DE202018102484U1 - Device for controlling and / or regulating a gas pressure - Google Patents

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Abstract

Vorrichtung zur Steuerung und/oder Regelung eines Gasdrucks, wobei die Vorrichtung (1) Folgendes umfasst:- eine Gasdruckmesseinrichtung (2) mit einem Gasdrucksensor (3) und- eine Bedieneinrichtung (4), dadurch gekennzeichnet, dass die Bedieneinrichtung (4) ein berührungsempfindliches Anzeigemittel (5) aufweist und die Vorrichtung (1) über das Anzeigemittel (5) bedienbar ist.Device for controlling and / or regulating a gas pressure, the device (1) comprising: - a gas pressure measuring device (2) with a gas pressure sensor (3) and an operating device (4), characterized in that the operating device (4) is a touch-sensitive Display means (5) and the device (1) via the display means (5) is operable.

Description

Die vorliegende Erfindung betrifft eine Vorrichtung zur Steuerung und/oder Regelung eines Gasdrucks gemäß dem Oberbegriff von Anspruch 1.The present invention relates to a device for controlling and / or regulating a gas pressure according to the preamble of claim 1.

Gasdrucksteuerungs- und/oder -regelungsvorrichtungen sind meist zugleich Gasdruckmessvorrichtungen und in verschiedenen Ausführungsformen bekannt. Gasdruckmessvorrichtungen werden häufig auch als Vakuummessgeräte oder Vakuummeter bezeichnet. Sie dienen zur Messung des physikalischen Drucks eines Gases oder eines Gasgemisches in einer abgeschlossenen Apparatur. In den meisten Anwendungen wird der absolute Gasdruck - also bezogen auf ein Vakuum - gemessen.Gas pressure control and / or -regelungsvorrichtungen are usually at the same time gas pressure measuring devices and in various embodiments known. Gas pressure gauges are often referred to as vacuum gauges or vacuum gauges. They are used to measure the physical pressure of a gas or a gas mixture in a sealed apparatus. In most applications, the absolute gas pressure - measured in relation to a vacuum - is measured.

Gasdrucksteuerungs- und/oder -regelungsvorrichtungen der in der Rede stehenden Art weisen eine Gasdruckmesseinrichtung mit einem Gasdrucksensor und eine Bedieneinrichtung auf. Der Gasdrucksensor wandelt einen physikalischen Gasdruck in eine zu diesem Gasdruck in eindeutiger Beziehung stehende, z.B. proportionale, elektrische Ausgangsgröße um. Bekannt sind zum Beispiel Gasdrucksensoren mit einer Membran aus Aluminiumoxid-Keramik. Zur Gasdruckmessung wird die Gasdruckmesseinrichtung mit der Apparatur verbunden, z. B. mittels einer gasdichten Leitung.Gas pressure control and / or regulation devices of the type in question have a gas pressure measuring device with a gas pressure sensor and an operating device. The gas pressure sensor converts a physical gas pressure into a unique relationship to this gas pressure, e.g. proportional, electrical output to. For example, gas pressure sensors with a membrane of alumina ceramic are known. For gas pressure measurement, the gas pressure measuring device is connected to the apparatus, for. B. by means of a gas-tight line.

Mittels der Bedieneinrichtung kann die Vorrichtung bedient bzw. beeinflusst, insbesondere der Gasdruck in der Apparatur gesteuert und/oder geregelt, werden. Aus der Praxis ist es bekannt, hierfür wenigstens ein mechanisches Bedienelement der Bedieneinrichtung, beispielsweise einen Drehregler oder eine Taste, zu verwenden. Zudem wird bei der bekannten Vorrichtung mittels der Bedieneinrichtung der gemessene Gasdruck der Apparatur über ein ausschließlich zur Informationsvermittlung vorgesehenes Anzeigemittel dargestellt. Der Nutzer kann somit zum einen über das Anzeigemittel der Bedieneinrichtung den aktuellen Gasdruck in der Apparatur ablesen und zum anderen über mechanische Bedienelemente den Gasdruck steuern und/oder regeln. Durch die Verwendung von mechanischen Bedienelementen ist der zur Verfügung stehende Platz für das Anzeigemittel stark begrenzt.By means of the operating device, the device can be operated or influenced, in particular the gas pressure in the apparatus can be controlled and / or regulated. From practice it is known to use for this purpose at least one mechanical operating element of the operating device, for example a rotary control or a button. In addition, in the known device by means of the operating device, the measured gas pressure of the apparatus is represented by a display means provided exclusively for conveying information. The user can thus on the one hand read off the current gas pressure in the apparatus via the display means of the operating device and on the other control and / or regulate the gas pressure via mechanical operating elements. The use of mechanical controls greatly reduces the available space for the display means.

Bei Erstellung von Prozessabläufen eines oder mehrerer Steuerungs- und/oder Regelungsprozesse/s werden neben dem Gasdruck auch noch weitere Parameter, wie die Zeitdauer eines Prozessschrittes und/oder die Drehzahl einer Vakuumpumpe eingestellt.When creating process sequences of one or more control and / or regulation processes, additional parameters, such as the duration of a process step and / or the speed of a vacuum pump, are set in addition to the gas pressure.

In diesem Zusammenhang ist es aus der Praxis bekannt, dass ein Prozessablauf als textueller Programmcode vorgegeben bzw. erstellt wird. Zur Veränderung bzw. zum Einstellen von Parametern innerhalb eines Prozessablaufes muss der erstellte Programmcode dementsprechend geändert werden. Der Programmcode kann auf einem externen Gerät gespeichert und/oder erstellt werden, wobei eine Übertragung des Programmcodes an die Bedieneinrichtung vorgesehen ist.In this context, it is known from practice that a process flow is specified or created as a textual program code. To change or set parameters within a process flow, the created program code must be changed accordingly. The program code can be stored and / or created on an external device, a transmission of the program code to the operating device being provided.

Jedoch hat sich in der Praxis gezeigt, dass die als Programmcodes hinterlegten Prozessabläufe und insbesondere die korrekte Reihenfolge von verschiedenen, hintereinander durchzuführenden Prozessschritten, wie Evakuierungs- und Belüftungszyklen, für den Anwender meist sehr schwer nachzuvollziehen sind. Dies mündet in einer Überforderung des Anwenders, die in einer falschen Bedienung oder einer nur beschränkten Nutzung der Vorrichtung enden kann. So werden meist nicht individuell angepasste Prozessabläufe verwendet, sondern zuvor erstellte Programmcodes, die anschließend nicht an den jeweiligen Anwendungsfall angepasst werden.However, it has been shown in practice that the process sequences stored as program codes, and in particular the correct sequence of different process steps to be carried out in succession, such as evacuation and ventilation cycles, are usually very difficult for the user to understand. This results in an excessive demand of the user, which can end in a wrong operation or a limited use of the device. For example, process sequences that are not individually adapted are used, but previously created program codes that are not subsequently adapted to the respective application.

Aufgabe der vorliegenden Erfindung ist es, die aus der Praxis bekannte Vorrichtung zur Steuerung und/oder Regelung eines Gasdrucks hinsichtlich Nutzungsmöglichkeiten und/oder Handhabung zu verbessern. Insbesondere ist es die Aufgabe der vorliegenden Erfindung eine einfache, insbesondere selbsterklärende bzw. intuitive, Bedienung der Vorrichtung zu ermöglichen.Object of the present invention is to improve the known from practice device for controlling and / or regulating a gas pressure in terms of uses and / or handling. In particular, it is the object of the present invention to enable a simple, in particular self-explanatory or intuitive, operation of the device.

Die obige Aufgabe wird durch eine Vorrichtung gemäß Anspruch 1 gelöst. Vorteilhafte Weiterbildungen sind Gegenstand der Unteransprüche.The above object is achieved by a device according to claim 1. Advantageous developments are the subject of the dependent claims.

Die Grundidee der vorliegenden Erfindung besteht darin, eine Vorrichtung bereitzustellen, die über ein berührungsempfindliches Anzeigemittel der Bedieneinrichtung bedienbar ist. Eine Bedienung der Bedieneinrichtung über ein berührungsempfindliches Anzeigemittel ist besonders einfach und komfortabel für den Anwender. Zudem kann eine Vielzahl von unterschiedlichen Einstellmöglichkeiten mit Hilfe des Anzeigemittels dem Nutzer zur Verfügung gestellt werden.The basic idea of the present invention is to provide a device which can be operated via a touch-sensitive display means of the operating device. An operation of the operating device via a touch-sensitive display means is particularly simple and convenient for the user. In addition, a variety of different settings using the display means can be made available to the user.

Vorzugsweise weist das Anzeigemittel eine grafische Benutzeroberfläche auf und fungiert somit als Benutzerschnittstelle zwischen der Vorrichtung und einem Benutzer. Eine Bedienung kann durch Berührung eines Sensorbildschirms des Anzeigemittels erfolgen. Über das Anzeigemittel ist es somit möglich, einerseits Informationen wie Parameter der Vorrichtung und/oder der Apparatur, insbesondere den Gasdruck, anzuzeigen und andererseits eine Einstellung der Parameter der Vorrichtung und/oder der Apparatur durch Berührung des Anzeigemittels zu gewährleisten. Der Nutzer erhält nicht nur die Möglichkeit unterschiedliche Parameter einzustellen, sondern er erhält zudem auch weitere Informationen zur Einstellung eines Parameters und/oder zur Benutzung des Anzeigemittels. Der Nutzer kann diese Informationen beispielsweise durch Antippen und/oder Auswahl eines „Hilfe-Buttons“ erhalten. Folglich ist vorzugsweise eine direkte Interaktion des Benutzers mit der Bedieneinrichtung vorgesehen. Demgegenüber ist in der Praxis zwar eine Vorgabe von Parametern zur Steuerung und/oder Regelung eines Gasdrucks in der Apparatur möglich, jedoch kann dies nicht direkt über das Anzeigemittel erfolgen und die Bedieneinrichtung kann nicht derart mit dem Nutzer kommunizieren, dass dem Nutzer Informationen, Fehlermeldungen und/oder Vorschläge anzeigbar sind.Preferably, the display means has a graphical user interface and thus acts as a user interface between the device and a user. An operation can be done by touching a touch screen of the display means. By means of the display means, it is thus possible on the one hand to display information such as parameters of the device and / or the apparatus, in particular the gas pressure, and on the other hand to ensure adjustment of the parameters of the apparatus and / or the apparatus by touching the display means. The user is not only given the opportunity to set different parameters, but also receives additional information for setting a parameter and / or for use the display means. The user can obtain this information, for example, by tapping and / or selecting a "Help button". Consequently, a direct interaction of the user with the operating device is preferably provided. In contrast, although in practice a specification of parameters for controlling and / or regulating a gas pressure in the apparatus is possible, however, this can not be done directly via the display means and the operating device can not communicate with the user in such a way that the user information, error messages and / or suggestions are displayed.

Vorteilhafterweise erfolgt die Bedienung der Bedieneinrichtung ohne mechanische Bedienelemente, insbesondere ausschließlich über das Anzeigemittel. Das schließt jedoch nicht die Möglichkeit aus, dass an die Vorrichtung ein externes Gerät angeschlossen werden kann, das zur Übertragung eines zuvor erstellten Programmcodes und/oder zur Einstellung von Parametern der Vorrichtung und/oder der Apparatur dient. So kann die Vorrichtung und/oder die Apparatur auch ferngesteuert und/oder ferngeregelt werden. Insbesondere kann eine Mehrzahl von Vorrichtungen an ein externes Gerät angeschlossen werden, wobei die Vorrichtungen die durch die jeweilige Gasdruckmesseinrichtung erfassten Informationen, insbesondere den gemessenen Gasdruck, an das externe Gerät übertragen und von dem externen Gerät Befehle erhalten können.Advantageously, the operation of the operating device without mechanical controls, in particular exclusively via the display means. However, this does not exclude the possibility that an external device can be connected to the device, which serves for the transmission of a previously created program code and / or for setting parameters of the device and / or the apparatus. Thus, the device and / or the apparatus can also be remotely controlled and / or remotely controlled. In particular, a plurality of devices can be connected to an external device, wherein the devices can transmit the information detected by the respective gas pressure measuring device, in particular the measured gas pressure, to the external device and receive commands from the external device.

Bei einer bevorzugten Ausführungsform der Erfindung ist ein Prozessablauf eines Steuerungs- und/oder Regelungsprozesses durch Bedienung des Anzeigemittels vorgebbar, insbesondere einstellbar, steuerbar und/oder regelbar. Durch die Einstellung eines Prozessablaufes, der beispielsweise Evakuierungs- und Belüftungszyklen aufweist, über das Anzeigemittel kann vermieden werden, dass ein externes Gerät zur Erstellung und/oder Veränderung des Programmcodes benötigt wird. Durch die Einstellung des Prozessablaufes über das Anzeigemittel kann eine benutzerfreundliche Möglichkeit zur Individualisierung des Prozessablaufes geschaffen werden. Grafische Symbole können zur Festlegung des Prozessablaufes dienen. Vorteilhaft ist hierbei, dass der Großteil der Benutzer an die Verwendung einer grafischen Benutzeroberfläche gewöhnt ist, beispielsweise durch das Smartphone. Demgemäß kann nicht nur eine hohe Lernbereitschaft bzw. Lernfähigkeit im Hinblick auf die Bedienung einer solchen Benutzeroberfläche vorausgesetzt werden, sondern auch eine meist intuitive Bedienung.In a preferred embodiment of the invention, a process sequence of a control and / or regulation process can be predetermined by operation of the display means, in particular adjustable, controllable and / or controllable. By setting a process flow, which has evacuation and ventilation cycles, for example, via the display means can be avoided that an external device for creating and / or changing the program code is needed. By setting the process flow via the display means, a user-friendly option for individualizing the process flow can be created. Graphical symbols can be used to define the process flow. The advantage here is that the majority of users is used to the use of a graphical user interface, for example, by the smartphone. Accordingly, not only a high willingness to learn or learning ability with regard to the operation of such a user interface can be assumed, but also a mostly intuitive operation.

