DE19916051A1 - Aufzeichnungsmedium - Google Patents
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Abstract
Die vorliegende Erfindung betrifft ein Aufzeichnungsmedium, das eine erste Substanz und eine zweite Substanz umfaßt, worin eine äußere Energie auf wenigstens eine der Substanzen erste und zweite Substanz aufgebracht wird, um sie zur Reaktion zu bringen, um die optischen Eigenschaften der Substanzen zum Aufzeichnen von Information zu verändern, wobei das Aufzeichnungsmedium einschließt: eine erste Schicht, die aus einer ersten Substanz besteht, die wenigstens eines der Elemente S und Se einschließt; eine zweite Schicht, die aus einer zweiten Substanz besteht, die ein Metall einschließt; und eine Barriereschicht, die zwischen der ersten und zweiten Schicht angeordnet ist, die die Reaktion zwischen der ersten und zweiten Schicht erlaubt, wenn ein Laserstrahl zum Aufzeichnen als äußere Energie eingestrahlt wird, und die die Reaktion zwischen der ersten und zweiten Schicht unterdrückt, wenn ein Laserstrahl zum Aufzeichnen nicht eingestrahlt wird. Alternativ dazu kann das Aufzeichnungsmedium frei sein von der Barriereschicht, und die zweite Substanz kann so angeordnet werden, daß sie zwei oder mehrere Bereiche unterschiedlicher Zusammensetzung oder zwei oder mehrere Phasen mit einem unterschiedlichen Kristallzustand aufweist. Folglich wird dann, wenn die äußere Energie nicht aufgebracht wird, die Reaktion zwischen der ersten Substanz und der zweiten Substanz unterdrückt. Somit wird eine Verschlechterung der Aufzeichnungseigenschaften des Aufzeichnungsmediums inhibiert.
Description
Die vorliegende Erfindung betrifft ein Aufzeichnungsmedium, das eine erste Substanz und
wenigstens eine zweite Substanz umfaßt und dessen optische Eigenschaften variiert wer
den, um Information dadurch aufzuzeichnen, daß man eine äußere Energie zur Reaktion
mit wenigstens einer der Substanzen erste und zweite Substanz aufbringt.
Als herkömmliches optisches Aufzeichnungsmedium offenbart beispielsweise die japanische
ungeprüfte Patentveröffentlichung (KOKAI) Nr. 62-226,442 ein optisches Aufzeichnungs
medium, in dem ein Mischfilm (ein Film aus einer einzigen Schicht) als Aufzeichnungsfilm
verwendet wird. Der Mischfilm ist zusammengesetzt aus einem Metall mit niedrigem
Schmelzpunkt (z. B. In oder Zn) und einem Sulfid (z. B. GeSx). Die japanische ungeprüfte
Patentveröffentlichung (KOKAI) Nr. 2-152,029 offenbart ein anderes optisches Auf
zeichnungsmedium, in dem ein Schichtenfilm als Aufzeichnungsfilm verwendet wird. Der
Schichtenfilm ist zusammengesetzt aus einer metallischen Schicht (d. h. einer ersten
Schicht), die Al, Cu oder Ag einschließt, und einer anderen Schicht (d. h. einer zweiten
Schicht), die S, Se oder Mischungen daraus einschließt.
Diese Aufzeichnungsfilme werden gebildet durch ein Verfahren zur Abscheidung aus der
Dampfphase oder ein Sputterverfahren. Da die Aufzeichnungsfilme Reaktivitätsvermögen
zeigen, werden die Aufzeichnungsfilme durch Bestrahlung mit einem Aufzeichnungs-Laser
strahl (oder durch Aufbringen einer äußeren Energie) chemisch und/oder physikalisch mo
difiziert. Dementsprechend werden die optischen Eigenschaften der Aufzeichnungsfilme,
wie beispielsweise das Reflexionsvermögen, variiert, wodurch Information aufgezeichnet
wird.
Die japanische ungeprüfte Patentveröffentlichung (KOKAI) Nr. 62-226,442 offenbart, den
Mischfilm des Metalls mit niedrigem Schmelzpunkt (z. B. In etc.) und des Sulfids (z. B.
GeS) in den bevorzugten Ausführungsformen durch ein gemeinsames Verfahren zur
Abscheidung aus der Dampfphase auszubilden. Entsprechend den Untersuchungen, die von
den Erfindern der vorliegenden Erfindung durchgeführt wurden, schreitet jedoch die
Reaktion zwischen dem Metall und dem Sulfid während der Bildung des Mischfilms
beträchtlich fort. Dies hat zur Folge, daß eine Möglichkeit besteht, daß das gesamte Refle
xionsvermögen des optischen Aufzeichnungsmediums signifikant abnimmt. Dies verursacht
Probleme bei der Anwendung des optischen Aufzeichnungsmediums im praktischen
Gebrauch.
Die japanische ungeprüfte Patentveröffentlichung (KOKAI) Nr. 2-152,029 offenbart einen
laminierten Aufbau, bei dem ein Metall hoher Reaktivität (z. B. Ag etc.) auf S laminiert
wird. Nach den Untersuchungen, die von den Erfindern der vorliegenden Erfindung
durchgeführt wurden, kann es jedoch leicht abgeschätzt werden, daß ein derartiges System
einen starken Abbau während der Zeit erleidet, beispielsweise dadurch, daß die Schichten
sogar dann miteinander reagieren, wenn Information nicht aufgezeichnet wird. Aus diesem
Grund wird angenommen, daß das optische Aufzeichnungsmedium Probleme im prakti
schen Gebrauch aufwirft. Außerdem sind in den bevorzugten Ausführungsformen die C/N-
Werte (Träger-Stör-Verhältnis, d. h. Verhältnis der Ausgangsleistung des Trägers zu
Rauschen) aufgeführt, die jedoch nicht auf die vorteilhaften Eigenschaften schließen lassen.
Folglich sind in den herkömmlichen optischen Aufzeichnungsmedien unnötige Reaktionen
wie beispielsweise die Reaktionen bei der Bildung der Filme und der Abbau mit der Zeit
möglich, weil sie reaktive Aufzeichnungsfilme benötigen. Aus diesem Grund haben her
kömmliche optische Aufzeichnungsmedien Probleme insofern, als die Aufzeichnungseigen
schaften wie beispielsweise das Reflexionsvermögen bei der Bildung der Filme und
während des gewöhnlichen Betriebs abgebaut werden.
Die vorliegende Erfindung wurde im Hinblick auf die obengenannten Probleme entwickelt.
Es ist deshalb eine Aufgabe der vorliegenden Erfindung, die Reaktionen zu unterdrücken,
die die Aufzeichnungseigenschaften eines Aufzeichnungsmediums verschlechtern, das eine
erste Substanz und wenigstens eine zweite Substanz umfaßt und dessen optische Eigen
schaften zum Aufzeichnen von Information durch Aufbringen einer äußeren Energie auf
wenigstens eine der Substanzen erste und zweite Substanz und Umsetzen der ersten mit der
zweiten Substanz variiert werden.
Die Erfinder der vorliegenden Erfindung haben Aufzeichnungsfilme untersucht, bei denen
Information durch Bestrahlung mit einem Aufzeichnungs-Laserstrahl aufgezeichnet wurde.
Die Erfinder berücksichtigten dabei, daß es einfacher ist, die Reaktionen in laminierten
Aufbauten als in Einschichten-Filmen zu steuern. In den laminierten Aufbauten reagieren
die laminierten Schichten miteinander bei Bestrahlung mit einem Laserstrahl, wodurch die
optischen Eigenschaften variiert werden und Information aufgezeichnet wird. Basierend auf
dieser Idee haben die Erfinder die Laminat-Konstruktionen sorgfältig studiert. Anschlie
ßend haben die Erfinder darüber nachgedacht, einen Grenzwert zu schaffen, bei dem die
Reaktion zwischen den jeweiligen Schichten stattfindet, und der unterschiedlich ist in dem
Fall, in dem der Aufzeichnungs-Laserstrahl eingestrahlt wird, und dem Fall, in dem der
Aufzeichnungs-Laserstrahl nicht eingestrahlt wird (einschließlich der Zeit während eines
Verfahrens zur Herstellung des Films). Somit haben die Erfinder einen ersten Aspekt der
vorliegenden Erfindung zur Vervollständigung gebracht.
Der erste Aspekt der vorliegenden Erfindung betrifft ein Aufzeichnungsmedium, das eine
erste Substanz und eine zweite Substanz: umfaßt, worin eine äußere Energie auf wenigstens
eine der Substanzen erste und zweite Substanz aufgebracht wird, um diese zur Reaktion zu
bringen, um die optischen Eigenschaften der Substanzen zum Aufzeichnen von Information
zu verändern, wobei das Aufzeichnungsmedium umfaßt:
- - eine erste Schicht, die aus einer ersten Substanz zusammengesetzt ist, die wenigstens eine Substanz einschließt, die gewählt ist aus S und Se;
- - eine zweite Schicht, die aus einer zweiten Substanz zusammengesetzt ist, die ein Metall einschließt; und
- - eine Barriereschicht, die zwischen der ersten und zweiten Schicht angeordnet ist, die die Reaktion zwischen der ersten und zweiten Schicht erlaubt, wenn ein Laserstrahl zum Aufzeichnen als äußere Energie eingestrahlt wird, und die Reaktion zwischen der ersten und zweiten Schicht unterdrückt, wenn ein Laserstrahl zum Aufzeichnen nicht eingestrahlt wird.
