DE202013104111U1 - Dry running vacuum pumping station - Google Patents

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Abstract

Trockenlaufender Vakuumpumpstand zur Erzeugung eines Vakuums, umfassend: – eine Klauenpumpe (1), die mit ihrer Saugseite an einen Evakuierungsbereich (2) angeschlossen ist; – eine Membranpumpe (4), die mit ihrer Saugseite an die ruckseite der Klauenpumpe (1) angeschlossen ist und gegen den an ihrer Druckseite anliegenden Atmosphärendruck fördert; – eine Bypassleitung (6) mit einem Bypassventil (7), welches eine geöffnete und eine geschlossene Stellung besitzt; wobei bei geöffnetem Bypassventil (7) die Membranpumpe (4) überbrückt wird, sodass die Klauenpumpe (1) gegen Atmosphärendruck fördert und bei geschlossenem Bypassventil (7) in die Saugseite der Membranpumpe (4) fördert, und wobei das Bypassventil (7) schließt, sobald ein vorgegebener Grobvakuumdruck an der Saugseite der Klauenpumpe (1) erreicht ist, dadurch gekennzeichnet, dass die Klauenpumpe eine einstufige Klauenpumpe (1) ist mit einem Kompressionsverhältnis K0 größer als 80.A dry-running vacuum pumping station for generating a vacuum, comprising: - a claw pump (1), which is connected with its suction side to an evacuation area (2); - A membrane pump (4), which is connected with its suction side to the back of the claw pump (1) and promotes against the voltage applied to its pressure side atmospheric pressure; - A bypass line (6) with a bypass valve (7) which has an open and a closed position; wherein, when the bypass valve (7) is open, the diaphragm pump (4) is bridged, so that the claw pump (1) delivers against atmospheric pressure and conveys into the suction side of the diaphragm pump (4) when the bypass valve (7) is closed, and the bypass valve (7) closes, as soon as a predetermined rough vacuum pressure on the suction side of the claw pump (1) is reached, characterized in that the claw pump is a single-stage claw pump (1) with a compression ratio K0 greater than 80.

Description

Die vorliegende Erfindung betrifft einen trockenlaufenden Vakuumpumpstand zur Erzeugung eines Feinvakuums in einem Evakuierungsbereich. The present invention relates to a dry running vacuum pumping station for generating a fine vacuum in an evacuation area.

In modernen technologischen Prozessen werden zunehmend abgeschlossene Bereiche bzw. Räume benötigt, in denen ein Vakuum erzeugt werden muss, beispielsweise um in einer Vorrichtung oder während eines Herstellungsschrittes eine hohe Reinheit der umgebenden Atmosphäre zu ermöglichen. Dafür genügt häufig nicht die Herstellung eines Grobvakuums sondern es wird ein sogenanntes Feinvakuum angestrebt, bei welchem ein Druck im Bereich von 1 bis 10–3 mbar herrscht. In modern technological processes increasingly completed areas or spaces are needed in which a vacuum must be generated, for example, to allow in a device or during a manufacturing step, a high purity of the surrounding atmosphere. For this, it is often not enough to produce a rough vacuum, but a so-called fine vacuum is sought, in which a pressure in the range from 1 to 10 -3 mbar prevails.

Um in einem Evakuierungsbereich ein Feinvakuum herzustellen, muss zunächst ein größeres Volumen durch Abpumpen der enthaltenen Luft oder anderer Gase evakuiert werden und nach Erreichen des gewünschten Unterdrucks das erzeugte Feinvakuum über einen längeren Zeitraum aufrechterhalten werden. Im Rahmen technologischer Abläufe soll die anfängliche Evakuierung eines zunächst z. B. unter Atmosphärendruck stehenden Evakuierungsbereiches möglichst schnell erfolgen, während für die Aufrechterhaltung des hergestellten Feinvakuums nachfolgend nur noch ein geringer Energieeinsatz angestrebt wird. Gleichzeitig soll eine Verunreinigung des Evakuierungsbereiches durch Rückströmung aus dem Pumpensystem vermieden werden, so dass ölgedichtete Vakuumpumpen nicht verwendbar sind. In order to produce a fine vacuum in an evacuation area, a larger volume must first be evacuated by pumping out the air or other gases contained, and after reaching the desired negative pressure, the fine vacuum produced must be maintained for a longer period of time. In the context of technological processes, the initial evacuation of an initially z. B. under atmospheric pressure evacuation area as quickly as possible, while for maintaining the fine vacuum produced below only a small amount of energy is sought. At the same time, contamination of the evacuation area by backflow from the pump system should be avoided so that oil-sealed vacuum pumps can not be used.

