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Die
vorliegende Erfindung betrifft ein optisches Element mit einem für
Laserstrahlung bevorzugt im Infrarot-Bereich transmissiven oder
teiltransmissiven Grundkörper, wobei der Grundkörper
an einer Umfangsfläche mindestens eine Planfläche
aufweist, die insbesondere durch einen Flächenanschliff gebildet
ist. Die Erfindung betrifft auch eine Vorrichtung zum Überwachen
eines im Strahlengang eines Laserstrahls angeordneten optischen
Elements, sowie eine Laserbearbeitungsmaschine mit einer solchen Überwachungsvorrichtung.
Besondere Anwendung findet die Erfindung bei Infrarot-Gaslasern,
speziell bei CO2-Gaslasern mit einer Betriebswellenlänge λB von 10,6 μm.
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Die
Aufgaben eines Strahlführungs- und Strahlformungssystems
an einer CO2-Hochleistungslaseranlage bestehen
in einer möglichst leistungs- und qualitätsverlustfreien
Führung des Laserstrahls und dessen Formung zur gewünschten
Leistungsdichteverteilung am Bearbeitungsort. Bei der Auswahl der
optischen Elemente sind die besonderen Anforderungen der infraroten
CO2-Wellenlänge und die hohen Leistungsdichten
zu berücksichtigen. Aufgrund der langen Wellenlänge > 2 μm erfolgt
die Strahlführung überwiegend in freier Strahlpropagation über
reflektierende, transmissive und teiltransmissive optische Elemente
und nicht über optische Glasfasern, da die Dämpfungsverluste
zu groß sind. Für viele Anwendungen besteht die
Möglichkeit, sowohl reflektierende als auch transmissive
bzw. teiltransmissive optische Elemente einzusetzen.
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Bei
der infraroten Wellenlänge eines CO2-Laserstrahls
von 10,6 μm stehen nur wenige optische Werkstoffe für
transmissive optische Elemente zur Verfügung. Für
transmissive optische Elemente wird überwiegend Zinkselenid
(ZnSe) verwendet. Vorteilhaft sind bei diesem Material vor allem
der kleine Absorptionskoeffizient und die geringe Temperaturabhängigkeit
des Brechungsindex. Im Vergleich zu Zinkselenid besitzt Galliumarsenid
(GaAs) einen höheren Absorptionskoeffizienten, der jedoch
durch eine bessere Wärmeleitfähigkeit und mechanische Festigkeit
kompensiert wird. Als weitere optische Werkstoffe für transmissive
optische Elemente werden Zinkselenid (ZnS) und Germanium eingesetzt.
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Absorption
von Laserstrahlung an optischen Elementen ist unvermeidbar und vor
allem für transmissive und teiltransmissive optische Elemente
von Bedeutung. Ein einfallender Laserstrahl wird im Grundwerkstoff
des optischen Elementes, in den Beschichtungen und an Verunreinigungen
im und auf dem optischen Element absorbiert und führt zu
einer Erwärmung des optischen Elementes und einer Veränderung
der optischen Kenngrößen (Brechungsindex, Wärmeleitfähigkeit
etc.). Staubpartikel oder sonstige Verschmutzungen, wie z. B. Abrieb,
die in einem Strahlführungsraum vorhanden sind, können sich
an der Oberfläche der optischen Elemente ablagern und zu
einer verstärkten Absorption des auftreffenden Laserstrahls
und damit zu einer zusätzlichen Erwärmung der
optischen Elemente führen.
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Da
das Strahlführungs- und Strahlformungssystem einen großen
Einfluss auf das Bearbeitungsergebnis hat, stellt die Absorption
eine wesentliche Fehlerquelle dar. Diese kann durch die Herstellung hochreiner
Optikwerkstoffe, durch eine Kühlung der optischen Elemente
und regelmäßige Wartung im Einsatz eingeschränkt
werden. Überwachungssysteme bieten die Möglichkeit
zur frühzeitigen Entdeckung von Fehlern und zur Verlängerung
der Standzeiten optischer Elemente.
