DE202008012793U1

DE202008012793U1 - capacitor arrangement

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Publication number: DE202008012793U1
Application number: DE202008012793U
Authority: DE
Original assignee: Huettinger Elektronik GmbH and Co KG
Current assignee: Trumpf Huettinger GmbH and Co KG
Priority date: 2008-09-25
Filing date: 2008-09-25
Publication date: 2008-11-27
Anticipated expiration: 2018-09-26

Abstract

Kondensatoranordnung (10) mit einem Kondensator (11), der zumindest zwei Kondensatorplatten aufweist, und einem motorischen Antrieb (12), wobei zumindest eine Kondensatorplatte relativ zu einer anderen Kondensatorplatte über den motorischen Antrieb (12) zur Veränderung der Kapazität des Kondensators (11) bewegbar ist, dadurch gekennzeichnet, dass eine Positionserfassungseinrichtung zur ständigen Positionserfassung der Position der bewegbaren Kondenstorplatte oder einer mit der Position in Beziehung stehenden Größe vorgesehen ist.capacitor arrangement (10) with a capacitor (11), the at least two capacitor plates and a motor drive (12), wherein at least one Capacitor plate relative to another capacitor plate over the motor drive (12) for changing the capacity of the capacitor (11) is movable, characterized in that a position detection device for the continuous position detection of Position of the movable condensing plate or one with the position is provided in relation to size.

Description

Die Erfindung betrifft eine Kondensatoranordnung mit einem Kondensator, der zumindest zwei Kondensatorplatten aufweist, und einem motorischen Antrieb, wobei zumindest eine Kondensatorplatte relativ zu einer anderen Kondensatorplatte über den motorischen Antrieb zur Veränderung der Kapazität des Kondensators bewegbar ist.The The invention relates to a capacitor arrangement with a capacitor, having at least two capacitor plates, and a motor Drive, wherein at least one capacitor plate relative to a other capacitor plate via the motor drive for changing the capacitance of the capacitor is movable.

In typischen Hochfrequenz(HF)-Plasmaversorgungsanordnungen generiert eine HF-Quelle ein HF-Signal bei einer vorgegebenen Frequenz, z. B. 13,56 MHz. Dieses Signal wird einem Plasmaprozess in einer Plasmakammer zugeführt. Die Hochfrequenzleistung wird typischerweise bei einer festen, vorgegebenen Impedanz, z. B. 50 Ω, bereitgestellt. Da häufig erhebliche Impedanzunterschiede zwischen der HF-Quelle und dem Plasmaprozess auftreten, wird in der Regel ein Impedanzanpassungsnetzwerk zwischen der Plasmakammer und der HF-Quelle verwendet. Die Impedanz des Plasmas in der Plasmakammer verändert sich ständig und ist nicht linear, so dass es schwierig ist, das Anpassungsnetzwerk auf einen vorgegebenen, festen Wert einzustellen. Aus diesem Grund sind häufig ein oder mehrere einstellbare Kondensatoren im Impendanzanpassungsnetzwerk vorgesehen, um die Impedanz der HF-Quelle an die Impedanz der Last, insbesondere des Plasmas, anzupassen.In typical radio frequency (RF) plasma supply arrangements generated an RF source is an RF signal at a predetermined frequency, e.g. B. 13.56 MHz. This signal is a plasma process in a plasma chamber fed. The high frequency power typically becomes at a fixed, predetermined impedance, z. B. 50 Ω provided. There often significant impedance differences between the RF source and the plasma process typically becomes an impedance matching network used between the plasma chamber and the RF source. The impedance of the plasma in the plasma chamber is constantly changing and is not linear, making it difficult to adapt the network to set to a predetermined, fixed value. For this reason are often one or more adjustable capacitors provided in the Impendanzanpassungsnetzwerk to the impedance of the RF source to match the impedance of the load, in particular the plasma.