In dem ersten Aspekt der vorliegenden Erfindung gehen dann, wenn der Laserstrahl zum
Aufzeichnen eingestrahlt wird, nämlich wenn Information aufgezeichnet wird, die erste
Schicht und/oder die zweite Schicht über die Barriereschicht (treten durch die Barriere
schicht hindurch) und/oder zerstören (durchbrechen) die Barriereschicht in den Bereichen,
die mit dem Laserstrahl bestrahlt werden. Die erste Schicht und die zweite Schicht gehen
eine chemische Reaktion unter Bildung von Reaktionsprodukten (z. B. Sulfid, Selenid oder
Mischungen daraus) ein. Demgemäß werden in diesen Bereichen die optischen Eigen
schaften (z. B. Reflexionsvermögen etc.) variiert, so daß Information aufgezeichnet werden
kann. Andererseits unterdrückt dann, wenn der Laserstrahl zum Aufzeichnen nicht einge
strahlt wird (d. h. wenn die Filme gebildet werden oder wenn das vorliegende Aufzeich
nungsmedium in gewöhnlichem Betrieb ist) die dazwischenliegende Barriereschicht die
Reaktion zwischen der ersten Schicht und der zweiten Schicht. Folglich wird die Reaktion
eines Aufzeichnungsfilms selbst unterdrückt. Aus diesem Grund ist es möglich, die
Verschlechterung der Aufzeichnungseigenschaften des vorliegenden Aufzeichnungsmedi
ums zu inhibieren.
Gemäß den Untersuchungen, die von den Erfindern der vorliegenden Erfindung durch
geführt wurden, wurde gefunden, daß die nachfolgenden Ausführungen für die erste
Schicht, die zweite Schicht und die Barriereschicht geeignet sind.
Die erste Schicht kann vorzugsweise aus Ge und S zusammengesetzt sein. Genauer gesagt
kann die erste Schicht vorzugsweise zusammengesetzt sein aus wenigstens einer Verbin
dung, die gewählt ist aus der Gruppe, die besteht aus einer GeSx-Verbindung (0<x≦2),
einer Ge-Zn-S-Verbindung und einer Ge-S-O-Verbindung. In der Verbindung GeSx kann
der Wert "x" darüber hinaus vorzugsweise im Bereich von mehr als 1 bis 2 oder weniger
liegen (d. h. 1<x≦2), weil das GeSx eine verstärkte Transparenz im sichtbaren Strahlenbe
reich zeigt und weil die Laserenergie zum Aufzeichnen verringert werden kann.
Die zweite Schicht kann vorzugsweise zusammengesetzt sein aus wenigstens einem
Element, das gewählt ist aus der Gruppe, die besteht aus Sn, In, Sb, Bi, Pb, Cr, Mn, Fe,
Ni, Cu, Zn und Ag. Genauer gesagt kann die zweite Schicht vorzugsweise zusammen
gesetzt sein aus wenigstens einem Bestandteil, der gewählt ist aus der Gruppe, die besteht
aus der einfachen Substanz In, der einfachen Substanz Cr, einer In-Sn-Legierung und einer
Au-Cu-Legierung.
Die Barriereschicht kann vorzugsweise zusammengesetzt sein aus wenigstens einer Ver
bindung, die gewählt ist aus der Gruppe, die besteht aus einem Metall, Sulfid, Nitrid,
Borid, Kohlenstoff (C), Carbid, Oxid und Phosphid. Genauer gesagt kann die Barriere
schicht vorzugsweise zusammengesetzt sein aus wenigstens einer Verbindung, die gewählt
ist aus der Gruppe, die besteht aus der einfachen Substanz C, ZnS, der einfachen Substanz
Si und SiO2. Außerdem kann in Abhängigkeit von den Materialqualitäten etc. die Dicke
der Barriereschicht vorzugsweise 2 nm oder mehr sein und noch mehr bevorzugt im
Bereich von 2 bis 5 nm liegen.
Die Erfinder der vorliegenden Erfindung haben die erste Substanz und die zweite Substanz:
noch weiter untersucht und sich eine vorteilhafte Kombination der ersten und zweiten
Substanz ausgedacht. Somit haben die Erfinder einen zweiten Aspekt der vorliegenden
Erfindung zum Abschluß gebracht.
Der zweite Aspekt der vorliegenden Erfindung ist ein Aufzeichnungsmedium, das eine
erste Substanz und wenigstens eine zweite Substanz umfaßt und dessen optische Eigen
schaften zum Aufzeichnen von Information variiert werden durch Aufbringen einer
äußeren Energie zum Aufzeichnen auf wenigstens eine der Substanzen erste und zweite
Substanz, um die erste und zweite Substanz zur Reaktion zu bringen, worin
- - die erste Substanz wenigstens einen der Bestandteile S und Se einschließt; und
- - die zweite Substanz zwei oder mehrere Bereiche unterschiedlicher Zusammen setzung oder zwei oder mehrere Phasen mit einem unterschiedlichen Kristall zustand aufweist.
In dem zweiten Aspekt der vorliegenden Erfindung ist die zweite Substanz eine Substanz,
in der zwei oder mehrere Bereiche unterschiedlicher Zusammensetzung oder zwei oder
mehrere Phasen unterschiedlicher Kristallzustände existieren. Dementsprechend ist es mög
lich, daß in der zweiten Substanz ein Bereich mit einer Zusammensetzung, der geeignet
ist, um mit der ersten Substanz zu reagieren, neben dem anderen Bereich der Zusammen
setzung, der weniger geeignet ist, um mit der ersten Substanz zu reagieren, koexistiert.
Alternativ dazu ist es möglich, den Grad der Festkörper-Diffusion durch Variieren des
Kristallzustandes in der zweiten Substanz zu verändern. Folglich ist es möglich, daß eine
Phase hoher Reaktivität neben einer Phase niedriger Reaktivität in der zweiten Substanz
koexistiert.
Deshalb wird in dem zweiten Aspekt der vorliegenden Erfindung angenommen, daß die
Phase niedriger Reaktivität die Rolle einer Reaktionsbarriere bei der Bildung des Films
oder während des Betriebs des vorliegenden Aufzeichnungsmediums spielt. Dies wird
erreicht durch eine geeignete Einstellung der Zusammensetzung oder des Kristallzustandes
in der zweiten Substanz. Somit ist es möglich, die unnötigen Reaktionen zu unterdrücken,
die die Aufzeichnungseigenschaften des vorliegenden Aufzeichnungsmediums verschlech
tern.
Eine vollständigere Einschätzung der vorliegenden Erfindung und viele ihrer Vorteile
werden leicht erreicht, wenn die Erfindung besser unter Bezugnahme auf die folgende
detaillierte Beschreibung in Verbindung mit den beigefügten Zeichnungen verstanden wird.
Fig. 1 ist ein erläuterndes Diagramm, das den Partial-Querschnitt des Auf
baus einer optischen Disk gemäß der ersten und zweiten bevorzugten Aus
führungsform der vorliegenden Erfindung veranschaulicht;
Fig. 2 ist eine Tabelle, die die Beziehungen zwischen den Dicken der Barrie
reschichten und den Aufzeichnungseigenschaften der ersten bevorzugten Aus
führungsform der vorliegenden Erfindung zusammenfaßt;
Fig. 3 ist eine Tabelle, die die Beziehungen zwischen den Dicken der Barrie
reschichten und den Aufzeichnungseigenschaften der zweiten bevorzugten Aus
führungsform der vorliegenden Erfindung zusammenfaßt;
Fig. 4 ist ein erläuterndes Diagramm, das den Partial-Querschnitt des Auf
baus einer optischen Disk gemäß der dritten bevorzugten Ausführungsform der
vorliegenden Erfindung veranschaulicht;
Fig. 5 ist eine Tabelle, die die Aufzeichnungseigenschaften der dritten bevor
zugten Ausführungsform und der vierten bevorzugten Ausführungsform der
vorliegenden Erfindung und diejenigen eines Vergleichsbeispiels zusammen
faßt; und
Fig. 6 ist ein erläuterndes Diagramm, das den Partial-Querschnitt des Auf
baus einer optischen Disk gemäß der vierten bevorzugten Ausführungsform der
vorliegenden Erfindung veranschaulicht.
Nachdem die vorliegende Erfindung allgemein beschrieben wurde, kann ein besseres
Verständnis erreicht werden durch die Bezugnahme auf die speziellen bevorzugten Aus
führungsformen, die nur zum Zweck der Veranschaulichung angegeben werden, und mit
denen nicht beabsichtigt ist, den Schutzbereich der Ansprüche zu beschränken.
Das Aufzeichnungsmedium dieser ersten bevorzugten Ausführungsform ist auf das Auf
zeichnen von Information durch physikalische und/oder chemische Veränderung eines
Aufzeichnungsfilms durch Bestrahlung mit einem Aufzeichnungs-Laserstrahl gerichtet.
Beispielsweise ist es anwendbar für eine optische Disk, bei der Musik oder Daten als
Information aufgezeichnet werden. Fig. 1 veranschaulicht den Partial-Querschnitt des
Aufbaus einer optischen Disk (optisches Aufzeichnungsmedium) 100 dieser bevorzugten
Ausführungsform.
Eine optische Disk 100 liegt als Ganzes in Scheibenform vor. Wie in Fig. 1 veranschau
licht, wurde eine Mehrzahl an Schichten gebildet und laminiert. Die Bezugsziffer 1 ver
anschaulicht ein scheibenförmiges transparentes Substrat (beispielsweise in einer Dicke von
1,2 mm), das beispielsweise aus Polycarbonat hergestellt ist. Ein Laserstrahl zum opti
schen Aufzeichnen und Auslesen von Information tritt an einer Seite 1a des Substrats 1 in
der Richtung ein, die durch den Pfeil A angegeben ist. Die Seite 1a, die Einfallsseite des
Laserstrahls, ist eine flache Oberfläche. Auf der gegenüberliegenden Seite 1b ist eine
spiralförmig oder konzentrisch geführte Rille (Spur) 1c zur Führung des Laserstrahls
ausgebildet.
