DE19936909C1 - Optische Vorrichtung zum Erfassen einer Bewegung eines Objektes - Google Patents

Optische Vorrichtung zum Erfassen einer Bewegung eines Objektes

Info

Publication number
DE19936909C1
DE19936909C1 DE1999136909 DE19936909A DE19936909C1 DE 19936909 C1 DE19936909 C1 DE 19936909C1 DE 1999136909 DE1999136909 DE 1999136909 DE 19936909 A DE19936909 A DE 19936909A DE 19936909 C1 DE19936909 C1 DE 19936909C1
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
optical element
unit
scale
optical
relative
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
DE1999136909
Other languages
English (en)
Inventor
Friedrich Prinzhausen
Norbert Streibl
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Robert Bosch GmbH
Original Assignee
Robert Bosch GmbH
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Robert Bosch GmbH filed Critical Robert Bosch GmbH
Priority to DE1999136909 priority Critical patent/DE19936909C1/de
Application granted granted Critical
Publication of DE19936909C1 publication Critical patent/DE19936909C1/de
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01DMEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G01D5/00Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
    • G01D5/26Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light
    • G01D5/32Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light
    • G01D5/34Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light the beams of light being detected by photocells
    • G01D5/347Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light the beams of light being detected by photocells using displacement encoding scales
    • G01D5/34707Scales; Discs, e.g. fixation, fabrication, compensation
    • G01D5/34715Scale reading or illumination devices

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Optical Transform (AREA)

Abstract

Die Erfindung bezieht sich auf eine optische Vorrichtung zum Erfassen einer Bewegung eines Objektes (0) bezüglich einer Empfangseinheit (3) mit einem mit dem Objekt (0) orstfest verbundenen und beleuchteten Maßstab (2.1), einer mit der Empfangseinheit (3) ortsfest verbundenen Fotoempfängereinheit (3.3) und einer zwischen dem Maßstab (2.1) und der Fotoempfängereinheit (3.3) angeordneten optischen Abbildungseinrichtung. Einflüsse der Meßgenauigkeit durch Überlagerung unerwünschter Bewegungen werden dadurch unterdrückt, dass die Abbildungseinrichtung als telezentrisches Abbildungssystem mit mindestens einem ortsfest bezüglich des Objektes (0) angeordneten, einen parallelen Strahlengang bildenden optischen Element (2.2, LO) und mindestens einem ortsfest bezüglich der Fotoempfängereinheit (3.3) angeordneten, den parallelen Strahlengang aufnehmenden und eine Abbildung auf der Fotoempfängereinheit (3.3) bewirkenden weiteren optischen Element (3.1, LB) ausgebildet ist (Fig. 1).