Aus der EP 0 935 124 B1 ist es bekannt, einen Sensor vorzusehen, mit dem eine Endstellung einer Kondensatorplatte eines veränderbaren Kondensators detektierbar ist. Jedes mal, wenn das Impedanzanpassungsnetzwerk in Betrieb genommen wird, fährt die eine Kondensatorplatte in ihre Endposition, um einen Startpunkt für die Impedanz- bzw. Kapazitätseinstellung zu erhalten. Zumindest zu diesem Zeitpunkt ist daher die Position und damit der Zustand des Kondensators bekannt. Nachteilig an der Anordnung der EP 0 935 124 B1 ist es jedoch, dass nachdem die Kondensatorplatte von ihrer Endposition weg bewegt wurde, nicht bekannt ist, in welcher Position sie sich befindet und welche Kapazität eingestellt ist.From the EP 0 935 124 B1 It is known to provide a sensor with which an end position of a capacitor plate of a variable capacitor is detectable. Each time the impedance matching network is put into operation, the one capacitor plate moves to its final position to obtain a starting point for the impedance or capacitance adjustment. At least at this time, therefore, the position and thus the state of the capacitor is known. A disadvantage of the arrangement of EP 0 935 124 B1 however, after the capacitor plate has been moved away from its end position, it is not known which position it is in and which capacitance is set.

Aufgabe der vorliegenden Erfindung ist es, eine Kondensatoranordnung bereitzustellen, mit der die Kapazität zum einen genau eingestellt werden kann und zum anderen der Zustand des Kondensators, insbesondere dessen Kapazität, stets überprüfbar ist.task the present invention is to provide a capacitor arrangement, with which the capacity for one can be set exactly and on the other hand, the state of the capacitor, in particular its Capacity, always verifiable.

Gelöst wird diese Aufgabe durch eine Kondensatoranordnung der eingangs genannten Art, wobei eine Positionserfassungseinrichtung zur ständigen Positionserfassung der Position der bewegbaren Kondensatorplatte oder einer mit der Position in Beziehung stehenden Größe vorgesehen ist. Bei der Position der bewegbaren Kondensatorplatte kann es sich um deren absolute Position oder deren relative Position bezüglich der anderen Kondensatorplatte handeln. Die Erfassung der relativen Position ist insbesondere dann von Bedeutung, wenn zwei Kondensatorplatten bewegbar angeordnet sind.Solved This object is achieved by a capacitor arrangement of the initially mentioned type, wherein a position detecting device for permanent Position detection of the position of the movable capacitor plate or a position related quantity is provided. At the position of the movable capacitor plate It can be its absolute position or its relative position act on the other capacitor plate. The capture The relative position is particularly important if two capacitor plates are movably arranged.

Durch die Positionserfassungseinrichtung ist die Position der bewegbaren Kondensatorplatte und somit der Zustand der Kondensatoranordnung stets bekannt.By the position detecting device is the position of the movable one Capacitor plate and thus the state of the capacitor arrangement always known.

Wenn demnach eine Kapazitätsänderung vorgenommen werden muss, so kann ausgehend von der bekannten Position eine Änderung durchgeführt werden. Die erfindungsgemäße Kondensatoranordnung kommt daher vollständig ohne zusätzliche Positionsschalter aus.If Accordingly, a change in capacity will be made must, starting from the known position, a change be performed. The inventive Capacitor assembly therefore comes completely without additional position switch out.

Die Positionserfassungseinrichtung kann einen berührungslos arbeitenden Positionssensor umfassen. Wenn der Positionssensor berührungslos arbeitet, wird die Positionseinstellung durch den Sensor nicht behindert. Außerdem können keine mechanische Störungen bei der Positionserfassung auftreten.The Position detection device can be a contactless include working position sensor. If the position sensor is non-contact does not interfere with the position setting by the sensor. In addition, no mechanical interference occur during position detection.

