DE20122469U1 - Mass spectrometer, includes ion guide comprising multiple electrodes with internal apertures, which extends between input and intermediate vacuum chambers - Google Patents

Mass spectrometer, includes ion guide comprising multiple electrodes with internal apertures, which extends between input and intermediate vacuum chambers Download PDF

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Abstract

The spectrometer includes an intermediate vacuum chamber (19) which is arranged between input and analyzer vacuum chambers (18,20). An ion guide (15) extending between input and the intermediate vacuum chambers includes multiple electrodes having an internal aperture (8). An independent claim is included for method of mass spectrometry.

Description

Die vorliegende Erfindung betrifft Massenspektrometer.The The present invention relates to mass spectrometers.

Ionenführungen mit Nur-RF-Multipolstabsätzen wie etwa Quadrupole, Hexapole und Octopole sind bekannt.ion guides with RF-only multipole rod sets such as quadrupoles, hexapoles and octopoles are known.

Whitehouse und Mitarbeiter haben in der WO98/06481 und WO 99/62101 eine Anordnung offenbart, bei der eine Multipolstabsatzionenführung sich zwischen zwei Vakuumkammern erstreckt. Wie Fachleute jedoch verstehen werden, ist, da jeder Stab in einem Multipolstabsatz einen typischen Durchmesser von etwa 5 mm aufweist, und ein Zwischenraum zwischen gegenüberliegenden Stäben vorgesehen sein muss, um eine Ionenführungsregion bereitzustellen, die Zwischenkammerapertur bzw. Interkammerapertur bei Verwendung einer derartigen Anordnung entsprechend sehr groß (d.h. > 15 mm im Durchmesser), mit einem entsprechend großen Querschnittsbereich > 150 mm2. Derart große Zwischenkammeraperturen reduzieren drastisch die Effektivität der Vakuumpumpen, die am effektivsten sind, wenn die Zwischenkammeröffnung so klein wie möglich ist (d.h. lediglich einen Durchmesser von wenigen Millimetern aufweist).Whitehouse and coworkers have disclosed in WO98 / 06481 and WO99 / 62101 an arrangement in which a multipole rod set ion guide extends between two vacuum chambers. However, as will be understood by those skilled in the art, since each rod in a multipole rod set has a typical diameter of about 5 mm and a gap must be provided between opposing rods to provide an ion guide region, the inter chamber aperture or inter-chamber aperture is correspondingly very high using such an arrangement large (ie> 15 mm in diameter), with a correspondingly large cross-sectional area> 150 mm 2 . Such large inter-chamber apertures drastically reduce the effectiveness of the vacuum pumps that are most effective when the inter-chamber opening is as small as possible (ie, only a few millimeters in diameter).

Es wird daher angestrebt, eine verbesserte Zwischenkammerionenführung bereitzustellen.It Therefore, it is desirable to provide an improved interchamber ion guide.

Gemäß einem ersten Aspekt der vorliegenden Erfindung ist ein Massenspektrometer gemäß Anspruch 1 bereitgestellt.According to one The first aspect of the present invention is a mass spectrometer according to claim 1 provided.

Herkömmliche Anordnungen stellen typischerweise zwei diskrete Mulitpolionenführungen in benachbarten Vakuumkammern mit einer differentiellen Pumpapertur dazwischen bereit. Eine derartige Anordnung leidet an einer Störung in dem RF-Feld nahe dem Ende eines Multipolstabsatzes und anderen Endeffekten. Gemäß der bevorzugten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung verlassen die Ionen jedoch nicht die Ionenführung während sie von einer Vakuumkammer in die andere passieren. Entsprechend werden Endeffektprobleme wirksam eliminiert, was zu einer verbesserten Ionentransmission führt.conventional Arrangements typically provide two discrete multi-pole ion guides in adjacent vacuum chambers with a differential pump aperture in between. Such an arrangement suffers from a disturbance in RF field near the end of a multipole rod set and other end effects. According to the preferred embodiment However, the ions do not leave the present invention ion guide while they pass from one vacuum chamber to the other. Corresponding Endeffektprobleme are effectively eliminated, resulting in an improved Ion transmission leads.

Eine Ionenführung mit Elektroden mit Aperturen kann zwei wesentliche unterschiedliche Formen annehmen. In einer ersten Form sind alle internen Aperturen der Elektroden im wesentlichen gleich groß. Eine derartige Anordnung wird bezeichnet als "Ionentunnel". Es ist jedoch eine zweite Form bekannt, die als "Ionentrichter" bezeichnet wird, bei der die Elektroden interne Aperturen aufweisen, die progressiv kleiner werden. Beide Formen sollen in den Umfang bzw. Rahmen der vorliegenden Erfindung fallen. Die mit Aperturen versehenen Elektroden können in beiden Fällen Ringelektroden oder ringförmige Elektroden aufweisen. Der innere Umfang der Elektroden ist vorzugsweise kreisförmig. Der äußere Durchmesser der Elektroden muss jedoch nicht kreisförmig sein, und es werden Ausführungsformen der vorliegenden Erfindung in Erwägung gezogen, bei denen das Außenprofil der Elektroden andere Formen annimmt.A ion guide With electrodes with apertures can be two essential different Take forms. In a first form are all internal apertures the electrodes are substantially the same size. Such an arrangement is referred to as "ion tunnel". It is, however, one second form known as the "ion funnel", where the electrodes have internal apertures that are progressive get smaller. Both forms should be in the scope or framework of the present invention. The apertured electrodes can in both cases Ring electrodes or annular electrodes exhibit. The inner circumference of the electrodes is preferably circular. The outer diameter However, the electrodes need not be circular, and embodiments of the present invention contemplated pulled, in which the outer profile the electrodes take other forms.

Die bevorzugte Ausführungsform der vorliegenden Erfindung verwendet eine Ionentunnel-Ionenführung, und es wurde festgestellt, dass eine Ionentunnel-Ionenführung eine Verbesserung bei der Ionentransmissionseffizienz verglichen mit einer herkömmlichen Multipol-, beispielsweise einer Hexapol-, Ionenführung einer vergleichbaren Länge von etwa 25 – 75% aufweist. Die Gründe für diese verbesserte Ionentransmissionseffizienz werden nicht vollständig verstanden, es wird jedoch angenommen, dass der Ionentunnel einen größeren Akzeptanzwinkel und einen größeren Akzeptanzbereich aufweisen könnte verglichen mit vergleichbaren Multipolstabsatzionenführungen.The preferred embodiment The present invention uses an ion tunnel ion guide, and it was found that an ion tunnel ion guide a Improvement in ion transmission efficiency compared to a conventional one Multipole, for example, a hexapole, ion guide of a comparable length of about 25 - 75% having. The reasons for this improved ion transmission efficiency is not fully understood, however, it is believed that the ion tunnel has a larger acceptance angle and a wider acceptance range could be compared with comparable multipole rod set guides.

Entsprechend ist ein Vorteil der vorliegenden Erfindung eine Verbesserung der Ionentransmissionseffizienz.Corresponding an advantage of the present invention is an improvement of Ion transmission efficiency.

Obwohl eine Ionentunnel-Ionenführung bevorzugt wird, kann gemäß einer weniger bevorzugten Ausführungsform die Zwischenvakuumkammer-Ionenführung einen Ionentrichter aufweisen. Zum Wirken als Ionenführung wird ein DC- bzw. Gleichstrompotentialgradient entlang der Länge des Ionentrichters aufgebracht, um Ionen durch die progressiv kleineren internen bzw. inneren Aperturen der Elektroden zu drängen. Es wird jedoch angenommen, dass ein Innentrichter an einer engen Masse-Ladungs-Verhältnis-Bandpasstransmissionseffizienz leidet. Derartige Probleme werden nicht angetroffen bei Verwendung einer Ionentunnel-Ionenführung.Even though an ion tunnel ion guide is preferred, can according to a less preferred embodiment the intermediate vacuum chamber ion guide have an ion funnel. To work as an ion guide is a DC or DC potential gradient along the length of the Ion funnel applied to ions through the progressively smaller internal or internal apertures of the electrodes to urge. It however, it is believed that an inner funnel suffers from a narrow mass-to-charge ratio bandpass transmission efficiency. Such problems are not encountered when using a Ion tunnel ion guide.

