Für den einschlägigen Fachmann ergeben sich ohne weiteres auch andere Beschickung muster für das Einregulieren der auf die zu überziehenden Gegenstände im Inneren des Ofens übertragenen Wärme. So sind z. B. nach der F i g. 3 die Gegenstände mit unterschiedlichen Entfernungen von der inneren Wand des Behälters 32 angeordnet, und nach der Fig. 4 ist der Behälter 32' verjüngt zulaufend und nicht zylindrisch ausgeführt.For the person skilled in the art, there are also other loading patterns for the Adjustment of the heat transferred to the objects to be coated inside the oven. So are z. B. according to FIG. 3 the objects at different distances from the inner wall of the container 32, and as shown in Fig. 4, the container 32 'is tapered and not cylindrical executed.

Das Diffusions-Überzugsverfahren wird in einem mäßigen Vakuum in nicht abgedichteten Behältern ausgeführt, wobei als Aluminiumquelle in dem aufgebrachten Überzug eine handelsgängige Legierung angewandt wird, die vorzugsweise aus 56 Gewichtsprozent Cr und 44 Gewichtsprozent Al besteht. Die Legierungen mit weniger als etwa 40 Gewichtsprozent Aluminium führen nicht zu einem guten NiAl- oder CoAl-Niederschlag, und diejenigen mit einem zu hohen Aluminiumgehalt schmelzen bei Temperaturen unter dem Temperatur-Grenzwert für dieses überzugsverfahren. Somit stellt ein kleinster Gehalt von etwa 40% Aluminium und ein größter Gehalt von etwa 489; Aluminium einen in etwa kritischen Bereich für das Ausgangsmaterial dar. Die Cr-Al-Legierung wird auf eine Teilchengröße von 0,2'J bis 0,044 mm zerkleinert und sodann mit etwa der Hälfte deren Gewichts an AKO,-Pulver etwa der gleichen Teilchengröße vermischt. Dieses Gemisch wird in die Behälter 32 eingegossen und die zu überziehenden Gegenstände SO werden auf das Bett des Gemisches gebracht und sodann mit weiterem Gemisch abgedeckt. Der Grund für das Anwenden eines Pulvers mit einer Teilchengröße in dem Bereich von 0.29 bis 0,044 mm wird weiter unten erläutert.The diffusion coating process is carried out in a moderate vacuum in unsealed containers executed, a commercially available alloy being used as the aluminum source in the applied coating , which preferably consists of 56 percent by weight Cr and 44 percent by weight Al. the Alloys with less than about 40 weight percent aluminum do not make a good NiAl or CoAl precipitation, and those with too high a Aluminum content melts at temperatures below the temperature limit for this coating process. Thus, a minimum content of about 40% aluminum and a maximum content of about 489; Aluminum is a roughly critical area for the starting material. The Cr-Al alloy is reduced to a particle size of 0.2'J to 0.044 mm and then about the same with about half their weight in AKO powder Particle size mixed. This mixture is poured into the container 32 and the to be coated Objects SO are placed on the bed of the mixture and then covered with more mixture. The reason for using a powder with a particle size in the range of 0.29 to 0.044 mm is explained below.

