DE20000469U1 - Prüfkörper - Google Patents

Prüfkörper

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    • G01MEASURING; TESTING
    • G01BMEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B3/00Measuring instruments characterised by the use of mechanical techniques
    • G01B3/30Bars, blocks, or strips in which the distance between a pair of faces is fixed, although it may be preadjustable, e.g. end measure, feeler strip

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Claims (13)

1. Prüfkörper umfassend eine thermisch längenstabile Platte (1) aus Glaskeramik die mittig zwischen Ober- und Unterseite eine Mittelebene (M) definiert, wobei die Platte aufweist:
  • 1. eine Vielzahl von Kugelhaltern (3a, 3b, 3c, 3d etc.) die an der Platte befestigt sind
  • 2. eine Vielzahl von Kugeln (4a, 4b, 4c, 4d etc.), die an den Kugelhaltern befestigt sind und deren Kugelmittelpunkte sich im wesentlichen in einer Ebene befinden
dadurch gekennzeichnet, daß
  • 1. die Kugelhalter aller betreffenden Kugeln so an der Platte befestigt sind, daß eine thermisch bedingte Längenänderung der Kugelhalter eine Verschiebung der hieran befestigten Kugeln in dieselbe Richtung ergibt, wobei diese Richtung im wesentlichen parallel zur besagten Mittelebene ist und wobei die Kugelhalter alle denselben thermischen Längenausdehnungskoeffizienten aufweisen.
2. Prüfkörper nach Anspruch 1, wobei die Mittelpunkte der Kugeln im wesentlichen auf der besagten Mittelebene liegen.
3. Prüfkörper nach Ansprüchen 1-2, wobei alle Kugelhalter in Aussparungen (2a, 2b, 2c, 2d etc.) an der Platte befestigt sind.
4. Prüfkörper nach Anspruch 3, wobei die Aussparungen zylindrisch sind.
5. Prüfkörper nach Anspruch 4, wobei die Kugelhalter an die Wand der zylindrischen Aussparungen angeklebt sind.
6. Prüfkörper nach Anspruch 5, wobei die Kugelhalter aus Invar gefertigt sind.
7. Prüfkörper nach Ansprüchen 1-6, wobei an der Unterseite des Prüfkörpers wenigstens drei Füße (7a, 7b, 7c) jeweils an einem Fußaufnehmer (5a, 5b, 5c) befestigbar sind.
8. Prüfkörper nach Anspruch 7, wobei die Füße über einen Bajonettverschluß an den Fußaufnehmern befestigt sind.
9. Prüfkörper nach Anspruch 8, wobei als Bajonettverschluß entweder am Fußaufnehmer oder am Fuß ein Außengewinde (14) vorgesehen ist, das mit einem am jeweils anderen Teil vorgesehenen Innengewinde (8) zusammenwirkt, wobei sowohl das Außengewinde wie auch das Innengewinde in Längsrichtung des Gewindes Nuten (9, 15) aufweist, die das jeweilige Gewinde in Längsrichtung unterbrechen.
10. Prüfkörper nach Ansprüchen 7 bis 9, wobei die Füße etweder aus Invar oder aus CFK mit einem geringen thermischen Längenausdehnungskoeffizienten hergestellt sind.
11. Prüfkörper nach Ansprüchen 1-10, wobei das glaskeramische Material mehrere miteinander verleimte Glaskeramikschichten sind oder massive Glaskeramik ist.
12. Prüfkörper nach Ansprüchen 1 bis 11, wobei die Kugelhalter so ausgestaltet ist, daß sich bei Temperaturänderungen eine minimale oder gar keine Deformation der Kugelform ergibt.
13. Prüfkörper nach Anspruch 12, wobei die Kugeln jeweils eine Stiftbohrung aufweisen, die jeweils auf einen an den Kugelhaltern vorgesehenen Stift aufgeklebt ist.
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Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2007107324A1 (de) 2006-03-22 2007-09-27 Carl Zeiss Industrielle Messtechnik Gmbh Prüfkörper und verfahren zum einmessen eines koordinatenmessgerätes
EP2312261A1 (de) * 2009-10-09 2011-04-20 Dreier Lasermesstechnik GmbH Vorrichtung zur Überprüfung der Genauigkeit von Werkzeugmaschinen und Messeinrichtungen
CN107014329A (zh) * 2017-04-11 2017-08-04 合肥工业大学 用于便携关节式坐标测量机误差标定的3d标定场
DE102016204496A1 (de) * 2016-03-18 2017-09-21 Schaeffler Technologies AG & Co. KG Haltevorrichtung für mindestens einen sphärischen Körper

Cited By (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2007107324A1 (de) 2006-03-22 2007-09-27 Carl Zeiss Industrielle Messtechnik Gmbh Prüfkörper und verfahren zum einmessen eines koordinatenmessgerätes
EP2312261A1 (de) * 2009-10-09 2011-04-20 Dreier Lasermesstechnik GmbH Vorrichtung zur Überprüfung der Genauigkeit von Werkzeugmaschinen und Messeinrichtungen
US8516709B2 (en) 2009-10-09 2013-08-27 Dreier Lasermesstechnik Gmbh Apparatus for testing the accuracy of machine tools and measuring devices
DE102016204496A1 (de) * 2016-03-18 2017-09-21 Schaeffler Technologies AG & Co. KG Haltevorrichtung für mindestens einen sphärischen Körper
DE102016204496B4 (de) 2016-03-18 2021-10-28 Schaeffler Technologies AG & Co. KG Haltevorrichtung für mindestens einen sphärischen Körper
CN107014329A (zh) * 2017-04-11 2017-08-04 合肥工业大学 用于便携关节式坐标测量机误差标定的3d标定场
CN107014329B (zh) * 2017-04-11 2019-04-05 合肥工业大学 用于便携关节式坐标测量机误差标定的3d标定场

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