DE202007018680U1 - Filter device for a clean room - Google Patents

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    • B01L1/00Enclosures; Chambers
    • B01L1/04Dust-free rooms or enclosures

Abstract

Filtervorrichtung für einen Reinraum (1, 3) mit:
a) einer Arbeitskammer (14, 34) zur temporären Aufnahme von Behandlungsgut;
b) Transferöffnungen (104, 105, 106; 303, 305, 306) in der Arbeitskammer (14, 34), welche zum Einbringen und/oder Ausbringen des Behandlungsguts und/oder zum Zugriff in die Arbeitskammer (14, 34) dienen;
c) einem auswechselbaren Filter (2), dadurch gekennzeichnet, dass
d) der Filter (2) aus einem Filtereinsatz (29) und einem den Filtereinsatz (29) umgebenden, im wesentlichen geschlossenen Behältnis (20) besteht, wobei das Behältnis (20) einerseits des Filtereinsatzes (29) eine Eintrittsöffnung (241) und andererseits des Filtereinsatzes (29) eine Austrittsöffnung (221) besitzt;
e) der Reinraum (1, 3) zum lösbaren Andocken von Eintrittsöffnung (241) und Austrittsöffnung (221) komplementäre Anschlussöffnungen (140, 50) aufweist; und
f) die Eintrittsöffnung (241) des Behältnisses (20) bei an den Reinraum (1, 3) angedocktem Filter (2) mit einem über die Arbeitskammer (14, 34) einbringbaren ersten Deckel (25) verschliessbar ist.
Filter device for a clean room (1, 3) with:
a) a working chamber (14, 34) for temporarily receiving material to be treated;
b) transfer openings (104, 105, 106; 303, 305, 306) in the working chamber (14, 34), which serve for introducing and / or discharging the material to be treated and / or for accessing the working chamber (14, 34);
c) a replaceable filter (2), characterized in that
d) the filter (2) consists of a filter insert (29) and a filter insert (29) surrounding substantially closed container (20), wherein the container (20) on the one hand of the filter insert (29) has an inlet opening (241) and on the other the filter cartridge (29) has an outlet opening (221);
e) the clean room (1, 3) for releasable docking of the inlet opening (241) and the outlet opening (221) has complementary connection openings (140, 50); and
f) the inlet opening (241) of the container (20) at the clean room (1, 3) docked filter (2) with a on the working chamber (14, 34) can be inserted first cover (25) is closable.

Figure 00000001
Figure 00000001

Description

Anwendungsgebiet der ErfindungField of application of the invention

Die vorliegende Erfindung betrifft eine Filtervorrichtung für einen Reinraum mit einer Arbeitskammer zur temporären Aufnahme von Behandlungsgut. In der Arbeitskammer dienen Transferöffnungen zum Einbringen und/oder Ausbringen des Behandlungsguts und/oder zum Zugriff in die Arbeitskammer. Die Filtervorrichtung beruht auf einem auswechselbaren Filter.The The present invention relates to a filter device for a clean room with a working chamber for temporary admission of material to be treated. In the working chamber transfer openings serve for introducing and / or discharging the material to be treated and / or for access to the working chamber. The filter device is based on a replaceable filter.

Stand der TechnikState of the art

In der Firmenschrift der McLeod Russel Filter AG, CH-8610 Uster/Schweiz: "Luwa Kanalfiltergehäuse NSC, Montageanweisung – Anleitung für kontaminationsfreien Filterwechsel" , wird eine Filtervorrichtung und der Ablauf eines Filterwechsels an Filterbänken offenbart. Bei Inbetriebsetzung der Filterbank verlaufen die Erstbestückung und ein späterer Filterwechsel in folgenden Schritten:

  • 1. Eine unverbrauchte erste Filterzelle wird aus einem hinten zu öffnenden ersten Sack, der aus Kunststoff besteht, in das leere Filtergehäuse durch eine Einschuböffnung geschoben und darin fixiert.
  • 2. Die Einschuböffnung besitzt einen Wechselkragen mit zwei umlaufenden Nuten, wobei in der vorderen Nut der Sack mit seinem hinteren, dem Filtergehäuse zugewandten, jetzt offenen Ende mittels eines ersten Dichtbandes gehalten wird.
  • 3. Der Sack wird eingerollt, vor die Filterzelle platziert, mit Klebeband gesichert und der Wartungsdeckel aufgesetzt.
  • 4. Nach Umschaltung der Filterbank in den Modus zum Filterwechsel wird zuerst der Wartungsdeckel entfernt, der Sack ausgerollt, die Fixierung der Filterzelle gelöst und schliesslich die verbrauchte erste Filterzelle aus dem Filtergehäuse durch die Einschuböffnung in den ersten Sack gezogen.
  • 5. Eine breite oder doppelte Schweissnaht wird zwischen dem Wechselkragen und dem nach aussen verbrachten ersten Sack mit der darin befindlichen verbrauchten ersten Filterzelle gelegt, welche man anschliessend durchtrennt, so dass sich der erste Sack mit seinem eingeschweissten Inhalt entfernen lässt.
  • 6. Vom an der Filterbank zurückgebliebenen Rest des ersten Sacks wird das offene Sackende um das in der vorderen Nut sitzende erste Dichtband gelegt.
  • 7. Eine in einem zweiten Sack enthaltene neue, unverbrauchte zweite Filterzelle wird mit inzwischen geöffnetem hinteren Sackende an den Wechselkragen herangebracht und dieses offene Ende des zweiten Sacks in der hinteren Nut des Wechselkragens mit einem zweiten Dichtband fixiert. Somit ist der noch am Wechselkragen hängende Rest des ersten Sacks vom darüber gestülpten zweiten Sack umschlossen.
  • 8. Durch den als Handschuh wirkenden zweiten Sack wird der Rest des ersten Sacks aus der vorderen Nut gelöst und entlang der zweiten Filterzelle innerhalb des zweiten Sacks bis an sein nach aussen weisendes freie Ende transportiert.
  • 9. Die zweite Filterzelle wird aus dem zweiten Sack heraus durch die Einschuböffnung in das Filtergehäuse geschoben und wieder darin fixiert.
  • 10. Hiernach wird gemäss Schritt 3, jedoch mit dem Rest des ersten Sacks im zweiten Sack fortgefahren. Beim erneuten Wechsel mit einer in einem dritten Sack steckenden dritten Filterzelle wird das den Rest des zweiten Sacks einspannende zweite Dichtband von der hinteren Nut des Wechselkragens in seine vordere Nut verschoben, um den Rest des zweiten Sacks jetzt hier zu klemmen, so dass die hintere Nut zum Einspannen des offenen Endes des dritten Sacks frei ist.
In the company publication of McLeod Russel Filter AG, CH-8610 Uster / Switzerland: "Luwa duct filter housing NSC, assembly instructions - instructions for contamination-free filter change" , discloses a filter device and the flow of a filter change to filter banks. When commissioning the filter bank, the initial assembly and a subsequent filter change take place in the following steps:
  • 1. An unused first filter cell is pushed from a rear-opening first bag, which consists of plastic, in the empty filter housing through an insertion opening and fixed therein.
  • 2. The insertion opening has an alternating collar with two circumferential grooves, being held in the front groove of the bag with its rear, the filter housing facing, now open end by means of a first sealing strip.
  • 3. The bag is rolled up, placed in front of the filter cell, secured with adhesive tape and the maintenance cover put on.
  • 4. After switching the filter bank in the mode for filter replacement first the maintenance cover is removed, rolled out the bag, solved the fixation of the filter cell and finally pulled the spent first filter cell from the filter housing through the insertion opening in the first bag.
  • 5. A wide or double weld is placed between the alternating collar and the outwardly spent first bag with the spent first filter cell therein, which is then cut through, so that the first bag can be removed with its welded content.
  • 6. From the left of the filter bank rest of the first bag, the open bag end is placed around the seated in the front groove first sealing tape.
  • 7. A new, unused second filter cell contained in a second bag is brought to the alternating collar with meanwhile opened rear bag end and this open end of the second bag is fixed in the rear groove of the change collar with a second sealing tape. Thus, the rest of the first bag still hanging on the alternating collar is enclosed by the second sack which has been put over it.
  • 8. By acting as a glove second bag, the remainder of the first bag is released from the front groove and transported along the second filter cell within the second bag to its outwardly facing free end.
  • 9. The second filter cell is pushed out of the second bag through the insertion opening into the filter housing and fixed again therein.
  • 10. Thereafter, according to step 3, but continued with the rest of the first bag in the second bag. When changing again with a third filter cell inserted in a third bag, the second sealing band spanning the remainder of the second bag is displaced from the rear groove of the alternate collar into its front groove to now clamp the remainder of the second bag here, so that the rear groove is free for clamping the open end of the third bag.

