DE20122015U1 - Print template e.g. for SMD processes, has thin glass disc outer edge firmly joined to frame - Google Patents

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Abstract

A printing template, especially for application with equipping of circuit boards with components, has a template (4) consisting of a flexible thin-glass disc which is tensioned by a sturdy frame (2) and has openings (26) corresponding to a given print structure.

Description

Die Erfindung bezieht sich auf eine Druckschablone, insbesondere zur Verwendung bei der Leiterplattenbestückung oder Baugruppenherstellung oder beim Wafer-Bumping, gemäß dem Oberbegriff des Anspruchs 1.The invention relates to a Printing template, in particular for use in PCB assembly or Module manufacturing or wafer bumping, according to the generic term of claim 1.

Eine derartige, z. B. aus DE 297 08 329 U1 bekannte Druckschablone wird üblicherweise in Verbindung mit dem sogenannten SMD-Verfahren (Surface mounted device) eingesetzt, bei dem Leiterplatten mit elektronischen Bauteilen bestückt werden. Dazu werden die Leiterplatten zunächst mittels Schablonendrucktechnik gemäß einer vorgegebenen Druckstruktur mit einer Druck- oder Lotpaste oder mit einem Kleber versehen. Dabei wird die Lotpaste bzw. eine Klebepaste mittels einer sogenannten Rakel durch der Druckstruktur entsprechende Öffnungen der Druckschablone hindurch auf die Leiterplatte aufgebracht, so dass dort Löt- oder Klebepunkte, sogenannte Pads oder Lotpastendepots gebildet sind, in die die Bauteile mittels einer Bestückungsmaschine eingesetzt werden.Such, e.g. B. from DE 297 08 329 U1 Known printing stencil is usually used in conjunction with the so-called SMD process (surface mounted device), in which printed circuit boards are equipped with electronic components. For this purpose, the printed circuit boards are first provided with a printing or solder paste or with an adhesive using stencil printing technology in accordance with a predetermined printing structure. The solder paste or an adhesive paste is applied by means of a so-called squeegee through openings in the printing stencil corresponding to the printing structure to the printed circuit board, so that soldering or adhesive dots, so-called pads or solder paste depots, are formed there, into which the components are inserted by means of an equipping machine.

Ein hierfür eingesetztes Siebdruck-Sieb ist auch aus der DE 44 38 281 C1 bekannt. Das als Druckschablone wirksame Siebdruck-Sieb besteht dabei im Wesentlichen aus einem formsteifen Rahmen, auf den ein feines Metalldrahtgewebe unter Vorspannung aufgeklebt wird. Anschließend wird im mittleren Bereich des Metalldrahtgewebes eine das Druckmuster aufweisende dünnwandige Metallschablone mit deren Außenrand am Metalldrahtgewebe vorzugsweise mittels eines elektrischen Rollschweißverfahrens befestigt. In einem weiteren Verfahrensschritt wird der von der Metallschablone überdeckte mittlere Bereich des Metalldrahtgewebes entlang der Verbindungskanten ausgeschnitten.A screen printing screen used for this is also from the DE 44 38 281 C1 known. The screen printing screen, which acts as a printing template, essentially consists of a dimensionally stable frame to which a fine metal wire mesh is glued under pre-tension. Then, in the central area of the metal wire mesh, a thin-walled metal template with the printing pattern is attached with its outer edge to the metal wire mesh, preferably by means of an electrical roller welding process. In a further method step, the central area of the metal wire mesh covered by the metal template is cut out along the connecting edges.

Nachteilig bei derartigen Druckschablonen ist, dass bei deren bestimmungsgemäßem Gebrauch zur Leiterplattenbestückung oder Baugruppenherstellung die Löt- bzw. Klebepunkte oder Pastendepots an den durch das Druckmuster be stimmten Öffnungsrändern der als Schablonenmaterial verwendeten Metallfolie anhaften. Dies wiederum führt häufig zu einem Aus- oder Einreißen der Außenränder der auf die Leiterplatte aufgebrachten Pads beim Abheben der Druckschablone, so dass dann die Anforderungen hinsichtlich des gewünschten konturenscharfen Druckbildes auf der Leiterplatte nicht erfüllt werden.A disadvantage of such stencils is that that when used as intended for PCB assembly or assembly manufacturing the solder or glue dots or paste depots on the through the print pattern certain opening edges of the Adhere metal foil used as template material. this in turn often leads to tearing or tearing the outer edges of the on the pads attached to the circuit board when the printing stencil is lifted off, so then the requirements regarding the desired sharp-edged print image on the circuit board cannot be met.

Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, eine für die Leiterplattenbestückung oder Baugruppenherstellung und/oder für das Wafer-Bumping besonders geeignete Druckschablone anzugeben, mit der unter Vermeidung der genannten Nachteile ein konturscharfes Druckfeld erreicht wird.The invention has for its object a for the PCB assembly or module production and / or especially for wafer bumping specify a suitable printing template, with the avoidance of the Disadvantages mentioned a sharply defined pressure field is achieved.

Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß gelöst durch die Merkmale des Anspruchs 1. Dazu wird als Schablone oder als Schablonenmaterial eine Dünnglasscheibe verwendet. Eine solche, aus Dünnglas mit einer Dicke von 20μm bis 300μm, insbesondere 50μm bis 200μm, vorzugsweise 70μm bis 150μm, bestehende Dünnglasschablone ist für die Druckschablonenfertigung besonders geeignet und hierfür ausreichend flexibel. Unter Dünnglasscheibe wird auch ein mit einer Kunststofffolie laminiertes Dünnglas verstanden.According to the invention, this object is achieved by the features of claim 1. This is used as a template or as template material a thin glass pane used. One made of thin glass with a thickness of 20μm up to 300μm, especially 50μm up to 200μm, preferably 70 μm up to 150μm, existing thin glass template is for stencil production is particularly suitable and sufficient for this flexible. Under thin glass is also understood to be a thin glass laminated with a plastic film.

Die Erfindung geht dabei von der Erkenntnis aus, dass sich eine auch als Dünnglas bezeichnete, an sich z. B. aus der DE 199 18 942 A1 bekannte Dünnglasscheibe insbesondere mittels eines Lasers besonders glattwandig bearbeiten lässt, so dass ein Aus- bzw. Einreißen der Außenränder der Pastendepots auf der Leiterplatte beim Abheben der Druckschablone verhindert wird. Dabei sind die Öffnungskanten des Druckmusters bei Verwendung einer Dünnglasschablone besonders glatt und weisen daher eine im Vergleich zu einer Metallfolie entsprechend geringere Innenwandrauhigkeit auf. Somit wird gegenüber einer Schablone in Form einer Metallfolie bei Verwendung einer Dünnglasscheibe ein besonders präzises Druckbild mit konturenscharfen Pastendepots auf der Leiterplatte erreicht.The invention is based on the knowledge that a thin glass, also known as z. B. from the DE 199 18 942 A1 Known thin glass pane can be processed particularly smooth-walled, in particular by means of a laser, so that tearing or tearing of the outer edges of the paste depots on the printed circuit board is prevented when the printing stencil is lifted off. The opening edges of the print pattern are particularly smooth when using a thin glass template and therefore have a correspondingly lower inner wall roughness compared to a metal foil. Compared to a stencil in the form of a metal foil, a particularly precise printed image with sharply contoured paste depots is achieved on the printed circuit board when using a thin glass pane.

Gegenüber einer Kunststofffolie zeichnet sich die Verwendung einer flexiblen Dünnglasscheibe als Schablonenmaterial insbesondere durch deren Dimensionbeständigkeit sowie Formstabilität und damit durch deren Verzugsfreiheit aus. Dies ist besonders vorteilhaft beim Einbringen der Öffnungen oder Löcher des Druckbildes oder -musters in die Schablone, da sich die Dünnglasscheibe gegenüber einer Kunststofffolie nicht verzieht. Außerdem ist die Dünnglasscheibe antistatisch, während sich eine Kunststofffolie durch die Rakelbewegung beim Druckvorgang statisch aufladen würde. Zudem läßt sich bei Verwendung einer gegen praktisch alle Reinigungsmittel resistenten Dünnglasscheibe als Schablone diese besonders gut reinigen.Compared to a plastic film stands out the use of a flexible thin glass pane as a stencil material, in particular due to its dimensional stability as well as dimensional stability and thus by their freedom from default. This is particularly beneficial when introducing the openings or holes of the printed image or pattern in the template, since the thin glass pane towards one Plastic film not warped. In addition, the thin glass pane antistatic while a plastic film due to the squeegee movement during the printing process would charge statically. In addition, when using a resistant to practically all cleaning agents Thin glass pane as a template, clean it particularly well.

