DE19921121A1

DE19921121A1 - Elektrophotographische Vorrichtung

Info

Publication number: DE19921121A1
Application number: DE1999121121
Authority: DE
Inventors: Akihiko Kamada; Isao Kato; Norio Sakai
Original assignee: Murata Manufacturing Co Ltd
Current assignee: Murata Manufacturing Co Ltd
Priority date: 1998-05-08
Filing date: 1999-05-07
Publication date: 1999-12-09
Also published as: JPH11330671A

Abstract

Eine elektrophotographische Vorrichtung zum Ausführen eines elektrophotographischen Verfahrens umfaßt ein photoempfindliches Bauglied, eine Koronaladeeinrichtung zum Laden der Oberfläche des photoempfindlichen Bauglieds, eine Pulverzufuhreinrichtung zum Zuführen eines schaltungsbildenden und aufladbaren Pulvers zu einer latenten Bildstruktur, die auf dem photoempfindlichen Bauglied gebildet ist, eine Übertragungsvorrichtung zum Übertragen des Pulvers auf der latenten Bildstruktur auf die Keramikgrünschicht und eine Blitzlampe zum Befestigen des Pulvers, das auf die Keramikgrünschicht übertragen worden ist, um eine Schaltungsstruktur auf der Keramikgrünschicht zu bilden. Laserstrahlen werden verwendet, um die latente Bildstruktur auf der Oberfläche des photoempfindlichen Bauglieds zu bilden. Die Übertragungsvorrichtung kann eine leitfähige oder dielektrische Rolle oder ein leitfähiger oder dielektrischer Riemen sein. Die Übertragungsvorrichtung drückt gegen die Rückseite der Keramikgrünschicht, wobei ein elektrisches Feld, das zwischen dem photoempfindlichen Bauglied und der Übertragungsvorrichtung entwickelt wird, das Pulver auf die Keramikgrünschicht überträgt. Die elektrophotographische Vorrichtung verhindert, daß der Schaltungsstrukturschichtwiderstand beim Brennen ansteigt, wenn die Vorrichtung verwendet wird, um eine Schaltungsstruktur auf eine Keramikgrünschicht durch ein elektrophotographisches Verfahren zu bilden.

Description

Die vorliegende Erfindung bezieht sich auf eine elektropho tographische Vorrichtung. Insbesondere bezieht sich die vor liegende Erfindung auf eine elektrophotographische Vorrich tung zum Bilden einer Schaltungsstruktur auf einer Keramik grünschicht durch ein elektrophotographisches Verfahren.

Eine elektrophotographische Vorrichtung, die zum Ausführen eines elektrophotographischen Verfahrens verwendet wird, um eine vorbestimmte Schaltungsstruktur auf einer Keramikgrün schicht zu bilden, indem ein Schaltungs-bildendes und auf ladbares Pulver verwendet wird, und indem die elektrosta tische Kraft verwendet wird, ist in der japanischen unge prüften Patentveröffentlichung Nr. 2-257696 offenbart. Fig. 5 stellt die Struktur der herkömmlichen elektrophotographi schen Vorrichtung dar, die verwendet wird, um eine Schal tungsstruktur auf einer Keramikgrünschicht zu bilden. Die elektrophotographische Vorrichtung 50 umfaßt ein photoemp findliches Bauglied 51, eine Koronaladeeinrichtung 52 zum Laden der Oberfläche des photoempfindlichen Bauglieds 51, eine Pulverzufuhreinrichtung 55 zum Zuführen eines Schal tungs-bildenden und aufladbaren Pulvers 54 zu einer latenten Bildstruktur, die auf dem photoempfindlichen Bauglied 51 ge bildet ist, eine Koronaübertragungseinrichtung 57 zum Über tragen des Pulvers 54 von der latenten Bildstruktur auf eine Keramikgrünschicht 56 und eine Blitzlampe 58 zum Befestigen des Pulvers 54, das auf die Keramikgrünschicht 56 übertragen ist, um eine Schaltungsstruktur auf der Keramikgrünschicht 56 zu bilden. Laserstrahlen 53 werden verwendet, um das la tente Strukturbild auf der Oberfläche des photoempfindlichen Bauglieds 51 zu bilden.