In der Firmenschrift der Unifil AG Filtertechnik, CH-5702 Niederlenz/Schweiz: "Wartungsanleitung Sicherheitsgehäuse USH", Ausgabe 1.1.92 , ist eine Filtervorrichtung gleichen Typs enthalten, welche identische Schritte beim Filterwechsel erfordert. Die zuvor beschriebene Filtervorrichtung verursacht bei der Erstbestückung und beim Austausch erheblichen manuellen Aufwand mit entsprechendem Zeitbedarf, setzt eingeübte Fertigkeiten beim Handling voraus und zwingt zu hoher Sorgsamkeit.In the company publication of Unifil AG Filtertechnik, CH-5702 Niederlenz / Switzerland: "Maintenance Instructions Safety Housing USH", edition 1.1.92 , A filter device of the same type is included, which requires identical steps in filter replacement. The filter device described above caused during the initial loading and replacement considerable manual effort with a corresponding amount of time, requires practiced skills in handling and forces too much care.

In der DE 101 57 950 C2 und im Prospekt der Berner International GmbH, D-25337 Elmshorn/Deutschland: "Zytostatika-Werkbank, Berner FlowSafe, C-[MaxPro]" , sind eine Filtervorrichtung für eine Sicherheitswerkbank und der Ablauf des Filterwechsels dargestellt. Vom unteren Teil des Werkbankgehäuse ist eine Arbeitskammer umgeben, die nach unten durch eine Basisfläche und nach vorn sowie seitlich durch Sichtscheiben begrenzt wird. Die vordere Sichtscheibe hat als Zugang in die Arbeitkammer zum Ein- und Ausbringen von Behandlungsgut sowie zum Eingriff der Bedienperson eine Öffnung. In der Basisfläche ist ein Durchlass zu einem darunter befindlichen Hauptfilterraum, von dem ein Rückluftkanal zur Einleitung von gefilterter Luft in die über der Arbeitskammer gelegenen Umluftzone führt. Im Hauptfilterraum ist ein Magazin von Halterungen angeordnet, in die sich von der Arbeitskammer aus kartuschenförmige Filterkörper einsetzen lassen. Die aus der Arbeitskammer kommende belastete Luft strömt von oben zentrisch in die Filterkörper ein, tritt an der Mantelfläche gereinigt aus und gelangt in den Rückluftkanal. Der Filterwechsel geschieht durch Herausheben der verbrauchten Filterkörper aus dem Magazin in die Arbeitskammer hinein, wo man diese kontaminierten Filterkörper in Behältnisse, z. B. verschliessbare Säcke, steckt, um so der Sondermüll-Entsorgung zugeführt zu werden. Dieses System ist nur für weniger kritische Gefahrenklassen geeignet. Die Werkbank ist an sich offen, beim Filterwechsel wird mit den verbrauchten Filterkörpern in der Arbeitskammer manipuliert und man muss die belasteten Filterkörper für den Abtransport aus der Arbeitskammer zunächst in Behältnisse einbringen, so dass Verunreinigungen an die Oberfläche der Behältnisse gelangen, was je nach Gefährlichkeit der Substanzen eine zusätzliche Dekontamination erfordern kann. Überdies ist das Arbeiten mit den Entsorgungsbehältnissen zeitaufwendig und umständlich.In the DE 101 57 950 C2 and in the prospectus of Berner International GmbH, D-25337 Elmshorn / Germany: "Cytostatic Workbench, Berner FlowSafe, C- [MaxPro]" , A filter device for a safety workbench and the procedure of the filter change are shown. From the lower part of the workbench housing a working chamber is surrounded, which is bounded below by a base surface and forward and laterally by viewing windows. The front viewing window has an opening as access into the working chamber for the introduction and removal of material to be treated and for the intervention of the operator. In the base area there is a passage to a main filter space below, from which a return air duct leads to the introduction of filtered air into the circulating air zone located above the working chamber. In the main filter chamber, a magazine of holders is arranged, in which can be used from the working chamber cartridge-shaped filter body. The contaminated air coming from the working chamber flows centrally from above into the filter bodies, exits in a clean condition on the jacket surface and enters the return air duct. The filter change is done by lifting out the spent filter body from the magazine into the working chamber, where you put these contaminated filter body in containers, such. B. lockable bags, so the special garbage disposal to be supplied. This system is only suitable for less critical hazard classes. The workbench is in itself open, the filter change is manipulated with the used filter bodies in the working chamber and you must first load the loaded filter body for removal from the working chamber in containers, so that impurities get to the surface of the containers, which depending on the danger of Substances may require additional decontamination. Moreover, working with the disposal containers is time consuming and cumbersome.

Aufgabe der ErfindungObject of the invention

Von der obigen Problemstellung ausgehend, liegt der Erfindung die Aufgabe zugrunde, eine Filtervorrichtung für einen Reinraum vorzuschlagen, welche einen weitgehend kontaminationsarmen Filterwechsel erlaubt, dabei zugleich das Handling wesentlich vereinfacht und sich zeitsparend ausführen lässt. Eine weitere Aufgabe der Erfindung liegt darin, dass man verschmutztes Reinigungsmaterial – z. B. Putzlappen –, das zum Säubern der Arbeitskammer verwendet wurde, mit dem Filterwechsel auf ebenfalls kontaminationsarme Art entsorgt werden kann. Eine nächste Aufgabe besteht darin, das wirksame Filtermaterial besser gegen die Ge fährdung einer Beschädigung zu schützen, welche insbesondere beim Filterwechsel besteht.From Based on the above problem, the invention has the object to propose a filter device for a clean room, which allows a largely low-contamination filter change, At the same time, handling is much easier and time-saving let execute. Another object of the invention is that you dirty cleaning material -. As cloths - used to clean the working chamber was, with the filter change to also low-contamination nature can be disposed of. A next task is the effective filter material better against the risk to protect against damage, in particular when changing the filter.

Übersicht über die ErfindungOverview of the invention

Die Filtervorrichtung für einen Reinraum hat zunächst eine Arbeitskammer zur temporären Aufnahme von Behandlungsgut. Transferöffnungen in der Arbeitskammer dienen zum Einbringen und/oder Ausbringen des Behandlungsguts und/oder zum Zugriff in die Arbeitskammer. Die Filtervorrichtung basiert auf einem auswechselbaren Filter, der aus einem Filtereinsatz und einem den Filtereinsatz umgebenden, im wesentlichen geschlossenen Behältnis besteht, wobei das Behältnis einerseits des Filtereinsatzes eine Eintrittsöffnung und andererseits des Filtereinsatzes eine Austrittsöffnung besitzt. Zum lösbaren Andocken des Filters hat der Reinraum zur Eintrittsöffnung und Austrittsöffnung komplementäre Anschlussöffnungen. Die Eintrittsöffnung des Behältnisses ist bei an den Reinraum angedocktem Filter mit einem über die Arbeitskammer einbringbaren ersten Deckel verschliessbar.The Filter device for a clean room has first a working chamber for the temporary admission of material to be treated. Transfer openings in the working chamber serve for introduction and / or application of the material to be treated and / or for access in the working chamber. The filter device is based on a replaceable Filter consisting of a filter cartridge and a filter cartridge surrounding, substantially closed container, wherein the container on the one hand of the filter insert a Inlet opening and on the other hand of the filter insert a Outlet has. For detachable docking the filter has the clean room to the inlet opening and outlet opening complementary connection openings. The entrance opening of the container is docked at the clean room docked filter with a first cover which can be introduced via the working chamber closable.

Nachfolgend werden spezielle Ausführungsformen der Erfindung definiert: Einerseits des Filtereinsatzes ist ein vom Behältnis umschlossener erster Freiraum vorhanden, in den sich aus der Arbeitskammer heraus zu entsorgende Mittel über die Eintrittsöffnung bei an den Reinraum angedocktem Filter vor dem Aufsetzten des ersten Deckels einbringen lassen. Zu entsorgende Mittel sind insbesondere bei der Reinigung der Arbeitskammer verbrauchte Putzmittel. Zur Verbindung mit der Eintrittsöffnung am Filter ist eine erste Anschlussöffnung direkt an der Arbeitskammer vorgesehen. Zur Verbindung mit der Austrittsöffnung am Filter hat die Arbeitskammer eine zweite Anschlussöffnung, welche in einen Rücklaufkanal des Reinraums einmündet.following specific embodiments of the invention are defined: On the one hand of the filter insert is enclosed by a container First free space exists in the out of the working chamber to be disposed of means through the inlet when docked to the clean room filter before placing the first Have lids brought in. In particular, funds to be disposed of are Cleaning agents used during cleaning of the working chamber. to Connection with the inlet opening on the filter is a first connection opening provided directly to the working chamber. To connect to the outlet opening on the filter has the Working chamber, a second connection opening, which in a Return channel of the clean room opens.

