DE19955843B4 - Projektionssystem - Google Patents

Projektionssystem Download PDF

Info

Publication number
DE19955843B4
DE19955843B4 DE1999155843 DE19955843A DE19955843B4 DE 19955843 B4 DE19955843 B4 DE 19955843B4 DE 1999155843 DE1999155843 DE 1999155843 DE 19955843 A DE19955843 A DE 19955843A DE 19955843 B4 DE19955843 B4 DE 19955843B4
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
light
transformation
optics
light beam
projection system
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
DE1999155843
Other languages
English (en)
Other versions
DE19955843A1 (de
Inventor
Gertrud Blei
Dietrich Schmidt
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Jenoptik AG
Original Assignee
Carl Zeiss Jena GmbH
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Carl Zeiss Jena GmbH filed Critical Carl Zeiss Jena GmbH
Priority to DE1999155843 priority Critical patent/DE19955843B4/de
Publication of DE19955843A1 publication Critical patent/DE19955843A1/de
Application granted granted Critical
Publication of DE19955843B4 publication Critical patent/DE19955843B4/de
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H04ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
    • H04NPICTORIAL COMMUNICATION, e.g. TELEVISION
    • H04N5/00Details of television systems
    • H04N5/74Projection arrangements for image reproduction, e.g. using eidophor
    • H04N5/7416Projection arrangements for image reproduction, e.g. using eidophor involving the use of a spatial light modulator, e.g. a light valve, controlled by a video signal
    • H04N5/7458Projection arrangements for image reproduction, e.g. using eidophor involving the use of a spatial light modulator, e.g. a light valve, controlled by a video signal the modulator being an array of deformable mirrors, e.g. digital micromirror device [DMD]
    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B19/00Condensers, e.g. light collectors or similar non-imaging optics
    • G02B19/0004Condensers, e.g. light collectors or similar non-imaging optics characterised by the optical means employed
    • G02B19/0019Condensers, e.g. light collectors or similar non-imaging optics characterised by the optical means employed having reflective surfaces only (e.g. louvre systems, systems with multiple planar reflectors)
    • G02B19/0023Condensers, e.g. light collectors or similar non-imaging optics characterised by the optical means employed having reflective surfaces only (e.g. louvre systems, systems with multiple planar reflectors) at least one surface having optical power
    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B19/00Condensers, e.g. light collectors or similar non-imaging optics
    • G02B19/0033Condensers, e.g. light collectors or similar non-imaging optics characterised by the use
    • G02B19/0047Condensers, e.g. light collectors or similar non-imaging optics characterised by the use for use with a light source
    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B21/00Microscopes
    • G02B21/06Means for illuminating specimens
    • G02B21/08Condensers
    • G02B21/082Condensers for incident illumination only
    • HELECTRICITY
    • H04ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
    • H04NPICTORIAL COMMUNICATION, e.g. TELEVISION
    • H04N5/00Details of television systems
    • H04N5/74Projection arrangements for image reproduction, e.g. using eidophor

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Multimedia (AREA)
  • Signal Processing (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Microscoopes, Condenser (AREA)
  • Projection Apparatus (AREA)

Abstract

Projektionssystem mit einer Beleuchtungseinrichtung zum Ausleuchten einer rechteckigen, elektronisch ansteuerbaren Matrix zum Erzeugen von Bitmap-Bildern und mit einer Projektionsoptik zum Projizieren der Bitmap-Bilder auf eine Projektionsfläche, wobei die Beleuchtungseinrichtung einen optischen Integrator (8), in den Licht aus einer Lichtquelle einfällt und an dessen Ausgang ein Lichtbündel mit rechteckigem Querschnitt austritt, und ein optisches System (6, 10) zum Abbilden des Lichtbündels auf die Matrix umfaßt, wobei das optische System (6, 10) eine Umlenkeinrichtung (10) zur Änderung der Ausbreitungsrichtung des Lichtbündels aufweist, dadurch gekennzeichnet, daß das Projektionssystem eine zwischen dem optischen Integrator (8) und der Umlenkeinrichtung (10) angeordnete Transformationsoptik umfaßt, durch die das Lichtbündel hindurchgeht und die eine solche Transformationseigenschaft aufweist, daß ein im Querschnitt des in die Transformationsoptik einfallenden Lichtbündels liegendes Rechteck zu einem Parallelogramm im Querschnitt des aus der Transformationsoptik ausfallenden Lichtbündels transformiert wird, wobei die Transformationseigenschaft so gewählt ist, daß dadurch eine durch das optische System (6, 10) bedingte...