Die Dünnglasschablone kann mit deren Außenwand direkt mit dem Rahmen verbunden und dabei auf diesem vorzugsweise mittels eines UV-aushärtenden Klebers befestigt sein. Alternativ kann die Dünnglasschablone auch mit deren Außenrand mit dem Innenrand eines im mittleren Bereich ausgeschnittenen Metallgewebes unlösbar verbunden sein, wobei das Metalldrahtgewebe mit Vorspannung außenrandseitig auf dem Rahmen befestigt ist. Sowohl die Verbindung zwischen der Dünnglasschablone und dem Gewebe als auch die Verbindung zwischen diesem und dem Rahmen kann eine Klebeverbindung sein. Letztere ist jedoch zweckmäßigerweise eine mittels Laser hergestellte Schweißverbindung. Insbesondere bei einer unmittelbaren Verbindung der Dünnglasschablone mit dem Rahmen der Druckschablone können die Rahmenecken freigeschnitten sein. Dadurch werden Aufwölbungen der Dünnglasschablone im Bereich der Rahmenecken vermieden.The thin glass template can be used with their outer wall directly connected to the frame and preferably on it by means of a UV-curing Glue attached. Alternatively, the thin glass template can also be used outer edge with the inner edge of a metal mesh cut out in the middle unsolvable be connected, the metal wire mesh with bias on the outer edge is attached to the frame. Both the connection between the Thin glass template and the fabric as well as the connection between it and the frame can be an adhesive connection. However, the latter is expedient a welded connection made by laser. Especially at a direct connection of the thin glass template to the frame the printing template the frame corners must be cut free. This will cause bulges the thin glass template avoided in the area of the frame corners.

Der Rahmen der Druckschablone kann auch als Spannrahmen, insbesondere als Wechselspannrahmen, mit einer Haltestruktur ausgeführt sein. Bei dieser Ausführungsform ist die Dünnglasschablone zweckmäßigerweise außenrandseitig mit einem Metall- oder Stahlfolienrahmen fest, z. B. durch Verkleben, verbunden. Dieser ist dann mit einer Haltestruktur versehen, die in eine hierzu komplementäre Gegenstruktur am Spannrahmen eingreift. Zweckmäßigerweise ist dazu der Außenrand des Metall- bzw. Stahlfolienrahmens umlaufend mit einer Vielzahl von beispielsweise schlitzartigen Öffnungen nach Art einer Randlochung versehen, die von auf einer Rahmenoberseite angeordneten und mit diesen fluchtenden Stiften durchsetzt werden. Der Rahmen selbst kann einteilig oder zweiteilig ausgeführt sein. Bei einer zweiteiligen Rahmenausführung weist ein Tragrahmenteil die die komplementären Randlochöffnungen durchgreifenden Stifte auf, die von einem weiteren Rahmenteil abgedeckt sind.The frame of the printing template can also be used as a clamping frame, in particular as an alternating clamping device frame, with a support structure. In this embodiment, the thin glass template is expediently fixed on the outer edge with a metal or steel foil frame, for. B. connected by gluing. This is then provided with a holding structure which engages in a complementary counter structure on the tenter frame. For this purpose, the outer edge of the metal or steel foil frame is expediently provided with a multiplicity of, for example, slot-like openings in the manner of an edge perforation, which are penetrated by pins arranged on the top of the frame and aligned with them. The frame itself can be made in one or two parts. In the case of a two-part frame design, a support frame part has the pins which pass through the complementary edge hole openings and are covered by a further frame part.