Es hat den Anschein, daß das Anwenden einer Legierung mit einem hohen Aluminiumgehalt und einem Schmelzpunkt erheblich über der Temperatur, bei der sich dieselbe erhitzt, wenn die Legierung in einem Vakuum zusammen unter Anwenden eines geringen Drucks während des Einbettens erhitzt wird, wie weiter unten erläutert, zu einem Verdampfen eines Teils des Aluminiums aus dem Legierungspulver und Niederschlagen des Dampfes auf die in dem Packungsmaterial eingebetteten Gegenstände führt. Es liegt stets eine Konkurrenz zwischen den zurückströmenden Ofenverunreinigungen - im wesentlichen Wasserdampf - und dem Aluminiumdampf vor, so daß dünnere an Aluminium verarmte Überzüge erhalten werden, wenn gröbere und somit weniger oberflächenaktive Pulver angewandt werden. Es können auch Pulver mit einer Teilchengröße von kleiner als 0,044 mm angewandt werden, jedoch ergeben sich hierdurch gesundheitliche Gefahren. Es ist zu beachten, daß erfindungsgemäß kein Aktivator oder Halogensalz, wie Ammoniumchlorid, wie es überlicherweise auf dem einschlägigen Gebiet herangezogen wird, zur Verwendung kommt. Es wurde jedoch gefunden, daß bei Anwenden einer sehr geringen Menge an Ammoniumchlorid in dem Ansatz der Überzugsmasse dasselbe dergestalt wirkt, daß jegliche restliche Luft aus der Uberzugspackung während des anfänglichen Erhitzens der Packung während des Verdampfens desselben herausgespült wird, und hierdurch ebenfalls die Geschwindigkeit der Wärmeübertragung zu Beginn während des Erhitzens der Packung von Raumtemperatur auf etwa 875° C erhöht wird.It appears that employing an alloy with a high aluminum content and a Melting point well above the temperature at which it heats when the alloy is in a vacuum heated together while applying a low pressure during embedding, as further explained below, to vaporize a portion of the aluminum from the alloy powder and precipitate it of the steam leads to the objects embedded in the packing material. It always lies a competition between the furnace contaminants flowing back - essentially water vapor - and the aluminum vapor, so that thinner aluminum-depleted coatings are obtained, when coarser and therefore less surface-active powders are used. It can also be powder with a particle size of less than 0.044 mm are used, but this results in health issues Drove. It should be noted that according to the invention no activator or halogen salt, such as Ammonium chloride, as it is commonly used in the relevant field, for use comes. However, it has been found that using a very small amount of ammonium chloride in the approach of the coating mass the same acts that any remaining air from the Overlay package during the initial heating of the package while it is evaporating is flushed out, and thereby also the speed of heat transfer at the beginning is increased from room temperature to about 875 ° C while heating the package.

Durch Unterbrechen des Erhit/ens nach Erhitzen der Packung auf eine Temperatur von etwa 875 C wurde gefunden, daß alle Spuren an Ammoniumchlorid hieraus verschwunden sind, bevor irgendein Überziehen eingetreten ist. sowie kein Halogenid verbleibt.By interrupting the heating after heating the pack to a temperature of about 875 ° C all traces of ammonium chloride were found to have disappeared therefrom before any coating has occurred. and no halide remains.

das während der nächsten Stufe bei dem Uberzugsverfahren als ein »Träger« wirkt.that during the next stage in the coating process acts as a "carrier".

Ein Beispiel für einen Erhitzungszyklus schließt ein Erhitzen zunächst auf 875 C mit einer Geschwindigkeit von etwa 650' V pro Stunde ein. während derAn example of a heating cycle includes heating initially to 875 C at a rate of about 650 volts per hour. during the

Erhitzungsofen einem Unterdruck unter Anwender der Pumpen 16 und 18 unterworfen wird, sodann Halten der Packung bei 875" C eine Zeitspanne von 2,5 Stunden lang unter einem Druck von 10 Mikron oder weniger, wodurch absorbierte Luft oder anderes Verunreinigungsgas aus der Packung entfernt werden, und sodann erfolgt ein Erhitzen auf etwa 1050' C in etwa 15 Minuten und Halten bei dieser Temperatur ^ bis K) Stunden lang. Sodann wird die Packung auf 650' C unter Aufrechterhalten eines Vakuums abge-The heating furnace is subjected to negative pressure using pumps 16 and 18, then hold of the package at 875 "C for a period of 2.5 hours under a pressure of 10 microns or less, reducing absorbed air or other Contaminant gas is removed from the package and then heated to about 1050 ° C in about 15 minutes and hold at this temperature for 1 to 4 hours. Then the pack opens 650 ° C while maintaining a vacuum

kühlt Sobald die Packung eine Temperatur von 650" C erreicht, wird die Vakuumleitung 14 verschlossen und Argon oder ein anderes Inertgas in die Umkleidung durch die Leitung 22 eingeführt, wodurch die Packung und deren Inhalt schnell auf einecools as soon as the pack has a temperature of 650 "C is reached, the vacuum line 14 is closed and argon or another inert gas into the Casing inserted through line 22, whereby the package and its contents quickly on a

Temperatur abgekühlt werden, bei der der Überzug nicht langer durch die Außenluft beeinflußt wird.Temperature at which the coating is no longer affected by the outside air.