Gemäß einer vorteilhaften Ausgestaltung des Erfindungsgedankens ist vorgesehen, dass mindestens ein grafisches Bedienelement zur Einstellung mindestens eines Parameters, insbesondere des Solldrucks, eines Steuerungs- und/oder Regelungsprozesses ausgebildet ist und dass zur Einstellung des Parameters eine Tipp-, Wisch-, Schiebe- und/oder Zeigebewegung vorgesehen ist. Eine derartige Einstellmöglichkeit des Parameters ist besonders nutzerfreundlich, da grafisch zum einen der eingestellte Soll-Wert und zum anderen der gemessene Ist-Wert über das Anzeigemittel anzeigbar sind. Zudem können die Parameter mittels unterschiedlicher Varianten eingestellt werden. So kann beispielsweise der einstellbare Bereich eines Parameters grafisch dargestellt werden, beispielsweise durch eine Skala und/oder durch eine kreisbogenabschnittsförmige Darstellung und/oder eine Darstellung in Form eines Kreisringsegments, das durch zwei Kreisbögen und zwei Kreisradien begrenzt wird. Eine logarithmische Skala und/oder Unterteilung des Bereiches kann zur Einstellung des Parameters, insbesondere des Solldrucks, vorgesehen sein. Zudem kann auch über eine numerische Tastatur, die mittels des Anzeigemittels bedienbar und anzeigbar ist, der Prozessparameter eingestellt werden. Letztlich kann mit Hilfe des Anzeigemittels diejenige Einstellvariante ausgewählt werden, die die angenehmste für den Anwender ist.According to an advantageous embodiment of the inventive concept, it is provided that at least one graphical operating element is designed for setting at least one parameter, in particular the desired pressure, of a control and / or regulation process and that for setting the parameter a tapping, wiping, sliding and / or or pointing motion is provided. Such an adjustment of the parameter is particularly user-friendly, since graphically on the one hand, the set target value and on the other hand, the measured actual value can be displayed via the display means. In addition, the parameters can be set by means of different variants. Thus, for example, the adjustable range of a parameter can be displayed graphically, for example by a scale and / or by a circular arc portion-shaped representation and / or a representation in the form of a circular ring segment, which is bounded by two circular arcs and two circular radii. A logarithmic scale and / or subdivision of the area can be provided for setting the parameter, in particular the setpoint pressure. In addition, the process parameters can also be set via a numeric keypad which can be operated and displayed by means of the display means. Finally, with the help of the display means, the adjustment variant that is the most comfortable for the user can be selected.

Vorzugsweise stellt das grafische Bedienelement einen den Wertebereich des Parameters repräsentierenden Bereich und in dem Bereich eine einen Soll-Wert des Parameters repräsentierende Markierung dar. Zur Einstellung des Parameters ist die Markierung innerhalb des Bereichs bewegbar, insbesondere verschiebbar. So kann durch Verschiebung der Markierung, beispielsweise auf einen kreisringabschnittsförmig dargestellten Bereich, eine Einstellung des Parameters erfolgen. Darüber hinaus kann auch durch ein Antippen in dem Bereich die Markierung gesetzt bzw. dorthin verschoben werden. Durch längeres Antippen kann ein Verschieben der Markierung über eine Schiebebewegung ermöglicht werden. Zudem kann der durch die Markierung festgesetzte einzustellende Wert des Parameters auch grafisch als Zahl, gegebenenfalls mit anzeigbarer Einheit, angezeigt werden. Zur Veränderung der Markierung durch eine Wisch- und/oder Schiebegeste kann zuvor ein längeres Auswählen - durch ein „Gedrückt-Halten“ der Markierung - für einen kurzen Zeitraum, beispielsweise unter einer Sekunde, bevorzugt zwischen 100 bis 500 Millisekunden, vorgesehen sein. Darüber hinaus kann auch durch Ziehen dieser Markierung entlang des Bereichs der neue Soll-Wert des Parameters eingestellt werden.The graphical control element preferably represents an area representing the range of values of the parameter and a mark representing a desired value of the parameter in the area. In order to set the parameter, the marking can be moved within the range, in particular displaceable. Thus, by shifting the marking, for example to a region shown in the form of a circular ring, an adjustment of the parameter can be made. In addition, the marker can also be set or moved by tapping in the area. Prolonged tapping can be used to move the marking over a sliding movement. In addition, the value of the parameter to be set by the marking can also be displayed graphically as a number, possibly with a displayable unit. In order to change the marking by a wiping and / or sliding gesture, a longer selection can be provided beforehand - by "holding" the marking - for a short period of time, for example under one second, preferably between 100 and 500 milliseconds. In addition, by dragging this mark along the range, the new setpoint value of the parameter can also be set.

Eine weitere Markierung kann in dem Bereich den aktuellen, gemessenen Parameter, vorzugsweise den Ist-Wert, der Apparatur darstellen.A further marking may represent in the region the current measured parameter, preferably the actual value, of the apparatus.

Des Weiteren sind als einzustellende Parameter der Gasdruck, die Abpumpgeschwindigkeit, die Prozesszeiten oder dergleichen denkbar.Furthermore, the parameters to be set are the gas pressure, the pumping rate, the process times or the like.

Alternativ oder zusätzlich zu einer kreisbogenabschnittsförmigen und/oder kreisringsegmentförmigen Darstellung des Bereichs ist/sind insbesondere auch ein Slider bzw. ein Schieberegler und/oder Stufentasten, insbesondere in Verbindung mit einem Schieberegler und/oder einer kreisbogenabschnittsförmigen und/oder kreisringsegmentförmigen Darstellung des Bereiches, zur Einstellung des Parameters ausgebildet. Die vorgenannten Einstellvarianten erlauben die schnelle und/oder genaue Parametereinstellung sowie eine Änderung der Parameter durch entsprechende Berührungen der Bedienelemente.Alternatively or in addition to a circular arc section-shaped and / or Circular segment-shaped representation of the area is / are in particular also a slider or a slider and / or step keys, in particular in conjunction with a slider and / or a circular arc segment-shaped and / or circular segment representation of the area formed to adjust the parameter. The aforementioned setting variants allow the fast and / or precise setting of parameters as well as a change of the parameters by corresponding touches of the operating elements.

Darüber hinaus ist die Vorrichtung vorteilhafterweise zur Durchführung verschiedener Prozessschritte ausgebildet. Das Anzeigemittel kann zum Anzeigen mehrerer grafischer Bedienelemente ausgebildet sein, wobei mehrere der grafischen Bedienelemente verschiedenen Prozessschritten zugeordnet sind und wobei die Bedieneinrichtung zur Erstellung eines wenigstens zwei Prozessschritte aufweisenden Prozessablaufs ausgebildet ist. Demgemäß kann das Anzeigemittel zur grafischen Darstellung eines Prozessablaufes ausgebildet sein. So kann vermieden werden, dass ein textueller Programmcode, der letztlich einen Prozessablauf vorgibt, implementiert, geändert und/oder aufgerufen werden muss. Durch die Bedienelemente kann grafisch dem Nutzer der jeweilige Prozessschritt mit seinen gegebenenfalls einstellbaren Parametern angezeigt werden. Hierbei ist einem Prozessschritt ein Bedienelement zugeordnet. Insbesondere sind zuvor eingestellte Parameter des Prozessschrittes vorgegeben. Die einzelnen Prozessschritte können im Gesamten auch zuvor vorgegeben sein, wobei auch Prozessabläufe, die wenigstens zwei Prozessschritte aufweisen, bereits in der Vorrichtung gespeichert und aus ihr abrufbar sein können. Der Nutzer kann zu einem Prozessablauf und/oder einem Prozessschritt weitere Informationen, die insbesondere die Auswirkung des Prozessschrittes und/oder die Einstellmöglichkeiten betreffen, angezeigt bekommen. Insbesondere ist es auch möglich, dass der Nutzer selbst weitere Prozessschritte erstellen kann, in denen er verschiedene Parameter vorgibt. Diese neu zu erstellenden Prozessschritte, die mittels Bedienelemente abrufbar bzw. aufrufbar sind, können auch durch ein externes Gerät programmiert und an die Vorrichtung bzw. an die Bedieneinrichtung übertragen werden.In addition, the device is advantageously designed for carrying out various process steps. The display means may be designed to display a plurality of graphical operating elements, wherein a plurality of the graphical operating elements are assigned to different process steps, and wherein the operating device is designed to produce a process sequence having at least two process steps. Accordingly, the display means may be configured to graphically represent a process flow. Thus, it can be avoided that a textual program code, which ultimately specifies a process sequence, must be implemented, changed and / or called. By means of the operating elements the user can graphically display the respective process step with its possibly adjustable parameters. In this case, a control element is associated with a control element. In particular, previously set parameters of the process step are specified. The individual process steps can also be predefined in their entirety, although process sequences which have at least two process steps can already be stored in the device and can be retrieved from it. For a process flow and / or a process step, the user can be shown further information, which relates in particular to the effect of the process step and / or the setting options. In particular, it is also possible for the user himself to be able to create further process steps in which he specifies various parameters. These newly created process steps, which can be called up or called up by means of operating elements, can also be programmed by an external device and transmitted to the device or to the operating device.

Weiterhin ist bei einer weiteren und bevorzugten Ausführungsform des Erfindungsgedankens vorgesehen, dass zur Erstellung eines Prozessablaufes mehrere grafische Bedienelemente mittels des Anzeigemittels grafisch übereinander und/oder nebeneinander anordnenbar sind. Die Anordnung der grafischen Bedienelemente kann über Tipp, Wisch-, Schiebe- und/oder Zeigebewegungen durchführbar sein. Vorzugsweise kann somit ein grafisches Programmieren mittels einer visuellen Programmiersprache gewährleistet werden, wobei das Programm bzw. der Algorithmus durch grafische Elemente und deren Anordnung definiert ist. Demzufolge kann für den Endnutzer erfindungsgemäß eine leicht zu erlernende bzw. eine intuitiv verständliche Programmierung ermöglicht werden. Das Adjektiv „visuell“ ist in diesem Zusammenhang umfassend zu verstehen, so dass unter „visuell“ mehr als lediglich eine optische Wahrnehmung verstanden wird, da auch andere Sinne miteingeschlossen werden. So kann eine visuelle Syntax, visuelle Semantik und dynamische oder statische Zeichengebung im Rahmen der visuellen Programmierung genutzt werden. Als visuelle Syntax ist eine grafische Notation der Grundsymbole zu verstehen, wobei unter einer visuellen Semantik der Laufzeitzustand der visuellen Objekte gemeint ist, der insbesondere visuell sein kann, wohingegen unter der dynamischen Zeichengebung die Darstellung von flüchtigen Vorgängen, beispielsweise durch das Aufblinken eines Bedienelementes, das sich verändert, verstanden wird.Furthermore, it is provided in a further and preferred embodiment of the inventive idea that for the creation of a process sequence, a plurality of graphical operating elements by means of the display means can be arranged graphically one above the other and / or side by side. The arrangement of the graphic operating elements can be carried out by means of tipping, wiping, sliding and / or pointing movements. Preferably, therefore, a graphical programming can be ensured by means of a visual programming language, wherein the program or the algorithm is defined by graphical elements and their arrangement. Consequently, according to the invention, an easy-to-learn or an intuitively understandable programming can be made possible for the end user. The adjective "visual" is to be understood comprehensively in this context, so that "visually" means more than just a visual perception, since other senses are also included. Thus, a visual syntax, visual semantics and dynamic or static signing can be used in the context of visual programming. Visual syntax is understood to be a graphic notation of the basic symbols, wherein visual semantics refers to the running state of the visual objects, which can be visual in particular, whereas under dynamic signing the representation of transient phenomena, for example by the flashing of an operating element, the is changed, understood.

Folglich kann eine derartige anschauliche Programmierung die Bedienung der Vorrichtung wesentlich erleichtern.Consequently, such illustrative programming can greatly facilitate the operation of the device.

Im Zusammenhang mit der visuellen Programmierung ist vorzugsweise der Prozessablauf durch die Anordnung, insbesondere durch die Reihenfolge, der grafischen Bedienelemente auf dem Anzeigemittel definiert. Beispielsweise können die grafischen Bedienelemente untereinander und/oder nebeneinander angeordnet werden. Die erfindungsgemäße Vorrichtung wird die den grafischen Bedienelementen zugeordneten Prozessschritte von oben nach unten oder von links nach rechts abarbeiten.In the context of visual programming, the process flow is preferably defined by the arrangement, in particular by the order, of the graphical operating elements on the display means. For example, the graphical controls can be arranged with each other and / or next to each other. The device according to the invention will process the process steps assigned to the graphic operating elements from top to bottom or from left to right.

Der Prozessablauf kann als Prozessablaufschema und/oder -plan darstellbar sein. Zur Anordnung der einzelnen Bedienelement kann der Ablauf durch eine Nummerierung und/oder einen Farbverlauf und/oder eine grafische Hervorhebung der Bedienelemente dem Nutzer visualisiert werden. Zudem können bei Einstellung des Prozessablaufes bzw. bei Aufruf eines erstellten Prozessablaufes dem Endnutzer auch weitere Informationen angezeigt werden. Dies kann beispielsweise durch sogenannte Pop-Up-Meldungen, die kurzzeitig aufblinken, und/oder durch das Anklicken von einem Hilfesymbol erfolgen. So kann sowohl zu jedem Prozessschritt eine Beschreibung des Schrittes als solches als auch ein Informationstext zu allen Parametern, die im Rahmen dieses Prozessschrittes einstellbar sind, aufrufbar sein. Die relevanten Parameter des Prozessschrittes können durch die grafische Darstellung priorisiert bzw. hervorgehoben werden.The process flow can be represented as a process flow diagram and / or plan. For the arrangement of the individual operating elements, the sequence can be visualized by numbering and / or a color gradient and / or a graphical highlighting of the operating elements to the user. In addition, further information can be displayed to the end user when setting the process flow or when calling up a created process flow. This can be done for example by so-called pop-up messages that flash briefly, and / or by clicking on a help icon. Thus, both for each process step, a description of the step as such as well as an information text for all parameters that can be set in the context of this process step, be called. The relevant parameters of the process step can be prioritized or highlighted by the graphical representation.

