DE19921766C1 - Röntgenbildverstärker und Verfahren zu seiner Herstellung - Google Patents

Abstract

Röntgenbildverstärker mit einer Vakuumhülle, in der eine Gettereinrichtung vorgesehen ist, wobei eine flächenartig ausgebildete und einen Träger (8) mit darauf aufgebrachtem Gettermaterial (9) umfassende Gettereinrichtung (7) vorgesehen ist, die nahe der Hülleninnenwand angeordnet ist.

Description

Die Erfindung betrifft einen Röntgenbildverstärker, mit einer Vakuumhülle, in der eine Gettereinrichtung vorgesehen ist, sowie ein Verfahren zu seiner Herstellung.

Solche Röntgenbildverstärker dienen in Verbindung mit einer Röntgenstrahlenquelle zur Aufnahme von Röntgenbildern eines Objekts, beispielsweise im Rahmen medizinischer Anwendungen eines Patienten. Mit dem Röntgenbildverstärker werden die das Objekt durchdringenden Strahlen empfangen und zu einem wei­ terverarbeitbaren Bild gewandelt. Der Röntgenbildverstärker selbst besteht aus einer geschlossenen Vakuumhülle, in der neben einer Elektronenoptik zum Bündeln und Fokussieren der am Eingangsleuchtschirm austretenden Elektronen, die durch die am Eingangsleuchtschirm einfallende Röntgenstrahlung er­ zeugt werden, einer Anode und einem nahe dieser angeordneten Ausgangsleuchtschirm, auf welchem die auftreffenden Elektro­ nen in ein sichtbares Bild gewandelt werden, auch eine Get­ tereinrichtung angeordnet ist, um das im Inneren des Röntgen­ bildverstärkers herrschende Hoch- bis Ultrahochvakuum erzeu­ gen und aufrechterhalten zu können. Eine solche Getterein­ richtung fängt frei werdende Elemente ein, die beispielsweise aufgrund eines ungewollten Elektronenbeschusses der Hüllenin­ nenwand oder aufgrund eines Ausgasungsprozesses erzeugt wer­ den und das Vakuum verschlechtern würden, und bindet diese. Bei bekannten Röntgenbildverstärkern werden diese Getter zum einen durch Verdampfen eines Gettermaterials, welches sich dann großflächig auf der Hülleninnenwand abscheidet, erzeugt (vgl. dazu z. B. die US-PS 4 489 251). Zum anderen ist es be­ kannt (vgl. die US-PS 5 563 407), eine Gettereinrichtung bei­ spielsweise in Form einer kleinen Vakuumpumpe mit einzuset­ zen, die als separates Bauteil im Inneren der Vakuumhülle an­ geordnet wird. Mit der zunehmenden Miniaturisierung der Rönt­ genbildverstärker ergeben sich jedoch Schwierigkeiten, eine Gettereinrichtung anzubringen bzw. zu erzeugen, da ein Auf­ dampfen nicht immer möglich ist, zum anderen ist häufig das Platzangebot zur Installation der Vakuumpumpe mit der Getter­ material-Perle, die darüber hinaus aufgrund ihrer Größe für die Elektronenbewegung hinderlich sein kann, nicht ausrei­ chend. Mitunter wird versucht (vgl. US-PS 5 563 407), diese in einen vom Hüllenkörper abstehenden Flansch zu integrieren, was aber einen schlechten Leitwert und damit eine schlechte Pumpleistung zur Folge hat.

Der Erfindung liegt damit das Problem zugrunde, einen Rönt­ genbildverstärker, dessen Gettereinrichtung bei einfacher Anbringbarkeit im Inneren der Vakuumhülle auch bei kleinen Bildverstärkern ein hinreichend hohes Pumpvermögen aufweist, sowie ein Verfahren zu dessen Herstellung anzugeben.

Zur Lösung dieses Problems ist bei einem Röntgenbildverstär­ ker der eingangs genannten Art erfindungsgemäß vorgesehen, dass eine flächenartig ausgebildete und einen Träger mit dar­ auf aufgebrachtem Gettermaterial umfassende Gettereinrichtung vorgesehen ist, die nahe der Hülleninnenwand angeordnet ist.