Description

Die Erfindung bezieht sich auf eine optische Vorrichtung zum Erfassen einer Bewegung eines Objektes bezüglich einer Empfangseinheit mit einem mit dem Objekt ortsfest verbundenen und beleuchteten Maßstab, einer mit der Emp­ fangseinheit ortsfest verbundenen Fotoempfängereinheit und einer zwischen dem Maßstab und der Fotoempfängereinheit angeordneten optischen Abbil­ dungseinrichtung.
Eine derartige optische Vorrichtung ist bekannt und geht beispielsweise aus A. Ernst, Digitale Längen- und Winkelmeßtechnik, Positionsmeßsysteme für den Maschinen- und Gerätebau, Verlag Moderne Industrie, 4. Aufl. 1995, Seiten 4 bis 11 hervor. Zum Erfassen einer Translations- oder Rotationsbewegung des Objektes ist dieses mit einem ortsfesten Maßstab versehen, der beispielsweise mehrere codierte Strich-Spuren aufweisen kann und sich relativ zu der mit der Empfangseinheit verbundenen Fotoempfängereinheit bewegt. Zur optischen Abbildung der codierten Spuren auf die Fotoempfängereinheit ist zwischen dem Maßstab und der Fotoempfängereinheit eine Abbildungsoptik angeordnet.
Die DE 37 38 977 C1 zeigt eine lichtelektrische Positionsmesseinrichtung zur Messung der Relativlage zweier Objekte, bei der eine inkrementale Teilung mit einer Abtasteinrichtung abgetastet wird, die aus einer beweglichen und einer stationären Abtasteinheit besteht. Die bewegliche Abtasteinheit ist mit dem beweglichen Objekt verbunden, die stationäre Abtasteinheit und der Teilungsträger sind am stationären Objekt befestigt. Zwischen der beweglichen Abtasteinheit und der stationären Abtasteinheit besteht eine optische Wirkverbindung über zwei Strahlengänge.
In der DE 86 21 057 U1 ist eine optische Winkelmesseinrichtung angegeben, bei der eine Welle mit einer aus einem optisch transparenten Körper bestehenden Drehscheibe versehen ist, die eine lichtelektrisch abzutastende inkrementale Teilung trägt. Die äußere Mantelfläche der Drehscheibe ist konvex gekrümmt, so dass der auf diese Fläche gerichtete Lichtstrahl als paralleler Lichtstrahl durch die die inkrementale Teilung tragende Fläche der Drehscheibe geführt zu einer Photo­ empfängereinheit geführt wird.
Ein inhärentes Problem bei berührungslosen Gebern ist die Querempfindlichkeit bezüglich unerwünschter Bewegungen: der Maßstab und die Empfangseinheit ha­ ben als starre Körper sechs mögliche Freiheitsgrade, nämlich drei der Translation und drei der Rotation, von denen einer die Meßgröße ist, während die übrigen fünf das Meßsignal verfälschen können. Beispielsweise können bei einem berührungs­ losen Winkelgeber neben der eigentlich zu messenden Winkelposition z. B. aufgrund von Schwingungen Kippungen um zwei Achsen und Translationen in drei Raumrichtungen auftreten, wobei insbesondere die tangentiale Translations­ komponente am Maßstab kritisch ist, die nahezu kollinear zur Meßgröße ist und Scheinsignale erzeugen kann. Dieses Problem besteht z. B. bei Hohlwellengebern, bei denen zwischen Maßstab und Empfänger eine lange, mechanisch veränderliche Übertragungskette besteht.
Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, eine optische Vorrichtung der eingangs angegebenen Art bereit zu stellen, mit der die erwünschte Bewegungskomponente genauer erfaßbar ist.
Diese Aufgabe wird mit den Merkmalen des Anspruches 1 gelöst. Hiernach ist vorgesehen, dass die Abbildungseinrichtung als telezentrisches Abbildungs­ system mit mindestens einem ortsfest bezüglich des Objektes angeordneten, einen parallelen Strahlengang bildenden optischen Element und mindestens einem ortsfest bezüglich der Fotoempfängereinheit angeordneten, den parallelen Strahlengang aufnehmenden und eine Abbildung auf der Fotoempfängereinheit bewirkenden weiteren optischen Element ausgebildet ist.