Verschiedene Arten von weiteren ionenoptischen Vorrichtungen sind ebenfalls bekannt, einschließlich Multipol-Stabsätzen, Einzel-Linsen, segmentierten Multipolen, kurzen (festen) Quadrupol Vor/Nach-Filterlinsen ("Stubbies"), 3D-Quadrupolionenfallen mit einer zentralen donutförmigen Elektrode zusammen mit zwei Konkaven Endkappenelektroden, und lineare (2D) Quadrupolionenfallen mit einem Multipol-Stabsatz mit Eingangs- und Ausgangsringelektroden. Solche Vorrichtungen sollen jedoch nicht in den Rahmen bzw. Umfang der vorliegenden Erfindung fallen.Various Types of other ion optical devices are also known including Multipole rod sets, single lenses, segmented multipoles, short (fixed) quadrupole pre / post filter lenses ("Stubbies"), 3D quadrupole ion traps with a central donut-shaped Electrode together with two concave end cap electrodes, and linear (2D) Quadrupole ion traps with a multipole rod set with input and output ring electrodes. However, such devices are not intended fall within the scope of the present invention.

Gemäß einem besonders bevorzugten Merkmal der vorliegenden Erfindung kann eine der Elektroden, die die Ionenführung bildet bzw. bilden, eine differentielle Pumpapertur zwischen zwei Vakuumkammern bilden oder darstellen. Eine derartige Anordnung ist insbesondere vorteilhaft, da sie ermöglicht, dass die Zwischenkammeröffnung wesentlich kleiner ist als diejenige, die bereitgestellt würde, wenn eine Multipolstabsatzionenführung verwendet würde. Eine kleinere Zwischenkammeröffnung erlaubt es den Vakuumpumpen, die jede Vakuumkammer pumpen bzw. auspumpen, effizienter zu arbeitenAccording to a particularly preferred feature of the present invention, one of the electrodes forming the ion guide may have a differential pumping aperture between two vacuums form or represent chambers. Such an arrangement is particularly advantageous because it allows the inter-chamber opening to be substantially smaller than that provided if a multipole rod set-up guide were used. A smaller inter-chamber opening allows the vacuum pumps that pump and evacuate each vacuum chamber to operate more efficiently

Die Elektrode, die die differentielle Pumpapertur bildet, kann entweder eine interne Apertur unterschiedlicher Größe (beispielsweise kleiner) als die anderen Elektroden, die die Ionenführung bilden, aufweisen, oder kann eine interne Apertur der gleichen Größe aufweisen. Die Elektrode, die die differentielle Pumpapertur bildet, und/oder die anderen Elektroden, können einen internen Durchmesser aufweisen, der ausgewählt ist, aus der Gruppe, die besteht aus: (i) 0,5–1,5 mm; (ii) 1,5–2,5 mm; (iii) 2,5–3,5 mm; (iv) 3,5–4,5 mm; (v) 4,5–5,5 mm; (vi) 5,5–6,5 mm; (vii) 6,5–7,5 mm; (viii) 7,5–8,5 mm; (ix) 8,5–9,5 mm; (x) 9,5–10,5 mm; (xi) ≤ 10,0 mm; (xii) ≤ 9,0 mm; (xiii) ≤ 8,0 mm; (xiv) ≤ 7,0 mm; (xv) ≤ 6,0 mm; (xvi) ≤ 5,0 mm; (xvii) ≤ 4,0 mm; (xviii) ≤ 3,0 mm; (xix) ≤ 2,0 mm; (xx) ≤ 1,0 mm; (xxi) 0–2 mm; (xxii) 2–4 mm; (xxiii) 4–6 mm; (xxiv) 6–8 mm; and (xxv) 8–10 mm.The Electrode that forms the differential pump aperture can either an internal aperture of different sizes (for example smaller) as the other electrodes forming the ion guide, or may have an internal aperture of the same size. The electrode, which forms the differential pump aperture, and / or the others Electrodes, can have an internal diameter selected from the group consisting of consists of: (i) 0.5-1.5 mm; (ii) 1.5-2.5 mm; (iii) 2.5-3.5 mm; (iv) 3.5-4.5 mm; (v) 4.5-5.5 mm; (vi) 5.5-6.5 mm; (vii) 6.5-7.5 mm; (viii) 7.5-8.5 mm; (ix) 8.5-9.5 mm; (x) 9.5-10.5 mm; (xi) ≤ 10.0 mm; (xii) ≤ 9.0 mm; (xiii) ≤ 8.0 mm; (xiv) ≤ 7.0 mm; (xv) ≤ 6.0 mm; (xvi) ≤ 5.0 mm; (xvii) ≤ 4.0 mm; (xviii) ≤ 3.0 mm; (xix) ≤ 2.0 mm; (xx) ≤ 1.0 mm; (xxi) 0-2 mm; (xxii) 2-4 mm; (xxiii) 4-6 mm; (xxiv) 6-8 mm; and (xxv) 8-10 mm.

Die differentielle Pumpapertur kann einen Bereich bzw. eine Fläche aufweisen, der bzw. die ausgewählt ist aus der Gruppe, die besteht aus: (i) ≤ 40 mm2; (ii) ≤ 35 mm2; (iii) ≤ 30 mm2; (iv) ≤ 25 mm2; (v) ≤ 20 mm2; (vi) ≤ 15 mm2; (vii) ≤ 10 mm2; and (viii) ≤ 5 mm2. Die Fläche der differentiellen Pumpapertur kann daher mehr als eine Größenordnung kleiner als die Fläche der differentiellen Pumpapertur sein, die bei Verwendung einer Multipol-Ionenführung, die sich zwischen zwei Vakuumregionen erstreckt, inhärent ist.The differential pumping aperture may have an area or area selected from the group consisting of: (i) ≤ 40 mm 2 ; (ii) ≤ 35 mm 2 ; (iii) ≦ 30 mm 2 ; (iv) ≤ 25 mm 2 ; (v) ≦ 20 mm 2 ; (vi) ≤ 15 mm 2 ; (vii) ≤ 10 mm 2 ; and (viii) ≤ 5 mm 2 . The area of the differential pumping aperture may therefore be more than an order of magnitude smaller than the area of the differential pumping aperture inherent with the use of a multipole ion guide extending between two vacuum regions.

Die Ionenführung kann wenigstens 4, 5, 6, 7, 8, 9, 10, 20, 30, 40, 50, 60, 70, 80, 90, 100, 110, 120, 130, 140, 150, 160, 170, 180, 190 oder 200 Elektroden aufweisen.The ion guide can be at least 4, 5, 6, 7, 8, 9, 10, 20, 30, 40, 50, 60, 70, 80, 90, 100, 110, 120, 130, 140, 150, 160, 170, 180, 190 or 200 electrodes exhibit.

Wenigstens 90%, vorzugsweise 100% der Elektroden können auf im wesentlichen dem gleichen Gleichstromreferenzpotential, auf welches eine Wechselspannung überlagert wird, eingerichtet und ausgebildet sein.At least 90%, preferably 100% of the electrodes can be at substantially the same DC reference potential, which is superimposed on an AC voltage will be, set up and trained.

Gemäß der bevorzugten Ausführungsform kann der Druck in der stromaufwärtigen Vakuumkammer, wenn die Ionenführung sich zwischen zwei Vakuumkammern erstreckt, vorzugsweise sein: (i) ≥ 0,5 mbar; (ii) ≥ 0,7 mbar; (iii) ≥ 1,0 mbar; (iv) ≥ 1,3 mbar; (v) ≥ 1,5 mbar; (vi) ≥ 2,0 mbar; (vii) ≥ 5,0 mbar; (viii) ≥ 10,0 mbar; (ix) 1–5 mbar; (x) 1–2 mbar; or (xi) 0.5–1.5 mbar. Vorzugseise ist der Druck kleiner als 30 mbar, und weiter vorzugsweise kleiner als 20 mbar. Der Druck in der stromabwärtigen Vakuumkammer kann, vorzugsweise sein: (i) 10–3 – 10–2 mbar; (ii) ≥ 2 × 10–3 mbar; (iii) ≥ 5 × 10–3 mbar; (iv) ≤ 10–2 mbar; (v) 10–3 – 5 × 10–3mbar; or (vi) 5 × 10–3 10–2 mbar.According to the preferred embodiment, when the ion guide extends between two vacuum chambers, the pressure in the upstream vacuum chamber may preferably be: (i) ≥0.5 mbar; (ii) ≥ 0.7 mbar; (iii) ≥ 1.0 mbar; (iv) ≥ 1.3 mbar; (v) ≥1.5 mbar; (vi) ≥ 2.0 mbar; (vii) ≥ 5.0 mbar; (viii) ≥ 10.0 mbar; (ix) 1-5 mbar; (x) 1-2 mbar; or (xi) 0.5-1.5 mbar. Vorzugseise the pressure is less than 30 mbar, and more preferably less than 20 mbar. The pressure in the downstream vacuum chamber may be, preferably: (i) 10 -3 - 10 -2 mbar; (ii) ≥ 2 × 10 -3 mbar; (iii) ≥ 5 × 10 -3 mbar; (iv) ≤10 -2 mbar; (v) 10 -3 - 5 x 10 -3 mbar; or (vi) 5 × 10 -3 10 -2 mbar.

