DE202006009819U1 - Vorrichtung zur visuellen Inspektion von Prüflingen - Google Patents

Vorrichtung zur visuellen Inspektion von Prüflingen Download PDF

Info

Publication number
DE202006009819U1
DE202006009819U1 DE200620009819 DE202006009819U DE202006009819U1 DE 202006009819 U1 DE202006009819 U1 DE 202006009819U1 DE 200620009819 DE200620009819 DE 200620009819 DE 202006009819 U DE202006009819 U DE 202006009819U DE 202006009819 U1 DE202006009819 U1 DE 202006009819U1
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
test
evaluation
control
unit
subzone
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Lifetime
Application number
DE200620009819
Other languages
English (en)
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Individual
Original Assignee
Individual
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Individual filed Critical Individual
Priority to DE200620009819 priority Critical patent/DE202006009819U1/de
Publication of DE202006009819U1 publication Critical patent/DE202006009819U1/de
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Lifetime legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/84Systems specially adapted for particular applications
    • G01N21/88Investigating the presence of flaws or contamination
    • G01N21/95Investigating the presence of flaws or contamination characterised by the material or shape of the object to be examined
    • G01N21/956Inspecting patterns on the surface of objects
    • G01N21/95684Patterns showing highly reflecting parts, e.g. metallic elements
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/84Systems specially adapted for particular applications
    • G01N21/88Investigating the presence of flaws or contamination
    • G01N21/8806Specially adapted optical and illumination features
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/84Systems specially adapted for particular applications
    • G01N21/88Investigating the presence of flaws or contamination
    • G01N21/8851Scan or image signal processing specially adapted therefor, e.g. for scan signal adjustment, for detecting different kinds of defects, for compensating for structures, markings, edges
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/84Systems specially adapted for particular applications
    • G01N21/88Investigating the presence of flaws or contamination
    • G01N21/8851Scan or image signal processing specially adapted therefor, e.g. for scan signal adjustment, for detecting different kinds of defects, for compensating for structures, markings, edges
    • G01N2021/8887Scan or image signal processing specially adapted therefor, e.g. for scan signal adjustment, for detecting different kinds of defects, for compensating for structures, markings, edges based on image processing techniques

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Biochemistry (AREA)
  • General Health & Medical Sciences (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Immunology (AREA)
  • Pathology (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Computer Vision & Pattern Recognition (AREA)
  • Signal Processing (AREA)
  • Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)

Abstract

Vorrichtung zur visuellen Inspektion von Prüflingen, insbesondere von bestückten Leiterplatten, umfassend
– eine Trägereinheit (2) für die definierte Positionierung des zu inspizierenden Prüflings (3),
gekennzeichnet durch
– eine hochauflösende Einzelbild-Kamera (4) für die Anfertigung einer Einzelbildaufnahme der gesamten Prüfzone (3), und
– eine zentrale Steuer- und Auswerte-Einheit (8) zur Steuerung und Auswertung der Einzelbildaufnahme derart, dass definierte Prüf-Teilzonen (9) der Prüfzone (3) selektierbar und mit einem an den Soll-Zustand des Prüflings (3) in der definierten Prüf-Teilzone (9) angepassten Bildauswertungs-Algorithmus auf den korrekten Zustand des Prüflings (3) in dieser definierten Prüf-Teilzone (9) auswertbar sind.