Wie anhand von Fig. 2 ersichtlich, führen diese Maßnahmen insbesondere zu verminderter Empfindlichkeit hinsichtlich unerwünschter Querbewegungen und auch axial gerichteter Bewegungen. Der an dem Objekt O angebrachte Maßstab wird unabhängig von der Translationsbewegung des bezüglich des Objektes O ortsfesten optischen Elementes LO und des bezüglich der Fotoempfängereinheit ortsfest angeordneten weiteren optischen Elementes um Δx, Δy oder Δz an der gleichen Position der Fotoempfängereinheit bzw. des Bildes B abgebildet. Zwi­ schen dem optischen Element, d. h. vorliegend der objektseitigen Sammellinse LO und dem weiteren optischen Element, d. h. vorliegend der bildseitigen Sammellinse LB, die sich um die Brennweite f von dem Objekt O bzw. dem Bild B entfernt befinden, wird ein kollimiertes (paralleles) Strahlenbündel erzeugt.
Eine für einen kompakten Aufbau günstige Anordnung besteht darin, dass der Maßstab und das mindestens eine optische Element an einer mit dem Objekt verbundenen oder verbindbaren gemeinsamen Trägereinheit vorgesehen sind. Für die einfache und kompakte Ausbildung tragen dabei weiterhin die Maßnahmen bei, dass die Trägereinheit ein einstückig geformter oder aus mehreren einstückig geformten Teilen zusammengesetzter Körper ist, auf oder in dem der Maßstab und das mindestens eine optische Element vorgesehen ist.
Um eine Rotationsbewegung zu erfassen, besteht eine vorteilhafte Ausführung darin, dass die Vorrichtung als Winkelgeber ausgebildet ist und dass das op­ tische Element torusförmig oder kegelstumpfförmig ausgebildet ist.
Für die Herstellung und Kompensation von Abbildungsfehlern sind weiterhin die Maßnahmen von Vorteil, dass die Empfangseinheit einen dem Körper der Träger­ einheit mit dem daran vorgesehenen optischen Element zumindest teilweise ent­ sprechenden Formkörper mit dem daran vorgesehenen weiteren optischen Ele­ ment aufweist.
Verschiedene Ausführungsmöglichkeiten bestehen darin, dass das mindestens eine optische Element und/oder das mindestens eine weitere optische Element brechend, reflektierend oder als diffraktive Struktur ausgebildet ist.
Die störungsfreie Abbildung auf der Fotoempfängereinheit wird dadurch begün­ stigt, dass im Strahlengang zwischen dem weiteren optischen Element und der Fotoempfängereinheit eine Blende angeordnet ist.
Die Erfindung wird nachfolgend anhand von Ausführungsbeispielen unter Be­ zugnahme auf die Zeichnungen näher erläutert. Es zeigen:
Fig. 1 eine schematische Darstellung eines Drehgebers in seitlicher Ansicht,
Fig. 2a) bis c) verschiedene Darstellungen zur Erläuterung der Unabhängigkeit von einer Translationsbewegung bei telemetrischer Abbildung und
Fig. 3 eine schematische Darstellung eines weiteren Drehgebers in seit­ licher Ansicht.
Die Fig. 1 zeigt eine optische Vorrichtung 1 zum Erfassen einer Drehbewegung eines in dieser Figur nicht gezeigten Objektes relativ zu einer Empfangseinheit 3. Die Vorrichtung 1 ist vorliegend als Winkelgeber ausgebildet und weist eine mit dem Objekt starr verbundene und mit diesem um dessen Drehachse drehbare ro­ tationssymmetrische Trägereinheit 2 auf, an dessen Oberseite ein Maßstab 2.1 in Form einer oder mehrerer Codespuren und an dessen Unterseite ein optisches Element in Form einer rotationssymmetrischen torischen Fläche angeordnet sind. Das optische Element 2.2 ist damit starr mit dem Maßstab 2.1 über die Träger­ einheit 2 verbunden. Die Empfangseinheit 3 weist eine Fotoempfängereinheit 3.3 und ein mit dieser im Abstand der Brennweite f starr verbundenes weiteres optisches Element 3.1' in Form einer Sammellinse auf. Der Maßstab 2.1 wird mittels einer schematisch dargestellten Beleuchtungseinheit 4 beleuchtet. Der Strahlengang verläuft von dem Maßstab 2.1 über das reflektierende optische Element 2.2 und das weitere optische Element 3.1' zu der Fotoempfängereinheit 3.3. Der Maßstab 2.1 befindet sich im Abstand der Brennweite von dem opti­ schen Element 2.2, das damit zwischen diesem und dem weiteren optischen Ele­ ment 3.1' ein kollimiertes (paralleles) Strahlenbündel bildet.