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Die
DE 198 39 930 C1 beschreibt
ein Verfahren zur Überwachung der Funktionalität
eines transmissiven Schutzelementes einer für die Laserwellenlänge
transmissiven Laseroptik sowie eine Einrichtung zur Durchführung
dieses Verfahrens. Aufgabe ist es dort, ein Verfahren bzw. eine
Einrichtung zur Überwachung der Funktionalität
eines transmissiven Schutzelementes einer transmissiven Laseroptik
so auszugestalten, dass insbesondere Rissbildungen oder thermische
Zerstörungen des Schutzelementes zuverlässig erfasst
werden können. Die Überwachungseinrichtung umfasst
einen an die Umfangsfläche des Schutzelementes angekoppelten
Detektor, der aus der Umfangsfläche austretendes Licht
erfasst, und eine Lichtquelle, die an die Umfangsfläche angekoppelt
ist und mit dem Detektor als Lichtschranke zusammenwirkt. Die Messstrahlung
der Lichtquelle wird in einer zur Einfallsrichtung des Laserstrahls
schrägen Richtung in das Schutzelement eingekoppelt und
durchquert das Schutzelement. Ein Teil der Messstrahlung wird nach
Durchqueren des Schutzelementes vom Detektor als transmittierter Messstrahl
erfasst.
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Die
WO 2006/037580 A1 der
Anmelderin beschreibt ein optisches Element für eine Laserbearbeitungsmaschine,
das an seiner Umfangsfläche mindestens eine Profilierung
aufweist, die beispielsweise als planer Flächenanschliff
ausgebildet sein kann. Die plane Profilierung wird beispielsweise
als Reflexionsfläche zur Reflexion eines über
die Umfangsfläche eingekoppelten Messlichtstrahls genutzt
oder vor einer Messlichtquelle angeordnet, so dass das Licht der
Messlichtquelle besser in das optische Element eingestrahlt werden
kann.
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Bei
der Überwachung eines optischen Elements mit Hilfe von über
die Umfangsfläche eingekoppelter und an der Umfangsfläche
reflektierter Messstrahlung tritt das Problem auf, dass beim Ein- bzw.
Auskoppeln der Messstrahlung Leistungsverluste durch Reflexion an
der Umfangsfläche, sowie bei der Reflexion der Messstrahlung
Leistungsverluste aufgrund von Transmission der Messstrahlung durch
die Umfangsfläche auftreten. Dies kann dazu führen,
dass das Messsignal der detektierten Messstrahlung zu gering wird,
um eine zuverlässige Überwachung des optischen
Elements zu gewährleisten. Um diesem Problem zu begegnen,
können die Grenzflächen für die Ein-
und Auskopplung bzw. Reflexion der Messstrahlung bei der Herstellung
des optischen Elements ent- bzw. verspiegelt werden, was jedoch
zu mehr Prozessschritten und dabei notwendigen Positionsänderungen
des optischen Elements während des Herstellungsprozesses
und damit zu deutlich höheren Kosten führt.
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Aufgabe der Erfindung
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Es
ist die Aufgabe der vorliegenden Erfindung, ein kostengünstiges
optisches Element sowie eine kostengünstige Vorrichtung
bereitzustellen, die eine prozesssichere Überwachung des
optischen Elements unter Verwendung von über die Umfangsfläche
des optischen Elements eingekoppelter Messstrahlung ermöglicht.
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Gegenstand der Erfindung
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Diese
Aufgabe wird erfindungsgemäß gelöst durch
ein optisches Element der eingangs genannten Art, bei dem der Grundkörper
an der Planfläche mit einem für Messstrahlung
bei einer Messwellenlänge λM bevorzugt
im sichtbaren Bereich transmittissiven plattenförmigen
Körper fest verbunden ist, und bei dem die dem Grundkörper
abgewandte Fläche des plattenförmigen Körpers
eine für die Messstrahlung spiegelnde oder entspiegelnde
Beschichtung aufweist.
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An
dem erfindungsgemäßen optischen Element kann die
Ein-/Auskopplung bzw. die Reflexion der Messstrahlung an der beschichteten
Fläche des plattenförmigen Körpers und
nicht an der Planfläche des Grundkörpers erfolgen.
Dies ist vorteilhaft, da hierdurch die Ent- bzw. Verspiegelung des
Grundkörpers entfällt und somit dessen Herstellung
nicht durch einen zusätzlichen, zeitaufwändigen
Beschichtungsschritt verlangsamt wird. Die Ent- bzw. Verspiegelung
des plattenförmigen Körpers kann kostengünstig
dadurch erfolgen, dass ein großflächiger, dünner
Grundkörper mit der Beschichtung versehen und anschließend
in mehrere plattenförmige Körper mit kleinerer
Grundfläche unterteilt wird. Die Form der Grundfläche
des platten förmigen Körpers entspricht in der
Regel der Form der Planfläche, wobei die Grundfläche
des plattenförmigen Körpers typischer Weise so
gewählt ist, dass dieser nicht über die Planfläche übersteht.