Wenigstens eine Mehrzahl der, vorzugsweise sämtliche Elektroden, die die Ionenführung bilden, können Aperturen mit den folgenden internen Durchmessern oder Dimensionen bzw. Bemaßungen aufweisen: (i) ≤ 5,0 mm; (ii) ≤ 4,5 mm; (iii) ≤ 4,0 mm; (iv) ≤ 3,5 mm; (v) ≤ 3,0 mm; (vi) ≤ 2,5 mm; (vii) 3.0 ± 0,5 mm; (viii) ≤ 10,0 mm; (ix) ≤ 9,0 mm; (x) ≤ 8,0 mm; (xi) ≤ 7,0 mm; (xii) ≤ 6,0 mm; (xiii) 5,0 ± 0,5 mm; oder (xiv) 4–6 mm.At least a plurality of, preferably all electrodes, which the ion guide can form Apertures with the following internal diameters or dimensions or dimensions have: (i) ≤ 5.0 mm; (ii) ≤4.5 mm; (iii) ≤ 4.0 mm; (iv) ≤ 3.5 mm; (v) ≤ 3.0 mm; (vi) ≤ 2.5 mm; (vii) 3.0 ± 0.5 mm; (viii) ≤ 10.0 mm; (ix) ≤ 9.0 mm; (x) ≤ 8.0 mm; (xi) ≤ 7.0 mm; (xii) ≤ 6.0 mm; (xiii) 5.0 ± 0.5 mm; or (xiv) 4-6 mm.

Die Länge der Ionenführung kann betragen: (i) ≥ 100 mm; (ii) ≥ 120 mm; (iii) ≥ 150 mm; (iv) 130 ± 10 mm; (v) 100–150 mm; (vi) ≤ 160 mm; (vii) ≤ 180 mm; (viii) ≤ 200 mm; (ix) 130–150 mm; (x) 120–180 mm; (xi) 120–140 mm; (xii) 130 mm ± 5, 10, 15, 20, 25 oder 30 mm; (xiii) 50–300 mm; (xiv) 150–300 mm; (xv) ≥ 50 mm; (xvi) 50–100 mm; (xvii) 60–90 mm; (xviii) ≥ 75 mm; (xix) 50–75 mm; (xx) 75–100 mm; (xxi) etwa 26 cm; (xxii) 24–28 cm; (xxiii) 20–30 cm; oder (xxiv) > 30 cm.The Length of ion guide can be: (i) ≥ 100 mm; (ii) ≥ 120 mm; (iii) ≥ 150 mm; (iv) 130 ± 10 mm; (v) 100-150 mm; (vi) ≤ 160 mm; (vii) ≤ 180 mm; (viii) ≤ 200 mm; (ix) 130-150 mm; (x) 120-180 mm; (xi) 120-140 mm; (xii) 130 mm ± 5, 10, 15, 20, 25 or 30 mm; (xiii) 50-300 mm; (xiv) 150-300 mm; (xv) ≥ 50 mm; (Xvi) 50-100 mm; (xvii) 60-90 mm; (xviii) ≥75 mm; (xix) 50-75 mm; (xx) 75-100 mm; (xxi) about 26 cm; (xxii) 24-28 cm; (xxiii) 20-30 cm; or (xxiv)> 30 cm.

Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform ist die Ionenquelle eine Atmosphärendruckionenquelle wie etwa eine Elektrosprayionenquelle ("ES") oder eine Atmosphärendruck-Chemische-Ionisations-Ionenquelle ("APCI"). Gemäß einer alternativen Ausführungsform kann die Ionenquelle eine matrixunterstütze Laserdesorptionsionisationsionenquelle ("MALDI") oder eine induktiv gekoppelte Plasmaionenquelle ("ICP") sein. Die MALDI-Ionenquelle kann entweder eine atmosphärische Quelle oder eine Niedrigvakuumquelle sein.According to one preferred embodiment the ion source is an atmospheric pressure ion source such as an electrospray ion source ("ES") or an atmospheric pressure chemical ionization ion source ( "APCI"). According to one alternative embodiment For example, the ion source may be a matrix-assisted laser desorption ionization ion source ("MALDI") or an inductive coupled plasma ion source ("ICP"). The MALDI ion source can be either atmospheric Source or a low vacuum source.

Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform ist die Ionenquelle eine kontinuierliche Ionenquelle.According to one preferred embodiment the ion source is a continuous ion source.

Das Massenspektrometer weist vorzugsweise entweder einen Flugzeit-Massenanalysator, vorzugsweise einen Orthogonal-Flugzeit-Massenanalysator, einen Quadrupol-Massenanalysator oder eine Quadrupol-Ionenfalle auf.The Mass spectrometer preferably has either a time of flight mass analyzer, preferably an orthogonal time-of-flight mass analyzer, a quadrupole mass analyzer or a quadrupole ion trap on.

Gemäß einem zweiten Aspekt der vorliegenden Erfindung ist ein Massenspektrometer gemäß Anspruch 21 bereitgestellt.According to one second aspect of the present invention is a mass spectrometer according to claim 21 provided.

Vorzugsweise bildet eine Elektrode der Ionenführung eine differentielle Pumpapertur zwischen der Eingangsvakuumkammer bzw. Eingangsvakuumkammern und einer Zwischen-Vakuumkammer bzw. Zwischenvakuumkammern.Preferably forms an electrode of the ion guide a differential pump aperture between the input vacuum chamber or input vacuum chambers and an intermediate vacuum chamber or Intermediate vacuum chambers.

Vorzugsweise weist das Massenspektrometer Mittel zur Bereitstellung einer Wechselspannung für die Elektroden auf. Vorzugsweise ist ein Wechselstromgenerator vorgesehen, der mit den Elektroden derart verbunden ist, da zu jedem Zeitpunkt während eines Wechselstromzyklus des Ausgangs des Wechselstromgenerators benachbarte Elektroden, die die Nur-AC- bzw. Wechselstrom-Ionenführung bilden, jeweils mit in etwa gleichen positiven und negativen Potentialen relativ zu einem Referenzpotential beaufschlagt werden.Preferably, the mass spectrometer comprises means for providing an AC voltage for the electrodes. Preferably, a change current generator, which is connected to the electrodes such that at any time during an AC cycle of the output of the alternator, adjacent electrodes forming the AC-only or AC-ion guide, each with approximately equal positive and negative potentials relative to a Reference potential can be applied.

In einer Ausführungsform kann die Wechselstrom-Lei stungsversorgung eine RF- bzw. HF- Leistungsversorgung sein. Die vorliegende Erfindung ist jedoch nicht beschränkt auf RF-Frequenzen. Ferner soll "Wechselstrom" bzw. "AC" schlicht bedeuten, dass die Wellenform alterniert, und somit werden Ausführungsformen der vorliegenden Erfindung in Erwägung gezogen, bei denen nicht-sinusförmige Wellenformen einschließlich Rechteckwellen auf die Innenführung gegeben werden.In an embodiment For example, the AC power supply may be an RF or RF power supply be. However, the present invention is not limited to RF frequencies. Furthermore, "AC" or "AC" simply mean that the waveform alternates, and thus embodiments of the present Invention contemplated pulled, in which non-sinusoidal waveforms including Square waves on the inner guide are given.

Gemäß einem dritten Aspekt der vorliegenden Erfindung ist ein Massenspektrometer nach Anspruch 24 bereitgestellt.According to one The third aspect of the present invention is a mass spectrometer according to claim 24 provided.

Vorzugsweise sind wenigstens 5, 10, 15, 20, 25, 30, 35, 40, 45, 50 oder 100 der Elektroden in einer oder beiden Vakuumkammern angeordnet.Preferably are at least 5, 10, 15, 20, 25, 30, 35, 40, 45, 50 or 100 of Electrodes arranged in one or both vacuum chambers.

Gemäß einem vierten Aspekt der vorliegenden Erfindung ist ein Massenspektrometer nach Anspruch 29 bereitgestellt.According to one Fourth aspect of the present invention is a mass spectrometer according to claim 29 provided.

Gemäß einem fünften Aspekt der vorliegenden Erfindung ist ein Massenspektrometer nach Anspruch 30 bereitgestellt.According to one fifth Aspect of the present invention is a mass spectrometer according to Claim 30 is provided.

