DE19909528A1 - Vorrichtung und Verfahren zur zerstörungsfreien Werkstoffprüfung - Google Patents

Abstract

Eine Vorrichtung zur zerstörungsfreien Werkstoffprüfung eines Bauteils (1) umfaßt sowohl einen Ultraschallwandler (10-1) als auch eine Wirbelstromsonde (30). Die Wirbelstromsonde (30) ist derart bezüglich des Ultraschallwandlers (10-1) angeordnet, daß sie bei an das Bauteil (1) angekoppeltem Ultraschallwandler (10-1) zwischen einer dem Bauteil (1) zugewandten Seite (14) des Ultraschallwandlers (10-1) und dem Bauteil (1) zu liegen kommt. Die Wirbelstromsonde (30) kann auch auf der dem Bauteil (1) abgewandten Seite (35) des Ultraschallwandlers (10-1) zu liegen kommen. Es sind auch Verfahren zur zerstörungsfreien Werkstoffprüfung eines Bauteils (1) beschrieben, bei denen sowohl Ultraschall (12) in das Bauteil (1) eingekoppelt als auch Wirbelstrom im Bauteil (1) erzeugt wird. Es ist vorgesehen, daß eine Wirbelstromsonde (30) vom Ultraschall (12) durchschallt wird, oder daß ein Ultraschallwandler (10-1) von einem den Wirbelstrom erzeugenden magnetischen Wechselfeld durchdrungen wird.

Description

Die Erfindung liegt auf dem Gebiet der zerstörungsfreien Meß- und Prüftechnik.

Die Erfindung bezieht sich auf eine Vorrichtung zur zerstö­ rungsfreien Werkstoffprüfung eines Bauteils, mit

• - einem akustisch an das Bauteil ankoppelbaren Ultraschall­ prüfkopf, umfassend einen Ultraschallwandler, und
• - einer Wirbelstromsonde zur Wirbelstromprüfung des Bauteils.

Die Erfindung betrifft in einer ersten Ausführungsform auch ein Verfahren zur zerstörungsfreien Werkstoffprüfung eines Bauteils, bei dem Ultraschall in das Bauteil eingekoppelt und mittels einer Wirbelstromsonde Wirbelstrom im Bauteil erzeugt wird.

Weiterhin bezieht sich die Erfindung in einer zweiten Ausfüh­ rungsform auf ein Verfahren zur zerstörungsfreien Werkstoff­ prüfung eines Bauteils, bei dem mittels eines Ultraschall­ wandlers Ultraschall in das Bauteil eingekoppelt und Wirbel­ strom im Bauteil erzeugt wird.

In dem Fachartikel "Zerstörungsfreie Messung der Korrosions­ einwirkung auf Hochtemperatur-Schutzschichten" von G. Dibe­ lius, H. J. Krichel und U. Reimann, VGB Kraftwerkstechnik 70 (1990), Seite 762 bis 768, sind flache Wirbelstromspiralson­ den beschrieben, die auf einem flexiblen Träger aufgebracht sind, so daß die Sonde der Krümmung an der Meßstelle folgen kann.

Aus der EP 0 228 117 A2 ist eine flexible Spule für die Wir­ belstromprüfung bekannt, die auf einem flexiblen Substrat an­ gebracht ist. Die Spule ist an vielseitige Oberflächengeome- trien anpaßbar. Sie kann beispielsweise photolithographisch hergestellt werden.

Es ist bekannt, die Zuverlässigkeit der Prüfaussage bei einer zerstörungsfreien Werkstoffprüfung durch Kombination einer Wirbelstromprüfung mit einer Ultraschallprüfung zu steigern. Entsprechende Prüfmanipulatoren zur Wirbelstrom- und Ultra­ schallprüfung sind beispielsweise aus der DE 196 41 888 A1 und aus der deutschen Gebrauchsmusterschrift DE 297 00 027.6 U bekannt.