Nachfolgend werden Ausführungsbeispiele der Erfindung anhand einer Zeichnung näher erläutert. Darin zeigen:Exemplary embodiments of the Invention explained in more detail with reference to a drawing. In it show:

1 in perspektivischer Darstellung eine Druckschablone mit einem mit einer Dünnglasschablone bespannten Rahmen, 1 a perspective view of a printing template with a frame covered with a thin glass template,

2 ausschnittsweise eine Druckschablone mit Metalldrahtgewebe und Dünnglasschablone, und 2 excerpts a printing stencil with metal wire mesh and thin glass stencil, and

3 ausschnittsweise in perspektivischer Darstellung eine Druckschablone mit einem Spannrahmen und einer über einen Metallfolienrahmen gehaltenen Dünnglasschablone. 3 a perspective view of a detail of a printing stencil with a tensioning frame and a thin glass stencil held over a metal foil frame.

Einander entsprechende Teile sind in allen Figuren mit den gleichen Bezugszeichen versehen.Corresponding parts are provided with the same reference numerals in all figures.

1 zeigt eine Druckschablone 1 mit einem Rahmen 2 und einer Dünnglasschablone 4 zur vorteilhaften Verwendung bei der Baugruppenherstellung, Leiterplattenbestückung und/oder beim Wafer-Bumping. Die Schablone 4 ist ein flexibles Dünnglas oder eine Dünnglasscheibe, z.B. ein Borosilicatglas oder ein Kalk-Natron-Glas, deren Dicke etwa 20μm bis 300μm, vorzugsweise 70μm bis 150μm, beträgt. 1 shows a printing template 1 with a frame 2 and a thin glass template 4 for advantageous use in module manufacture, PCB assembly and / or wafer bumping. The template 4 is a flexible thin glass or a thin glass pane, for example a borosilicate glass or a soda-lime glass, the thickness of which is approximately 20 μm to 300 μm, preferably 70 μm to 150 μm.

Der beispielsweise aus Aluminium oder Edelstahl bestehende Rahmen 2 ist aus in den Rahmenecken 6 miteinander fest verbundenen, vorzugsweise verschweißten, und die vier Rahmenseiten 8 bildenden Rohrprofilen oder Vierkantrohren zu einer geschlossenen, rechteckförmigen oder quadratischen, formstabilen Rahmenkontur zusammengesetzt.The frame made of aluminum or stainless steel, for example 2 is out in the frame corners 6 firmly connected, preferably welded, and the four frame sides 8th forming tubular profiles or square tubes to form a closed, rectangular or square, dimensionally stable frame contour.

Wie in 1 an einer Rahmenecke 6 gestrichelt angedeutet, können diese von den entsprechenden Ecken der Dünnglasschablone 4 annähernd vollständig überdeckt oder freigeschnitten sein. Ein derartiger Freischnitt, vorzugsweise in Form eines 45°-Schnittes, ist insbesondere zweckmäßig bei einer unmittelbaren Befestigung der Dünnglasschablone 4 auf den Rahmenaußen- oder Rahmenoberseiten 10. Durch den Freischnitt werden Aufwölbungen der Dünnglasschablone 4 im Bereich der Rahmenecken 6 vermieden.As in 1 on a frame corner 6 indicated by dashed lines, they can be drawn from the corresponding corners of the thin glass template 4 be almost completely covered or cut free. Such a free cut, preferably in the form of a 45 ° cut, is particularly expedient when the thin glass template is directly attached 4 on the outside or top of the frame 10 , The free cut removes bulges of the thin glass template 4 in the area of the frame corners 6 avoided.

Bei dieser Herstellungsvariante wird zweckmäßigerweise zunächst der Rahmen 2 vorgespannt, indem dessen an den Rahmenecken 6 miteinander verbundenen Rahmenseiten 8 konkav nach innen gewölbt werden, so dass sich insgesamt eine kissenartige Rahmenkontur ergibt. Die Dünnglasschablone 4 kann zunächst selbst unter eine gewisse Vorspannung gebracht werden, damit diese beim Befestigen möglichst plan auf den Außenseiten des Rahmens 2 aufliegt. Anschließend wird die Schablone 4 unmittelbar mit dem vorgespannten Rahmen 2 unlösbar verbunden. Dabei kann die Dünnglasschablone 4 den Rahmen 2 bzw. dessen Rahmenaußenseiten vollständig oder nur teilweise überdecken. Im Anschluss an die Befestigung der Dünnglasschablone 4 auf dem Rahmen 2 wird durch Lösen der Rahmenvorspannung die Dünnglasschablone 4 automatisch gespannt. Die Befestigung der Dünnglasschablone 4 auf dem Rahmen 2 erfolgt zweckmäßigerweise mittels einer Klebeverbindung, wobei aufgrund der Transparenz der Dünnglasschablone 4 auch im Wellenlängenbereich ultravioletten (UV) Lichtes ein UV-aushärtender Kleber verwendet werden kann.In this production variant, the frame is expediently first 2 biased by its on the frame corners 6 interconnected frame sides 8th be concavely curved inwards so that overall a cushion-like frame contour results. The thin glass template 4 can first be put under a certain preload so that it is as flat as possible on the outer sides of the frame 2 rests. Then the template 4 directly with the prestressed frame 2 inextricably linked. The thin glass template 4 the frame 2 or completely or only partially cover the outside of the frame. Following the attachment of the thin glass template 4 on the frame 2 the thin glass template is released by releasing the frame tension 4 automatically tensioned. The attachment of the thin glass template 4 on the frame 2 expediently takes place by means of an adhesive connection, the transparency of the thin glass template being used 4 a UV-curing adhesive can also be used in the wavelength range of ultraviolet (UV) light.