Beim erfindungsgemäßen Röntgenbildverstärker kommt eine ein separates vorgefertigtes Bauteil bildende Gettereinrichtung in Form eines beispielsweise streifenartigen Stückes beste­ hend aus einem entsprechenden Träger, vorzugsweise einem Me­ tallträger, beispielsweise aus Nickel bzw. Nickellegierungen oder Titan, und einem darauf aufgebrachten Gettermaterial zum Einsatz. Diese sehr dünne, und infolge der flächenartigen Ausbildung auch entsprechend großflächig dimensionierbare Gettereinrichtung ist nahe der Hülleninnenwand angeordnet, so dass sie sich nur unwesentlich ins Hülleninnere hineiner­ streckt. Neben einer einfachen Montierbarkeit dieser separa­ ten Gettereinrichtung (es ist kein umständliches Aufdampfen erforderlich) auch in sehr kleinen Verstärkern besitzt die Gettereinrichtung infolge ihrer flächenartigen Ausbildung auch ein hinreichend hohes Pumpvermögen, so dass das Vakuum eingestellt und aufrechterhalten werden kann. Besonders zweckmäßig ist es, wenn die Gettereinrichtung im anodennahen Bereich der Vakuumhülle vorgesehen ist. Diese kann im Falle eines die Vakuumhülle bildenden Glaskolbens aus Glas sein, daneben kann der anodennahe Bereich der Vakuumhülle auch mit­ tels eines Keramikteils, an dem sich ein den weiteren Hüllen­ körper bildendes Metallteil anschließt, gebildet sein.

Nach einer ersten Erfindungsausgestaltung kann die Getterein­ richtung an die Vakuumhülle angeschraubt sein. Im Bereich der Vakuumhülle, bevorzugt im Bereich eines etwa vorhandenen Keramikbauteils sind in diesem Fall entsprechende Sacklöcher vorgesehen, in die geeignete Schrauben zum Haltern der Get­ tereinrichtung eingeschraubt werden können. Zweckmäßig ist es, wenn zwischen der Innenwand der Vakuumhülle und dem Trä­ ger der Gettereinrichtung eine den Wärmekontakt verbessernde Schicht vorgesehen sein kann, wofür eine Leitsilberschicht oder eine Polyimidschicht vorgesehen sein kann. Die Leitsil­ berschicht sorgt zusätzlich für eine elektrische Leitfähig­ keit zwischen dem metallischen Träger der Gettereinrichtung und der Vakuumgefäßwand, sofern die Gettereinrichtung im Be­ reich des Metallkörpers des Bildverstärkers vorgesehen ist. Die Polyimidschicht stellt demgegenüber eine Isolations­ schicht dar. Zur Verbesserung der Halterung der Getterein­ richtung ist es zweckmäßig, wenn diese unter mechanischer Vorspannung angeschraubt ist.

Alternativ zum Anschrauben kann die Gettereinrichtung an der Vakuumhülle auch angeklebt sein, wobei als Kleberschicht eine Leitsilberschicht oder eine Polyimidschicht verwendet werden kann. Beide haben darüber hinaus auch den Wärmekontakt ver­ bessernde Eigenschaften. Selbstverständlich sind auch andere Klebemittel denkbar. Das jeweils eingesetzte Klebemittel ist danach zu wählen, welche Materialien zu verbinden sind und welche Temperaturobergrenzen, die beim Ausheizen und Aktivie­ ren der Gettereinrichtung erreicht werden, zulässig sind. Pastöses Leitsilber ist universell einsetzbar, insbesondere auf Glas-Keramik- und Metallunterlagen oder zur Verbindung dieser Materialien untereinander. Im Falle des Polyimids wird ein Polyimidlack auf Basis einer Polyimid-Carbonsäure verwen­ det, welcher nach Aufbringen durch eine Temperaturbehandlung zwischen bevorzugt 360°C und 420°C unter Vakuum oder N₂-Spü­ lung zu einem vakuumfesten Polyimid reagiert. Die Befestigung der Gettereinrichtung ist in den genannten Fällen besonders einfach, da diese lediglich auf die noch nicht durchgetrock­ nete Klebemittelschicht gelegt wird, dort anhaftet und nach Aushärten der Schicht fest mit dieser verbunden ist.