Die Eintrittsöffnung am Filter ist kreisrund von einem ersten Bund umgeben und die dazu komplementäre erste Anschlussöffnung ist als Austrittsstutzen gestaltet. Die Austrittsöffnung am Filter ist ebenfalls kreisrund von einem zweiten Bund umgeben und die dazu komplementäre zweite Anschlussöffnung ist als Einlassstutzen gestaltet. Der erste Bund hat eine Aussenprofilierung zum Eingriff einer die erste Anschlussöffnung mit dem ersten Bund verbindenden Kupplung. Ferner besitzt der erste Bund eine Innenprofilierung zur Auflage des ersten Deckels. Der zweite Bund hat eine Aussenprofilierung zum Eingriff einer die zweite Anschlussöffnung mit dem zweiten Bund verbindenden Kupplung.The Inlet opening on the filter is circular from a first Surrounded by the collar and the complementary first connection opening is designed as an outlet. The outlet opening The filter is also circular surrounded by a second fret and the complementary second connection opening is designed as an inlet. The first fret has an outside profiling for engaging a first connection opening with the first Bund connecting coupling. Furthermore, the first collar has an internal profiling to rest the first cover. The second fret has an external profiling for Engagement of a second connection opening with the second Bund connecting coupling.

Das Behältnis des Filters setzt sich zusammen aus:

  • a) einem Mantel mit einer Vorderseite, die in einen Boden übergeht, an den sich eine Rückseite anschliesst;
  • b) eine erste Seitenflanke und eine zweite Seitenflanke, die beidseits des Mantels angesetzt sind; und
  • c) einer Deckseite, die das Gebilde aus Mantel und Seitenflanken oben überdacht.
The container of the filter consists of:
  • a) a jacket with a front that merges into a bottom, followed by a back;
  • b) a first side flank and a second side flank, which are attached on both sides of the jacket; and
  • c) a top side, which covers the structure of shell and side flanks above.

Innerlich des Behältnisses ist eine Auflage als Träger für den Filtereinsatz angeordnet. Der erste Bund ist in der Deckseite vorgesehen, und der zweite Bund ist in einer der Seitenflanken positioniert.inwardly of the container is a support for arranged the filter cartridge. The first fret is in the cover page provided, and the second collar is positioned in one of the side edges.

Das Behältnis des Filters ist z. B. im Prinzip quaderförmig, der Filtereinsatz liegt horizontal und der erste Freiraum befindet sich oberhalb des Filtereinsatzes. Unterhalb des Filtereinsatzes ist ein zweiter Freiraum vorhanden, von dem die Austrittsöffnung abgeht. Das Behältnis des Filters bildet einen stabilen Schutz für den Filtereinsatz und ist vorzugsweise aus Kunststoff hergestellt. Der Filtereinsatz ist an seinen Randbereichen mit der Innenseite des Behältnisses und/oder mit der Auflage, die gasdicht an der Innenseite des Behältnisses angeordnet ist, ebenfalls gasdicht verbunden. Der Filtereinsatz ist an seinen Randbereichen mit der Innenseite des Behältnisses vorzugsweise verklebt, wobei der Filtereinsatz an seinen Randbereichen vorzugsweise ebenfalls mit der Auflage verklebt ist, die ihrerseits an der Innenseite des Behältnisses klebt.The Container of the filter is z. B. in principle cuboid, the filter element is horizontal and the first free space is located above the filter element. Below the filter element there is a second free space from which the outlet opening goes off. The container of the filter forms a stable protection for the filter element and is preferably made of plastic produced. The filter insert is at its edge areas with the Inside the container and / or with the support, the arranged gas-tight on the inside of the container is also connected gas-tight. The filter insert is at its edge areas preferably glued to the inside of the container, wherein the filter cartridge preferably also at its edge regions glued to the overlay, which in turn is on the inside of the Container sticks.

Zum Aufsetzten auf den ersten Bund des vom Reinraum abgenommenem Filters ist ein zweiter Deckel vorgesehen, welcher zur Sicherung des eingesetzten ersten Deckels dient. Der zweite Deckel hat einen Verschluss, der in die Aussenprofilierung eingreift. Die Austrittsöffnung lässt sich bei Sicherheitserfordernis mit einer Abdeckung verschliessen, die in die Aussenprofilierung des zweiten Bundes ein greift. Der Reinraum ist eine Sicherheitswerkbank, ein Isolator oder eine Schleuse, die einzeln als Apparatur oder in Verkettung miteinander aufgestellt sind.To put on the first collar of the clean room removed filter a second cover is provided, which for securing a used first lid serves. The second lid has a closure which engages in the outer profiling. The outlet can be closed with security requirement with a cover that engages in the outer profile of the second federal. The clean room is a safety workbench, an isolator or a lock, which are set up individually as an apparatus or in interlinking with each other.

Kurzbeschreibung der beigefügten ZeichnungenBrief description of the attached drawings

Es zeigen:It demonstrate:

1A – den prinzipiellen apparativen Aufbau eines Reinraums in Gestalt eines Isolators mit den erfindungsgemässen Filtern; 1A - The basic apparatus design of a clean room in the form of an insulator with the novel filters;

1B – die Anordnung gemäss 1A zusammen mit einer Schleuse; 1B - The arrangement according to 1A together with a lock;

1C – ein Strukturschema des Reinraums gemäss 1A mit den Anschlussstutzen zu den Filtern; 1C A structural scheme of the clean room according to 1A with the connecting pieces to the filters;

1D – die Anordnung gemäss 1C mit angeschlossenen Filtern; 1D - The arrangement according to 1C with connected filters;

2A – die Zulufteinheit des Reinraums aus 1A, in vergrösserter Darstellung; 2A - the air supply unit of the clean room 1A , in an enlarged view;

2B – die Ablufteinheit des Reinraums aus 1A, in vergrösserter Darstellung; 2 B - the exhaust air unit of the clean room 1A , in an enlarged view;

2C – die Umlufteinheit des Reinraums aus 1A, in vergrösserter Darstellung; 2C - the recirculation unit of the clean room 1A , in an enlarged view;

2D – die Zulufteinheit der Schleuse aus 1B, in vergrösserter Darstellung; 2D - the air intake unit of the lock 1B , in an enlarged view;

2E – die Ablufteinheit der Schleuse aus 1B, in vergrösserter Darstellung; 2E - the exhaust unit of the lock off 1B , in an enlarged view;

3A – den Filter mit angehobenem ersten Deckel, in Perspektivdarstellung; 3A - The filter with raised first lid, in perspective view;

3B – die Anordnung gemäss 3A, im Teilschnitt; 3B - The arrangement according to 3A , in partial section;

3C – den Filter gemäss 3A, in perspektivischer Explosivdarstellung; 3C - the filter according to 3A in a perspective exploded view;

3D3H den schrittweisen Zusammenbau des Filters gemäss 3A; 3D - 3H the stepwise assembly of the filter according to 3A ;

3D – der Mantel aus 3C, zunächst ohne Auflage; 3D - the coat off 3C , initially without support;

3E – der Mantel gemäss 3D mit angefügten Seitenflanken aus 3C; 3E - the coat according to 3D with attached side edges off 3C ;

3F – die Anordnung gemäss 3E mit eingesetzter Auflage; 3F - The arrangement according to 3E with applied edition;

3G – die Anordnung gemäss 3F mit Filtereinsatz; 3G - The arrangement according to 3F with filter insert;

3H – die Anordnung gemäss 3A bzw. 3G ergänzt mit Deckseite und angehobenem ersten Deckel; 3H - The arrangement according to 3A respectively. 3G supplemented with cover side and raised first lid;

3J – die Anordnung gemäss 3H mit eingesetztem ersten Deckel; 3J - The arrangement according to 3H with inserted first cover;

4A – das vergrösserte Detail X1 aus 1D; 4A - the enlarged detail X1 1D ;

4B – das vergrösserte Detail X2 aus 4A; 4B - the enlarged detail X2 4A ;

5A – das vergrösserte Detail X3 aus 1D; 5A - the enlarged detail X3 1D ;