Auf der gegenüberliegenden Seite 1b des Substrats 1 ist ein Film 2 aus GeSx (0<x≧2) als
erste Schicht ausgebildet. Auf dem GeSx-Film 2 ist ein ZnS-Film 3 als Barriereschicht
ausgebildet. Auf dem ZnS-Film 3 ist ein In-Film 4 als zweite Schicht ausgebildet. Im
vorliegenden Fall weist der ZnS-Film 3 eine Dicke auf (beispielsweise 2 nm oder mehr),
die geeignet ist, um die physikalische und/oder chemische Reaktion zwischen dem GeSx
Film 2 und dem In-Film 4 zu unterdrücken. Im vorliegenden Fall bilden die Filme 2, 3
und 4 einen Aufzeichnungsfilm 10 in der optischen Disk 100. Außerdem ist auf dem In-
Film 4 ein mit ultravioletter Strahlung hartbarer Harzfilm (Schutzfilm) 5 ausgebildet, der
den Aufzeichnungsfilm 10 bedeckt, um ihn zu schützen.
Als nächstes wird ein Herstellungsverfahren für die optische Disk 100 unter Bezugnahme
auf ein spezielles Beispiel detailliert beschrieben.
Das Substrat 1 wurde hergestellt. Die Seite 1a wurde als flache Oberfläche ausgebildet.
Auf der gegenüberliegenden Seite 1b wurde eine Führungsrille 1c ausgebildet. Das
Substrat 1 bestand aus einer Disk mit einer Dicke von 1,2 mm und war aus Polycarbonat
hergestellt. Auf der gegenüberliegenden Seite 1b des Substrats 1 wurde der GeSx-Film 2
in einer Dicke von 182 nm durch ein RF-Magnetron-Sputterverfahren mit einem GeS2-
Target unter den folgenden Filmbildungs-Bedingungen der Sputter-Gasspezies ausgebildet:
M; Sputter-Gasdruck: 3 × 10-3 Torr; und zugeführte elektrische Energie: 50 bis 200 W.
Anschließend wurde, ohne das Vakuum aufzuheben, der ZnS-Film 3 in einer Dicke von
3 nm durch ein RF-Magnetron-Sputterverfahren mit einem ZnS-Target unter den folgenden
Filmbildungs-Bedingungen der Sputter-Gasspezies ausgebildet: M; Sputter-Gasdruck: 3 ×
10-3 Torr; und zugeführte elektrische Energie: 50 bis 200 W.
Weiter anschließend wurde, ohne das Vakuum aufzuheben, der In-Film 4 in einer Dicke
von 65 nm durch ein RF-Magnetron-Sputterverfahren mit einem In-Target unter den
folgenden Filmbildungs-Bedingungen der Sputter-Gasspezies ausgebildet: M; Sputter-
Gasdruck: 3 × 10-3 Torr; und zugeführte elektrische Energie: 50 bis 200 W.
Zum Schluß wurde das mit ultravioletter Strahlung härtbare Harz durch ein Wirbelbe
schichtungs-Verfahren beschichtungsmäßig aufgebracht.
Das mit ultravioletter Strahlung härtbare Harz wurde gehärtet unter Verwendung einer
Hochdruck-Quecksilberdampf-Lampe, um den Harzfilm 5 auszubilden. Auf diese Weise
wurde die optische Disk 100 hergestellt.
Die Aufzeichnungsvorgänge der optischen Disk 100 dieser bevorzugten Ausführungsform
werden nachfolgend beschrieben. Im Bereich der Führungsrille 1c tritt der Aufzeichnungs-
Laserstrahl in Richtung des Pfeils A ein bzw. wird in Richtung des Pfeils A eingestrahlt
und wird optisch an der Oberfläche des In-Films 4 fokussiert. Der In-Film 4 geht in den
ZnS-Film 3 über bzw. durchbricht den ZnS-Film 3, und der GeSx-Film 2 und der In-Film
4 gehen eine chemische Reaktion ein. Demgemäß unterscheiden sich die optischen Eigen
schaften (Reflexionsvermögen etc.) in den Bereichen, in denen eine Reaktion stattgefunden
hat, so daß Information aufgezeichnet werden kann. Es wird angenommen, daß bei der
Reaktion zwischen dem GeSx-Film 2 und dem In-Film 4 Sulfide (InS3) etc. gebildet
werden.
Wenn der Aufzeichnungs-Laserstrahl nicht eingestrahlt wird (beispielsweise dann, wenn
die Filme gebildet werden oder wenn die optische Disk 100 in gewöhnlichem Betrieb ist)
wird die Reaktion zwischen dem GeSx-Film 2 und dem In-Film 4 unterdrückt, weil der
GeSx-Film 2 und der In-Film 4 durch den ZnS-Film 3 voneinander getrennt sind. Demzu
folge wird die Reaktion des Aufzeichnungsfilms 10 als solchem unterdrückt. Dies hat zur
Folge, daß eine Verschlechterung der Aufzeichnungseigenschaften inhibiert werden kann.
Die Wirkungsweisen und Vorteile dieser bevorzugten Ausführungsform werden nachfol
gend noch spezieller unter Bezugnahme auf die Ergebnisse von Untersuchungen beschrie
ben, in denen die optische Disk 100 (Probe Nummer 3 in Fig. 2 wird später beschrie
ben), die durch das obengenannte Herstellungsverfahren hergestellt worden war, unter
worfen wurde.
In der optischen Disk 100, die durch das obengenannte Herstellungsverfahren hergestellt
worden war, wurde Information aufgezeichnet, daß man einen Laserstrahl (Aufzeichnungs-
Laserstrahl) mit einer Wellenlänge von 780 nm von der flachen Oberflächenseite (Seite 1a)
durch eine Objektivlinse einer NA (numerischen Apertur) von 0,5 einstrahlte und den
Laserstrahl an der Oberfläche des In-Films 4 optisch fokussierte. Zu diesem Zeitpunkt
waren die Bestrahlungsbedingungen wie folgt: lineare Geschwindigkeit: 2,8 m/s; Auf
zeichnungsfrequenz: 400 kHz; und Wellenform des Aufzeichnungslasers: Rechteckswelle
mit einem Tastverhältnis (duty ratio) von 50%.
Die Eigenschaften (Aufzeichnungseigenschaften) der optischen Disk 100 waren in diesem
Fall wie folgt: Reflexionsvermögen in den Bereichen, in denen nicht aufgezeichnet wurde:
65%; Aufzeichnungs-Laserenergie: 7 mW; C/N-Verhältnis: 50 dB; und Modulation: 83
%. Es ist anzumerken, daß die Modulation ein Wert ist, der erhalten wird durch Sub
trahieren des Reflexionswertes nach dem Aufzeichnen von dem Reflexionswert vor dem
Aufzeichnen, Multiplizieren der Differenz mit einem Faktor 100 und Dividieren des
Produktes durch den Reflexionswert vor dem Aufzeichnen.
Fig. 2 faßt die Ergebnisse der Eigenschaften der optischen Disk, wie sie oben dargelegt
wurde, zusammen, die gemessen wurden durch unterschiedliche Änderung der Dicke des
ZnS-Films 3 als Barriereschicht (Proben Nummern 1, 2, 4 und 5), und faßt auch die oben
angegebenen Ergebnisse (Proben Nummer 3) zusammen. Es ist anzumerken, daß die
Summe der Dicke des GeSx-Films 2 und des ZnS-Films 3 bei λ/2, einer Lichtweg-Dicke,
eingestellt wurde, im Hinblick auf die Wellenlänge λ des Laserstrahls. Es ist ebenso
anzumerken, daß in Fig. 2, Proben Nummer 6 ein Vergleichsbeispiel gemäß der vor
liegenden Erfindung war, die keine Barriereschicht aufwies.
Wie in Fig. 2 angegeben, ist ersichtlich, daß die optischen Disks 100 der bevorzugten
Ausführungsform, die als Proben Nummern 1 bis 5 angegeben sind, ein merklich höheres
Reflexionsvermögen aufweisen als die optische Disk des Vergleichsbeispiels (Proben
Nummer 6), und daß sie gut ausgewogen sind, was die Eigenschaften wie beispielsweise
das Reflexionsvermögen, die Aufzeichnungsenergie, das C/N-Verhältnis und die Modula
tion angeht. Dies ergibt sich aus der Anordnung, daß die Reaktion zwischen dem GeSx-
Film 2 und dem In-Film 4 sogar bei der Bildung des Films unterdrückt wird. Es ist
anzumerken, daß beim Vergleich des Reflexionsvermögens von Proben Nummer 1 mit
denjenigen der Proben Nummern 2 bis 5 der ZnS-Film 3 als Barriereschicht vorzugsweise
eine Dicke von 2 nm oder mehr im Hinblick auf die Eigenschaften der optischen Disks
aufweisen kann.
Außerdem wurden die entsprechenden optischen Disks der Proben Nummern 1 bis 6 einem
Umweltbeständigkeits-Test unterworfen, der bei einer Temperatur von 55°C für eine
Zeitdauer von 96 h durchgeführt wurde. Die optischen Disks (Proben Nummern 1 bis 5)
der bevorzugten Ausführungsform zeigten innerhalb des Meßfehlerbereichs kaum eine Ver
schlechterung der charakteristischen Eigenschaften. Bei der optischen Disk des Vergleichs
beispiels war es hingegen unmöglich, die aufgezeichneten Daten auszulesen. Bei der
optischen Disk des Vergleichsbeispiels verschlechterte sich das Reflexionsvermögen
erheblich (es veränderte sich von 35% auf 28%). Der Vorteil ergibt sich aus der Anord
nung, daß die Reaktion zwischen dem GeSx-Film 2 und dem In-Film 4 durch die Anwesen
heit des ZnS-Films 3 unterdrückt wird.