Description

  • Die Erfindung bezieht sich auf ein Projektionssystem mit einer Beleuchtungseinrichtung gemäß dem Oberbegriff des Anspruches 1.
  • Beleuchtungseinrichtungen mit optischen Systemen und Umlenkeinrichtungen (bzw. Einrichtungen zur Änderung des Winkels) werden in der Praxis häufig eingesetzt, seien es Mikroskopbeleuchtungen, Beleuchtungen einer Arbeitsfläche bei Maschinen oder ähnliches.
  • Dabei können die optischen System beispielsweise Linsen oder Prismen sowie andere optische Bauelemente enthalten. Umlenkeinrichtungen können z.B. Spiegel und/oder Lichtleitfasern aufweisen oder aber auch nur die Halterung für eine unter Winkel angeordnete auszuleuchtende Fläche sein.
  • Das Lichtfeld, das mit Hilfe dieser optischen Systeme und der Umlenkeinrichtung auf die auszuleuchtende Fläche gerichtet wird, wird im allgemeinen verzerrt. Es gibt beispielsweise durch Linsen bedingte Kissenverzeichnungen, sowie geometrische Verzerrungen aufgrund des Winkels sowie der speziellen räumlichen Anordnung, wie Trapez- oder Parallelogrammverzeichnungen. Im allgemeinen tragen alle diese Arten zu der beobachtbaren Gesamtverzeichnung bei, die sich als Formänderung des beobachtbaren Lichtfelds auf der auszuleuchtenden Fläche bezüglich des Lichtfelds bemerkbar macht.
  • Diese könnte man durch ein entsprechend verzerrtes Lichtfeld ausgleichen, wodurch sich die Verzerrung durch das optische System und die Einrichtung zur Änderung des Winkels gerade so aufhebt, daß die auszuleuchtende Fläche genau überdeckt wird.
  • Eine weitestgehende Überdeckung ist im allgemeinen erwünscht, damit Lichtverluste vermieden werden. Wie oben ausgeführt, könnte man deshalb daran denken, das Lichtfeld in geeigneter Form zu wählen, damit die Verzerrung durch das optische System und die Winkeländerung die auszuleuchtenden Fläche gerade reproduziert wird. Dies ist aber nicht immer möglich, denn würde man z.B. einen Integrator zur Erzeugung des Lichtfelds statt wie üblich rechteckig beispielsweise in Form eines Parallelogramms ausbilden, um für eine rechteckige auszuleuchtende Fläche Parallelogrammverzerrungen auszugleichen, würde sich das Licht in den dann spitzen Ecken des Integrators sammeln. Eine Entzerrung zur Überdeckung einer rechteckigen auszuleuchtenden Fläche wäre so zwar möglich, die inhomogene Beleuchtungsdichte aufgrund der Parallelogrammform des Lichtfeldes würde jedoch den eigentlichen Zweck des Integrators zunichte machen, eine homogene Beleuchtung auf der auszuleuchtenden Fläche zu gewährleisten.
  • Derartige Probleme werden vor allen Dingen in der Videotechnik mit Licht relevant und insbesondere in solchen Fällen, bei denen Lichtintegratoren oder Lichttunnel eingesetzt werden. Solche Lichtintegratoren und Lichttunnel haben meistens eine rechteckförmig Ausgangsfläche und Homogenisieren das Licht einer Lampe dadurch, daß das erzeugte Licht an den Seiten der Lichtintegratoren hin- und herreflektiert wird, so daß der Ursprung jedes Lichtstrahles der aus inhomogenen Bereichen, wie einer Wendel oder einem Lichtbogen, emittiert wird, homogenisiert wird.
  • In der EP 0 734 183 A2 ist ein Projektor beschrieben, mit dem ein farbiges Bild mittels dreier LCD-Matrizen, die unter verschiedenen Winkeln angeordnet sind, erzeugt wird. Das Licht am Ausgang eines Lichttunnels, beispielsweise eines Hohlraumintegrators, wird dabei mit Hilfe von Prismen auf die drei LCD-Matrizen geworfen. Eine Winkeländerung zur Beleuchtung der verschiedenen LCD-Matrizen erfolgt durch diese zur Farbaufspaltung geeignet ausgelegte Prismen, welche die auf den drei LCD-Matrizen dargestellten Farbauszüge auch wieder zusammenfassen. Dadurch, daß die gleichen Prismen zur Farbaufspaltung des Lichtes als auch zum Zusammenfassen verwendet werden, wird eine wesentliche Verzerrung aufgrund der durch die Prismen erfolgende Winkeländerung vermieden. Dies ist aber nicht bei allen Aufbauten gegeben.
  • In der DE 198 19 245 C1 ist ein Projektionssystem gemäß dem Oberbegriff des Anspruches 1 beschrieben, bei dem das Licht aus einer Lichtquelle in einem als Mischstab ausgeführten Integrator homogenisiert und dann über einen gefalteten Strahlengang auf eine Kippspiegelmatrix gerichtet wird.
  • Bei dem gefalteten Strahlengang gemäß der Druckschrift erfolgen Winkeländerungen mit Hilfe von Spiegeln. Insbesondere wird dabei berücksichtigt, daß diese Matrizen zur Sicherstellung ihrer Funktionsweise unter einem bestimmten Winkel angestrahlt sowie das Licht zur Abbildung unter einem bestimmten Winkel aufgefangen und projiziert wird.
  • Eine durch Schrägprojektion verursachte Seitenänderung einer rechteckigen Fläche kann man allgemein mit einem anamorphotischen Linsensystem und insbesondere einer Zylinderlinse kompensieren. Mit derartigen Linsen bzw. Linsensystemen können in zueinander senkrechten Richtungen der Bildebene unterschiedliche Abbildungsmaßstäbe erzeugt werden. Diese Eigenschaft wird beispielsweise in der Meßtechnik eingesetzt.
  • Weiter können derartige Linsen und Linsensysteme bei der Kompensation oder Einführung von Achsen-Astigmatismus, wie zum Beispiel in ophthalmologischen Geräten, eingesetzt werden.
  • In der Beleuchtungstechnik werden Zylinderlinsen insbesondere bei der Ausleuchtung rechteckiger Flächen verwendet, wenn das Seitenverhältnis des von der Lichtquelle kommenden Lichtbündels nicht mit dem der zu beleuchtenden Fläche übereinstimmt. In diesen Fällen wird entweder eine einzelne Zylinderlinse verwendet oder aber auch zwei gekreuzte Zylinderlinsen eingesetzt, falls die Zylinderwirkung variabel sein soll. Insbesondere werden in diesem Zusammenhang auch torische Fläche benützt. Diesen Anwendungen ist gemeinsam, daß die Zylinderlinse oder die Zylinderlinsen zentriert zur optischen Achse verwendet wird bzw. werden, um ein rechteckiges Gitter möglichst gut wieder in ein rechteckiges Gitter, jedoch mit einem veränderten Seitenverhältnis, zu überführen.
  • Prinzipiell kann man mit entsprechenden Korrekturoptiken oder Transformationsoptiken ein Lichtfeld nahezu beliebig in Übereinstimmung mit der Form einer auszuleuchtenden Fläche bringen. Der Aufwand steigt dabei mit dem gewünschten Überdeckungsgrad. Damit derartige Projektionssysteme insbesondere kostengünstig gefertigt werden können, sollte der Aufwand allerdings möglichst gering gehalten werden.
  • Die JP 7-270791 A zeigt ein Projektionssystem mit einer Beleuchtungseinrichtung zum Ausleuchten einer rechteckigen, elektronisch ansteuerbaren Matrix zum Erzeugen von Bitmap-Bildern und mit einer Projektionsoptik zum Projizieren der Bitmap-Bilder auf eine Projektionsfläche. Zwischen der Lichtquelle des Projektionssystems und der Matrix ist ein Umlenkprisma angeordnet, daß das Licht der Lichtquelle umlenkt und dabei gleichzeitig den kreisförmigen Querschnitt des Lichtes in einen ellipsenförmigen Querschnitt transformiert.
