DE202016106003U1 - Filter unit for fan filter modules in clean room applications - Google Patents

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Abstract

Filtereinheit für Lüfter-Filtermodule in Reinraumanwendungen, bestehend aus einem Filterkasten (1) mit Luftein- und -auslassseite (2; 3), wobei auslassseitig ein Filterpaket (4) eingesetzt ist und der Filterkasten (1) mindestens auslassseitig über eine umlaufende Dichtung (5) verfügt sowie weiterhin das Filterpaket (4) auslassseitig mittels eines strömungsdurchlässigen Griffschutzes (7) abgedeckt ist, dadurch gekennzeichnet, dass zwischen dem Filterpaket (4) und dem Griffschutz (7) ein mattenartiger Strömungsvergleichmäßiger (8) eingesetzt ist, wobei der Strömungsvergleichmäßiger (8) und der Griffschutz (7) eine strahlungsabsorbierende, nicht-reflektierende Oberflächenbeschichtung oder eine strahlungsabsorbierende Farbe aufweisen.Filter unit for fan filter modules in clean room applications, consisting of a filter box (1) with air inlet and outlet side (2; 3), wherein a filter pack (4) is inserted on the outlet side and the filter box (1) at least on the outlet side via a circumferential seal (5 ) and furthermore the filter pack (4) is covered on the outlet side by means of a flow-permeable grip guard (7), characterized in that a mat-like flow comparator (8) is inserted between the filter pack (4) and the grip guard (7), the flow equalizer (8 ) and the handle protection (7) have a radiation-absorbing, non-reflective surface coating or a radiation-absorbing paint.

Description

Die Erfindung betrifft eine Filtereinheit für Lüfter-Filtermodule in Reinraumanwendungen, bestehend aus einem Filterkasten mit Luftein- und -auslassseite, wobei auslassseitig ein Filterpaket eingesetzt ist und der Filterkasten mindestens auslassseitig über eine umlaufende Dichtung verfügt sowie weiterhin das Filterpaket auslassseitig mittels eines strömungsdurchlässigen Griffschutzes abgedeckt ist gemäß Oberbegriff des Anspruches 1.The invention relates to a filter unit for fan filter modules in clean room applications, consisting of a filter box with Luftein- and -auslassseite, wherein the outlet side, a filter pack is used and the filter box at least on the outlet side has a circumferential seal and further the filter pack is covered on the outlet side by means of a flow-permeable handle protection according to the preamble of claim 1.

Aus der DE 44 12 583 C1 ist eine Ventilator-Filtereinheit für Reinraumdecken bekannt. Diese Filtereinheit weist ein auf einer Seite durch Schwebstofffiltermittel abgeschlossenes Gehäuse auf, dessen Innenwandungen zumindestens teilweise mit schalldämpfenden Mitteln ausgestattet sind. Im Innenraum befindet sich darüber hinaus ein Ventilator.From the DE 44 12 583 C1 is a fan filter unit for clean room ceilings known. This filter unit has a closed on one side by Schwebstofffiltermittel housing whose inner walls are at least partially equipped with sound-absorbing means. Inside there is also a fan.

Ventilator-Filtereinheiten können zur Reinstluftversorgung im Reinraum entsprechend den speziellen räumlichen Gegebenheiten angepasst und in entsprechender Anzahl in eine Reinraumdeckenkonstruktion eingebaut werden. Beispielsweise vorgesehene Reinraumdeckenkonstruktionen gehen von einem rasterförmig gestalteten Rahmen aus, in dessen Felder modulare Elemente wie die erwähnten Ventilator-Filtereinheiten in der notwendigen Verteilung einsetzbar sind.Fan filter units can be adapted to the clean air supply in the clean room in accordance with the specific spatial conditions and installed in a corresponding number in a clean room ceiling construction. For example, provided clean room ceiling constructions are based on a grid-shaped frame in whose fields modular elements such as the aforementioned fan filter units can be used in the necessary distribution.

