DE19859360A1 - Werkzeugmaschine mit piezoelektrischer Positionskorrektureinrichtung - Google Patents

Abstract

Bei einer Werkzeugmaschine (1) zur insbesondere spanenden Bearbeitung von Werkstücken, mit einer Bearbeitungseinheit (3) ist als Positionskorrektureinrichtung, insbesondere für eine Arbeitsspindel (4) der Bearbeitungseinheit (3), mindestens ein elektrisch angesteuertes piezoelektrisches Stellelement (11) vorgesehen. Bei einer festgestellten Positionsänderung kann die Bearbeitungseinheit schnell mechanisch in ihre jeweilige Sollposition bewegt werden.

Description

Die Erfindung betrifft eine Werkzeugmaschine zur insbesonde­ re spanenden Bearbeitung von Werkstücken, mit einer Bearbei­ tungseinheit und/oder einem Werkstücktisch und mit einer Po­ sitionskorrektureinrichtung für die Bearbeitungseinheit bzw. den Werkstücktisch.

Eine derartige Werkzeugmaschine ist zum Beispiel durch die DE 196 07 599 A1 bekanntgeworden.

Um bei dieser bekannten Werkzeugmaschine Bearbeitungsunge­ nauigkeiten aufgrund thermisch bedingter Positionsänderungen von Werkstück und/oder Werkzeug im Arbeitsbereich des Werk­ zeuges zu vermeiden, sind ortsfeste optische Meßschranken vorgesehen, durch die Werkstück und Werkzeug gleichzeitig oder kurz nacheinander bewegt werden. Die so erfaßten Posi­ tionen werden mit abgespeicherten Positionen aus früheren Messungen verglichen, und die Differenz zwischen erfaßter und früher gemessener Position wird zur Korrektur der Ma­ schinensteuerung verwendet. Das heißt, das Werkzeug oder Werkstück wird nicht mechanisch auf den Sollwert zurückbe­ wegt, sondern die Positionsänderung wird durch eine entspre­ chende Korrektur der Sollwerte der Maschinensteuerung be­ rücksichtigt. Außerdem ist eine dynamische Positionskorrek­ tur während der Bearbeitung eines Werkstücks nicht möglich.

Demgegenüber ist es die Aufgabe der Erfindung, eine Werk­ zeugmaschine der eingangs genannten Art derart weiterzubil­ den, daß bei einer festgestellten Positionsänderung die Be­ arbeitungseinheit und/oder der Werkstücktisch möglichst schnell mechanisch in ihre jeweilige Sollposition bewegt werden können.

Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß dadurch gelöst, daß als Positionskorrektureinrichtung, insbesondere für eine Ar­ beitsspindel der Bearbeitungseinheit, mindestens ein elek­ trisch angesteuertes piezoelektrisches (piezokeramisches) Stellelement vorgesehen ist.

Piezoelektrische Stellelemente (Aktuatoren), mit denen sich heute Dehnungen von bis zu ca. 300 Ìm erreichen lassen, wei­ sen sehr hohe Steifigkeiten und insbesondere sehr kurze Stellzeiten (kleiner als 1 Ìs) auf. In Werkzeugmaschinen können sie sowohl auf der Werkzeug- als auch auf der Werk­ stückseite eingesetzt werden z. B.:

• - zum Ausgleich von thermischen Verformungen und Verlagerun­ gen;
• - zum Ausgleich von geometrischen Positionsfehlern (z. B. der Werkstücke);
• - zum Ausgleich von Verformungen und Verlagerungen aufgrund wirkender Kräfte;
• - zum Ausgleich von Werkzeugmaßschwankungen (z. B. Werkzeug­ längenkorrektur, insbesondere eine relative Werkzeuglän­ genkorrektur bei mehrspindligen Systemen);
• - zur aktiven Schwingungstilgung.

