DE102005024180B4 - Transfer chamber and vacuum coating system - Google Patents

Transfer chamber and vacuum coating system Download PDF

Info

Publication number
DE102005024180B4
DE102005024180B4 DE200510024180 DE102005024180A DE102005024180B4 DE 102005024180 B4 DE102005024180 B4 DE 102005024180B4 DE 200510024180 DE200510024180 DE 200510024180 DE 102005024180 A DE102005024180 A DE 102005024180A DE 102005024180 B4 DE102005024180 B4 DE 102005024180B4
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
transfer chamber
vacuum
coating
chamber
compartment
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
DE200510024180
Other languages
German (de)
Other versions
DE102005024180A1 (en
Inventor
Wolfgang Erbkamm
Jochen Krause
Michael Hofmann
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Von Ardenne Asset GmbH and Co KG
Original Assignee
Von Ardenne Anlagentechnik GmbH
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Von Ardenne Anlagentechnik GmbH filed Critical Von Ardenne Anlagentechnik GmbH
Priority to DE200510024180 priority Critical patent/DE102005024180B4/en
Publication of DE102005024180A1 publication Critical patent/DE102005024180A1/en
Application granted granted Critical
Publication of DE102005024180B4 publication Critical patent/DE102005024180B4/en
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Classifications

    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
    • C23C14/56—Apparatus specially adapted for continuous coating; Arrangements for maintaining the vacuum, e.g. vacuum locks
    • C23C14/562—Apparatus specially adapted for continuous coating; Arrangements for maintaining the vacuum, e.g. vacuum locks for coating elongated substrates
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
    • C03C17/00—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating
    • C03C17/001—General methods for coating; Devices therefor
    • C03C17/002—General methods for coating; Devices therefor for flat glass, e.g. float glass
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
    • C23C14/34—Sputtering
    • C23C14/35—Sputtering by application of a magnetic field, e.g. magnetron sputtering

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Metallurgy (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • General Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Geochemistry & Mineralogy (AREA)
  • Physical Vapour Deposition (AREA)

Abstract

Transferkammer (1), umfassend ein Gehäuse (4) mit einer Einfuhröffnung (5) und einer Ausführöffnung (6), eine im Gehäuse (4) angeordnete Transporteinrichtung, bestehend aus einer Mehrzahl von in einer horizontalen Ebene quer zur Transportrichtung angeordneten Walzen (7), wobei im hinteren Bereich der Transferkammer (1) vor der Ausführöffnung (6) eine aus separat antreibbaren Walzen (8) gebildete Walzengruppe, dem so genannten Passing Band (8) angeordnet ist, weiter umfassend Vakuumanschlüsse oder/und Vakuumpumpen (9) zur Evakuierung der vorderen und mittleren Bereiche der Transferkammer (1), dadurch gekennzeichnet, dass im hinteren Bereich der Transferkammer (1) nahe der separat antreibbaren Walzengruppe (8) zusätzlich mindestens ein Vakuumanschluss oder/und eine Vakuumpumpe (9) vorgesehen ist, so dass der hintere Bereich der Transferkammer (1) als Pumpkammerbereich (12) wirkt.Transfer chamber (1), comprising a housing (4) with an insertion opening (5) and a delivery opening (6), a transport device arranged in the housing (4), consisting of a plurality of rollers (7) arranged transversely to the transport direction in a horizontal plane. , wherein in the rear region of the transfer chamber (1) in front of the delivery opening (6) formed from separately driven rollers (8) roller group, the so-called Passing Band (8) is arranged, further comprising vacuum connections and / or vacuum pumps (9) for evacuation the front and middle portions of the transfer chamber (1), characterized in that in the rear region of the transfer chamber (1) near the separately driven roller group (8) additionally at least one vacuum port and / or a vacuum pump (9) is provided, so that the rear Area of the transfer chamber (1) acts as a pumping chamber area (12).