Die Ventiltor-Filtereinheiten besitzen üblicherweise ein kastenförmiges oder rahmenartiges Gehäuse, das auf der Luftauslassseite einen Filter besitzt und insofern abgeschlossen wird. Auf der gegenüberliegenden Seite ist ein Zulufteinlass vorgesehen. Der an oder in dem Gehäuse untergebrachte Ventilator sorgt für den notwendigen Luftstrom.The Ventiltor filter units usually have a box-shaped or frame-like housing, which has a filter on the air outlet side and thus is completed. On the opposite side is provided a Zulufteinlass. The fan housed on or in the housing provides the necessary airflow.

Die DE 195 19 565 A1 zeigt einen Filterkasten mit einem Gehäuse, in dem sich eine Filterzelle mit einem Rahmen gegebenenfalls über ein Dichtungsprofil gegen Anschlagwinkel abstützt, wobei das Gehäuse einen Anschlussstutzen an ein Luftführungssystem aufweist.The DE 195 19 565 A1 shows a filter box with a housing in which a filter cell with a frame optionally supported by a sealing profile against stop angle, wherein the housing has a connection piece to an air duct system.

Derartige Filterkästen finden in Reinraumlaboren, Elektroniklaboren, Operationsräumen und biologisch reinen Räumen Anwendung.Such filter boxes are used in clean room laboratories, electronics laboratories, operating rooms and biologically clean rooms.

Der Filterkasten mit integriertem Filter dient dazu, Partikel, das heißt Luftverunreinigungen, aus der in den entsprechenden Raum einzubringenden Luft abzutrennen, das heißt auszufiltern.The filter box with integrated filter serves to separate particles, that is to say air contaminants, from the air to be introduced into the corresponding space, that is to say filter them out.

Die bei den bekannten Ventilator-Filtereinheiten eingesetzten und austauschbaren Filter bestehen üblicherweise aus einem papierähnlichen Filtermaterial, das in der notwendigen Struktur, üblicherweise zick-zack-förmig gelegt bzw. gefalten ist, wobei Stabilisierungsstege vorhanden sind, um für definierte Strömungsverhältnisse zu sorgen. Solche Filtereinsätze stellen ein Massenprodukt dar. Die Farbigkeit der Filtereinsätze reicht hier von einem klassischen Weiß bis hin zu Gelb- oder Grautönen.The interchangeable filter used in the known fan filter units usually consist of a paper-like filter material, which is laid or folded in the necessary structure, usually zig-zag-shaped, with stabilizing webs are provided to provide for defined flow conditions. Such filter inserts represent a mass product. The color of the filter inserts ranges from a classic white to yellow or gray tones.

Bei zu schaffenden Reinraumbedingungen für spezielle Messräume, insbesondere Messlabore, welche Untersuchungen in völliger Dunkelheit ermöglichen sollen, hat es sich als sehr störend erwiesen, dass die klassischen Filter mehr oder weniger stark strahlungsreflektierend wirken. Gleiches gilt für die weiteren Komponenten der Filtereinheit, insbesondere der Teile des jeweiligen Filterkastens, der luftauslassseitig, das heißt hin zum Messraum bzw. Labor, gerichtet ist.With clean room conditions to be created for special measuring rooms, in particular measuring laboratories, which should allow examinations in complete darkness, it has proven to be very disturbing that the classical filters have more or less radiation-reflecting effect. The same applies to the other components of the filter unit, in particular the parts of the respective filter box, the air outlet side, that is directed towards the measuring room or laboratory.