Hierzu 1 Blatt Zeichnungen1 sheet of drawings

Claims (14)

Patentansprüche:Patent claims: 1. Verfahren zur Diffusionsbeschichtung von Werkstücken aus Superlegierungen auf der Grundlage von Kobalt oder Nickel, wobei die Werkstücke in eine Pulvermischung einer zerkleinerten, aluminiumenthaltenden Legierung eingebettet und erhitzt werden, dadurch gekennzeichnet, daß eine Legierung angewandt wird, die wenigstens 40% Aluminium enthält und deren Rest aus Chrom, Eisen, Nickel und Kobalt sowie üblichen Verunreinigungen besteht, das Pulver eine Teilchengröße von 0,29 bis 0,044 mm aufweist, die Pulvermischung mit den darin eingebetteten Werkstücken auf eine Temperatur von wenigstens 875° C mit einer Erhitzungsgeschwindigkeit von 540° C bis 650° C pro Stunde unter einem Druck von maximal 10 Mikron erhitzt, sodann bei einer Temperatur von etwa 875° C etwa 2,5 Stunden gehalten und sodann auf eine Temperatur von etwa 1050° C mit einer Erhitzungsgeschwindigkeit von 540" C bis 650° C pro Stunde erhitzt wird, unter Halten bei einem Druck von maximal 1 Mikron absolut, und sodann bei dieser Temperatur 5 bis 10 Stunden lang gehalten wird.1. Process for the diffusion coating of workpieces made of superalloys on the Based on cobalt or nickel, the workpieces in a powder mixture of a crushed, aluminum-containing alloy are embedded and heated, characterized in that, that an alloy is used which contains at least 40% aluminum and the remainder of chromium, iron, nickel and cobalt as well as usual impurities, the powder has a particle size of 0.29 to 0.044 mm has, the powder mixture with the workpieces embedded therein to a temperature of at least 875 ° C with a heating rate of 540 ° C to 650 ° C per hour below heated to a pressure of no more than 10 microns, then at a temperature of about 875 ° C Hold for 2.5 hours and then to a temperature of about 1050 ° C at a heating rate from 540 "C to 650 ° C per hour, while maintaining at a pressure of a maximum of 1 micron absolute, and then this Temperature is held for 5 to 10 hours. 2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß nach Ausbilden der Diffusionsbeschichtung ein Abkühlen auf Raumtemperatur unter Vakuum erfolgt.2. The method according to claim 1, characterized in that after forming the diffusion coating cooling to room temperature takes place under vacuum. 3. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß nach Ausbilden der Diffusionsbeschichtung eine Abkühlung auf Raumtemperatur durch Einwirkung eines kalten inerten Gases erfolgt.3. The method according to claim 1, characterized in that after forming the diffusion coating cooling to room temperature takes place through the action of a cold inert gas. 4. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß mit einer Pulvermischung bestehend aus einer Legierung aus 56 Gewichtsprozent Cr und 44 Gewichtsprozent Al gearbeitet wird.4. The method according to claim 1, characterized in that that with a powder mixture consisting of an alloy of 56 percent by weight Cr and 44 percent by weight Al is worked. 5. Verfahren nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß mit einer Pulvermischung bestehend aus etwa zwei Gewichtsteilen einer Metallegierung und einem Gewichtsteil eines inerten Metalloxides gearbeitet wird.5. The method according to claim 4, characterized in that consisting of a powder mixture from about two parts by weight of a metal alloy and one part by weight of an inert one Metal oxide is worked. ft. Verfahren nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, daß als inertes Metalloxid Al2O1 angewandt wird.ft. Process according to Claim 5, characterized in that Al 2 O 1 is used as the inert metal oxide. 7. Verfahren nach einem der vorangehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß zur Ausbildung von Diffusionsbeschichtungen unterschiedlicher Dicke die Werkstücke in die Pulvermischung in einem bestimmten Muster orientiert und angeordnet werden, sowie der Erhitzungsvorgang so ausgeführt wird, daß sich eine nicht-einheitliche Temperatur auf der Oberfläche der Werkstücke ausbildet, die Temperaturdiflerenz in Abhängigkeit von der gewünschten Dickendifferenz der Diffusionsbeschichtung gehalten wird.7. The method according to any one of the preceding claims, characterized in that for Formation of diffusion coatings of different thicknesses the workpieces in the powder mixture be oriented and arranged in a certain pattern, as well as the heating process is carried out so that a non-uniform temperature on the surface of the Forms workpieces, the temperature diflerence depending on the desired thickness difference the diffusion coating is held. 8. Verfahren nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, daß die Temperaturdifferenz ausgebildet wird auf Grund der Art der Einbettung der Werkstücke in der Pulvermischung.8. The method according to claim 7, characterized in that the temperature difference is formed is based on the way the workpieces are embedded in the powder mixture. 