Die Fig. 6A bis 6E stellen die Schritte dar, die ausgeführt werden, um eine Schaltungsstruktur auf einer Keramikgrün schicht zu bilden, wobei die elektrophotographische Vorrich tung 50 von Fig. 5 verwendet wird. Fig. 6A stellt den Schritt des negativen Ladens der Oberfläche des photoemp findlichen Bauglieds 51 mit der Koronaladeeinrichtung 52 dar. Fig. 6B stellt den Schritt des Bestrahlens und Belich tens der Oberfläche des photoempfindlichen Bauglieds 51 mit den Laserstrahlen 53 zum Ladungsentfernen dar, um die laten te Bildstruktur 59 auf der Oberfläche des photoempfindlichen Bauglieds 51 zu bilden. Fig. 6C stellt den Schritt des Ent wickelns der latenten Bildstruktur 59, die auf dem photoemp findlichen Bauglied 51 gebildet ist, dar, wobei bewirkt wird, daß das negativ geladene Pulver 54 durch elektrosta tische Kräfte auf der latenten Bildstruktur 59, die auf der Oberfläche des photoempfindlichen Bauglieds 51 gebildet ist, haftet. Fig. 6D stellt den Schritt des Übertragens des Pul vers 54 auf der latenten Bildstruktur 59 auf die Keramik grünschicht 56 als Ergebnis des Erzeugens einer positiven Ladung auf der Keramikgrünschicht 56 dar, so daß sie eine Ladung hat, die der des Pulvers 54 entgegengesetzt ist. Fig. 6E stellt den Schritt des Befestigens des Pulvers 54, das auf vorbestimmte Positionen auf der Keramikgrünschicht 56 übertragen worden ist, durch Bestrahlen desselben unter Ver wendung der Blitzlampe 58 dar, um eine Schaltungsstruktur 60 auf der Keramikgrünschicht 56 zu bilden.

Bei dem Übertragungsverfahren wird das elektrische Feld, das zwischen dem photoempfindlichen Bauglied 51 und der Keramik grünschicht 56 erzeugt wird, verwendet, um das Pulver 54 (auf der latenten Bildstruktur 59 auf der Oberfläche des photoempfindlichen Bauglieds 51) auf die Keramikgrünschicht 56 zu übertragen.

Bei der herkömmlichen elektrophotographischen Vorrichtung wird eine Koronaübertragungseinrichtung beim Schritt des Übertragens verwendet. Die Keramikgrünschicht und die Koro naübertragungseinrichtung sind nicht in Kontakt miteinander. Dies führt dazu, daß es einfach ist, daß die Keramikgrün schicht transportiert wird. Wenn jedoch die Keramikgrün schicht und die Koronaübertragungseinrichtung durch einen großen Abstand getrennt sind, um es einfach zu machen, die Keramikgrünschicht zu transportieren, wird das elektrische Feld, das zwischen dem photoempfindlichen Bauglied und der Keramikgrünschicht erzeugt wird, aufgrund einer Reduktion der Menge der Ladung, die von der Koronaübertragungseinrich tung der Keramikgrünschicht gegeben wird, schwach. Wenn das elektrische Feld schwach wird, fliegt das Schaltungs-bilden de Pulver (auf der latenten Bildstruktur auf der Oberfläche der photoempfindlichen Trommel) nicht korrekt zu der Kera mikgrünschicht hin, wodurch fleckenartige Leerräume in der Schaltungsstruktur auf der Keramikgrünschicht bewirkt wer den, so daß eine Schaltungsstruktur mit Leerräumen resul tiert. Dann, nachdem die Keramikgrünschicht gebrannt worden ist, kann der Schichtwiderstand der Schaltungsstruktur auf grund der fleckenartigen Leerräume außerordentlich hoch sein.

Wenn zusätzlich eine Koronaübertragungseinrichtung beim Schritt des Übertragens verwendet wird, werden unweigerlich als Resultat der Ionisation von Sauerstoffmolekülen in der Atmosphäre, die durch eine Koronaentladung in der Korona übertragungseinrichtung bewirkt wird, Ozonmoleküle erzeugt.

Die Aufgabe der vorliegenden Erfindung besteht darin, eine elektrophotographische Vorrichtung zu schaffen, die auf zu verlässige Art und Weise eine Schaltungsstruktur auf einer Keramikgrünschicht bilden kann.

Diese Aufgabe wird durch eine elektrophotographische Vor richtung nach Patentanspruch 1 oder 4 gelöst.

Eine weitere Aufgabe der vorliegenden Erfindung besteht dar in, ein Verfahren zu schaffen, durch das auf zuverlässige Art und Weise eine Schaltungsstruktur auf einer Keramikgrün schicht gebildet werden kann.

Diese Aufgabe wird durch ein Verfahren gemäß Patentanspruch 7 gelöst.