Description

  • Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung zur visuellen Inspektion von Prüflingen, insbesondere von bestückten Leiterplatten, mit einer Trägereinheit für die definierte Positionierung des zu inspizierenden Prüflings.
  • Aus dem Stand der Technik sind derartige Prüfgeräte bekannt, die auf der Basis einer Videokamera arbeiten. Der auf der Trägereinheit positionierte Prüfling wird dabei mit der auf einem zweiachsigen Positioniersystem angeordneten Videokamera in bestimmten Prüfzonen angefahren. Die danach aufgenommenen Videosequenzen der entsprechenden Prüf-Teilzone werden dann mit Hilfe geeigneter Bildauswertungs-Algorithmen ausgewertet.
  • Aufgrund des Einsatzes einer Video-Kamera sind die Bildauflösung und Farbtreue begrenzt. Darüber hinaus ist aufgrund des Anfahrens einzelner Prüf-Teilzonen in zeitlicher Aufeinanderfolge pro Prüfling mit einer beträchtlichen Abtast- und Auswertedauer zu rechnen.
  • Ausgehend von der geschilderten Problematik liegt der Erfindung die Aufgabe zugrunde, eine Vorrichtung zur visuellen Inspektion von Prüflingen so zu verbessern, dass bei einfachem konstruktiven Aufbau die Bildaufnahmequalität und Abtastdauer pro Prüfling verbessert werden.
  • Diese Aufnahme wird durch die im Kennzeichnungsteil des Anspruches 1 angegebenen Merkmale gelöst. Demnach wendet sich die Erfindung von der Verwendung einer Video-Kamera ab und setzt für die Erfassung der zu überprüfenden Zone eine hoch auflösende Einzelbild-Kamera ein. Diese fertigt grundsätzlich von der gesamten zu überprüfenden Zone – also in der Regel vom gesamten Prüfling – eine Einzelbildaufnahme als Basis für die Inspektion definierter Prüf-Teilzonen an.
  • Mit Hilfe einer zentralen Steuer- und Auswerte-Einheit wird die jeweilige Einzelbildaufnahme des Prüflings so gesteuert und ausgewertet, dass definierte Prüf-Teilzonen des Prüflings selektiert und ausgewertet werden. Für die Auswertung wird ein an den Soll-Zustand des Prüflings in der jeweils definierten Prüf-Teilzone angepasster Bildauswertungs-Algorithmus eingesetzt, der den Prüfling auf seinen korrekten Zustand in der definierten Prüf-Teilzone auswertet.
  • Mit Vorteil ist durch die verwendete Einzelbild-Kamera im Vergleich zu Videokameras eine sehr lange Belichtungszeit bei kleiner Blende anwendbar, was eine scharfe Bildaufnahme bei sehr hoher Bildauflösung und Farbtreue ermöglicht. Das somit geschaffene Einzelbild kann dann einer intensiven automatischen Analyse zur Fehlerfindung beim Prüfling unterzogen werden.
  • Bevorzugte Ausführungsformen der erfindungsgemäßen Vorrichtung sind den Unteransprüchen zu entnehmen. Entsprechende Merkmale, Einzelheiten und Vorteile des Erfindungsgegenstandes ergeben sich dabei aus der nachfolgenden Beschreibung eines Ausführungsbeispiels anhand der beigefügten Zeichnung. Diese
  • 1 zeigt eine höchst schematische Ansicht einer Inspektionsvorrichtung.
  • In der beigefügten Zeichnung ist ein Grundgestell für die Inspektionsvorrichtung mit 1 bezeichnet. Daran ist eine Trägereinheit 2 angeordnet, die zur definierten Positionierung des zu inspizierenden Prüflings dient. Im gezeigten Beispiel handelt es sich um eine bestückte Leiterplatte 3.
  • Oberhalb der Trägereinheit 2 ist eine hoch auflösende Einzelbild-Kamera 4 am Grundgestell 1 aufgehängt, deren Bildfeld 5 die gesamte Leiterplatte 3 als zu überprüfende Zone erfasst. Bei der Kamera kann es sich beispielsweise um eine handelsübliche digitale Stillbild-Kamera mit hoher Auflösung handeln. Zur Ausleuchtung der Leiterplatte 3 ist eine Beleuchtungseinheit mit zwei oder mehr diffusen Strahlern 6 vorgesehen. Die Kamera 4 selbst weist ein Zoom-Objektiv 7 zur Anpassung des Bildfeldes 5 an die Dimensionen der jeweils zu überprüfenden Leiterplatte 3 auf.
  • Zur Steuerung der Kamera 4 und der Auswertung der davon aufgenommenen Einzelbildaufnahmen der Leiterplatte 3 ist eine schematisch mit 8 angedeutete Steuer- und Auswerteeinheit auf der Basis eines handelsüblichen PC's vorgesehen und mit der Kamera 4 sowie gegebenenfalls mit der Trägereinheit 2 verbunden.