Vorteilhafterweise sind bereits erstellte Prozessabläufe in der Vorrichtung und/oder in einer der Vorrichtung zugeordneten Speichereinrichtung hinterlegt bzw. gespeichert und können vom Endnutzer durch die Auswahl eines Bedienelementes aufgerufen werden. Bei diesen vorab erstellten Prozessabläufen können relevante Parameter und/oder alle Parameter der einzelnen Prozessschritte über weitere Bedienelemente einstellbar sein. Es ist auch möglich, dass dem Anwender bzw. dem Endnutzer jeweils nur die für die spezielle Anwendung bzw. den Prozessablauf relevanten Parameter anzeigbar sind und der Endnutzer nur diese einstellen kann. Ein Verständnis der weiteren Parameter, die zwar grundsätzlich einstellbar aber für den Prozessabschnitt selbst nicht relevant sind, ist hierfür nicht notwendig. So können auch komplizierte Prozessabläufe durch den Nutzer aufgerufen werden, ohne dass der Nutzer ein tiefergehendes Verständnis von allen einzustellenden Parametern der Apparatur benötigt. Im Labor ist dies von großem Vorteil, da so beispielsweise Prozessabläufe auch von Mitarbeitern initiiert werden können, die nicht regulär an der Apparatur bzw. an der Vorrichtung arbeiten bzw. diese bedienen. Darüber hinaus wird eine Fehlbedienung der Vorrichtung und/oder der Apparatur, wie beispielsweise ein unbeabsichtigtes Belüften am Ende eines Prozessablaufes eines Vakuumsteuerungs- und/oder Regelungsprozesses, stark eingeschränkt und/oder vermieden. Bei Aufruf von zuvor erstellten Prozessabläufen ist es denkbar, entsprechende Hilfefunktionen bzw. relevante Hinweise der jeweiligen Prozessschritte bei Veränderung von Parametern der einzelnen Prozessschritte einzublenden.Advantageously, already created process flows are stored or stored in the device and / or in a device associated with the device and can be used by the end user be called by selecting a control. With these previously created process sequences, relevant parameters and / or all parameters of the individual process steps can be set via further operating elements. It is also possible that only the parameters relevant to the specific application or the process sequence can be displayed to the user or the end user, and the end user can only set these parameters. An understanding of the other parameters, which are basically adjustable but not relevant to the process section itself, is not necessary for this. In this way, complicated process sequences can be called up by the user without the user needing a deeper understanding of all the parameters of the equipment to be set. In the laboratory, this is of great advantage since, for example, processes can also be initiated by employees who do not regularly work on or operate the apparatus or the apparatus. In addition, a malfunction of the device and / or the apparatus, such as an unintentional venting at the end of a process flow of a vacuum control and / or regulation process, severely restricted and / or avoided. When calling up previously created process sequences, it is conceivable to display corresponding help functions or relevant notes of the respective process steps when changing parameters of the individual process steps.

Wenn der Prozessablauf gestartet worden ist, ist es insbesondere erfindungsgemäß möglich, dass der Endnutzer durch Auswahl eines Bedienelementes immer noch in den Prozessablauf eingreifen kann, insbesondere den Prozessablauf stoppen, die Parameter der einzelnen Prozessschritte verändern und/oder weitere Prozessschritte einfügen kann.If the process sequence has been started, it is in particular possible according to the invention that the end user can still intervene in the process sequence by selecting a control element, in particular stopping the process flow, changing the parameters of the individual process steps and / or inserting further process steps.

Im Übrigen kann mindestens ein Parameter eines der Prozessschritte eines erstellten Prozessablaufes nach Antippen des zugehörigen grafischen Bedienelements mittels mindestens eines weiteren grafischen Bedienelements einstellbar sein. Für diesen Parameter kann ein Vorgabewert eingestellt und/oder gespeichert sein. Zur Einstellung des Parameters können entsprechende Warn- und/oder Hilfshinweise dem Endnutzer angezeigt werden. Das weitere grafische Bedienelement kann wenigstens eine der zuvor geschilderten Einstellvarianten aufweisen. Nach Antippen bzw. nach Auswahl des den Prozessschritt repräsentierenden grafischen Bedienelementes können demgemäß dem Endnutzer weitere grafische Bedienelemente, bevorzugt zur Einstellung von Parametern, angezeigt werden.Incidentally, at least one parameter of one of the process steps of a created process sequence can be set by tapping on the associated graphical operating element by means of at least one further graphical operating element. For this parameter, a default value can be set and / or stored. To set the parameter, appropriate warning and / or auxiliary information can be displayed to the end user. The further graphical control element can have at least one of the previously described adjustment variants. After tapping or after selecting the graphic control element representing the process step, further graphical operating elements, preferably for setting parameters, can accordingly be displayed to the end user.

Zudem kann vorteilhafterweise ein Prozessschritt, der durch Antippen bzw. durch Auswahl eines Bedienelementes aufrufbar ist, die vorangegangenen und/oder die nachfolgenden Prozessschritte miteinander verbinden. So kann als Prozessschritt beispielsweise eine Schleife in den Prozessablauf eingebaut werden, wobei im Rahmen dieser Schleife wenigstens ein Prozessschritt für eine vorgegebene Anzahl von Wiederholungen durchlaufen werden kann. Es kann auch eine Bedingung vorgegeben werden, so dass eine bestimmte Anzahl von Prozessschritten, die mittels der grafischen Bedienelemente dem Endnutzer angezeigt werden können, nur bei Erfüllung der Bedingung durchlaufen wird. Beispielsweise kann als Bedingung ein bestimmter Parameter, vorzugsweise gemessen durch die Gasdruckmesseinrichtung, genutzt werden, der in einem bestimmten Wertebereich liegen soll. Demgemäß können sogenannte Kontrollstrukturen in den Prozessablauf integriert werden, wobei die Anweisungen durch den Endnutzer über das Anzeigemittel einstellbar sind. Grundsätzlich ist es auch denkbar, die Schleifen bzw. die Kontrollstrukturen, die als grafische Bedienelemente hinterlegt sind, ineinander zu verschachteln.In addition, advantageously, a process step, which can be called by tapping or by selecting a control element, connect the preceding and / or the subsequent process steps with each other. Thus, for example, a loop can be incorporated into the process flow as a process step, it being possible for at least one process step for a given number of repetitions to be run through within the scope of this loop. It is also possible to predefine a condition such that a certain number of process steps, which can be displayed to the end user by means of the graphical operating elements, are executed only when the condition is fulfilled. For example, as a condition, a specific parameter, preferably measured by the gas pressure measuring device, can be used, which should be within a certain range of values. Accordingly, so-called control structures can be integrated into the process flow, whereby the instructions can be set by the end user via the display means. In principle, it is also conceivable to nest the loops or the control structures, which are deposited as graphical operating elements, into one another.

Bei einer weiteren bevorzugten Ausführungsform ist vorgesehen, dass die Anordnung, insbesondere die Reihenfolge, der zu den Prozessschritten eines erstellten Prozessablaufs zugeordneten grafischen Bedienelemente änderbar ist. Insbesondere können die Bedienelemente über Tipp-, Wisch-, Schiebe- und/oder Zeigebewegungen, letztlich also durch Berührung des berührungsempfindlichen Anzeigemittels, geändert werden. Somit kann durch ein sogenanntes „Drag and Drop“-Verfahren die Anordnung der Bedienelemente mittels einer einfachen Methode geändert werden. Beispielsweise kann das Bedienelement durch längeres Markieren mittels einer Berührung des Bedienelementes ausgewählt werden, wobei das Ziehen selber und das Verlassen des Ursprungsortes dem Endnutzer grafisch angezeigt werden kann. Darüber hinaus können die verschiedenen Möglichkeiten der „Drop-Stelle“ dem Endnutzer angezeigt werden. Folglich kann ein gezieltes Einfügen eines Prozessschrittes in einen bereits mehrere Prozessschritte aufweisenden Prozessablauf gewährleistet werden.In a further preferred embodiment, it is provided that the arrangement, in particular the sequence, of the graphic operating elements assigned to the process steps of a created process sequence can be changed. In particular, the operating elements can be changed by means of tapping, wiping, sliding and / or pointing movements, ultimately by touching the touch-sensitive display means. Thus, by a so-called "drag and drop" method, the arrangement of the controls can be changed by a simple method. For example, the control element can be selected by prolonged marking by means of a touch of the operating element, wherein the pulling itself and leaving the place of origin can be graphically displayed to the end user. In addition, the various possibilities of the "drop point" can be displayed to the end user. Consequently, a targeted insertion of a process step can be ensured in a already having several process steps process flow.

Gegebenenfalls wird, nachdem das Element an der korrekten Position „fallen gelassen“ worden ist, dies dem Nutzer durch einen Hinweis angezeigt.Optionally, after the item has been "dropped" at the correct position, this is indicated to the user by a note.

Vorzugsweise sind die grafischen Bedienelemente eines erstellten Prozessablaufs vertauschbar und/oder entfernbar und/oder ein weiteres einem Prozessschritt zugeordnetes grafisches Bedienelement ist in einen erstellten Prozessablauf einfügbar. Die grafischen Bedienelemente der veränderbaren Prozessschritte können als Auswahl anzeigbar sein. Beispielsweise können nach Aufruf eines bereits erstellten Prozessablaufs bzw. bei Erstellung des Prozessablaufes mögliche, hinzufügbare Prozessschritte durch grafische Bedienelemente dem Endnutzer angezeigt werden und/oder der Endnutzer kann eine derartige Auswahl aufrufen. Aus dieser Auswahl entnommen, können die grafischen Bedienelemente in einen erstellten Prozessablauf an einer beliebigen Stelle eingefügt werden.The graphic operating elements of a created process sequence are preferably interchangeable and / or removable and / or a further graphical operating element assigned to a process step can be inserted into a created process flow. The graphic operating elements of the variable process steps can be displayed as a selection. For example, after calling up an already created process sequence or when creating the process flow, possible, addable process steps can be displayed to the end user by means of graphical operating elements and / or the end user can to call such a selection. From this selection, the graphical controls can be inserted anywhere in a created process flow.

Insbesondere ist vorgesehen, dass dem Endnutzer ein Hinweis angezeigt wird, sofern die Verbindung von wenigstens zwei Prozessschritten aus technischer Sicht nicht sinnvoll ist. Beispielsweise kann dem Nutzer mitgeteilt werden, dass er den Prozessschritt umordnen bzw. an einer anderen Stelle einfügen sollte. Die grafischen Bedienelemente können in Form von Icons in der Auswahl angezeigt werden. Eine zu der Symboldarstellung zusätzliche textuelle Erläuterung des Icons kann auch vorgesehen sein.In particular, it is provided that an indication is displayed to the end user if the connection of at least two process steps from a technical point of view is not meaningful. For example, the user can be informed that he should rearrange the process step or insert it at another location. The graphic controls can be displayed in the form of icons in the selection. An additional textual explanation of the icon for the symbol representation can also be provided.

Durch Auswahl des Prozessschritt-Icons können mittels weiterer Bedienelemente die einzelnen Parameter des Prozessschrittes eingestellt werden. Zur Entfernung eines Prozessschrittes kann das Bedienelement visuell bzw. grafisch in die Auswahl zurückgeschoben werden und/oder ein Löschen des Bedienelementes aus dem Prozessablauf kann durch ein weiteres Bedienelement, welches in dem Bedienelement hinterlegt ist, erfolgen - beispielsweise durch Antippen eines Lösch-Icons. Insbesondere kann nach Betätigung des Löschbefehls eine Sicherheitsüberprüfung bzw. eine Überprüfung erfolgen, die hinterfragt, ob diese Handlung auch tatsächlich ausgeführt werden soll.By selecting the process step icon, the individual parameters of the process step can be set by means of further operating elements. To remove a process step, the control can be visually or graphically pushed back into the selection and / or deleting the control from the process flow can be done by another control element, which is stored in the control, for example by tapping a delete icon. In particular, after actuation of the deletion command, a security check or a check can take place, which questions whether this action should actually be carried out.

Bei der Darstellung des Prozessablaufs können auch die einzelnen Parameter des jeweiligen Prozessschrittes visualisiert werden, wobei ebenfalls eine Auswahl von weiteren Prozessschritten anzeigbar ist. Die Auswahl kann zudem auch separat bzw. losgelöst von dem Prozessablauf dem Endnutzer angezeigt werden, insbesondere bei der Erstellung eines Prozessablaufes, wobei der Endnutzer hierfür verschiedene Prozessschritte durch Auswahl von Bedienelementen einem Prozessablauf hinzufügen und vorzugsweise direkt bei Auswahl eine Anordnung vorgeben kann.When the process flow is displayed, the individual parameters of the respective process step can also be visualized, whereby a selection of further process steps can also be displayed. The selection can also be displayed separately or detached from the process flow to the end user, in particular when creating a process flow, wherein the end user for this purpose can add process steps by selecting controls to a process flow and preferably specify an array directly upon selection.