Die vorliegende Erfindung schafft eine elektrophotographi sche Vorrichtung, die es verhindert, daß der Schaltungs strukturschichtwiderstand ansteigt, wenn die Vorrichtung verwendet wird, um eine Schaltungsstruktur auf einer Kera mikschicht durch ein elektrophotographisches Verfahren zu bilden.

Ein Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfindung schafft eine elektrophotographische Vorrichtung zum Bilden einer Schaltungsstruktur auf einer Keramikgrünschicht durch ein elektrophotographisches Verfahren, wobei die elektrophoto graphische Vorrichtung folgende Merkmale aufweist:
ein photoempfindliches Bauglied;
eine Einrichtung zum Laden der Oberfläche des photoempfind lichen Bauglieds;
eine Einrichtung zum Belichten der Oberfläche des photo empfindlichen Bauglieds, um eine latente Bildstruktur auf der Oberfläche des photoempfindlichen Bauglieds zu bilden;
eine Einrichtung zum Zuführen eines Schaltungs-bildenden und aufladbaren Pulvers zu der latenten Bildstruktur, die auf dem photoempfindlichen Bauglied gebildet ist, um die latente Bildstruktur zu entwickeln;
eine Einrichtung zum Übertragen des Pulvers, das verwendet wird, um die latente Bildstruktur zu entwickeln, auf die Keramikgrünschicht; und
eine Einrichtung zum Befestigen des Pulvers, das auf die Keramikgrünschicht übertragen worden ist, um die Schaltungs struktur auf der Keramikgrünschicht zu bilden,
wobei die Übertragungseinrichtung angeordnet ist, um gegen die hintere Oberfläche der Keramikgrünschicht zu drücken, um das Pulver, das verwendet wird, um die latente Bildstruktur zu entwickeln, ansprechend auf ein elektrisches Feld, das zwischen dem photoempfindlichen Bauglied und der Übertra gungseinrichtung erzeugt wird, die gegen die hintere Ober fläche der Keramikgrünschicht gedrückt wird, auf die Kera mikgrünschicht zu übertragen.

Gemäß einem weiteren Ausführungsbeispiel der Erfindung um faßt ein Verfahren zum Bilden einer Schaltungsstruktur auf einer Keramikgrünschicht durch ein elektrophotographisches Verfahren folgende Schritte:
Bereitstellen eines photoempfindlichen Bauglieds;
Laden der Oberfläche des photoempfindlichen Bauglieds;
Belichten der Oberfläche des photoempfindlichen Bauglieds, um eine latente Bildstruktur auf der Oberfläche des photo empfindlichen Bauglieds zu bilden;
Zuführen eines Schaltungs-bildenden und aufladbaren Pulvers zu der latenten Bildstruktur, die auf dem photoempfindlichen Bauglied gebildet ist, um die latente Bildstruktur zu ent wickeln;
Übertragen des Pulvers, das verwendet wird, um die latente Bildstruktur zu entwickeln, auf die Keramikgrünschicht; und
Befestigen des Pulvers, das auf die Keramikgrünschicht über tragen worden ist, um die Schaltungsstruktur auf der Kera mikgrünschicht zu bilden,
wobei der Schritt des Übertragens durchgeführt wird, indem ein elektrisches Feld zwischen dem photoempfindlichen Bau glied und einer Übertragungseinrichtung erzeugt wird, die gegen die hintere Oberfläche der Keramikgrünschicht gedrückt wird, um das Pulver, das verwendet wird, um die latente Bildstruktur zu entwickeln, auf die Keramikgrünschicht an sprechend auf das elektrische Feld zu übertragen.

Ferner ist ein vorteilhaftes Verfahren zum Herstellen des aufladbaren Schaltungs-bildenden Pulvers offenbart.

Gemäß der oben beschriebenen elektrophotographischen Vor richtung und gemäß dem oben beschriebenen Verfahren wird das Schaltungs-bildende und aufladbare Pulver (das verwendet wird, um die latente Bildstruktur, die auf dem photoempfind lichen Bauglied gebildet ist, zu entwickeln) auf die Kera mikgrünschicht übertragen, indem das elektrische Feld ver wendet wird, das zwischen dem photoempfindlichen Bauglied und der Übertragungseinrichtung erzeugt wird, die gegen die hintere Oberfläche der Keramikgrünschicht gedrückt wird. Durch Verwenden des elektrischen Felds, das zwischen dem photoempfindlichen Bauglied und der Übertragungseinrichtung erzeugt wird, die gegen die hintere Oberfläche der Keramik grünschicht gedrückt wird, wird dementsprechend das Pulver (das verwendet wird, um die latente Bildstruktur zu ent wickeln) effizient auf die Keramikgrünschicht übertragen, was in einer effizienteren Übertragungsoperation resultiert. Da es möglich ist, fleckenartige Leerräume zu verhindern, steigt der Schaltungsstrukturschichtwiderstand nicht aufgrund von Leerräumen an. Wenn als Ergebnis eine Mehr schichtverdrahtungsplatine oder dergleichen gebildet wird, ist es beispielsweise möglich, zu verhindern, daß der Ver drahtungswiderstand ansteigt.