Mit dem beschriebenen Aufbau wird der Winkelgeber unabhängig von uner­ wünschten Translationsbewegungen des Objektes relativ zu der Empfangseinheit 3. Die Wirkungsweise dieses telezentrischen Aufbaus wird aus den bereits in der Beschreibungseinleitung erwähnten Fig. 2a) bis c) deutlich. Das Objekt O mit dem Maßstab 2.1 befindet sich im Abstand der Brennweite f von dem optischen Element 2.2 in Form der objektseitigen, mit dem Objekt O starr verbundenen Sammellinse LO, während sich das Bild B bzw. die Fotoempfängereinheit 3.3 im Abstand der zugehörigen Brennweite f von dem weiteren optischen Element 3.1' in Form der bildseitigen Sammellinse LB befindet, die ihrerseits ortsfest mit dem Bild B bzw. der Fotoempfängereinheit 3.3 verbunden ist. Ausgehend von der Darstellung a) zeigt sich, dass eine axiale translatorische Verschiebung um Δz zwischen dem Objekt O mit dem daran starr gekoppelten optischen Element 2.2 bzw. LO relativ zu der Empfangseinheit 3 mit dem Bild B bzw. der Fotoemp­ fängereinheit 3.3 und dem damit starr verbundenen weiteren optischen Element LB bzw. 3.1' wegen der in der angegebenen Weise zugeordneten optischen Ele­ mente und dem dazwischen ausgebildeten parallelen Strahlengang keine Auswir­ kung auf die Abbildung des Maßstabes 2.1 auf die Fotoempfängereinheit 3.3 ergibt, wie aus dem Teilbild b) ersichtlich. Entsprechend ergibt auch eine Translationsbewegung Δx und Δy in den beiden seitlichen Richtungen keinen Einfluss auf die Abbildung des Maßstabes 2.1, wie aus dem Teilbild c) ersichtlich. Damit werden die Einflüsse dieser Translationsbewegungen minimiert und die zu erfassende Rotationsbewegung um die Objektachse zuverlässig erfaßbar.
Der Maßstab 2.1 des Winkelgebers ist allgemein auf einer rotationssymmetri­ schen Fläche in Form eines Ringes, Zylinders oder Kegels zu der Drehachse des Objektes angeordnet. Die aus mindestens einem optischen Element 2.2, LO be­ stehende maßstabsseitige Optik ist torisch, konisch oder zylindrisch ausgebildet und zumindest über den Meßbereich rotationssymmetrisch zur Drehachse des Objektes O. Der Begriff "torisch" wird in dem Sinne verwendet, dass die opti­ schen Funktionsflächen unterschiedliche Hauptkrümmungen in unterschiedlichen Raumrichtungen aufweisen können. Beispiele für torische Flächen sind Zylinder­ mantel, Kegelmantel, Ausschnitte aus Torusoberflächen und dgl. oder aber Nä­ herungen an solche Flächentypen.
Der auf dem beschriebenen Prinzip beruhende Winkelgeber besteht im Wesent­ lichen aus dem mit der Drehachse des Objektes O verbundenen bzw. verbind­ baren Maßstab 2.1 mit den Teilkomponenten, Maßverkörperungen in Form der Codespur(en), d. h. der zu detektierenden Maßstabs-Markierungen, welche beispielsweise, aber nicht notwendigerweise auf einer ebenen Grenzfläche des Maßstabes 2.1 angebracht sind, einem oder mehreren mit dem Maßstab 2.1 ortsfest verbundenen optischen Elementen in Form optischer Funktionsflächen, die brechend, reflektierend oder als diffraktive Strukturen ausgebildet sind, vorliegend beispielsweise durch einen torischen Spiegel dargestellt, einer Beleuchtungseinheit 4, mindestens einer optischen Empfangseinheit 3, bestehend aus Detektoren der Fotoempfängereinheit 3.3, beispielsweise mit Foto­ dioden, sowie mindestens einem weiteren optischen Element 3.1', LB in Form weiterer optischer