Des Weiteren kann ein erstellter Prozessablauf von der Vorrichtung empfangbar und/oder an ein externes Gerät übertragbar und/oder in einer Speichereinrichtung der Vorrichtung speicherbar und, vorzugsweise, daraus abrufbar sein. Insbesondere können Prozessabläufe, die extern erstellt worden sind, an die Vorrichtung übertragen werden, die diese Prozessabläufe anschließend als Auswahl dem Nutzer anzeigen kann. Es können jedoch auch mittels des Anzeigemittels erstellte Prozessabläufe an eine weitere Vorrichtung bzw. an ein externes Gerät und/oder eine Speichereinrichtung übertragen werden und aus der Speichereinrichtung insbesondere wieder abgerufen werden. So können bereits festgelegte Prozessabläufe, beispielsweise zur Gewährleistung von identischen und/oder ähnlichen Versuchsbedingungen, an unterschiedliche Vorrichtungen übertragen und/oder zur Steuerung und/oder Regelung an unterschiedlichen Apparaturen um- bzw. eingesetzt werden; und zwar ohne dass ein aufwendiges Programmieren des jeweiligen Prozessablaufes an der jeweils zu der Apparatur zugeordneten Vorrichtung durchgeführt wird. Auch können erstellte Prozessabläufe unter verschiedenen Endnutzern ausgetauscht werden, so dass eine einfache Bedienung ermöglicht wird.Furthermore, a created process flow can be received by the device and / or transferred to an external device and / or stored in a memory device of the device and, preferably, retrievable therefrom. In particular, process flows that have been created externally can be transmitted to the device, which can subsequently display these process flows as a selection to the user. However, it is also possible to transmit process sequences created by means of the display means to a further device or to an external device and / or a memory device and to recall them from the memory device, in particular. Thus, already defined process sequences, for example to ensure identical and / or similar experimental conditions, can be transmitted to different devices and / or used for control and / or regulation on different apparatuses; and without an elaborate programming of the respective process flow is performed on the respectively associated with the apparatus device. Also created processes can be exchanged among different end users, so that a simple operation is possible.

Vorteilhafterweise ist ein erstellter Prozessablauf mittels eines Bediensymbols, insbesondere durch Tippen auf das Bediensymbol, auswählbar, anzeigbar und/oder aktivierbar. Das Bediensymbol kann beispielsweise in Form eines Icons ausgebildet sein, das durch ein den jeweiligen Prozessablauf repräsentierendes grafisches Symbol dem Endnutzer anzeigbar ist. Es ist auch denkbar, dass durch Auswahl des Bediensymbols dem Endnutzer Informationen zu dem hinter dem Bediensymbol hinterlegten Prozessablauf angezeigt werden können, wobei der Endnutzer auch weitere Parameter des Prozessablaufes einstellen kann. Der Prozessablauf kann durch eine entsprechende Berührung des Bediensymbols und/oder in einer Darstellung der einzelnen Prozessschritte des Prozessablaufes aktiviert bzw. gestartet werden, gegebenenfalls verknüpft mit einem dem Endnutzer anzeigbaren Hinweis.Advantageously, a created process sequence can be selected, displayed and / or activated by means of an operating symbol, in particular by tapping on the operating symbol. The operating symbol can be designed, for example, in the form of an icon which can be displayed to the end user by means of a graphic symbol representing the respective process sequence. It is also conceivable that by selecting the operating symbol, the end user can be shown information about the process flow stored behind the operating symbol, whereby the end user can also set further parameters of the process sequence. The process flow can be activated or started by a corresponding touch of the operating symbol and / or in a representation of the individual process steps of the process flow, optionally linked to a hint that can be displayed to the end user.

Im Übrigen ist bei einer weiteren bevorzugten Ausführungsform vorgesehen, dass die Vorrichtung zur gleichzeitigen Durchführung mehrerer Prozessabläufe und/oder zur Darstellung mehrerer gleichzeitiger Prozessabläufe und/oder zur Auswahl eines aktiven von mehreren gleichzeitigen Prozessabläufen ausgebildet ist. Demgemäß können mehrere Prozessabläufe parallel durch die Vorrichtung gesteuert und/oder geregelt werden. Incidentally, in a further preferred embodiment it is provided that the device is designed to simultaneously carry out a plurality of process sequences and / or to display a plurality of simultaneous process sequences and / or to select one of several simultaneous process sequences. Accordingly, multiple processes may be controlled and / or regulated in parallel by the device.

Insbesondere kann an die Vorrichtung eine Mehrzahl von Apparaten derart angeordnet werden, dass die Apparate über die Vorrichtung steuerbar und/oder regelbar sind. Bei Darstellung mehrerer gleichzeitiger Prozessabläufe ist es auch möglich, einzelne Prozessabläufe zu pausieren und/oder zu unterbrechen. Bei Auswahl eines aktiven Prozessablaufes können die Parameter, die in den einzelnen Prozessschritten des Prozessablaufes hinterlegt sind, verändert werden, insbesondere auch dann, wenn der Prozessschritt bereits durchgeführt wird. Auch die Zeitdauer für einen durchzuführenden Schritt kann von dem Endnutzer auch nach Aktivierung des Prozessablaufes angepasst werden. Bei der Darstellung der mehreren Prozessabläufe können die Bediensymbole, die jeweils für einzelne Prozessabläufe stehen, mit Erklärungen verknüpft sein, so dass der Endnutzer die Bedeutung der Symbole schnell erlernen kann. Entsprechende Hilfefunktionen können dem Endnutzer über das Anzeigemittel zur Verfügung gestellt werden.In particular, a plurality of apparatuses can be arranged on the apparatus in such a way that the apparatuses can be controlled and / or regulated via the apparatus. If several simultaneous process flows are displayed, it is also possible to pause and / or interrupt individual process flows. When selecting an active process sequence, the parameters that are stored in the individual process steps of the process flow, can be changed, especially if the process step is already performed. The time duration for a step to be carried out can also be adapted by the end user after activation of the process sequence. In the representation of the multiple process sequences, the operating symbols, which stand for individual process sequences, can be linked with explanations, so that the end user can quickly learn the meaning of the symbols. Appropriate Help functions can be provided to the end user via the display means.

Vorzugsweise ist die Bedieneinrichtung drahtgebunden und/oder drahtlos mit der Gasdruckmesseinrichtung verbunden. Insbesondere kann die Bedieneinrichtung drahtgebunden und/oder drahtlos mit der Gasdruckmesseinrichtung und/oder der den Gasdruck aufweisenden Apparatur kommunizieren. Bevorzugt ist die Bedieneinrichtung mit der Gasdruckmesseinrichtung drahtgebunden verbunden. Bei einer drahtlosen Kommunikation zwischen der Bedieneinrichtung und der Apparatur kann vorgesehen sein, dass die an die Apparatur zu sendende Steuerungs- und/oder Regelungsvorgaben bzw. -befehle verschlüsselt übertragen werden. Vorteilhaft an der drahtlosen Kommunikation ist, dass die Bedieneinrichtung räumlich entfernt bzw. losgelöst zu der Apparatur angeordnet werden kann.Preferably, the operating device is wired and / or wirelessly connected to the gas pressure measuring device. In particular, the operating device can communicate by wire and / or wireless with the gas pressure measuring device and / or the device having the gas pressure. Preferably, the operating device is connected by wire to the gas pressure measuring device. In a wireless communication between the operating device and the apparatus can be provided that the to be sent to the apparatus control and / or regulation specifications or commands are transmitted encrypted. An advantage of the wireless communication is that the operating device can be arranged spatially removed or detached from the apparatus.

Besonders bevorzugt ist, dass die Bedieneinrichtung mit wenigstens einem Stellglied gekoppelt ist. Das Stellglied der Apparatur ist über die Bedieneinrichtung regelbar und/oder steuerbar. Als Stellglied kann beispielsweise ein Vakuumregelventil und/oder ein Vakuumpumpenantrieb dienen. Über den Vakuumpumpenantrieb bzw. über die Vakuumpumpe kann beispielsweise ein Abpumpen und ein Halten bzw. ein konstanter Gasdruck des Vakuums ermöglicht werden. Darüber hinaus kann auch das Vakuum über den Vakuumpumpenantrieb geregelt werden. Die Stellglieder, die mit der Bedieneinrichtung gekoppelt sind, können, vorzugsweise automatisch, von der Bedieneinrichtung erkannt und insbesondere unterschiedlichen Bedienelementen bzw. Prozessschritten und/oder Prozessabläufen zugeordnet werden.It is particularly preferred that the operating device is coupled to at least one actuator. The actuator of the apparatus can be controlled and / or controlled via the operating device. As an actuator, for example, serve a vacuum control valve and / or a vacuum pump drive. About the vacuum pump or via the vacuum pump, for example, a pumping and holding or a constant gas pressure of the vacuum can be made possible. In addition, the vacuum can also be regulated via the vacuum pump drive. The actuators which are coupled to the operating device can, preferably automatically, be recognized by the operating device and in particular be assigned to different operating elements or process steps and / or process sequences.

Insbesondere können als Prozessabläufe oder Prozessschritte ein Belüften, eine Gefriertrocknung, eine Vakuumtrocknung, eine Siedepunkterkennung, eine Filtration und/oder eine Vakuumkonzentrierung vorgesehen sein. Zur Einstellung bzw. zur Gewährleistung dieser unterschiedlichen Prozessschritte können einzelne Stellglieder durch die Bedieneinrichtung gesteuert und/oder geregelt werden.In particular, venting, freeze drying, vacuum drying, boiling point detection, filtration and / or vacuum concentration can be provided as process sequences or process steps. To set or to ensure these different process steps individual actuators can be controlled and / or controlled by the operating device.

Im Übrigen ist bei einer weiteren Ausführungsform vorgesehen, dass das Anzeigemittel sich über wenigstens 70 %, vorzugsweise mindestens 80 %, einer Frontseite der Vorrichtung erstreckt. Insbesondere erstreckt sich das Anzeigemittel über 70 % bis 95 %, bevorzugt von 80 % bis 90 %, der Frontseite der Bedieneinrichtung bzw. der Frontseite der gesamten Vorrichtung. Somit wird ziel- und zweckgerichtet die zur Verfügung stehende Fläche zur Bedienung der Vorrichtung verwendet. Weiterer benötigter Platz für mechanische Bedienelemente wie Drehknöpfe oder dergleichen kann vermieden werden.Incidentally, it is provided in a further embodiment that the display means extends over at least 70%, preferably at least 80%, of a front side of the device. In particular, the display means extends over 70% to 95%, preferably from 80% to 90%, of the front side of the operating device or of the front side of the entire device. Thus, the available area is purposefully and purposefully used to operate the device. Further required space for mechanical controls such as knobs or the like can be avoided.

Die obige Aufgabe wird außerdem durch das nachfolgend beschriebene Verfahren gelöst.The above object is also achieved by the method described below.

Das Verfahren dient zur Steuerung und/oder Regelung eines Gasdrucks, wobei der Gasdruck mit einer eine Gasdruckmesseinrichtung aufweisenden Vorrichtung gemessen wird. Die Vorrichtung ist insbesondere entsprechend einer der zuvor beschriebenen Ausführungsformen ausgebildet. Es ist vorgesehen, dass die Vorrichtung über ein berührungsempfindliches Anzeigemittel einer Bedieneinrichtung bedient wird.The method is used for controlling and / or regulating a gas pressure, wherein the gas pressure is measured with a device having a gas pressure measuring device. The device is designed in particular according to one of the previously described embodiments. It is provided that the device is operated via a touch-sensitive display means of an operating device.

Insbesondere erfolgt die Bedienung der Bedieneinrichtung ausschließlich über das berührungsempfindliche Anzeigemittel und/oder Prozessabläufe eines Steuerungs- und/oder Regelungsprozesses können durch Bedienung des Anzeigemittels vorgebbar, insbesondere steuerbar sein.In particular, the operation of the operating device takes place exclusively via the touch-sensitive display means and / or process sequences of a control and / or regulation process can be predefinable, in particular controllable, by operation of the display means.

Die zuvor beschriebenen Vorteile der erfindungsgemäßen Vorrichtung lassen sich gleichfalls auch auf das hier beschriebene Verfahren anwenden. Zur Vermeidung von unnötigen Wiederholungen sei daher an dieser Stelle auf die vorherigen Ausführungen verwiesen.The above-described advantages of the device according to the invention can likewise be applied to the method described here. To avoid unnecessary repetition, reference should therefore be made at this point to the previous statements.

Letztlich versteht es sich insbesondere, dass auch bevorzugte Ausführungsformen der Vorrichtung sich entsprechend für das Verfahren anwenden lassen bzw. das Verfahren und/oder die Vorrichtung durch die Merkmale der Vorrichtung und/oder des Verfahrens gekennzeichnet ist/sind.Finally, it is understood in particular that also preferred embodiments of the device can be used correspondingly for the method, or the method and / or the device is / are characterized by the features of the device and / or the method.

Bei einer bevorzugten Ausführungsform des Verfahrens wird ein Parameter, insbesondere der Solldruck, eines Prozessschrittes mittels eines grafischen Bedienelements eingestellt, insbesondere mittels einer Tipp-, Wisch-, Schiebe- und/oder Zeigebewegung. Zur Auswahl des Prozessschritts kann auch ein grafisches Bedienelement, vorzugsweise ein Bediensymbol, vorgesehen sein, welches durch den Endnutzer ausgewählt werden kann. Nach Aufruf des Prozessschrittes können die verschiedenen einzustellenden Parameter durch grafische Bedienelemente eingestellt werden. Es kann durch ein numerisches Touch-Display bzw. Tastenfeld eine Zahleneingabe des Parameters erfolgen. Alternativ oder zusätzlich wird der Parameter durch entsprechende Bewegungen auf dem berührungsempfindlichen Anzeigemittel eingestellt.In a preferred embodiment of the method, a parameter, in particular the target pressure, of a process step is set by means of a graphical control element, in particular by means of a tap, wipe, push and / or pointing movement. For selecting the process step, a graphical operating element, preferably an operating symbol, can also be provided, which can be selected by the end user. After calling the process step, the various parameters to be set can be set by means of graphical operating elements. It can be done by a numeric touch display or keypad number input of the parameter. Alternatively or additionally, the parameter is adjusted by corresponding movements on the touch-sensitive display means.