Die bekannten Prüfmanipulatoren benötigen infolge der kombi­ nierten Anwendungen zweier unterschiedlicher Prüfverfahren eine im Vergleich zu einem Einzelprüfkopf große Ankoppel- oder Auflagefläche, insbesondere falls ein der Einkopplung von Ultraschall dienender Ultraschallwandler und eine der Er­ zeugung von Wirbelstrom dienende Wirbelstromsonde in einem gemeinsamen Prüfkopf oder in einem gemeinsamen Gehäuse unter­ gebracht und z. B. zusätzlich starr verbunden sind. Deshalb eignen sich die bekannten Manipulatoren nicht füt die Prüfung an stark gekrümmten Oberflächen. Die bekannten kombinierten Ultraschall- und Wirbelstromprüfeinrichtungen sind darüber hinaus im Vergleich zu einer Einzelprüfeinrichtung besonders voluminös, so daß sie zur Prüfung schwer zugänglicher Prüfbe­ reiche am Bauteil nicht oder nur mit großem Aufwand einge­ setzt werden können.

Der Erfindung liegt demzufolge die Aufgabe zugrunde, eine Vorrichtung und ein Verfahren zur zerstörungsfreien Werk­ stoffprüfung eines Bauteils anzugeben, mit dem auch schwerer zugängliche Prüfbereiche geprüft werden können, und die auch bei stärker gekrümmten Oberflächen des Bauteils verwendbar sind.

Diese Aufgabe wird bezogen auf die eingangs genannte Vorrich­ tung gemäß der Erfindung dadurch gelöst, daß die Wirbelstrom­ sonde derart bezüglich des Ultraschallwandlers angeordnet ist, daß sie bei an das Bauteil angekoppeltem Ultraschall­ wandler zumindest teilweise zwischen einer dem Bauteil zuge­ wandten Seite des Ultraschallwandlers und dem Bauteil oder zumindest teilweise auf der dem Bauteil abgewandten Seite des Ultraschallwandlers zu liegen kommt.

Mit der Vorrichtung wird z. B. erreicht, daß an der gleichen Stelle auf der Oberfläche des Bauteils, an der die Wirbel­ stromsonde angekoppelt ist, der vom Ultraschallwandler ausge­ sandte Ultraschall ins Bauteil eingekoppelt wird. Mit anderen Worten: Der Bereich der akustischen Ankopplung ans Werkstück oder Bauteil stimmt zumindest teilweise mit einem Bereich elektromagnetischer Ankopplung an das Bauteil überein. Da­ durch ist die Vorrichtung in vorteilhafter Weise besonders platzsparend aufbaubar.

Die Wirbelstromsonde und der Ultraschallprüfkopf sind bei­ spielsweise in einem gemeinsamen Gehäuse untergebracht und insbesondere starr miteinander verbunden. Es können auch meh­ rere Wirbelstromsonden und/oder Ultraschallprüfköpfe vorhan­ den sein.

Die dem Bauteil zugewandte Seite und die dem Bauteil abge­ wandte Seite des Ultraschallwandlers sind insbesondere die Flachseiten des Ultraschallwandlers.

Der Ultraschallprüfkopf umfaßt neben dem Ultraschallwandler beispielsweise einen Vorlaufkeil und/oder eine Anpaßschicht.

Nach einer besonders bevorzugten Ausgestaltung ist die Wir­ belstromsonde derart bezüglich des Ultraschallwandlers ange­ ordnet, daß sie bei an das Bauteil angekoppeltem Ultraschall­ wandler zumindest teilweise zwischen einer Ankoppelfläche des Ultraschallprüfkopfs und dem Bauteil zu liegen kommt.

Beispielsweise ist auf einer oberen Keilfläche des Vorlauf­ keils der Ultraschallwandler angeordnet. In diesem Fall wird die untere Keilfläche des Vorlaufkeils an das Bauteil aku­ stisch angekoppelt, d. h. sie bildet die Ankoppelfläche. Zwi­ schen der unteren Keilfläche und dem Bauteil kommt dann die Wirbelstromsonde zu liegen.

Die Wirbelstromsonde kann aber auch zwischen der oberen Keilfläche des Vorlaufkeils und der dem Bauteil zugewandten, insbesondere unteren Seite des Ultraschallwandlers angeord­ net sein.