Eine weitere Alternative sieht vor, dass die Gettereinrich­ tung mittels einer einbrennbaren Haftschicht auf die Vakuum­ hülle aufgebracht ist, wobei die einbrennbare Haftschicht be­ vorzugt eine Schicht auf Chromoxid-Basis ist. Eine solche Chromoxid-Schicht kommt im Röntgenbildverstärker im anoden­ nahen Bereich als hochohmiger Gleitpotentialwiderstand zwi­ schen zwei Hochspannungselektroden der Elektronenoptik des Bildverstärkers zum Einsatz. Auch in diesem Fall ist die Get­ tereinrichtung lediglich auf die feuchte Haftschicht zu legen, während des Einbrennens der Haftschicht verbindet sich diese fest mit dem Träger der Gettereinrichtung.

Eine weitere Alternative sieht vor, die Gettereinrichtung mittels einer Lotverbindung zu befestigen, das heißt, der metallische Träger wird an die Innenwand der Vakuumhülle an­ gelötet. Auch ein Anschweißen ist denkbar.

Wie beschrieben ist es erforderlich, die Gettereinrichtung zur Aktivierung auszuheizen. Um dies auf einfache Weise be­ werkstelligen zu können kann vorgesehen sein, dass mit der Gettereinrichtung, insbesondere deren Träger ein aus der Vakuumhülle herausgeführter Heizdraht verbunden ist, der durch entsprechende Vakuumdurchführungen nach außen tritt und über welchen die Gettereinrichtung geheizt werden kann. Alternativ hierzu kann vorgesehen sein, dass an der Außenwand der Vakuumhülle, der Gettereinrichtung gegenüberliegend ein Wärmeübertragungsteil angeordnet ist. Dieses Wärmeübertra­ gungsteil, beispielsweise ein hinreichend dimensionierter Kupferblock kann beispielsweise mittels eines Lasers geheizt werden, auch die direkte Anbringung einer Wärmequelle, insbe­ sondere eines Heizelements am Wärmeübertragungsteil ist denk­ bar. Daneben ist es aber selbstverständlich auch möglich, die Außenseite der Vakuumhülle direkt zu heizen, beispielsweise mittels herumgelegter Heizbänder oder dergleichen, auch hier wird eine hinreichende Erwärmung der Gettereinrichtung er­ wirkt. Im Falle der Anbringung der Gettereinrichtung im Be­ reich eines einen Teil der Vakuumhülle bildenden Keramikteils ist die Erwärmung besonders einfach mittels Mikrowellen, die durch die Keramik hindurchtreten, möglich. Entsprechendes gilt auch für eine gläserne Vakuumhülle.

Schließlich sieht eine weitere Erfindungsausgestaltung vor, dass die Gettereinrichtung an einem Wärmeübertragerteil ange­ ordnet ist, welches in eine Öffnung in der Vakuumhülle einge­ setzt und mittels einer Lot- oder Schweißverbindung an der Vakuumhülle befestigt ist. In diesem Fall ist also das Wärme­ übertragungsteil fest mit der Gettereinrichtung beispiels­ weise mittels einer Klebe-, Lot- oder Schweißverbindung ver­ bunden. Dieses Kombinationselement wird in eine entsprechende Öffnung der Vakuumhülle so eingesetzt, dass die Getterein­ richtung nur unwesentlich über die Wandfläche hinaussteht, die Befestigung erfolgt durch Anlöten oder Anschweißen des Wärmeübertragerteils an der Außenwand der Vakuumhülle.

Neben dem Röntgenbildverstärker selbst betrifft die Erfindung ferner ein Verfahren zur Herstellung eines Röntgenbildver­ stärkers, welcher eine Vakuumhülle mit darin angeordneter Gettereinrichtung umfasst. Dieses Verfahren zeichnet sich er­ findungsgemäß dadurch aus, dass eine flächenartige, einen Träger mit darauf aufgebrachtem Gettermaterial umfassende Gettereinrichtung in einer Position nahe der Innenwand der Vakuumhülle angeordnet wird, wonach die vakuumdicht geschlos­ sene Vakuumhülle evakuiert und die Gettereinrichtung durch Zufuhr von Energie erwärmt wird. Weitere zweckmäßige Ausge­ staltungen des erfindungsgemäßen Verfahrens sind den abhängi­ gen Unteransprüchen zu entnehmen.