Zur Kapazitätseinstellung ist es grundsätzlich denkbar, eine oder beide Kondensatorplatten zu bewegen. Insbesondere kann eine Kondensatorplatte relativ zu einer anderen, ortsfest angeordneten Kondensatorplatte bewegt werden. Die Bewegung kann dabei linear erfolgen, so dass der Abstand zwischen den Kondensatorplatten verringert wird oder eine Kondensatorplatte kann im Wesentlichen in einer Ebene relativ zur anderen Kondensatorplatte bewegt werden, so dass sich die Fläche, in der sich die Kondensatorplatten überdecken, ändert und dadurch die Kapazität verändert wird. Insbesondere kann eine Kondensatorplatte drehbar angeordnet sein. Wenn eine Kondensatorplatte exzentrisch drehbar angeordnet ist, kann der Positionssensor als Drehgeber ausgebildet sein. Somit kann der Winkelbereich und/oder die Anzahl der Umdrehungen der Kondensatorplatte erfasst werden.to Capacity adjustment, it is basically conceivable to move one or both capacitor plates. In particular, can a capacitor plate relative to another, fixedly arranged capacitor plate to be moved. The movement can be linear, so that the distance between the capacitor plates is reduced or one Capacitor plate may be substantially in one plane relative to other capacitor plate are moved so that the area, in which the capacitor plates overlap, changes and thereby the capacity is changed. Especially For example, a capacitor plate may be rotatably arranged. If a capacitor plate is arranged eccentrically rotatable, the position sensor as Encoder be designed. Thus, the angular range and / or the number of revolutions of the capacitor plate are detected.

Der Drehgeber kann einen gemeinsam mit der Kondensatorplatte drehbaren Magneten und mehrere im Bereich des Magneten angeordnete Hallelemente umfassen. Der drehbare Magnet kann unmittelbar an der Kondensatorplatte oder an einer Welle, über die die Kondensatorplatte drehbeweglich ist, angeordnet sein. Beispielsweise kann der Magnet an einer Abtriebswelle eines Motors angeordnet sein, über den die Kondensatorplatte antreibbar ist. Selbst wenn die Kondensatorplatte linear beweglich ist und über eine Abtriebswelle eines Motors angetrieben wird, kann über einen Drehgeber eine Größe erfasst werden, die mit der Positionsveränderung der bewegbaren Kondensatorplatte in Verbindung steht. Hierbei kann eine bestimmte Anzahl von Umdrehungen einer bestimmten linearen Verlagerung der Kondensatorplatte zugeordnet sein. Wenn der Motor einen oder mehrere Magnete aufweist, kann dieser als Teil des Positionssensors verwendet werden, also einen Bestandteil desselben darstellen.The rotary encoder may comprise a magnet which is rotatable together with the capacitor plate and a plurality of Hall elements arranged in the region of the magnet. The rotatable magnet may be disposed directly on the capacitor plate or on a shaft over which the capacitor plate is rotatably movable. For example, the magnet can be arranged on an output shaft of a motor, via which the capacitor plate can be driven. Even if the capacitor plate is linearly movable and driven by an output shaft of a motor, a size corresponding to the positional change of the movable capacitor plate can be detected by a rotary encoder. In this case, a specific number of revolutions may be assigned to a specific linear displacement of the capacitor plate. If the motor has one or more magnets, this can be used as part of the position sensor, so represent a part of the same.

Die Hallelemente sind vorzugsweise umfangsmäßig um den drehbaren Magneten herum von diesem beabstandet angeordnet. Beispielsweise können vier Hallelemente vorgesehen sein, die gleichmäßig um den drehbaren Magneten herum angeordnet sind.The Hall elements are preferably circumferentially around spaced apart from the rotatable magnet. For example, four Hall elements may be provided, evenly around the rotating magnet are arranged.

Die Positionserfassungseinrichtung kann weiterhin einen Positionszähler umfassen, der erfasst, wie viele Umdrehungen die Kondensatorplatte zurückgelegt hat. Durch den Positionszähler und den Positionsgeber kann die genaue Position der Kondensatorplatte ermittelt werden.The Position detection device may further include a position counter which records how many revolutions the capacitor plate covers Has. Through the position counter and the position encoder can the exact position of the capacitor plate can be determined.

Eine zuverlässige Einstellung der Kapazität kann erfolgen, wenn der motorische Antrieb als Schrittmotor ausgebildet ist.A reliable capacity adjustment can be made, if the motor drive is designed as a stepper motor.