Aus dem Vorgenannten ist es daher Aufgabe der Erfindung, eine weiterentwickelte Filtereinheit für Lüfter-Filtermodule in Reinraumanwendungen anzugeben, welche trotz der Verwendung üblicher, Massenprodukt-Filtereinsätze über keine bzw. nur minimale Strahlungsreflexionseigenschaften verfügt, um deren Einsatz für diesbezüglich spezielle Messräume und Labore zu gestatten.From the foregoing, it is therefore an object of the invention to provide an advanced filter unit for fan filter modules in clean room applications, which despite the use of conventional, mass-product filter cartridges has no or only minimal radiation reflection properties to allow their use for this purpose, special measuring rooms and laboratories ,

Die Lösung der Aufgabe der Erfindung erfolgt durch eine Filtereinheit für Lüfter-Filtermodule gemäß der Merkmalskombination nach Anspruch 1, wobei die Unteransprüche mindestens zweckmäßige Ausgestaltungen und Weiterbildungen darstellen.The object of the invention is achieved by a filter unit for fan filter modules according to the feature combination according to claim 1, wherein the dependent claims represent at least expedient refinements and developments.

Demnach wird von einer Filtereinheit für Lüfter-Filtermodule in Reinraumanwendungen ausgegangen.Accordingly, it is assumed that a filter unit for fan filter modules in clean room applications.

Die Filtereinheit besteht aus einem Filterkasten, der zum Beispiel als Rahmen ausgebildet sein kann.The filter unit consists of a filter box, which may be designed, for example, as a frame.

Der Filterkasten weist eine Lufteinlass- und eine Luftauslassseite auf.The filter box has an air inlet and an air outlet side.

Auslassseitig ist im Filterkasten ein maßlich passendes Filterpaket eingesetzt.On the outlet side, a dimensionally suitable filter pack is inserted in the filter box.

Der Filterkasten besitzt mindestens auslassseitig eine umlaufende Dichtung. Ergänzend ist das Filterpaket auslassseitig mittels eines strömungsdurchlässigen Griffschutzes abgedeckt und gesichert.The filter box has at least the outlet side a circumferential seal. In addition, the filter pack is covered and secured on the outlet side by means of a flow-permeable grip guard.

In erfindungsgemäßer Weiterbildung bekannter Filtereinheiten wird zwischen dem Filterpaket und dem Griffschutz ein mattenartiger Strömungsvergleichmäßiger eingesetzt, wobei der Strömungsvergleichmäßiger und der Griffschutz eine strahlungsabsorbierende, nicht reflektierende Oberflächenbeschichtung oder eine entsprechende strahlungsabsorbierende Farbe aufweisen.In a further development of known filter units, a mat-like flow equalizer is used between the filter pack and the handle guard, wherein the flow comparator and the grip guard have a radiation-absorbing, non-reflective surface coating or a corresponding radiation-absorbing paint.

Konkret absorbiert die Farbe oder die Oberflächenbeschichtung Strahlung im Lichtspektrum, das heißt sichtbares Licht. Specifically, the color or the surface coating absorbs radiation in the light spectrum, that is, visible light.

Die Oberflächenbeschichtung oder die Farbe ist bevorzugt schwarz, insbesondere tiefschwarz.The surface coating or the color is preferably black, in particular deep black.

In zweckmäßiger Weiterbildung der Erfindung weisen mindestens die auslassseitigen Oberflächen der Dichtung und des Filterkastens eine nichtreflektierende, strahlungsabsorbierende Oberfläche auf oder sind mit einer derartigen Oberflächenbeschichtung versehen.In an expedient development of the invention, at least the outlet-side surfaces of the seal and the filter box have a non-reflecting, radiation-absorbing surface or are provided with such a surface coating.

Der Strömungsvergleichmäßiger besteht bevorzugt aus einer Gewebe-, Gewirke- oder Vliesmatte.The Strömungsvergleichmäßiger preferably consists of a woven, knitted or nonwoven mat.

Das Gewebe, Gewirke oder Vlies ist bevorzugt schwarz eingefärbt oder besteht aus entsprechenden schwarzen textilen Komponenten bzw. Vliesfasern.The woven, knitted or nonwoven fabric is preferably dyed black or consists of corresponding black textile components or nonwoven fibers.

Der Strömungsvergleichmäßiger ist insofern undurchsichtig, das heißt blickdicht ausgebildet. Dadurch ist die deutlich hellere, insbesondere weiße, graue oder gelbfarbige Oberfläche des eigentlichen Filterpaketes nicht störend.The Strömungsvergleichmäßiger is so far opaque, that is opaque formed. As a result, the significantly lighter, especially white, gray or yellow-colored surface of the actual filter pack is not disturbing.