So können z. B. die Arbeitsspindeln von Werkzeugmaschinen, insbesondere von mehrspindligen, mit Hilfe von piezoelektri­ schen Stellelementen räumlich verschiebbar an die Werkzeug­ maschine angekoppelt werden. Damit ist eine, den Freiheits­ graden der konventionellen Maschinenachsen überlagerte räum­ liche Bewegung der bzw. jeder einzelnen Arbeitsspindel mög­ lich. Der Maschinenständer, z. B. eine Schlitteneinheit, mit der Arbeitsspindel führt die vom Steuerprogramm vorgegebenen Achsbewegungen durch, während eine Arbeitsspindel zusätzlich überlagerte Kompensationsbewegungen für eine Positionskor­ rektur ausführen kann. Diese erfindungsgemäße piezoelektri­ sche Positionskorrektureinrichtung kann sowohl bei konven­ tionellen Arbeitsspindeln als auch bei Motorspindeln und Mehrspindelbohrköpfen eingesetzt werden.

Zum Abgleich von Positionsfehlern zwischen Werkzeug und Werkstück, die aufgrund der oben genannten Einflüsse entste­ hen, kann die Arbeitsspindel entweder mittels vorgegebener Parameter in eine Sollposition gesteuert werden, oder es wird mit Hilfe eines geschlossenen Regelkreises die Werk­ zeug- bzw. Arbeitsspindelposition an die Werkstück- bzw. Sollposition angepaßt. Die Ermittlung der Soll/Ist-Abwei­ chung kann mittels mechanischer, optischer, kapazitiver oder induktiver Meßaufnehmer oder Taster erfolgt. Der Maßabgleich kann dabei sowohl an den zu bearbeitenden Werkstücken als auch an dem Werkzeug erfolgen.

Die festgestellte Abweichung wird dann in mehreren Regel­ schritten z. B. durch das Verschieben der Arbeitsspindel auf ihre Sollposition minimiert. Bei der gesteuerten Vorgehens­ weise wird die Arbeitsspindel anhand von im Vorfeld ermit­ telter maschinen-, werkzeug- oder vorrichtungstypischer Pa­ rameter in ihre exakte Sollposition gesteuert. Dabei können sich diese Parameter auch variabel am jeweiligen Maschinen­ zustand orientieren (Temperatur, Bearbeitungskraft usw.).

Bei bevorzugten Ausführungsformen der Erfindung verläuft die Wirkrichtung des mindestens einen piezoelektrischen Stell­ elements etwa in Richtung eines linearen Freiheitgrades der Bearbeitungseinheit bzw. des Werkstücktisches, d. h. in Rich­ tung der konventionellen Maschinenachsen X, Y oder Z. Neben thermisch bedingten Verlagerungen können so Werkzeugmaß­ schwankungen, z. B. die Werkzeuglänge oder Werkzeugeinstell­ maße, verändert werden. Dies ermöglicht insbesondere bei mehrspindligen Systemen, bei denen ansonsten eine Kompensa­ tion ihrer Arbeitsspindeln in Achsrichtung (Z-Richtung) zu­ einander nicht möglich ist, einen individuellen und separa­ ten Abgleich jeder einzelnen Arbeitsspindel in Z-Richtung.

In vorteilhafter Weiterbildung dieser Ausführungsform kann jedem linearen Freiheitsgrad der Bearbeitungseinheit bzw. des Werkstücktisches jeweils mindestens ein piezoelektri­ sches Stellelement zugeordnet sein. Durch diese Maßnahme kann jede beliebige räumliche Positionskorrektur z. B. der Arbeitsspindel(n) vorgenommen werden.

Bei einer anderen Ausführungsform der Erfindung verläuft die Wirkrichtung des mindestens einen piezoelektrischen Stell­ elements etwa radial zu einem linearen Freiheitsgrad der Be­ arbeitungseinheit bzw. des Werkstücktisches. Diese Ausfüh­ rungsform hat den wesentlichen Vorteil, daß z. B. eine Ar­ beitsspindel über das mindestens eine piezoelektrische Stellelement aus ihrer zu einem linearen Freiheitsgrad (Z- Richtung) parallelen Lage bewegt, insbesondere parallelver­ schoben oder auch verkippt werden kann.