Die Kondensatoranordnung kann eine Steueranordnung aufweisen, die einen Speicher umfasst, in dem eine eine Kapazität einer Position einer Kondensatorplatte zuordnende Kapazitätskurve abgelegt ist. Für jede Kondensatoranordnung kann dabei eine eigene Kapazitätskurve, die auf den jeweiligen Kondensator angepasst ist, abgelegt sein. Die Zuordnung kann in zwei Richtungen erfolgen. Zum einen kann ein Kapazitätswert, der eingestellt werden soll, vorgegeben werden und eine entsprechende Position daraufhin eingestellt werden. Andererseits kann aus einer ermittelten Position der Kondensatorplatte ein eingestellter Kapazitätswert ermittelt werden.The Capacitor assembly may include a control arrangement, which has a Memory includes one in which a capacity of a position a capacitor plate assigning capacitance curve is stored. For each capacitor arrangement, a separate capacitance curve, which is adapted to the respective capacitor, be stored. The assignment can be done in two directions. For one thing, one Capacity value to be set, specified and a corresponding position can then be set. On the other hand, from a detected position of the capacitor plate set capacity value are determined.

Die Steueranordnung kann eine Schnittstelle, insbesondere eine serielle Schnittstelle, aufweisen. Über die serielle Schnittstelle kann eine einzustellende Kapazität vorgegeben werden. Diese einzustellende Kapazität kann durch eine weitere Steuerung ermittelt werden, die beispielsweise aus der an der Plasmalast reflektierten Leistung die Fehlanpassung ermittelt und daraus einen einzustellenden Kapazitätswert erzeugt, um die Fehlanpassung zu verringern.The Control arrangement may be an interface, in particular a serial Interface. Via the serial interface a capacity to be set can be specified. These to be adjusted capacity can be controlled by another controller be determined, for example, from the reflected on the plasma load Performance determines the mismatch and from this a to be adjusted Capacity value generated to reduce the mismatch.

Weiterhin kann eine die Position, insbesondere Relativposition der Kondensatorplatten anzeigende Anzeigeeinrichtung vorgesehen sein. Daraus kann die eingestellte Kapazität ermittelt werden und dann gegebenenfalls nachkorrigiert werden.Farther can a the position, in particular relative position of the capacitor plates indicating display device be provided. From this, the set Capacity are determined and then optionally corrected become.

Der Kondensator kann als Vakuumkondensator ausgebildet sein. Ein solcher Kondensator eignet sich zur Einstellung unterschiedlicher Kapazitätswerte.Of the Capacitor can be designed as a vacuum capacitor. Such a Capacitor is suitable for setting different capacitance values.

Der Kondensator kann zusammen mit dem motorischen Antrieb und einer die Steueranordnung aufweisenden Steuerkarte eine Einheit bilden. Dadurch wird sichergestellt, dass die einzelnen Komponenten gut aufeinander abgestimmt sind.Of the Capacitor can be used together with the motor drive and a form the control arrangement comprising the control card a unit. This will ensure that the individual components are well are coordinated.

In den Rahmen der Erfindung fällt außerdem eine Impedanzanpassungsschaltung einer Plasmaversorgungsanordnung mit einer erfindungsgemäßen Kondensatoranordnung.In The scope of the invention also includes an impedance matching circuit a plasma supply arrangement with an inventive Capacitor arrangement.

Bei einem Verfahren zum Betrieb einer Kondensatoranordnung mit einem Kondensator, der zumindest zwei Kondensatorplatten aufweist, und einem motorischen Antrieb, wobei zumindest eine Kondensatorplatte relativ zu einer anderen Kondensatorplatte über den motorischen Antrieb zur Veränderung der Kapazität des Kondensators bewegt wird, wird die Position der bewegbaren Kondensatorplatte, insbesondere bezüglich der anderen Kondensatorplatte, oder eine mit der relativen Position in Beziehung stehende Größe erfasst.at a method for operating a capacitor arrangement with a Capacitor having at least two capacitor plates, and a motor drive, wherein at least one capacitor plate relative to another capacitor plate via the motor Drive for changing the capacitance of the capacitor is moved, the position of the movable capacitor plate, in particular with respect to the other capacitor plate, or one with the relative position related quantity detected.