9. Verfahren nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, daß die Dickendifferenz der Diffusionsbeschichtung der Werkstücke dadurch ausgebildet wird, daß die mit einer dickeren Beschichtung zu versehenden Oberflächenteile in9. The method according to claim 7, characterized in that the thickness difference of the diffusion coating of the workpieces is formed in that the surface parts to be provided with a thicker coating are in einem relativ heißem Gebiet und die mit einer dünneren Beschichtung zu versehenden Oberflächenteile in einem relativ kaltem Gebiet der Pulvermischung angeordnet werden.a relatively hot area and the surface parts to be provided with a thinner coating be placed in a relatively cold area of the powder mixture. 10. Vorrichtung zum Durchführen des Verfahrens nach den vorangehenden Verfahrensansprüchen, dadurch gekennzeichnet, daß ein Gefäß {32) vorgesehen ist, das dazu dient die vermittels Diffusion zu überziehenden Gegenstände aufzunehmen, ein teilchenförmiges Uberzugsmaterial in dem Gefäß (32) für das Einbetten der zu überziehenden Gegenstände (50) vorliegt und die Gegenstände (50) in einer spezifischen Orientierung relativ zu der Vorrichtung hält, eine erste Erhitzungsanordnung (10) für das Erhitzen des Gefäßes (32,32'), des darin vorliegenden teilchenförmigen Materials und der in demselben eingebetteten Gegenstände (50), sowie eine zusätzliche Erhitzungsanordnung (30) im Inneren des Gefäßes vorgesehen ist, die erste Erhitzungsanordnung (10) und die zweite Erhitzungsanordnung (30) die Gegenstände (50) so erhitzen, daß wenigstens ein erstes Teil der Oberfläche der Gegenstände bei einer Temperatur über der durchschnittlichen Oberflächentemperatur der Gegenstände und ein zweites Teil der Oberfläche der Gegenstände bei einer Temperatur unter der durchschnittlichen Oberflächentemperatur der Gegenstände gehalten wird.10. Device for carrying out the method according to the preceding process claims, characterized in that a vessel {32) is provided, which serves to accommodate the objects to be coated by means of diffusion, a particulate coating material in the vessel (32) for embedding the coating material Objects (50) is present and the objects (50) in a specific orientation relative holding to the device a first heating arrangement (10) for heating the vessel (32,32 '), the particulate material present therein and the objects embedded therein (50), and an additional heating arrangement (30) is provided in the interior of the vessel, the first heating arrangement (10) and the second heating arrangement (30) heat the objects (50) so that at least one first part of the surface of the objects at a temperature above the average Surface temperature of the objects and a second part of the surface of the objects kept a temperature below the average surface temperature of the objects will. 11. Vorrichtung nach Anspruch 10, dadurch gekennzeichnet, daß das Gefäß (32, 32') wenigstens ein die Wärme leitendes Teil (40) eingebettet in dem Beschickungsgemisch für das Ändern des Wärmeflusses zu den Gegenständen (50) aufweist.11. The device according to claim 10, characterized in that the vessel (32, 32 ') at least a heat conductive member (40) embedded in the feed mix for changing the Has heat flow to the objects (50). 12. Vorrichtung nach Anspruch 11, dadurch gekennzeichnet, daß die Wärme leitende Teile (40) ein Metallstab sind.12. The device according to claim 11, characterized characterized in that the heat conductive parts (40) are a metal rod. 13. Vorrichtung nach Anspruch H), dadurch gekennzeichnet, daß eine Anordnung für das Aufrechterhalten eines Unterdrucks (16, 18) in dem gefäß (32, 32') vorgesehen ist.13. Apparatus according to claim H), characterized characterized in that an arrangement for maintaining a negative pressure (16, 18) in the vessel (32, 32 ') is provided. 14. Vorrichtung nach Anspruch K), dadurch gekennzeichnet, daß eine Anordnung (24) zum Ausbilden einer inerten Atmosphäre in dem Gefaß (32, 32') vorgesehen ist.14. The device according to claim K), characterized in that an arrangement (24) for Formation of an inert atmosphere in the vessel (32, 32 ') is provided.
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