Der Ultraschallwandler ist beispielsweise ein als Array aus­ gebildeter Gruppenstrahler.

Die Wirbelstromsonde umfaßt vorzugsweise eine Sondenspulenan­ ordnung.

Die Windungen ("Wicklungen") einer Spule der Sondenspulenan­ ordnung sind beispielsweise in einer Ebene angeordnet und/oder spiralförmig ausgebildet.

Bevorzugt ist die Sondenspulenanordnung eine photolithogra­ phisch hergestellte Anordnung von Leiterbahnen.

Beispielsweise ist die Höhe der Leiterbahnen geringer als 0,1 mm, oder geringer als 0,02 mm.

Durch die Anwendung der Photolitographie ist es möglich, be­ sonders dünne Leiterbahnen herzustellen. Dies ist insbeson­ dere von Vorteil, falls die Wirbelstromsonde vom Ultraschall durchstrahlt wird. In diesem Fall wird durch besonders dünne Leiterbahnen nämlich in vorteilhafter Weise erreicht, daß der Ultraschall beim Passieren der Sondenspulenanordnung nur eine geringe Störung, insbesondere nur eine geringe Absorption und Reflexion, erfährt.

Die Sondenspulenanordnung umfaßt beispielsweise wenigstens zwei Spulen.

Nach einer anderen bevorzugten Ausgestaltung weist die Wir­ belstromsonde eine Folie auf, in oder auf der die Sondenspu­ lenanordnung angeordnet ist. Dadurch wird in vorteilhafter Weise der Raumbedarf der Vorrichtung weiter verringert.

Insbesondere weist hierzu die Folie eine Dicke von weniger als 0,5 mm auf, oder von weniger als 0,02 mm.

Zur Erleichterung der Ankopplung der Vorrichtung an eine un­ ebene Bauteiloberfläche besteht die Folie vorzugsweise aus flexiblem Material.

Nach einer ganz besonders bevorzugten Ausgestaltung sind der Ultraschallprüfkopf, d. h. insbesondere der Ultraschallwand­ ler, und die Wirbelstromsonde mit unterschiedlichen Frequen­ zen betreibbar. Dadurch wird der Vorteil erzielt, daß sich der Ultraschallprüfkopf und die Wirbelstromsonde, insbeson­ dere bei geringem räumlichem Abstand und insbesondere bei Un­ terbringung in einem gemeinsamen Gehäuse, nicht gegenseitig beeinflussen.

Vorzugsweise unterscheiden sich die Frequenzen mindestens um einen Faktor 2 voneinander. Beispielsweise wird die Wirbel­ stromsonde mit einer Wirbelstromfrequenz betrieben, deren ge­ radzahlige Vielfache (Oberwellen) nicht mit einer Resonanz­ frequenz des Ultraschallwandlers oder einem geradzahligen Vielfachen hiervon übereinstimmen.

Nach einer anderen bevorzugten Ausgestaltung sind der Ultra­ schallprüfkopf und die Wirbelstromsonde wechselweise betreib­ bar. Durch ein solches zeitlich getaktetes, gegenphasiges Durchführen der Ultraschallprüfung und der Wirbelstromprüfung kann eine gegenseitige Beeinflussung, beispielsweise durch elektromagnetische Induktionen oder mechanische Vibrationen, ebenfalls zuverlässig ausgeschlossen werden.

Die verfahrensbezogene Aufgabe wird bezogen auf die eingangs genannte erste Ausführungsform gemäß der Erfindung dadurch gelöst, daß die Wirbelstromsonde zumindest teilweise vom Ul­ traschall durchschallt wird.

Bezogen auf die zweite Ausführungsform wird die Aufgabe da­ durch gelöst, daß der Ultraschallwandler zumindest teilweise von einem den Wirbelstrom erzeugenden magnetischen Wechsel­ feld durchdrungen wird.

Die beiden Verfahren sind bevorzugt mit der Vorrichtung nach der Erfindung durchführbar. Die bezüglich der Vorrichtung ge­ nannten Vorteile gelten für die Verfahren analog.