Figure 00000001
Figure 00000001

Description

Die Erfindung betrifft eine Transferkammer gemäß Oberbegriff des Anspruchs 1 und eine Vakuumbeschichtungsanlage mit einer derartigen Transferkammer gemäß Anspruch 3.The The invention relates to a transfer chamber according to the preamble of the claim 1 and a vacuum coating system with such a transfer chamber according to claim Third

Vakuumbeschichtungsanlagen, insbesondere solche zur Beschichtung flächiger Substrate wie beispielsweise Flachglasscheiben (Substrate), bestehen neben Kammern zum Ein- und Ausschleusen der Substrate üblicherweise aus einer Mehrzahl hintereinander angeordneter Funktionskammern, den so genannten Kompartments. Dabei wechseln sich oftmals Beschichtungskompartments, d. h. Funktionskammern, in denen die Substrate beschichtet werden, und Pumpkompartments, d. h. Funktionskammern, die der Evakuierung einzelner Beschichtungskompartments oder der Gastrennung zwischen Beschichtungskompartments dienen, ab.Vacuum coating systems, in particular those for coating flat substrates such as Flat glass panes (substrates), in addition to chambers for inflow and out of the Substrates usually from a plurality of successively arranged functional chambers, the so-called compartments. Often coating compartments d. H. Functional chambers in which the substrates are coated, and pumping compartments, d. H. Functional chambers, the evacuation individual coating compartments or gas separation between coating compartments serve, off.

Am Anfang der Vakuumbeschichtungsanlage sind meist so genannte Schleusenkammern, die dem Einschleusen von Substraten in die Beschichtungsanlage dienen sowie eine so genannte Transferkammer, in der die Transportgeschwindigkeit der Substrate von diskontinuierlicher Schleusengeschwindigkeit an die kontinuierliche Prozessgeschwindigkeit angepasst wird, angeordnet. Am Ende der Vakuumanlage ist meist die gleiche Anordnung von Transferkammer und Schleusenkammern angeordnet.At the The beginning of the vacuum coating system are usually so-called lock chambers, which serve to introduce substrates into the coating installation as well as a so-called transfer chamber, in which the transport speed the substrates of discontinuous lock speed the continuous process speed is adjusted. At the end of the vacuum system is usually the same arrangement of transfer chamber and lock chambers arranged.

Die eingangsseitige Transferkammer weist hierzu beidseitig schmale Öffnungen, nämlich eine Einführöffnung und eine Ausführöffnung auf, durch die die Substrate in die Transferkammer hinein bzw. aus ihr heraus bewegt werden können. Beim Verlassen der Transferkammer tritt das Substrat durch die Ausführöffnung in das an die Transferkammer anschließende Kompartment, das ein Pumpkompartment oder ein Beschichtungskompartment sein kann, ein und wird nachfolgend beschichtet.The Input-side transfer chamber has for this purpose both sides narrow openings, namely an insertion opening and an opening on, through which the substrates into the transfer chamber into or out of her can be moved out. Upon exiting the transfer chamber, the substrate enters through the delivery opening the compartment following the transfer chamber, the one Pump compartment or a coating compartment can be a and is subsequently coated.

In ihrem Innern weist die eingangsseitige Transferkammer eine Transporteinrichtung zum Transport der Substrate auf. Diese Transporteinrichtung umfasst typischerweise eine Mehrzahl von in einer horizontalen Ebene quer zur Transportrichtung angeordneten Walzen. Am Ende der Transferkammer, d. h. kurz vor dem Übergang zu dem an die Transferkammer anschließenden Kompartment, ist ein Teil der Walzen der Transporteinrichtung, die auch als „Passing Band” bezeichnet werden, zu einer Gruppe zusammengefasst und separat von den sich davor befindlichen Walzengruppe angetrieben. Diese angetriebenen Walzen des Passing Bandes dienen dazu, die Transportgeschwindigkeit der Substrate von der Zuführgeschwindigkeit im vorderen Teil der Transferkammer, die typischerweise bis etwa 90 m/min beträgt, an die Prozessgeschwindigkeit in den anschließenden Funktionskammern, die vom Beschichtungsverfahren abhängt und typischerweise etwa 1 bis 12 m/min beträgt, anzupassen.In its interior, the input-side transfer chamber has a transport device for transporting the substrates. This transport device comprises typically a plurality of transverse in a horizontal plane arranged to the transport direction rollers. At the end of the transfer chamber, d. H. just before the transition to the compartment adjacent to the transfer chamber is a Part of the rollers of the transport device, also called "Passing Band " be grouped together and separate from the ones before driven roller group driven. These driven rollers of the Passing Band serve to reduce the transport speed of the Substrates of the feed rate in the front part of the transfer chamber, which is typically up to about 90 m / min, to the process speed in the subsequent function chambers, the depends on the coating method and typically about 1 to 12 m / min.