5B – das vergrösserte Detail X4 aus 5A; 5B - enlarged detail X4 5A ;

6A – die Anordnung gemäss 4A mit eingesetztem ersten Deckel, im Teilschnitt; 6A - The arrangement according to 4A with inserted first cover, in partial section;

6B – das vergrösserte Detail X5 aus 6A; 6B - the enlarged detail X5 6A ;

7A – die Anordnung gemäss 6A mit vom Austrittsstutzen gelöstem Filter; 7A - The arrangement according to 6A with filter detached from the outlet nozzle;

7B – das vergrösserte Detail X6 aus 7A; 7B - the enlarged detail X6 7A ;

8A – die Anordnung gemäss 7A mit aufgesetztem zweitem Deckel, im Teilschnitt; und 8A - The arrangement according to 7A with attached second cover, in partial section; and

8B – das vergrösserte Detail X7 aus 8A. 8B - the enlarged detail X7 8A ,

Ausführungsbeispieleembodiments

Anhand der beiliegenden Zeichnungen erfolgt nachstehend die detaillierte Beschreibung der erfindungsgemässen Filtervorrichtung für einen Reinraum, der eine Sicherheitswerkbank, ein Isolator oder eine Schleuse sein kann, die einzeln als Apparatur oder in Verkettung miteinander aufgestellt sind.Based The attached drawings are detailed below Description of the inventive filter device for a clean room that has a safety cabinet, an insulator or may be a lock, individually as an apparatus or in concatenation are placed together.

Für die gesamte weitere Beschreibung gilt folgende Festlegung. Sind in einer Figur zum Zweck zeichnerischer Eindeutigkeit Bezugsziffern enthalten, aber im unmittelbar zugehörigen Beschreibungstext nicht erläutert, so wird auf deren Erwähnung in vorangehenden Figurenbeschreibungen Bezug genommen. Im Interesse der Übersichtlichkeit wird auf die wiederholte Bezeichnung von Bauteilen in nachfolgenden Figuren zumeist verzichtet, sofern zeichnerisch eindeutig erkennbar ist, dass es sich um "wiederkehrende" Bauteile handelt.The following definition applies to the entire further description. If reference numerals are included in a figure for the purpose of graphic clarity, but are not explained in the directly associated description text, reference is made to their mention in the preceding description of the figures. For the sake of clarity, the repeated designation of components in fol ing figures, as long as it is clearly recognizable that they are "recurring" components.

1A, 1C, 1D und 2A bis 2C 1A . 1C . 1D and 2A to 2C

Diese Figurenfolge zeigt den prinzipiellen apparativen Aufbau eines Reinraums in Gestalt eines Isolators 1 mit daran angeordneten erfindungsgemässen Filtern 2. Der Isolator 1 besteht aus einem auf einem Gestell 100 ruhenden Gehäuse 10, das sich in ein Gehäuseunterteil 101, welches unten mit einem Gehäuseboden 102 abschliesst, und ein Gehäuseoberteil 107 gliedert.This sequence of figures shows the basic construction of a clean room in the form of an insulator 1 arranged thereon according to the invention filters 2 , The insulator 1 consists of one on a rack 100 resting housing 10 , which is in a housing base 101 which bottom with a caseback 102 completes, and a housing top 107 divided.

Das Gehäuseunterteil 101 kann für spezielle Anwendungen an den sich gegenüberliegenden Aussenwänden mit einer ersten Transferöffnung 105 und eventuell noch einer zweiten Transferöffnung 106 ausgestattet sein, wobei die Transferöffnungen 105, 106 zum Ein- und Ausbringen von Behandlungsgut mittels eines Transfersystems in die bzw. aus der Arbeitskammer 14 nutzbar sind und den Anschluss einer Sicherheitswerkbank, eines weiteren Isolators 1 oder einer Schleuse 3 (s. 1B) ermöglichen.The lower housing part 101 can for special applications on the opposite outer walls with a first transfer opening 105 and possibly a second transfer opening 106 be equipped with the transfer openings 105 . 106 for introducing and removing material to be treated by means of a transfer system in and out of the working chamber 14 are usable and the connection of a safety workbench, another insulator 1 or a lock 3 (S. 1B ) enable.

An der Vorderseite der Arbeitskammer 14 befindet sich eine transparente Scheibe 103, in die Handeingriffe 104 eingesetzt sind, um auf Behandlungsgut, das sich innerhalb der Arbeitskammer 14 befindet, von aussen zuzugreifen. Die Scheibe 103 lässt sich zumeist öffnen, so dass durch diesen Zugang Behandlungsgut zwischen der Arbeitskammer 14 und dem äusseren Arbeitsraum bewegt werden kann. Im Isolator 1 ist je eine horizontal, parallel beabstandet voneinander verlaufende erste und zweite Trennwand 108, 109 angeordnet, so dass unterhalb der ersten Trennwand 108 die Arbeitskammer 14 abgeteilt wird, zwischen der ersten und der zweiten Trennwand 108, 109 eine Umluftzone 15 und darüber ein Dachraum 16 ausgebildet werden. An der Arbeitskammer 14 befinden sich Anschlussöffnungen 140 – als Austrittsstutzen beschaffen – die dem Andocken eines darunter positionierbaren Filters 2 dienen, wobei der Filter 2 eine zur Arbeitskammer 14 weisende Eintrittsöffnung 241 hat. Die Filter 2 sind je über einen Rücklaufkanal 5 und einer Einlassöffnung 151 mit der daran angrenzenden Umluftzone 15 verbunden. Im Bereich des Anschlusses an den Filter 2 ist der Rücklaufkanal 5 mit einer Anschlussöffnung 50 versehen, wobei der Filter 2 eine Austrittsöffnung 221 hat, die zum Rücklaufkanal 5 weist. Innerhalb des Filters 2 ist ein auf einer Auf lage 26 positionierter Filtereinsatz 29 angeordnet, durch den ein erster, oberer Freiraum 200 sowie ein zweiter, unterer Freiraum 201 separiert werden. Die Umlufteinheit 13 ist auf der ersten Trennwand 108 positioniert. Eine Zulufteinheit 11 sowie eine Ablufteinheit 12 sind im wesentlichen im Dachraum 16 untergebracht.At the front of the working chamber 14 there is a transparent pane 103 in the manual intervention 104 are used to get to the material to be treated, located within the working chamber 14 is to access from outside. The disc 103 can be opened mostly, so that through this access to be treated between the working chamber 14 and the outer working space can be moved. In the insulator 1 is ever a horizontal, spaced apart from each other extending first and second partition 108 . 109 arranged so that below the first partition 108 the working chamber 14 is divided, between the first and the second partition 108 . 109 a circulating air zone 15 and above it an attic room 16 be formed. At the work chamber 14 there are connection openings 140 - procure as outlet nozzle - the docking of a filter that can be positioned underneath 2 serve, with the filter 2 one to the working chamber 14 facing entrance opening 241 Has. The filters 2 are each via a return channel 5 and an inlet opening 151 with the adjoining air circulation zone 15 connected. In the area of the connection to the filter 2 is the return channel 5 with a connection opening 50 provided, the filter 2 an outlet opening 221 has that to the return channel 5 has. Inside the filter 2 is one on an order 26 positioned filter element 29 arranged, through which a first, upper free space 200 and a second, lower free space 201 be separated. The air circulation unit 13 is on the first partition 108 positioned. A Zulufteinheit 11 and an exhaust unit 12 are essentially in the loft 16 accommodated.