Weitere Vorteile und Einzelheiten der Erfindung ergeben sich aus den im folgenden beschriebenen Ausführungsbeispielen sowie anhand der Zeichnungen. Dabei zeigen:

Fig. 1 eine Schnittansicht durch einen Teil eines Röntgen­ bildverstärkers,

Fig. 2 eine Prinzipskizze zur Darstellung des Anschraubens der Gettereinrichtung, und

Fig. 3 eine Prinzipskizze zur Darstellung der Anbringung einer Gettereinrichtung im Bereich einer Hüllenöff­ nung.

Fig. 1 zeigt in einer Teilansicht einen erfindungsgemäßen Röntgenbildverstärker 1, der im gezeigten Ausführungsbeispiel aus einem Keramikteil 2, an dessen unteren Bereich die Anode 3 sowie der Ausgangsleuchtschirm 4 vorgesehen ist, sowie ei­ nem metallischen Hüllenteil 5 besteht. Das Keramikteil 2 und das Metallteil 5 zusammen bilden die Vakuumhülle 6. An der Innenwand des Keramikteils 2 ist, im gezeigten Beispiel einander gegenüberliegend, hier eine Gettereinrichtung 7 be­ stehend aus einem Träger 8 und dem auf den Träger 8 aufge­ brachten Gettermaterial 9 angeordnet. Das Gettermaterial kann z. B. aus ca. 84% Zr und ca. 16% Al oder ca. 70% Zr, ca. 24,6% V und ca. 5,4% Fe bestehen. Es kann auf den Träger unter hohem Druck aufgepresst oder (gegebenenfalls unter Ti- Pulver-Zumischung) aufgesintert sein. Als Trägermaterial kann unmagnetisches Konstantan oder vernickeltes Fe verwendet wer­ den, auf das das Gettermaterial aufgepresst wird. Zum Aufsin­ tern kann ein Träger aus Nichrom, Nicrofer oder Titan verwen­ det werden. Auch Gettermaterialien auf Basis von Ba oder Ti sind verwendbar. Die Gettereinrichtung 7 stellt ein separa­ tes, vorgefertigtes Bauteil dar, welches flächig ausgebildet ist und beispielsweise die Form eines Streifens besitzt. Die Gettereinrichtung 7 ist mittels einer Schicht 10 an der Innenwand befestigt. Bei dieser Schicht 10 kann es sich zum einen um eine Klebeschicht handeln, das heißt, die Getterein­ richtung 7 ist aufgeklebt. Hierzu kann eine Schicht aus Leit­ silber verwendet werden. Leitsilberpasten sind universell einsetzbar, insbesondere auf Glas-, Keramik- und Metallunter­ lagen oder zur Verbindung dieser Materialien untereinander. Zu bevorzugen sind Pasten mit einem lufttrocknenden Lack als Trägersubstanz. Die Paste wird beispielsweise einfachst mit­ tels eines Pinsels aufgetragen. Sofern es die Geometrie des Teils, auf das die Paste aufzubringen ist, zulässt, ist auch ein Aufbringen mittels Siebdrucktechnik möglich. Die Get­ tereinrichtung 7 wird zur Montage einfach auf die frisch auf­ gestrichene oder leicht angetrocknete Leitsilberschicht auf­ gelegt. Im Trocknungs- bzw. Heizprozess zum Ausheizen des Bildverstärkers und zur Aktivierung der Gettereinrichtung er­ folgt die Haftvermittlung zwischen Gettereinrichtung 7 und der Innenwand. Im Rahmen des Ausheizens gast auch die Leit­ silberschicht aus.

Anstelle von Leitsilber kann es sich bei der Schicht 10 auch um eine Polyimidschicht handeln, die - im Vergleich zur elek­ trisch leitfähigen Leitsilberschicht - ein Isolator ist. Auch hier kann der Auftrag mittels eines Pinsels erfolgen. Aus­ gangsprodukt für das Polyimid kann beispielsweise eine Polyi­ mid-Carbonsäure sein, die vollständig zu einem vakuumfesten Polyimid im Rahmen einer Temperaturbehandlung beispielsweise zwischen 360°C und 420°C unter Vakuum oder N₂-Spülung reagiert. Die Temperaturbelastbarkeit, während der Aktivie­ rung der Gettereinrichtung, beträgt in diesem Fall ca. 500- 600°C. Vorzugsweise erfolgt die Imidisierung in Verbindung mit der Getteraktivierung oder unmittelbar nach Abschluss derselben. Polyimid eignet sich für die Verbindung sehr un­ terschiedlicher Materialien, also auch für Metall-Keramik oder Metall-Glas-Verbindungen. Es ist insbesondere auch dann einzusetzen, wenn die thermischen Ausdehnungskoeffizienten zwischen dem Träger der Gettereinrichtung und dem Material der Hülle deutlich unterschiedlich sind.