Vorzugsweise ist eine differentielle Pumpapertur zwischen den Vakuumkammern gebildet durch eine Elektrode der Ionenführung, wobei die differentielle Pumpapertur eine Fläche bzw. einen Bereich von ≤ 20 mm2, vorzugsweise ≤ 15 mm2, weiter vorzugsweise ≤ 10 mm2 aufweist.Preferably, a differential pumping aperture between the vacuum chambers is formed by an electrode of the ion guide, wherein the differential pumping aperture has a surface or a range of ≦ 20 mm 2 , preferably ≦ 15 mm 2 , more preferably ≦ 10 mm 2 .

Gemäß einem sechsten Aspekt der vorliegenden Erfindung ist ein Massenspektrometer nach Anspruch 32 bereitgestellt.According to one Sixth aspect of the present invention is a mass spectrometer according to claim 32 provided.

Gemäß einem siebten Aspekt der vorliegenden Erfindung ist ein Massenspektrometer nach Anspruch 33 bereitgestellt.According to one Seventh aspect of the present invention is a mass spectrometer according to claim 33 provided.

Gemäß einem achten Aspekt der vorliegenden Erfindung ist ein Massenspektrometer nach Anspruch 34 bereitgestellt.According to one eighth aspect of the present invention is a mass spectrometer according to claim 34 provided.

Gemäß dieser Ausführungsform kann eine im wesentlichen kontinuierliche Ionentunnel-Ionenführung bereitgestellt sein, die sich durch zwei, drei, vier oder mehr Vakuumkammern erstreckt. Auch kann, anstelle eines individuellen Pumpens bzw. Auspumpens jeder Vakuumkammer, eine einzige Vakuumpumpe mit aufgeteiltem Fluss vorzugsweise zum Pumpen bzw. Auspumpen jeder Kammer verwendet werden.According to this embodiment may provide a substantially continuous ion tunneling ion guide which extends through two, three, four or more vacuum chambers. Also, instead of an individual pumping or pumping out each vacuum chamber, a single vacuum pump with split flow preferably be used for pumping or pumping out each chamber.

Mit der vorliegenden Erfindung ist ein Verfahren zur Massenspektrometrie mit folgenden Merkmalen realisierbar: Führen von Ionen von einer Vakuumkammer zu einer weiteren Vakuumkammer durch Passieren der Ionen durch eine Ionenführung, die sich zwischen den zwei Vakuumkammern erstreckt, wobei die Ionenführung eine Anzahl von Elektroden mit Aperturen aufweist.With The present invention is a method for mass spectrometry feasible with the following features: guiding ions from a vacuum chamber to another vacuum chamber by passing the ions through a Ion guide, which extends between the two vacuum chambers, wherein the ion guide a Number of electrodes having apertures.

Mit der vorliegenden Erfindung ist ferner ein Verfahren zur Massenspektrometrie mit folgenden Schritten realisierbar: Erzeugung eines Ionenstrahls aus einer Ionenquelle; Passieren der Ionen in eine Ionenführung, die aus einer Anzahl von Elektroden mit Aperturen besteht, wobei die Ionenführung sich zwischen zwei Vakuumkammern erstreckt; Führen der Ionen entlang der Ionenführung, so dass sie von einer Vakuumkammer in eine andere Vakuumkammer passieren, ohne die Ionenführung zu verlassen; und dann Massenanalysieren wenigstens einiger der Ionen.With The present invention also provides a method for mass spectrometry feasible with the following steps: generation of an ion beam an ion source; Passing the ions into an ion guide, the consists of a number of electrodes with apertures, wherein the ion guide extending between two vacuum chambers; Guide the ions along the Ion guide, so that they pass from one vacuum chamber to another vacuum chamber, without the ion guide to leave; and then mass analyzing at least some of the Ions.

Gemäß einem neunten Aspekt der vorliegenden Erfindung ist ein Massenspektrometer nach Anspruch 38 bereitgestellt.According to one Ninth aspect of the present invention is a mass spectrometer according to claim 38 provided.

Verschiedene Ausführungsformen der vorliegenden Erfindung werden nun, rein beispielhaft, und unter Bezugnahme auf die beigefügte Zeichnung beschrieben:Various embodiments The present invention will now, purely by way of example, and under Reference to the attached Drawing described:

1 zeigt eine Ionentunnel-Ionenführung; und 1 shows an ion tunnel ion guide; and

2 zeigt eine bevorzugte Anordnung. 2 shows a preferred arrangement.

Wie in 1 gezeigt, weist ein Ionentunnel 15 eine Anzahl von Elektroden 15a, 15b mit Aperturen auf. Benachbarte Elektroden 15a, 15b sind mit unterschiedlichen bzw. verschiedenen Phasen einer Wechselstrom-Leistungsversorgung verbunden, die, in einer Ausführungsform, eine RF-Leistungsversorgung sein kann. Beispielsweise können die ersten, dritten, fünften usw. Elektroden 15a mit der 0° Phasenversorgung 16a, und die zweiten, vierten, sechsten, usw. Elektroden 15b mit der 180° Phasenversorgung 16b verbunden werden bzw. sein. Ionen von einer Ionenquelle passieren durch den Ionentunnel 15, und werden durch diesen effizient transmittiert bzw. durchgelassen. Im Gegensatz zu einer Ionentrichteranordnung werden vorzugsweise sämtliche der Elektroden 15a, 15b auf im wesentlichen dem gleichen Gleichstrom-Referenzpotential gehalten, um bzw. auf welches eine Wechselspannung überlagert wird. Im Gegensatz zu Ionenfallen werden blockierende Gleichspannungspotentiale weder auf den Eingang noch den Ausgang des Ionentunnels 15 angewendet bzw. aufgebracht.As in 1 shown has an ion tunnel 15 a number of electrodes 15a . 15b with apertures on. Adjacent electrodes 15a . 15b are connected to different phases of an AC power supply, which, in one embodiment, may be an RF power supply. For example, the first, third, fifth, etc. electrodes 15a with the 0 ° phase supply 16a , and the second, fourth, sixth, etc. electrodes 15b with the 180 ° phase supply 16b be connected or be. Ions from an ion source pass through the ion tunnel 15 , and are transmitted through this efficiently. In contrast to an ion funnel arrangement, preferably all of the electrodes are used 15a . 15b held at substantially the same DC reference potential, to which or on which an AC voltage is superimposed. Unlike ion traps become blocking DC potentials neither on the input nor the output of the ion tunnel 15 applied or applied.

2 zeigt eine bevorzugte Ausführungsform der vorliegenden Erfindung. Eine Elektrospray-Ionenquelle ("ES") 1 oder eine Atmosphärendruck-Chemische-Ionisations-Ionenquelle ("APCI") 1 (die einen Coronastift bzw. eine Coronanadel 2 benötigt) emittiert Ionen, die in eine Vakuumkammer 17 über einen Sample- bzw. Abtastkonus eintreten. Die Vakuumkammer 17 wird durch eine rotierende oder mechanische Pumpe 4 ausgepumpt bzw. gepumpt. Ein Teil des Gases und der Ionen passiert durch eine differentielle Pumpapertur 21, wobei die Platte, die die Apertur umgibt, vorzugsweise auf 50 – 120 V gehalten wird, in eine Vakuumkammer 18, die eine Ionentunnel-Ionenführung 15, die zu einer weiteren Vakuumkammer 19 sich erstreckt, aufnimmt. Die Vakuumkammer 18 wird durch eine rotierende oder mechanische Pumpe 7 gepumpt. Ionen werden mittels der Ionenführung 15 durch die Vakuumkammer 18 transmittiert und passieren, ohne aus der Ionenführung 15 auszutreten, durch eine weitere differentielle Pumpapertur 8, die durch eine Elektrode der Ionentunnel-Ionenführung 15 gebildet wird, in eine Vakuumkammer 19, die durch eine Turbomolekularpumpe 10 gepumpt wird. Ionen werden weiterhin durch die Ionentunnel-Ionenführung 15 durch die Vakuumkammer 19 transmittiert. Die Ionen verlassen dann die Ionenführung und passieren durch eine differentielle Pumpapertur 11 in eine Analysator-Vakuumkammer 20, die durch eine Turbomolekularpumpe 14 gepumpt bzw. ausgepumpt wird. Die Analysator-Vakuumkammer 20 beinhaltet einen Vorfilter-Stabsatz 12, einen Quadrupol-Massenfilter/Analysator 13, und kann weitere Element wie etwa eine Kollisionszelle (nicht dargestellt), einen weiteren Quadrupolmassenfilter/Analysator zusammen mit einem Ionendetektor (nicht dargestellt) oder einen Flugzeit-analysator (nicht dargestellt) umfassen. 2 shows a preferred embodiment of the present invention. An electrospray ion source ("ES") 1 or an atmospheric pressure chemical ionization ion source ("APCI") 1 (which has a corona pin or a corona needle 2 needed) emits ions into a vacuum chamber 17 enter via a sample or sampling cone. The vacuum chamber 17 is powered by a rotating or mechanical pump 4 pumped out or pumped. Part of the gas and ions pass through a differential pump aperture 21 wherein the plate surrounding the aperture is preferably maintained at 50-120 V in a vacuum chamber 18 using an ion tunnel ion guide 15 leading to another vacuum chamber 19 extends, absorbs. The vacuum chamber 18 is powered by a rotating or mechanical pump 7 pumped. Ions are made by the ion guide 15 through the vacuum chamber 18 transmit and pass without leaving the ion guide 15 exit through another differential pump aperture 8th passing through an ion tunnel ion guide electrode 15 is formed, in a vacuum chamber 19 passing through a turbomolecular pump 10 is pumped. Ions will continue through the ion tunnel ion guide 15 through the vacuum chamber 19 transmitted. The ions then leave the ion guide and pass through a differential pump aperture 11 into an analyzer vacuum chamber 20 passing through a turbomolecular pump 14 pumped or pumped out. The analyzer vacuum chamber 20 includes a pre-filter rod set 12 , a quadrupole mass filter / analyzer 13 , and may include other elements such as a collision cell (not shown), another quadrupole mass filter / analyzer together with an ion detector (not shown) or a time of flight analyzer (not shown).