Soweit beschrieben, sind die optischen Disks 100 der bevorzugten Ausführungsform, die
dadurch gekennzeichnet sind, daß sie ausgewogen waren, was die Eigenschaften wie
beispielsweise das Reflexionsvermögen, die Aufzeichnungsenergie, das C/N-Verhältnis und
die Modulation betrifft, besser als herkömmliche optische Disks, die keine Barriereschicht
aufweisen.
Darüber hinaus ist in der bevorzugten Ausführungsform der ZnS-Film 3 zwischen dem
GeSx-Film 2 und dem In-Film 4 eingeschoben. Dementsprechend wird die Reaktion bei der
Bildung der Films, unter gewöhnlichen Umweltbedingungen und unter Bedingungen hoher
Temperatur und hoher Feuchtigkeit wie beispielsweise in dem Umweltbeständigkeits-Test,
wie er oben angegeben wurde, unterdrückt. Somit kann das Reflexionsvermögen (anfang
liches Reflexionsvermögen) in den Bereichen der optischen Disk, in denen nicht aufge
zeichnet wurde, merklich erhöht werden, und die Verschlechterung der Aufzeichnungs
eigenschaften (Reflexionsvermögen, Aufzeichnungsenergie, C/N-Verhältnis und Modula
tion) kann inhibiert werden. Darüber hinaus kann die Aufrechterhaltung der Eigenschaften
der Daten erheblich verbessert werden.
In der optischen Disk 100, die in Fig. 1 veranschaulicht wird, unterscheidet sich die
zweite bevorzugte Ausführungsform von dem Aufzeichnungsmedium der obengenannten
ersten bevorzugten Ausführungsform dadurch, daß die Barriereschicht ein Kohlenstoff-(C-)
Film 3a anstelle des ZnS-Films ist. Das Aufzeichnungsmedium dieser bevorzugten Aus
führungsform funktioniert und bewirkt Vorteile im wesentlichen in derselben Weise wie
die obengenannte erste bevorzugte Ausführungsform. Nachfolgend werden die Teile, die
sich von denjenigen der ersten bevorzugten Ausführungsform unterscheiden, hauptsächlich
beschrieben. Ein Verfahren zur Herstellung dieser bevorzugten Ausführungsform wird im
Detail unter Bezugnahme auf ein spezielles Beispiel beschrieben.
Als erstes wurde auf der gegenüberliegenden Seite 1b des Substrats 1 der GeSx-Film 2 in
einer Dicke von 182 nm durch ein RF-Magnetron-Sputterverfahren, wie es oben angegeben
wurde, gebildet. Anschließend wurde, ohne das Vakuum aufzuheben, der C-Film 3a in
einer Dicke von 3 nm durch ein RF-Magnetron-Sputterverfahren mit einem C-Target unter
den folgenden Filmbildungs-Bedingungen der Sputter-Gasspezies gebildet: Ar; Sputter-
Gasdruck: 3 × 10-3 Torr; und zugeführte elektrische Energie: 200 bis 400 W. Im Anschluß
daran wurde der In-Film 4 in einer Dicke von 65 nm gebildet, und der Harzfilm 5 wurde
wie oben angegeben gebildet. Auf diese Weise wurde die optische Disk 200 hergestellt.
Die Filme 2, 3a und 4 bilden einen Aufzeichnungsfilm 20 in der optischen Disk 200.
In der optischen Disk 200 wurde Information dadurch aufgezeichnet, daß man einen
Laserstrahl mit einer Wellenlänge von 780 nm von der flachen Oberflächenseite (Seite 1a)
einstrahlte, und den Laserstrahl an der Oberfläche des In-Films 4 unter denselben Laser
strahl-Bestrahlungsbedingungen, wie sie oben angegeben wurden, optisch fokussierte. Die
Eigenschaften der optischen Disk 200 in diesem Beispiel waren wie folgt Reflexionsver
mögen in den Bereichen, in denen nicht aufgezeichnet wurde: 65%; Aufzeichnungs-
Laserenergie: 8 mW; C/N-Verhältnis: 48 dB; und Modulation: 85%.
Außerdem faßt Fig. 3 die Ergebnisse der Eigenschaften der optischen Disk, wie sie oben
dargelegt wurden, zusammen, die gemessen wurden durch unterschiedliche Änderung der
Dicke des C-Films 3a (Proben Nummern 7 und 8), und faßt auch die obengenannten
Ergebnisse (Proben Nummer 9) zusammen. Es ist anzumerken, daß die Summe der Dicke
des GeSx-Films 2 und des C-Films 3a ebenso bei λ/2, einer Lichtweg-Dicke, eingestellt
wurde, im Hinblick auf die Wellenlänge λ des Laserstrahls. Wie in Fig. 3 dargelegt, ist
ersichtlich, daß die optischen Disks 200 dieser bevorzugten Ausführungsform, die als
Proben Nummern 7 bis 9 aufgeführt sind, ein merklich höheres Reflexionsvermögen
aufwiesen, als die optische Disk des obengenannten Vergleichsbeispiels (Proben Nummer
6), und daß sie ausgewogen waren, was die Eigenschaften wie beispielsweise das Refle
xionsvermögen, die Aufzeichnungsenergie, das C/N-Verhältnis und die Modulation
betrifft. Es ist erwünscht, daß der C-Film 3a vorzugsweise eine Dicke von 2 nm oder
mehr aufweisen kann, im Hinblick auf die Eigenschaften der optischen Disks.
Somit unterdrückt auch in dieser bevorzugten Ausführungsform die Anwesenheit des C-
Films 3a die Reaktion zwischen dem GeSx-Film 2 und dem In-Film 4 bei der Bildung der
Filme. Demgemäß ist es möglich, die Reaktionen in dem Aufzeichnungsfilm 20 zu
unterdrücken, nämlich die Reaktionen, die die Aufzeichnungseigenschaften verschlechtern.
Zusätzlich kann die erste Schicht aus einer Ge-Zn-S-Verbindung oder einer Ge-S-O-
Verbindung zusammengesetzt sein. Die zweite Schicht kann aus Cu oder Fe zusammen
gesetzt sein. Die Barriereschicht kann aus Si oder SiO2 zusammengesetzt sein. In den
speziellen Anordnungen der optischen Disk 100 oder 200 werden die Verbindungen oder
Elemente, aus denen sie bestehen, ausgewählt und kombiniert. Derartige spezielle Anord
nungen funktionieren und bewirken Vorteile in derselben Weise wie bei der ersten und
zweiten bevorzugten Ausführungsform.
Darüber hinaus können die Barriereschichten 3 und 3a eine Substanz als Bestandteil, aus
dem sie gebildet werden, einschließen, deren Schmelzpunkt oder Zersetzungstemperatur
(nachfolgend als Schmelzpunkt bezeichnet) 300°C oder weniger ist. Bei der Aufzeich
nung von Information zersetzen sich, sublimieren oder schmelzen also die Barriereschich
ten 3 und 3a in den Bereichen, die aus der oben angegebenen Substanz zusammengesetzt
sind, wenn der Aufzeichnungsfilm durch den Laserstrahl auf eine Temperatur erhitzt wird,
die höher ist als der Schmelzpunkt. Folglich können die erste Schicht und die zweite
Schicht miteinander reagieren, und dadurch kann Information aufgezeichnet werden. Vor
der Aufzeichnung von Information trennt die Barriereschicht 3 und 3a die erste Schicht 2
von der zweiten Schicht 4, und dadurch wird die Reaktion zwischen der ersten und zweiten
Schicht 2 und 4 inhibiert. Folglich ist es möglich, die Stabilität des Aufzeichnungsfilms 10
oder 20 gegen Hitze weiter zu verbessern.
Der Schmelzpunkt der Substanz: kann vorzugsweise 300°C oder weniger sein, noch mehr
bevorzugt in den Bereich von 100 bis 300°C fallen, weil die Energie des Aufzeichnungs-
Laserstrahls, die aufgebracht wird, um Information aufzuzeichnen, erhöht werden soll,
wenn der Schmelzpunkt 300°C überschreitet. Folglich ist ein höherer Schmelzpunkt
unpraktisch. Beispielsweise kann die Substanz, die einen Schmelzpunkt von 300°C oder
weniger aufweist, aus organischen Substanzen wie beispielsweise Alkyl-Verbindungen
bestehen, und kann vorzugsweise transparent oder metallisch glänzend sein, im Hinblick
auf die Wellenlänge des Aufzeichnungs-Laserstrahls.
In der optischen Disk 100, die in Fig. 1 gezeigt ist, können die Schichten 2 bis 4 des
Aufzeichnungsfilms 10 in umgekehrter Reihenfolge laminiert werden. Beispielsweise
können die Schichten in der folgenden Reihenfolge gebildet werden: Auf der anderen
gegenüberliegenden Oberfläche 1b des Substrats 1 kann die zweite Schicht wie beispiels
weise der In-Film gebildet werden. Auf der zweiten Schicht kann die Barriereschicht wie
beispielsweise der ZnS-Film oder der C-Film gebildet werden. Auf der Barriereschicht
kann die erste Schicht wie beispielsweise der GeSx-Film gebildet werden. In diesem
Beispiel kann die erforderliche Dicke der Barriereschicht dünner sein als diejenige in der
ersten und zweiten bevorzugten Ausführungsform. Wenn dies der Fall ist, ist es möglich,
ähnliche Vorteile zu erhalten.