Die Zulufteinheit 11 besteht aus einem Zuluftvorfilter 114, der zur Vorreinigung von aus der Umgebung U angesaugter Frischluft sowie der Geräuschdämmung dient. Vom Zuluftvorfilter 114 erstreckt sich eine Leitung 119 zu einem Zuluftplenum 113 mit anschliessendem Zuluftfilter 112. Innerhalb der Leitung 119 – zwischen Zuluftvorfilter 114 und Zuluftplenum 113 – sind ein Zuluftstellorgan 111, das entweder offen oder geschlossen ist, und ein Zuluftventilator 110, um Frischluft aus der Umgebung U anzusaugen, eingebaut. Der Austritt aus dem Zuluftfilter 112 mündet durch die zweite Trennwand 109 in die Umluftzone 15.The Zulufteinheit 11 consists of a Zuluftvorfilter 114 , which serves for the pre-cleaning of fresh air sucked in from the environment U and the noise insulation. From the supply air pre-filter 114 extends a line 119 to a Zuluftplenum 113 with subsequent supply air filter 112 , Inside the pipe 119 - between supply air pre-filter 114 and Zuluftplenum 113 - are a Zuluftstellorgan 111 , which is either open or closed, and a supply fan 110 to suck in fresh air from the environment U, installed. The exit from the supply air filter 112 flows through the second partition 109 in the circulating air zone 15 ,

Die Ablufteinheit 12 ist zur Abführung von aus dem Isolator 1 partiell rest-belasteter Luft in einen Abluftkanal K vorgesehen und besteht zunächst aus dem in der Umluftzone 15 vorhandenen Abluftfilter 122, an den die zweite Trennwand 109 angrenzt, auf der sich andererseits das im Dachraum 16 liegende Abluftplenum 123 befindet. Vom Abluftplenum 123 erstreckt sich eine Leitung 129 zum Abluftstellorgan 121, welches entweder offen oder geschlossen ist, oberhalb dessen die Einleitung für partiell rest-belastete Luft in den Abluftkanal K angeordnet ist. Innerhalb der Leitung 129 – zwischen Abluftstellorgan 121 und Abluftplenum 123 – ist ein Abluftventilator 120 eingebaut, der zur Druckregulierung innerhalb des Isolators 1 dient.The exhaust unit 12 is for the discharge of from the insulator 1 partially residual-loaded air provided in an exhaust duct K and initially consists of the in the recirculation zone 15 existing exhaust filter 122 to which the second partition 109 on the other hand, in the attic 16 lying exhaust plenum 123 located. From the exhaust plenum 123 extends a line 129 to exhaust air actuator 121 which is either open or closed, above which the introduction for partially residual-loaded air is arranged in the exhaust air duct K. Inside the pipe 129 - Between exhaust air actuator 121 and exhaust plenum 123 - is an exhaust fan 120 installed, for pressure regulation inside the insulator 1 serves.

Die Umlufteinheit 13 hat einen Umluftventilator 130, eine davon abgehende Leitung 139, die in ein Umluftplenum 133 führt, an das sich ein Umluftfilter 132 anschliesst, dessen Austritt durch die erste Trennwand 108 in die Arbeitskammer 14 mündet. Bevor über die Zulufteinheit 11 eingebrachte Frischluft und über den Rücklaufkanal 5 aus der Arbeitskammer 14 durch den Filter 2 gereinigte Luft aus der Umluftzone 15 wieder der Arbeitskammer 14 zugeführt wird, gelangt das Luft gemisch zuerst zum Umluftplenum 133 und dann weiter zwecks nochmaliger Reinigung durch den Umluftfilter 132.The air circulation unit 13 has a recirculation fan 130 , an outgoing line 139 in a convoy plenum 133 leads, which is a recirculation filter 132 connects, its exit through the first partition 108 in the working chamber 14 empties. Before about the Zulufteinheit 11 introduced fresh air and over the return channel 5 from the working chamber 14 through the filter 2 cleaned air from the circulating air zone 15 again the work chamber 14 is fed, the air mixture passes first to Umluftplenum 133 and then for further cleaning by the recirculation filter 132 ,

1B, 2D, 2E 1B . 2D . 2E

Diese Figurenfolge zeigt, wie in den vorherigen 1A, 1C und 1D, einen prinzipiellen apparativen Aufbau eines Reinraums in Gestalt eines Isolators 1 mit daran angeordneten Filtern 2, dem zur Erhöhung der Durchlauffrequenz, insbesondere bei der Bestückung mit verschiedenen Behandlungsgütern, eine Schleuse 3 vorgesetzt sein kann, um darin die zeitaufwendige Dekontaminationsphase durchführen zu können, auf die hier nicht näher eingegangen wird.This sequence of figures shows, as in the previous 1A . 1C and 1D , A basic construction of a clean room in the form of an insulator 1 with filters arranged on it 2 , to increase the throughput frequency, in particular when equipping with different items to be treated, a lock 3 may be pre-set to perform in the time-consuming decontamination phase, which will not be discussed here.

Die Schleuse 3 besteht aus einem auf einem Gestell 300 ruhenden Gehäuse 30, das sich in ein Gehäuseunterteil 301, welches unten mit einem Gehäuseboden 302 abschliesst, und ein Gehäuseoberteil 307 gliedert. Über eine erste Transferöffnung 305 ist die Arbeitskammer 34 nach aussen zugänglich, während eine zweite Transferöffnung 306 den Zugang zur Arbeitskammer 14 des unmittelbar benachbarten Isolators 1 erlaubt. Die Transferöffnungen 305, 306 ermöglichen das Einbringen von Behandlungsgut in die Arbeitskammer 34 der Schleuse 3 sowie den Transfer des Behandlungsguts weiter in die Arbeitskammer 14 des benachbarten Isolators 1, was z. B. mittels eines von aussen steuerbaren Transportbandes geschieht. Ferner können die Transferöffnungen 305, 306 zum Ausbringen von Behandlungsgut aus der Arbeitskammer 14 des Isolators 1 über die Schleuse 3 genutzt werden. In der Schleuse 3 ist je eine horizontal beabstandet voneinander verlaufende erste und zweite Trennwand 308, 309 angeordnet, so dass unterhalb der ersten Trennwand 308 die Arbeitskammer 34 abgeteilt wird, zwischen der ersten und zweiten Trennwand 308, 309 ein unterer Dachraum 35 und darüber ein oberer Dachraum 36 separiert werden.The lock 3 consists of one on a rack 300 resting housing 30 , which is in a housing base 301 which bottom with a caseback 302 completes, and a housing top part 307 divided. About a first transfer opening 305 is the working chamber 34 accessible to the outside while a second transfer opening 306 access to the work chamber 14 of the immediately adjacent insulator 1 allowed. The transfer openings 305 . 306 allow the introduction of material to be treated into the working chamber 34 the lock 3 and the transfer of the material to be treated further into the working chamber 14 of the adjacent insulator 1 what z. B. by means of an externally controllable conveyor belt. Furthermore, the transfer openings 305 . 306 for discharging material to be treated from the working chamber 14 of the insulator 1 over the lock 3 be used. In the lock 3 is each a horizontally spaced apart extending first and second partition 308 . 309 arranged so that below the first partition 308 the working chamber 34 is partitioned between the first and second partition 308 . 309 a lower roof space 35 and above it an upper loft 36 be separated.

An der Vorderseite der Schleuse 3, im Bereich der Arbeitsammer 34, befindet sich eine transparente Scheibe 303, welche in eine Tür eingesetzt zumeist die Funktion der ersten Transferöffnung 305 erfüllt. Innerhalb des unteren Dachraums 35 ist eine Zulufteinheit 31 und am Gehäuseboden 302, ausserhalb der Arbeits kammer 34, eine Ablufteinheit 32 positioniert. Die Zulufteinheit 31 besteht zunächst aus einem Zuluftvorfilter 314, der die Luft aus der Umgebung U in einer ersten Stufe vorfiltert und eine Geräuschdämmung bewirkt. Vom Zuluftvorfilter 314 erstreckt sich eine Leitung 319, innerhalb der zuerst ein Zuluftstellorgan 311 und anschliessend ein Zuluftventilator 310 angeordnet sind, wobei das Zuluftstellorgan 311 der Öffnung oder Absperrung dient. Im Anschluss an den Zuluftventilator 310 mündet die Leitung 319 in ein Zuluftplenum 313, dem ein Zuluftfilter 312 folgt, der an die erste Trennwand 308 angrenzt und Durchfluss zur Arbeitskammer 34 hat. Mittels der Ablufteinheit 32 wird partiell belastete Luft aus der Arbeitskammer 34 in den Abluftkanal K geleitet. Die Ablufteinheit 32 besteht aus einem Abluftfilter 322, der unterhalb des Gehäusebodens 302 angeordnet ist, und einer sich vom Abluftfilter 322 abgehenden Leitung 329, in der ein Abluftstellorgan 321 und ein Abluftventilator 320 integriert sind.At the front of the lock 3 , in the field of labor 34 , there is a transparent pane 303 , which is used in a door usually the function of the first transfer opening 305 Fulfills. Inside the lower loft 35 is a Zulufteinheit 31 and at the bottom of the case 302 , outside the working chamber 34 , an exhaust unit 32 positioned. The Zulufteinheit 31 initially consists of a Zuluftvorfilter 314 which pre-filters the air from the environment U in a first stage and causes a noise reduction. From the supply air pre-filter 314 extends a line 319 , within the first one Zuluftstellorgan 311 and then a supply air fan 310 are arranged, wherein the Zuluftstellorgan 311 the opening or blocking serves. Following the supply air fan 310 leads the line 319 in a Zuluftplenum 313 , which has a supply air filter 312 follows that to the first partition 308 adjoins and flow to the working chamber 34 Has. By means of the exhaust unit 32 is partially contaminated air from the working chamber 34 directed into the exhaust duct K. The exhaust unit 32 consists of an exhaust filter 322 , which is below the case bottom 302 is arranged, and one of the exhaust filter 322 outgoing line 329 in which an exhaust air actuator 321 and an exhaust fan 320 are integrated.