Da die Transferkammer an ihrem vorderen Ende durch die Einführöffnung zur Vakuumatmosphäre der vorgeschalteten Schleusenkammern hin offen ist und an ihrem hinteren Ende durch die Ausführöffnung zur anschließenden Funktionskammer hin offen ist, muss der zwischen dem an der Einführöffnung herrschenden Druck und dem an der Ausführöffnung herrschenden Hochvakuum bestehende Druckgradient innerhalb der Transferkammer aufrechterhalten werden, um in den an die Transferkammer anschließenden Funktionskammern einen Hochvakuumprozess zu ermöglichen.There the transfer chamber at its front end through the insertion opening to vacuum atmosphere the upstream lock chambers is open and on her rear end through the opening to the subsequent Function chamber is open, the ruling between the prevailing at the insertion Pressure and the prevailing at the export opening High vacuum existing pressure gradient within the transfer chamber to be maintained in the subsequent to the transfer chamber function chambers to enable a high vacuum process.

Hierzu wird der Innenraum der Transferkammer ebenfalls evakuiert, und zwar stufenweise durch mehrere, entlang der Transferkammer angeordnete Vakuumpumpen.For this the interior of the transfer chamber is also evacuated, namely gradually through a plurality of vacuum pumps arranged along the transfer chamber.

Bei bekannten Beschichtungsanlagen sind hierzu meist im ersten und zweiten Drittel der eingangsseitigen Transferkammer Vakuumpumpen angeordnet, die den Druck in der Transferkammer in zwei Stufen erniedrigen. Das letzte Drittel der Transferkammer, in dem das Passing Band angeordnet ist, wird hingegen durch eine im nachfolgend angeordneten Pumpkompartment angeordnete Vakuumpumpe evakuiert. Dieses Pumpkompartment erfüllt die Aufgabe, eine Gastrennung zwischen der Transferkammer und dem ersten Beschichtungskompartment zu realisieren, indem gleichzeitig sowohl die Transferkammer als auch das an das Pumpkompartment anschließende Beschichtungskompartment evakuiert werden.at For this purpose, known coating systems are usually in the first and second Third of the input-side transfer chamber vacuum pumps arranged which reduce the pressure in the transfer chamber in two stages. The last third of the transfer chamber in which the Passing Band is arranged is, however, by a pump compartment located in the following arranged vacuum pump evacuated. This pumping room fulfills the Task, a gas separation between the transfer chamber and the first To realize coating compartment by simultaneously both the transfer chamber as well as the subsequent to the pump compartment coating compartment be evacuated.

Nachteilig an dieser Lösung ist, dass für das zwischen der Transferkammer und dem ersten Beschichtungskompartment angeordnete Pumpkompartment Bauraum benötigt wird, wodurch die ohnehin schon lange Beschichtungsanlage noch länger ist.adversely at this solution is that for that between the transfer chamber and the first coating compartment arranged pump compartment space is needed, which in any case long coating system is even longer.

Die DE 103 48 639 A1 beschreibt ein Schleusensystem für Vakuumbeschichtungsanlagen, die als Inline-Anlagen konzipiert sind. Dabei wird durch die erfindungsgemäße Ventilschaltung in sehr kurzer Zeit aufbauend auf einem Vorvakuum ein Feinvakuum in der Vorvakuumschleusenkammer realisiert. Dadurch kann eine Pufferkammer eingespart werden, was zu einer deutlichen Verringerung der Baulänge der Beschichtungsanlage führt. Zusätzlich wird die Taktzeit der Anlage verkürzt.The DE 103 48 639 A1 describes a lock system for vacuum coating systems, which are designed as inline systems. In this case, a fine vacuum is realized in the Vorvakuumschleusenkammer in a very short time building on a pre-vacuum by the valve circuit according to the invention. As a result, a buffer chamber can be saved, which leads to a significant reduction in the overall length of the coating system. In addition, the cycle time of the system is shortened.

DE 100 04 786 A1 beschreibt eine Vakuumbeschichtungsanlage zum Beschichten plattenförmiger Substrate mittels Magnetronsputtern. Die Anlage besteht aus mehreren hintereinander geschalteten Sektionen, die über Schleusen miteinander verbunden sind. Dabei sind in den Beschichtungssektionen oberhalb des Targets Saugöffnungen angeordnet, die mit einer Vakuumpumpe verbunden sind. Durch diese Konstruktion lassen sich Pumpsektionen einsparen und somit die Bauhöhe und die Baulänge der Vakuumbeschichtungsanlage minimieren. DE 100 04 786 A1 describes a vacuum coating system for coating plate-shaped substrates by means of magnetron sputtering. The attachment consists of several successive sections connected by locks. In this case, suction openings are arranged in the coating sections above the target, which are connected to a vacuum pump. This construction can save pumping sections and thus minimize the overall height and the overall length of the vacuum coating system.