Vorzugsweise wird zur Einstellung eines Parameters, insbesondere des Solldrucks, eines Steuerungs- und/oder Regelungsprozesses bzw. eines Prozessschrittes eine Markierung eines grafischen Bedienelements innerhalb eines den Wertebereich des Parameters repräsentierenden Bereichs bewegt. Insbesondere wird die Markierung innerhalb des Bereiches verschoben. Der Bereich kann, wie bereits erläutert, kreisbogenabschnittsförmig bzw. kreisringabschnittsförmig und/oder als Schieberegler und/oder durch eine Skala in Verbindung mit Stufentasten ausgebildet sein. Die Markierung kann sowohl im Bereich verschoben als auch gezielt an eine bestimmte Stelle bzw. Position gesetzt werden. Zudem kann auch der Parameter durch ein numerisches Touch-Display als Zahlenwert eingegeben werden. Ferner kann im Bereich auch der derzeit gemessene Wert bzw. der aktuelle Ist-Wert des Parameters, insbesondere der Ist-Druck des Vakuums, dargestellt werden. Im Übrigen kann der eingestellte Wert des Parameters dem Endnutzer angezeigt werden.Preferably, to set a parameter, in particular the setpoint pressure, of a control and / or regulation process or of a process step, a marking of a graphical control element is moved within a range representing the value range of the parameter. In particular, the marker is shifted within the range. The area can, as already be explained, circular arc section or circular ring section and / or be designed as a slider and / or by a scale in conjunction with step keys. The marker can be moved in the area as well as set to a specific location or position. In addition, the parameter can also be entered as a numerical value using a numeric touch display. Furthermore, in the area also the currently measured value or the current actual value of the parameter, in particular the actual pressure of the vacuum, can be displayed. Incidentally, the set value of the parameter can be displayed to the end user.

Bei einer besonders bevorzugten Ausführungsform des Verfahrens wird ein wenigstens zwei Prozessschritte aufweisender Prozessablauf über die Bedieneinrichtung mittels grafischer Bedienelemente erstellt. Die Vorteile einer so ermöglichten grafischen Programmierung wurden bereits eingehend erläutert.In a particularly preferred embodiment of the method, a process sequence having at least two process steps is created via the operating device by means of graphical operating elements. The advantages of graphic programming enabled in this way have already been explained in detail.

Zur Erstellung eines Prozessablaufes können mehrere grafische Bedienelemente mittels des Anzeigemittels grafisch übereinander und/oder nebeneinander angeordnet werden. Die Anordnung kann über Tipp-, Wisch-, Schiebe- und/oder Zeigebewegungen hervorgerufen werden. Der Prozessablauf kann durch die Anordnung, insbesondere die Reihenfolge, der Bedienelemente definiert sein. Somit kann ein bereits erstellter Prozessablauf durch eine veränderte Anordnung der Bedienelemente, die jeweils einzelne Prozessschritte repräsentieren, verändert werden. Der Nutzer kann intuitiv eine derartige Anordnung durchführen. Bei Erstellung eines Prozessablaufes können mehrere Bedienelemente ausgewählt werden, insbesondere mit einer festlegbaren Reihenfolge, die dem Nutzer beispielsweise durch eine Nummerierung und/oder einen Farbverlauf angezeigt werden kann.To create a process sequence, a plurality of graphical operating elements can be arranged graphically one above the other and / or next to each other by means of the display means. The arrangement can be caused by tipping, wiping, sliding and / or pointing movements. The process flow can be defined by the arrangement, in particular the order, of the operating elements. Thus, an already created process flow can be changed by changing the arrangement of the operating elements, which each represent individual process steps. The user can intuitively perform such an arrangement. When creating a process flow, multiple controls can be selected, in particular with a definable order that can be displayed to the user, for example by a numbering and / or a gradient.

Ferner kann die Anordnung, insbesondere die Reihenfolge, der Bedienelemente geändert werden, insbesondere mittels einer Tipp-, Wisch-, Schiebe- und/oder Zeigebewegung. Vorzugsweise werden die grafischen Bedienelemente eines erstellten Prozessablaufs vertauscht und/oder entfernt und/oder ein weiteres einem Prozessschritt zugeordnetes grafisches Bedienelement wird in einem erstellten Prozessablauf eingefügt. Die grafischen Bedienelemente der veränderbaren Prozessschritte können als Auswahl angezeigt werden. So kann die Reihenfolge bzw. die Anordnung durch entsprechende Berührungen des berührungsempfindlichen Anzeigemittels festgelegt werden, wobei die Bedienelemente sowohl hinzugefügt als auch gelöscht werden können. Bei Anordnung der Bedienelemente kann die Auswahl auch auf dem Anzeigemittel dargestellt werden, so dass beispielsweise ein Hinzufügen der Bedienelemente und ein Entfernen der Bedienelemente aus dem Prozessablauf durch eine entsprechende Bewegung des Bedienelementes aus der Auswahl heraus bzw. in die Auswahl zurück erfolgen kann. Dieses Vorgehen entspricht letztlich auch der bekannten „Drag and Drop“-Methode.Furthermore, the arrangement, in particular the order of the operating elements can be changed, in particular by means of a typing, wiping, sliding and / or pointing movement. Preferably, the graphic operating elements of a created process sequence are exchanged and / or removed and / or a further graphical operating element assigned to a process step is inserted in a created process flow. The graphical controls of the changeable process steps can be displayed as a selection. Thus, the order or the arrangement can be determined by corresponding touches of the touch-sensitive display means, the controls can be added as well as deleted. In the arrangement of the controls, the selection can also be displayed on the display means, so that for example adding the controls and removing the controls from the process flow can be done by a corresponding movement of the control element from the selection or in the selection back. This procedure ultimately also corresponds to the known "drag and drop" method.

Des Weiteren kann ein erstellter Prozessablauf mittels eines Bediensymbols, insbesondere durch ein Tippen auf das Bediensymbol, ausgewählt, angezeigt und/oder aktiviert werden. Nach Tippen auf das Bediensymbol können dem Endnutzer auch Bedienelemente, die letztlich die einzelnen Prozessschritte repräsentieren können, und gegebenenfalls die in den Bedienelementen relevanten eingestellten Parameter in der entsprechenden Anordnung des Prozessablaufs angezeigt werden, wobei durch Auswahl eines Bedienelementes weitere Bedienelemente anzeigbar sind, mittels derer die Parameter der einzelnen Prozessschritte individuell für den jeweils durchzuführenden Steuerungs- und/oder Regelungsprozess angepasst werden können.Furthermore, a created process sequence can be selected, displayed and / or activated by means of an operating symbol, in particular by tapping on the operating symbol. After tapping on the operating symbol, the end user can also display operating elements which can ultimately represent the individual process steps and, if appropriate, the parameters set in the operating elements in the corresponding arrangement of the process sequence, whereby further operating elements can be displayed by selecting a control element by means of which Parameters of the individual process steps can be adjusted individually for the particular to be performed control and / or control process.

Vorzugsweise wird ein Stellglied einer den Gasdruck aufweisenden Apparatur über die Bedieneinrichtung gesteuert und/oder geregelt. Als Stellglied können insbesondere diejenigen Komponenten der Apparatur dienen, die einen Einfluss auf die Apparatur haben. Beispielhaft sei hier der Vakuumpumpenantrieb und das Vakuumregelventil genannt. Die Stellglieder sind mit der Apparatur verbunden oder als Teil der Apparatur ausgebildet, wobei eine direkte Einflussnahme der Bedieneinrichtung auf die Stellglieder erfolgen kann. Die Steuerung und/oder Regelung der Stellglieder kann in Abhängigkeit der durch die Gasdruckmesseinrichtung erfassten Parameter, insbesondere des Gasdrucks in der Apparatur, erfolgen.Preferably, an actuator of an apparatus having the gas pressure is controlled and / or regulated via the operating device. As an actuator, in particular those components of the apparatus can serve, which have an influence on the apparatus. As an example, let us mention the vacuum pump drive and the vacuum control valve. The actuators are connected to the apparatus or formed as part of the apparatus, wherein a direct influence of the operating device can be made on the actuators. The control and / or regulation of the actuators can be effected as a function of the parameters detected by the gas pressure measuring device, in particular the gas pressure in the apparatus.

Weitere Merkmale, Vorteile und Anwendungsbereiche der vorliegenden Erfindung ergeben sich aus der nachfolgenden Beschreibung von Ausführungsbeispielen anhand der Zeichnungen und der Zeichnung selbst. Dabei bilden alle beschriebenen und/oder bildlich dargestellten Merkmale für sich oder in beliebiger Kombination den Gegenstand der vorliegenden Erfindung, unabhängig von ihrer Zusammenfassung oder deren Rückbeziehung.Other features, advantages and applications of the present invention will become apparent from the following description of exemplary embodiments with reference to the drawings and the drawing itself. In this case, all described and / or illustrated features alone or in any combination form the subject of the present invention, regardless of their Summary or its relationship.

In der Zeichnung zeigt

  • 1 schematisch in einer perspektivischen Ansicht eine bevorzugte Ausführungsform einer erfindungsgemäßen Vorrichtung zur Steuerung und/oder Regelung eines Gasdrucks;
  • 2 schematisch in einer perspektivischen Rückansicht die Vorrichtung aus 1;
  • 3 schematisch eine Vorderansicht eines erfindungsgemäßen Anzeigemittels der Vorrichtung aus 1 in einem ersten Zustand;
  • 4 schematisch eine Vorderansicht eines erfindungsgemäßen Anzeigemittels der Vorrichtung aus 1 in einem zweiten Zustand;
  • 5 schematisch eine Vorderansicht eines erfindungsgemäßen Anzeigemittels der Vorrichtung aus 1 in einem dritten Zustand;
  • 6 schematisch eine Vorderansicht eines erfindungsgemäßen Anzeigemittels der Vorrichtung aus 1 in einem vierten Zustand;
  • 7 schematisch eine Vorderansicht eines erfindungsgemäßen Anzeigemittels der Vorrichtung aus 1 in einem fünften Zustand;
  • 8 schematisch eine Vorderansicht eines erfindungsgemäßen Anzeigemittels der Vorrichtung aus 1 in einem sechsten Zustand;
  • 9 schematisch eine Vorderansicht eines erfindungsgemäßen Anzeigemittels der Vorrichtung aus 1 in einem siebten Zustand;
  • 10 schematisch eine Vorderansicht eines erfindungsgemäßen Anzeigemittels der Vorrichtung aus 1 in einem achten Zustand;
  • 11 schematisch eine Vorderansicht eines erfindungsgemäßen Anzeigemittels der Vorrichtung aus 1 in einem neunten Zustand;
  • 12 schematisch in einer Darstellung eine weitere bevorzugte Ausführungsform der erfindungsgemäßen Vorrichtung und einer Apparatur;
  • 13 schematisch in einer Darstellung die erfindungsgemäße Vorrichtung gemäß einem weiteren Ausführungsbeispiel;
  • 14 schematisch in einer Darstellung die erfindungsgemäße Vorrichtung gemäß einem weiteren Ausführungsbeispiel; und
  • 15 schematisch den Ablauf einer bevorzugten Ausführungsform eines Verfahrens zur Steuerung und/oder Regelung eines Gasdrucks.
In the drawing shows
  • 1 schematically in a perspective view of a preferred embodiment of a device according to the invention for controlling and / or regulating a gas pressure;
  • 2 schematically in a perspective rear view of the device 1 ;
  • 3 schematically a front view of a display means according to the invention of the device 1 in a first state;
  • 4 schematically a front view of a display means according to the invention of the device 1 in a second state;
  • 5 schematically a front view of a display means according to the invention of the device 1 in a third state;
  • 6 schematically a front view of a display means according to the invention of the device 1 in a fourth state;
  • 7 schematically a front view of a display means according to the invention of the device 1 in a fifth state;
  • 8th schematically a front view of a display means according to the invention of the device 1 in a sixth state;
  • 9 schematically a front view of a display means according to the invention of the device 1 in a seventh state;
  • 10 schematically a front view of a display means according to the invention of the device 1 in an eighth condition;
  • 11 schematically a front view of a display means according to the invention of the device 1 in a ninth state;
  • 12 schematically in a representation of a further preferred embodiment of the device according to the invention and an apparatus;
  • 13 schematically in a representation of the device according to the invention according to a further embodiment;
  • 14 schematically in a representation of the device according to the invention according to a further embodiment; and
  • 15 schematically the flow of a preferred embodiment of a method for controlling and / or regulating a gas pressure.

1 zeigt schematisch in einer perspektivischen Ansicht eine bevorzugte Ausführungsform einer erfindungsgemäßen Vorrichtung 1 zur Steuerung und/oder Regelung eines Gasdrucks. Die Vorrichtung 1 umfasst eine Gasdruckmesseinrichtung 2 mit einem Gasdrucksensor 3 und eine Bedieneinrichtung 4. 1 shows schematically in a perspective view a preferred embodiment of a device according to the invention 1 for controlling and / or regulating a gas pressure. The device 1 includes a gas pressure measuring device 2 with a gas pressure sensor 3 and an operating device 4 ,

Die 2 zeigt schematisch in einer perspektivischen Ansicht die Rückseite der in 1 dargestellten Vorrichtung 1. An der Bedieneinrichtung 4 ist die Gasdruckmesseinrichtung 2, in die der Gasdrucksensor 3 integriert ist, angeordnet.The 2 shows schematically in a perspective view the back of in 1 illustrated device 1 , At the operating device 4 is the gas pressure measuring device 2 into which the gas pressure sensor 3 is integrated, arranged.

Ferner weist die Bedieneinrichtung 4 ein berührungsempfindliches Anzeigemittel 5 auf. Die Vorrichtung 1 ist über das Anzeigemittel 5 bedienbar. Das Anzeigemittel 5 ist in der dargestellten Ausführungsform an der Frontseite 16 der Vorrichtung 1, die auch die Frontseite 16 der Bedieneinrichtung 4 ist, vorgesehen.Furthermore, the operating device 4 a touch-sensitive display means 5 on. The device 1 is about the display means 5 operable. The display means 5 is in the illustrated embodiment on the front side 16 the device 1 that also the front 16 the operating device 4 is provided.