Wie in 2 anhand eines Ausschnitts einer derartigen Druckschablone 1 dargestellt ist, kann die Dünnglasschablone 4 auch mittelbar über ein Metalldraht- oder Kunststoffgewebe 12 mit dem Rahmen 2 fest verbunden sein. Während die Verbindung zwischen der Dünnglasschablone 4 und einem Innenrand 14 des Gewebes 12 wiederum zweckmäßigerweise eine Klebeverbindung 16 ist, ist zwischen dem Gewebe 12 und den Rahmenober- oder Außenseiten 10 vorteilhafterweise eine Laserschweißverbindung 18 vorgesehen. Auch bei dieser Variante kann wie derum im Bereich der Rahmenecken 6 ein Freischnitt vorgesehen sein, der in diesem Fall ein Gewebefreischnitt ist.As in 2 based on a section of such a printing template 1 is shown, the thin glass template 4 also indirectly via a metal wire or plastic mesh 12 with the frame 2 be firmly connected. During the connection between the thin glass template 4 and an inner edge 14 of the fabric 12 again expediently an adhesive connection 16 is is between the tissues 12 and the top or outside of the frame 10 advantageously a laser welded joint 18 intended. This variant can also be used in the area of the frame corners 6 a free cut can be provided, which in this case is a tissue free cut.

Bei der in 3 dargestellten Ausführungsform ist der Rahmen der Druckschablone 1 ein sogenannter Spannrahmen 2' mit einem Rahmengrundkörper 2a und einer Rahmenabdeckung 2b. Der Rahmengrundkörper 2a weist umlaufend eine Vielzahl von Stiften 20 oder dgl. auf. Diese durchsetzen korrespondierende und nach Art einer Randlochperforierung außenrandseitig vorgesehene Öffnungen 22 eines Metall- oder Stahlfolienrahmens 24, dessen Dicke etwa 150μm bis 250μm beträgt. Der Metall- bzw. Stahlfolienrahmen 24 ist innenrandseitig mit der Dünnglasschablone 4 fest verbunden, wobei die außenrandseitige Überdeckung oder Überlappung der Dünnglasschablone 4 mit dem Folienrahmen 24 etwa 10mm bis 30mm, zweckmäßigerweise 15mm bis 25mm beträgt. In diesem Überlappungsbereich ist wiederum vorzugsweise eine Klebeverbindung vorgesehen.At the in 3 The embodiment shown is the frame of the printing template 1 a so-called stenter 2 ' with a basic frame 2a and a frame cover 2 B , The frame body 2a has a variety of pens all around 20 or the like. These penetrate corresponding openings that are provided on the outside edge in the manner of an edge perforation 22 a metal or steel foil frame 24 , whose thickness is about 150μm to 250μm. The metal or steel foil frame 24 is on the inside edge with the thin glass template 4 firmly connected, the outer edge overlap or overlap of the thin glass template 4 with the foil frame 24 is about 10mm to 30mm, expediently 15mm to 25mm. In this overlap area, an adhesive connection is again preferably provided.