Ein Aufzeichnungsmedium gemäß der dritten bevorzugten Ausführungsform wird bei einer
optischen Disk angewandt, in der Information dadurch aufgezeichnet wird, daß ein Laser
strahl auf einen Aufzeichnungsfilm aufgebracht wird. Der Laserstrahl fungiert als äußere
Energie. Der Aufzeichnungsfilm weist eine erste Substanz: und eine zweite Substanz auf.
Fig. 4 veranschaulicht den Partial-Querschnitt des Aufbaus einer optischen Disk 300
dieser bevorzugten Ausführungsform.
Eine optische Disk 300 liegt als Ganzes in Scheibenform vor. Wie in Fig. 4 veranschau
licht, wurde eine Mehrzahl an Schichten gebildet und laminiert. Die Bezugsziffer 1 ver
anschaulicht ein scheibenförmiges transparentes Substrat (beispielsweise in einer Dicke von
1,2 mm), das beispielsweise aus Polycarbonat hergestellt ist. Ein Laserstrahl zum opti
schen Aufzeichnen und Auslesen von Information tritt an einer Seite 1a des Substrats 1 in
der Richtung ein, die durch den Pfeil A angegeben ist. Die Seite 1a, die Einfallsseite des
Laserstrahls, ist eine flache Oberfläche. Auf der gegenüberliegenden Seite 1b ist eine
spiralförmig oder konzentrisch geführte Rille (Spur) 1c zur Führung des Laserstrahls
ausgebildet.
Auf der gegenüberliegenden Oberfläche 1b des Substrats 1 wurde ein Film 2 aus GeSx als
erste Schicht (erste Substanz) gebildet. Auf dem GeSx-Film 2 wurde ein Sn-57 Gew.-% Bi-
Film 6 als zweite Schicht (zweite Substanz) gebildet. Die Filme 2 und 6 bilden einen Auf
zeichnungsfilm 30 in der optischen Disk 300. Darüber hinaus wurde auf dem Sn-57 Gew.
% Bi-Film 6 ein Harzfilm (Schutzfilm) 5 gebildet, der den Aufzeichnungsfilm 30 bedeckt,
um ihn zu schützen, und dieser schließt ein mit ultravioletter Strahlung härtbares Harz ein.
Als nächstes wird ein Herstellungsverfahren für die optische Disk 300 unter Bezugnahme
auf ein spezielles Beispiel detailliert beschrieben.
Das Substrat 1 wurde hergestellt. Die Seite 1a wurde als flache Oberfläche ausgebildet.
Auf der gegenüberliegenden Seite 1b wurde eine Führungsrille 1c ausgebildet. Das
Substrat 1 bestand aus einer Disk mit einer Dicke von 1,2 mm und war aus Polycarbonat
hergestellt. Auf der gegenüberliegenden Seite 1b des Substrats 1 wurde der GeSx-Film 2
in einer Dicke von 146 nm durch ein RF-Magnetron-Sputterverfahren mit einem GeS2-
Target unter den folgenden Filmbildungs-Bedingungen der Sputter-Gasspezies ausgebildet:
Ar; Sputter-Gasdruck: 4 × 10-3 Torr; und zugeführte elektrische Energie: 50 bis 300 W.
Anschließend wurde der Sn-57 Gew.-% Bi-Film 6 in einer Dicke von 50 nm durch ein
Gleichstrom-(DC-) Sputterverfahren mit einem Sn-57 Gew.-% Bi-Target unter den folgen
den Filmbildungs-Bedingungen der Sputter-Gasspezies gebildet: Ar; Sputter-Gasdruck:
4 × 10-3 Torr; und zugeführte elektrische Energie: 50 bis 300 W.
Zum Schluß wurde das mit ultravioletter Strahlung härtbare Harz durch ein Wirbel
beschichtungs-Verfahren beschichtungsmäßig aufgebracht.
Das mit ultravioletter Strahlung härtbare Harz wurde unter Verwendung einer Hochdruck-
Quecksilberdampf-Lampe unter Bildung des Harzfilms 5 gehärtet. Auf diese Weise wurde
die optische Disk 300 hergestellt.
Die Aufzeichnungsvorgänge der optischen Disk 300 der bevorzugten Ausführungsform
werden nachfolgend beschrieben. Im Bereich der Führungsrille 1c tritt der Aufzeichnungs-
Laserstrahl in Richtung des Pfeils A ein, und wird an der Oberfläche des Sn-57 Gew.-%
Bi-Films 6 optisch fokussiert. Der GeSx-Film 2 und der Sn-57 Gew.-% Bi-Film 6 gehen
eine chemische Reaktion ein. Demgemäß ändern sich die optischen Eigenschaften (Refle
xionsvermögen etc.) in den Bereichen, in denen eine Reaktion stattfand, so daß Informa
tion aufgezeichnet werden kann.
Es wird angenommen, daß bei der Reaktion zwischen dem GeSx-Film 2 und dem Sn-57
Gew.-% Bi-Film 6 Sulfide (SnS und SnS2) etc. gebildet werden.
In der optischen Disk 300, die durch das obengenannte Herstellungsverfahren hergestellt
worden war, wurde Information dadurch aufgezeichnet, daß man einen Laserstrahl (Auf
zeichnungs-Laserstrahl) mit einer Wellenlänge von 780 nm von der flachen Oberflächensei
te (Seite 1a) durch eine Objektivlinse mit einer NA (numerischen Apertur) von 0,5
einstrahlte und den Laserstrahl an der Oberfläche des Sn-57 Gew.-% Bi-Films 6 optisch
fokussierte. Zu diesem Zeitpunkt waren die Bestrahlungsbedingungen wie folgt: lineare
Geschwindigkeit: 2,8 m/s; Aufzeichnungsfrequenz: 400 kHz; und Wellenform des Auf
zeichnungslasers: Rechteckswelle mit einem Tastverhältnis von 50%.
Wie in Fig. 5 dargestellt, waren in diesem Beispiel die Eigenschaften (Aufzeichnungs
eigenschaften) der optischen Disk 300 wie folgt: Reflexionsvermögen in den Bereichen, in
denen nicht aufgezeichnet wurde: 65%; Aufzeichnungs-Laserenergie: 7 mW; C/N-
Verhältnis: 50 dB; und Modulation: 85%. Es ist anzumerken, daß die Modulation ein
Wert ist, der erhalten wird durch Subtrahieren des Reflexionswertes nach dem Aufzeichnen
von dem Reflexionswert vor dem Aufzeichnen, Multiplizieren der Differenz mit einem
Faktor 100 und Dividieren des Produktes durch den Reflexionswert vor dem Aufzeichnen.
Darüber hinaus faßt Fig. 5 auch die Ergebnisse eines Vergleichsbeispiels zu der vor
liegenden Erfindung zusammen, das einen Sn-Film 7 anstelle des Sn-57 Gew.-% Bi-Films
6 als zweite Schicht verwendete. In diesem Beispiel waren die Eigenschaften (Aufzeich
nungseigenschaften) der optischen Disk 300 wie folgt Reflexionsvermögen in den Berei
chen, in denen nicht aufgezeichnet wurde: 30%; Aufzeichnungs-Laserenergie: 6 mW;
C/N-Verhältnis: 47 dB; und Modulation: 85%.
Wie in Fig. 5 dargelegt, ist ersichtlich, daß die optische Disk 300 dieser bevorzugten
Ausführungsform ein merklich höheres Reflexionsvermögen (Reflexionsvermögen in den
Bereichen, in denen nicht aufgezeichnet wurde) aufweist als die optische Disk des oben
genannten Vergleichsbeispiels und daß sie ausgewogen war, was die Eigenschaften wie
beispielsweise das Reflexionsvermögen (Reflexionsvermögen in den Bereichen, in denen
nicht aufgezeichnet wurde), die Aufzeichnungsenergie, das C/N-Verhältnis und die Modu
lation betrifft.
Diese Vorteile werden in der folgenden Weise bewirkt. Wenn der Sn-Film 7 als zweite
Schicht verwendet wurde, entwickelte sich zwangsläufig eine Reaktion zwischen dem
GeSx-Film 2 (d. h. der ersten Schicht) und dem Sn-Film 7. Andererseits wurde dann, wenn
der Sn-57 Gew.-% Bi-Film 6 als zweite Schicht verwendet wurde, die Reaktion zwischen
dem GeSx-Film 2 (d. h. der ersten Schicht) und dem Sn-57 Gew.-% Bi-Film 6 unterdrückt.
Darüber hinaus wurden die zwei optischen Disks 300 einem Umweltbeständigkeits-Test
unterworfen, der bei einer Temperatur von 55°C und für eine Zeitdauer von 96 h durch
geführt wurde. Die optische Disk 300 der bevorzugten Ausführungsform konnte die
aufgezeichneten Daten auslesen. Andererseits war es für die optische Disk 300 des Ver
gleichsbeispiels unmöglich, die aufgezeichneten Daten auszulesen.
Wie oben dargelegt, war die optische Disk 300 der bevorzugten Ausführungsform besser
ausgewogen, was die Eigenschaften wie beispielsweise das Reflexionsvermögen, die
Aufzeichnungsenergie, das C/N-Verhältnis und die Modulation betrifft, als die herkömm
liche optische Disk; Es wird angenommen, daß die folgenden Funktionsweisen die Vorteile
bewirken.
Als erstes unterscheiden sich die Reaktivitäten bei der Bildung der Filme stark, sogar
dann, wenn die zweite Substanz dasselbe Sn enthält. Man geht davon aus, daß die Gründe
diejenigen sind, die nachfolgend beschrieben werden. Ursprünglich sind GeSx und Sn
Substanzen, die geeignet sind, zu reagieren. Wenn jedoch die Sn-57 Gew.-% Bi-Legierung
als zweite Schicht wie in der bevorzugten Ausführungsform verwendet wird, besteht die
zweite Schicht aus wenigstens zwei Phasen. Es bildet sich nämlich ein feiner Bereich P,
der Sn oder Sn-Bi enthält, worin Sn eine Hauptkomponente ist, und ein feiner Bereich Q,
der Bi oder Sn-Bi enthält, worin Bi eine Hauptkomponente ist.