  • Ausgehend hiervon ist es Aufgabe der Erfindung, ein Projektionssystem der eingangs genannten Art derart weiterzubilden, daß mit möglichst wenig Aufwand viel Licht auf die Matrix gerichtet werden kann und die Anzahl der Konstruktionsmöglichkeiten für das Projektionssystem möglichst nicht verringert wird.
  • Die Aufgabe wird bei dem Projektionssystem der eingangs genannten Art dadurch gelöst, daß das Projektionssystem eine zwischen dem optischen Integrator und der Umlenkeinrichtung angeordnete Transformationsoptik umfaßt, durch die das Lichtbündel hindurchgeht und die eine solche Transformationseigenschaft aufweist, daß ein im Querschnitt des in die Transformationsoptik einfallenden Lichtbündels liegendes Rechteck zu einem Parallelogramm im Querschnitt des aus der Transformationsoptik ausfallenden Lichtbündels transformiert wird, wobei die Transformationseigenschaft so gewählt ist, daß dadurch eine durch das optische System bedingte Verzerrung des abgebildeten Lichtbündels kompensiert wird.
  • Somit kann die durch das optische System bedingte Verzerrung, insbesondere eine Verzerrung, die durch die Umlenkeinrichtung bedingt wird, kompensiert werden, so daß die Matrix mit möglichst viel Licht ausgeleuchtet werden kann. Da die Kompensation der Verzerrung durch die Transformationsoptik und die Umlenkung durch die Umlenkeinrichtung bewirkt wird, sind die Freiheitsgrade für die Konstruktion der Projektionssystems nicht eingeschränkt. Somit kann beispielsweise ein sehr kompaktes Projektionssystem bereitgestellt werden, da der Umlenkwinkel frei wählbar ist (aufgrund der durch die Transformationsopotik bedingten Verzerrungskompensation) und gleichzeitig der Lichtweg von der Umlenkeinrichtung zur ausleuchtenden Matrix dabei möglichst kurz sein kann.
  • Nachdem ein Lichtbündel mit einem rechteckigen Querschnitt bei der Abbildung mittels dem optischen System verzerrt wird, so daß der Querschnitt des Lichtbündels nach der Abbildung eine andere geometrische Form als ein Rechteck aufweist, kann mit dem erfindungsgemäßen Projektionssystem die Überdeckung der Matrix mit dem abgebildeten Lichtbündel deutlich verbessert werden. Wenn die Umlenkeinrichtung beispielsweise ein Prisma zur Umlenkung aufweist, kann, wie in einem späteren Ausführungsbeispiel gezeigt ist, eine im wesentlichen parallelogrammartige Verzerrung auftreten, für die dann die Kompensation mittels der Transformationsoptik höchst effektiv ist.
  • Wie auch immer die zu kompensierenden Bildfelder aussehen, läßt sich doch durch den Einsatz der erfindungsgemäßen Transformation in den meisten Fällen eine optimale Überdeckung finden. Wie das Optimum gefunden werden kann, ist allgemein aus der analytischen Geometrie von der Extremwertbestimmung bekannt.
  • Minimal läßt sich eine Parallelogrammverzerrung mit einem einzigen freien Parameter, darstellen. Man bildet dann eine mathematische Funktion für eine Parallelogrammverzerrung als Funktion des Parameters für den maximalen Überdeckungsgrad. Anschließend wird die Ableitung gebildet und gleich Null gesetzt, wonach die daraus resultierende Gleichung bezüglich des freien Parameters aufgelöst wird, um das Optimum zu bestimmen.
  • Bei mehrparametrigen Parallelogrammverzerrungen, beispielsweise wenn zur Verzerrung zusätzlich eine Drehung in der Transformation berücksichtigt wird, leitet man nach allen Parametern ab und erhält dann mehrere Gleichungen mit gleicher Anzahl unbekannter Parameter, die ähnlich gelöst werden können.
  • Es sollte aber deutlich sein, daß die erfindungsgemäße Transformation nicht unbedingt nur eine lineare geometrische Abbildung betrifft, sondern daß es erfindungsgemäß einzig und allein darauf ankommt, daß ein einziges Rechteck im Lichtfeld, beispielsweise die Ecken eines Rechtecks, geometrisch optisch als Parallelogramm abgebildet werden. Damit sind gemäß der Lösung der Aufgabe auch im wesentlichen nichtlineare Transformationen zugelassen, die eine noch wesentlich bessere Überdeckung als eine lineare Parallelogrammverzerrung ermöglichen können. Die im Aufwendungsfall jeweils zu wählende Transformation läßt sich vom Fachmann im allgemeinen je nach erforderlichen Aufwand leicht bestimmen. Beispielsweise können durch nichtlineare Transformationen auch Kissenverzeichnungen, die aufgrund des optischen Systems entstehen können, bezüglich einer besseren Überdeckung optimiert werden.
  • Die erfindungsgemäß eingesetzte Transformation zeichnet sich gegenüber anderen Transformationen insbesondere durch ihre Symmetrie aus, die beispielsweise eine leichtere Justierung gegenüber anderen, unsymmetrischen Transformationen ermöglicht. Insgesamt läßt sich aber feststellen, daß eine derartige einfache Transformation einen besonders wenig aufwendigen Aufbau gestattet, was insbesondere aus den folgenden Ausführungen noch deutlicher werden wird.
  • Bei der Erfindung ist die Transformationsoptik bezüglich der Lichtausbreitungsrichtung vor der Einrichtung zur Winkeländerung angeordnet. Aufgrund dieses Merkmals lassen sich sehr kompakte Beleuchtungseinrichtungen ohne großen Aufwand verwirklichen. Bei den oben genannten Beispielen, beispielsweise DMD- oder LCD-Matrizen, kommt es nämlich darauf an, daß auf ihnen eine möglichst große Beleuchtungsdichte erzielt wird. Deshalb sollte der Lichtweg in Lichtausbreitungsrichtung nach der Winkeländerurig möglichst kurz sein. Das Vorsehen einer Transformationsoptik vor der Einrichtung zur Winkeländerung ermöglicht dann einen besonders kompakten Aufbau. Dagegen würde der Abstand des Lichtfelds von der auszuleuchtenden Fläche bei einer Anordnung hinter der Einrichtung zur Winkeländerung entsprechend vergrößert, was in der nachfolgenden Transformationsoptik durch zusätzliche optische Elemente kompensiert werden müßte. Dagegen wird bei Anordnung der Transformationsoptik vor der Einrichtung zur Winkeländerung ausschließlich eine Transformation des Lichtfeldes vorgenommen. Es ergeben sich also dieselben Ausgangsbedingungen für den Abstand zur auszuleuchtenden Fläche wie ohne Einführung der Transformationsoptik.
  • Eine Parallelogrammverzerrung, wie sie erfindungsgemäß vorgeschlagen wird, läßt sich besonders einfach verwirklichen, wenn die Transformationsoptik mindestens eine Linse aufweist, die bezüglich zwei orthogonal zueinander sowie orthogonal zur Ausbreitungsrichtung des Lichtbündels liegenden Achsen unterschiedliche Krümmungen aufweist.