Eine Wechselspannung wird auf die Elektroden aufgebracht, und der Ionentunnel 15 wird vorzugsweise auf 0 bis 2 V Gleichstrom über dem Gleichstrompotential der Platte, die die differentielle Pumpapertur 11 bildet, welche vorzugsweise auf Masse (0 V Gleichstrom) liegt, gehalten. Gemäß weiteren Ausführungsformen kann die Platte, die die differentielle Pumpapertur 11 bildet, auf anderen Gleichstrompotentialen gehalten werden.An AC voltage is applied to the electrodes, and the ion tunnel 15 is preferably at 0 to 2 V DC above the DC potential of the plate, which is the differential pumping aperture 11 forms, which is preferably grounded (0 V DC) held. According to further embodiments, the plate containing the differential pump aperture 11 is kept on other DC potentials.

Der Ionentunnel 15 ist vorzugsweise etwa 26 cm lang und weist in einer Ausführungsform etwa 170 Ringelektroden auf. Die stromaufwärtige Vakuumkammer 18 wird vorzugsweise auf einem Druck ≥ 1 mbar gehalten, und die stromabwärtige Vakuumpumpe 19 wird vorzugsweise auf einen Druck von 10–3 – 10–2 mbar gehalten. Die Ionenführung 15 wird vorzugsweise mit einer Wechselspannung mit einer Frequenz zwischen 1 und 2 MHz versorgt- bzw. beaufschlagt. Gemäß anderen Ausführungsformen können jedoch Frequenzen von 800 kHz – 3 MHz verwendet werden. Die Elektroden, die den Ionentunnel 15 bilden, weisen vorzugsweise kreisförmige Aperturen auf, die vorzugsweise einen Durchmesser im Bereich von 3 – 5 mm aufweisen.The ion tunnel 15 is preferably about 26 cm long and in one embodiment has about 170 ring electrodes. The upstream vacuum chamber 18 is preferably maintained at a pressure ≥ 1 mbar, and the downstream vacuum pump 19 is preferably maintained at a pressure of 10 -3 - 10 -2 mbar. The ion guide 15 is preferably supplied with an alternating voltage with a frequency between 1 and 2 MHz or acted upon. However, in other embodiments, frequencies of 800 kHz - 3 MHz may be used. The electrodes that make up the ion tunnel 15 form, preferably have circular apertures, which preferably have a diameter in the range of 3 - 5 mm.

Ausführungsformen der vorliegenden Erfindung werden ebenfalls in Erwägung gezogen, bei denen Elektroden des Ionentunnels in einer Vakuumkammer eine unterschiedliche Peak-Wechselspannungsamplitude verglichen mit den Elektroden des gleichen Ionentunnels, die in einer anderen Ionenkammer angeordnet sind, aufweisen. Beispielsweise unter Bezugnahme auf 2 können die in Kammer 18 angeordneten Elektroden mit der Wechselstrom-Leistungsversorgung 16a, 16b über einen Kondensator verbunden sein, wobei die in Kammer 19 angeordneten Elektroden direkt mit der Wechselspannungsleistungsversorgung 16a, 16b verbunden sein können. Entsprechend können die in Kammer 19 angeordneten Elektroden eine Spitzen- bzw. Peakwechselspannung von 500 V sehen, wobei die Elektroden in Kammer 18 eine Peakwechselspannung von 300 V sehen können. Die Elektrode, die die differentielle Pumpapertur 8 bildet, kann auf der Wechselspannung entweder der Elektroden in Kammer 18 oder der Elektroden in Kammer 19 gehalten werden, oder alternativ kann die Elektrode auf einer Spannung gehalten werden, die sich von den der anderen Elektroden unterscheidet.Embodiments of the present invention are also contemplated in which electrodes of the ion tunnel in a vacuum chamber have a different peak AC voltage amplitude compared to the electrodes of the same ion tunnel located in another ion chamber. For example, with reference to 2 can the in chamber 18 arranged electrodes with the AC power supply 16a . 16b be connected via a capacitor, wherein in chamber 19 arranged electrodes directly to the AC power supply 16a . 16b can be connected. Accordingly, in the chamber 19 arranged electrodes see a peak or peak AC voltage of 500 V, the electrodes in chamber 18 can see a peak AC voltage of 300V. The electrode, which is the differential pump aperture 8th can form on the alternating voltage of either the electrodes in the chamber 18 or the electrodes in the chamber 19 Alternatively, the electrode may be maintained at a voltage different from that of the other electrodes.

Claims (39)