Die Abdeckung 2b kann an den Rahmengrundkörper oder Tragrahmen 2a angelenkt oder aber auch als separates Teil bereitgestellt sein. Auch kann die Abdekkung 2b entfallen, so dass dann bei der Bestückung einer Leiterplatte die dieser zugewandte Scheibenoberseite der Dünnglasschablone 4 eine durchgehend plane oder ebene Oberfläche der Druckschablone 1 darstellt.The cover 2 B can be attached to the frame base or support frame 2a articulated or provided as a separate part. The cover can also 2 B omitted, so that then the assembly of a printed circuit board facing the top of the thin glass template 4 a continuously flat or flat surface of the printing template 1 represents.

In 1 angedeutete, dem vorbestimmten Druckmuster 26 entsprechende Öffnungen der Druckschablone 1 werden vor oder im Anschluss an die Aufbringung der Dünnglasschablone 4 auf den Rahmen 2, vorteilhafterweise durch Laserbearbeitung, in die Dünnglasschablone 4 eingebracht.In 1 indicated, the predetermined print pattern 26 corresponding openings in the printing template 1 before or after the application of the thin glass template 4 on the frame 2 , advantageously by laser processing, in the thin glass template 4 brought in.

Bezugszeichenliste

1
Druckschablone
2
Rahmen
2'
Spannrahmen
4
Dünnglasschablone
6
Rahmenecke
8
Rahmenseite
10
Rahmenoberseite
12
Gewebe
14
Innenrand
16
Klebeverbindung
18
Schweißverbindung
20
Stift
22
Öffnung/Perforierung
24
Metall-/Stahlfolienrahmen
26
Druckmuster
LIST OF REFERENCE NUMBERS
1
stencil
2
frame
2 '
tenter
4
Thin glass template
6
frame corner
8th
frame side
10
Top border
12
tissue
14
inner edge
16
adhesive bond
18
welded joint
20
pen
22
Opening / perforation
24
Metal / steel foil frame
26
print pattern

Claims (6)

Druckschablone für pastöse Materialien zum strukturierten Beschichten von Leiterplatten, mit einer auf einen Rahmen (2) gespannten Schablone mit einer vorgebbaren Druckstruktur entsprechenden Öffnungen (26), dadurch gekennzeichnet, dass die Schablone aus einer flexiblen Dünnglasscheibe (4) mit einer Dicke von 20μm bis 300μm besteht.Printing stencil for pasty materials for the structured coating of printed circuit boards, with a on a frame ( 2 ) stretched template with a predeterminable print structure corresponding openings ( 26 ), characterized in that the template from a flexible thin glass pane ( 4 ) with a thickness of 20μm to 300μm. Druckschablone nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Öffnungen (26) mittels Laserbearbeitung in die Dünnglasscheibe (26) eingebracht sind.Printing stencil according to claim 1, characterized in that the openings ( 26 ) by means of laser processing in the thin glass pane ( 26 ) are introduced. Druckschablone nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass die Dünnglasscheibe (4) außenrandseitig mit dem Rahmen (2) unlösbar verbunden ist.Printing stencil according to claim 1 or 2, characterized in that the thin glass pane ( 4 ) on the outside edge with the frame ( 2 ) is inextricably linked. Druckschablone nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, dass die Dünnglasscheibe (4) über ein Gewebe (12) auf dem Rahmen (2) befestigt ist.Printing stencil according to one of Claims 1 to 3, characterized in that the thin glass pane ( 4 ) over a fabric ( 12 ) on the frame ( 2 ) is attached. Druckschablone nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, dass die Dünnglasscheibe (4) über einen mit dieser unlösbar verbundenen metallischen Folienrahmen (24) am Rahmen (2) gehalten ist.Printing stencil according to one of Claims 1 to 3, characterized in that the thin glass pane ( 4 ) via a metallic foil frame that is permanently connected to it ( 24 ) on the frame ( 2 ) is held. Druckschablone nach einem der Ansprüche 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, dass die Dünnglasscheibe (4) eine Dicke von 50μm bis 200μm, vorzugsweise 70μm bis 150μm, aufweist.Printing stencil according to one of Claims 1 to 5, characterized in that the thin glass pane ( 4 ) has a thickness of 50 μm to 200 μm, preferably 70 μm to 150 μm.
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JP7407884B2 (en) 2017-09-26 2024-01-04 理想科学工業株式会社 Frame and screen version

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