Aus 1 ist ersichtlich, dass sich das Anzeigemittel 5 über wenigstens 70 % einer Frontseite 16 der Vorrichtung 1 erstreckt. In dem hier dargestellten und bevorzugten Ausführungsbeispiel erstreckt sich das Anzeigemittel 5 über mindestens 80 % der Frontseite 16.Out 1 it can be seen that the display means 5 over at least 70% of a front 16 the device 1 extends. In the illustrated and preferred embodiment, the display means extends 5 over at least 80% of the front 16 ,

Die 3 bis 11 zeigen schematisch die Vorderansicht des Anzeigemittels 5 sowie verschiedene Zustände des Anzeigemittels 5, die durch Bedienung des Anzeigemittels 5 hervorgerufen werden können. Letztlich zeigen die 3 bis 11 verschiedene Bedienfelder und Bildschirmanschichten des Anzeigemittels 5.The 3 to 11 show schematically the front view of the display means 5 as well as various states of the display means 5 , which by operation of the display means 5 can be caused. Ultimately, the show 3 to 11 various control panels and screen layers of the display means 5 ,

In dem in 3 dargestellten ersten Zustand des Anzeigemittels 5 ist mindestens ein grafisches Bedienelement 6, 6i zur Einstellung mindestens eines Parameters eines Steuerungs- und/oder Regelungsprozesses vorgesehen. Als Parameter kann beispielsweise der Soll-Druck in der den Gasdruck aufweisenden Apparatur 14 dienen. Bei dem in 3 dargestellten Zustand des Anzeigemittels 5 sind zwei grafische Bedienelemente 6, 6i zur Einstellung des Parameters vorgesehen, wobei in einem Anzeigebereich 19 der eingestellte Wert des Parameters dem Nutzer angezeigt wird. In einem weiteren Anzeigebereich 20 kann der durch die Gasdruckmesseinrichtung 2 gemessene Wert des Parameters angezeigt werden. Weitere Bediensymbole 21 können zur Bedienung des berührungsempfindlichen Anzeigemittels 5 vorgesehen sein, wobei über die weiteren Bediensymbole 21 beispielsweise in ein Hauptmenü zurückgekehrt und weitere Informationen bzw. eine Hilfestellung oder dergleichen angefordert werden kann/können.In the in 3 illustrated first state of the display means 5 is at least one graphical control 6 . 6i provided for setting at least one parameter of a control and / or regulation process. As a parameter, for example, the target pressure in the apparatus having the gas pressure 14 serve. At the in 3 illustrated state of the display means 5 are two graphical controls 6 . 6i provided for setting the parameter, wherein in a display area 19 the set value of the parameter is displayed to the user. In another display area 20 can by the gas pressure measuring device 2 measured value of the parameter are displayed. Further operating symbols 21 can be used to operate the touch-sensitive display means 5 be provided, with over the other control icons 21 For example, returned to a main menu and more information or assistance or the like can be requested / can.

4 zeigt schematisch in einem zweiten Zustand des Anzeigemittels 5, dass der Parameter über eine Schiebebewegung eingestellt werden kann. 4 schematically shows in a second state of the display means 5 in that the parameter can be set via a sliding movement.

In dem in 5 schematisch dargestellten dritten Zustand des Anzeigemittels 5 ist ersichtlich, dass der Parameter auch durch eine Tippbewegung einstellbar ist. Grundsätzlich denkbar sind zudem auch Wisch- und/oder Zeigebewegungen.In the in 5 schematically illustrated third state of the display means 5 it can be seen that the parameter can also be adjusted by a jogging movement. In principle, wiping and / or pointing movements are also conceivable.

Die 3 bis 5 zeigen, dass das grafische Bedienelement 6 einen den Wertebereich des Parameters repräsentierenden Bereich 7 und in dem Bereich 7 eine einen Soll-Wert des Parameters repräsentierende Markierung 8 aufweist. Die 4 und 5 zeigen schematisch, dass zur Einstellung des Parameters die Markierung 8 innerhalb des Bereichs 7 bewegbar, insbesondere verschiebbar, ist. Des Weiteren ist in den 3 bis 5 eine weitere Markierung 22 vorgesehen, die den gemessenen Wert des Parameters repräsentiert.The 3 to 5 show that the graphical control 6 an area representing the value range of the parameter 7 and in the area 7 a mark representing a desired value of the parameter 8th having. The 4 and 5 show schematically that for setting the parameter, the mark 8th within the range 7 is movable, in particular displaceable, is. Furthermore, in the 3 to 5 another mark 22 provided that represents the measured value of the parameter.

Zum einen ist das grafische Bedienelement 6 in den Zuständen des Anzeigemittels 5 gemäß den 3 bis 5 als kreisringsegmentförmiger Bereich 7 ausgebildet. Diese grundsätzlich bogenförmige Darstellung kann logarithmisch dargestellt sein. Auf der linken Seite der Vorderansicht des Anzeigemittels 5 ist zum anderen eine weitere Variante zur Einstellung des Parameters gezeigt, wobei dieses grafische Bedienelement 6i Stufentasten aufweist. In weiteren, nicht dargestellten Ausführungsformen kann das grafische Bedienelement 6, 6i auch als Slider ausgebildet sein.One is the graphical control 6 in the states of the display means 5 according to the 3 to 5 as a circular segment-shaped area 7 educated. This basically arcuate representation can be represented logarithmically. On the left side of the front view of the display means 5 on the other hand another variant for setting the parameter is shown, this graphical control element 6i Has level keys. In further embodiments, not shown, the graphical control element 6 . 6i also be designed as a slider.

6 zeigt schematisch einen vierten Zustand des Anzeigemittels 5, in dem ein als numerische Tastatur ausgebildetes grafisches Bedienelement 6ii vorgesehen ist. Bei dem hier dargestellten und bevorzugten Ausführungsbeispiel werden zudem dem Nutzer über einen Anzeigebereich 19 der eingestellte Wert des Parameters - d.h. der Soll-Wert - und über einen weiteren Anzeigebereich 20 der gemessene Wert des Parameters - d. h. der Ist-Wert - angezeigt. Nicht dargestellt ist, dass wenn der über das numerische Tastenfeld eingegebene Wert des Parameters außerhalb des Bereichs 7 ist, dem Nutzer eine Warnmeldung angezeigt wird und dieser Wert auch nicht zur Steuerung und/oder Regelung des Gasdrucks genutzt wird. 6 schematically shows a fourth state of the display means 5 in which a graphical operating element designed as a numerical keyboard 6ii is provided. In the exemplary embodiment illustrated and preferred here, the user is also provided with a display area 19 the set value of the parameter - ie the setpoint value - and another display range 20 the measured value of the parameter - ie the actual value - is displayed. Not shown is that when the value of the parameter entered via the numeric keypad is out of range 7 is, the user is displayed a warning message and this value is not used for controlling and / or regulating the gas pressure.

Bei dem hier dargestellten und bevorzugten Ausführungsbeispiel ist vorgesehen, dass die Vorrichtung 1 zur Durchführung verschiedener Prozessschritte eines Steuerungs- und/oder Regelungsprozesses zur Steuerung und/oder Regelung eines Gasdrucks ausgebildet ist. 7 zeigt schematisch einen fünften Zustand des Anzeigemittels 5, in dem das Anzeigemittel 5 mehrere grafische Bedienelemente 6iii anzeigt bzw. zur Anzeige von mehreren grafischen Bedienelementen 6iii ausgebildet ist. Bei dem in 7 dargestellten und bevorzugten Ausführungsbeispiel ist jedem der grafischen Bedienelemente 6iii ein Prozessschritt zugeordnet.In the illustrated and preferred embodiment, it is provided that the device 1 designed for carrying out various process steps of a control and / or regulation process for controlling and / or regulating a gas pressure. 7 schematically shows a fifth state of the display means 5 in which the display means 5 several graphical controls 6III or to display several graphical controls 6III is trained. At the in 7 illustrated and preferred embodiment is each of the graphical controls 6III assigned a process step.

Nach Antippen eines der in 7 dargestellten grafischen Bedienelemente 6iii ist mindestens ein Parameter dieses Prozessschrittes einstellbar, insbesondere wobei mindestens ein Vorgabewert des mindestens einen Parameters eingestellt und/oder gespeichert ist. Bei dem in 8 dargestellten und bevorzugten Ausführungsbeispiel ist ein sechster Zustand des Anzeigemittels 5 gezeigt, in dem der mindestens eine Parameter des Prozessschrittes, der durch ein grafisches Bedienelement 6iii ausgewählt worden ist, einstellbar ist, und zwar mittels mindestens eines weiteren grafischen Bedienelementes 11. Hier sind mittels drei weiterer grafischer Bedienelemente 11 beispielsweise drei Parameter einstellbar. Die weiteren grafischen Bedienelemente 11 ermöglichen ein Einstellen bzw. ein Verändern des Parameters, beispielsweise gemäß den in 4 bis 6 dargestellten Varianten.After tapping one of the in 7 illustrated graphical controls 6III At least one parameter of this process step is adjustable, in particular wherein at least one default value of the at least one parameter is set and / or stored. At the in 8th illustrated and preferred embodiment is a sixth state of the display means 5 shown in which the at least one parameter of the process step, by a graphical control element 6III has been selected, is adjustable, by means of at least one further graphical control element 11 , Here are three other graphical controls 11 for example, three parameters adjustable. The other graphical controls 11 allow setting or changing the parameter, for example according to the in 4 to 6 variants shown.

Ferner ist die Bedieneinrichtung 4 zur Erstellung eines wenigstens zwei Prozessschritte aufweisenden Prozessablaufes ausgebildet. Der Prozessablauf kann einen Steuerungs- und/oder Regelungsprozess zur Steuerung und/oder Regelung des Gasdrucks definieren.Furthermore, the operating device 4 designed to create a process sequence having at least two process steps. The process flow may define a control and / or regulation process for controlling and / or regulating the gas pressure.

Bei dem in 9 dargestellten siebten Zustand des Anzeigemittels 5 ist ein Prozessablauf mit zwei Prozessschritten dargestellt, wobei die beiden Prozessschritte jeweils durch ein grafisches Bedienelement 6iv in einem Ablaufdefinitionsbereich 9 repräsentiert sind. Darüber hinaus zeigt das Anzeigemittel 5 mehrere grafische Bedienelemente 6iii in einem Auswahlbereich 10 an bzw. ist zur Anzeige von mehreren grafischen Bedienelementen 6iii in einem Auswahlbereich 10 ausgebildet. Die auswählbaren grafischen Bedienelemente 6iii sind hier übereinander angeordnet.At the in 9 shown seventh state of the display means 5 a process flow is shown with two process steps, whereby the two process steps each by a graphical control element 6IV in a flow definition area 9 are represented. In addition, the display means 5 several graphical controls 6III in a selection area 10 on or is to display several graphical controls 6III in a selection area 10 educated. The selectable graphical controls 6III are arranged one above the other here.

Zur Erstellung eines Prozessablaufs kann ein grafisches Bedienelementen 6iii ausgewählt und aus dem Auswahlbereich 10 in den Ablaufdefinitionsbereich 9 bewegt werden, insbesondere durch ein sogenanntes „Drag and Drop“-Verfahren. Beispielsweise kann ein grafisches Bedienelement 6iii durch längeres Markieren ausgewählt werden, wodurch eine grafische Repräsentation des grafisches Bedienelement 6iii angezeigt wird, die dann aus dem Auswahlbereich 10 in den Ablaufdefinitionsbereich 9 gezogen werden kann. Nachdem die grafische Repräsentation des grafisches Bedienelement 6iii an einer Position Ablaufdefinitionsbereich 9 „fallen gelassen“ worden ist, wird ein erstes grafisches Bedienelement 6iv angezeigt und durch ein numerisches Anzeigeelement („1.“) gekennzeichnet. Nun kann nochmals ein grafisches Bedienelementen 6iii ausgewählt und aus dem Auswahlbereich 10 in den Ablaufdefinitionsbereich 9 bewegt werden. Dabei kann die grafische Repräsentation dieses grafischen Bedienelementes 6iii an einer Position über oder unter dem bereits angezeigten ersten grafischen Bedienelement 6iv im Ablaufdefinitionsbereich 9 „fallen gelassen“ werden. Dann wird ein zweites grafisches Bedienelement 6iv angezeigt und durch ein numerisches Anzeigeelement („2.“) gekennzeichnet.To create a process flow can be a graphical controls 6III selected and from the selection area 10 in the flow definition area 9 be moved, in particular by a so-called "drag and drop" method. For example, a graphical control 6III be selected by longer marking, creating a graphical representation of the graphical control 6III is displayed, then from the selection area 10 in the flow definition area 9 can be pulled. Having the graphical representation of the graphical control 6III at a position flow definition area 9 "Dropped" becomes a first graphical control 6IV and indicated by a numeric display element ("1."). Now again, a graphical controls 6III selected and from the selection area 10 in the flow definition area 9 to be moved. The graphic representation of this graphical control element can be used here 6III at a position above or below the already displayed first graphical control 6IV in the flow definition area 9 Be "dropped". Then there will be a second graphical control 6IV and indicated by a numeric display element ("2.").

Nicht dargestellt ist, dass die grafischen Bedienelemente 6iv auch nebeneinander anordenbar sind.Not shown is that the graphical controls 6IV can also be arranged next to each other.

Der Prozessablauf ist durch die Anordnung, insbesondere durch die Reihenfolge, der grafischen Bedienelemente 6iv auf dem Anzeigemittel 5 definiert. Wird der Prozessablauf gestartet, z. B. durch Bedienung eines weiteren Bediensymbols 21, werden die den grafischen Bedienelementen 6iv zugeordneten Prozessschritte ausgeführt, und zwar nacheinander gemäß der Anordnung der grafischen Bedienelemente 6iv, hier also der Reihenfolge der grafischen Bedienelemente 6iv von oben nach unten.The process flow is due to the arrangement, in particular by the order of the graphical controls 6IV on the display means 5 Are defined. If the process is started, eg. B. by operating another control icon 21 , become the graphic controls 6IV assigned process steps executed, one after the other according to the arrangement of the graphical controls 6IV , here the order of the graphical controls 6IV from top to bottom.

Die Anordnung der grafischen Bedienelemente 6iv ist änderbar, hier durch Tipp-, Wisch-, Schiebe- und/oder Zeigebewegungen. Insbesondere sind die grafischen Bedienelemente 6iv vertauschbar und/oder entfernbar.The arrangement of graphic controls 6IV is changeable, here by tipping, wiping, pushing and / or pointing movements. In particular, the graphical controls 6iv are interchangeable and / or removable.