Die Position kann dabei berührungslos erfasst werden. Über eine Kapazitätskurve kann eine der vorgegebenen Kapazität zugeordnete Position ermittelt und eingestellt werden. Außerdem kann die Richtung oder Geschwindigkeit einer Kapazitätsänderung vorgegeben werden und die bewegbare Kondensatorplatte kann entsprechend bewegt werden.The Position can be detected without contact. about a capacity curve can be one of the given capacity assigned position can be determined and set. Furthermore can change the direction or speed of a capacity change can be specified and the movable capacitor plate can accordingly to be moved.

Für den motorischen Antrieb können Beschleunigungs- und Abbremsrampen abgelegt werden und beim Anfahren einer Position der bewegbaren Kondensatorplatten berücksichtigt werden. Dadurch kann eine besonders genaue und schnelle Kapazitätseinstellung erfolgen.For the motorized drive can be acceleration and deceleration ramps are stored and when approaching a position of the movable Capacitor plates are taken into account. This can a particularly accurate and fast capacity adjustment respectively.

Der Zustand des Kondensators kann durch Erfassen der Kondensatorachsumdrehungen erfasst und angezeigt werden. Für die Kondensatoranordnung kann ein Fehlermanagement vorgesehen sein. Dies bedeutet, dass Fehler bei der Positionseinstellung erfasst werden und die Position entsprechend korrigiert werden kann. Beispielsweise kann festgestellt werden, wenn ein Schrittverlust vorliegt oder die Abtriebswelle des Motors blockiert wird. Die Kondensatoranordnung ist im Stande, bis zu einer einstellbaren Grenze, die Position der Kondensatorplatte zu korrigieren.Of the Condition of the capacitor can be detected by detecting the capacitor axis revolutions recorded and displayed. For the capacitor arrangement an error management can be provided. This means that mistakes be detected at the position adjustment and corrects the position accordingly can be. For example, it can be determined if a step loss present or the output shaft of the engine is blocked. The capacitor arrangement is able to position up to an adjustable limit Correct capacitor plate.

Weitere Merkmale und Vorteile der Erfindung ergeben sich aus der nachfolgenden Beschreibung eines Ausführungsbeispiels der Erfindung, anhand der Figuren der Zeichnung, die erfindungswesentliche Einzelheiten zeigen, und aus den Ansprüchen. Die einzelnen Merkmale können je einzeln für sich oder zu mehreren in beliebiger Kombination bei einer Variante der Erfindung verwirklicht sein.Further Features and advantages of the invention will become apparent from the following Description of an embodiment of the invention, with reference to the figures of the drawing, the essential to the invention details show, and from the claims. The individual characteristics can each individually for themselves or to several in any combination realized in a variant of the invention be.

Ein bevorzugtes Ausführungsbeispiel der Erfindung ist in der Zeichnung schematisch dargestellt und wird nachfolgend mit Bezug zu den Figuren der Zeichnung näher erläutert. Es zeigen:One preferred embodiment of the invention is in the Drawing schematically illustrated and will be with reference to below explained in more detail to the figures of the drawing. Show it:

1 eine perspektivische Ansicht einer Kondensatoranordnung; 1 a perspective view of a capacitor arrangement;

2 ein Blockschaltbild einer Steuerung einer Kondensatoranordnung; 2 a block diagram of a controller of a capacitor arrangement;

3 eine schematische Darstellung eines Drehgebers. 3 a schematic representation of a rotary encoder.

In der 1 ist eine Kondensatoranordnung 10 dargestellt, die einen Kondensator 11 aufweist, der im Ausführungsbeispiel als Vakuumkondensator ausgebildet ist. Der Kondensator 11 umfasst, in der 1 nicht sichtbar, eine ortsfeste Kondensatorplatte und eine dazu relativ bewegbare Kondensatorplatte. Die bewegbare Kondensatorplatte wird über einen motorischen Antrieb 12, der als Schrittmotor ausgebildet ist, angetrieben. Im Ausführungsbeispiel wird durch den motorischen Antrieb 12 die bewegbare Kondensatorplatte verdreht. Dies bedeutet, dass eine Abtriebswelle 13 die Kondensatorplatte antreibt. Wenn entsprechend die Abtriebswelle 13 verdreht wird, wird auch die Kondensatorplatte des Kondensators 11 verdreht. Durch die Erfassung der Position der Abtriebswelle 13 kann somit auch die Position der Kondensatorplatte erfasst werden.In the 1 is a capacitor arrangement 10 shown a capacitor 11 has, which is formed in the embodiment as a vacuum capacitor. The capacitor 11 includes, in the 1 not visible, a fixed capacitor plate and a relatively movable capacitor plate. The movable capacitor plate is powered by a motor 12 , which is designed as a stepper motor, driven. In the exemplary embodiment is by the motor drive 12 the movable capacitor plate is twisted. This means that an output shaft 13 drives the capacitor plate. If accordingly the output shaft 13 is twisted, also becomes the capacitor plate of the capacitor 11 twisted. By detecting the position of the output shaft 13 Thus, the position of the capacitor plate can also be detected.