Schließlich kann es sich bei der Schicht 10 auch um eine Ein­ brennhaftschicht auf Chromoxid-Basis handeln. Im Röntgenbild­ verstärker kommt im anodennahen Bereich zwischen der Elek­ trode 13 der Elektronenoptik und der Anode 3 eine Chromoxid- Schicht zum Einsatz, die dazu dient, statische Aufladungen in diesem Bereich zu verhindern und eine gleichmäßige stabile Stufung der Potentialdifferenz zwischen Elektrode und Anode zu gewährleisten. Die Chromoxid-Schicht wird durch Aufstrei­ chen einer Paste hergestellt. Zur Befestigung der Getterein­ richtung wird diese auf die noch feuchte Paste aufgelegt, wo­ nach die Paste bei einer Temperatur von 120-300°C vakuum­ fest eingebrannt wird. Dabei verbindet sich die Haftschicht fest mit dem Träger. Bevorzugt werden die Einbrenntemperatur und die Getteraktvierungstemperatur aufeinander abgestimmt bzw. es wird ein passendes Gettermaterial mit einer Aktivie­ rungstemperatur oberhalb der Einbrenntemperatur gewählt.

Wie Fig. 1 ferner zeigt, können mit der Gettereinrichtung 7 bzw. deren Träger 8 Heizdrähte 11, in Fig. 1 nur gestrichelt gezeigt, verbunden sein, über welche die Gettereinrichtung 7 zur Aktivierung erwärmt werden kann. Die Heizdrähte 11 sind durch entsprechende Vakuumdurchführungen nach außen geführt. Alternativ hierzu bietet sich die Möglichkeit (wie in Fig. 1 rechts dargestellt), an der Außenseite des Keramikkörpers 2, der Gettereinrichtung 7 gegenüberliegend, ein Wärmeübertra­ gungsteil 12 beispielsweise in Form eines Kupferblocks zu be­ festigen und dieses zu heizen (wozu z. B. ein Heizelement 21 am Wärmeübertragungsteil 12 angeordnet sein kann, wie in Fig. 1 gestrichelt gezeigt), worüber dann auch die Gettereinrich­ tung 7 erwärmt wird. Alternativ hierzu besteht natürlich die Möglichkeit, durch Umlegen von Heizbändern oder direktes An­ bringen eines Heizelements an der Außenwand die Erwärmung vorzunehmen. Insbesondere im Falle eines Keramikteils 2 bie­ tet sich die vorteilhafte Möglichkeit, die Hüllenwand auch direkt mittels eines Laserstrahls oder mittels Mikrowellen zu erwärmen.

Fig. 2 zeigt eine weitere Möglichkeit der Befestigung der Gettereinrichtung 7. In diesem Beispiel wird die Getterein­ richtung 7 mittels zweier Befestigungsschrauben 14, die in entsprechende Sacklöcher 15 der Vakuumhülle, hier beispiels­ weise des Keramikteils 2, eingeschraubt werden. Ersichtlich wird die Gettereinrichtung 7 unter Vorspannung eingeschraubt, sie ist leicht vorgebogen. Unterhalb der Gettereinrichtung 7 ist eine den Wärmekontakt zum Keramikteil 2 verbessernde Schicht 16 vorgesehen, auch hier kann es sich beispielsweise um eine Leitsilberschicht handeln.

Schließlich zeigt Fig. 3 eine weitere Möglichkeit der Anord­ nung der Gettereinrichtung 7. Diese ist in diesem Fall mit ihrem Träger 8 über eine Verbindungsschicht 17 fest mit einem Wärmeübertragungsteil 18 verbunden, so dass eine separate Einheit gebildet ist. Diese Einheit ist in eine Öffnung 19 in der Vakuumhülle, hier beispielsweise des Metallteils 5, ein­ gesetzt. Die Größe der Öffnung entspricht der Größe dieser Einheit bzw. zumindest der Größe des Wärmeübertragerteils 18, sofern die Gettereinrichtung 7 etwas kleiner als dieses ist. Die komplette Einheit wird so weit in die Öffnung 19 hinein­ geschoben, bis die Gettereinrichtung 7 etwas über die Innen­ wand hinaussteht. Anschließend wird das Wärmeübertragungsteil 18 mittels einer Lot- oder Schweißnaht 20 an der Außenwand befestigt. Wie Fig. 3 ferner zu entnehmen ist, kann an dem Wärmeübertragungsteil 18 eine Wärmequelle 21 angeordnet sein, diese ist nur gestrichelt gezeichnet. Alternativ kann das Übertragungsteil 18 auch beispielsweise mittels eines Lasers oder anderweitige Heizelemente in Form von Heizbändern oder dergleichen erwärmt werden.