Aus dem Stand der Technik sind zwar unterschiedliche Vakuumpumpen bekannt, die für verschiedene Druck- und Volumenbereiche optimiert sind, jedoch sind keine Pumpen verfügbar, die sowohl eine hohe Volumenleistung bei geringem Energieeinsatz zeigen als auch dauerhaft ein Feinvakuum in einem Evakuierungsbereich aufrechterhalten können, bei gleichzeitiger Vermeidung einer Verschmutzungsgefahr. Für die beschriebenen Anwendungsfelder werden daher Kombinationen aus mehreren Pumpen, sogenannte Pumpstände verwendet. Allerdings zeigen auch solche bekannten Pumpstände weiterhin Nachteile, insbesondere in Bezug auf die Herstellungskosten, die Wartungsaufwendungen und die Betriebssicherheit. Although different vacuum pumps are known from the prior art, which are optimized for different pressure and volume ranges, however, no pumps are available which can both show high volume performance with low energy consumption and permanently maintain a fine vacuum in an evacuation area, while avoiding it a risk of contamination. Therefore combinations of several pumps, so-called pumping stations, are used for the described fields of application. However, even such known pumping stations continue to show disadvantages, in particular with regard to the manufacturing costs, the maintenance costs and the operational safety.

Aus der DE 10 2010 009 083 A1 ist eine Vakuumpumpe mit einer ersten Pumpstufe und einer zweiten Pumpstufe bekannt. Die beiden Pumpstufen sind hintereinander geschaltet und die erste Pumpstufe ist vakuumseitig, die zweite Pumpstufe druckseitig angeordnet. Die zweite Pumpstufe ist mit mindestens einer Membranpumpeinheit ausgeführt und so dimensioniert, dass die zweite Pumpstufe mindestens 20% des Saugvermögens der Vakuumpumpe bei Atmosphärendruck bereitstellt. Die erste Pumpstufe ist mit mindestens einer Schraubenpumpeneinheit ausgeführt. Als besonderer Vorteil der Verwendung einer Schraubenpumpe im Vergleich zu Roots- oder Klauenpumpen wird in dieser Druckschrift die mögliche hohe Verdichtung der Schraubenpumpen genannt. Tatsächlich zeigt sich allerdings, dass mit Schraubenpumpen keine ausreichend hohen Kompressionsverhältnisse erreichbar sind, jedenfalls wenn Aufbauten mit einer konstanten Steigung der Schraubengänge verwendet werden, um die Gesamtkosten gering zu halten. From the DE 10 2010 009 083 A1 For example, a vacuum pump with a first pumping stage and a second pumping stage is known. The two pumping stages are connected in series and the first pumping stage is on the vacuum side, the second pumping stage is arranged on the pressure side. The second pumping stage is designed with at least one diaphragm pumping unit and dimensioned such that the second pumping stage provides at least 20% of the pumping speed of the vacuum pump at atmospheric pressure. The first pumping stage is designed with at least one screw pump unit. As a particular advantage of using a screw pump compared to Roots or claw pumps, the possible high compression of the screw pumps is called in this document. In fact, however, screw pumps do not provide sufficiently high compression ratios, at least where constructions with a constant pitch of the flights are used to minimize overall costs.