Der motorische Antrieb 12 wird durch eine Steueranordnung 14 angesteuert, die zumindest teilweise auf der Steuerkarte 15 angeordnet ist.The motor drive 12 is controlled by a control system 14 driven, at least partially on the control card 15 is arranged.

In der 2 ist die Steueranordnung 14 schematisch dargestellt. Als Leistungsversorgung ist eine Gleichstromversorgungsquelle 20 vorgesehen. Über eine serielle Schnittstelle 21 wird der Steueranordnung 14 eine gewünschte einzustellende Kapazität vorgegeben. Im Speicher 22 ist eine Kapazitätskurve abgelegt, über die eine Kapazität einer absoluten oder relativen Position der bewegbaren Kondensatorplatte zugeordnet wird. Unter Berücksichtigung dieser Kapazitätskurve und einer durch den Positionssensor 24 erfassten Position wird in dem Mikrokontroller 23 ein Signal für einen Motorkontroller 25 generiert Dem Motorkontroller 25 ist ein Positionszähler 26 zugeordnet, der die Position der Abtriebswelle 13 bzw. der bewegbaren Kondensatorplatte erfasst. Unter Berücksichtigung dieses Signals wird durch den Motorkontroller 25 ein Signal für einen Brückentreiber 27 generiert, der wiederum eine Treiberstufe 28 ansteuert, die dem motorischen Antrieb 12 ein Steuersignal zur Einstellung der absoluten bzw. relativen Position der Kondensatorplatte vorgibt.In the 2 is the control arrangement 14 shown schematically. As a power supply is a DC power source 20 intended. Via a serial interface 21 becomes the control arrangement 14 specified a desired capacity to be set. In the storage room 22 a capacitance curve is stored, via which a capacitance is assigned to an absolute or relative position of the movable capacitor plate. Taking into account this capacitance curve and one through the position sensor 24 detected position is in the microcontroller 23 a signal for a motor controller 25 Generates the motor controller 25 is a position counter 26 assigned to the position of the output shaft 13 or the movable capacitor plate detected. Taking into account this signal is determined by the motor controller 25 a signal for a bridge driver 27 which in turn generates a driver stage 28 which controls the motor drive 12 specifies a control signal for adjusting the absolute or relative position of the capacitor plate.

Die Position der bewegbaren Kondensatorplatte wird sowohl über den Positionszähler 26 als auch über den Positionssensor 24 überwacht. Die durch den Positionszähler 26 ermittelte Position und die durch den Positionssensor 24 ermittelte Position werden stets miteinander verglichen. Tritt ein Fehler auf, z. B. durch Schrittverluste oder ein Blockieren der Abtriebswelle 13, so wird dies erkannt. Die Steueranordnung 14 ist in der Lage, bis zu einer einstellbaren Grenze die Position der Kondensatorplatte daraufhin zu korrigieren.The position of the movable capacitor plate is determined both by the position counter 26 as well as the position sensor 24 supervised. The by the position counter 26 determined position and by the position sensor 24 determined position are always compared. If an error occurs, eg. B. by step losses or blocking the output shaft 13 , this is recognized. The control arrangement 14 is able to correct the position of the capacitor plate up to an adjustable limit thereafter.