Dieses Phänomen resultiert aus der Tatsache, daß die Sn-57 Gew.-% Bi-Legierung eine
eutektische Legierung ist, und daß sie einen niedrigen Schmelzpunkt von etwa 139°C
aufweist. Die Kristalle in dem Bereich P haben tetragonale Strukturen, und die Kristalle
in dem Bereich Q haben romboedrische Strukturen. In dieser bevorzugten Ausführungs
form tritt demgemäß der GeSx-Film 2 (d. h. die erste Schicht) mit den Sn-57 Gew.-% Bi-
Film 6 über den feinen Bereich P mit hoher Reaktivität und dem feinen Bereich Q mit
niedriger Reaktivität in Kontakt. Man geht davon aus, daß die Anwesenheit des feinen
Bereichs Q die Reaktion bei der Bildung der Filme unterdrückt.
Da die Sn-57 Gew.-% Bi-Legierung einen niedrigen Schmelzpunkt von etwa 139°C
aufweist, ist es möglich, die Bereiche P und Q bei der Bildung der Filme fein zu mischen,
und sie einheitlich in der gesamten zweiten Schicht zu verteilen. Wenn der Schmelzpunkt
zu hoch ist, ist es sehr schwierig, die Phasen völlig zu trennen. Folglich wird die zweite
Schicht aus einem im wesentlichen einzeln zusammengesetzten Teil oder einer einzigen
Phase gebildet. Folglich wird davon ausgegangen, daß die Wirkungsweise des feinen
Bereichs Q nicht erreicht wird. Somit ist ein derartiger hoher Schmelzpunkt nicht bevor
zugt.
Trotz der Tatsache, daß die Erhöhung des Licht-Absorptionsvermögens durch die Zunahme
des Reflexionsvermögens in der optischen Disk 300 dieser bevorzugten Ausführungsform
stärker abnimmt als im Vergleichsbeispiel, ist die Aufzeichnungsenergie der optischen Disk
300 dieser bevorzugten Ausführungsform gering. Man geht davon aus, daß der Grund
hauptsächlich auf die Erniedrigung des Schmelzpunkts der Substanz der zweiten Schicht
(Sn-57 Gew.-% Bi-Legierung) zurückzuführen ist.
Der Schmelzpunkt von Sn ist etwa 232°C. Der Schmelzpunkt der Sn-57 Gew.-% Bi-
Legierung ist etwa 139°C, wie vorstehend angegeben. Der niedrige Schmelzpunkt führt
jedoch nicht nur zum Erreichen der Modulation, die äquivalent ist mit derjenigen des
Vergleichsbeispiels. Wenn der Aufzeichnungs-Laserstrahl in die optische Disk 300 eintritt,
schmilzt in dieser bevorzugten Ausführungsform die Sn-57 Gew.-% Bi-Legierung zu einer
geschmolzenen Flüssigkeit, so daß im wesentlichen Sn und Bi vollständig miteinander
gemischt werden. Folglich kann Sn hoher Reaktivität direkt mit GeSx reagieren. Da Sn
eine geschmolzene Flüssigkeit ist, ist gleichzeitig die Reaktion zwischen Sn und GeSx eine
hochreaktive Reaktion zwischen einer flüssigen Phase und einer festen Phase, die heftiger
ist als eine Reaktion zwischen festen Phasen. Somit ist es möglich, die hohe Modulation
zu erhalten.
Das C/N-Verhältnis der optischen Disk 300 dieser bevorzugten Ausführungsform war
größer als dasjenige des Vergleichsbeispiels. Dieser Vorteil resultiert aus dem niedrigen
Rauschpegel dieser bevorzugten Ausführungsform. Der Rauschpegel der optischen Disk
300 dieser bevorzugten Ausführungsform betrug etwa -58 dBm. Der Rauschpegel der
optischen Disk 300 des Vergleichsbeispiels betrug etwa -51 dBm. Man geht davon aus,
daß der Unterschied derjenige ist, wie er nachfolgend beschrieben wird.
Wenn Sn als zweite Schicht wie in dem Vergleichsbeispiel verwendet wird, kristallisiert
Sn an der Oberfläche des Substrats bei der Bildung des Films wieder aus, da Sn einen
niedrigen Schmelzpunkt aufweist. Da Sn ein einfaches Metall ist, wachsen darüber hinaus
die Kristallteilchen körnig bei der Bildung des Films. Folglich wachsen die Kristallteilchen
letztendlich auf eine Teilchengröße von einigen Dutzend bis zu einigen Hundert nm, was
etwa der Größe der Wellenlänge eines Laserstrahls entspricht, der verwendet wird, um die
in der optischen Disk gespeicherten Daten auszulesen. Somit wird ein Teil des Laser
strahls, der beim Auslesen der in der optischen Disk gespeicherten Daten optisch fokussiert
wird, gestreut, und führt dazu, daß ein weißes Rauschen hervorgerufen wird, was den
Geräuschpegel der optischen Disk erhöht. Folglich ist das weiße Rauschen die Ursache für
die Verschlechterung des C/N-Verhältnisses, das eines der Aufzeichnungseigenschaften ist.
Wenn andererseits eine Sn-57 Gew.-% Bi-Legierung als zweite Schicht in dieser bevorzug
ten Ausführungsform verwendet wird, besteht die zweite Schicht aus zwei oder mehreren
Phasen, die den feinen Bereich P und wenigstens den feinen Bereich Q einschließen. Die
Sn-57 Gew.-% Bi-Legierung, deren Schmelzpunkt niedriger ist als derjenige von Sn,
kristallisiert an der Oberfläche des Substrats bei der Bildung des Films auch wieder aus.
Da jedoch die Sn-57 Gew.-% Bi-Legierung eine eutektische Legierung ist, wird das
Kornwachstum der Teilchen auf ein gewisses Ausmaß unterdrückt. Folglich wird die
zweite Schicht gebildet durch die steigende Anzahl an Teilchen und nicht durch das
Wachstum der Teilchen.
Somit wird die Streuung des Laserstrahls, der beim Auslesen der in der optischen Disk
gespeicherten Daten optisch fokussiert wird, in dieser bevorzugten Ausführungsform viel
stärker reduziert als im Vergleichsbeispiel. Demgemäß wird der Rauschpegel der optischen
Disk 300 dieser bevorzugten Ausführungsform erniedrigt. Folglich wird die Verschlechte
rung des C/N-Verhältnisses, das eine der Aufzeichnungseigenschaften ist, inhibiert. Somit
zeigt die optische Disk 300 dieser bevorzugten Ausführungsform gute Aufzeichnungseigen
schaften.
Wie oben beschrieben, ist es möglich zu sagen, daß aufgrund der verschiedenen Wirkungs
weisen die optische Disk 300 dieser bevorzugten Ausführungsform besser ausgewogen ist,
was die Eigenschaften wie beispielsweise das Reflexionsvermögen, die Aufzeichnungs
energie, das C/N-Verhältnis und die Modulation betrifft, als die herkömmliche optische
Disk.
Ähnlich den Vorteilen bei der Bildung der Filme wird davon ausgegangen, daß die eine
Reaktion inhibierende Wirkung des feinen Bereichs Q, der als Reaktionsbarriere in der
zweiten Schicht fungiert, zu einem Unterschied der Ergebnisse des Umweltbeständigkeits-
Tests dieser bevorzugten Ausführungsform zu denen des Vergleichsbeispiels führt. Somit
ist es möglich zu sagen, daß diese bevorzugte Ausführungsform dahingehend gut ist, als
die Reaktion zwischen den Filmen 2 und 6 unterdrückt wird, nämlich eine Reaktion, die
die Aufzeichnungseigenschaften beim Gebrauch verschlechtert.
Fig. 6 veranschaulicht den Partial-Querschnitt der Anordnung einer optischen Disk 400
gemäß der vierten bevorzugten Ausführungsform. Zusätzlich zu der Anordnung des
Aufzeichnungsfilms der optischen Disk 300, die in Fig. 4 veranschaulicht ist, verwendet
die optische Disk 400 eine besondere Filmanordnung. Die optische Disk 400 ist nämlich
dadurch gekennzeichnet, daß eine dritte Schicht zwischen der ersten Schicht und der
zweiten Schicht angeordnet ist, daß die dritte Schicht ermöglicht, daß die erste Schicht und
die zweite Schicht miteinander reagieren, wenn sie mit einem Aufzeichnungs-Laserstrahl
bestrahlt werden, und daß die dritte Schicht die Reaktion der ersten Schicht und der
zweiten Schicht inhibiert, wenn sie nicht mit dem Aufzeichnungs-Laserstrahl bestrahlt
werden. Diese bevorzugte Ausführungsform funktioniert und bewirkt Vorteile in derselben
Weise wie dies für die obengenannte dritte bevorzugte Ausführungsform angegeben wurde.
Nachfolgend werden die Teile, die sich von denjenigen der dritten bevorzugten Aus
führungsform unterscheiden, hauptsächlich beschrieben. Dieselben Bestandteile sind durch
dieselben Bezugszeichen in der Zeichnung angegeben und werden nicht beschrieben.