Die DE 602 00 493 T2 beschreibt ein Vakuumpumpsystem mit einer mehrstufigen trockenlaufenden Primärpumpe, die als Roots- oder Klauenpumpe gestaltet sein kann und deren Einlassseite mit einer Vakuumkammer verbunden ist. Darüber hinaus ist eine Zusatzpumpe vorgesehen, deren Einlass mit dem Auslass der Primärpumpe verbunden ist und deren Auslass gegen den Atmosphärendruck fördert. Ebenso besitzt das Vakuumpumpsystem eine Vorevakuierungsleitung parallel zur Zusatzpumpe und ausgerüstet mit einem Rückschlagventil, welches die von der Primärpumpe kommenden Gase durchlässt. Bei der Zusatzpumpe handelt es sich ebenfalls um eine trockenlaufende Pumpe, die auf einen Rotor verzichten soll. Vorzugsweise wird als Zusatzpumpe eine Membranpumpe eingesetzt. Praktische Untersuchungen haben allerdings gezeigt, dass bei der Reihenschaltung herkömmlicher Klauen- und Membranpumpen ein Feinvakuum allenfalls dann aufgebaut und dauerhaft aufrechterhalten werden kann, wenn wie beschrieben mehrstufige Primärpumpen eingesetzt werden. Dies führt zu einem insgesamt teuren Pumpstand. The DE 602 00 493 T2 describes a vacuum pumping system with a multi-stage dry running primary pump, which may be designed as a Roots or claw pump and whose inlet side is connected to a vacuum chamber. In addition, an auxiliary pump is provided, whose inlet is connected to the outlet of the primary pump and promotes the outlet against the atmospheric pressure. Likewise, the vacuum pumping system has a pre-evacuation line parallel to the auxiliary pump and equipped with a check valve which allows the gases coming from the primary pump to pass. The auxiliary pump is also a dry running pump, which should do without a rotor. Preferably, a diaphragm pump is used as an additional pump. However, practical investigations have shown that in the series connection of conventional claw and diaphragm pumps, a fine vacuum can at best be built up and permanently maintained if multistage primary pumps are used as described. This leads to a total expensive pumping station.

Die Aufgabe der vorliegenden Erfindung besteht ausgehend von der DE 602 00 492 T2 darin einen verbesserten trockenlaufenden Vakuumpumpstand bereitzustellen, der preiswert aufgebaut werden kann, lediglich zwei einstufig ausgelegte Pumpen benötigt, ein Feinvakuum herstellen kann und für einen energieeffizienten Einsatz im industriellen Bereich konzipiert ist. The object of the present invention is based on the DE 602 00 492 T2 to provide an improved dry running vacuum pumping station that can be constructed inexpensively, requires only two single stage pumps, can produce a fine vacuum, and is designed for energy efficient use in the industrial environment.

Diese Aufgabe wird durch einen Vakuumpumpstand gelöst, der eine Klauenpumpe und eine Membranpumpe besitzt. Die Saugseite der Klauenpumpe ist an den Evakuierungsbereich angeschlossen, während die Membranpumpe mit ihrer Saugseite an die Druckseite der Klauenpumpe angeschlossen ist und gegen Atmosphärendruck fördert. Außerdem ist eine Bypassleitung vorgesehen, die ein Bypassventil besitzt, welches im geöffneten Zustand die Membranpumpe überbrückt, so dass die Druckseite der Klauenpumpe in diesem Betriebsmodus gegen Atmosphärendruck fördert. Der Vakuumpumpstand ist derart gesteuert, dass das Bypassventil schließt, sobald ein vorgegebener Grobvakuumdruck an der Saugseite der Klauenpumpe erreicht ist. Die Erfindung zeichnet sich insbesondere dadurch aus, dass die Klauenpumpe eine einstufige Klauenpumpe ist mit einem Kompressionsverhältnis K0 größer 80, vorzugsweise größer 100. This object is achieved by a vacuum pumping station having a claw pump and a diaphragm pump. The suction side of the claw pump is connected to the evacuation area, while the diaphragm pump is connected with its suction side to the pressure side of the claw pump and promotes against atmospheric pressure. In addition, a bypass line is provided, which has a bypass valve, which bridges the diaphragm pump in the open state, so that the pressure side of the claw pump promotes in this operating mode against atmospheric pressure. The vacuum pumping station is controlled such that the bypass valve closes as soon as a predetermined rough vacuum pressure at the Suction side of the claw pump is reached. The invention is characterized in particular by the fact that the claw pump is a single-stage claw pump with a compression ratio K 0 greater than 80, preferably greater than 100.

Die Kombination einer einstufigen Klauenpumpe mit einem entsprechend hohen Kompressionsverhältnis in Verbindung mit einer Membranpumpe gestattet erstmals den Aufbau eines trockenlaufenden Vakuumpumpstandes mit einstufiger Primärpumpe für die Erzielung eines Feinvakuums, insbesondere im Bereich kleiner 1 mbar. The combination of a single-stage claw pump with a correspondingly high compression ratio in conjunction with a diaphragm pump allows for the first time the construction of a dry-running Vakuumpumpstandes with single-stage primary pump for achieving a fine vacuum, especially in the range of less than 1 mbar.