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Bevorzugt
unterscheidet sich der Brechungsindex nF des
plattenförmigen Körpers vom Brechungsindex nG des Grundkörpers bei der Messwellenlänge λM um höchstens 0,7, bevorzugt um höchstens
0,3. Um unerwünschte Reflexionen an der Verbindungsfläche
zwischen dem Grundkörper und dem plattenförmigen
Körper zu vermeiden, sollte dieser einen Brechungsindex
aufweisen, der möglichst nahe am Brechungsindex des Grundkörpers
liegt.
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Bei
einer besonders vorteilhaften Ausführungsform bestehen
der Grundkörper und der plattenförmige Körper
aus demselben Material, bevorzugt aus Zinkselenid. In diesem Fall
kann auf besonders einfache Weise sichergestellt werden, dass sowohl
der plattenförmige Körper als auch der Grundkörper
denselben Brechungsindex aufweisen. Es versteht sich, dass auch
andere Materialien als Zinkselenid (Brechungsindex n = 2,7 bei 0,54 μm),
z. B. Zinksulfid (Brechungsindex n = 2,4 bei 0,54 μm) oder Flintglas
(Brechungsindex n = 2,0) als Materialien für den Grundkörper
und/oder den plattenförmigen Körper dienen können.
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Besonders
bevorzugt ist der plattenförmige Körper an dem
Grundkörper durch Verkleben mittels eines bei der Messwellenlänge λM transparenten, bevorzugt UV-aushärtbaren
Klebers oder durch Bonden verbunden. Insbesondere durch Klebung
ist es kostengünstig möglich, eine dauerhafte
Verbindung des plattenförmigen Körpers mit dem
Grundkörper herzustellen.
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Bei
einer besonders vorteilhaften Ausführungsform weist der
Grundkörper zwei parallele Planflächen auf, die
sich entlang der Umfangsfläche gegenüberliegen.
Hierbei kann eine der Planflächen konventionell verspiegelt
oder mit einem eine spiegelnde Beschichtung aufweisenden plattenförmigen Körper
verbunden sein, während die andere Planfläche
mit einem eine entstpiegelnde Beschichtung aufweisenden plattenförmigen
Körper verbunden ist. An einem solchen optischen Element
erfolgt die Ein- und Auskopplung der Messstrahlung an derselben
Planfläche. Es versteht sich, dass der Grundkörper
auch drei Planflächen aufweisen kann, von denen mindestens
eine mit einem plattenförmigen Körper verbunden
ist, wobei in diesem Fall die Ein- und Auskopplung der Messstrahlung
an unterschiedlichen Planflächen erfolgt.
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Der
plattenförmige Körper ist möglichst dünn ausgeführt
und hat typischer Weise eine Dicke zwischen ca. 0,1 mm und 1 mm,
um die Absorptionsverluste der Messstrahlung möglichst
gering zu halten und um zu gewährleisten, dass das optische
Element in eine konventionelle, typischer Weise ringförmige Halterung
eingesetzt werden kann.
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Die
Erfindung ist auch verwirklicht in einer Vorrichtung zum Überwachen
eines im Strahlengang eines Laserstrahls angeordneten optischen
Elements, umfassend: ein optisches Element wie oben beschrieben,
eine Messlichtquelle zur Erzeugung und Aussendung von Messstrahlung
mit einer Messwellenlänge λM auf
die Umfangsfläche des optischen Elements, und einen Detektor
zum Detektieren zumindest eines Teils der durch das optische Element hindurch
getretenen Messstrahlung. Die Messstrahlung kann hierbei an der
spiegelnden oder entspiegelnden Fläche des plattenförmigen
Körpers transmittiert oder reflektiert werden.
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In
einer besonders vorteilhaften Ausführungsform ist zwischen
der Messlichtquelle und dem Detektor ein teiltransmissiver Spiegel
angeordnet. Der teiltransmissive Spiegel ist günstig, wenn
die Messstrahlung an derselben Fläche ein- und ausgekoppelt
werden soll, da an diesem auf besonders einfache Weise die eingekoppelte
von der ausgekoppelten Messstrahlung separiert werden kann.