Funktionsflächen. Die Abbildungsoptik ist so ausgelegt, dass eine zumindest eindimensionale optische Abbildung des Maßstabes 2.1 auf die Fotoempfängereinheit 3.3 stattfindet, nämlich zumindest in der Richtung, in der die Maßstabsmarkierungen variieren, d. h. in Meßrichtung. Es kann, muss aber nicht, vorteilhaft sein, senkrecht zur Meßrichtung eine definiert astigmatische, also imperfekte Abbildung vorzusehen. Weiterhin ist die Abbildungsoptik so aus­ gelegt, dass die Empfangseinheit 3 im Wesentlichen kollimiert ist, d. h. Aus­ trittspupille des Maßstabes 2.1 und Eintrittspupille der Empfangseinheit 3 liegen im Unendlichen bzw. zumindest weit entfernt von den optisch wirksamen Teilen. Die Strahlen im Bündel sind parallel.
Eine vorteilhafte Ausführung der Trägereinheit 2 besteht darin, dass diese als integrierte Einheit den Maßstab 2.1 und die optischen Funktionsflächen trägt. Der Körper der Trägereinheit kann dabei beispielsweise auch aus zwei Hälften zusammengesetzt sein, um ihn problemlos beispielsweise an einer Lenksäule an­ bringen zu können, um einen Lenkrad-Drehgeber aufzubauen.
Vorteilhaft ist die Ausführung der Trägereinheit 2 und auch eines Trägers der Empfangseinheit 3 als kostengünstige Kunststoff-Spritzgußteile. Die Fotoemp­ fängereinheit 3.3 kann ein Opto-ASIC beinhalten, d. h. auf einem CMOS-Chip integrierte Fotoempfänger und gegebenenfalls eine Auswerteelektronik aufwei­ sen. Außerdem können die Codespuren in kostengünstiger Prägetechnik herge­ stellt werden.
Durch Faltung des Strahlenganges mittels Mehrfachreflexion in der Trägereinheit 2 bzw. dem Träger der Empfangseinheit 3 an mehreren ebenen oder gekrümm­ ten Grenzflächen kann der Bauraum minimiert werden. Hierzu sind unterschied­ liche optische Anordnungen denkbar.
Einflüsse von Kippungen können durch den vorstehend beschriebenen Aufbau ebenfalls vermindert werden, da sie ebenfalls Komponenten in seitlicher Rich­ tung beinhalten. Um die Kippung der Abbildungsebene gegenüber der optischen Achse beispielsweise gemäß Fig. 1 zu kompensieren, kann die Empfängerebene der Fotoempfängereinheit 3.3 entsprechend gekippt werden, um die sogenannte Scheimpflugbedingung einzuhalten. Zu demselben Zweck kann der Maßstab 2.1 auf einer entsprechend gestalteten torischen Fläche aufgebracht sein.
Bei der Anordnung des Winkelgebers gem. Fig. 1 sind die Abbildungsmaßstäbe entsprechend den unterschiedlichen Weglängen in beiden Achsenrichtungen un­ terschiedlich (anamorphotische Abbildung). Die unterschiedlichen Abbildungs­ maßstäbe können durch eine Anordnung gem. Fig. 3 behoben werden. Bei die­ ser Anordnung bestehen das maßstabsseitige optische Element 2.2 und das empfängerseitige weitere optische Element 3.1 aus identischen reflektierenden torischen optischen Funktionsflächen. Bei dieser Ausführungsform ist der Träger der Empfangseinheit entsprechend der objektseitigen Trägereinheit 2 geformt, so dass sich Vorteile für die Fertigung und auch die Wirkungsweise durch Kompen­ sation evtl. Abbildungsfehler ergeben. Zur Abschirmung störender Lichteinflüsse kann vor der Fotoempfängereinheit 3.3 eine Blende 3.2 angeordnet sein. Bei einer nicht gezeigten weiteren Ausführungsform kann der Beleuchtungs­ strahlengang in der Empfangseinheit 3 ausgebildet sein.
Die Verteilung der optischen Wirkung auf mehrere reflektierende und/oder brechende Flächen kann zur Korrektur von Aberrationen, die Verteilung der erforderlichen Brechkräfte sowie Strahlablenkungen auf mehrere Flächen zur Optimierung der Toleranzen herangezogen werden. Geeignete Kombinationen von brechenden und diffraktiven Flächen können zur Korrektion von Farbfehlern bei Verwendung einer breitbandigen Beleuchtungsquelle eingesetzt werden.