Die Aufgabe der vorliegenden Erfindung besteht daher darin, eine Vakuumbeschichtungsanlage mit geringem Bauraumbedarf sowie eine eingangsseitige oder ausgangsseitige Transferkammer für eine derartige Vakuumbeschichtungsanlage anzugeben, die dafür geeignet ist, dem ersten oder dem letzten Beschichtungskompartment direkt vor- oder nachgeschaltet zu werden. Im Weiteren erfolgt die Erfindungsbeschreibung nur am Beispiel der eingangsseitigen Transferkammer. Die ausgangsseitige Transferkammer ist analog zu betrachten.The Object of the present invention is therefore to provide a vacuum coating system low space requirement and an input side or output side Transfer chamber for one specify such a vacuum coating system, which is suitable is direct, the first or the last coating compartment to be advanced or downstream. The description of the invention follows below only on the example of the input-side transfer chamber. The output side transfer chamber is analogous to consider.

Erfindungsgemäß wird die Aufgabe gelöst durch eine Transferkammer mit den Merkmalen des Anspruchs 1 sowie eine Vakuumbeschichtungsanlage mit den Merkmalen des Anspruchs 3. Eine vorteilhafte Ausgestaltung der Erfindung ist Gegenstand des abhängigen Anspruchs.According to the invention Task solved by a transfer chamber with the features of claim 1 and a Vacuum coating system with the features of claim 3. A advantageous embodiment of the invention is the subject of the dependent claim.

Die erfindungsgemäße Transferkammer umfasst ein Gehäuse mit einer Einfuhröffnung und einer Ausführöffnung, eine im Gehäuse angeordnete Transporteinrichtung, bestehend aus einer Mehrzahl von in einer horizontalen Ebene quer zur Transportrichtung angeordneten Walzen, wobei im hinteren Bereich der Transferkammer vor der Ausführöffnung eine aus separat antreibbaren Walzen gebildete Walzengruppe, ein so genanntes Passing Band, angeordnet ist, und Vakuumanschlüsse oder/und Vakuumpumpen zur Evakuierung der vorderen und mittleren Bereiche der Transferkammer, und ist dadurch gekennzeichnet, dass im hinteren Bereich der Transferkammer nahe des Passing Bandes zusätzlich mindestens ein Vakuumanschluss oder/und eine Vakuumpumpe vorgesehen ist, so dass der hintere Bereich der Transferkammer als separater Pumpkammerbereich wirkt.The inventive transfer chamber includes a housing with an import opening and an export opening, one in the housing arranged transport device, consisting of a plurality of arranged in a horizontal plane transverse to the transport direction Rolling, wherein in the rear region of the transfer chamber in front of the export opening a made of separately driven rollers roller group, a so-called Passing band, is arranged, and vacuum connections and / or vacuum pumps for Evacuation of the front and middle areas of the transfer chamber, and is characterized in that in the rear region of the transfer chamber in addition to the Passing Band at least one vacuum connection and / or a vacuum pump provided is, so that the rear area of the transfer chamber as a separate Pump chamber area acts.

Die erfindungsgemäße Transferkammer ist dafür geeignet, dem ersten Beschichtungskompartment direkt vorgeschaltet zu werden. Die stufenweise Evakuierung der Transferkammer vom vorgelagerten Schleusendruck an der Einführöffnung bis zum Hochvakuum an der Ausführöffnung ist sichergestellt. Der hintere Teil der Transferkammer ist als separater Pumpkammerbereich ausgebildet, in der gleichzeitig das Passing Band angeordnet ist. Ein Pumpkompartment zwischen der Transferkammer und dem ersten Beschichtungskompartment wird nicht benötigt, wodurch die Transferkammer und damit die gesamte Beschichtungsanlage kürzer und kostengünstiger werden.The inventive transfer chamber is for that suitable, directly upstream of the first coating compartment to become. The gradual evacuation of the transfer chamber from the upstream Lock pressure at the insertion opening to the High vacuum is at the exit opening ensured. The rear part of the transfer chamber is as separate Pump chamber area formed in the same time the passing band is arranged. A pump compartment between the transfer chamber and the first coating compartment is not needed, thereby the transfer chamber and thus the entire coating system shorter and cheaper become.

Vorteilhaft ist an dem separaten Pumpkammerbereich zusätzlich mindestens ein Sauganschluss zur Evakuierung eines anschließenden Beschichtungskompartments vorgesehen.Advantageous is at the separate pumping chamber in addition at least one suction port to evacuate a subsequent Coating compartments provided.