  • Die hier gekennzeichnete Linse ist gegenüber üblichen sphärischen Linsen zu einem Teil auch zylindrisch. Derartige Schliffe sind in der Optik üblich. Geeignete Linsenschleifmaschinen stehen also zur Verfügung, so daß sich auch hier zur Herstellung der Beleuchtungseinrichtung ein besonders geringer Aufwand ergibt. Insbesondere ist es vorteilhaft, wenn dann eine derartige Linse des optischen Systems entsprechend geschliffen wird, so daß weitere optische Elemente im wesentlichen entfallen können. Auch dadurch wird der Aufwand entsprechend gering.
  • Einen ähnlichen Vorteil erreicht man, wenn in der Transformationsoptik gemäß einer anderen vorteilhaften Weiterbildung der Erfindung mindestens eine Zylinderlinse vorgesehen ist. Gemäß dieser Weiterbildung kann man beispielsweise zusätzlich zu dem optischen System bzw. innerhalb des optischen Systems eine Zylinderlinse vorsehen. Der auf die Erfindung zurückzuführenden Aufwand besteht dann im Minimum aus dem Einsatz einer einzigen Zylinderlinse.
  • Auf eine einzige Zylinderlinse ist diese Weiterbildung aber nicht beschränkt. Mit zwei Zylinderlinsen kann man beispielsweise auch eine einfache Justierung des Bildfeldes zur optimalen Überdeckung der auszuleuchtenden Fläche vornehmen. Aber selbst bei zwei oder mehr Zylinderlinsen würde der Aufwand kaum steigen. Dazu sei noch anzumerken, daß mehr als zwei Zylinderlinsen wenig sinnvoll sind, da sich dann keine wesentliche Verbesserung mehr ergibt bzw. die Lösungen des oben genannten Gleichungssystems für die Optimierung der Parallelogrammtransformation im allgemeinen nicht mehr eindeutig bestimmt sind.
  • Besonders einfach wird die erfindungsgemäße Beleuchtungseinrichtung gemäß einer Weiterbildung der Erfindung, bei der in der Einrichtung zur Winkeländerung ein Prisma und eine spiegelnde Fläche, insbesondere eine totalreflektierende Fläche dieses oder eines weiteren Prismas, vorgesehen sind, wobei die spiegelnde Fläche zur Einstellung einer gleichmäßigen Beleuchtungsdichte auf die auszuleuchtende Fläche justierbar ist.
  • Mit einem Prisma läßt sich eine Winkeländerung besonders einfach erreichen. Bei Ausnutzung der Totalreflexion entstehen dabei sogar außerordentlich geringe Lichtverluste bei der Umlenkung. Mit Hilfe eines derartigen Prismas lassen sich die Winkelbedingungen zur Einkopplung und Auskopplung des Lichts auf die auszuleuchtenden Fläche, wie später noch anhand eines Ausführungsbeispiels gezeigt wird, besonders einfach einstellen. Durch die angegebene Justierbarkeit, beispielsweise zur Kompensation von Fertigungstoleranzen, läßt sich dann auch eine wesentlich bessere Überdeckung mit dem Ergebnis verringerter Lichtverluste erzielen. Insbesondere wird die mechanische Ausführung zur Justierung beispielsweise gegenüber einer Justierung durch Verschiebung gemäß einer vorzugsweise Weiterbildung der Erfindung besonders einfach, wenn die Spiegelfläche für die Justierung drehbar angeordnet ist.
  • Wie schon vorstehend aus der Erörterung der Parallelogrammtransformation deutlich geworden sein sollte, ergeben sich besonders einfache Transformationseigenschaften und eine besonders gute Überdeckung, insbesondere wenn die Winkeländerung mit Hilfe eines Prismas durchgeführt wird und wenn gemäß der Erfindung das Lichtfeld und die auszuleuchtende Fläche rechteckig sind. Insbesondere läßt sich das rechteckige Lichtfeld auch mittels eines Integrators in einfacher Weise gleichmäßig ausleuchten. Integratoren mit wesentlich von der Rechteckform abweichenden Formen würden lokal beispielsweise an besonders spitz zulaufenden Stellen eine höhere Leuchtdichte erzeugen, was dann aber der geforderten gleichmäßigen Beleuchtung entgegensteht.
  • Vorstehend wurde der Einsatz einer derartigen Transformationsoptik schon bei elektronisch ansteuerbaren Matrizen und insbesondere Kippspiegelmatrizen mit den entsprechenden Vorteilen diskutiert. Dementsprechend ist die Beleuchtungseinrichtung des Projektionssystems dadurch gekennzeichnet, daß in der auszuleuchtenden Fläche eine elektronisch ansteuerbare Matrix, insbesondere eine Kippspiegelmatrix, zum Erzeugen von Bitmapbildern liegt. Dabei ist es besonders vorteilhaft, um eine gleichmäßige Beleuchtungsdichte ohne großen Aufwand zu erzielen, daß das Lichtfeld am Ausgang eines Integrators vorgesehen ist.
  • Wie nachfolgend anhand eines Ausführungsbeispiels gezeigt werden wird, ist es für eine kompakte und wenig aufwendige Beleuchtungseinrichtung in einem Projektionssystem gemäß einer vorzugsweise Weiterbildung der Erfindung besonders vorteilhaft, wenn gemäß einer bevorzugten Weiterbildung der Erfindung zwischen einem Integrator und einem Prisma zur Winkeländerung ein Relaislinsensystem vorgesehen ist, das insbesondere bezüglich der Transformationseigenschaft durch eine zusätzliche Zylinderlinse modifiziert ist.
  • Man könnte vorteilhafterweise auch in dem Relaissystem eine ansonsten im wesentlichen sphärische Linse mit zusätzlichem zylindrischen Schliff vorsehen, was den Aufbau ebenfalls wenig aufwendig machen würde. Eine zu den herkömmlichen sphärisch geschliffenen Linsen des Relaislinsensystems zusätzliche Zylinderlinse ist aber wegen des geringeren Schleifaufwands besonders empfehlenswert. Weiter läßt eine zu den Linsen eines Relaislinsensystems zusätzliche Zylinderlinse auch eine Justierung über ihre Verschiebung und Verdrehung zu, so daß eine Justierung auf die auszuleuchtende Fläche wesentlich einfacher vorgenommen werden kann.
  • Die Vorteile eines Integrators, eines Prismas zur Winkeländerung und des vor dem Prisma zur Winkeländerung liegenden Relaislinsensystems sind bei den obigen diskutierten Weiterbildungen der Erfindung schon eingehender erläutert worden.
  • Weitere Besonderheiten der Erfindung ergeben sich auch aus der nachfolgenden Beschreibung von Ausführungsbeispielen unter Bezugnahme auf die beigefügte Zeichnung. Es zeigen:
  • 1 Ein Ausführungsbeispiel für eine unter Winkel erfolgende Beleuchtung;
  • 2 ein Ausführungsbeispiel für eine Winkeländerung mit Hilfe eines Prismas bei der Beleuchtung;
  • 3 geometrische Konstruktion für eine Transformation eines Rechtecks in ein Parallelogramm oder umgekehrt anhand einer schematischen Darstellung für die Wirkung einer Zylinderlinse;
  • 4 schematische Darstellung eines Ausführungsbeispiels für einen DMD-Projektor, bei dem die Erfindung eingesetzt werden kann;
  • 5 Beleuchtungsfeld bei dem in 4 gezeigten Projektor
    • a) ohne Zylinderlinse
    • b) mit Zylinderlinse.