So zeigt die 10 in einem achten Zustand des Anzeigemittels 5, dass ein grafisches Bedienelement 6iv des erstellten Prozessablaufs entfernbar ist, indem das grafische Bedienelement 6iv bzw. eine grafische Repräsentation des grafischen Bedienelements 6iv aus dem Ablaufdefinitionsbereich 9 in den Auswahlbereich 10 bewegt wird. Zudem ist dargestellt, dass ein weiteres einem Prozessschritt zugeordnetes grafisches Bedienelement 6iii in den Prozessablauf eingefügt werden kann, wodurch ein weiteres grafisches Bedienelement 6iv im Ablaufdefinitionsbereich 9 angezeigt wird.That's how it shows 10 in an eighth state of the display means 5 that a graphical control 6IV of the created process flow is removable, by the graphical control element 6IV or a graphical representation of the graphical control element 6IV from the flow definition area 9 in the selection area 10 is moved. In addition, it is shown that a further graphical control element 6iii associated with a process step can be inserted into the process flow, whereby a further graphical operating element is provided 6IV in the flow definition area 9 is shown.

Nicht dargestellt ist, dass ein mehrere bzw. wenigstens zwei Prozessschritte verbindender Prozessschritt vorgesehen sein kann, beispielsweise in Form einer Schleife und/oder einer Bedingung. Somit ist es dem Nutzer gestattet, in den Prozessablauf Kontrollstrukturen und/oder Wiederholungen einzubauen.It is not shown that a process step connecting several or at least two process steps can be provided, for example in the form of a loop and / or a condition. Thus, the user is allowed to include in the process flow control structures and / or repetitions.

Bei dem in 9 und 10 dargestellten und bevorzugten Ausführungsbeispiel sind in den grafischen Bedienelementen 6iv Parameter des jeweiligen Prozessschrittes visualisiert und mittels weiterer grafischer Bedienelemente 11 einstellbar.At the in 9 and 10 illustrated and preferred embodiment are in the graphical controls 6IV Parameters of the respective process step visualized and by means of other graphical controls 11 adjustable.

11 zeigt einen neunten Zustand des Anzeigemittels 5, in dem ein erstellter Prozessablauf mittels eines Bediensymbols 12 auswählbar ist. Bei dem hier dargestellten und bevorzugten Ausführungsbeispiel kann die Auswahl des Bediensymbols 12 durch ein Tippen auf das Bediensymbol 12 erfolgen. Insbesondere ist ein erstellter Prozessablauf mittels des Bediensymbols 12 anzeigbar und/oder aktivierbar. Der erstellte Prozessablauf kann nach Aufruf des Bediensymbols 12 verändert werden, insbesondere wobei nur relevante Parameter der Prozessschritte eingestellt werden können. 11 shows a ninth state of the display means 5 in which a created process sequence by means of a control symbol 12 is selectable. In the illustrated and preferred embodiment, the selection of the operating icon 12 by tapping on the operating symbol 12 respectively. In particular, a created process flow is by means of the operating symbol 12 can be displayed and / or activated. The created process flow can be called after calling the operating symbol 12 be changed, in particular where only relevant parameters of the process steps can be set.

Nicht dargestellt ist, dass die Vorrichtung 1 zur gleichzeitigen Durchführung mehrerer Prozessabläufe und/oder zur Darstellung mehrerer gleichzeitiger Prozessabläufe und/oder zur Auswahl eines aktiven von mehreren gleichzeitigen Prozessabläufen ausgebildet ist. Eine Auswahl von aktiven Prozessabläufen und/oder die Darstellung von mehreren gleichzeitigen Prozessabläufen kann analog dem in 11 dargestellten Zustand des Anzeigemittels 5 vorgesehen bzw. darstellbar sein. Zusätzlich zu den Bediensymbolen 12 können bei einem aktiven Prozessablauf auch relevante Parameter und/oder Informationen zu diesem Prozessablauf dem Nutzer angezeigt werden.Not shown is that the device 1 for the simultaneous execution of a plurality of process sequences and / or for representing a plurality of simultaneous process sequences and / or for selecting an active one of a plurality of simultaneous process sequences. A selection of active process flows and / or the representation of multiple simultaneous process flows may be analogous to those in 11 illustrated state of the display means 5 be provided or presentable. In addition to the operating symbols 12 In the case of an active process flow, relevant parameters and / or information about this process flow can also be displayed to the user.

Ferner ist nicht dargestellt, dass die Bedieneinrichtung 4 drahtgebunden und/oder drahtlos mit der Gasdruckmesseinrichtung 2 verbunden ist. Die Bedieneinrichtung 4 kann drahtgebunden und/oder drahtlos mit der Gasdruckmesseinrichtung 2 und/oder der den Gasdruck aufweisenden Apparatur 14 kommunizieren.Furthermore, it is not shown that the operating device 4 wired and / or wireless with the gas pressure measuring device 2 connected is. The operating device 4 can be wired and / or wireless with the gas pressure measuring device 2 and / or the apparatus having the gas pressure 14 communicate.

12 zeigt schematisch die Apparatur 14, die mit der Vorrichtung 1 kommuniziert. Die Gasdruckmesseinrichtung 2 misst den Gasdruck in der Apparatur 14. Der Apparatur 14 sind in dem hier dargestellten und bevorzugten Ausführungsbeispiel Stellglieder 15 bzw. wenigstens ein Stellglied 15 zugeordnet. Als Stellglied 15 kann ein Vakuumregelventil und/oder ein Vakuumpumpenantrieb, insbesondere mit der Apparatur 14 gekoppelt, vorgesehen sein. Bei dem in 11 dargestellten Ausführungsbeispiel ist außerdem gezeigt, dass die Stellglieder 15 mit der Bedieneinrichtung 4 derart gekoppelt sind, dass die Stellglieder 15 über die Bedieneinrichtung 4 regelbar und/oder steuerbar sind. Hierfür kann die Bedieneinrichtung 4 entsprechende Befehle eines Steuerungs- und/oder Regelungsprozesses an die Stellglieder 15, die entweder in der Apparatur 14 angeordnet und/oder der Apparatur 14 zugeordnet sind, übertragen. 12 shows schematically the apparatus 14 that with the device 1 communicated. The gas pressure measuring device 2 measures the gas pressure in the apparatus 14 , The apparatus 14 are in the illustrated and preferred embodiment of actuators 15 or at least one actuator 15 assigned. As an actuator 15 may be a vacuum control valve and / or a vacuum pump drive, in particular with the apparatus 14 coupled, be provided. At the in 11 illustrated embodiment is also shown that the actuators 15 with the operating device 4 are coupled such that the actuators 15 via the operating device 4 are controllable and / or controllable. For this purpose, the operating device 4 corresponding commands of a control and / or regulation process to the actuators 15 either in the apparatus 14 arranged and / or the apparatus 14 are assigned, transferred.

In 12 ist zudem zu erkennen, dass die Gasdruckmesseinrichtung 2 Informationen, insbesondere gemessene Parameter, vorzugsweise den Soll-Druck, an die Bedieneinrichtung 4 überträgt, die diese anschließend, entsprechend dem in 3 dargestellten Ausführungsbeispiel, dem Nutzer anzeigt.In 12 In addition, it can be seen that the gas pressure measuring device 2 Information, in particular measured parameters, preferably the desired pressure, to the operating device 4 transfers, then these, according to the in 3 illustrated embodiment, the user displays.

13 zeigt schematisch eine weitere bevorzugte Ausführungsform der Vorrichtung 1, wobei der Bedieneinrichtung 4 eine Speichereinrichtung 17 zugeordnet ist. Bei dem hier dargestellten und bevorzugten Ausführungsbeispiel ist ein erstellter Prozessablauf in der Speichereinrichtung 17 der Vorrichtung 1 speicherbar. Zudem kann die Vorrichtung 1 auch einen erstellten Prozessablauf von der Speichereinrichtung 17 empfangen bzw. daraus abrufen. 13 shows schematically a further preferred embodiment of the device 1 , wherein the operating device 4 a storage device 17 assigned. In the illustrated and preferred embodiment, a created process flow is in the memory device 17 the device 1 storable. In addition, the device can 1 also a created process flow from the storage device 17 receive or retrieve from it.

14 zeigt eine weitere Ausführungsform der erfindungsgemäßen Vorrichtung 1, wobei der Vorrichtung 1 ein externes Gerät 18 zugeordnet ist. Bei dem hier dargestellten und bevorzugten Ausführungsbeispiel ist das externe Gerät 18 der Gasdruckmesseinrichtung 2 zugeordnet. Von dem externen Gerät 18 kann ein Prozessablauf an die Vorrichtung 1 übertragen werden bzw. die Vorrichtung 1 kann von dem externen Gerät 18 einen erstellten Prozessablauf empfangen. Bei dem hier dargestellten und bevorzugten Ausführungsbeispiel ist vorgesehen, dass nach Übertragung eines erstellten Prozessablaufes von der Speichereinrichtung 17 und/oder von dem externen Gerät 18 dieser Prozessablauf von einem Nutzer über Bedienung des Anzeigemittels 5 verändert werden kann. 14 shows a further embodiment of the device according to the invention 1 , wherein the device 1 an external device 18 assigned. In the embodiment shown and preferred here is the external device 18 the gas pressure measuring device 2 assigned. From the external one device 18 can a process flow to the device 1 be transferred or the device 1 can from the external device 18 receive a created process flow. In the exemplary embodiment illustrated and preferred here, it is provided that after the transfer of a created process sequence from the storage device 17 and / or from the external device 18 this process flow from a user via operation of the display means 5 can be changed.

15 zeigt schematisch ein Verfahren zur Steuerung und/oder Regelung eines Gasdrucks. Der Gasdruck wird mit einer eine Gasdruckmesseinrichtung 2 aufweisenden Vorrichtung 1 gemessen. Die Vorrichtung 1 ist in dem hier dargestellten und bevorzugten Ausführungsbeispiel des Verfahrens nach wenigstens einer der zuvor beschriebenen bevorzugten Ausführungsformen ausgebildet. Erfindungsgemäß ist vorgesehen, dass die Vorrichtung 1 über ein berührungsempfindliches Anzeigemittel 5 einer Bedieneinrichtung 4 bedient wird. 15 schematically shows a method for controlling and / or regulating a gas pressure. The gas pressure is measured using a gas pressure gauge 2 having device 1 measured. The device 1 is formed in the illustrated and preferred embodiment of the method according to at least one of the preferred embodiments described above. According to the invention it is provided that the device 1 via a touch-sensitive display means 5 an operating device 4 is served.

Wie bereits aus 4 und 5 ersichtlich, wird bei einer bevorzugten Ausführungsform des Verfahrens ein Parameter, insbesondere der Soll-Druck, eines Prozessschrittes mittels eines grafischen Bedienelementes 6, 6i, 6ii eingestellt. Eine Einstellung kann über Tipp-, Wisch-, Schiebe- und/oder Zeigebewegungen erfolgen.As already out 4 and 5 can be seen, in a preferred embodiment of the method, a parameter, in particular the target pressure of a process step by means of a graphical control element 6 . 6i . 6ii set. A setting can be made by tapping, swiping, sliding and / or pointing movements.

Weiter ist bei dem in 4 dargestellten Zustand des Anzeigemittels 5 gezeigt, dass zur Einstellung eines Parameters, insbesondere des Soll-Drucks, eines Steuerungs- und/oder Regelungsprozesses eine Markierung 8 eines grafischen Bedienelementes 6 innerhalb eines den Wertebereich des Parameters repräsentierenden Bereiches 7 bewegt wird. Durch ein Verschieben der Markierung 8 innerhalb des Bereiches 7 kann der einzustellende Parameter - letztlich der Soll-Wert - festgelegt werden.Next is at the in 4 illustrated state of the display means 5 shown that for setting a parameter, in particular the target pressure, a control and / or regulation process, a mark 8th a graphical control 6 within a range representing the value range of the parameter 7 is moved. By moving the mark 8th within the range 7 the parameter to be set - ultimately the target value - can be set.

Aus dem in 9 und 10 dargestellten Zustand ergibt sich hinsichtlich des hier beschriebenen Verfahrens, dass ein wenigstens zwei Prozessschritte aufweisender Prozessablauf über die Bedieneinrichtung 4 mittels grafischer Bedienelemente 6iii, 6iv erstellt wird. Dabei werden zur Erstellung eines Prozessablaufs mehrere grafische Bedienelemente 6iv mittels des Anzeigemittels 5 grafisch übereinander angeordnet. In einem weiteren, nicht dargestellten Ausführungsbeispiel werden die Bedienelemente 6iv grafisch nebeneinander angeordnet. Die Anordnung kann über Tipp-, Wisch-, Schiebe- und/oder Zeigebewegungen - letztlich über die Berührung des berührungsempfindlichen Anzeigemittels 5 - hervorgerufen werden. Der Prozessablauf ist hier durch die Anordnung, insbesondere die Reihenfolge, der grafischen Bedienelemente 6iv definiert. Die Reihenfolge der Bedienelemente 6iv kann zusätzlich zur Anordnung über eine Nummerierung der Bedienelemente 6iv dem Nutzer angezeigt werden. Nicht dargestellt ist, dass durch einen farblichen Verlauf oder dergleichen dem Nutzer eine Rangordnung bzw. Reihenfolge der die Prozessschritte repräsentierenden Bedienelemente 6iv visualisiert werden kann.From the in 9 and 10 shown state results in terms of the method described here that a process sequence having at least two process steps via the operating device 4 using graphical controls 6III . 6IV is created. At the same time, several graphical operating elements are created to create a process flow 6IV by means of the display means 5 arranged graphically one above the other. In a further, not shown embodiment, the controls 6IV arranged graphically next to each other. The arrangement may be by means of tapping, wiping, sliding and / or pointing movements - ultimately via the touch of the touch-sensitive display means 5 - be caused. The process flow is here by the arrangement, in particular the order of the graphical controls 6IV Are defined. The order of the controls 6IV can in addition to the arrangement via a numbering of the controls 6IV be displayed to the user. It is not shown that a ranking or sequence of the control elements representing the process steps by a color gradient or the like 6IV can be visualized.