Bei beiden Ausführungsformen wird bevorzugt eine von der Ul­ traschallfrequenz verschiedene Wirbelstromfrequenz einge­ stellt.

Die Ultraschallfrequenz und die Wirbelstromfrequenz unter­ scheiden sich hierbei mindestens um einen Faktor 2 voneinan­ der.

In vorteilhafter Weise kann auch abwechselnd Ultraschall ein­ gekoppelt und Wirbelstrom erzeugt werden.

Drei Ausführungsbeispiele einer Vorrichtung nach der Erfin­ dung werden anhand der Fig. 1 bis 6 näher erläutert. Die Figuren dienen auch der Erläuterung der Verfahren nach der Erfindung. Es zeigt:

Fig. 1 ein erstes Ausführungsbeispiel einer Vorrichtung nach der Erfindung in einem Längsschnitt ("Verti­ kalschnitt") entlang der Linie I-I der Fig. 2,

Fig. 2 die Vorrichtung der Fig. 1 in einer Draufsicht auf einen Schnitt entlang der Linie II-II der Fig. 1,

Fig. 3 ein zweites Ausführungsbeispiel einer Vorrichtung nach der Erfindung in einem Längsschnitt,

Fig. 4 ein drittes Ausführungsbeispiel einer Vorrichtung nach der Erfindung in einem Längsschnitt ("Verti­ kalschnitt") entlang der Linie IV-IV der Fig. 5,

Fig. 5 eine Draufsicht auf die oben aufgeschlossene Vor­ richtung der Fig. 4 und

Fig. 6 eine Querschnittsdarstellung durch die Vorrichtung der Fig. 4 entlang der Linie VI-VI.

Bei der nachfolgenden Beschreibung wird - ohne Einschränkung der Allgemeingültigkeit der darin getroffenen Aussagen - in für die Ultraschallprüftechnik üblicher Weise davon ausgegan­ gen, daß der Ultraschallprüfkopf "auf" dem zu prüfenden Bau­ teil angekoppelt wird und dabei oberhalb diesem zu liegen kommt. In diesem Sinne werden nachfolgend die Begriffe "hori­ zontal" und "vertikal" verwendet.

Fig. 1 zeigt in einem Vertikalschnitt ein Bauteil 1, das ei­ ner zerstörungsfreien Werkstoffprüfung unterzogen wird. Hierzu ist an der Oberfläche 2 des Bauteils 1 ein Ultra­ schallprüfkopf 10 akustisch angekoppelt, der einen Ultra­ schallwandler 10-1 zur Einkopplung von Ultraschall 12 in das Bauteil 1 umfaßt. Der Ultraschallwandler 10-1 weist einen glatt geschnittenen, planparallelen piezoelektrischen Körper und (nicht explizit dargestellte) Elektroden auf.

Die dem Bauteil 1 zugewandte Seite 14 des Ultraschallwand­ lers 10-1 bildet eine Ankoppelfläche 10-2, mit der der Ultra­ schallprüfkopf 10 an das Bauteil 1 - im gezeichneten Beispiel mittelbar - angekoppelt ist. Zwischen der Ankoppelfläche 10-2 und der Oberfläche 2 des Bauteils 1 ist eine Wirbelstrom­ sonde 30 angeordnet. Diese besteht unter anderem aus einer Folie 30-1 aus temperaturbeständigem und flexiblem Material M und mit einer Dicke D von weniger als 0,1 mm. Das Material M ist z. B. Polyamid.

Auf der Folie 30-1 ist eine Sondenspulenanordnung 30-2 ange­ ordnet, die als photolithographisch hergestellte Leiter­ bahn 30-3 mit einer Höhe H von weniger als 0,1 mm ausgebildet ist.

Die Höhe H der Leiterbahn 30-3 ist in Fig. 1 zur besseren Darstellung stark übertrieben gezeichnet.