3A bis 3J 3A to 3J

Der Filter 2 hat zunächst ein äusseres Behältnis 20, das sich aus einem Mantel 21, einer ersten Seitenflanke 22, einer zweiten Seitenflanke 23 und einer Deckseite 24 zusammensetzt. Der Mantel 21 besitzt einen Boden 210, von dem sich die Vorderseite 211 und die Rückseite 212 nach oben gerichtet erstrecken. Die erste Seitenflanke 22 weist eine vorzugsweise kreisrunde Austrittsöffnung 221 auf, die von einem zweiten nach aussen hin gerichtetem Bund 222 mit einer daran vorhandenen Aussenprofilierung 224 begrenzt wird. Die Austrittsöffnung 221 mündet aus dem zweiten Freiraum 201 und ist zum Rücklaufkanal 5 hin orientiert. Die zweite Seitenflanke 23 liegt gegenüber der ersten Seitenflanke 22. Die Deckseite 24 ist von oben auf den Mantel 21 und die beiden Seitenflanken 22, 23 aufgesetzt. Die Deckseite 24 hat eine vorzugsweise kreisrunde Eintrittsöffnung 241, die von einem nach aussen hin gerichteten ersten Bund 242 mit einer Innenprofilierung 243 und einer Aussenprofilierung 244 umschlossen ist. Die Eintrittsöffnung 241 kann mittels eines über die Arbeitskammer 14 des Isolators 1 einzubringenden ersten Deckels 25 verschlossen werden. Die Eintrittsöffnung 241 mündet in den ersten Freiraum 200 und weist zur Arbeitskammer 14 hin. Innerhalb des Behältnisses 20 ist eine Auflage 26 als umlaufender Steg vorhanden, der zur Abstützung des Filtereinsatzes 29 dient. Somit befindet sich der erste Freiraum 200 oberhalb des Filtereinsatzes 29, während der zweite Freiraum 201 darunter ausgebildet ist.The filter 2 initially has an outer container 20 that is made up of a coat 21 , a first side flank 22 , a second side flank 23 and a cover page 24 composed. The coat 21 owns a floor 210 from which is the front 211 and the back 212 extend upward. The first side flank 22 has a preferably circular outlet opening 221 on, by a second outward-facing waistband 222 with an existing external profiling 224 is limited. The outlet opening 221 flows out of the second free space 201 and is to the return channel 5 oriented. The second side flank 23 lies opposite the first side flank 22 , The cover page 24 is from the top of the coat 21 and the two side flanks 22 . 23 placed. The cover page 24 has a preferably circular inlet opening 241 from an outward-facing first fret 242 with an internal profiling 243 and an external profiling 244 is enclosed. The entrance opening 241 can by means of a working chamber 14 of the insulator 1 to be introduced first lid 25 be closed. The entrance opening 241 flows into the first free space 200 and points to the working chamber 14 out. Inside the container 20 is an edition 26 existing as a circumferential web, which supports the filter cartridge 29 serves. Thus, the first free space is 200 above the filter insert 29 while the second free space 201 is formed below.

Die Verbindungen zwischen der Auflage 26 und der Innenfläche des Behältnisses 20 sowie zwischen dem Filtereinsatz 29 und der Auflage 20 und der Innenfläche des Behältnisses 20, sind soweit luftdicht, dass garantiert kein Gasgemisch vom ersten Freiraum 200 stromabwärts hinter dem Filtereinsatz 29 gelangt, ohne den Filtereinsatz 29 durchströmt zu haben. Vorzugsweise sind die Auflage 26 und der Filtereinsatz 29 im Behältnis 20 eingeklebt. Damit kann der Hersteller des Filters 2 dem Anwender ein auf ordnungsgemässe Funktionalität geprüftes Erzeugnis bereitstellen. Da der Filtereinsatz 29 vom Behältnis 20 geschützt ist, entfällt die Gefahr der Beschädigung des Filters 2 insbesondere beim Filterwechsel mit dem resultierenden Vorteil, dass der Anwender keine aufwendige Filterprüfung mehr durchführen muss.The connections between the edition 26 and the inner surface of the container 20 and between the filter element 29 and the edition 20 and the inner surface of the container 20 , are so far airtight that guarantees no gas mixture from the first space 200 downstream behind the filter element 29 passes without the filter cartridge 29 to have flowed through. Preferably, the edition 26 and the filter cartridge 29 in the container 20 glued. This allows the manufacturer of the filter 2 Provide the user with a product tested for proper functionality. As the filter cartridge 29 from the container 20 is protected, eliminates the risk of damaging the filter 2 especially when changing the filter with the resulting advantage that the user no longer has to carry out a complex filter test.

4A und 4B 4A and 4B

Hier ist der Filter 2 mit seinem ersten Bund 242 an die Anschlussöffnung 140 der Arbeitskammer 14 angedockt, so dass man von der Eintrittsöffnung 241 direkt in den ersten Freiraum 200 gelangt. Die Verbindung zwischen erstem Bund 242 und Anschlussöffnung 140 ist mittels einer Kupplung 27 lösbar gestaltet, die einerseits die Stutzenkontur der Anschlussöffnung 140 umgreift und andererseits in die Aussenprofilierung 244 eingerastet ist. Die Innenprofilierung 243 dient der Abstützung des momentan noch nicht eingelegten Deckels 25.Here is the filter 2 with his first covenant 242 to the connection opening 140 the working chamber 14 docked so that you can see from the entrance 241 directly into the first free space 200 arrives. The connection between the first covenant 242 and connection opening 140 is by means of a clutch 27 detachably designed, the one hand, the nozzle contour of the connection opening 140 encompasses and on the other hand in the outer profiling 244 is engaged. The internal profiling 243 serves to support the currently not inserted lid 25 ,

5A und 5B 5A and 5B

Hier ist der Filter 2 mit seinem zweiten Bund 222 an die Anschlussöffnung 50 in den Rücklaufkanal 5 angedockt, so dass die den Filter 2 durchströmte Luft gereinigt direkt in den Rücklaufkanal 5 gelangt. Die Verbindung zwischen zweitem Bund 222 und Anschlussöffnung 50 ist auch mittels einer Kupplung 27 lösbar gestaltet, die einerseits die Stutzenkontur der Anschlussöffnung 50 umgreift und andererseits in die Aussenprofilierung 224 eingerastet ist.Here is the filter 2 with his second fret 222 to the connection opening 50 in the return channel 5 docked, so that's the filter 2 perfused air cleaned directly into the return channel 5 ge reached. The connection between the second fret 222 and connection opening 50 is also by means of a clutch 27 detachably designed, the one hand, the nozzle contour of the connection opening 50 encompasses and on the other hand in the outer profiling 224 is engaged.

6A und 6B 6A and 6B

Im Unterschied zu den 4A und 4B, ist nun – weiterhin im Zustand des angedockten Filters 2 – der über die Arbeitskammer 14 durch die Eintrittsöffnung 241 eingebrachte erste Deckel 25 innerlich des ersten Bundes 242, auf der Innenprofilierung 243 ruhend, positioniert. Auf der umlaufenden Schmalseite hat der erste Deckel 25 eine Einkerbung 250 und darin eine eingesetzte Ringdichtung 251 zur Intensivierung des Verschlusses der Eintrittsöffnung 241.Unlike the 4A and 4B , is now - still in the state of the docked filter 2 - the one about the working chamber 14 through the entrance opening 241 introduced first cover 25 inside of the first covenant 242 , on the inside profiling 243 resting, positioned. On the circumferential narrow side has the first cover 25 a notch 250 and therein an inserted ring seal 251 to intensify the closure of the inlet opening 241 ,

7A und 7B 7A and 7B

Nach dem Lösen der Kupplung 27 zwischen der Anschlussöffnung 140 und dem ersten Bund 242 – sowie dem Lösen der Kupplung 27 zwischen der Anschlussöffnung 50 und dem zweiten Bund 222 – hat man den Filter 2 nun mit dem in der Eintrittsöffnung 241 liegenden ersten Deckel 25 vom Isolator 1 entfernt.After releasing the clutch 27 between the connection opening 140 and the first fret 242 - As well as the release of the clutch 27 between the connection opening 50 and the second fret 222 - you have the filter 2 now with the in the entrance opening 241 lying first lid 25 from the insulator 1 away.