Claims (31)

1. Röntgenbildverstärker, mit einer Vakuumhülle, in der eine Gettereinrichtung vorgesehen ist, dadurch gekennzeichnet, dass eine flächenartig aus­ gebildet und einen Träger (8) mit darauf aufgebrachtem Get­ termaterial (9) umfassende Gettereinrichtung (7) vorgesehen ist, die nahe der Hülleninnenwand angeordnet ist.

2. Röntgenbildverstärker nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Gettereinrichtung (7) im anodennahen Bereich der Vakuumhülle (6) vorgesehen ist.

3. Röntgenbildverstärker nach Anspruch 1 oder 2, da­ durch gekennzeichnet, dass die Get­ tereinrichtung (7) an die Vakuumhülle (6) angeschraubt ist.

4. Röntgenbildverstärker nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, dass zwischen der Innenwand der Vakuumhülle (6) und dem Träger (8) der Gettereinrichtung (7) eine den Wärmekontakt verbessernde Schicht (16) vorgese­ hen ist.

5. Röntgenbildverstärker nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, dass als die den Wärmekon­ takt verbessernde Schicht (16) eine Leitsilberschicht oder eine Polyimidschicht vorgesehen ist.

6. Röntgenbildverstärker nach einem der Ansprüche 3 bis 5, dadurch gekennzeichnet, dass die Gettereinrichtung (7) unter mechanischer Vorspannung ange­ schraubt ist.

7. Röntgenbildverstärker nach Anspruch 1 oder 2, da­ durch gekennzeichnet, dass die Gettereinrichtung (7) an der Vakuumhülle (6) angeklebt ist.

8. Röntgenbildverstärker nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, dass die Gettereinrichtung (7) mittels einer Leitsilberschicht (10) angeklebt ist.

9. Röntgenbildverstärker nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, dass die Gettereinrichtung (7) mittels einer Polyimidschicht (10) angeklebt ist.

10. Röntgenbildverstärker nach Anspruch 1 oder 2, da­ durch gekennzeichnet, dass die Gettereinrichtung (7) mittels einer eingebrannten Haftschicht (10) auf die Vakuumhülle (6) angebracht ist.

11. Röntgenbildverstärker nach Anspruch 10, dadurch gekennzeichnet, dass die Haftschicht (10) eine Schicht auf Chromoxid-Basis ist.

12. Röntgenbildverstärker nach Anspruch 1 oder 2, da­ durch gekennzeichnet, dass die Gettereinrichtung mittels einer Lot- oder Schweißverbindung befestigt ist.

13. Röntgenbildverstärker nach einem der vorangehenden An­ sprüche, dadurch gekennzeichnet, dass mit der Gettereinrichtung (7), insbesondere deren Träger (8) ein aus der Vakuumhülle (6) herausgeführter Heizdraht (11) verbunden ist.

14. Röntgenbildverstärker nach einem der Ansprüche 1 bis 12, dadurch gekennzeichnet, dass an der Außenwand der Vakuumhülle (6), der Gettereinrichtung (7) gegenüberliegend ein Wärmeübertragungsteil (12) angeordnet ist.

15. Röntgenbildverstärker nach Anspruch 14, dadurch gekennzeichnet, dass am Wärmeübertragungsteil (12) eine Wärmequelle (21), insbeson­ dere ein Heizelement angeordnet oder anbringbar ist.

16. Röntgenbildverstärker nach einem der Ansprüche 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass die Gettereinrichtung (7) an einem Wärmeübertragerteil (18) angeordnet ist, welches in eine Öffnung (19) in der Vakuum­ hülle (6) eingesetzt und mittels einer Lot- oder Schweißver­ bindung (20) an der Vakuumhülle (6) befestigt ist.