Dazu kann die Bearbeitungseinheit bzw. der Werkstücktisch in einer vorteilhaften Weiterbildung dieser Ausführungsform über eine durch mindestens zwei, vorzugsweise mindestens drei piezoelektrische Stellelemente gebildete Mehrpunkthal­ terung räumlich verstellbar gelagert sein. Die Stellelemente sind dabei in gleichen Winkelabständen an der Bearbeitungs­ einheit bzw. dem Werkstücktisch vorzusehen.

Ferner ist es bei dieser Weiterbildung besonders von Vor­ teil, wenn die Bearbeitungseinheit bzw. der Werkstücktisch über mindestens zwei in Richtung des linearen Freiheitsgra­ des hintereinander angeordnete Mehrpunkthalterungen räumlich verstellbar gelagert ist. Mit zwei Mehrpunkthalterungen, z. B. mit je drei unter 120 angeordneten Stellelementen in zwei Radialebenen, läßt sich eine Arbeitsspindel in den durch die drei Stellelemente aufgespannten Radialebenen ra­ dial verstellen, und zwar entweder zur Spindelachse parall­ elverschieben oder aber sphärisch verstellen. Im letzteren Fall ändert sich die Achsrichtung der Arbeitsspindel bzw. des darin eingespannten Werkstücks. Durch die sphärische Verstellbarkeit der Arbeitsspindel können auch Taumelfehler der Arbeitsspindel ausgeglichen werden. Ebenso wird es da­ durch möglich, genauigkeitsbedingte, geometrische Abweichun­ gen der Werkzeugmaschine sowie Fehler aufgrund der Nachgie­ bigkeit der Maschinenstruktur auszugleichen.

Je nach Position des Massenmittelpunkts einer verfahrbaren Bearbeitungseinheit, insbesondere ihrer Schlitteneinheit, bei der Bearbeitung ändern sich die auf ihre Führung wirken­ den Kräfte bzw. Belastung. Damit ergeben sich abhängig von der jeweiligen Position des Schlittens Geometrieabweichun­ gen. Schlimmstenfalls kann diese Belastung zu einem Abkippen des Schlittens führen. Um auch solche von der Position des Schlittens abhängigen, jeweils unterschiedlichen Kräfte aus­ gleichen zu können, kann das mindestens eine piezoelektri­ sche Stellelement erfindungsgemäß an der einem linearen Freiheitsgrad zugeordneten Führung der Bearbeitungseinheit bzw. des Werkstücktisches vorgesehen sein. So können bei vertikalen Bearbeitungseinheiten, um z. B. Nachgiebigkeiten ihres X-Schlittens auszugleichen, Stellelemente unter den Führungsschuhen der Führungen montiert werden. Damit kann die nicht konstante Steifigkeit des X-Schlittens in Abhän­ gigkeit seiner jeweiligen Y-Position kompensiert werden.

Bei bevorzugten weiteren Ausführungsformen ist der Abstand zwischen zwei Bearbeitungseinheiten, insbesondere zwischen ihren Arbeitsspindeln, oder zwischen zwei Werkstücktischen der Werkzeugmaschine über das mindestens eine piezoelektri­ sche Stellelement veränderbar. Im einfachsten Fall ist das Stellelement zwischen den beiden Arbeitsspindeln z. B. in ei­ ner Trennfuge vorgesehen, um den Spindelabstand durch Auf­ weiten der Trennfuge zu verstellen.

Auch Schwingungen der Werkzeugmaschine, die im allgemeinen in einem Frequenzbereich von ca. 10-20 Hz liegen, können zu Positionsungenauigkeiten und zu Verlagerungen führen. Daher ist es von besonderem Vorteil, wenn mindestens ein die Bear­ beitungseinheit bzw. den Werkstücktisch höhenverstellbar la­ gerndes piezoelektrisches Element zur Kompensation solcher Schwingungen (aktive Schwingungstilgung) vorgesehen ist. Da­ zu wird die Bewegung der Werkzeugmaschine mit geeigneten Schwingungsmeßelementen erfaßt, verrechnet und als Wegkom­ pensationswerte an die Stellelemente gegeben.