In dieser bevorzugten Ausführungsform wurde ein Film 2 aus GeSx (0<x≦2), der iden
tisch ist mit den GeSx-Film 2 der dritten bevorzugten Ausführungsform, als erste Schicht
(d. h. erste Substanz) verwendet. Ein Sn-3,2 Gew.-% Ag-2 Gew.-% Bi-Film 8 wurde als
zweite Schicht (d. h. zweite Substanz) verwendet. Ein ZnS-Film 3 wurde als dritte Schicht
verwendet, die zwischen der ersten Schicht und der zweiten Schicht angeordnet ist. Diese
Filme 2, 3 und 8 bilden einen Aufzeichnungsfilm 40 in der optischen Disk 400.
Da der Sn-3,2 Gew.-% Ag-2 Gew.-% Bi-Film 8 eine eutektische Legierung ist, werden
die feinen Bereiche P und Q in derselben Weise darin gebildet, wie dies für die dritte
bevorzugte Ausführungsform beschrieben wurde. Demgemäß ist es bei der Bildung der
Filme und beim Gebrauch möglich, die Reaktion zwischen den Filmen 2 und 8 zu unter
drücken, namlich eine Reaktion, die die Aufzeichnungseigenschaften der optischen Disk
400 verschlechtert.
Ein Herstellungsverfahren dieser bevorzugten Ausführungsform wird im Detail unter
Bezugnahme auf ein spezielles Beispiel beschrieben. In derselben Weise wie dies für die
dritte bevorzugte Ausführungsform beschrieben wurde, wurde der GeSx-Film 2 in einer
Dicke von 144 nm durch ein RF-Magnetron-Sputterverfahren auf der anderen gegenüber
liegenden Oberfläche 1b des Substrats 1 gebildet.
Anschließend wurde der ZnS-Film 3 in einer Dicke von 2 nm durch ein RF-Magnetron-
Sputterverfahren mit einem ZnS-Target unter den folgenden Filmbildungs-Bedingungen der
Sputter-Gasspezies gebildet: M; Sputter-Gasdruck: 4 × 10-3 Torr; und zugeführte elek
trische Energie: 30 bis 100 W.
Danach wurde der Sn-3,2 Gew.-% Ag-2 Gew.-% Bi-Film 8 in einer Dicke von 50 nm
durch ein DC-Sputter-Verfahren mit einem Sn-3,2 Gew.-% Ag-2 Gew.-% Bi-Target unter
den folgenden Filmbildungs-Bedingungen der Sputter-Gasspezies gebildet: M; Sputter-
Gasdruck: 4 × 10-3 Torr; und zugeführte elektrische Energie: 50 bis 300 W.
Zum Schluß wurde in derselben Weise, wie dies für die dritte bevorzugte Ausführungs
form angegeben wurde, ein mit ultravioletter Strahlung härtbares Harz verwendet, und der
Harzfilm 5 gebildet. Auf diese Weise wurde die optische Disk 400 hergestellt.
Die Aufzeichnungsvorgänge der optischen Disk 400 gemäß dieser bevorzugten Ausfüh
rungsform werden nachfolgend beschrieben. Im Bereich der Führungsrille 1c tritt der
Aufzeichnungs-Laserstrahl in Richtung des Pfeils A ein (strahlt ein), und wird an der
Oberfläche des Sn-3,2 Gew.-% Ag-2 Gew.-% Bi-Films 8 optisch fokussiert. Der GeSx-
Film 2 und der Sn-3,2 Gew.-% Ag-2 Gew.-% Bi-Film 8 gehen durch den ZnS-Film 3
hindurch und/oder zerstören den ZnS-Film 3, und gehen eine chemische Reaktion ein.
Demgemäß ändern sich die optischen Eigenschaften (Reflexionsvermögen etc.) in den
Bereichen, in denen eine Reaktion stattfand, so daß Information aufgezeichnet werden
kann.
Wenn der Aufzeichnungs-Laserstrahl nicht eingestrahlt wird, ist die dritte Schicht zwischen
der ersten Schicht und der zweiten Schicht angeordnet, so daß die die Reaktion inhibieren
de Wirkung weiter verstärkt werden kann. Folglich ist es möglich, die Verschlechterung
der Aufzeichnungseigenschaften wirkungsvoller zu inhibieren. Man geht davon aus, daß
bei der Reaktion zwischen dem GeSx-Film 2 und dem Sn-3,2 Gew.-% Ag-2 Gew.-% Bi-
Film 8 Sulfide (SnS und SnS2) etc. gebildet werden.
Bei der optischen Disk 400, die durch das obengenannte Herstellungsverfahren hergestellt
wurde, wurde Information dadurch aufgezeichnet, daß ein Laserstrahl (Aufzeichnungs-
Laserstrahl) mit einer Wellenlänge von 780 nm von der flachen Oberflächenseite (Seite 1a)
durch eine Objektivlinse mit einer NA (numerischen Apertur) von 0,5 eingestrahlt wurde
und der Laserstrahl an der Oberfläche des Sn-3,2 Gew.-% Ag-2 Gew.-% Bi-Films 8
optisch fokussiert wurde. Zu diesem Zeitpunkt waren die Bestrahlungsbedingungen wie
folgt lineare Geschwindigkeit: 2,8 m/s; Aufzeichnungsfrequenz: 400 kHz; und Wellen
form des Aufzeichnungslasers: Rechteckswelle mit einem Tastverhältnis von 50%.
Die Eigenschaften (Aufzeichnungseigenschaften) der optischen Disk 400 in diesem Beispiel
waren, wie dies in Fig. 5 dargelegt wird, wie folgt: Reflexionsvermögen in den Berei
chen, in denen nicht aufgezeichnet wurde: 63%; Aufzeichnungs-Laserenergie: 7 mW;
C/N-Verhältnis: 51 dB; und Modulation: 85%. Ähnlich der dritten bevorzugten Aus
führungsform zeigt somit diese bevorzugte Ausführungsform gute Aufzeichnungseigen
schaften.
Darüber hinaus wurde die optische Disk 400 einem Umweltbeständigkeits-Test unterzogen,
der bei einer Temperatur von 65°C und für eine Zeitdauer von 96 h durchgeführt wurde.
Die optische Disk 400 konnte die aufgezeichneten Daten auslesen.
Die optische Disk 400 dieser bevorzugten Ausführungsform zeigte ein merklich höheres
Reflexionsvermögen als das obengenannte Vergleichsbeispiel, und sie war gut ausgewogen,
was die Eigenschaften wie beispielweise das Reflexionsvermögen, die Aufzeichnungs
energie, das C/N-Verhältnis und die Modulation betrifft.
Außerdem kann die die erste Schicht bildende Substanz eine Substanz sein, die S als
Bestandteil einschließt, wie beispielsweise eine Ge-Zn-S-Verbindung und eine Ge-S-O-
Verbindung, oder eine Substanz sein, die Se als Bestandteil einschließt, wie beispielsweise
eine Ag-Ga-Se-Verbindung. Die Substanz, die die zweite Schicht bildet, kann eine Sn-Bi-
Legierung oder eine Sn-Ag-Legierung sein, die eine Zusammensetzung aufweist, die
anders ist als die oben angegebenen Zusammensetzungen. Zusätzlich zu der Sn-Bi-Legie
rung oder Sn-Ag-Legierung kann die Substanz, die die zweite Schicht bildet, eine Sn-Au-
Legiening, eine Ga-Mg-Legierung oder eine Sn-Si-Verbindung sein. In den speziellen
Anordnungen der optischen Disks werden diese Verbindungen oder Legierungen, aus
denen sie gebildet werden, ausgewählt und miteinander kombiniert. Derartige spezielle
Anordnungen funktionieren und bewirken Vorteile in derselben Weise wie die dritte und
vierte bevorzugte Ausführungsform.
Im Gegensatz zu der obigen Beschreibung können sogar dann, wenn sich die Kristall
strukturen nicht unterschieden, der Bereich hoher Reaktivität und der Bereich niedriger
Reaktivität in der zweiten Schicht nebeneinander bestehen. Dies kann sogar erreicht
werden durch Variieren der Zusammensetzung der zweiten Schicht.
Das Aufzeichnungsmedium, auf das die vorliegende Erfindung gerichtet ist, ist nicht auf
die obengenannte optische Disk beschränkt, sondern kann andere Formen aufweisen. Die
äußere Energie, die die Reaktion auslöst, um die optischen Eigenschaften zu verändern, ist
darüber hinaus nicht auf den Laserstrahl beschränkt, sondern kann Licht im allgemeinen,
Hitze, eine elektromagnetische Welle, eine Schallwelle, Bestrahlung, eine Stoßkraft, eine
Spannung etc. sein. Beispielsweise kann die vorliegende Erfindung bei einem Thermo
schild oder dergleichen angewendet werden, bei dem die erste Substanz und die zweite
Substanz bei einer vorbestimmten Temperatur reagieren und die so die optischen Eigen
schaften verändern, so daß Information aufgezeichnet wird.
In jedem Fall ist die Form des vorliegenden Aufzeichnungsmediums nicht auf die oben
beschriebene dritte und vierte bevorzugte Ausführungsform beschränkt, soweit das vor
liegende Aufzeichnungsmedium ein Aufzeichnungsmedium ist, das eine erste Substanz und
wenigstens eine zweite Substanz umfaßt, und dessen optische Eigenschaften verändert
werden, um Information aufzuzeichnen durch Aufbringen einer äußeren Energie auf
wenigstens eine der Substanzen erste und zweite Substanz, um die erste und zweite
Substanz zur Reaktion zu bringen, worin die erste Substanz eine Substanz ist, die wenig
stens ein Element einschließt, das gewählt ist aus der Gruppe, die besteht aus S und Se als
Element, aus denen sie gebildet wird, und die zweite Substanz eine Substanz ist, in der
zwei oder mehrere Bereiche unterschiedlicher Zusammensetzung oder zwei oder mehrere
Phasen unterschiedlicher Kristallzustände existieren.