Der vom Ultraschallwandler 10-1 erzeugte Ultraschall 12 durchdringt die darunter gelegene Wirbelstromsonde 30, bevor er in das Bauteil 1 eindringt. Der unter dem Ultraschallwand­ ler 10-1 gelegene Bereich der Oberfläche 2 des Bauteils 1 dient sowohl als akustische Ankoppelfläche als auch dem Ein­ dringen eines von der Wirbelstromsonde 30 erzeugten (nicht dargestellten) elektromagnetischen Felds, welches im Bau­ teil 1 zur Erzeugung des gewünschten Wirbelstroms führt.

Fig. 2 zeigt die Vorrichtung der Fig. 1 in einer Draufsicht bei abgenommenem Ultraschallwandler 10-1 (Schnitt entlang der Linie II-II). Daraus ist ersichtlich, daß die Leiterbahn 30-3 der Sondenspulenanordnung 30-2 eine spiralförmige oder schraubenlinienförmige und planare Spule bildet. Die Leiter­ bahn 30-3 ist an einem am Rand der Folie 30-1 gelegenen er­ sten Spulenende 30-4 mit einem Kontaktdraht 33 kontaktiert. Sie windet sich mit von Windung zu Windung geringer werdendem Radius zu einem etwa in der Mitte der Folie 30-1 gelegenen zweiten Spulenende 30-5, von dem ein weiterer Kontaktdraht 32 ausgeht, der nach oben durch eine Bohrung 10-3 (siehe Fig. 1) einer nicht explizit dargestellten Ansteuereinheit zuge­ führt ist.

Bei dem in Fig. 3 dargestellten zweiten Ausführungsbeispiel einer Vorrichtung nach der Erfindung ist die Wirbelstrom­ sonde 30 im Gegensatz zu dem in Fig. 1 dargestellten Ausfüh­ rungsbeispiel auf einer dem Bauteil 1 abgewandten Seite 35, d. h. auf der Oberseite, des Ultraschallwandlers 10-1 angeord­ net. Bei der Vorrichtung des zweiten Ausführungsbeispiels er­ folgt die elektromagnetische Ankopplung der Wirbelstrom­ sonde 30 an das Bauteil 1 durch den Ultraschallwandler 10-1 hindurch. Dies bedeutet, daß der größte Anteil der von der Sondenspulenanordnung 30-2 erzeugten magnetischen Feldlinien den Ultraschallprüfkopf 10 durchdringt.

Die Ultraschallwandler 10 der Fig. 1 bis 3 sind für die Senkrechteinschallung im Impuls-Echo-Betrieb hergerichtet.

Fig. 4 zeigt ein weiteres Ausführungsbeispiel, bei dem der Ultraschallprüfkopf 10 und die Wirbelstromsonde 30 in einem gemeinsamen Gehäuse 10-4 angeordnet und darin fest miteinan­ der verbunden sind. Der Ultraschallwandler 10-1 ist auf der dem Bauteil abgewandten Seite 35 von einem Dämpfungskör­ per 10-5 aus Kork eingeschlossen. Mit der dem Bauteil zuge­ wandten Seite 14 ist der Ultraschallwandler 10-1 über eine Anpaßschicht 10-6 (λ/4-Schicht) an einen vom eingekoppelten Ultraschall 12 durchschallten Vorlaufkeil 10-7 aus Plexiglas gekoppelt.

Die Fig. 5 und 6 zeigen die in Fig. 4 in einem Vertikal­ schnitt dargestellte Vorrichtung in einer Draufsicht auf den Ultraschallprüfkopf (Fig. 5) bei aufgeschlossenem Ge­ häuse 10-4 und abgenommenem Dämpfungskörper 10-5 bzw. in ei­ nem Horizontalschnitt (Fig. 6) entlang der Linie VI-VI der Fig. 4. Aus Fig. 5 ist ersichtlich, daß der Vorlaufkeil 10-7 durch eine akustische Trennschicht 10-8 aus Kork in zwei Teilkeile unterteilt ist. Der Ultraschallwandler 10-1 ist bei diesem Ausführungsbeispiel ebenfalls mehrteilig ausgestaltet. Er besteht aus einem Ultraschallsender 10-1T, der an einen der Teilkeile akustisch angekoppelt ist, und aus einem Ultra­ schallempfänger 10-1R, der an den anderen Teilkeil akustisch angekoppelt ist. Durch diese Ausgestaltung des Vorlauf­ keils 10-7 und des Ultraschallwandlers 10-1 ist der darge­ stellte Ultraschallprüfkopf 10 insbesondere für einen Sende- Empfangs-Betrieb geeignet.