Da eine Koronaübertragungseinrichtung, die auf einer Koro naentladung basierend arbeitet, nicht verwendet wird, kann die Menge an Ozon, die erzeugt wird, sehr klein gehalten werden.

Bei der oben beschriebenen elektrophotographischen Vorrich tung kann die Übertragungseinrichtung eine Übertragungsrolle oder ein Übertragungsriemen sein.

Wenn eine Übertragungsrolle als Übertragungseinrichtung ver wendet wird, kann eine kleinere und preisgünstigere Übertra gungseinrichtung erhalten werden, die es möglich macht, die Größe und die Kosten der elektrophotographischen Vorrichtung zu reduzieren.

Wenn ein Übertragungsriemen als Übertragungseinrichtung ver wendet wird, können das Übertragen und das Transportieren durch eine Einheit erreicht werden, wodurch es möglich wird, eine elektrophotographische Vorrichtung zu realisieren, die herausragende Übertragungs- und Transportfähigkeiten auf weist.

Bevorzugte Ausführungsbeispiele der vorliegenden Erfindung werden nachfolgend bezugnehmend auf die beiliegenden Zeich nungen detailliert erläutert. Es zeigen:

Fig. 1 eine Struktur eines ersten Ausführungsbeispiels der elektrophotographischen Vorrichtung gemäß der vor liegenden Erfindung;

Fig. 2A bis 2E die Schritte, die ausgeführt werden, um eine Schaltungsstruktur auf einer Keramikgrünschicht mit der elektrophotographischen Vorrichtung von Fig. 1 zu bilden;

Fig. 3 die Struktur eines zweiten Ausführungsbeispiels der elektrophotographischen Vorrichtung gemäß der vor liegenden Erfindung;

Fig. 4 ein Schaltungs-bildendes und aufladbares Pulverpar tikel, das bei der elektrophotographischen Vorrich tung der Fig. 1 und 3 verwendet wird;

Fig. 5 die Struktur einer herkömmlichen elektrophotogra phischen Vorrichtung; und

Fig. 6A bis 6E die Schritte, die ausgeführt werden, um eine Schaltungsstruktur auf einer Keramikgrünschicht mit der elektrophotographischen Vorrichtung von Fig. 5 zu bilden.

Fig. 1 zeigt die Struktur eines ersten Ausführungsbeispiels der elektrophotographischen Vorrichtung gemäß der vorliegen den Erfindung. Die elektrophotographische Vorrichtung 10 um faßt ein photoempfindliches Bauglied 11, eine Koronaladeein richtung 12 zum Laden der Oberfläche des photoempfindlichen Bauglieds 11, eine Pulverzufuhreinrichtung 15 zum Zuführen eines Schaltungs-bildenden und aufladbaren Pulvers 14 zu der latenten Bildstruktur, die auf dem photoempfindlichen Bau glied 11 gebildet ist, eine Übertragungsrolle 17 zum Über tragen des Pulvers 14 auf der latenten Bildstruktur auf eine Keramikgrünschicht 16, und eine Blitzlampe 18 zum Befestigen des Pulvers 14, das auf die Keramikgrünschicht 16 übertragen worden ist, um eine Schaltungsstruktur auf der Keramikgrün schicht 16 zu bilden. Laserstrahlen 13 werden verwendet, um die Oberfläche des photoempfindlichen Bauglieds 11 zu be lichten, um die latente Bildstruktur zu bilden.

Die Übertragungsrolle 17 kann beispielsweise eine elektrisch leitfähige Rolle sein, die einen elektrisch leitfähigen Gum mi enthält, oder eine dielektrische Rolle, die eine dielek trische Schicht aufweist, die auf einem elektrisch leitfä higen Gummi gebildet ist. Dieselbe ist mit einer Hochspan nungsleistungsversorgung V verbunden.

Die Fig. 2A bis 2E stellen die Schritte dar, die ausgeführt werden, um eine Schaltungsstruktur auf einer Keramikgrün schicht mit der elektrophotographischen Vorrichtung 10 von Fig. 1 zu bilden.