10 zeigt schematisch, dass die Reihenfolge bzw. die Anordnung der Bedienelemente 6iv geändert wird. Eine derartige Änderung kann mittels einer Berührung über Tipp-, Wisch-, Schiebe- und/oder Zeigebewegungen erfolgen. Zudem können die grafischen Bedienelemente 6iv eines erstellten Prozessablaufs vertauscht und/oder entfernt und/oder ein weiteres einem Prozessschritt zugeordnetes grafisches Bedienelement 6iv kann in einen erstellten Prozessablauf eingefügt werden. 10 schematically shows that the order or the arrangement of the controls 6iv is changed. Such a change can be made by means of a touch via tipping, wiping, sliding and / or pointing movements. In addition, the graphical controls 6IV a created process sequence swapped and / or removed and / or another process control associated with a graphical control element 6IV can be inserted in a created process flow.

Ein erstellter Prozessablauf kann - gemäß 11 - mittels eines Bediensymbols 12 ausgewählt, angezeigt und/oder aktiviert werden. Eine Auswahl des Bediensymbols 12 kann beispielsweise durch ein Tippen auf das bzw. ein Markieren des Bediensymbols 12 erfolgen.A created process flow can - according to 11 - by means of an operating symbol 12 selected, displayed and / or activated. A selection of the operating symbol 12 For example, by tapping on it or marking the operating symbol 12 respectively.

Aus 12 wird ersichtlich, dass ein Stellglied 15 einer den Gasdruck aufweisenden Apparatur 14 über die Bedieneinrichtung 4 gesteuert und/oder geregelt wird.Out 12 it becomes apparent that an actuator 15 a gas pressure having apparatus 14 via the operating device 4 controlled and / or regulated.

Bei dem in 15 dargestellten und bevorzugten Verfahrensablauf ist vorgesehen, dass in Schritt A ein Prozessablauf durch Markieren eines Bediensymbols 12 ausgewählt wird.At the in 15 illustrated and preferred procedure is provided that in step A, a process flow by marking a control icon 12 is selected.

In Schritt B werden dem Prozessablauf weitere Prozessschritte mittels grafischer Bedienelemente 6iii, 6iv hinzugefügt. Dabei oder anschließend wird die Reihenfolge der Abarbeitung der Prozessschritte festgelegt - gegebenenfalls zusätzlich überprüft. Dies erfolgt über das Festlegen der Anordnung der grafischen Bedienelemente 6iv.In step B, the process flow further process steps by means of graphical controls 6III . 6IV added. During this process or subsequently, the order of processing of the process steps is defined - if necessary additionally checked. This is done by setting the arrangement of the graphical controls 6IV ,

In Schritt C werden die einzelnen Parameter der Prozessschritte überprüft und zu verändernde Parameter über Auswahl von weiteren Bedienelementen 11 verändert und somit eingestellt.In step C, the individual parameters of the process steps are checked and parameters to be changed via selection of further operating elements 11 changed and thus adjusted.

Ferner wird in Schritt D der erstellte Prozessablauf durch Auswahl eines weiteren Bediensymbols 21 gestartet.Furthermore, in step D, the process flow created is selected by selecting another operating symbol 21 started.

Schließlich wird in Schritt E der erstellte Prozessablauf in einer Speichereinrichtung 17 gespeichert. Bei dem hier dargestellten und bevorzugten Ausführungsbeispiel kann in Schritt E auch der Prozessablauf unterbrochen werden. Der bereits gestartete Prozessablauf kann verändert werden, indem beispielsweise einzelne Prozessschritte verändert und/oder entfernt werden.Finally, in step E, the created process flow is stored in a memory device 17 saved. In the illustrated and preferred embodiment, the process flow can be interrupted in step E. The already started process flow can be changed by, for example, changing and / or removing individual process steps.

BezugszeichenlisteLIST OF REFERENCE NUMBERS

11
Vorrichtung zur Steuerung und/oder Regelung eines GasdrucksDevice for controlling and / or regulating a gas pressure
22
GasdruckmesseinrichtungGas pressure measuring device
33
Gasdrucksensor von 2Gas pressure sensor of 2
44
Bedieneinrichtungoperating device
55
berührungsempfindliches Anzeigemittel von 4touch-sensitive display means of FIG. 4
6, 6i, 6ii, 6iii, 6iv6, 6i, 6ii, 6iii, 6iv
Bedienelementoperating element
77
Bereich von 6Range of 6
88th
Markierungmark
99
AblaufdefinitionsbereichExpiration domain
1010
Auswahlbereichselection area
1111
weiteres Bedienelementanother operating element
1212
Bediensymboloperator symbol
1414
Apparaturapparatus
1515
Stellgliedactuator
1616
Frontseite von 1Front of 1
1717
Speichereinrichtungmemory device
1818
externes Gerätexternal device
1919
Anzeigebereichdisplay area
2020
weiterer Anzeigebereichfurther display area
2121
weitere Bediensymbolefurther operating symbols
2222
weitere Markierungfurther marking

Claims (14)

Vorrichtung zur Steuerung und/oder Regelung eines Gasdrucks, wobei die Vorrichtung (1) Folgendes umfasst: - eine Gasdruckmesseinrichtung (2) mit einem Gasdrucksensor (3) und - eine Bedieneinrichtung (4), dadurch gekennzeichnet, dass die Bedieneinrichtung (4) ein berührungsempfindliches Anzeigemittel (5) aufweist und die Vorrichtung (1) über das Anzeigemittel (5) bedienbar ist.Device for controlling and / or regulating a gas pressure, the device (1) comprising: - a gas pressure measuring device (2) with a gas pressure sensor (3) and - an operating device (4), characterized in that the operating device (4) is a touch-sensitive Display means (5) and the device (1) via the display means (5) is operable. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass mindestens ein grafisches Bedienelement (6, 6i, 6ii) zur Einstellung mindestens eines Parameters, insbesondere des Solldrucks, eines Steuerungs- und/oder Regelungsprozesses ausgebildet ist und dass zur Einstellung des Parameters eine Tipp-, Wisch-, Schiebe- und/oder Zeigebewegung vorgesehen ist.Device after Claim 1 , characterized in that at least one graphic control element (6, 6i, 6ii) is designed for setting at least one parameter, in particular the setpoint pressure, of a control and / or regulation process and that for adjusting the parameter a tapping, wiping, sliding and / or pointing movement is provided. Vorrichtung nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, dass das grafische Bedienelement (6) einen den Wertebereich des Parameters repräsentierenden Bereich (7) und in dem Bereich (7) eine einen Soll-Wert des Parameters repräsentierende Markierung (8) aufweist und dass zur Einstellung des Parameters die Markierung (8) innerhalb des Bereichs (7) bewegbar, insbesondere verschiebbar ist.Device after Claim 2 , characterized in that the graphic control element (6) has a range representing the value range of the parameter (7) and in the region (7) has a desired value of the parameter representing mark (8) and that for setting the parameter, the mark ( 8) within the region (7) is movable, in particular displaceable. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, dass - die Vorrichtung (1) zur Durchführung verschiedener Prozessschritte ausgebildet ist, - das Anzeigemittel (5) zum Anzeigen mehrerer grafischer Bedienelemente (6iii, 6iv) ausgebildet ist, - mehrere der grafischen Bedienelemente (6iii, 6iv) verschiedenen Prozessschritten zugeordnet sind und - die Bedieneinrichtung (4) zur Erstellung eines wenigstens zwei Prozessschritte aufweisenden Prozessablaufs ausgebildet ist.Device according to one of Claims 1 to 3 , characterized in that - the device (1) is designed for carrying out various process steps, - the display means (5) is designed to display a plurality of graphical operating elements (6iii, 6iv), - several of the graphical operating elements (6iii, 6iv) are assigned to different process steps are and - the operating device (4) is designed to create a process comprising at least two process steps. Vorrichtung nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, dass zur Erstellung eines Prozessablaufes mehrere grafische Bedienelemente (6iv) mittels des Anzeigemittels (5) grafisch übereinander und/oder nebeneinander anordenbar sind, insbesondere wobei die Anordnung über Tipp-, Wisch-, Schiebe- und/oder Zeigebewegungen durchführbar ist.Device after Claim 4 , characterized in that for the creation of a process sequence, a plurality of graphical operating elements (6iv) by means of the display means (5) are arranged graphically one above the other and / or side by side, in particular wherein the arrangement on tap, wiping, sliding and / or Zeigebewegungen is feasible. Vorrichtung nach Anspruch 4 oder 5, dadurch gekennzeichnet, dass der Prozessablauf durch die Anordnung, insbesondere durch die Reihenfolge, der grafischen Bedienelemente (6iv) auf dem Anzeigemittel (5) definiert ist.Device after Claim 4 or 5 , characterized in that the process flow is defined by the arrangement, in particular by the order, of the graphical operating elements (6iv) on the display means (5). Vorrichtung nach einem der Ansprüche 4 bis 6, dadurch gekennzeichnet, dass mindestens ein Parameter eines der Prozessschritte eines erstellten Prozessablaufs nach Antippen des zugeordneten grafischen Bedienelements (6iii, 6iv) mittels mindestens eines weiteren grafischen Bedienelements (11) einstellbar ist, insbesondere wobei mindestens ein Vorgabewert des Parameters eingestellt und/oder gespeichert ist.Device according to one of Claims 4 to 6 , characterized in that at least one parameter of one of the process steps of a created process sequence after touching the associated graphical control element (6iii, 6iv) by means of at least one further graphical control element (11) is adjustable, in particular wherein at least one default value of the parameter is set and / or stored , Vorrichtung nach einem der Ansprüche 4 bis 7, dadurch gekennzeichnet, dass die Anordnung, insbesondere die Reihenfolge, der zu den Prozessschritten eines erstellten Prozessablaufs zugeordneten grafischen Bedienelemente (6iv) änderbar ist, insbesondere mittels einer Tipp-, Wisch-, Schiebe- und/oder Zeigebewegung, vorzugsweise wobei grafische Bedienelemente (6iv) eines erstellten Prozessablaufs vertauschbar und/oder entfernbar sind und/oder ein weiteres einem Prozessschritt zugeordnetes grafisches Bedienelement (6iii, 6iv) in einen erstellten Prozessablauf einfügbar ist, insbesondere wobei die grafischen Bedienelemente (6iii) der veränderbaren Prozessschritte als Auswahl anzeigbar sind.Device according to one of Claims 4 to 7 , characterized in that the arrangement, in particular the order of the process steps of a created process flow associated graphical operating elements (6iv) is changeable, in particular by means of a tap, wipe, slide and / or pointing movement, preferably wherein graphical controls (6iv ) of a created process flow interchangeable and / or can be removed and / or another graphical operating element (6iii, 6iv) assigned to a process step can be inserted into a created process sequence, in particular wherein the graphical operating elements (6iii) of the variable process steps can be displayed as a selection. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 4 bis 8, dadurch gekennzeichnet, dass ein erstellter Prozessablauf von der Vorrichtung (1) empfangbar und/oder an ein externes Gerät (18) übertragbar und/oder in einer Speichereinrichtung (17) der Vorrichtung (1) speicherbar und, vorzugsweise, daraus abrufbar ist.Device according to one of Claims 4 to 8th , characterized in that a created process flow from the device (1) receivable and / or transferable to an external device (18) and / or stored in a memory device (17) of the device (1) and, preferably, is retrievable therefrom. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 4 bis 9, dadurch gekennzeichnet, dass ein erstellter Prozessablauf mittels eines Bediensymbols (12), insbesondere durch ein Tippen auf das Bediensymbol (12), auswählbar, anzeigbar und/oder aktivierbar ist.Device according to one of Claims 4 to 9 , characterized in that a created process sequence by means of an operating symbol (12), in particular by tapping on the operating icon (12), selectable, displayable and / or activatable. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Vorrichtung (1) zur gleichzeitigen Durchführung mehrerer Prozessabläufe und/oder zur Darstellung mehrerer gleichzeitiger Prozessabläufe und/oder zur Auswahl eines aktiven von mehreren gleichzeitigen Prozessabläufen ausgebildet ist.Device according to one of the preceding claims, characterized in that the device (1) is designed for simultaneously carrying out a plurality of process sequences and / or for displaying a plurality of simultaneous process sequences and / or for selecting an active one of a plurality of simultaneous process sequences. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Bedieneinrichtung (4) drahtgebunden und/oder drahtlos mit der Gasdruckmesseinrichtung (2) verbunden ist, insbesondere wobei die Bedieneinrichtung (4) drahtgebunden und/oder drahtlos mit der Gasdruckmesseinrichtung (2) und/oder der den Gasdruck aufweisenden Apparatur (14) kommunizieren kann.Device according to one of the preceding claims, characterized in that the operating device (4) is wired and / or wirelessly connected to the gas pressure measuring device (2), in particular wherein the operating device (4) wired and / or wireless with the gas pressure measuring device (2) and / or the apparatus (14) having the gas pressure can communicate. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Bedieneinrichtung (4) mit wenigstens einem Stellglied (15), insbesondere einem Vakuumregelventil und/oder einem Vakuumpumpenantrieb, gekoppelt ist, insbesondere wobei das Stellglied (15) über die Bedieneinrichtung (4) regelbar und/oder steuerbar ist.Device according to one of the preceding claims, characterized in that the operating device (4) with at least one actuator (15), in particular a vacuum control valve and / or a vacuum pump drive is coupled, in particular wherein the actuator (15) via the operating device (4) controllable and / or controllable. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass das Anzeigemittel (5) sich über wenigstens 70%, vorzugsweise mindestens 80%, einer Frontseite (16) der Vorrichtung (1) erstreckt.Device according to one of the preceding claims, characterized in that the display means (5) extends over at least 70%, preferably at least 80%, of a front side (16) of the device (1).
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