Als wesentliche Vorteile des erfindungsgemäßen Pumpstandes werden unter anderem angesehen, dass ein Feinvakuumbereich bei hohem Saugvermögen und niedrigen Ansaugdrücken erreichbar ist, wobei der modulare Aufbau des Pumpstandes geringe Herstellungskosten zur Folge hat und eine Anpassung an den jeweiligen Anwendungsfall in Bezug auf Förderleistung und Energieeffizienz gestattet. Der Pumpstand kann chemiebeständig ausgeführt werden und es genügt im Regelfall eine Luftkühlung der verwendeten Pumpen. Considered as essential advantages of the pumping station according to the invention are, inter alia, that a fine vacuum range can be achieved with high pumping speeds and low suction pressures, the modular construction of the pumping station resulting in low production costs and allowing adaptation to the respective application in terms of conveying capacity and energy efficiency. The pumping station can be carried out chemically resistant and it is usually sufficient to air cooling the pumps used.

Um die genannten Kompressionsverhältnisse der Klauenpumpe zu erreichen, hat es sich als vorteilhaft erwiesen, die Spaltflächen im Kompressionsraum sehr klein zu halten, insbesondere mit veredelten Oberflächen auszuführen. Vorzugsweise wird dafür eine Lackschicht aufgebracht, die zu einer entsprechenden Oberflächengüte führt. Ein solcher Lack kann nach dem Zusammenbau der Klauenpumpe in den Förderraum eingebracht werden, so dass er sich bei einer ersten Inbetriebnahme auf den Spaltoberflächen verteilt und damit das Spaltmaß weiter verringert. Grundsätzlich sind bereits bei der Herstellung der Klauenpumpe sehr geringe Spaltmaße vorzusehen, um das oben genannte Kompressionsverhältnis erreichen zu können. In order to achieve the said compression ratios of the claw pump, it has proven to be advantageous to keep the gap surfaces in the compression space very small, in particular to carry out with finished surfaces. Preferably, a lacquer layer is applied for this, which leads to a corresponding surface quality. Such a lacquer can be introduced after assembly of the claw pump in the delivery chamber, so that it is distributed on a first startup on the gap surfaces and thus further reduces the gap. In principle, very small gaps must be provided in the production of the claw pump in order to achieve the abovementioned compression ratio.

Generell definiert das Kompressionsverhältnis K0 das maximale Druckverhältnis zwischen Ausstoßdruck p2 und Saugdruck p1 (K0 = p2/p1). Die benötigten Kompressionsverhältnisse werden beispielsweise durch Klauenpumpen der Serie C-VLR (z. B. C-VLR 60) erreicht, die von der Firma Gardener Denver Schopfheim GmbH unter der Marke „Elmo Rietschle“ angeboten werden. Natürlich können auch andere Klauenpumpen eingesetzt werden, soweit sie das genannte Kompressionsverhältnis erreichen. In general, the compression ratio K 0 defines the maximum pressure ratio between the discharge pressure p 2 and the suction pressure p 1 (K 0 = p 2 / p 1 ). The required compression ratios are achieved, for example, by claw pumps of the C-VLR series (eg C-VLR 60), which are offered by Gardener Denver Schopfheim GmbH under the brand name "Elmo Rietschle". Of course, other claw pumps can be used, as far as they reach the said compression ratio.

Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform ist der vorgegebene Grobvakuumdruck, bei welchem das Bypassventil schließt, im Bereich von 200 mbar bis 50 mbar, vorzugsweise im Bereich von 120 mbar bis 80 mbar eingestellt. According to a preferred embodiment, the predetermined rough vacuum pressure at which the bypass valve closes is set in the range from 200 mbar to 50 mbar, preferably in the range from 120 mbar to 80 mbar.

Bei einer abgewandelten Ausführungsform kann zwischen der Saugseite der Klauenpumpe und dem Evakuierungsbereich eine Wälzkolbenpumpe zwischengeschaltet sein. Auf diese Weise lässt sich die anfängliche Förderleistung weiter erhöhen, so dass das gewünschte Feinvakuum insgesamt noch schneller erreicht werden kann. In a modified embodiment, a Roots pump can be interposed between the suction side of the claw pump and the evacuation area. In this way, the initial capacity can be further increased, so that the desired fine vacuum can be achieved even faster overall.