Fig. 2A stellt den Schritt des negativen Ladens der Oberflä che des photoempfindlichen Bauglieds 11 mit der Koronalade einrichtung 12 dar. Fig. 2B stellt den Schritt des Bestrah lens und Belichtens der Oberfläche des photoempfindlichen Bauglieds 11 mit Laserstrahlen 13 für ein Ladungsentfernen dar, um die latente Bildstruktur 19 auf der Oberfläche des photoempfindlichen Bauglieds 11 zu bilden.

Fig. 2C stellt den Schritt des Entwickelns der latenten Bildstruktur 19, die auf der Oberfläche des photoempfindli chen Bauglieds 11 gebildet ist, durch Bewirken, daß das ne gativ geladene Pulver 14 auf der latenten Bildstruktur 19 durch elektrostatische Kräfte haftet, dar. Fig. 2D zeigt den Schritt des Übertragens des Pulvers 14, das verwendet wird, um die latente Bildstruktur 19 zu entwickeln, auf die Kera mikgrünschicht 16 durch Bewirken, daß die Übertragungsrolle 17 gegen die hintere Oberfläche der Keramikgrünschicht drückt, und durch Verwenden des elektrischen Felds, das zwi schen dem photoempfindlichen Bauglied 11 und der Übertra gungsrolle 17 durch eine Spannung, die an die Übertragungs rolle 17 angelegt wird, erzeugt wird.

Fig. 2E stellt den Schritt des Befestigens des Schaltungs bildenden und aufladbaren Pulvers 14, das auf vorbestimmte Positionen auf der Keramikgrünschicht 16 übertragen worden ist, durch Bestrahlen desselben unter Verwendung der Blitz lampe 18 dar, um eine Schaltungsstruktur 20 auf der Keramik grünschicht zu bilden.

In dem Schritt des Entwickelns, der unter Verwendung der elektrophotographischen Vorrichtung 10 von Fig. 1 ausgeführt wird, wird die latente Bildstruktur 19 durch ein trockenes, nicht-magnetisches Monokomponentenentwicklungsverfahren ent wickelt, bei dem kein Träger verwendet wird. Bei diesem Ver fahrenstyp wird das Pulver 14 auf die latente Bildstruktur 19, die auf der Oberfläche des photoempfindlichen Bauglieds 11 gebildet ist, hauptsächlich durch eine Reibungsladung transportiert, die durch Reibung zwischen dem Pulver 14 und einer Entwicklungsrolle (nicht gezeigt) in der Pulverzufüh rungseinrichtung 15 erzeugt wird. Nach dem Transport haftet dasselbe auf der latenten Bildstruktur 19.

Die Keramikgrünschicht hat einen elektrischen Widerstand von 3,5×10¹² Ω.cm. Es wird bevorzugt, daß der elektrische Widerstand der Keramikgrünschicht 16 in dem Bereich von 1×10¹² bis 5×10¹⁴ Ω.cm liegt. Der elektrische Widerstand wird aus folgenden Gründen in diesen Bereich eingestellt. Wenn der elektrische Widerstand kleiner als 1×10¹² Ω.cm ist, leckt eine elektrische Ladung mit einer Polarität, die der des Pulvers 14 auf der Keramikgrünschicht 16 entgegen gesetzt ist, zur Masse, wodurch bewirkt wird, daß das Pulver 14 nicht korrekt auf die Keramikgrünschicht 16 übertragen wird. Wenn andererseits der elektrische Widerstand höher als 5×10¹⁴ Ω.cm ist, tritt eine elektrische Entladung auf, wenn das photoempfindliche Bauglied 11 und die Keramikgrün schicht 16 voneinander getrennt werden, so daß die Pulver partikel 14 von ihren korrekten Positionen auf der Keramik grünschicht 16 weg bewegt werden.

Die Keramikgrünschicht 16 ist 20 µm dick. Es ist wünschens wert, daß die Dicke der Keramikgrünschicht 16 in dem Bereich von 10 µm bis 300 µm ist. Die Dicke wird in diesem Bereich aus folgenden Gründen eingestellt. Wenn die Dicke kleiner als 10 µm ist, haftet die Keramikgrünschicht 16 auf dem photoempfindlichen Bauglied 11 und dieselben können nicht voneinander getrennt werden. Wenn andererseits die Dicke höher als 300 µm ist, wird die Keramikgrünschicht 16 starr, so daß das photoempfindliche Bauglied 11 und die Keramik grünschicht 16 nicht in ausreichend engen Kontakt mitein ander gebracht werden können, was zu dem Ergebnis führen würde, daß das Pulver 14 nicht vollständig auf der Keramik grünschicht 16 befestigt werden kann.