8A und 8B 8A and 8B

Bei erhöhtem Sicherheitserfordernis ist zusätzlich zum in der Eintrittsöffnung 241 des ersten Bundes 242 eingesetzten ersten Deckel 25, darauf ein zweiter Deckel 28 positioniert und mit einem Verschluss 280 an der Aussenprofilierung 244 des ersten Bundes 242 vorzugsweise lösbar fixiert. Gleichfalls kann die Austrittsöffnung 221 – obwohl bezüglich Kontamination weniger kritisch, da stromabwärts hinter dem Filtereinsatz 29 liegend – mit einer Abdeckung versehen werden.In case of increased security requirement is in addition to in the entrance opening 241 of the first covenant 242 used first lid 25 , on it a second lid 28 positioned and with a closure 280 on the outside profiling 244 of the first covenant 242 preferably releasably fixed. Likewise, the outlet opening 221 Although less critical in terms of contamination, since downstream behind the filter cartridge 29 lying - be provided with a cover.

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Zitierte PatentliteraturCited patent literature

  • - DE 10157950 C2 [0004] - DE 10157950 C2 [0004]

Zitierte Nicht-PatentliteraturCited non-patent literature

  • - McLeod Russel Filter AG, CH-8610 Uster/Schweiz: "Luwa Kanalfiltergehäuse NSC, Montageanweisung – Anleitung für kontaminationsfreien Filterwechsel" [0002] - McLeod Russel Filter AG, CH-8610 Uster / Switzerland: "Luwa duct filter housing NSC, assembly instructions - instructions for contamination-free filter change" [0002]
  • - Unifil AG Filtertechnik, CH-5702 Niederlenz/Schweiz: "Wartungsanleitung Sicherheitsgehäuse USH", Ausgabe 1.1.92 [0003] - Unifil AG Filtertechnik, CH-5702 Niederlenz / Switzerland: "Maintenance Instructions Safety Housing USH", Edition 1.1.92 [0003]
  • - Berner International GmbH, D-25337 Elmshorn/Deutschland: "Zytostatika-Werkbank, Berner FlowSafe, C-[MaxPro]" [0004] - Berner International GmbH, D-25337 Elmshorn / Germany: "Cytostatic Workbench, Berner FlowSafe, C- [MaxPro]" [0004]

Claims (9)