Hierdurch wird eine verbesserte Evakuierung des Beschichtungskompartments selbst erreicht, das anderweitig über eigene Vakuumpumpen verfügen muss oder/und von einem an das Beschichtungskompartment anschließenden Pumpkompartment evakuiert wird. Bei entsprechender Auslegung des Sauganschlusses des separaten Pumpkammerbereiches der Transferkammer kann unter Umständen auf eine Vakuumpumpe am Beschichtungskompartment verzichtet werden.hereby becomes an improved evacuation of the coating compartment reached, which otherwise has its own vacuum pumps and / or from a subsequent to the coating compartment pump compartment is evacuated. With appropriate design of the suction connection the separate pumping chamber region of the transfer chamber can under circumstances dispensed with a vacuum pump on the coating compartment.

Die erfindungsgemäße Vakuumbeschichtungsanlage umfasst eine Transferkammer mit einem Gehäuse, das eine Einführöffnung, eine Ausführöffnung und eine im Gehäuse angeordnete Transporteinrichtung aufweist, die aus einer Mehrzahl von in einer horizontalen Ebene quer zur Transportrichtung angeordneten Walzen besteht, umfasst weiterhin ein Passing Band, das aus antreibbaren Walzen besteht und eine separat angetriebene Walzengruppe bildet, umfasst weiterhin einen in Transportrichtung hinter der Transferkammer angeordneten Pumpkammerbereich mit Vakuumanschlüssen oder/und Vakuumpumpen, und ist dadurch gekennzeichnet, dass das Passing Band in dem Pumpkammerbereich angeordnet ist.The Vacuum coating system according to the invention comprises a transfer chamber with a housing having an insertion opening, an export opening and one in the housing arranged transport device, which consists of a plurality arranged in a horizontal plane transverse to the transport direction Rolling consists of further comprising a passing band that is drivable Rolls and forms a separately driven roller group comprises comprises furthermore a pump chamber region arranged in the transport direction behind the transfer chamber with vacuum connections or / and vacuum pumps, and is characterized in that the passing Band is arranged in the pumping chamber area.

Die erfindungsgemäße Vakuumbeschichtungsanlage benötigt weniger Bauraum, d. h. sie ist kürzer und kostengünstiger als bekannte Vakuumbeschichtungsanlagen. Das für das erste Beschichtungskompartment erforderliche Pumpkompartment ist nunmehr in der Transferkammer angeordnet und räumlich mit dem Passing Band zusammengefasst, wodurch die Länge der Transferkammer deutlich reduziert werden kann.The Vacuum coating system according to the invention needed less space, d. H. she is shorter and cheaper as known vacuum coating equipment. That for the first coating compartment required pump compartment is now in the transfer chamber arranged and spatially summarized with the Passing Band, reducing the length of the Transfer chamber can be significantly reduced.

Nachfolgend wird die Erfindung anhand eines Ausführungsbeispiels und einer zugehörigen Zeichnung näher erläutert.following the invention with reference to an embodiment and an accompanying drawing explained in more detail.

Dabei zeigenthere demonstrate

1 eine Transferkammer wie aus dem Stand der Technik bekannt und 1 a transfer chamber as known from the prior art and

2 das Ausführungsbeispiel der Erfindung. 2 the embodiment of the invention.

In 1 ist eine Vakuumbeschichtungsanlage dargestellt, wie sie aus dem Stand der Technik bekannt ist.In 1 a vacuum coating system is shown as it is known from the prior art.

Die Transferkammer 1 weist ein Gehäuse 4 mit einer Einführöffnung 5 und einer Ausführöffnung 6 auf. Im Innern befindet sich eine Transporteinrichtung mit Walzen 7 und antreibbaren Walzen 8, dem so genannten Passing Band 8, die im hinteren Bereich der Transferkammer 1 angeordnet sind.The transfer chamber 1 has a housing 4 with an insertion opening 5 and an export opening 6 on. Inside is a transport device with rollers 7 and drivable rollers 8th , the so-called Passing Band 8th at the rear of the transfer chamber 1 are arranged.

Im vorderen und mittleren Bereich der Transferkammer 1 sind Vakuumpumpen 9 angeordnet, die die Transferkammer 1 schrittweise evakuieren.In the front and middle area of the transfer chamber 1 are vacuum pumps 9 arranged the the transfer chamber 1 gradually evacuate.