Gemäß der elektrophotographischen Vorrichtung des ersten Ausführungsbeispiels wird das Pulver, das verwendet wird, um die latente Bildstruktur auf dem photoempfindlichen Bauglied zu entwickeln, auf eine Keramikgrünschicht 16 durch das elektrische Feld übertragen, das zwischen dem photoempfind lichen Bauglied und der Übertragungseinrichtung durch die Spannung erzeugt wird, die an die Übertragungseinrichtung angelegt wird, die gegen die hintere Oberfläche der Keramik grünschicht gedrückt wird. Durch Verwenden des elektrischen Felds, das zwischen dem photoempfindlichen Bauglied und der Übertragungseinrichtung erzeugt wird, die gegen die hintere Oberfläche der Keramikgrünschicht gedrückt wird, kann dem entsprechend das Pulver, das verwendet wird, um die latente Bildstruktur zu entwickeln, wirksam auf die Keramikgrün schicht übertragen werden, was in einer effizienteren Über tragungsoperation resultiert.

Da es dementsprechend möglich ist, die Bildung von flecken artigen Leerräumen zu verhindern, nimmt der Schaltungsstruk turschichtwiderstand nach dem Brennen nicht zu. Als Ergebnis ist es beispielsweise möglich, zu verhindern, daß der Ver drahtungswiderstand ansteigt, wenn eine Mehrschichtverdrah tungsplatine oder dergleichen hergestellt wird.

Da keine Koronaübertragungseinrichtung, die basierend auf einer Koronaentladung arbeitet, verwendet wird, kann die Menge an erzeugtem Ozon sehr klein gemacht werden.

Da eine Übertragungsrolle verwendet wird, kann eine kleinere und preisgünstigere Übertragungseinrichtung verwendet wer den, wodurch es möglich wird, die Größe und die Kosten der elektrophotographischen Vorrichtung zu reduzieren.

Fig. 3 ist eine strukturelle Ansicht eines zweiten Ausfüh rungsbeispiels der elektrophotographischen Vorrichtung gemäß der vorliegenden Erfindung. Die elektrophotographische Vor richtung 30 unterscheidet sich von der elektrophotographi schen Vorrichtung 10 (die in Fig. 1 gezeigt ist) des ersten bevorzugten Ausführungsbeispiels darin, daß ein Übertra gungsriemen 31 zum Übertragen des Pulvers 14 auf der laten ten Bildstruktur auf die Keramikgrünschicht 16 verwendet wird.

Beim Schritt des Übertragens wird das Pulver 14, das ver wendet wird, um eine latente Bildstruktur (nicht gezeigt) zu entwickeln, auf die Keramikgrünschicht 16 übertragen, indem dafür gesorgt wird, daß der Übertragungsriemen 31 gegen die hintere Oberfläche der Keramikgrünschicht 16 drückt, und indem das elektrische Feld verwendet wird, das zwischen dem photoempfindlichen Bauglied 11 und dem Übertragungsriemen 31 durch die Spannung, die an den Übertragungsriemen 31 ange legt wird, erzeugt wird.

Der Übertragungsriemen 31 ist beispielsweise ein elektrisch leitfähiger Riemen, der einen elektrisch leitfähigen Gummi umfaßt, oder ein dielektrischer Riemen, der eine dielektri sche Schicht aufweist, die auf einem elektrisch leitfähigen Gummi gebildet ist. Der Übertragungsriemen 31 wird mit einer Antriebsrolle 32 und einer angetriebenen Rolle 33, die mit Masse verbunden ist, angetrieben. Eine Elektrodenrolle 34, die mit einer Hochspannungsleistungsversorgung V verbunden ist, die eine Spannung an den Übertragungsriemen 31 anlegt, ist in Kontakt mit dem Übertragungsriemen 31.

Die Schritte, die ausgeführt werden, um eine Schaltungs struktur auf der Keramikgrünschicht 16 mit der elektropho tographischen Vorrichtung 30 zu bilden, sind die gleichen wie die (in den Fig. 2A bis 2E dargestellt), die ausgeführt werden, um eine Schaltungsstruktur auf der Keramikgrün schicht 16 mit der elektrophotographischen Vorrichtung 10 des ersten Ausführungsbeispiels zu bilden.