Claims (8)

1. Optische Vorrichtung zum Erfassen einer Bewegung eines Objektes (O) bezüglich einer Empfangseinheit (3) mit einem mit dem Objekt (O) ortsfest verbundenen und beleuchteten Maßstab (2.1), einer mit der Empfangsein­ heit (3) ortsfest verbundenen Fotoempfängereinheit (3.3) und einer zwi­ schen dem Maßstab (2.1) und der Fotoempfängereinheit (3.3) angeordne­ ten optischen Abbildungseinrichtung, dadurch gekennzeichnet, dass die Abbildungseinrichtung als telezentrisches Abbildungssystem mit mindestens einem ortsfest bezüglich des Objektes (O) angeordneten, einen parallelen Strahlengang bildenden optischen Element (2.2, LO) und mindestens einem ortsfest bezüglich der Fotoempfängereinheit (3.3) angeordneten, den parallelen Strahlengang aufnehmenden und eine Abbildung auf der Fotoempfängereinheit (3.3) bewirkenden weiteren optischen Element (3.1, LB) ausgebildet ist.
2. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass der Maßstab (2.1) und das mindestens eine optische Element (2.2, LO) an einer mit dem Objekt (O) verbundenen oder verbindbaren gemein­ samen Trägereinheit (2) vorgesehen sind.
3. Vorrichtung nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, dass die Trägereinheit (2) ein einstückig geformter oder aus mehreren einstückig geformten Teilen zusammengesetzter Körper ist, auf oder in dem der Maßstab (2.1) und das mindestens eine optische Element (2.2, LO) vorgesehen ist.
4. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass sie als Winkelgeber ausgebildet ist und dass das optische Element (2.2) torusförmig oder kegelstumpfförmig ausgebildet ist.
5. Vorrichtung nach Anspruch 3 oder 4, dadurch gekennzeichnet, dass die Empfangseinheit (3) einen dem Körper der Trägereinheit (2) mit dem daran vorgesehenen optischen Element (2.2) zumindest teilweise entsprechenden Formkörper mit dem daran vorgesehenen weiteren op­ tischen Element (3.1) aufweist.
6. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass das mindestens eine optische Element (2.2, LO) und/oder das mindestens eine weitere optische Element (3.1, 3.1', LB) brechend, reflektierend oder als diffraktive Struktur ausgebildet ist.
7. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass im Strahlengang zwischen dem weiteren optischen Element (3.1, 3.1', LB) und der Fotoempfängereinheit (3.3) eine Blende (3.2) an­ geordnet ist.
8. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß der Strahlengang in der Trägereinheit (2) und/oder der Empfangseinheit (3) einfach oder mehrfach gefaltet wird.
DE1999136909 1999-08-05 1999-08-05 Optische Vorrichtung zum Erfassen einer Bewegung eines Objektes Expired - Fee Related DE19936909C1 (de)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE1999136909 DE19936909C1 (de) 1999-08-05 1999-08-05 Optische Vorrichtung zum Erfassen einer Bewegung eines Objektes