Massenspektrometer mit einer Ionenquelle; einer Eingangsvakuumkammer; einer Analysatorvakuumkammer mit einem Ionenmassenanalysator; und einer Zwischenvakuumkammer, wobei die Zwischenvakuumkammer angeordnet ist zwischen der Eingangsvakuumkammer und der Analysatorvakuumkammer; und einer Nur-Wechselstrom-Ionenführung, die sich zwischen der Eingangsvakuumkammer und der Zwischenvakuumkammer erstreckt; dadurch gekennzeichnet, dass die Nur-Wechselstrom-Ionenführung eine Anzahl von Elektroden mit internen Aperturen aufweist.Mass spectrometers with an ion source; an input vacuum chamber; an analyzer vacuum chamber having an ion mass analyzer; and an intermediate vacuum chamber, wherein the intermediate vacuum chamber is disposed between the input vacuum chamber and the analyzer vacuum chamber; and an AC-only ion guide extending between the input vacuum chamber and the intermediate vacuum chamber; characterized in that the AC-only ion guide has a number of electrodes with internal apertures. Massenspektrometer nach Anspruch 1, bei dem wenigstens eine Mehrzahl der Elektroden interne Aperturen im wesentlichen ähnlicher Größe aufweist.A mass spectrometer according to claim 1, wherein at least a plurality of the electrodes are substantially similar to internal apertures Has size. Massenspektrometer nach Anspruch 1, bei dem wenigstens eine Mehrzahl der Elektroden interne Aperturen aufweist, die progressiv kleiner werden.A mass spectrometer according to claim 1, wherein at least a plurality of the electrodes have internal apertures that are progressive get smaller. Massenspektrometer nach einem der Ansprüche 1, 2 oder 3, bei dem eine Elektrode der Ionenführung eine differentielle Pumpapertur zwischen der Eingangs- und der Zwischenvakuumkammer bildet.Mass spectrometer according to one of claims 1, 2 or 3, wherein one electrode of the ion guide has a differential pump aperture forms between the inlet and the intermediate vacuum chamber. Massenspektrometer nach Anspruch 4, bei dem die Elektrode, die die differentielle Pumpapertur bildet, einen internen Durchmesser aufweist, der ausgewählt ist aus der Gruppe, die besteht aus: (i) 0,5–1,5 mm; (ii) 1,5–2,5 mm; (iii) 2,5–3,5 mm; (iv) 3,5–4,5 mm; (v) 4,5–5,5 mm; (vi) 5,5–6,5 mm; (vii) 6,5–7,5 mm; (viii) 7,5–8,5 mm; (ix) 8,5–9,5 mm; (x) 9,5–10,5 mm; (xi) ≤ 10,0 mm; (xii) ≤ 9,0 mm; (xiii) ≤ 8,0 mm; (xiv) ≤ 7,0 mm; (xv) ≤ 6,0 mm; (xvi) ≤ 5,0 mm; (xvii) ≤ 4,0 mm; (xviii) ≤ 3,0 mm; (xix) ≤ 2,0 mm; (xx) ≤ 1,0 mm; (xxi) 0–2 mm; (xxii) 2–4 mm; (xxiii) 4–6 mm; (xxiv) 6–8 mm; and (xxv) 8–10 mm.Mass spectrometer according to claim 4, wherein the electrode, which forms the differential pump aperture, an internal diameter which has selected is selected from the group consisting of: (i) 0.5-1.5 mm; (ii) 1.5-2.5 mm; (iii) 2.5-3.5 mm; (iv) 3.5-4.5 mm; (v) 4.5-5.5 mm; (vi) 5.5-6.5 mm; (vii) 6.5-7.5 mm; (viii) 7.5-8.5 mm; (ix) 8.5-9.5 mm; (x) 9.5-10.5 mm; (xi) ≤ 10.0 mm; (xii) ≤ 9.0 mm; (xiii) ≤ 8.0 mm; (xiv) ≤ 7.0 mm; (xv) ≤ 6.0 mm; (xvi) ≤ 5.0 mm; (xvii) ≤ 4.0 mm; (xviii) ≤ 3.0 mm; (xix) ≤ 2.0 mm; (xx) ≤ 1.0 mm; (xxi) 0-2 mm; (xxii) 2-4 mm; (xxiii) 4-6 mm; (xxiv) 6-8 mm; and (xxv) 8-10 mm. Massenspektrometer nach einem der Ansprüche 4 oder 5, bei dem wenigstens eine Mehrzahl der, bevorzugt alle, Elektroden außer der Elektrode, die die differentielle Pumpapertur bildet, interne Durchmesser aufweisen, die ausgewählt sind aus der Gruppe, die besteht aus: (i) 0,5–1,5 mm; (ii) 1,5–2,5 mm; (iii) 2,5–3,5 mm; (iv) 3,5–4,5 mm; (v) 4,5–5,5 mm; (vi) 5,5–6,5 mm; (vii) 6,5–7,5 mm; (viii) 7,5–8,5 mm; (ix) 8,5–9,5 mm; (x) 9,5–10,5 mm; (xi) ≤ 10,0 mm; (xii) ≤ 9,0 mm; (xiii) ≤ 8, 0 mm; (xiv) ≤ 7, 0 mm; (xv) ≤ 6, 0 mm; (xvi) ≤ 5,0 mm; (xvii) ≤ 4,0 mm; (xviii) ≤ 3,0 mm; (xix) ≤ 2,0 mm; (xx) ≤ 1,0 mm; (xxi) 0–2 mm; (xxii) 2–4 mm; (xxiii) 4–6 mm; (xxiv) 6–8 mm; and (xxv) 8–10 mm.Mass spectrometer according to one of claims 4 or 5, wherein at least a plurality of, preferably all, electrodes except the electrode forming the differential pump aperture, internal Have diameters selected from the group consisting of consists of: (i) 0.5-1.5 mm; (ii) 1.5-2.5 mm; (iii) 2.5-3.5 mm; (iv) 3.5-4.5 mm; (v) 4.5-5.5 mm; (vi) 5.5-6.5 mm; (vii) 6.5-7.5 mm; (viii) 7.5-8.5 mm; (ix) 8.5-9.5 mm; (x) 9.5-10.5 mm; (xi) ≤ 10.0 mm; (xii) ≤ 9.0 mm; (xiii) ≤ 8, 0 mm; (xiv) ≤ 7, 0 mm; (xv) ≤ 6, 0 mm; (xvi) ≤ 5.0 mm; (xvii) ≤ 4.0 mm; (xviii) ≤ 3.0 mm; (xix) ≤ 2.0 mm; (xx) ≤ 1.0 mm; (xxi) 0-2 mm; (xxii) 2-4 mm; (xxiii) 4-6 mm; (xxiv) 6-8 mm; and (xxv) 8-10 mm. Massenspektrometer nach Anspruch 4, bei dem die Elektrode, die die differentielle Pumpapertur bildet, eine interne Apertur von unterschiedlicher Größe bezüglich der anderen Elektroden, die die Ionenführung bilden, aufweist.Mass spectrometer according to claim 4, wherein the electrode, which forms the differential pump aperture, an internal aperture of different size with respect to other electrodes which form the ion guide comprises. Massenspektrometer nach Anspruch 7, bei der die Elektrode, die die differentielle Pumpapertur bildet, eine kleinere interne Apertur als die anderen Elektroden, die die Ionenführung bilden, aufweist.Mass spectrometer according to claim 7, wherein the electrode, which forms the differential pump aperture, a smaller internal one Aperture than the other electrodes forming the ion guide, having. Massenspektrometer nach Anspruch 4, bei der die Elektrode, die die differentielle Pumpapertur bildet, eine interne Apertur aufweist, die im wesentlichen die gleiche Größe aufweist wie die anderen Elektroden, die die Ionenführung bilden.Mass spectrometer according to claim 4, wherein the electrode, which forms the differential pump aperture, an internal aperture having substantially the same size as the other electrodes, the the ion guide form. Massenspektrometer nach Anspruch 4, bei dem die differentielle Pumpapertur eine Fläche bzw. einen Bereich aufweist, die bzw. der aus der Gruppe ausgewählt ist, die besteht aus: (i) ≤ 40 mm2; (ii) ≤ 35 mm2; (iii) ≤ 30 mm2; (iv) ≤ 25 mm2; (v) ≤ 20 mm2; (vi) ≤ 15 mm2; (vii) ≤ 10 mm2; and (viii) ≤ 5 mm2.The mass spectrometer of claim 4, wherein the differential pump aperture has an area selected from the group consisting of: (i) ≤ 40 mm 2 ; (ii) ≤ 35 mm 2 ; (iii) ≦ 30 mm 2 ; (iv) ≤ 25 mm 2 ; (v) ≦ 20 mm 2 ; (vi) ≤ 15 mm 2 ; (vii) ≤ 10 mm 2 ; and (viii) ≤ 5 mm 2 . Massenspektrometer nach einem der vorstehenden Ansprüche, bei dem die Ionenführung wenigstens 4, 5, 6, 7, 8, 9, 10, 20, 30, 40, 50, 60, 70, 80, 90, 100, 110, 120, 130, 140, 150, 160, 170, 180, 190 oder 200 Elektroden aufweist.Mass spectrometer according to one of the preceding claims, wherein the ion guide at least 4, 5, 6, 7, 8, 9, 10, 20, 30, 40, 50, 60, 70, 80, 90, 100, 110, 120, 130, 140, 150, 160, 170, 180, 190 or 200 electrodes having. Massenspektrometer nach einem der vorstehenden Ansprüche, bei dem der Druck in der Eingangsvakuumkammer ausgewählt ist aus der Gruppe, die besteht aus: (i) ≥ 0,5 mbar; (ii) ≥ 0,7 mbar; (iii) ≥ 1,0 mbar; (iv) ≥ 1,3 mbar; (v) ≥ 1,5 mbar; (vi) ≥ 2,0 mbar; (vii) ≥ 5,0 mbar; (viii) ≥ 10,0 mbar; (ix) 1–5 mbar; (x) 1–2 mbar; or (xi) 0,5–1,5 mbar.Mass spectrometer according to one of the preceding claims, wherein the pressure in the inlet vacuum chamber is selected from the group consisting of consists of: (i) ≥ 0.5 mbar; (ii) ≥0.7 mbar; (iii) ≥ 1.0 mbar; (iv) ≥ 1.3 mbar; (v) ≥ 1.5 mbar; (vi) ≥ 2.0 mbar; (vii) ≥ 5.0 mbar; (viii) ≥ 10.0 mbar; (ix) 1-5 mbar; (x) 1-2 mbar; or (xi) 0.5-1.5 mbar. Massenspektrometer nach einem der vorstehenden Ansprüche, bei dem der Druck in der Zwischenvakuumkammer ausgewählt ist aus der Gruppe, die besteht aus: (i) 10–3 – 10–2 mbar; (ii) ≥ 2 × 10–3 mbar; (iii) ≥ 5 × 10–3 mbar; (iv) ≤ 10–2 mbar; (v) 10–3 – 5 × 10–3 mbar; or (vi) 5 × 10–3 – 10–2 mbar.A mass spectrometer according to any one of the preceding claims, wherein the pressure in the intermediate vacuum chamber is selected from