Eine bevorzugte Ausführungsform der vorliegenden Erfindung wird nachfolgend unter Bezugnahme auf die beigefügte Zeichnung beschrieben. A preferred embodiment of the present invention will be described below with reference to the accompanying drawings.

Die einzige Figur zeigt ein Blockschaltbild eines trockenlaufenden Vakuumpumpstands gemäß der vorliegenden Erfindung. The sole figure shows a block diagram of a dry-running vacuum pumping station according to the present invention.

Der erfindungsgemäße trockenlaufende Vakuumpumpstand umfasst mindestens zwei Pumpen. Zunächst ist eine einstufige Klauenpumpe 01 vorgesehen, deren Saugseite an einen Evakuierungsbereich 02 angeschlossen ist, in welchem ein Feinvakuum erzeugt werden soll. Bei abgewandelten Ausführungsformen kann die Saugseite der Klauenpumpe 01 mittelbar über eine weitere Pumpe an den Evakuierungsbereich 02 angeschlossen werden. Die Druckseite der Klauenpumpe 01 ist z. B. über eine Vakuumleitung 03 mit der Druckseite einer Membranpumpe 04 gekoppelt. Die Membranpumpe 04 fördert mit ihrer Druckseite gegen den Atmosphärendruck, der beispielsweise in einem Auslassbereich 05 herrscht. The dry running vacuum pumping station according to the invention comprises at least two pumps. First is a single-stage claw pump 01 provided, the suction side to an evacuation area 02 is connected, in which a fine vacuum is to be generated. In modified embodiments, the suction side of the claw pump 01 indirectly via another pump to the evacuation area 02 be connected. The pressure side of the claw pump 01 is z. B. via a vacuum line 03 with the pressure side of a diaphragm pump 04 coupled. The diaphragm pump 04 promotes with its pressure side against the atmospheric pressure, for example, in an outlet area 05 prevails.

Weiterhin ist im Vakuumpumpstand eine Bypassleitung 06 vorgesehen, in welcher ein Bypassventil 07 eingeschaltet ist. Die Bypassleitung 06 verläuft parallel zur Membranpumpe 04, so dass sie diese bei geöffnetem Bypassventil 07 überbrückt. Bei geöffnetem Bypassventil 07 koppelt die Bypassleitung 06 damit die Druckseite der Klauenpumpe 01 gegen den im Auslassbereich 05 herrschenden Atmosphärendruck. Furthermore, in Vakuumpumpstand a bypass line 06 provided in which a bypass valve 07 is turned on. The bypass line 06 runs parallel to the diaphragm pump 04 so they do this with the bypass valve open 07 bridged. With open bypass valve 07 couples the bypass line 06 thus the pressure side of the claw pump 01 against the outlet area 05 prevailing atmospheric pressure.

Die übliche Betriebsweise des erfindungsgemäßen Vakuumpumpstandes lässt sich wie folgt beschreiben: Um ausgehend von einem im Evakuierungsbereich 02 herrschenden Atmosphärendruck dort ein Feinvakuum zu erzeugen, wird zunächst mindestens die Klauenpumpe 01 in Betrieb genommen, wobei gegebenenfalls auch gleichzeitig die Membranpumpe 04 gestartet werden kann. Das Bypassventil 07 ist vorerst geöffnet, so dass die Bypassleitung 06 die Membranpumpe 04 kurzschließt. Die Klauenpumpe 01 fördert mit hoher Förderleistung Gas aus dem Evakuierungsbereich gegen Atmosphärendruck. Bei Erreichen eines vorgegebenen Grobvakuums im Evakuierungsbereich, beispielweise im Bereich von 200 mbar bis 50 mbar, wird das Bypassventil 07 geschlossen. Die Ansteuerung des Bypassventils kann bei bekanntem Fördervolumen zeitgesteuert oder in Abhängigkeit von dem gemessenen Druck im Evakuierungsbereich 02 erfolgen. The usual mode of operation of the vacuum pumping station according to the invention can be described as follows: In order to start from one in the evacuation area 02 prevailing atmospheric pressure there to create a fine vacuum, will initially at least the claw pump 01 put into operation, where appropriate, at the same time the diaphragm pump 04 can be started. The bypass valve 07 is initially opened so that the bypass line 06 the diaphragm pump 04 shorts. The claw pump 01 conveys high-capacity gas from the evacuation area against atmospheric pressure. Upon reaching a predetermined rough vacuum in the evacuation, for example in the range of 200 mbar to 50 mbar, the bypass valve 07 closed. The control of the bypass valve can with known delivery volume timed or depending on the measured pressure in the evacuation area 02 respectively.