Im Speicher 22 können weiterhin Profile, wie ein Beschleunigungsprofil oder eine Abbremsrampe abgespeichert sein, die bei der Generierung entsprechender Ansteuersignale für den motorischen Antrieb berücksichtigt werden, sodass eine schnelle und exakte Positionseinstellung erfolgen kann.In the storage room 22 Furthermore, profiles such as an acceleration profile or a deceleration ramp can be stored, which are taken into account in the generation of corresponding drive signals for the motor drive, so that a fast and exact position adjustment can take place.

In der 3 ist der als Drehgeber ausgebildete Positionssensor 24 schematisch dargestellt. In oder an der Abtriebswelle 13 ist ein Magnet 30 angeordnet. Im Bereich des Magneten 30, insbesondere um den Magnet 30 herum, sind Hallsensoren 31 bis 34 angeordnet. Durch Hallsensoren 31 bis 34 kann die Position der Abtriebswelle 13 und somit der bewegbaren Kondensatorplatte erfasst werden. Aus der 3 ergibt sich, dass die Positionserfassung berührungslos erfolgt.In the 3 is designed as a rotary encoder position sensor 24 shown schematically. In or on the output shaft 13 is a magnet 30 arranged. In the area of the magnet 30 , especially around the magnet 30 around, are Hall sensors 31 to 34 arranged. Through Hall sensors 31 to 34 can change the position of the output shaft 13 and thus the movable capacitor plate are detected. From the 3 results in that the position detection takes place without contact.

Der motorische Antrieb 12 ist im vorliegenden Beispiel ein Schrittmotor, der auf seiner Welle ohnehin einen Magnet aufweist. Dieser Magnet kann zusammen mit den Hallsensoren 31 bis 34 den Positionssensor 24 darstellen.The motor drive 12 is in the present example a stepper motor, which already has a magnet on its shaft. This magnet can be used together with the Hall sensors 31 to 34 the position sensor 24 represent.

ZITATE ENTHALTEN IN DER BESCHREIBUNGQUOTES INCLUDE IN THE DESCRIPTION

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Zitierte PatentliteraturCited patent literature

- EP 0935124 B1 [0003, 0003]

Claims

Capacitor arrangement ( 10 ) with a capacitor ( 11 ), which has at least two capacitor plates, and a motor drive ( 12 ), wherein at least one capacitor plate relative to another capacitor plate via the motor drive ( 12 ) for changing the capacitance of the capacitor ( 11 ) is movable, characterized in that a position detecting means for continuous position detection of the position of the movable Kondenstorplatte or a position-related size is provided.

Capacitor arrangement according to Claim 1, characterized in that the position detection device is a contactless position sensor ( 24 ).

Capacitor arrangement according to claim 2, characterized in that the movable capacitor plate is rotatably arranged and the position sensor ( 24 ) is designed as a rotary encoder.

Capacitor arrangement according to Claim 3, characterized in that the rotary encoder has a magnet which is rotatable together with the capacitor plate ( 30 ) and several in the area of the magnet ( 30 ) arranged Hall elements ( 31 to 34 ).

Capacitor arrangement according to one of the preceding claims, characterized in that the position detection device comprises a position counter ( 26 ).

Capacitor arrangement according to one of the preceding claims, characterized in that the motor drive ( 12 ) is designed as a stepper motor.

Capacitor arrangement according to one of the preceding claims, characterized in that a control arrangement ( 14 ) is provided which a memory ( 22 ), in which a capacity curve allocating a capacity of a position is stored.

Capacitor arrangement according to Claim 7, characterized in that the control arrangement ( 14 ) an interface ( 21 ), in particular has a serial interface.

Capacitor arrangement according to one of the preceding Claims, characterized in that a position, in particular relative position, the capacitor plates indicating Display device is provided.

Capacitor arrangement according to one of the preceding claims, characterized in that the capacitor ( 11 ) is designed as a vacuum capacitor.

Capacitor arrangement according to one of the preceding claims, characterized in that the capacitor ( 11 ) together with the motor drive ( 12 ) and one the control arrangement ( 14 ) having control card ( 15 ) forms a unit.

Capacitor arrangement according to one of the preceding claims, characterized in that the motor drive ( 12 ) one or more magnets ( 30 ), which forms part of the position sensor ( 24 ).

Impedance matching circuit of a plasma supply arrangement with a capacitor arrangement ( 10 ) according to any one of the preceding claims.