  • Mit Hilfe dieser Steuer- und Auswerte-Einheit 8 wird die Einzelbildaufnahme der Leiterplatte 3 ausgewertet. Dazu wird die Leiterplatte 3 bzw. ihre Aufnahme in eine Vielzahl von definierten Prüf-Teilzonen 9 – sogenannte „ROI's" (= regions of interest) – unterteilt, wie beispielsweise die Anschlussbeine 10 der IC's 11, der Elektrolytkondensator 12, die Leuchtdiode 13 oder der Widerstand 14. Je nach Prüf-Teilzone 9 werden verschiedene Bildauswertungs-Algorithmen von der Steuer- und Auswerte-Einheit 8 auf die jeweilige Prüf-Teilzone 9 angewendet. Als Beispiele sind zu nennen:
    • – Farbe: In der Prüf-Teilzone 9 dominiert eine Farbe. Dieser Algorithmus ist sinnvoll für die Anwesenheitsprüfung von farbigen Bauelementen.
    • – Grauwert: In der Prüf-Teilzone dominiert ein Grauwert. Dieser Algorithmus ist gut geeignet, um Bauteile auf Anwesenheit zu prüfen.
    • – Kantenanalyse: Im Prüffenster werden die Kantenpixel anhand der Farbunterschiede berechnet. Hiermit lassen sich zum Beispiel Aufkleber oder Kanten von IC's untersuchen.
    • – Grauwerthistogramm: Die Verteilung dunkel- und hellgrauer Bildpunkte lässt erkennen, ob z. B. die Lasche eines Metallgehäuses umgebogen ist.
  • Grundsätzlich können dabei mathematische Algorithmen, wie die Flächenschwerpunktbestimmung, Gauß'sche Ausgleichsgeraden-Berechnung, Schwarz-Weiß-Quantifizierung, Hochpass-Funktionen oder die Ermittlung von Schwerpunkt und Gradient des Farbverlaufes in der Prüf-Teilzone 9 eingesetzt werden. Speziell für zu spezifizierende Anschlussbeine 10 der IC's 11 kann ein helligkeitssensitiver Fang-Algorithmus eingesetzt werden.
  • Für die Stabilität und Wiederholbarkeit der Prüfung kann ferner eine Normierung der Einzelbildaufnahme nach Helligkeits- und Farbwerten vorgenommen werden. Dies erfolgt, in dem der Mittelwert über alle Bildpunkt der Aufnahme gebildet und die Werte der einzelnen Bild-Pixel darauf nor miert werden. Damit wird eine weitgehende Unabhängigkeit von Fremdlichteinflüssen erreicht.
  • Nach dieser Normierung kann ferner eine Schwarz-Weiß-Quantifizierung mit Hilfe einer Kontrast- und Hochpass-Funktion durchgeführt werden. Dadurch treten die Kanten des Prüflings in den einzelnen Prüf-Teilzonen 9 deutlich hervor. Damit kann eine automatische Ausrichtung nach Konturen der Leiterplatte 3 in bestimmten Prüf-Teilzonen 9 erreicht werden. So ist nach einer ersten Grobausrichtung der Leiterplatte 3 auf der Trägereinheit 2 eine Feinausrichtung beispielsweise nach speziellen Punkten, wie Fanglöchern oder Passermarken, realisierbar, um eine für eine zuverlässige Fehlerfindung hochpräzise Positionierung der Prüf-Teilzonen 9 zu erreichen.
  • In ihrer Anwendung kann die Inspektionsvorrichtung generell das Vorhandensein und die Orientierung von Bauteilen, wie Blockkondensatoren, Polaritäten von Elektrolytkondensatoren, Polaritäten von Dioden, Schutzdioden, Zenerdioden, Varistoren sowie die Anwesenheit aller Arten von mechanischen Bauteilen, wie beispielsweise Kühlblechen, Schrauben oder Schirmblechen realisieren. Um dabei Verpolungsfehler von Bauteilen zu finden, können mathematische Algorithmen zur Bestimmung von Schwerpunkt und Gradient des Farbverlaufs genutzt werden. Für jede der Grundfarben rot-grün-blau erfolgt eine getrennte zweidimensionale Bestimmung. Die Werte für Schwerpunkt und Gradient werden dann anhand eines Gut-Musters gelernt. Fehlerhafte Leiterplatten 3 werden anhand von Abweichungen von einem vorgegebenen und einstellbaren Toleranzbereich für die entsprechenden Parameter in der jeweiligen Prüf-Teilzone 9 ermittelt.
  • Vorteilhafterweise kann die beschriebene Inspektionsvorrichtung als Zusatz zu einem sogenannten Incircuit-Tester eingesetzt werden. Damit kann ein Teil der Fehlerquellen, die die durch diesen Incircuit-Tester nicht ermittelbar sind, gefunden werden, so dass sich die manuelle Sichtprüfung der Leiterplatte erheblich verkürzen oder ganz automatisieren lasst.