In einer Weiterbildung der Erfindung ist der Strömungsvergleichmäßiger mehrlagig ausgebildet, so dass die gewünschte Undurchsichtigkeit gewährleistet wird.In a development of the invention, the flow equalizer is designed in multiple layers, so that the desired opacity is ensured.

Der Filterkasten kann in bevorzugter Ausgestaltung der Erfindung eine Farbbeschichtung in Tiefschwarz, insbesondere RAL9005, aufweisen.In a preferred embodiment of the invention, the filter box can have a color coating in deep black, in particular RAL9005.

Der Griffschutz besteht bei einer Ausgestaltung der Erfindung aus einem Streckmetallmaterial. Auch dieses Streckmetallmaterial ist entweder selbst tiefschwarz ausgeführt oder besitzt eine Oberflächenbeschichtung in Tiefschwarz, insbesondere RAL9005.The grip protection consists in one embodiment of the invention of an expanded metal material. This expanded metal material is either deep black or has a surface coating in deep black, in particular RAL9005.

Die Erfindung soll nachstehend anhand eines Ausführungsbeispieles sowie unter Zuhilfenahme von Figuren näher erläutert werden.The invention will be explained below with reference to an embodiment and with the aid of figures.

Hierbei zeigen:Hereby show:

1 eine Schnittdarstellung durch eine erfindungsgemäße Filtereinheit längs der Linie A-A gemäß 2, und 1 a sectional view through a filter unit according to the invention along the line AA according to 2 , and

2 eine Draufsicht auf eine Filtereinheit mit teilweise erkennbarer Ausbildung eines strömungsdurchlässigen Griffschutzes mit darunterliegendem Strömungsvergleichmäßiger. 2 a plan view of a filter unit with partially recognizable formation of a flow-permeable handle protection with underlying Strömungsvergleichmäßiger.

Die in den Figuren gezeigten Maßangaben sind rein beispielhaft und schränken das Wesen der Erfindung nicht ein.The dimensions shown in the figures are purely exemplary and do not limit the essence of the invention.

Die Filtereinheit besteht aus einem Filterkasten 1 mit Lufteinlassseite 2 und Luftauslassseite 3.The filter unit consists of a filter box 1 with air inlet side 2 and air outlet side 3 ,

Luftauslassseitig ist ein Filterpaket 4 eingesetzt, das aus einem entsprechend gefalteten und mit Querstabilisierungen versehenen papierartigen Gebilde besteht.Air outlet side is a filter pack 4 used, which consists of a correspondingly folded and provided with stabilizers stabilized paper-like structure.

Mindestens luftauslassseitig ist eine umlaufende Dichtung 5, beispielsweise aus einem PU-Material, vorhanden. Eine solche weitere Dichtung 6 aus einem PU-Material befindet sich in gleicher Weise lufteinlassseitig.At least the air outlet side is a circumferential seal 5 , For example, made of a PU material available. Such a further seal 6 made of a PU material is located in the same way air inlet side.

Das Filterpaket 4 ist luftauslassseitig mittels eines strömungsdurchlässigen Griffschutzes 7 abgedeckt und gesichert.The filter package 4 is air outlet side by means of a flow-permeable grip protection 7 covered and secured.

Zwischen dem Griffschutz 7 und der unteren, luftaustrittsseitigen Oberfläche des Filterpaketes 4 ist ein mattenartiger Strömungsvergleichmäßiger 8 befindlich.Between the handle protection 7 and the lower, air outlet side surface of the filter pack 4 is a mat like flow comparator 8th located.