Filtervorrichtung für einen Reinraum (1, 3) mit: a) einer Arbeitskammer (14, 34) zur temporären Aufnahme von Behandlungsgut; b) Transferöffnungen (104, 105, 106; 303, 305, 306) in der Arbeitskammer (14, 34), welche zum Einbringen und/oder Ausbringen des Behandlungsguts und/oder zum Zugriff in die Arbeitskammer (14, 34) dienen; c) einem auswechselbaren Filter (2), dadurch gekennzeichnet, dass d) der Filter (2) aus einem Filtereinsatz (29) und einem den Filtereinsatz (29) umgebenden, im wesentlichen geschlossenen Behältnis (20) besteht, wobei das Behältnis (20) einerseits des Filtereinsatzes (29) eine Eintrittsöffnung (241) und andererseits des Filtereinsatzes (29) eine Austrittsöffnung (221) besitzt; e) der Reinraum (1, 3) zum lösbaren Andocken von Eintrittsöffnung (241) und Austrittsöffnung (221) komplementäre Anschlussöffnungen (140, 50) aufweist; und f) die Eintrittsöffnung (241) des Behältnisses (20) bei an den Reinraum (1, 3) angedocktem Filter (2) mit einem über die Arbeitskammer (14, 34) einbringbaren ersten Deckel (25) verschliessbar ist.Filter device for a clean room ( 1 . 3 ) with: a) a working chamber ( 14 . 34 ) for the temporary admission of material to be treated; b) transfer openings ( 104 . 105 . 106 ; 303 . 305 . 306 ) in the working chamber ( 14 . 34 ), which for introducing and / or discharging the material to be treated and / or for access to the working chamber ( 14 . 34 ) serve; c) a replaceable filter ( 2 ), characterized in that d) the filter ( 2 ) from a filter cartridge ( 29 ) and a filter cartridge ( 29 ) surrounding, substantially closed container ( 20 ), the container ( 20 ) on the one hand the filter cartridge ( 29 ) an entrance opening ( 241 ) and on the other hand the filter cartridge ( 29 ) an outlet opening ( 221 ); e) the clean room ( 1 . 3 ) for detachable docking of the inlet opening ( 241 ) and outlet ( 221 ) complementary connection openings ( 140 . 50 ) having; and f) the inlet opening ( 241 ) of the container ( 20 ) to the cleanroom ( 1 . 3 ) docked filter ( 2 ) with a via the working chamber ( 14 . 34 ) insertable first lid ( 25 ) is lockable. Filtervorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass a) einerseits des Filtereinsatzes (29) ein vom Behältnis (20) umschlossener erster Freiraum (200) vorhanden ist, in den sich aus der Arbeitskammer (14, 34) heraus zu entsorgende Mittel über die Eintrittsöffnung (241) bei an den Reinraum (1, 3) angedocktem Filter (2) vor dem Aufsetzten des ersten Deckels (25) einbringen lassen; wobei b) zu entsorgende Mittel insbesondere bei der Reinigung der Arbeitskammer (14, 34) verbrauchte Putzmittel sind.Filter device according to claim 1, characterized in that a) on the one hand of the filter insert ( 29 ) one from the container ( 20 ) enclosed first free space ( 200 ) is present in the out of the working chamber ( 14 . 34 ) to be disposed of via the inlet opening ( 241 ) to the cleanroom ( 1 . 3 ) docked filter ( 2 ) before placing the first lid ( 25 ); wherein b) means to be disposed, in particular during the cleaning of the working chamber ( 14 . 34 ) are used cleaning agents. Filtervorrichtung nach zumindest einem der Ansprüche 1 und 2, dadurch gekennzeichnet, dass a) zur Verbindung mit der Eintrittsöffnung (241) am Filter (2) ist eine erste Anschlussöffnung (140) direkt an der Arbeitskammer (14, 34) vorgesehen; und b) zur Verbindung mit der Austrittsöffnung (221) am Filter (2) die Arbeitskammer (14, 34) eine zweite Anschlussöffnung (50) hat, welche in einen Rücklaufkanal (5) des Reinraums (1, 3) einmündet.Filter device according to at least one of claims 1 and 2, characterized in that a) for connection to the inlet opening ( 241 ) on the filter ( 2 ) is a first connection opening ( 140 ) directly at the working chamber ( 14 . 34 ) intended; and b) for connection to the outlet ( 221 ) on the filter ( 2 ) the working chamber ( 14 . 34 ) a second connection opening ( 50 ), which in a return channel ( 5 ) of the clean room ( 1 . 3 ). Filtervorrichtung nach zumindest einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, dass a) die Eintrittsöffnung (241) am Filter (2) kreisrund von einem ersten Bund (242) umgeben ist und die dazu komplementäre erste Anschlussöffnung (140) als Austrittsstutzen gestaltet ist; b) die Austrittsöffnung (221) am Filter (2) kreisrund von einem zweiten Bund (222) umgeben ist und die dazu komplementäre zweite Anschlussöffnung (50) als Einlassstutzen gestaltet ist; c) der erste Bund (242) eine Aussenprofilierung (244) zum Eingriff einer die erste Anschlussöffnung (140) mit dem ersten Bund (242) verbindenden Kupplung (27) hat; d) der erste Bund (242) eine Innenprofilierung (243) zur Auflage des ersten Deckels (25) besitzt; und e) der zweite Bund (222) eine Aussenprofilierung (224) zum Eingriff einer die zweite Anschlussöffnung (50) mit dem zweiten Bund (222) verbindenden Kupplung (27) hat.Filter device according to at least one of claims 1 to 3, characterized in that a) the inlet opening ( 241 ) on the filter ( 2 ) circular from a first fret ( 242 ) is surrounded and the complementary first port ( 140 ) is designed as an outlet nozzle; b) the outlet opening ( 221 ) on the filter ( 2 ) circular from a second fret ( 222 ) is surrounded and the complementary second connection opening ( 50 ) is designed as an inlet nozzle; c) the first covenant ( 242 ) an external profiling ( 244 ) for engaging a first port ( 140 ) with the first fret ( 242 ) connecting coupling ( 27 ) Has; d) the first federation ( 242 ) an internal profiling ( 243 ) to rest the first cover ( 25 ); and e) the second fret ( 222 ) an external profiling ( 224 ) for engaging a second port ( 50 ) with the second fret ( 222 ) connecting coupling ( 27 ) Has. Filtervorrichtung nach zumindest einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, dass a) das Behältnis (20) des Filters (2) sich zusammensetzt aus: aa) einem Mantel (21) mit einer Vorderseite (211), die in einen Boden (210) übergeht, an den sich eine Rückseite (212) anschliesst; ab) eine erste Seitenflanke (22) und eine zweite Seitenflanke (23), die beidseits des Mantels (21) angesetzt sind; ac) einer Deckseite (24), die das Gebilde aus Mantel (21) und Seitenflanken (22, 23) oben überdacht; b) innerlich des Behältnisses (20) eine Auflage (26) als Träger für den Filtereinsatz (29) angeordnet ist; und c) der erste Bund (242) in der Deckseite (24) vorgesehen ist und der zweite Bund (222) in einer der Seitenflanken (22, 23) positioniert ist.Filter device according to at least one of claims 1 to 4, characterized in that a) the container ( 20 ) of the filter ( 2 ) is composed of: aa) a jacket ( 21 ) with a front side ( 211 ), which are in a ground ( 210 ), to which a back ( 212 ) connects; ab) a first side flank ( 22 ) and a second side flank ( 23 ), on both sides of the mantle ( 21 ) are set; ac) a cover page ( 24 ), which made the structure of Mantel ( 21 ) and side edges ( 22 . 23 ) roofed above; b) inside the container ( 20 ) an edition ( 26 ) as a carrier for the filter cartridge ( 29 ) is arranged; and c) the first covenant ( 242 ) in the cover page ( 24 ) and the second fret ( 222 ) in one of the side flanks ( 22 . 23 ) is positioned. Filtervorrichtung nach zumindest einem der Ansprüche 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, dass a) das Behältnis (20) des Filters (2) z. B. im Prinzip quaderförmig ist, der Filtereinsatz (29) horizontal liegt und der erste Freiraum (200) sich oberhalb des Filtereinsatzes (29) befindet; und b) unterhalb des Filtereinsatzes (29) ein zweiter Freiraum (201) vorhanden ist, von dem die Austrittsöffnung (221) abgeht.Filter device according to at least one of claims 1 to 5, characterized in that a) the container ( 20 ) of the filter ( 2 ) z. B. is cuboid in principle, the filter cartridge ( 29 ) is horizontal and the first free space ( 200 ) above the filter cartridge ( 29 ) is located; and b) below the filter cartridge ( 29 ) a second free space ( 201 ) is present, from which the outlet opening ( 221 ) goes off. Filtervorrichtung nach zumindest einem der Ansprüche 1 bis 6, dadurch gekennzeichnet, dass a) das Behältnis (20) des Filters (2) einen stabilen Schutz für den Filtereinsatz (29) bildet und vorzugsweise aus Kunststoff hergestellt ist; b) der Filtereinsatz (29) an seinen Randbereichen mit der Innenseite des Behältnisses (20) und/oder mit der Auflage (26), die gasdicht an der Innenseite des Behältnisses (20) angeordnet ist, ebenfalls gasdicht verbunden ist; und c) der Filtereinsatz (29) an seinen Randbereichen mit der Innenseite des Behältnisses (20) vorzugsweise verklebt ist, wobei der Filtereinsatz (29) an seinen Randbereichen vorzugsweise ebenfalls mit der Auflage (26) verklebt ist, die ihrerseits an der Innenseite des Behältnisses (20) klebt.Filter device according to at least one of claims 1 to 6, characterized in that a) the container ( 20 ) of the filter ( 2 ) a stable protection for the filter cartridge ( 29 ) and is preferably made of plastic; b) the filter cartridge ( 29 ) at its edge areas with the inside of the container ( 20 ) and / or with the condition ( 26 ), the gas-tight on the inside of the container ( 20 ), is also connected in a gastight manner; and c) the filter cartridge ( 29 ) at its edge areas with the inside of the container ( 20 ) is preferably glued, wherein the filter cartridge ( 29 ) at its edge regions preferably also with the support ( 26 ), which in turn on the inside of the container ( 20 ) sticks. Filtervorrichtung nach zumindest einem der Ansprüche 1 bis 7, dadurch gekennzeichnet, dass a) zum Aufsetzten auf den ersten Bund (242) des vom Reinraum (1, 3) abgenommenem Filters (2) ein zweiter Deckel (28) vorgesehen ist, welcher zur Sicherung des eingesetzten ersten Deckels (25) dient; b) der zweite Deckel (28) einen Verschluss (280) hat, der in die Aussenprofilierung (244) eingreift; und c) die Austrittsöffnung (221) sich bei Sicherheitserfordernis mit einer Abdeckung verschliessen lässt, die in die Aussenprofilierung (224) des zweiten Bundes (222) eingreift.Filter device according to at least one of claims 1 to 7, characterized in that a) for placing on the first collar ( 242 ) of from the clean room ( 1 . 3 ) removed filter ( 2 ) a second lid ( 28 ) is provided, which for securing the inserted first lid ( 25 ) serves; b) the second lid ( 28 ) a closure ( 280 ), which is integrated in the external profiling ( 244 ) intervenes; and c) the outlet ( 221 ) can be closed in case of security with a cover, which in the outer profiling ( 224 ) of the second Federal ( 222 ) intervenes. Filtervorrichtung nach zumindest einem der Ansprüche 1 bis 8, dadurch gekennzeichnet, dass der Reinraum (1, 3) eine Sicherheitswerkbank, ein Isolator (1) oder eine Schleuse (3) ist, die einzeln als Apparatur oder in Verkettung miteinander aufgestellt sind.Filter device according to at least one of claims 1 to 8, characterized in that the clean room ( 1 . 3 ) a safety workbench, an isolator ( 1 ) or a lock ( 3 ), which are set up individually as an apparatus or in interlinkage with each other.
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Families Citing this family (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CH700390A1 (en) 2009-02-05 2010-08-13 Skan Ag Filter device for a gas stream flowing through it plant with a working chamber for the temporary accommodation of treated.
WO2011158763A1 (en) 2010-06-18 2011-12-22 株式会社エアレックス Isolator device
JP5689255B2 (en) * 2010-06-18 2015-03-25 株式会社エアレックス Air cleaning filter unit and isolator device
CN105987433B (en) * 2014-12-25 2019-04-09 世源科技工程有限公司 Air treatment system
CN107126981A (en) * 2017-06-26 2017-09-05 太仓斯普宁精密机械有限公司 A kind of Biohazard Safety Equipment of heat sterilization
DE202017104592U1 (en) 2017-08-01 2018-11-08 Metall + Plastic Gmbh Return air filter box as well as insulator and isolator system

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE10157950C2 (en) 2001-11-20 2003-12-24 Berner Internat Gmbh Safety Cabinet

Family Cites Families (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4826517A (en) * 1988-04-29 1989-05-02 Bendix Electronics Limited Disposable air cleaner with one piece housing
US5447699A (en) * 1993-11-17 1995-09-05 The West Company Combination container for holding sterilized elements and a sterilizable transfer port
DE29622079U1 (en) * 1996-12-19 1997-07-03 Ludwig Joachim Flexible modules for storing and transporting sensitive products under clean room conditions
FR2768631B1 (en) * 1997-09-19 1999-11-19 Regie Linge Dev METHOD AND CONTAINER FOR STERILIZING LAUNDRY, PARTICULARLY LAUNDRY FOR SURGERY
US6428122B1 (en) * 2001-02-06 2002-08-06 The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Army Portable glovebox and filtration system
WO2002074504A2 (en) * 2001-03-21 2002-09-26 Vitrox Aps Method and housing for performing operations on a material

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE10157950C2 (en) 2001-11-20 2003-12-24 Berner Internat Gmbh Safety Cabinet

Non-Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
Berner International GmbH, D-25337 Elmshorn/Deutschland: "Zytostatika-Werkbank, Berner FlowSafe, C-[MaxPro]"
McLeod Russel Filter AG, CH-8610 Uster/Schweiz: "Luwa Kanalfiltergehäuse NSC, Montageanweisung - Anleitung für kontaminationsfreien Filterwechsel"
Unifil AG Filtertechnik, CH-5702 Niederlenz/Schweiz: "Wartungsanleitung Sicherheitsgehäuse USH", Ausgabe 1.1.92

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