Zur weiteren Evakuierung des Evakuierungsbereichs 02 arbeiten nun bei geschlossenem Bypassventil sowohl die Klauenpumpe 01 als auch die Membranpumpe 04, bis das Feinvakuum im Evakuierungsbereich 02 erreicht ist. Je nach Anwendungsfall kann der Pumpstand kontinuierlich weiterbetrieben werden, um das Feinvakuum aufrecht zu halten, oder es genügt eine intermittierende Betriebsweise. For further evacuation of the evacuation area 02 Now work with closed bypass valve both the claw pump 01 as well as the diaphragm pump 04 until the fine vacuum in the evacuation area 02 is reached. Depending on the application, the pumping station can be continuously operated to maintain the fine vacuum, or it suffices an intermittent operation.

Durch das hohe Kompressionsverhältnis bei der gewählten einstufigen Klauenpumpe ist erstmals die Reihenschaltung mit einer Membranpumpe zu einem Pumpstand gelungen, der mit nur zwei jeweils einstufig aufgebauten Pumpen die Erzeugung eines Feinvakuums gestattet. Gleichzeitig kann die hohe Förderleistung der Klauenpumpe voll genutzt werden, indem anfänglich die Membranpumpe mit der Bypassleitung überbrückt wird, so dass der Gasstrom nicht durch die rückstauende Membranpumpe geleitet werden muss. Due to the high compression ratio of the selected single-stage claw pump, the series connection with a diaphragm pump to a pumping station has been achieved for the first time, which allows the generation of a fine vacuum with only two single-stage pumps. At the same time, the high capacity of the claw pump can be fully utilized by initially bypassing the diaphragm pump with the bypass line, so that the gas flow does not have to be routed through the backflowing diaphragm pump.

BezugszeichenlisteLIST OF REFERENCE NUMBERS

0101
einstufige Klauenpumpe single-stage claw pump
0202
Evakuierungsbereich evacuation area
0303
Vakuumleitung vacuum line
0404
Membranpumpe diaphragm pump
0505
Auslassbereich outlet
0606
Bypassleitung bypass line
0707
Bypassventil bypass valve

ZITATE ENTHALTEN IN DER BESCHREIBUNG QUOTES INCLUDE IN THE DESCRIPTION

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Zitierte PatentliteraturCited patent literature

  • DE 102010009083 A1 [0005] DE 102010009083 A1 [0005]
  • DE 60200493 T2 [0006] DE 60200493 T2 [0006]
  • DE 60200492 T2 [0007] DE 60200492 T2 [0007]

Claims (10)