Im Bereich 7.1 ist der Griffschutz 7 mit dem Strömungsvergleichmäßiger 8 vergossen, insbesondere mit einem Material, ähnlich der Dichtung 5.In the area 7.1 is the grip protection 7 with the flow equalizer 8th potted, especially with a material similar to the seal 5 ,

Sowohl der Strömungsvergleichmäßiger 8 als auch der Griffschutz 7 weisen eine nicht-reflektierende, strahlungsabsorbierende Oberflächenbeschichtung oder eine entsprechende strahlungsabsorbierende Farbe auf.Both the Strömungsvergleichmäßiger 8th as well as the grip protection 7 have a non-reflective, radiation-absorbing surface coating or a corresponding radiation-absorbing ink.

Die Oberflächenbeschichtung oder die Farbe absorbiert Strahlung im Lichtspektrum.The surface coating or paint absorbs radiation in the light spectrum.

Insbesondere ist die Oberflächenbeschichtung oder die Farbe schwarz gemäß RAL9005 oder ähnlich.In particular, the surface coating or the color is black according to RAL9005 or similar.

Ergänzend weisen mindestens die auslassseitigen Oberflächen der Dichtung 5 und des Filterkastens 1 eine nicht-reflektierende, strahlungsabsorbierende Oberfläche bzw. Oberflächenbeschichtung oder Farbgestaltung auf.In addition, at least the outlet-side surfaces of the seal 5 and the filter box 1 a non-reflective, radiation-absorbing surface or surface coating or color design.

Der Strömungsvergleichmäßiger 8 besteht bevorzugt aus einer Gewebe-, Gewirke- oder Vliesmatte. Diese Matte kann mehrlagig ausgeführt werden. Das Gewebe, das Gewirke oder Vlies ist entweder schwarz eingefärbt oder besteht selbst aus schwarzen Textilmaterialien bzw. Vliesfasern.The flow comparator 8th preferably consists of a woven, knitted or non-woven mat. This mat can be made multi-layered. The woven fabric, the knitted fabric or nonwoven fabric is either dyed black or consists of black textile materials or nonwoven fibers.

Trotz der üblicherweise hellen Farbe des Filterpaketes 4 ergibt sich bei einer Ansicht von unten, das heißt in Richtung Luftauslassseite der Filtereinheit, ein völlig schwarzer, das heißt nicht-reflektierender Eindruck.Despite the usually bright color of the filter pack 4 results in a view from below, that is towards the air outlet side of the Filter unit, a completely black, that is non-reflective impression.

Es kann somit auch für Spezialanwendungen, bei denen es gilt, insbesondere Strahlung im sichtbaren Bereich des Spektrums vollständig zu absorbieren und nicht zu reflektieren, eine Filtereinheit eingesetzt werden, die übliche als Massenartikel zur Verfügung stehende Filterpakete nutzt. Lediglich die zum Labor- oder Messraum gerichtete Seite der Filtereinheit wird durch die vorstehend erläuterten Mittel strahlungsabsorbierend ausgestaltet.Thus, even for special applications in which it is necessary in particular to completely absorb and not reflect radiation in the visible region of the spectrum, it is possible to use a filter unit which uses conventional filter packages available as mass-produced articles. Only the side of the filter unit directed towards the laboratory or measuring chamber is designed to absorb radiation by the means explained above.

Durch den umlaufenden Verguss des Griffschutzes nebst Strömungsvergleichmäßiger bezogen auf den Filterkasten ist für die notwendige Dichtigkeit gesorgt, so dass unerwünschte Luftströmungen am Filtereinsatz vorbei, wirksam ausgeschlossen werden.Due to the encircling encapsulation of the grip protection together with the flow comparison with respect to the filter box, the necessary tightness is ensured, so that unwanted air flows past the filter insert are effectively excluded.