Zur Ermittlung der Soll/Ist-Abweichung auf der Werkzeug- oder Werkstückseite kann ein z. B. mechanischer, optischer, kapazitiver oder induktiver Meßfühler vorgesehen sein, der eine Verlagerung der Bearbeitungseinheit bzw. des Werkstück­ tisches unmittelbar oder einen die Verlagerung bestimmenden Parameter als Fühlgröße für das Ansteuern des mindestens ei­ nen piezoelektrischen Stellelements erfaßt. Die erstgenann­ ten Parameter eignen sich insbesondere für eine Regelung des Stellelements, während es sich bei den zweitgenannten Para­ metern um maschinen-, werkzeug- oder vorrichtungstypische Parameter wie z. B. Temperatur oder Bearbeitungskraft usw. handelt, deren Kennlinien bereits im Vorfeld ermittelt wer­ den und dann zur Steuerung in die exakte Sollpositionen die­ nen können. In einer vorteilhaften Weiterbildung kann als Meßfühler das mindestens eine piezoelektrisches Element selbst vorgesehen sein.

Bei einer dynamischen Positionskorrektur der Arbeitsspindel während der Bearbeitung eines Werkstücks kann die Arbeits­ spindel durch das Stellelement nicht nur räumlich verstellt, sondern in dieser verstellten Position auch fortwährend ge­ halten werden. Es ist aber auch möglich, die Arbeitsspindel in ihrer durch das Stellelement räumlich verstellten Lage durch eine separate Halteeinrichtung zu halten. Bei dieser Halteeinrichtung kann es sich z. B. um Klemmelemente handeln, die sich möglichst elektrisch ansteuern lassen. Insbesondere können als Klemmelemente auch piezoelektrische Elemente ver­ wendet werden.

Weitere Vorteile der Erfindung ergeben sich aus der Be­ schreibung und der Zeichnung. Ebenso können die vorstehend genannten und die noch weiter aufgeführten Merkmale erfin­ dungsgemäß jeweils einzeln für sich oder zu mehreren in be­ liebigen Kombinationen Verwendung finden. Die gezeigten und beschriebenen Ausführungsformen sind nicht als abschließende Aufzählung zu verstehen, sondern haben vielmehr beispielhaf­ ten Charakter für die Schilderung der Erfindung. Die Erfin­ dung ist in den Figuren schematisch dargestellt, so daß die wesentlichen Merkmale der Erfindung gut zu erkennen ist. Die Darstellungen sind nicht notwendigerweise maßstäblich zu verstehen.

Es zeigt:

Fig. 1 eine erste Ausführungsform einer erfindungsgemäßen Werkzeugmaschine mit zwei vertikalen Bearbeitungs­ einheiten in perspektivischer Ansicht;

Fig. 2 ein Ausführungsbeispiel einer horizontalen Arbeits­ spindel einer erfindungsgemäßen Werkzeugmaschine, wobei die Arbeitsspindel in Z-Richtung verschiebbar gelagert ist;

Fig. 3 ein anderes Ausführungsbeispiel einer horizontalen Arbeitsspindel einer erfindungsgemäßen Werkzeugma­ schine, wobei die Arbeitsspindel radial zur Z-Rich­ tung verschiebbar gelagert ist; und

Fig. 4 eine zweite Ausführungsform einer erfindungsgemäßen Werkzeugmaschine in einer Seitenansicht.

Die in Fig. 1 gezeigte Werkzeugmaschine 1 umfaßt ein Maschi­ nenuntergestell in Form eines Bodenträgers 2 sowie zwei Be­ arbeitungseinheiten 3, deren vertikale Arbeitsspindeln 4 mittels einer Schlitteneinheit in X-, Y- und Z-Richtung ver­ schiebbar geführt sind.