Claims (7)

  1. Vorrichtung zur visuellen Inspektion von Prüflingen, insbesondere von bestückten Leiterplatten, umfassend – eine Trägereinheit (2) für die definierte Positionierung des zu inspizierenden Prüflings (3), gekennzeichnet durch – eine hochauflösende Einzelbild-Kamera (4) für die Anfertigung einer Einzelbildaufnahme der gesamten Prüfzone (3), und – eine zentrale Steuer- und Auswerte-Einheit (8) zur Steuerung und Auswertung der Einzelbildaufnahme derart, dass definierte Prüf-Teilzonen (9) der Prüfzone (3) selektierbar und mit einem an den Soll-Zustand des Prüflings (3) in der definierten Prüf-Teilzone (9) angepassten Bildauswertungs-Algorithmus auf den korrekten Zustand des Prüflings (3) in dieser definierten Prüf-Teilzone (9) auswertbar sind.
  2. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Einzelbild-Kamera (4) mit langer Belichtungszeit und kleiner Blende arbeitet.
  3. Vorrichtung nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass mit Hilfe der Steuer- und Auswerte-Einheit (8) eine nach Helligkeits- und/oder Farbwerten normierte Einzelbildaufnahme zur Auswertung erstellbar ist.
  4. Vorrichtung nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, dass die normierte Einzelbildaufnahme zur Kantenselektion in der Prüf-Teilzone (9) des Prüflings (3) einer Schwarz-Weiß-Quantifizierung unterziehbar ist, auf deren Basis der Prüfling (3) in seiner Positionierung für eine weitere Prüf-Einzelbild-Aufnahme feinjustierbar ist.
  5. Vorrichtung nach einem der vorgenannten Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Steuer- und Auswerte-Einheit (8) als Bildauswertungs-Algorithmen mathematische Algorithmen, wie Flächenschwerpunktbestimmung, Gauß'sche Ausgleichsgeraden-Berechnung, Schwarz-Weiß-Quantifizierung, Hochpass-Funktionen oder die Ermittlung von Schwerpunkt und Gradient des Farbverlaufes in der Prüf-Teilzone (9) einsetzt.
  6. Vorrichtung nach einem der vorgenannten Ansprüche zur Inspektion von Anschlussbeinen (10) von elektronischen Bauelementen (11), dadurch gekennzeichnet, dass ein zu inspizierendes Anschlussbein (10) mit Hilfe eines helligkeitssensitiven Fang-Algorithmus jeweils auf das Vorhandensein einer reflektierenden Pin-Fläche auswertbar ist.
  7. Vorrichtung nach einem der vorgenannten Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Vorrichtung als Zusatz-Einrichtung zu einem elektrischen Tester eingesetzt ist.
DE200620009819 2006-06-23 2006-06-23 Vorrichtung zur visuellen Inspektion von Prüflingen Expired - Lifetime DE202006009819U1 (de)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE200620009819 DE202006009819U1 (de) 2006-06-23 2006-06-23 Vorrichtung zur visuellen Inspektion von Prüflingen