Fig. 6 zeigt, daß die Sondenspulenanordnung 30-2 beim drit­ ten Ausführungsbeispiel eine erste Spule 30-2A und eine zweite Spule 30-2B umfaßt, die beispielsweise in einer (nicht dargestellten) Differenzschaltung betreibbar sind. Die erste Spule 30-2A kommt bei an das Bauteil 1 angekoppeltem Ultra­ schallsender 10-1T zwischen diesem und dem Bauteil 1 zu lie­ gen. In äquivalenter Weise liegt die zweite Spule 30-2B dann unter dem Ultraschallempfänger 10-1R. Die Leiterbahnen 30-3 der weitgehend planaren Sondenspulenanordnung 30-2 der Wir­ belstromsonde 30 sind über Kontaktdrähte 32, 33, 44, 45 kon­ taktiert. Die Kontaktdrähte 32, 44, die von den jeweils nicht am Rand der Folie 30-1 gelegenen Spulenenden ausgehen, sind über horizontal verlaufende Nuten 10-9, 10-10 zur vertikalen Bohrung 10-3 geführt, die durch die Trennschicht 10-8 nach oben verläuft, und durch die diese Kontaktdrähte 32, 44 nach außen geführt sind. Die Nuten 10-9, 10-10 sind an der Unter­ seite des Vorlaufkeils 10-7 eingefräßt.

Die Windungen der Spulen 30-2A, 30-2B sind im wesentlichen rechteckig geformt mit sich von Windung zu Windung verrin­ gernder Breite und Länge des Rechtecks.

In Fig. 4 sind die Leiterbahnen 30-3 der Sondenspulenanord­ nung 30-2 - im Gegensatz zu den Fig. 1 und 3 - nicht über­ höht dargestellt, so daß diese dort nicht ersichtlich sind. Die Sondenspulenanordnung 30-2 ist zwischen der Folie 30-1 und dem Vorlaufkeil 10-7 angeordnet. Um die Folie 30-1 vor Abrieb und Schmutz zu schützen, ist sie mit einer Schutz­ schicht 30-6 überzogen, die unmittelbar auf der Oberfläche 2 des Bauteils 1 aufliegt.

Statt zwischen dem Bauteil 1 und dem Vorlaufkeil 10-7 könnte die Wirbelstromsonde 30, insbesondere die Folie 30-1 mit der Sondenspulenanordnung 30-2, auch zwischen dem Ultraschall­ wandler 10-1 und dem Vorlaufkeil 10-7 angeordnet sein. Sie könnte auch auf der dem Bauteil 1 abgewandten Seite 35 des Ultraschallwandlers 10-1 befestigt sein.

Der Ultraschallwandler 10-1 wird bei einer Ultraschallfre­ quenz aus dem Bereich von 1 MHz bis 15 MHz betrieben, z. B. bei 2 MHz. Die Wirbelstromsonde 30 wird elektrisch mit einer Wirbelstromfrequenz aus dem Intervall von 50 kHz und 900 kHz, z. B. 600 kHz, angeregt.

Anstelle der zwei Spulen 30-2A, 30-2B können auch drei oder mehr Spulen in beliebiger Anordnung vorhanden sein.

Claims (17)

1. Vorrichtung zur zerstörungsfreien Werkstoffprüfung eines Bauteils (1), mit

• - einem akustisch an das Bauteil (1) ankoppelbaren Ultra­ schallprüfkopf (10), umfassend einen Ultraschallwand­ ler (10-1), und
• - einer Wirbelstromsonde (30) zur Wirbelstromprüfung des Bau­ teils (1),

dadurch gekennzeichnet, daß die Wirbelstromsonde (30) derart bezüglich des Ultfaschall­ wandlers (10-1) angeordnet ist, daß sie bei an das Bau­ teil (1) angekoppeltem Ultraschallwandler (10-1) zumindest teilweise zwischen einer dem Bauteil (1) zugewandten Seite (14) des Ultraschallwandlers (10-1) und dem Bauteil (1) oder zumindest teilweise auf der dem Bauteil (1) abgewandten Seite (35) des Ultraschallwandlers (10-1) zu liegen kommt.

2. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Wirbelstromsonde (30) derart bezüglich des Ultraschall­ wandlers (10-1) angeordnet ist, daß sie bei an das Bau­ teil (1) angekoppeltem Ultraschallwandler (10-1) zumindest teilweise zwischen einer Ankoppelfläche (10-2) des Ultra­ schallprüfkopfs (10) und dem Bauteil (1) zu liegen kommt.

3. Vorrichtung nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Wirbel­ stromsonde (30) eine Sondenspulenanordnung (30-2) umfaßt.

4. Vorrichtung nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß die Sonden­ spulenanordnung (30-2) eine photolithographisch hergestellte Anordnung von Leiterbahnen (30-3) ist.

5. Vorrichtung nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß die Höhe (H) der Leiterbahnen (30-3) geringer als 0,1 mm ist.

6. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 3 bis 5, dadurch gekennzeichnet, daß die Sonden­ spulenanordnung (30-2) wenigstens 2 Spulen umfaßt.

7. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 3 bis 6, dadurch gekennzeichnet, daß die Wirbel­ stromsonde (30) eine Folie (30-1) aufweist, in oder auf der die Sondenspulenanordnung (30-2) angeordnet ist.

8. Vorrichtung nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, daß die Fo­ lie (30-1) eine Dicke (D) von weniger als 0,5 mm aufweist.

9. Vorrichtung nach Anspruch 7 oder 8, dadurch gekennzeichnet, daß die Fo­ lie (30-1) aus flexiblem Material (M) besteht.

10. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 9, dadurch gekennzeichnet, daß der Ultra­ schallprüfkopf (10) und die Wirbelstromsonde (30) mit unter­ schiedlichen Frequenzen betreibbar sind.

11. Vorrichtung nach Anspruch 10, dadurch gekennzeichnet, daß sich die Frequenzen mindestens um einen Faktor 2 voneinander unter­ scheiden.

12. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 11, dadurch gekennzeichnet, daß der Ultra­ schallprüfkopf (10) und die Wirbelstromsonde (30) wechsel­ weise betreibbar sind.

13. Verfahren zur zerstörungsfreien Werkstoffprüfung eines Bauteils (1), bei dem Ultraschall (12) in das Bauteil (1) eingekoppelt und mittels einer Wirbelstromsonde (30) Wirbel­ strom im Bauteil (1) erzeugt wird, dadurch gekennzeichnet, daß die Wirbel­ stromsonde (30) zumindest teilweise vom Ultraschall (12) durchschallt wird.

14. Verfahren zur zerstörungsfreien Werkstoffprüfung eines Bauteils (1), bei dem mittels eines Ultraschallwandlers (10-1) Ultraschall (12) in das Bauteil (1) eingekoppelt und Wir­ belstrom im Bauteil (1) erzeugt wird, dadurch gekennzeichnet, daß der Ultra­ schallwandler (10-1) zumindest teilweise von einem den Wir­ belstrom erzeugenden magnetischen Wechselfeld durchdrungen wird.

15. Verfahren nach Anspruch 13 oder 14, dadurch gekennzeichnet, daß eine von der Ultraschallfrequenz verschiedene Wirbelstromfrequenz ein­ gestellt wird.

16. Verfahren nach Anspruch 15, dadurch gekennzeichnet, daß sich die Ultraschallfrequenz und die Wirbelstromfrequenz mindestens um einen Faktor 2 voneinander unterscheiden.

17. Verfahren nach einem der Ansprüche 13 bis 16, dadurch gekennzeichnet, daß abwechselnd Ultraschall (12) eingekoppelt und Wirbelstrom erzeugt wird.