the group consisting of: (i) 10 -3 - 10 -2 mbar; (ii) ≥ 2 × 10 -3 mbar; (iii) ≥ 5 × 10 -3 mbar; (iv) ≤10 -2 mbar; (v) 10 -3 - 5 x 10 -3 mbar; or (vi) 5 × 10 -3 - 10 -2 mbar. Massenspektrometer nach einem der vorstehenden Ansprüche, bei denen die Länge der Ionenführung ausgewählt ist aus der Gruppe, die besteht aus: (i) ≥ 100 mm; (ii) ≥ 120 mm; (iii) ≥ 150 mm; (iv) 130 ± 10 mm; (v) 100–150 mm; (vi) ≤ 160 mm; (vii) ≤ 180 mm; (viii) ≤ 200 mm; (ix) 130–150 mm; (x) 120–180 mm; (xi) 120–140 mm; (xii) 130 mm ± 5, 10, 15, 20, 25 oder 30 mm; (xiii) 50–300 mm; (xiv) 150–300 mm; (xv) ≥ 50 mm; (xvi) 50–100 mm; (xvii) 60–90 mm; (xviii) ≥ 75 mm; (xix) 50–75 mm; (xx) 75–100 mm; (xxi) etwa 26 cm; (xxii) 24–28 cm; (xxiii) 20–30 cm; oder (xxiv) > 30 cm.Mass spectrometer according to one of the preceding claims, wherein which the length the ion guide selected is from the group consisting of: (i) ≥ 100 mm; (ii) ≥120 mm; (iii) ≥ 150 mm; (iv) 130 ± 10 mm; (v) 100-150 mm; (vi) ≤ 160 mm; (vii) ≤ 180 mm; (viii) ≤ 200 mm; (ix) 130-150 mm; (x) 120-180 mm; (xi) 120-140 mm; (xii) 130 mm ± 5, 10, 15, 20, 25 or 30 mm; (xiii) 50-300 mm; (xiv) 150-300 mm; (xv) ≥50 mm; (xvi) 50-100 mm; (xvii) 60-90 mm; (xviii) ≥75 mm; (xix) 50-75 mm; (xx) 75-100 mm; (xxi) about 26 cm; (xxii) 24-28 cm; (xxiii) 20-30 cm; or (xxiv)> 30 cm. Massenspektrometer nach einem der vorstehenden Ansprüche, bei dem die Ionenquelle eine Atmosphärendruckionenquelle ist.Mass spectrometer according to one of the preceding claims, wherein the ion source is an atmospheric pressure ion source is. Massenspektrometer nach Anspruch 15, bei dem die Ionenquelle eine Elektrospray-Ionenquelle ("ES") oder eine Atmosphärendruck-Chemische-Ionisations-Ionenquelle ("APCI") ist.A mass spectrometer according to claim 15, wherein said Ion source an electrospray ion source ("ES") or an atmospheric pressure chemical ionization ion source ("APCI"). Massenspektrometer nach einem der Ansprüche 1 bis 14, bei dem die Ionenquelle eine matrixunterstützte Laserdesorptions-Ionisations-Ionenquelle ("MALDI") ist.Mass spectrometer according to one of claims 1 to 14, wherein the ion source is a matrix assisted laser desorption ionization ion source ("MALDI") is. Massenspektrometer nach Anspruch 15, bei dem die Ionenquelle eine induktiv gekoppelte Plasmaionenquelle ("ICP") ist.A mass spectrometer according to claim 15, wherein said Ion source is an inductively coupled plasma ion source ("ICP"). Massenspektrometer nach einem der vorstehenden Ansprüche, bei dem Massenanalysator ausgewählt ist aus der Gruppe, die aufweist: (i) Flugzeit-Massenanalysator, vorzugsweise ein Orthogonal-Flugzeit-Massenanalysator; (ii) Quadrupol-Massenanalysator; und (iii) Quadrupol-Ionenfalle.Mass spectrometer according to one of the preceding claims, wherein selected for the mass analyzer is from the group comprising: (i) time of flight mass analyzer, preferably an orthogonal time-of-flight mass analyzer; (ii) quadrupole mass analyzer; and (iii) quadrupole ion trap. Massenspektrometer nach einem der vorstehenden Ansprüche, bei dem wenigstens 90%, vorzugsweise 100% der Anzahl der Elektroden eingerichtet sind, um auf im wesentlichen dem gleichen Gleichstromreferenzpotential gehalten zu werden, um das eine Wechselspannung, die auf die Elektroden gegeben wird, überlagert wird.A mass spectrometer according to any one of the preceding claims, wherein at least 90%, preferably 100%, of the number of electrodes is arranged to be substantially the same DC reference potential to be held in order to superimpose the one AC voltage applied to the electrodes. Massenspektrometer mit einer Eingangsvakuumkammer; einer Analysatorvakuumkammer mit einem Massenanalysator; und einer Zwischenvakuumkammer, wobei die Zwischenvakuumkammer angeordnet ist zwischen der Eingangsvakuumkammer und der Analysatorvakuumkammer; dadurch gekennzeichnet dass das Massenspektrometer ferner eine Ionenführung aufweist mit wenigstens fünf Elektroden mit Aperturen, wobei die Ionenführung sich von der Eingangsvakuumkammer zu der Zwischenvakuumkammer erstreckt.Mass spectrometer with an input vacuum chamber; one Analyzer vacuum chamber with a mass analyzer; and one Intermediate vacuum chamber, wherein the Intermediate vacuum chamber arranged is between the input vacuum chamber and the analyzer vacuum chamber; thereby marked that the mass spectrometer further comprises an ion guide with at least five Electrodes with apertures, the ion guide extending from the input vacuum chamber extends to the intermediate vacuum chamber. Massenspektrometer nach Anspruch 21, bei dem eine Elektrode der Ionenführung eine differentielle Pumpapertur zwischen der Eingangsvakuumkammer und der Zwischenvakuumkammer bildet.A mass spectrometer according to claim 21, wherein a Electrode of the ion guide a differential pump aperture between the input vacuum chamber and the intermediate vacuum chamber forms. Massenspektrometer nach einem der Ansprüche 21 oder 22, ferner mit Mitteln zur Versorgung bzw. Beaufschlagung der Elektroden mit einer Wechselspannung.Mass spectrometer according to one of claims 21 or 22, further comprising means for supplying the electrodes with an alternating voltage. Massenspektrometer mit einer Inter-Vakuumkammer-Ionenführung, wobei die Inter-Vakuumkammer-Ionenführung eine Länge > 5 cm aufweist; dadurch gekennzeichnet dass die Ionenführung eine Anzahl von Elektroden mit Aperturen aufweist.Mass spectrometer with  an inter-vacuum chamber ion guide, wherein the inter-vacuum chamber ion guide a Length> 5 cm;  thereby marked that  the ion guide has a number of electrodes having apertures. Massenspektrometer nach Anspruch 24, bei dem die Ionenführung wenigstens 10, 20, 30, 40, 50, 60, 70, 80, 90, 100, 120, 130, 140, 150, 160, 170, 180, 190 oder 200 Elektroden aufweist.A mass spectrometer according to claim 24, wherein said ion guide at least 10, 20, 30, 40, 50, 60, 70, 80, 90, 100, 120, 130, 140, 150, 160, 170, 180, 190 or 200 electrodes. Massenspektrometer nach Anspruch 25, bei dem wenigstens 5, 10, 15, 20, 25, 30, 35, 40, 45, 50 oder 100 der Elektroden in einer Eingangsvakuumkammer angeordnet sind.A mass spectrometer according to claim 25, wherein at least 5, 10, 15, 20, 25, 30, 35, 40, 45, 50 or 100 of the electrodes in FIG an input vacuum chamber are arranged. Massenspektrometer nach Anspruch 26, bei dem wenigstens 5, 10, 15, 20, 25, 30, 35, 40, 45 oder 50 oder 100 der Elektroden in einer Zwischenvakuumkammer angeordnet sind, wobei die Zwischenvakuumkammer zwischen der Eingangsvakuumkammer und einer Analysatorvakuumkammer mit einem Massenanalysator angeordnet ist, wobei die Eingangsvakuumkammer und die Zwischenvakuumkammer separiert bzw. getrennt sind durch eine Inter-Kammer differentielle Pumpapertur oder Öffnung.The mass spectrometer of claim 26, wherein at least 5, 10, 15, 20, 25, 30, 35, 40, 45 or 50 or 100 of the electrodes are arranged in an intermediate vacuum chamber, wherein the intermediate vacuum chamber between the input vacuum chamber and an analyzer vacuum chamber is arranged with a mass analyzer, wherein the input vacuum chamber and the intermediate vacuum chamber are separated by an inter-chamber differential pump aperture or aperture. Massenspektrometer nach Anspruch 27, bei dem eine Elektrode der Ionenführung eine Inter-Kammer-Apertur oder -Öffnung bildet.A mass spectrometer according to claim 27, wherein a Electrode of the ion guide an inter-chamber aperture or aperture forms. Massenspektrometer mit einer Ionenquelle, die ausgewählt ist aus der Gruppe, die aufweist: (i) eine Elektrospray-Ionenquelle ("ES"); (ii) eine Atmosphärendruck-Chemische-Ionisations-Ionenquelle ("APCI"); (iii) eine matrixunterstützte Laserdesorptionsionisationsionenquelle ("MALDI"); und (iv) eine induktiv gekoppelte Plasmaionenquelle ("ICP"); einer Eingangsvakuumkammer; einer Zwischenvakuumkammer, die von der Eingangsvakuumkammer mittels einer differentiellen