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE200620009819 DE202006009819U1 (de) 2006-06-23 2006-06-23 Vorrichtung zur visuellen Inspektion von Prüflingen

Publications (1)

Publication Number Publication Date
DE202006009819U1 true DE202006009819U1 (de) 2006-08-24

Family

ID=36974244

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE200620009819 Expired - Lifetime DE202006009819U1 (de) 2006-06-23 2006-06-23 Vorrichtung zur visuellen Inspektion von Prüflingen

Country Status (1)

Country Link
DE (1) DE202006009819U1 (de)

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE102010003376B4 (de) Untersuchungsverfahren
DE112011104725B4 (de) Lötstelleninspektionsverfahren, Leiterplatteninspektionssystem und Lötstelleninspektionsgerät
DE102013104679A1 (de) Verfahren und Vorrichtung zur optischen Analyse eines PCBs
DE102010061505B4 (de) Verfahren zur Inspektion und Detektion von Defekten auf Oberflächen von scheibenförmigen Objekten
DE102011086417B4 (de) Verfahren zum Erkennen eines Brückenverbindungsfehlers
DE102015113051B4 (de) Messvorrichtung, Leiterplattenprüfvorrichtung und Verfahren zu deren Steuerung
DE102018202051B4 (de) Vorrichtung zum automatischen Prüfen von Linsen und Verfahren zum automatischen Prüfen einer Vielzahl von Linsen
JP2016519768A (ja) 基板の異物質検査方法
DE102015113068B4 (de) Qualitätskontrollvorrichtung und Steuerverfahren für eine Qualitätskontrollvorrichtung
DE102019205706A1 (de) System und Verfahren zum Überprüfern der Brechkraft und der Dicke ophthalmischer Linsen, die in eine Lösung eingetaucht sind
CN105911724B (zh) 确定用于检测的光照强度的方法和装置、及光学检测方法和装置
DE102015109843B4 (de) Leiterplattenprüfvorrichtung und Verfahren zu deren Steuerung
DE112008002816B4 (de) Prüfverfahren anhand von erfassten Bildern und Prüfvorrichtung
DE102015201382A1 (de) Qualitätssicherungssystem und Vorrichtung zur Innenprüfung
DE102009017695B3 (de) Verfahren zur Inspektion von Lötstellen an elektrischen und elektronischen Bauteilen
DE10041354A1 (de) Verfahren zur Überprüfung auf Fremdpartikel oder Fehler und entsprechende Vorrichtung
CN113176275B (zh) 一种用于显示面板复检的方法、装置及系统
DE102005015826A1 (de) Verfahren und System zur optischen Inspektion von Kontaktflächen (Kontaktpads) an Halbleiter-Bauelementen mit unterschiedlichem Erscheinungsbild
KR101916134B1 (ko) 인쇄회로기판 상의 컨포멀 코팅 검사 장치
DE102014225987A1 (de) Steuervorrichtung für eine Innenprüfungsvorrichtung und Verfahren zum Steuern einer Innenprüfungsvorrichtung
DE10131665B4 (de) Verfahren und Vorrichtung zur Inspektion des Randbereichs eines Halbleiterwafers
DE102014115650B4 (de) Inspektionssystem und Verfahren zur Fehleranalyse
WO2018068775A1 (de) Verfahren und anlage zum ermitteln der defektfläche mindestens einer fehlstelle auf mindestens einer funktionsoberfläche eines bauteils oder prüfkörpers
DE202006009819U1 (de) Vorrichtung zur visuellen Inspektion von Prüflingen
DD258658A1 (de) Verfahren zum pruefen von loetstellen elektronischer baugruppen

Legal Events

Date Code Title Description
R207 Utility model specification

Effective date: 20060928

R163 Identified publications notified

Effective date: 20070213

R150 Term of protection extended to 6 years

Effective date: 20090827

R157 Lapse of ip right after 6 years

Effective date: 20130101