An die Transferkammer 1 schließt sich ein Pumpkompartment 2 an, das ebenfalls zwei Vakuumpumpen 9 aufweist. Die Vakuumpumpen 9 dienen zur Evakuierung des hinteren Bereichs der Transferkammer 1 sowie des sich an das Pumpkompartment 2 anschließenden, nicht dargestellten Beschichtungskompartments.To the transfer chamber 1 closes a pumping compartment 2 on, which also has two vacuum pumps 9 having. The vacuum pumps 9 serve to evacuate the rear area of the transfer chamber 1 as well as to the pumping compartment 2 subsequent, not shown coating compartments.

In 2 ist die erfindungsgemäße Transferkammer dargestellt.In 2 the transfer chamber according to the invention is shown.

Die Transferkammer 1 weist ein Gehäuse 4 mit einer Einführöffnung 5 und einer Ausführöffnung 6 auf. Im Innern befindet sich eine Transporteinrichtung mit Walzen 7 und dem aus mehreren antreibbaren Walzen 8 gebildeten Passing Band 8, das im hinteren Bereich der Transferkammer 1 angeordnet ist.The transfer chamber 1 has a housing 4 with an insertion opening 5 and an export opening 6 on. Inside is a transport device with rollers 7 and that of several drivable rollers 8th formed Passing Band 8th at the rear of the transfer chamber 1 is arranged.

Im vorderen und mittleren Bereich der Transferkammer 1 sind Vakuumpumpen 9 angeordnet, die die Transferkammer 1 schrittweise evakuieren.In the front and middle area of the transfer chamber 1 are vacuum pumps 9 arranged the the transfer chamber 1 gradually evacuate.

Zusätzlich sind auch im hinteren Bereich der Transferkammer 1 zwei Vakuumpumpen 9 vorgesehen, die der Evakuierung des hinteren Bereichs der Transferkammer 1 sowie des an die Transferkammer 1 anschließenden Beschichtungskompartments 3 dienen, so dass der hintere Bereich der Transferkammer 1 die Funktion eines Pumpkammerbereichs 12 hat. Zur Evakuierung des an die Transferkammer 1 anschließenden Beschichtungskompartments 3 ist an der Transferkammer 1 bzw. dem Pumpkammerbereich 12 ein Sauganschluss 11 vorgesehen.In addition, also in the rear area of the transfer chamber 1 two vacuum pumps 9 provided for the evacuation of the rear area of the transfer chamber 1 and to the transfer chamber 1 subsequent coating compartments 3 serve, leaving the rear area of the transfer chamber 1 the function of a pumping chamber area 12 Has. To evacuate to the transfer chamber 1 subsequent coating compartments 3 is at the transfer chamber 1 or the pumping chamber area 12 a suction connection 11 intended.

An die Transferkammer 1 schließt sich ein Beschichtungskompartment 3 an, das ein Magnetron 10 aufweist. Der Sauganschluss 11 der Transferkammer 1 bzw. des Pumpkammerbereichs 12 ist so angeordnet, dass durch ihn das an die Transferkammer 1 anschließende Beschichtungskompartment 3 evakuierbar ist.To the transfer chamber 1 closes a coating compartment 3 that's a magnetron 10 having. The suction connection 11 the transfer chamber 1 or the pumping chamber area 12 is arranged so that through him to the transfer chamber 1 subsequent coating compartment 3 is evacuable.

11
Transferkammertransfer chamber
22
PumpkompartmentPumpkompartment
33
Beschichtungskompartmentcoating compartment
44
Gehäusecasing
55
Einfuhröffnunginsertion opening
66
Ausfuhröffnungexport opening
77
Walzen (Transporteinrichtung)roll (Transport means)
88th
Separat antreibbare Walzengruppe (Passing Band)Separately drivable roller group (Passing Band)
99
Vakuumpumpevacuum pump
1010
Magnetronmagnetron
1111
Sauganschlusssuction
1212
separater Pumpkammerbereichseparate Pumping chamber area

Claims (3)