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Besonders
bevorzugt weist die Vorrichtung eine Auswerteeinrichtung auf, welche
die Intensität der vom Detektor aufgezeichneten Strahlung
der Temperatur des optischen Elements oder einer insbesondere temperaturabhängigen
Kenngröße des optischen Elements zuordnet.
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Die
Erfindung ist auch verwirklicht in einer Laserbearbeitungsmaschine
mit einer Vorrichtung wie oben beschrieben. Insbesondere kann es
sich bei der Laserbearbeitungsmaschine um eine CO2-Laserbearbeitungsmaschine
handeln. Die Überwachung kann hierbei an einem beliebigen
optischen Element des Strahlführungs- und Strahlformungssystems
der Laserbearbeitungsmaschine erfolgen, z. B. an einer Fokussierlinse
des Laserbearbeitungskopfs oder einem teiltransmissiven Auskoppelspiegel
des Laserresonators.
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Zur
Herstellung des optischen Elements kann ein Verfahren dienen, bei
dem ein plattenförmiger Körper mit großer
Grundfläche mit einer spiegelnden oder entspiegelnden Beschichtung
versehen wird. Der plattenförmige Körper wird
nachfolgend in mehrere, kleinere plattenförmige Körper
(mit geringerer Grundfläche) geteilt, und anschließend
wird einer der plattenförmigen Körper an der Planfläche
mit dem Grundkörper verbunden, um das optische Element
zu bilden.
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Weitere
Vorteile der Erfindung ergeben sich aus der Beschreibung und der
Zeichnung. Ebenso können die vorstehend genannten und die
noch weiter aufgeführten Merkmale je für sich
oder zu mehreren in beliebigen Kombinationen Verwendung finden. Die
gezeigten und beschriebenen Ausführungsformen sind nicht
als abschließende Aufzählung zu verstehen, sondern
haben vielmehr beispielhaften Charakter für die Schilderung
der Erfindung.
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Es
zeigen:
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1 eine
schematische Darstellung einer Laserbearbeitungsmaschine mit einem
Laserbearbeitungskopf, sowie
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2 eine
schematische Darstellung einer Überwachungsvorrichtung
für eine Fokussierlinse in dem Laserbearbeitungskopf.
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1 zeigt
eine Laserbearbeitungsmaschine 1 in Form einer CO2-Laserschneidmaschine zum Laserschneiden
mit einem CO2-Laserresonator 2,
einem Laserbearbeitungskopf 4 und einer Werkstückauflage 5.
Ein von dem Laserresonator 2 bei einer Betriebswellenlänge λB von 10,6 μm erzeugter Laserstrahl 6 wird
mittels einer Strahlführung 3 von (nicht gezeigten)
Umlenkspiegeln zum Laserbearbeitungskopf 4 geführt
und in diesem fokussiert sowie mit Hilfe von ebenfalls nicht bildlich
dargestellten Spiegeln senkrecht zur Oberfläche 8a eines
Werkstücks 8 ausgerichtet, d. h. die Strahlachse
(optische Achse) des Laserstrahls 6 verläuft senkrecht
zum Werkstück 8.
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Zum
Laserschneiden des Werkstücks 8 wird mit dem Laserstrahl 6 zunächst
eingestochen, d. h. das Werkstück 8 wird an einer
Stelle punktförmig aufgeschmolzen oder oxidiert und die
hierbei entstehende Schmelze wird ausgeblasen. Nachfolgend wird der
Laserstrahl 6 über das Werkstück 8 bewegt,
so dass ein durchgängiger Schnittspalt 9 entsteht,
an dem entlang der Laserstrahl 6 das Werkstück 8 durchtrennt.
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Sowohl
das Einstechen als auch das Laserschneiden können durch
Hinzufügen eines Gases unterstützt werden. Als
Schneidgase 10 können Sauerstoff, Stickstoff,
Druckluft und/oder anwendungsspezifische Gase eingesetzt werden.
Welches Gas letztendlich verwendet wird, ist davon abhängig,
welche Materialien geschnitten und welche Qualitätsansprüche
an das Werkstück gestellt werden. Entstehende Partikel
und Gase können mithilfe einer Absaugeinrichtung 11 aus
einer Absaugkammer 12 abgesaugt werden.