Pumpapertur getrennt ist, und einem Massenanalysator, vorzugsweise einem Flugzeit-Massenanalysator oder einem Quadrupol-Massenanalysator, der in einer Analysator-Vakuumkammer angeordnet ist; und einer Ionenführung, die die Eingangsvakuumkammer und die Zwischenvakuumkammer überspannt bzw. umfasst; dadurch gekennzeichnet, dass die Ionenführung ≥ 10 Elektroden aufweist, die Aperturen aufweisen, wobei eine der Elektroden die differentielle Pumpapertur bildet.Mass spectrometer with an ion source that is selected from the group that has: (i) an electrospray ion source ("IT"); (ii) an atmospheric pressure chemical ionization ion source ( "APCI"); (iii) a matrix assisted laser desorption ionization ion source ( "MALDI"); and (Iv) an inductively coupled plasma ion source ("ICP"); one Input vacuum chamber; an intermediate vacuum chamber provided by the Input vacuum chamber separated by a differential pumping aperture is and a mass analyzer, preferably a Time of Flight mass analyzer or a quadrupole mass analyzer operating in an analyzer vacuum chamber is arranged; and an ion guide, which spans the input vacuum chamber and the intermediate vacuum chamber or includes; characterized in that the ion guide ≥ 10 electrodes having apertures, wherein one of the electrodes differential pump aperture forms. Massenspektrometer mit einer Nur-Wechselstrom-Ionenführung mit einer Anzahl von Elektroden mit Aperturen, die zwei Vakuumkammern überspannen, wobei die Vakuumkammer eine Vakuumpumpe aufweist zum Pumpen von Gas aus der Vakuumkammer, so dass ein partielles Vakuum in der Vakuumkammer erzeugt wird.Mass spectrometer with an AC-only ion guide with a number of electrodes with apertures spanning two vacuum chambers, wherein the vacuum chamber comprises a vacuum pump for pumping Gas from the vacuum chamber, leaving a partial vacuum in the vacuum chamber is produced. Massenspektrometer nach Anspruch 30, bei dem eine differentielle Pumpapertur zwischen den Vakuumkammern gebildet wird durch eine Elektrode der Ionenführung, wobei die differentielle Pumpapertur eine Fläche bzw. einen Bereich ≤ 20 mm2, vorzugsweise ≤ 15 mm2, weiter vorzugsweise ≤ 10 mm2 aufweist.The mass spectrometer of claim 30, wherein a differential pumping aperture between the vacuum chambers is formed by an electrode of the ion guide, the differential pumping aperture having an area ≤ 20 mm 2 , preferably ≤ 15 mm 2 , more preferably ≤ 10 mm 2 . Massenspektrometer mit einer Eingangsvakuumkammer, wobei die Eingangsvakuumkammer einen Port bzw. Anschluß aufweist, der mit einer Vakuumpumpe verbunden ist; einer Zwischenvakuumkammer, wobei die Zwischenvakuumkammer einen Port bzw. Anschluss aufweist, der mit einer weiteren Vakuumpumpe verbunden ist; und einer Interkammeröffnung oder- Apertur, die die beiden Vakuumkammern trennt; dadurch gekennzeichnet dass die Interkammeröffnung gebildet wird durch eine Elektrode einer Ionenführung, die aus einer Anzahl von Elektroden mit Aperturen gebildet ist.Mass spectrometer with an input vacuum chamber, wherein the input vacuum chamber has a port, the connected to a vacuum pump; an intermediate vacuum chamber, wherein the intermediate vacuum chamber has a port, the connected to another vacuum pump; and an inter-chamber opening or Aperture separating the two vacuum chambers; characterized that the interkammeröffnung is formed by an electrode of an ion guide, which consists of a number of Electrodes formed with apertures. Massenspektrometer mit einer Ionenquelle; einer Eingangsvakuumkammer; einer Zwischenvakuumkammer; und einer Nur-Wechselstrom-Ionenführung, die in der Eingangsvakuumkammer angeordnet ist und sich zwischen der Eingangsvakuumkammer und der Zwischenvakuumkammer erstreckt; dadurch gekennzeichnet, dass die Ionenführung eine Anzahl von Elektroden aufweist, die jeweils im wesentlichen ähnliche bzw. gleichartige interne Aperturen aufweisen, und wobei wenigstens eine Elektrode der Ionenführung eine differentielle Pumpapertur zwischen den Vakuumkammern bildet.Mass spectrometers with an ion source; an input vacuum chamber; an intermediate vacuum chamber; and an AC-only ion guide disposed in the input vacuum chamber and extending between the input vacuum chamber and the intermediate vacuum chamber; characterized in that the ion guide comprises a number of electrodes, each having substantially similar internal apertures, and wherein at least one electrode of the ion guide forms a differential pumping aperture between the vacuum chambers. Massenspektrometer mit wenigstens zwei, vorzugsweise drei oder vier, Vakuumkammern, wobei die Vakuumkammern vorzugsweise mit einer Turbovakuumpumpe mit getrenntem bzw. aufgeteiltem Fluss verbunden sind; und einer im wesentlichen kontinuierlichen Ionenführung, die sich zwischen den Vakuumkammern erstreckt, wobei die Ionenführung eine Anzahl von Elektroden mit Aperturen aufweist.Mass spectrometer with at least two, preferably three or four, vacuum chambers, the vacuum chambers preferably with a turbovacuum pump with separate or split flow are connected; and a substantially continuous one Ion guide, the extends between the vacuum chambers, wherein the ion guide a Number of electrodes having apertures. Massenspektrometer mit einer im wesentlichen kontinuierlichen Ionenführung, vorzugsweise mit einer Anzahl von Elektroden mit Aperturen, die sich durch drei oder mehr Vakuumkammern erstreckt bzw. erstrecken.Mass spectrometer with a substantially continuous Ion guide, preferably with a number of electrodes with apertures that are extend through three or more vacuum chambers. Massenspektrometer nach einem der Ansprüche 1 bis 20, ferner mit einer Wechselspannungs-Leistungsversorgung zur Versorgung bzw. Beaufschlagung der Elektroden mit einer Wechselspannung.Mass spectrometer according to one of claims 1 to 20, further comprising an AC power supply for supply or Applying to the electrodes with an alternating voltage. Massenspektrometer nach Anspruch 36, bei dem Elektroden in der Eingangsvakuumkammer angeordnet bzw. eingerichtet sind, um mit einer Wechselspannung mit einer Amplitude beaufschlagt werden, und Elektroden in der Zwischenvakuumkammer eingerichtet sind, um mit einer Wechselspannung mit einer unterschiedlichen Amplitude beaufschlagt zu werden.A mass spectrometer according to claim 36, wherein electrodes in the input vacuum chamber are arranged to be applied with an alternating voltage with an amplitude, and electrodes in the intermediate vacuum chamber are set up to with an alternating voltage of a different amplitude to be charged. Massenspektrometer nach Anspruch 37, bei dem die Amplitude der Wechselspannung, mit der die Elektroden in der Eingangsvakuumkammer beaufschlagt werden, kleiner als die Amplitude der Wechselspannung ist, mit der die Elektroden in der Zwischenvakuumkammer beaufschlagt werden, vorzugsweise wenigstens 100 V kleiner.A mass spectrometer according to claim 37, wherein the amplitude the AC voltage with which the electrodes in the input vacuum chamber be applied, smaller than the amplitude of the AC voltage is, which is applied to the electrodes in the intermediate vacuum chamber are, preferably at least 100 V smaller. Massenspektrometer nach einem der Ansprüche 37 oder 38, bei dem die Amplitude der Wechselspannung, mit der die Elektroden in der Eingangsvakuumkammer beaufschlagt werden, im Bereich 200 – 400 V liegt, und/oder die Amplitude der Wechselspannung, mit der die Elektroden in der Zwischenvakuumkammer beaufschlagt werden, im Bereich 400 – 600 V liegt.Mass spectrometer according to one of claims 37 or 38, in which the amplitude of the AC voltage with which the electrodes be acted upon in the input vacuum chamber, in the range 200 - 400 V. is, and / or the amplitude of the AC voltage with which the electrodes be acted upon in the intermediate vacuum chamber, in the range 400-600 V. lies.
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