Transferkammer (1), umfassend ein Gehäuse (4) mit einer Einfuhröffnung (5) und einer Ausführöffnung (6), eine im Gehäuse (4) angeordnete Transporteinrichtung, bestehend aus einer Mehrzahl von in einer horizontalen Ebene quer zur Transportrichtung angeordneten Walzen (7), wobei im hinteren Bereich der Transferkammer (1) vor der Ausführöffnung (6) eine aus separat antreibbaren Walzen (8) gebildete Walzengruppe, dem so genannten Passing Band (8) angeordnet ist, weiter umfassend Vakuumanschlüsse oder/und Vakuumpumpen (9) zur Evakuierung der vorderen und mittleren Bereiche der Transferkammer (1), dadurch gekennzeichnet, dass im hinteren Bereich der Transferkammer (1) nahe der separat antreibbaren Walzengruppe (8) zusätzlich mindestens ein Vakuumanschluss oder/und eine Vakuumpumpe (9) vorgesehen ist, so dass der hintere Bereich der Transferkammer (1) als Pumpkammerbereich (12) wirkt.Transfer chamber ( 1 ), comprising a housing ( 4 ) with an import opening ( 5 ) and a delivery opening ( 6 ), one in the housing ( 4 ) arranged transport device consisting of a plurality of arranged in a horizontal plane transverse to the transport direction rollers ( 7 ), wherein in the rear region of the transfer chamber ( 1 ) before the opening ( 6 ) one of separately drivable rollers ( 8th ) formed roller group, the so-called Passing Band ( 8th ), further comprising vacuum connections and / or vacuum pumps ( 9 ) for evacuation of the front and middle regions of the transfer chamber ( 1 ), characterized in that in the rear region of the transfer chamber ( 1 ) near the separately drivable roller group ( 8th ) additionally at least one vacuum connection and / or a vacuum pump ( 9 ) is provided, so that the rear region of the transfer chamber ( 1 ) as pump chamber area ( 12 ) acts. Transferkammer nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass zusätzlich mindestens ein Sauganschluss (11) zur Evakuierung eines anschließenden Beschichtungskompartments (3) vorgesehen ist.Transfer chamber according to claim 1, characterized in that in addition at least one suction port ( 11 ) for evacuation of a subsequent coating compartment ( 3 ) is provided. Vakuumbeschichtungsanlage, umfassend eine Transferkammer (1) nach Anspruch 1 oder 2.Vacuum coating system comprising a transfer chamber ( 1 ) according to claim 1 or 2.
DE200510024180 2005-05-23 2005-05-23 Transfer chamber and vacuum coating system Active DE102005024180B4 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE200510024180 DE102005024180B4 (en) 2005-05-23 2005-05-23 Transfer chamber and vacuum coating system

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE200510024180 DE102005024180B4 (en) 2005-05-23 2005-05-23 Transfer chamber and vacuum coating system

Publications (2)

Publication Number Publication Date
DE102005024180A1 DE102005024180A1 (en) 2006-11-30
DE102005024180B4 true DE102005024180B4 (en) 2009-11-19

Family

ID=37387666

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE200510024180 Active DE102005024180B4 (en) 2005-05-23 2005-05-23 Transfer chamber and vacuum coating system

Country Status (1)

Country Link
DE (1) DE102005024180B4 (en)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE102013100767A1 (en) 2013-01-25 2014-07-31 Von Ardenne Gmbh Passing region of vacuum treatment plant, which is applied inside vacuum treatment plant as region of transport plant at input- and/or output side of the treatment region adjacent to lock regions of the vacuum treatment plant

Families Citing this family (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE112008000006A5 (en) * 2007-06-22 2009-05-14 Von Ardenne Anlagentechnik Gmbh Method and device for sluicing a substrate into and out of a vacuum coating system
DE102007058052B4 (en) * 2007-11-30 2013-12-05 Von Ardenne Anlagentechnik Gmbh Vacuum coating system
DE102010028734B4 (en) 2009-05-08 2021-07-22 VON ARDENNE Asset GmbH & Co. KG Gas separation arrangement of a vacuum coating system
DE102010031245B4 (en) 2010-07-12 2013-04-11 Von Ardenne Anlagentechnik Gmbh Substrate treatment plant
DE102010038747B4 (en) * 2010-07-30 2016-06-16 Von Ardenne Gmbh Cooling unit of a continuous treatment plant for disc-shaped substrates
CN103233879B (en) * 2013-04-24 2015-12-30 江苏宇天港玻新材料有限公司 A kind of continous vacuum production line two-chamber switch room extract system

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE10004786A1 (en) * 1999-09-14 2001-03-15 Ardenne Anlagentech Gmbh Vacuum deposition apparatus comprises several sections arranged next to each other via a lock and evacuated via a suction opening connected directly or via a pipe system to a vacuum pump
DE10348639A1 (en) * 2003-10-15 2005-05-19 Von Ardenne Anlagentechnik Gmbh Lock system for a vacuum system