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In 2 ist
als Beispiel für ein optisches Element in der Strahlführung 3 eine
Fokussierlinse 20 in einer Draufsicht gezeigt, welche in
dem Laserbearbeitungskopf 4 der Laserbearbeitungsmaschine 1 von 1 angebracht
ist. In den Laserbearbeitungskopf 4 ist auch eine Vorrichtung 21 zur Überwachung der
Fokussierlinse 20 integriert, welche neben der Fokussierlinse 20 eine
Messlichtquelle 22 in Form einer handelsüblichen
LED zur Erzeugung und Aussendung von Messstrahlung 23 auf
das optische Element 20, einen Detektor 24 zum
Detektieren zumindest eines Teils der durch das optische Element 20 hindurch
getretenen Messstrahlung 23 sowie eine Auswerteeinrichtung 25 umfasst.
Die Messstrahlung 23 weist hierbei eine Messwellenlänge λM von 540 nm auf, kann aber auch bei anderen
Wellenlängen, typischer Weise im Bereich zwischen 500 nm
und 800 nm, liegen.
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Das
optische Element 20 besteht aus einem Grundkörper 20a (Linsenkörper)
aus Zinkselenid, an dessen umlaufender Umfangsfläche 26 zwei
gegenüber liegende Flächen 27a, 27b plan
angeschliffen und poliert sind. An der ersten Planfläche 27a ist
der Grundkörper 20a mit einem plattenförmigen
Körper 20b durch Kleben mit einem UV-aushärtbaren,
bei der Messwellenlänge λM transparenten
Kleber verbunden. Es versteht sich, dass der plattenförmige Körper 20b auch
auf andere Weise fest mit dem Grundörper 20a verbunden
werden kann, z. B. durch Bonden. Der plattenförmige Körper 20b weist
auf der dem Grundkörper 20a abgewandten Seite
eine Fläche 28 mit einer für die Messstrahlung 23 bei
der Messwellenlänge λM entspiegelnden
Beschichtung auf. Die zweite Planfläche 27b des
Grundkörpers 20a ist hingegen durch Aufbringen
einer dünnen Metallschicht verspiegelt.
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Zur Überwachung
des optischen Elements 20 tritt die von der Messlichtquelle 22 ausgesandte Messstrahlung 23 durch
einen teiltransmissiven Spiegel 29 hindurch und wird senkrecht
zur entspiegelnden Fläche 28 bzw. zur ersten Planfläche 27a in den
plattenförmigen Körper 20b bzw. den Grundkörper 20a des
optischen Elements 20 eingestrahlt, an der gegenüber
liegenden, zweiten Planfläche 27b reflektiert
und nach nochmaligem Durchlaufen des Grundkörpers 20a und
des plattenförmigen Körpers 20b über
den teiltransmissiven Spiegel 29 auf den Detektor 24,
der als Photodiode ausgebildet ist, ausgekoppelt. Die Intensität
der Messstrahlung 23, die vom Detektor 24 aufgezeichnet
wird, kann in der Auswerteeinrichtung 25 ausgewertet werden,
um Rückschlüsse z. B. auf Rissbildungen oder Zerstörungen des
Grundkörpers 20a zu erfassen oder die Temperatur
bzw. temperaturabhängige Kenngrößen des
optischen Elements 20 zu überwachen.
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Da
Zinkselenid als Material des Grundkörpers 20a bei
der Messwellenlänge λM von
540 nm einen Brechungsindex nG von 2,7 aufweist,
ist es zur Vermeidung von Strahlungsverlusten an der Grenzfläche
zwischen dem Grundkörper 20a und dem plattenförmigen
Körper 20b günstig, wenn das Material des
plattenförmigen Körpers 20b einen Brechungsindex
nF aufweist, der größer
als 2,0 ist und günstiger Weise möglichst nahe
bei 2,7 liegt. Um dies zu erreichen, kann als Material für
den plattenförmigen Körper 20b ebenfalls
Zinkselenid gewählt werden. Kostengünstiger ist
jedoch bleihaltiges Glas oder Kunststoff mit hohem Brechungsindex
nF z. B. von ca. 2,6. Bei der Wahl des Materials
für den plattenförmigen Körper 20b kann
ausgenützt werden, dass dieser nicht zwingend für
Strahlung bei der Betriebswellenlänge λB von 10,6 μm transparent sein muss.