Dazu umfaßt die Schlitteneinheit einen X-Schlitten 5, der in horizontalen Führungen 6 des Bodenträgers 2 in X-Richtung verschiebbar geführt ist. Am X-Schlitten 5 sind horizontale Führungen 7 für einen die beiden Bearbeitungseinheiten 3 tragenden Y-Schlitten 8 vorgesehen. Jede Bearbeitungseinheit 3 weist einen pinolenartigen Z-Schlitten (nicht dargestellt) mit der Arbeitsspindel 4 auf, so daß diese auch in Z-Rich­ tung verfahrbar ist.

Die beiden Bearbeitungseinheiten 3, die durch einen gemein­ samen Gehäuseblock 9 gebildet sind, sind in X-Richtung durch eine nach vorne offene Trennfuge 10 beabstandet, in der sich oben und unten jeweils ein in X-Richtung wirkendes piezo­ elektrisches Stellelemente 11 befindet. Durch entsprechende elektrische Ansteuerung der Stellelemente 11 kann die Trenn­ fuge 10 geweitet und so der Abstand ΔX zwischen beiden Ar­ beitsspindeln 4 bzw. zwischen den darin befindlichen Werk­ zeugen 12 geändert werden.

Die in Fig. 2 gezeigte Arbeitsspindel 20 ist von drei in Z-Richtung wirkenden piezoelektrischen Stellelemente 21 um­ geben, die in gleichen Winkelabständen um die Längsachse 22 der Arbeitsspindel 20 verteilt angeordnet sind. Die piezo­ elektrischen Stellelemente 21 sind einenends an dem Lager 23 der Arbeitsspindel 20 angebracht und anderenends an dem pi­ nolenartigen Z-Schlitten (nicht dargestellt) abgestützt. In­ dem alle drei piezoelektrischen Stellelemente 21 für die gleiche Längenänderung Δz elektrisch angesteuert werden, läßt sich die Arbeitsspindel 20 bzw. ihr Werkzeug 24 ent­ sprechend in Z-Richtung in ihrer Länge um den Betrag Δz ver­ stellen. Bei unterschiedlicher Längen-Ansteuerung der drei piezoelektrischen Stellelemente 21 läßt sich die Arbeits­ spindel 20 bzw. das Werkzeug 24 aus ihrer ursprünglichen mit 22 bezeichneten Lage heraus beliebig verkippen.

Um die in Fig. 3 gezeigte Arbeitsspindel 30 sind außen am Umfang ihres Lagers 31 vorne und hinten jeweils drei radial zur Längsrichtung 32 der Arbeitsspindel 30 wirkende piezo­ elektrische Stellelemente 33 angeordnet, die anderenends an einem Gehäuse (nicht dargestellt) abgestützt sind. Jedes La­ ger 31 ist durch seine drei, jeweils um 120 verteilt ange­ ordneten piezoelektrischen Stellelemente 32 in einer 3-Punkt-Lagerung 34 gehalten. Durch entsprechende elektri­ sche Längen-Ansteuerung aller piezoelektrischer Stellelemen­ te 33 der beiden 3-Punkt-Lagerung 34 läßt sich die Arbeits­ spindel 20 bzw. ihr Werkzeug 35 entweder aus der mit 32 be­ zeichneten Lage um einen Betrag Δr parallel verschieben oder aber verkippen. Durch die sphärische Verstellbarkeit können z. B. Taumelfehler der Arbeitsspindel 30 ausgeglichen werden.

Bei der in Fig. 4 gezeigten Werkzeugmaschine 40 sind zwi­ schen dem Bodenträger 41 und den Führungen 42 für die in Fig. 1 beschriebene Schlitteneinheit sowie einem Werkstück­ tisch 43 piezoelektrische Stellelemente 44 angeordnet, die in Y-Richtung wirken. Auf dem Werkstücktisch 43 befinden sich die mit dem Werkzeug 45 in der Arbeitsspindel 46 zu be­ arbeitenden Werkstücke.