  • Anhand der 1 bis 3 wird das allgemeine, hier zur Geltung kommende Prinzip eingehender diskutiert. Die dabei interessierende Problematik ergibt sich daraus, daß eine auszuleuchtende Fläche 2 unter einem Winkel beleuchtet wird, wobei eine zum Erzeugen des Winkels geeignete Einrichtung vorgesehen ist. Dabei kann diese Einrichtung zur Erzeugung des Winkels wie in 1 durch eine entsprechende Halterung gegeben sein, durch welche die gewinkelte Anordnung von Bauelementen gewährleistet ist, oder durch spezielle optische Bauelemente, wie nachfolgend anhand von 2 nach deutlicher wird.
  • Allgemein wird dabei ein Lichtfeld 4 mit einem optischen System 6 auf die auszuleuchtende Fläche abgebildet. Das Lichtfeld 4 wird dabei ausschließlich als Beispiel mit Hilfe eines Integrators 8 erzeugt.
  • Ein derartiger Integrator 8 kann beispielsweise ein quaderförmiger Stab sein, in dessen Grundfläche das Licht einer Lampe eingekoppelt wird. Dieses Licht reflektiert an den Seiten des Quaders beispielsweise über Totalreflexion, gelangt dadurch zu der der Grundfläche gegenüberliegenden Fläche und bildet dort das zur Beleuchtung abzubildende Lichtfeld 4.
  • Die Mehrfachreflexion an den Seiten des Quaders führt dazu, daß der Ursprung des Lichts, der üblicherweise auf lokal unterschiedliche Emission bei der Erzeugung, wie beispielsweise bei einem Lichtbogen oder einer Wendel, beruht, verloren geht.
  • Das so homogenisierte Lichtfeld 4 wird danach auf eine auszuleuchtende Fläche 2 projiziert, wozu das optische System 6 vorgesehen ist, und das dazu geeigneterweise eine Relaisoptik ist.
  • Bei vielen Anwendungsfällen fällt das Licht jedoch unter einem Winkel auf die auszuleuchtende Fläche 2, sei es bei einer Mikroskopbeleuchtung, um Platz für die Optik des Mikroskops zu schaffen, sei es, weil bestimmte Winkel eingehalten werden müssen, um überhaupt die ordnungsgemäße Funktionsweise eines Geräts zu ermöglichen.
  • Bezüglich letzterem seien DMD-Matrizen oder Kippspiegelmatrizen genannt, die mit einer Beleuchtungseinrichtung der genannten Art ausgeleuchtet werden und spezieller Winkel bedürfen, damit das Kippen der Spiegel überhaupt ausreichenden Kontrast für einzelne Bildpunkte des auf der DMD-Matrix dargestellten Bildes erzeugt. Aufgrund der Anforderung an optimalen Kontrast ist der Winkel beschränkt.
  • Bei Schrägprojektion, bei der die Flächennormale der auszuleuchtenden Fläche des Lichtfelds 4 und die optische Achse des optischen Systems in der gleichen Ebene liegen, besteht die dadurch gegebene Verzerrung einfach in einer Änderung des Seitenverhältnisses. Liegt dagegen die Flächennormale der auszuleuchtenden Fläche 2 auch unter einem Winkel zur Zeichenebene von 1, wird das rechteckige Lichtfeld 4 auf der auszuleuchtenden Fläche 2 als Parallelogramm abgebildet.
  • Diese Fallbetrachtung trifft natürlich nur bei im wesentlichen parallelen Lichtstrahlen zu. Die Verzerrung ist in praxi normalerweise viel größer, unter anderem, weil die aus dem Lichtfeld 4 austretenden Lichtstrahlen eine große Divergenz aufweisen, die aufgrund der lokal unterschiedlichen Abstände der letzten Linse des optischen Systems 6 zu der auszuleuchtenden Fläche 2 stark unterschiedliche Aufweitungen erzeugt. Diese unterschiedlichen Abstände führen nicht nur zu einer anderen Formgebung auf der auszuleuchtenden Fläche, sondern auch zu lokal stark unterschiedlichen Beleuchtungsdichten, was höchst unerwünscht ist.
  • Man könnte daran denken, den Integrator 8 abweichend von der Quaderform parallelogrammartig auszubilden, um die auftretende Parallelogrammverzerrung zu kompensieren. Das ist jedoch wenig empfehlenswert, weil dadurch kein homogenes Lichtfeld 4 entsteht, denn das Licht sammelt sich dann in den Spitzen der parallelogrammförmigen Austrittsfläche des Integrators 8. Weiter kann damit auch der Effekt der unterschiedlichen Abstände des optischen Systems 6 von der auszuleuchtenden Fläche 2 nicht kompensiert werden. Deswegen wird vorgeschlagen, eine zusätzliche Transformationsoptik einzuführen, die eine parallelogrammartige Verzerrung für eine geeignete Entzerrung gestattet, um den Fehler in einfacher Weise zu kompensieren.
  • Eine derartige Transformationsoptik kann durch zusätzliche Linsen im optischen System 6 oder durch spezielle Linsenschliffe der Linsen im optischen System 6 gebildet werden. Insbesondere werden dabei eine oder zwei Zylinderlinsen verwendet, deren Funktionsweise später anhand von 3 näher beschrieben wird.
  • In 2 ist zusätzlich zur den Elementen noch 1 noch ein Prisma 10 gezeigt, das als besondere Einrichtung zur Änderung des Winkels dient. Man erkennt aus dem Bild von 2, daß sich dann ganz andere Strahlengänge ergeben, die auch zu unterschiedlichen Abständen des optischen Systems 6 zur auszuleuchtenden Fläche 2 führen und damit im Vergleich zur 1 fallbedingt gänzlich veränderte Verzerrungen erzeugen können. Trotzdem läßt sich bei beiden Ausführungsbeispielen gemäß 1 und 2 allgemein dieselbe Art von Transformation durchführen, um lokal unterschiedliche Beleuchtungsdichten auf der auszuleuchtenden Fläche 2 zu bewirken.
  • Anhand von 3 wird nun die Transformation eines Rechtecks 12 in ein Parallelogramm 14 mit Hilfe einer Zylinderlinse beschrieben, wie sie in einfachster Form zur Korrektur der Verzerrungen in den Ausführungsbeispielen von 1 und 2 angewandt werden kann.
  • Eine Zylinderlinse in einem Relaissystem führt in zwei orthogonal aufeinander stehenden Raumrichtungen zu unterschiedlichen Abbildungsmaßstäben. Ist die Richtung der Zylinderlinse beispielsweise bezüglich eines abzubildenden Rechtecks 12 unter einem Winkel angeordnet, so daß deren Achse mit keiner der vier Seiten des Rechtecks 12 übereinstimmt, wie es mit der unterbrochenen Linie 16 schematisch dargestellt ist, ergibt sich hier keine Skalenänderung in Richtung der Linie 16, jedoch senkrecht dazu eine Vergrößerung oder Verkleinerung. Man kann also eine entsprechende Transformation geometrisch, wie in 3 gezeigt ist, dadurch konstruieren, daß man an den Eckpunkte des Rechtecks 12 Senkrechten 18 auf die Linie 16 zieht und die Abstände der Eckpunkte zur Linie 16, auf den Senkrechten mit einem Skalierungsfaktor ändert. So wird eine Abbildung erreicht, die ein Rechteck in ein Parallelogramm 14 überführt, wie in 3 dargestellt ist.
  • Wenn auch andere Arten zum Durchführen einer Parallelogrammverzerrung möglich sind, so kann diese Art der Überführung eines Rechtecks 12 in ein Parallelogramm 14 einfach mit einer oder zwei Zylinderlinsen verwirklicht werden, wobei zwei Zylinderlinsen eine größere Anzahl an Freiheitsgraden ergeben, die nicht nur zur Entzerrung einsetzbar sind, sondern auch die Möglichkeit eröffnen, das Parallelogramm 14 auszurichten, was eine noch bessere Überdeckung als bei einer einzigen Zylinderlinse ergibt, beispielsweise, weil dadurch eine Ausrichtung des durch das optische System 6 transformierten Lichtfelds auf die auszuleuchtende Fläche erfolgen kann.