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE10004786A1 (en) * 1999-09-14 2001-03-15 Ardenne Anlagentech Gmbh Vacuum deposition apparatus comprises several sections arranged next to each other via a lock and evacuated via a suction opening connected directly or via a pipe system to a vacuum pump
DE10348639A1 (en) * 2003-10-15 2005-05-19 Von Ardenne Anlagentechnik Gmbh Lock system for a vacuum system

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE102013100767A1 (en) 2013-01-25 2014-07-31 Von Ardenne Gmbh Passing region of vacuum treatment plant, which is applied inside vacuum treatment plant as region of transport plant at input- and/or output side of the treatment region adjacent to lock regions of the vacuum treatment plant
DE102013100767B4 (en) 2013-01-25 2021-10-21 VON ARDENNE Asset GmbH & Co. KG Transfer area of a vacuum treatment plant

Also Published As

Publication number Publication date
DE102005024180A1 (en) 2006-11-30

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE102005024180B4 (en) Transfer chamber and vacuum coating system
EP1582607B2 (en) Loadlock arrangement for a vacuum treatment apparatus and method of operating it
DE102007058052B4 (en) Vacuum coating system
DE4213763B4 (en) Process for evacuating a vacuum chamber and a high vacuum chamber, and high vacuum system for carrying it out
DE102004008598B4 (en) Method for operating an in-line coating system
EP1756540A1 (en) Leak detector with a sniffer probe
DE112008001620B4 (en) Method and device for sluicing long substrates in a vacuum coating system, vacuum coating system and method for their operation
EP1840936A1 (en) Sputtering chamber for coating a substrate
DE102012213095A1 (en) gas separation
DE19808163C1 (en) Airlock system for transfer chamber of vacuum coating installation
WO2019105985A1 (en) Vacuum lock and method for transferring a substrate carrier via a lock
EP3368705B1 (en) Device and method for coating extra-long sheet-type substrates, in particular glass panes, in a vacuum coating system
EP3256618B1 (en) Method for operating an inline coating system and inline coating system
EP1970467B1 (en) Flood chamber for coating installations
DE102010022277A1 (en) Apparatus and method for reactive gas separation in in-line coating equipment
WO2009000813A1 (en) Process and apparatus for the introduction and removal of a substrate into and from a vacuum coating unit
DE102008026000B4 (en) Method and device for coating flat substrates
DE102008008320B4 (en) Transport device for horizontal vacuum coating systems
EP1475458B1 (en) Apparatus for coating a substrate.
DE102012110287B4 (en) Substrate treatment plant and method for pressure reduction
DE102013204253A1 (en) Analysis device, particularly mass spectrometer, comprises two analysis chambers, and throttle arranged between backing pump and former analysis chamber, such that backing pump prevails lower pressure at outlet of turbomolecular pump
DE10147708C5 (en) target arrangement
DE4219268C2 (en) Arrangement for vacuum generation
DE102013205709B4 (en) Locking method and vacuum substrate treatment system
DE102011015464A1 (en) Vacuum pump device for evacuating vacuum vessel used for vacuum-treating substrate, has pressure pump that is executed as screw pump by applying atmospheric pressure to outlet

Legal Events

Date Code Title Description
OP8 Request for examination as to paragraph 44 patent law
8127 New person/name/address of the applicant

Owner name: VON ARDENNE ANLAGENTECHNIK GMBH, 01324 DRESDEN, DE

8364 No opposition during term of opposition
R082 Change of representative

Representative=s name: PATENTANWAELTE LIPPERT, STACHOW & PARTNER, DE

R081 Change of applicant/patentee

Owner name: VON ARDENNE GMBH, DE

Free format text: FORMER OWNER: VON ARDENNE ANLAGENTECHNIK GMBH, 01324 DRESDEN, DE

Effective date: 20140918

Owner name: VON ARDENNE ASSET GMBH & CO. KG, DE

Free format text: FORMER OWNER: VON ARDENNE ANLAGENTECHNIK GMBH, 01324 DRESDEN, DE

Effective date: 20140918

R082 Change of representative

Representative=s name: PATENTANWAELTE LIPPERT, STACHOW & PARTNER, DE

Effective date: 20140918

Representative=s name: LIPPERT STACHOW PATENTANWAELTE RECHTSANWAELTE , DE

Effective date: 20140918

R082 Change of representative
R081 Change of applicant/patentee

Owner name: VON ARDENNE ASSET GMBH & CO. KG, DE

Free format text: FORMER OWNER: VON ARDENNE GMBH, 01324 DRESDEN, DE