Wie in dem Fall, bei dem die elektrophotographische Vor richtung 10 des ersten Ausführungsbeispiels verwendet wird, wird in dem Entwicklungsschritt die latente Bildstruktur 19 durch ein trockenes, nicht-magnetisches Monokomponentenent wicklungsverfahren entwickelt, bei dem kein Träger verwendet wird. Bei diesem Verfahrenstyp wird das Pulver 14 auf die latente Bildstruktur 19, die auf der Oberfläche des photo empfindlichen Bauglieds 11 gebildet ist, hauptsächlich durch eine Reibungsladung transportiert, die durch eine Reibung zwischen dem Pulver 14 und einer Entwicklungsrolle erzeugt wird. Nach dem Transport haftet dasselbe auf der latenten Bildstruktur 19.

Gemäß der elektrophotographischen Vorrichtung des zweiten Ausführungsbeispiels wird ein Übertragungsriemen verwendet, so daß das Übertragen und Transportieren durch eine Einheit erreicht werden können, wodurch es möglich wird, eine elek trophotographische Vorrichtung zu realisieren, die herausra gende Übertragungs- und Transportfähigkeiten liefert.

Fig. 4 stellt ein Schaltungs-bildendes und auf ladbares Pul verpartikel dar, das bei den elektrophotographischen Vor richtungen 10 und 30 der Fig. 1 bzw. 3 verwendet wird. Bei dem Schaltungs-bildenden und aufladbaren Pulverpartikel werden elektrisch leitfähige Metallpulverpartikel 41, ein Ladungssteuerungsmittel 42 und ein externes Additiv 43 in einem wärmeverschmelzenden Harz 44 gleichmäßig verteilt. Es sei darauf hingewiesen, daß das externe Additiv 43 hinzuge fügt wird, um die Gleitfähigkeit zwischen den Pulverparti keln 14 zu erhöhen.

Nachfolgend wird detailliert beschrieben, wie das Schal tungs-bildende und aufladbare Pulverpartikel 14 hergestellt wird. Elektrisch leitfähige metallische Pulverpartikel 41 (die sphärische Kupferpartikel mit einer mittleren Parti kelgröße von 1,0 µm sind), ein Ladungs-steuerndes Mittel 42 (vom Azotyp, metallischer Farbstoff), ein externes Additiv 43 (das Silika enthält), und ein Wärme-verschmelzendes Harz 44 (das ein Styren-Acryl-Copolymer enthält) werden mit einem Gewichtsverhältnis von 80 zu 1 zu 1 zu 18 gemischt.

Dann wird die Mischung durch Wärme und Kneten verschmolzen. Die geknetete Mischung wird mit einem Schneidgranulator in grobe Partikel zerbrochen. Die groben Partikel werden mit einer Strahlmühle in feine Partikel zerbrochen. Diese feinen Partikel werden durch Einspeisen von Luftströmen klassifi ziert, um Schaltungs-bildende und aufladbare Pulverpartikel 14 mit einer mittleren Partikelgröße von 11,0 µm zu erhal ten.

Die oben beschriebene Form des Schaltungs-bildenden und auf ladbaren Pulverpartikels stellt nur ein Beispiel dar. Das Schaltungs-bildende und aufladbare Pulverpartikel kann ge nauso andere Formen annehmen.

Claims

1. Elektrophotographische Vorrichtung (10; 30) zum Bilden einer Schaltungsstruktur (14) auf einer Keramikgrün schicht (16) durch ein elektrophotographisches Verfah ren, mit folgenden Merkmalen:
einem photoempfindlichen Bauglied (11);
einer Einrichtung (12) zum Laden der Oberfläche des photoempfindlichen Bauglieds (11);
einer Einrichtung (13) zum Belichten der Oberfläche des photoempfindlichen Bauglieds (11), um eine latente Bildstruktur (19) auf der Oberfläche des photoempfind lichen Bauglieds (11) zu bilden;
einer Einrichtung (15) zum Zuführen eines Schaltungs bildenden und aufladbaren Pulvers (14) zu der latenten Bildstruktur (19), die auf dem photoempfindlichen Bau glied (11) gebildet ist, um die latente Bildstruktur (19) zu entwickeln;
einer Einrichtung (17; 31) zum Übertragen des Pulvers (14), das verwendet wird, um die latente Bildstruktur (19) zu entwickeln, auf die Keramikgrünschicht (16); und
einer Einrichtung (18) zum Fixieren des Pulvers (14), das auf die Keramikgrünschicht (16) übertragen worden ist, um die Schaltungsstruktur auf der Keramikgrün schicht (16) zu bilden,
wobei die Übertragungseinrichtung (17; 31) angeordnet ist, um gegen die hintere Oberfläche der Keramikgrün schicht (16) zu drücken, um das Pulver (14), das ver wendet wird, um die latente Bildstruktur (19) zu ent wickeln, ansprechend auf ein elektrisches Feld, das zwischen dem photoempfindlichen Bauglied (11) und der Übertragungseinrichtung (17; 31) erzeugt wird, die ge gen die hintere Oberfläche der Keramikgrünschicht (16) gedrückt wird, auf die Keramikgrünschicht (16) zu über tragen.