  • In 4 ist ein optisches System gezeigt, wie es beispielsweise bei der Projektion eines als Bitmapbild auf einer DMD-Matrix elektronisch eingestellten Videobildes eingesetzt werden kann. Dazu ist die DMD-Matrix in der auszuleuchtenden Fläche 2 angeordnet.
  • Die gesamte Optik besteht aus drei Teilen 20, 22 und 24, wobei die Teiloptiken 22 und 24 eine Beleuchtungsoptik ergeben, während die Teiloptiken 22 und 20 ein Projektionsobjektiv bilden, um das in der auszuleuchtenden Fläche 2 elektronisch eingestellte Bitmapbild auf einen Bildschirm zu projizieren. Von einer Lampe aus wird ein Lichtfeld 4 mit Hilfe eines Integrators 8 erzeugt, dessen Licht erst durch die Teiloptik 24, ein Relaislinsensystem, gerichtet wird. Das Licht des Lichtfelds 4 gelangt danach durch ein Prisma 10 auf eine Spiegelfläche 26, von der aus es dann durch das Prisma 10 zurück und über die Teiloptik 22 auf die in der auszuleuchtenden Fläche 2 befindliche DMD-Matrix fällt, damit es dieses gleichmäßig ausleuchtet. Das Prisma 10 empfängt danach das von der DMD-Fläche reflektierte Licht. Da dieses im wesentlichen senkrecht auf die Prismenflächen auffällt, wird es vollständig transmittiert und gelangt in die Teiloptik 20.
  • Aufgrund der Winkeländerung durch die Spiegelfläche 26 am Prisma 10 sowie die gleichermaßen erfolgende Auslenkung, um den bei üblichen DMD-Matrizen einzuhaltenden Winkel von 22° sicherzustellen, entsteht bei der Winkelumlenkung eine Parallelogrammverzerrung, also eine von der Rechteckform des Lichtfelds 4 abweichende Form des Bildfelds, wie es in 5a gezeigt ist. Nach Einführen einer Zylinderlinse in die als Relaisoptik aufgebaute Teiloptik 24, was man auch dadurch erreicht, daß mindestens eine der Linsen in der Relaisoptik zylindrisch geschliffen wird, also mit einer der in 5a gezeigten Verzerrung entgegengesetzt wirkenden Parallelogrammverzerrung erhält man dann ein Beleuchtungsfeld gemäß 5b, das eine wesentlich bessere Überdeckung der rechteckigen DMD-Matrix gestattet als das von 5a.
  • Aus 5a ist zu erkennen, daß das Beleuchtungsfeld kein exaktes geometrisches Parallelogramm ist, wie man es von einer einzelnen Winkeländerung erwartet hätte. Dies ist unter anderem darauf zurückzuführen, daß das auf diese Fläche gerichtete Licht stark divergent ist, wie es vorhergehend schon anhand der 1 und 2 diskutiert wurde. Die geometrisch optische Parallelogrammverzerrung, die hier zur Entzerrung dient, bewirkt aber auch einen wesentlichen Ausgleich dieser Fehler, wie aus 5b deutlich erkennbar ist.
  • In einer entsprechend der 4 ausgeführten praktischen Anordnung konnte das Relaissystem so entworfen werden, daß die Überstrahlung der DMD-Fläche nur wenig von der Rechteckform abwich, wodurch eine effektive Beleuchtung eines DMD-Chips erreicht wurde. Ohne entsprechende Auslegung der Zylinderkorrektur müßte man mit Lichtverlusten von typisch 25% gemäß der Beleuchtungsfläche von 5a bei der Ausleuchtung einer rechteckigen Fläche rechnen. Eine deutliche Verbesserung wird mit Hilfe einer Zylinderlinse erreicht, wie es aus 5b erkennbar ist. Ausgehend von einem herkömmlichen Beleuchtungsaufbau ohne Zylinderlinse läßt sich die Beleuchtung durch folgende Maßnahmen mit einer Zylinderlinse und der dadurch bedingten Parallelogrammtransformation verbessern:
    • 1.) Entweder wird dem Relaissystem eine Zylinderlinse oder einer der Relaissystemflächen ein zylindrischer Anteil hinzugefügt. Mit Hilfe von Optiksoftware, vorzugsweise solcher, die Strahlungsflußanalysen ermöglicht, wird das modifizierte Relaissystem und insbesondere die Zylinderfläche so optimiert, daß in der DMD-Ebene eine Überstrahlungsfläche mit möglichst rechtwinkligen und aberrationsarmen Flächenseiten entsteht. Bei der Software ist dann insbesondere der Zylinderradius und die Scheitellinienrichtung der Zylinderfläche zu variieren. Das Korrektionsziel ist die Rechtwinkligkeit der Überstrahlungsfläche. Die dabei entstehende Rechteckfläche der Überstrahlung ist nach diesem Schritt gewöhnlich noch gegenüber der zu überdeckenden DMD-Fläche verdreht und im Seitenverhältnis nicht angepaßt sowie gegebenenfalls versetzt.
    • 2.) Durch geeignete Änderung des Seitenverhältnisses, der absoluten Seitenlängen und der azimutalen Lage der Ersatzlichtquelle, also des Lichtfelds 4 am Ausgang des Integrators 8, bezüglich der Überstrahlungsfläche kann die Größe des Beleuchtungsfelds der DMD-Fläche angepaßt werden und die Seiten der Überstrahlungsfläche und DMD-Fläche bestmöglichst parallel ausgerichtet werden. Das Korrektionsziel bei dieser Maßnahme ist eine möglichst hohe Lichtausbeute im projizierten Bild bei möglichst gleichmäßiger Ausleuchtung.
    • 3.) Durch eine kleine Änderung der Winkelstellung des Spiegels im Prisma 10 kann eine weitere Optimierung mit demselben Korrektionsziel wie bei derangegebenen zweiten Maßnahme noch weiter optimiert werden. Das ist gelegentlich zweckmäßig, weil die Zylinderlinse eine Umverteilung des Lichts in der Überstrahlungsfläche bewirkt. Insbesondere kann man nachträglich noch eine Justierung über die Drehung der Spiegelfläche 26 vornehmen, um das Lichtfeld 4 genau auf die DMD-Fläche abzubilden.
  • Die vorstehend genannte Winkeländerung für die spiegelnde Fläche 26 kann im Ausführungsbeispiel durch Drehung des gesamten Prismas 10 erfolgen, da dessen Flächen, durch die das von der DMD-Fläche zur Bilderzeugung transmittierte Licht fällt, planparallel sind. Dadurch wird nämlich erreicht, daß das von der DMD-Fläche reflektierte Licht unter gleichem Winkel aus dem Prisma ausfällt, unter dem es auch eintritt, und zwar unabhängig von einer Winkelstellung des Prismas. Im allgemeinen, bei wesentlich anderer Formgebung des Prismas, ist es allerdings empfehlenswert, die spiegelnde Fläche 26 an einem separaten Spiegel vorzusehen und ausschließlich dessen Winkel zu variieren, während das Prisma unverändert bleibt.
  • Das in 4 gezeigte Projektionssystem ist aufgrund der Dreiteilung besonders kompakt aufgebaut. Der zusätzliche Zylinderschliff in der als Relaisoptik wirkenden Teiloptik 24 bzw. das Vorsehen einer weiteren Zylinderlinse beeinträchtigt die durch diesen Aufbau mögliche Kompaktheit nur wenig. Aufgrund der geringfügigen Änderung gegenüber dem Stand der Technik, das Versehen der Relaisoptik mit einem Zylinderanteil, ist diese Lösung auch wenig aufwendig. Trotzdem kann die Lichtüberdeckung auf der DMD-Fläche 2 wesentlich verbessert werden. Wie vorstehend schon erläutert wurde, kann diese Technik auch bei anderen Anwendungen, wie bei LCD-Matrizen, eingesetzt werden.