Die Dicke des plattenförmigen Körpers 20b ist
gering und kann bei ca. 0,2 mm liegen, um Strahlungsverluste beim
Durchtritt der Messstrahlung 23 möglichst klein zu
halten.
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Würde
die oben beschriebene Messung an dem Grundkörper 20a des
optischen Elements 20 ohne den plattenförmigen
Körper 20b durchgeführt, so würde,
da Zinkselenid für dem Messstrahlung 23 bei der
Messwellenlänge λM von
540 nm einen Brechungsindex von 2,7 aufweist, beim Ein- und Auskoppeln
an der ersten Planfläche 27a jeweils 20% der Strahlungsleistung
reflektiert, wären also für die Messung nicht
nutzbar. An der gegenüber liegenden Planfläche 27b würden
ohne eine spiegelnde Beschichtung ebenfalls nur 20% der Strahlungsleistung der
Messstrahlung 23 reflektiert, so dass nach dem Auskoppeln
nur noch ca. 13% der Strahlungsleistung als Messsignal zur Verfügung
stünden. Versuche mit einer solchen Überwachungsvorrichtung
haben gezeigt, dass diese Strahlungsleistung zu gering für eine
prozesssichere Funktionsüberwachung des optischen Elements 20 ist.
Durch den entspiegelten plattenförmigen Körper 20b wird
die ausgekoppelte Strahlungsleistung deutlich erhöht.
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Es
versteht sich, dass alternativ zur in 2 gezeigten
Darstellung an der zweiten Planfläche 27b des
optischen Elements 20 ebenfalls ein plattenförmiger
Körper mit einer spiegelnden Beschichtung an der dem Grundkörper 20a abgewandten
Seite angeklebt oder auf andere Weise mit diesem verbunden sein
kann. Hierdurch kann die wieder ausgekoppelte Strahlungsleistung
auf mehr als 90% der Eingangsleistung angehoben werden. Es versteht
sich, dass auch drei Planflächen an dem Grundkörper 20a vorgesehen
sein können, wenn die Messstrahlung an zwei unterschiedlichen
Planflächen ein- bzw. ausgekoppelt wird. Auch können
mehr als drei plane Flächen an dem Grundkörper
vorgesehen werden, um mehrere sich ggf. teilweise überschneidende
Bereiche des Grundkörpers 20a zu überwachen.
Es versteht sich weiterhin, dass zusätzlich oder alternativ zur
Fokussierlinse 20 im Laserbearbeitungskopf 4 auch
andere optische Elemente in der Strahlführung 3 der
Laserbearbeitungsmaschine 1 überwacht werden können,
z. B. ein (nicht gezeigter) teildurchlässiger Auskoppelspiegel
des Laserresonators 2.
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Der
plattenförmige Körper 20b mit einer spiegelnden
bzw. entspiegenden Fläche 28 kann besonders kostengünstig
hergestellt werden, indem ein großflächiger, dünner
Ausgangskörper mit einer spiegelnden oder entspiegelnden
Beschichtung versehen und anschließend in mehrere plattenförmige Körper
mit kleinerer Grundfläche unterteilt wird. Insbesondere
durch Klebung ist es außerdem kostengünstig möglich,
eine dauerhafte Verbindung eines solchen plattenförmigen
Körpers 20b mit dem Grundkörper 20a herzustellen,
wobei das Ankleben des plattenförmigen Körpers 20b wesentlich
schneller erfolgen kann als das Aufbringen einer Beschichtung direkt
auf die Planfläche 27a, so dass der Herstellungsprozess
des optischen Elements 20 verkürzt wird und damit
Kosten eingespart werden können. Es versteht sich, dass
das optische Element bzw. die Überwachungsvorrichtung nicht
nur auf dem Gebiet der Laserbearbeitung Verwendung finden können, sondern
auch auf anderen Gebieten der Optik vorteilhaft eingesetzt werden
können, wenn an einem optischen Element eine prozesssichere Überwachung unter
Verwendung von über die Umfangsfläche eingekoppelter
Messstrahlung ermöglicht werden soll.
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ZITATE ENTHALTEN IN DER BESCHREIBUNG
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Zitierte Patentliteratur
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- - DE 19839930
C1 [0006]
- - WO 2006/037580 A1 [0007]