ZITATE ENTHALTEN IN DER BESCHREIBUNG QUOTES INCLUDE IN THE DESCRIPTION

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Zitierte PatentliteraturCited patent literature

  • DE 4412583 C1 [0002] DE 4412583 C1 [0002]
  • DE 19519565 A1 [0005] DE 19519565 A1 [0005]

Claims (10)

Filtereinheit für Lüfter-Filtermodule in Reinraumanwendungen, bestehend aus einem Filterkasten (1) mit Luftein- und -auslassseite (2; 3), wobei auslassseitig ein Filterpaket (4) eingesetzt ist und der Filterkasten (1) mindestens auslassseitig über eine umlaufende Dichtung (5) verfügt sowie weiterhin das Filterpaket (4) auslassseitig mittels eines strömungsdurchlässigen Griffschutzes (7) abgedeckt ist, dadurch gekennzeichnet, dass zwischen dem Filterpaket (4) und dem Griffschutz (7) ein mattenartiger Strömungsvergleichmäßiger (8) eingesetzt ist, wobei der Strömungsvergleichmäßiger (8) und der Griffschutz (7) eine strahlungsabsorbierende, nicht-reflektierende Oberflächenbeschichtung oder eine strahlungsabsorbierende Farbe aufweisen.Filter unit for fan filter modules in clean room applications, consisting of a filter box ( 1 ) with air inlet and outlet side ( 2 ; 3 ), with a filter pack on the outlet side ( 4 ) and the filter box ( 1 ) at least on the outlet side via a circumferential seal ( 5 ) as well as the filter package ( 4 ) on the outlet side by means of a flow-permeable grip protection ( 7 ), characterized in that between the filter pack ( 4 ) and the grip protection ( 7 ) a mat-like Strömungsvergleichmäßiger ( 8th ) is used, wherein the Strömungsvergleichmäßiger ( 8th ) and the grip protection ( 7 ) have a radiation-absorbing, non-reflective surface coating or a radiation-absorbing paint. Filtereinheit nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Oberflächenbeschichtung oder die Farbe Strahlung im Lichtspektrum absorbiert.Filter unit according to claim 1, characterized in that the surface coating or the color absorbs radiation in the light spectrum. Filtereinheit nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass die Oberflächenbeschichtung oder die Farbe schwarz ist.Filter unit according to claim 1 or 2, characterized in that the surface coating or the color is black. Filtereinheit nach einem der vorangegangenen Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass mindestens die auslassseitigen Oberflächen der Dichtung und des Filterkastens (1) eine nicht-reflektierende, strahlungsabsorbierende Oberfläche aufweisen.Filter unit according to one of the preceding claims, characterized in that at least the outlet-side surfaces of the seal and the filter box ( 1 ) have a non-reflective, radiation-absorbing surface. Filtereinheit nach einem der vorangegangenen Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass der Strömungsvergleichmäßiger (8) aus einer Gewebe-, Gewirke- oder Vliesmatte besteht.Filter unit according to one of the preceding claims, characterized in that the flow comparator ( 8th ) consists of a woven, knitted or non-woven mat. Filtereinheit nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, dass das Gewebe, Gewirke oder Vlies schwarz eingefärbt ist.Filter unit according to claim 5, characterized in that the woven fabric, knitted fabric or fleece is dyed black. Filtereinheit nach einem der vorangegangenen Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass der Strömungsvergleichmäßiger (8) undurchsichtig bzw. blickdicht ausgebildet ist.Filter unit according to one of the preceding claims, characterized in that the flow comparator ( 8th ) is opaque or opaque. Filtereinheit nach einem der Ansprüche 5 bis 7, dadurch gekennzeichnet, dass der Strömungsvergleichmäßiger (8) mehrlagig ausgebildet ist.Filter unit according to one of claims 5 to 7, characterized in that the Strömungsvergleichmäßiger ( 8th ) is multi-layered. Filtereinheit nach einem der vorangegangenen Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass der Filterkasten (1) eine Farbbeschichtung nach RAL9005, Tiefschwarz, aufweist.Filter unit according to one of the preceding claims, characterized in that the filter box ( 1 ) has a color coating according to RAL9005, jet black. Filtereinheit nach einem der vorangegangenen Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass der Griffschutz (7) aus Streckmetall besteht.Filter unit according to one of the preceding claims, characterized in that the grip protection ( 7 ) consists of expanded metal.
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DE4412583C1 (en) 1994-04-13 1995-09-14 Daldrop & Dr Ing Huber Gmbh & Fan filter unit for clean room
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