Trockenlaufender Vakuumpumpstand zur Erzeugung eines Vakuums, umfassend: – eine Klauenpumpe (1), die mit ihrer Saugseite an einen Evakuierungsbereich (2) angeschlossen ist; – eine Membranpumpe (4), die mit ihrer Saugseite an die ruckseite der Klauenpumpe (1) angeschlossen ist und gegen den an ihrer Druckseite anliegenden Atmosphärendruck fördert; – eine Bypassleitung (6) mit einem Bypassventil (7), welches eine geöffnete und eine geschlossene Stellung besitzt; wobei bei geöffnetem Bypassventil (7) die Membranpumpe (4) überbrückt wird, sodass die Klauenpumpe (1) gegen Atmosphärendruck fördert und bei geschlossenem Bypassventil (7) in die Saugseite der Membranpumpe (4) fördert, und wobei das Bypassventil (7) schließt, sobald ein vorgegebener Grobvakuumdruck an der Saugseite der Klauenpumpe (1) erreicht ist, dadurch gekennzeichnet, dass die Klauenpumpe eine einstufige Klauenpumpe (1) ist mit einem Kompressionsverhältnis K0 größer als 80. Dry running vacuum pumping station for generating a vacuum, comprising: - a claw pump ( 1 ) with their suction side to an evacuation area ( 2 ) connected; A diaphragm pump ( 4 ) with its suction side against the back of the claw pump ( 1 ) is connected and promotes against the voltage applied to its pressure side atmospheric pressure; - a bypass line ( 6 ) with a bypass valve ( 7 ), which has an open and a closed position; with open bypass valve ( 7 ) the diaphragm pump ( 4 ) is bridged so that the claw pump ( 1 ) against atmospheric pressure and with closed bypass valve ( 7 ) into the suction side of the diaphragm pump ( 4 ), and wherein the bypass valve ( 7 ) closes as soon as a predetermined rough vacuum pressure on the suction side of the claw pump ( 1 ), characterized in that the claw pump is a single-stage claw pump ( 1 ) is greater than 80 with a compression ratio K 0 . Vakuumpumpstand nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass das Kompressionsverhältnis K0 der einstufigen Klauenpumpe (1) gleich oder größer als 100 beträgt. Vacuum pumping station according to claim 1, characterized in that the compression ratio K 0 of the single-stage claw pump ( 1 ) is equal to or greater than 100. Vakuumpumpstand nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass zur Erzielung des genannten Kompressionsverhältnisses der Klauenpumpe (1) die Spaltflächen, die entlang der Rotoren der Klauenpumpe (1) ausgebildet sind, veredelte Oberflächen aufweisen. Vacuum pumping station according to claim 1 or 2, characterized in that in order to achieve said compression ratio of the claw pump ( 1 ) the gap surfaces along the rotors of the claw pump ( 1 ), have finished surfaces. Vakuumpumpstand nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, dass eine Lackschicht diese Oberflächenveredelung bildet. Vacuum pumping station according to claim 3, characterized in that a lacquer layer forms this surface refinement. Vakuumpumpstand nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, dass der vorgegebene Grobvakuumdruck im Bereich von 200 mbar bis 50 mbar eingestellt ist. Vacuum pumping station according to one of claims 1 to 4, characterized in that the predetermined rough vacuum pressure in the range of 200 mbar to 50 mbar is set. Vakuumpumpstand nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, dass der vorgegebene Grobvakuumdruck im Bereich von 120 mbar bis 80 mbar eingestellt ist. Vacuum pumping station according to claim 5, characterized in that the predetermined rough vacuum pressure in the range of 120 mbar is set to 80 mbar. Vakuumpumpstand nach einem der Ansprüche 1 bis 6, dadurch gekennzeichnet, dass zwischen der Saugseite der Klauenpumpe (1) und dem Evakuierungsbereich (2) eine Wälzkolbenpumpe zwischengeschaltet ist. Vacuum pumping station according to one of claims 1 to 6, characterized in that between the suction side of the claw pump ( 1 ) and the evacuation area ( 2 ) a Roots pump is interposed. Vakuumpumpstand nach einem der Ansprüche 1 bis 7, dadurch gekennzeichnet, dass er der Erzeugung eines Feinvakuums dient. Vacuum pumping station according to one of claims 1 to 7, characterized in that it serves to generate a fine vacuum. Vakuumpumpstand nach einem der Ansprüche 1 bis 8, dadurch gekennzeichnet, dass die Klauenpumpe (1) und die Membranpumpe (4) jeweils einen Saugstutzen auf ihrer Saugseite und einen Druckstutzen auf ihrer Druckseite besitzen. Vacuum pumping station according to one of claims 1 to 8, characterized in that the claw pump ( 1 ) and the diaphragm pump ( 4 ) each have a suction on its suction side and a discharge nozzle on its pressure side. Vakuumpumpstand nach einem der Ansprüche 1 bis 9, dadurch gekennzeichnet, dass der Evakuierungsbereich einen Vakuumbereich aus der folgenden Liste umfasst: • eine Bearbeitungskammer einer Anlage; • einen Reinraum; • eine Messkammer; • eine Beschichtungskammer; • einen Abschnitt einer Produktionsanlage für Mikrochips; • eine Feinvakuumdestillationsanlage; • eine Sublimationsanlage; • eine Gefriertrocknungsanlage. Vacuum pumping station according to one of claims 1 to 9, characterized in that the evacuation area comprises a vacuum area from the following list: a processing chamber of a plant; • a clean room; • a measuring chamber; A coating chamber; • a section of a microchip manufacturing facility; A fine vacuum distillation plant; • a sublimation plant; • a freeze dryer.
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