Claims (7)

  1. Projektionssystem mit einer Beleuchtungseinrichtung zum Ausleuchten einer rechteckigen, elektronisch ansteuerbaren Matrix zum Erzeugen von Bitmap-Bildern und mit einer Projektionsoptik zum Projizieren der Bitmap-Bilder auf eine Projektionsfläche, wobei die Beleuchtungseinrichtung einen optischen Integrator (8), in den Licht aus einer Lichtquelle einfällt und an dessen Ausgang ein Lichtbündel mit rechteckigem Querschnitt austritt, und ein optisches System (6, 10) zum Abbilden des Lichtbündels auf die Matrix umfaßt, wobei das optische System (6, 10) eine Umlenkeinrichtung (10) zur Änderung der Ausbreitungsrichtung des Lichtbündels aufweist, dadurch gekennzeichnet, daß das Projektionssystem eine zwischen dem optischen Integrator (8) und der Umlenkeinrichtung (10) angeordnete Transformationsoptik umfaßt, durch die das Lichtbündel hindurchgeht und die eine solche Transformationseigenschaft aufweist, daß ein im Querschnitt des in die Transformationsoptik einfallenden Lichtbündels liegendes Rechteck zu einem Parallelogramm im Querschnitt des aus der Transformationsoptik ausfallenden Lichtbündels transformiert wird, wobei die Transformationseigenschaft so gewählt ist, daß dadurch eine durch das optische System (6, 10) bedingte Verzerrung des abgebildeten Lichtbündels kompensiert wird.
  2. Projektionssystem nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Transformationsoptik mindestens eine Linse aufweist, die bezüglich zwei orthogonal zueinander sowie orthogonal zur Ausbreitungsrichtung des Lichtbündels liegenden Achsen unterschiedliche Krümmungen aufweist.
  3. Projektionssystem nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Transformationsoptik mindestens eine Zylinderlinse umfaßt.
  4. Projektionssystem nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß die Umlenkeinrichtung ein Prisma (10) und eine spiegelnde Fläche (26), insbesondere eine totalreflektierende Fläche dieses oder eines weiteren Prismas (10), aufweist, wobei die spiegelnde Fläche (26) zur Einstellung einer gleichmäßigen Beleuchtungsdichte auf der auszuleuchtenden Matrix justierbar ist.
  5. Projektionssystem nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß die Spiegelfläche (26) zur Justierung drehbar ist.
  6. Projektionssystem nach einem der Ansprüche 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, daß die Matrix eine Kippspiegelmatrix ist.
  7. Projektionssystem nach einem der Ansprüche 1 bis 6, dadurch gekennzeichnet, daß die Transformationsoptik als ein Relaislinsensystem (24) ausgebildet ist, das insbesondere bezüglich der Transformationseigenschaft durch eine zusätzliche Zylinderlinse modifiziert ist.
DE1999155843 1999-11-19 1999-11-19 Projektionssystem Expired - Fee Related DE19955843B4 (de)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE1999155843 DE19955843B4 (de) 1999-11-19 1999-11-19 Projektionssystem