Darüber hinaus inhibiert die dritte Substanz eine Veränderung der optischen Eigenschaften
des vorliegenden Aufzeichnungsmediums, wenn der Aufzeichnungs-Laserstrahl nicht
eingestrahlt wird. Die dritte Substanz zwischen der ersten Substanz und der zweiten
Substanz anzuordnen, wie dies beispielsweise in der vierten bevorzugten Ausführungsform
angegeben ist, ist somit eine wirksame Anordnung, um die Beständigkeit des vorliegenden
Aufzeichnungsmediums gegen Umwelteinflüsse weiter zu verstärken.
Eine weitere modifizierte Variante wird nachfolgend unter Bezugnahme auf Fig. 1
beschrieben. Mit Ausnahme der Anordnung der Rille des Substrats wurde die optische
Disk 100 in derselben Weise wie in der ersten bis vierten bevorzugten Ausführungsform
hergestellt. Beispielsweise wurde die optische Disk 100 mit einem Substrat 1 hergestellt,
das eine Rille 1c aufwies, die auf der Seite 1b ausgebildet war. Die Rille 1c hatte eine
derartige Anordnung, daß sie eine Rillenbreite von 520 nm und eine Rillentiefe von 35 nm
aufwies.
Daten wurden auf der optischen Disk 100 unter Verwendung eines Daten-Aufzeichnungs
gerätes aufgezeichnet. Das Daten-Aufzeichnungsgerät bestrahlte die optische Disk 100 mit
einem Laserstrahl mit einer Wellenlänge von 780 nm und einer Objektivlinse mit einer NA
von 0,50. Anschließend war diese optische Disk 100 dadurch charakterisiert, daß sie in der
Lage war, Daten unter Verwendung entweder eines ersten Daten-Ablesegerätes oder eines
zweiten Daten-Ablesegerätes auszulesen. Das erste Daten-Ablesegerät bestrahlte die
optische Disk 100 mit einem Laserstrahl mit einer Wellenlänge von 780 nm und einer
Objektivlinse mit einer NA von 0,45. Das zweite Daten-Ablesegerät bestrahlte die optische
Disk 100 mit einem Laserstrahl mit einer Wellenlänge von 650 nm und einer Objektivlinse
mit einer NA von 0,40. Dies läßt auf ein noch nie dagewesenes Merkmal schließen, daß
Daten, nachdem Daten mit einem CD-R-Schreiber aufgezeichnet wurden, entweder mit
einem CD-ROM-Player oder einem DVD-ROM-Player ausgelesen werden können.
Es ist anzumerken, daß die Anordnung der Rille auf dem Substrat, die die Eigenschaften
bewirkt, nicht auf die obengenannten Werte beschränkt ist. Angenommen, daß ein Ablese
gerät ein Aufzeichnungsmedium mit einem Laserstrahl mit einer Wellenlänge von 650 nm
und einer Objektivlinse mit einer NA von α bestrahlt, kann die Rillenbreite w (Einheit:
nm) bzw. die Rillentiefe d (Einheit: nm) vorzugsweise in den folgenden Bereichen liegen:
400 ≦ Rillenbreite w ≦ (1.749,5 -- 3.396,4 × α + 2.416,9 × α2), und
{48,6 - 11,21 × (w/100) + 1,41 × (w/100)2} ≦ Rillentiefe d ≦
{280,9 - 839,8 × α + 761,1 × α2 - 18,96 × (w/100) + 18,32 × α × (w/100) + 0,86 × (w/w00)2}.
{280,9 - 839,8 × α + 761,1 × α2 - 18,96 × (w/100) + 18,32 × α × (w/100) + 0,86 × (w/w00)2}.
Nachdem nun die vorliegende Erfindung vollständig beschrieben wurde, wird es für einen
Fachmann in diesem Bereich der Technik offensichtlich, daß viele Änderungen und
Modifikationen durchgeführt werden können, ohne vom Geist und Umfang der vorliegen
den Erfindung, wie sie in den Ansprüchen beansprucht wird, abzuweichen.
Claims (19)
1. Aufzeichnungsmedium, das eine erste Substanz und eine zweite Substanz umfaßt, worin
eine äußere Energie auf wenigstens eine der Substanzen erste und zweite Substanz aufge
bracht wird, um sie zur Reaktion zu bringen, um die optischen Eigenschaften der Sub
stanzen zum Aufzeichnen von Information zu verändern, wobei das Aufzeichnungsmedium
umfaßt:
- - eine erste Schicht, die aus einer ersten Substanz besteht, die wenigstens eines der Elemente S und Se einschließt;
- - eine zweite Schicht, die aus einer zweiten Substanz besteht, die ein Metall einschließt; und
- - eine Barriereschicht, die zwischen der ersten und zweiten Schicht angeordnet ist, die die Reaktion zwischen der ersten und zweiten Schicht erlaubt, wenn ein Laserstrahl zum Aufzeichnen als äußere Energie eingestrahlt wird, und die die Reaktion zwischen der ersten und zweiten Schicht unterdrückt, wenn ein Laserstrahl zum Aufzeichnen nicht eingestrahlt wird.
2. Aufzeichnungsmedium nach Anspruch 1, worin die erste Schicht Ge und S umfaßt.
3. Aufzeichnungsmedium nach Anspruch 1 oder Anspruch 2, worin die erste Schicht
wenigstens eine Verbindung umfaßt, die gewählt ist aus der Gruppe, die besteht aus GeSx
(0<x≦2), Ge-Zn-S und Ge-S-O.
4. Aufzeichnungsmedium nach einem der Ansprüche 1 bis 3, worin die zweite Schicht
wenigstens ein Element umfaßt, das gewählt ist aus der Gruppe, die besteht aus Sn, In,
Sb, Bi, Pb, Cr, Mn, Fe, Ni, Cu, Zn und Ag.
5. Aufzeichnungsmedium nach Anspruch 4, worin die zweite Schicht wenigstens einen
Bestandteil umfaßt, der gewählt ist aus der Gruppe, die besteht aus In, Cr, einer In-Sn-
Legierung und einer Au-Cu-Legierung.
6. Aufzeichnungsmedium nach einem der Ansprüche 1 bis 5, worin die Barriereschicht
wenigstens einen Bestandteil umfaßt, der gewählt ist aus der Gruppe, die besteht aus
Metallen, Sulfiden, Nitriden, Boriden, Kohlenstoff (C), Carbiden, Oxiden und Phosphiden.
7. Aufzeichnungsmedium nach Anspruch 6, worin die Barriereschicht wenigstens einen
Bestandteil umfaßt, der gewählt ist aus der Gruppe, die besteht aus C, ZnS, Si und SiO2.
8. Aufzeichnungsmedium nach einem der Ansprüche 1 bis 7, worin die Barriereschicht
eine Dicke von 2 nm oder mehr aufweist.
9. Aufzeichnungsmedium nach einem der Ansprüche 1 bis 8, worin die Barriereschicht
eine dritte Substanz umfaßt, die einen Schmelzpunkt oder eine Zersetzungstemperatur von
300°C oder weniger aufweist.
10. Aufzeichnungsmedium nach Anspruch 9, worin die dritte Substanz eine organische
Verbindung ist.
11. Aufzeichnungsmedium nach Anspruch 10, worin die organische Verbindung eine
Alkyl-Verbindung ist.
12. Aufzeichnungsmedium, das eine erste Substanz und wenigstens eine zweite Substanz
umfaßt und dessen optische Eigenschaften durch Aufbringen einer äußeren Energie zum
Aufzeichnen auf wenigstens eine der Substanzen erste und zweite Substanz unter Reaktion
der ersten und zweiten Substanz verändert werden, um Information aufzuzeichnen, worin
die erste Substanz wenigstens einen Bestandteil aus der Gruppe S und Se einschließt, und
die zweite Substanz zwei oder mehrere Bereiche unterschiedlicher Zusammensetzung oder
zwei oder mehrere Phasen mit einem unterschiedlichen Kristallzustand aufweist.
13. Aufzeichnungsmedium nach Anspruch 12, worin die erste Substanz GeSx (0<x≦2)
ist.
14. Aufzeichnungsmedium nach Anspruch 12, worin die erste Substanz wenigstens ein
Bestandteil ist, der gewählt ist aus der Gruppe, die besteht aus Ge-Zn-S, Ge-S-O und Ag-
Ga-Se.
15. Aufzeichnungsmedium nach einem der Ansprüche 12 bis 14, worin die zweite Sub
stanz eine Sn-57 Gew.-% Bi-Legierung ist.
16. Aufzeichnungsmedium nach einem der Ansprüche 12 bis 14, worin die zweite Sub
stanz eine Sn-3,2 Gew.-% Ag-2 Gew.-% Bi-Legierung ist.
17. Aufzeichnungsmedium nach einem der Ansprüche 12 bis 14, worin die zweite Sub
stanz wenigstens ein Bestandteil ist, der gewählt ist aus der Gruppe, die besteht aus einer
Sn-Bi-Legierung, einer Sn-Au-Legierung, einer Ga-Mg-Legierung und einer Sn-Si-Ver
bindung.
18. Aufzeichnungsmedium nach einem der Ansprüche 12 bis 17, die darüber hinaus eine
dritte Substanz umfaßt, die zwischen der ersten Substanz und der zweiten Substanz
angeordnet ist, die es erlaubt, daß die erste Substanz mit der zweiten Substanz reagiert,
wenn die äußere Energie aufgebracht wird, und die die Reaktion unterdrückt, wenn die
äußere Energie nicht aufgebracht wird.
19. Aufzeichnungsmedium nach Anspruch 18, worin die dritte Substanz ZnS ist.
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