2. Elektrophotographische Vorrichtung nach Anspruch 1, bei der die Übertragungseinrichtung eine Übertragungsrolle (17) ist.

3. Elektrophotographische Vorrichtung nach Anspruch 1, bei der die Übertragungseinrichtung ein Übertragungsriemen (31) ist.

4. Elektrophotographische Vorrichtung (10; 30) zum Bilden einer Schaltungsstruktur auf einer Keramikgrünschicht (16) durch ein elektrophotographisches Verfahren, mit folgenden Merkmalen:
einem photoempfindlichen Bauglied (11);
einer Koronaladeeinrichtung (12) zum Laden der Oberflä che des photoempfindlichen Bauglieds (11);
einem Laser (13) zum Belichten der Oberfläche des pho toempfindlichen Bauglieds (11), um eine latente Bild struktur (19) auf der Oberfläche des photoempfindlichen Bauglieds (11) zu bilden;
einer Pulverzuführeinrichtung (15) zum Zuführen eines schaltungs-bildenden und aufladbaren Pulvers zu der la tenten Bildstruktur (19), die auf dem photoempfindli chen Bauglied (11) gebildet ist, um die latente Bild struktur (19) zu entwickeln;
einer Vorrichtung (17; 31) zum Übertragen des Pulvers (14), das verwendet wird, um die latente Bildstruktur (19) zu entwickeln, auf die Keramikgrünschicht (16); und
einer Blitzlampe (18) zum Fixieren des Pulvers (14), das auf die Keramikgrünschicht (16) übertragen worden ist, um die Schaltungsstruktur auf der Keramikgrün schicht (16) zu bilden,
wobei die Übertragungsvorrichtung (17; 31) angeordnet ist, um gegen die hintere Oberfläche der Keramikgrün schicht (16) zu drücken, um das Pulver (14), das ver wendet wird, um die latente Bildstruktur (19) zu ent wickeln, ansprechend auf ein elektrisches Feld, das zwischen dem photoempfindlichen Bauglied (11) und der Übertragungsvorrichtung (17; 31), die gegen die hintere Oberfläche der Keramikgrünschicht (16) gedrückt wird, erzeugt wird, auf die Keramikgrünschicht (16) zu über tragen.

5. Elektrophotographische Vorrichtung nach Anspruch 4, bei der die Übertragungsvorrichtung eine Übertragungsrolle (17) ist.

6. Elektrophotographische Vorrichtung nach Anspruch 4, bei der die Übertragungsvorrichtung ein Übertragungsriemen (31) ist.

7. Verfahren zum Bilden einer Schaltungsstruktur auf einer Keramikgrünschicht (16) durch ein elektrophotographi sches Verfahren, mit folgenden Schritten:
Bereitstellen eines photoempfindlichen Bauglieds (11);
Laden der Oberfläche des photoempfindlichen Bauglieds (11);
Belichten der Oberfläche des photoempfindlichen Bau glieds (11), um eine latente Bildstruktur (19) auf der Oberfläche des photoempfindlichen Bauglieds (11) zu bilden;
Zuführen eines Schaltungs-bildenden und aufladbaren Pulvers (14) zu der latenten Bildstruktur (19), die auf dem photoempfindlichen Bauglied (11) gebildet ist, um die latente Bildstruktur (19) zu entwickeln;
Übertragen des Pulvers (14), das verwendet wird, um die latente Bildstruktur (19) zu entwickeln, auf die Kera mikgrünschicht (16); und
Fixieren des Pulvers (14), das auf die Keramikgrün schicht (16) übertragen worden ist, um die Schaltungs struktur auf der Keramikgrünschicht (16) zu bilden,
wobei der Schritt des Übertragens durch Erzeugen eines elektrischen Felds zwischen dem photoempfindlichen Bau glied (11) und einer Übertragungsvorrichtung (17; 31), die gegen die hintere Oberfläche der Keramikgrünschicht (16) gedrückt wird, um das Pulver (14), das verwendet wird, um die latente Bildstruktur (19) zu entwickeln, ansprechend auf das elektrische Feld auf die Keramik grünschicht (16) zu übertragen, durchgeführt wird.