17. Röntgenbildverstärker nach Anspruch 16, dadurch gekennzeichnet, dass die Gettereinrichtung (7) am Wärmeübertragungsteil (18) mittels einer Klebe-, Lot- oder Schweißverbindung befestigt ist.

18. Röntgenbildverstärker nach Anspruch 16 oder 17, da­ durch gekennzeichnet, dass am Wärmeübertragungsteil (18) eine Wärmequelle (21), insbeson­ dere ein Heizelement angeordnet oder anbringbar ist.

19. Verfahren zur Herstellung eines Röntgenbildverstärkers nach einem der vorangehenden Ansprüche, welcher eine Vakuum­ hülle mit darin angeordneter Gettereinrichtung umfasst, dadurch gekennzeichnet, dass eine flächenartige, einen Träger mit darauf aufgebrachtem Gettermaterial umfassende Gettereinrichtung in einer Position nahe der Innenwand der Vakuumhülle angeordnet wird, wonach die vakuumdicht geschlossene Vakuumhülle evakuiert und die Gettereinrichtung durch Zufuhr von Energie erwärmt wird.

20. Verfahren nach Anspruch 19, dadurch ge­ kennzeichnet, dass die Gettereinrichtung im Bereich nahe einer im Hülleninneren befindlichen Anode ange­ ordnet wird.

21. Verfahren nach Anspruch 19 oder 20, dadurch gekennzeichnet, dass die Gettereinrichtung an der Innenwand angeschraubt oder mittels eines Klebemittels angeklebt oder mittels einer einbrennbaren Haftschicht angebracht oder mittels einer Lotverbindung befestigt wird.

22. Verfahren nach Anspruch 21, dadurch ge­ kennzeichnet, dass vor dem Anschrauben eine den Wärmekontakt des Trägers zur Innenwand verbessernde vis­ kose und aushärtbare Schicht, insbesondere eine Leitsilber­ paste oder ein Polyimidlack auf die Innenwand oder den Träger aufgebracht wird.

23. Verfahren nach Anspruch 21 oder 22, dadurch gekennzeichnet, dass die Gettereinrichtung unter Vorspannung angeschraubt wird, wobei sie weiter verspannt wird.

24. Verfahren nach Anspruch 21, dadurch ge­ kennzeichnet, dass als Klebemittel eine Leitsilberpaste oder ein Polyimidlack verwendet wird.

25. Verfahren nach einem der Ansprüche 22 bis 24, da­ durch gekennzeichnet, dass eine Schicht oder ein Klebemittel mit einem lufttrocknenden Lack als Trägermaterial verwendet wird.

26. Verfahren nach einem der Ansprüche 22 bis 25, da­ durch gekennzeichnet, dass die Schicht oder das Klebemittel mittels eines Pinsels oder in einem Siebdruckverfahren aufgebracht wird.

27. Verfahren nach Anspruch 21, dadurch ge­ kennzeichnet, dass als einbrennbare Haft­ schicht eine Schicht auf Chromoxid-Basis verwendet wird.

28. Verfahren nach einem der Ansprüche 19 bis 27, da­ durch gekennzeichnet, dass an der Außenwand der Vakuumhülle, der Gettereinrichtung gegen­ überliegend ein Wärmeübertragungsteil angeordnet wird, über welches die Energie zum Erwärmen der Gettereinrichtung zuge­ führt wird.

29. Verfahren nach Anspruch 19 oder 20, dadurch gekennzeichnet, dass eine an einem Wärme­ übertragerteil angeordnete Gettereinrichtung verwendet wird, wobei das Wärmeübertragungsteil in eine Öffnung in der Vaku­ umhülle eingesetzt oder dort angesetzt und angelötet oder an­ geschweißt wird.

30. Verfahren nach einem der Ansprüche 19 bis 29, da­ durch gekennzeichnet, dass die Energie mittels eines Laserstrahls oder in Form von Mikro­ welle zugeführt wird, oder dass hüllenaußenseitig oder am Wärmeübertragungsteil ein Heizelement zur Energieerzeugung angeordnet wird.

31. Verfahren nach einem der Ansprüche 19 bis 29, da­ durch gekennzeichnet, dass eine Gettereinrichtung verwendet wird, die oder deren Träger mit einem aus der Vakuumhülle herauszuführenden Heizdraht verbun­ den ist.