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE1999155843 DE19955843B4 (de) 1999-11-19 1999-11-19 Projektionssystem

Publications (2)

Publication Number Publication Date
DE19955843A1 DE19955843A1 (de) 2001-06-13
DE19955843B4 true DE19955843B4 (de) 2005-10-13

Family

ID=7929706

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE1999155843 Expired - Fee Related DE19955843B4 (de) 1999-11-19 1999-11-19 Projektionssystem

Country Status (1)

Country Link
DE (1) DE19955843B4 (de)

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5532249A (en) * 1978-08-25 1980-03-06 Matsushita Electric Ind Co Ltd Optical recorder and reproducing device
US4948233A (en) * 1984-02-20 1990-08-14 Asahi Kogaku Kogyo Kabushiki Kaisha Beam shaping optical system
JPH07270791A (ja) * 1994-03-25 1995-10-20 Nikon Corp 投射装置
DE19819245C1 (de) * 1998-04-29 1999-06-10 Zeiss Carl Jena Gmbh Vorrichtung mit einem Objektiv zum Abbilden

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5532249A (en) * 1978-08-25 1980-03-06 Matsushita Electric Ind Co Ltd Optical recorder and reproducing device
US4948233A (en) * 1984-02-20 1990-08-14 Asahi Kogaku Kogyo Kabushiki Kaisha Beam shaping optical system
JPH07270791A (ja) * 1994-03-25 1995-10-20 Nikon Corp 投射装置
DE19819245C1 (de) * 1998-04-29 1999-06-10 Zeiss Carl Jena Gmbh Vorrichtung mit einem Objektiv zum Abbilden

Also Published As

Publication number Publication date
DE19955843A1 (de) 2001-06-13

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE69433600T2 (de) Projektionsanzeigevorrichtung
DE4324849C2 (de) Videosystem zum Erzeugen eines Farbvideobilds auf einem Schirm
EP1016274B1 (de) Anordnung, bei der von einer lichtquelle aus licht auf eine fläche gerichtet wird
EP0417039B1 (de) Beleuchtungsvorrichtung für Projektionszwecke
DE19906874C1 (de) Relaisoptik für ein Ablenksystem sowie ein Ablenksystem
WO2001027683A2 (de) Anordnung, bei der von einer lichtquelle aus licht auf eine fläche gerichtet wird
DE102016100252A1 (de) Projektionssystem für Displayanwendungen
WO2002100100A1 (de) Projektionsanordnung
DE1497507B2 (de) Optische vorrichtung zum projizieren einer abbildung eines objektes
WO2008128520A1 (de) Verfahren und vorrichtung zum projizieren eines bildes auf eine projektionsfläche
WO1999056166A2 (de) Projektionseinrichtung
DE102007055443B4 (de) Projektionsbelichtungsanlage für die Mikrolithographie
DE102005004216A1 (de) Beleuchtungssystem, insbesondere für eine Projektionsbelichtungsanlage in der Halbleiterlithographie
WO1997001248A1 (de) Verfahren zum abbilden von bildpunkten eines videobildes und eine dazugehörige vorrichtung
DE60024006T2 (de) Projektionsanzeigegerät
DE19955843B4 (de) Projektionssystem
EP2080053A1 (de) Beleuchtungsanordnung
DE19819245C1 (de) Vorrichtung mit einem Objektiv zum Abbilden
DE19529672A1 (de) Projektor und Scharfeinstellverfahren
DE2727240A1 (de) Optische abtastvorrichtung mit einer aperturmaske zur photolithographischen herstellung von farb-kathodenstrahlroehren
WO2000040035A1 (de) Vorrichtung für die projektion eines videobildes
DE19907345B4 (de) Vorrichtung zum Abbilden eines als Raster von Bildpunkten darstellbaren Bildes auf einem Schirm
DE10055372A1 (de) Kreisförmige optische Reflexionseinrichtung
DE19819246C1 (de) Projektionseinrichtung
WO2005006054A2 (de) Anordnung zur transformation eines optischen strahlungsfelds

Legal Events

Date Code Title Description
OP8 Request for examination as to paragraph 44 patent law
8364 No opposition during term of opposition
8339 Ceased/non-payment of the annual fee