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE1999136909 DE19936909C1 (de) 1999-08-05 1999-08-05 Optische Vorrichtung zum Erfassen einer Bewegung eines Objektes

Publications (1)

Publication Number Publication Date
DE19936909C1 true DE19936909C1 (de) 2001-06-21

Family

ID=7917285

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE1999136909 Expired - Fee Related DE19936909C1 (de) 1999-08-05 1999-08-05 Optische Vorrichtung zum Erfassen einer Bewegung eines Objektes

Country Status (1)

Country Link
DE (1) DE19936909C1 (de)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2003079772A1 (de) * 2002-03-22 2003-10-02 Westfaliasurge Gmbh Verfahren zum betreiben einer melkanlage sowie melkanlage

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE8621057U1 (de) * 1986-08-06 1986-10-16 Dr. Johannes Heidenhain Gmbh, 8225 Traunreut Winkelmeßeinrichtung
DE3738977C1 (de) * 1987-11-17 1989-02-16 Heidenhain Gmbh Dr Johannes Lichtelektrische Positionsmesseinrichtung

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE8621057U1 (de) * 1986-08-06 1986-10-16 Dr. Johannes Heidenhain Gmbh, 8225 Traunreut Winkelmeßeinrichtung
DE3738977C1 (de) * 1987-11-17 1989-02-16 Heidenhain Gmbh Dr Johannes Lichtelektrische Positionsmesseinrichtung

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
A. Ernst: Digitale Längen- und Winkelmeßtechnik, Postitionsmeßsysteme für den Maschinen- und Gerätebau, Verlag Moderne Industrie, 4. Aufl. 1995, S. 4-11 *

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2003079772A1 (de) * 2002-03-22 2003-10-02 Westfaliasurge Gmbh Verfahren zum betreiben einer melkanlage sowie melkanlage
US7640888B2 (en) 2002-03-22 2010-01-05 Gea Westfaliasurge Gmbh Method for operating a milking facility, in addition to corresponding milking facility

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE102005043627B4 (de) Optischer Sensor und Verfahren zur optischen Abstands- und/oder Farbmessung
EP3230683B1 (de) Koordinatenmessgerät und verfahren zur messung von merkmalen an werkstücken
EP1347266B1 (de) Vorrichtung zum Vermessen eines Messobjekts
DE102004019332A1 (de) Optischer Drehgeber
DE102011011065B4 (de) Verfahren und Vorrichtung zur hochpräzisen Vermessung von Oberflächen
EP0185167B1 (de) Optisch-elektronisches Messverfahren, eine dafür erforderliche Einrichtung und deren Verwendung
DE202007014435U1 (de) Optischer Sensor für eine Messvorrichtung
WO2011029587A1 (de) Vorrichtung und verfahren zur optischen kompensation der massspurdezentrierung bei drehwinkelsensoren
DE4211875A1 (de) Optischer Abstandssensor
EP1718925B1 (de) Tastkopf für ein koordinatenmessgerät
DE102018217285A1 (de) Tastsystem zur optischen und taktilen Vermessung mindestens eines Messobjekts
EP2381222A1 (de) Führungssystem mit relativ zueinander bewegbaren Körpern und Vorrichtung zur Bestimmung einer Position mittels optischem Abtasten einer Massskala.
DE19504444B4 (de) Interferometeranordnung mit verstellbarer optischer Weglängendifferenz
WO2016146379A1 (de) Koordinatenmessgerät mit beweglichem sensorträger und positionsbestimmungseinrichtung, sowie verfahren zum betreiben eines koordinatenmessgeräts
DE10151563A1 (de) Positionsmessgerät
EP1636544B1 (de) Optischer neigungsmesser
DE19936909C1 (de) Optische Vorrichtung zum Erfassen einer Bewegung eines Objektes
CH626720A5 (de)
DE4200835A1 (de) Drehgeber
DE19705312A1 (de) Adaptiver Lenkwinkelsensor für Fahrzeuge
DE102014215633A1 (de) Positionsmesseinrichtung
DE4442787C1 (de) Koordinatentisch für Koordinatenmeßgeräte
DE19746662A1 (de) Meßanordnung zum berührungslosen Erfassen der Innenkontur von Hohlräumen mit einer Lichtquelle
EP0237470B1 (de) Vorrichtung zur inkrementalen Längenmessung
EP1103791B1 (de) Optisches Winkel- und/oder Weg-Messmodul

Legal Events

Date Code Title Description
8100 Publication of the examined application without publication of unexamined application
D1 Grant (no unexamined application published) patent law 81
8364 No opposition during term of opposition
R119 Application deemed withdrawn, or ip right lapsed, due to non-payment of renewal fee

Effective date: 20130301