Durch entsprechend schnelle Längenansteuerung ΔY der Stell­ elemente 44 läßt sich die Übertragung von Schwingungen des Bodenträgers 41 auf das Werkzeug dämpfen bzw. eliminieren. Je nach Position des Massenmittelpunkts des verfahrbaren Schlitteneinheit ändern sich die auf die Führung 42 wirken­ den Kräfte, die zu Geometrieabweichungen führen können. Mit den unter den Führungen 42 vorgesehenen Stellelementen 44 können z. B. Nachgiebigkeiten der Schlitteneinheit ausgegli­ chen und so die nicht konstante Steifigkeit der Schlitten­ einheit in Abhängigkeit ihrer jeweiligen Position kompen­ siert werden.

Bei einer Werkzeugmaschine (1) zur insbesondere spanenden Bearbeitung von Werkstücken, mit einer Bearbeitungseinheit (3) ist als Positionskorrektureinrichtung, insbesondere für eine Arbeitsspindel (4) der Bearbeitungseinheit (3), minde­ stens ein elektrisch angesteuertes piezoelektrisches Stell­ element (11) vorgesehen. Bei einer festgestellten Positions­ änderung kann die Bearbeitungseinheit schnell mechanisch in ihre jeweilige Sollposition bewegt werden.

Claims (12)

1. Werkzeugmaschine (1; 40) zur insbesondere spanenden Bearbeitung von Werkstücken, mit einer Bearbeitungs­ einheit (3) und/oder einem Werkstücktisch (43) und mit einer Positionskorrektureinrichtung für die Bearbei­ tungseinheit (3) bzw. den Werkstücktisch (3), dadurch gekennzeichnet, daß als Positionskorrektureinrichtung, insbesondere für eine Arbeitsspindel (4; 20; 30; 46) der Bearbei­ tungseinheit (3), mindestens ein elektrisch angesteu­ ertes piezoelektrisches Stellelement (11; 21; 33; 44) vorgesehen ist.

2. Werkzeugmaschine nach Anspruch 1, dadurch gekennzeich­ net, daß die Wirkrichtung des mindestens einen piezo­ elektrischen Stellelements (11; 21; 44) etwa in Rich­ tung eines linearen Freiheitgrades (X-, Y-, Z-Rich­ tung) der Bearbeitungseinheit (3) bzw. des Werkstück­ tisches (43) verläuft.

3. Werkzeugmaschine nach Anspruch 2, dadurch gekennzeich­ net, daß jedem linearen Freiheitsgrad (X-, Y-, Z-Rich­ tung) der Bearbeitungseinheit (3) bzw. des Werkstück­ tisches (43) jeweils mindestens ein piezoelektrisches Stellelement (11; 21; 44) zugeordnet ist.

4. Werkzeugmaschine nach einem der vorhergehenden Ansprü­ che, dadurch gekennzeichnet, daß die Wirkrichtung des mindestens einen piezoelektrischen Stellelements (33) etwa radial zu einem linearen Freiheitsgrad (X-, Y-, Z-Richtung) der Bearbeitungseinheit (3) bzw. des Werk­ stücktisches verläuft.

5. Werkzeugmaschine nach Anspruch 4, dadurch gekennzeich­ net, daß die Bearbeitungseinheit bzw. der Werkstück­ tisch über eine durch mindestens zwei, vorzugsweise mindestens drei piezoelektrische Stellelemente (33) gebildete Mehrpunkthalterung (34) räumlich verstellbar gelagert ist.

6. Werkzeugmaschine nach Anspruch 5, dadurch gekennzeich­ net, daß die Bearbeitungseinheit bzw. der Werkstück­ tisch über mindestens zwei in Richtung des linearen Freiheitsgrades (X-, Y-, z-Richtung) hintereinander angeordnete Mehrpunkthalterungen (34) räumlich ver­ stellbar gelagert ist.

7. Werkzeugmaschine nach einem der vorhergehenden Ansprü­ che, dadurch gekennzeichnet, daß das mindestens eine piezoelektrische Stellelement (44) an der einem linea­ ren Freiheitsgrad (X-, Y-, Z-Richtung) zugeordneten Führung (42) der Bearbeitungseinheit bzw. des Werk­ stücktisches (43) vorgesehen ist.

8. Werkzeugmaschine nach einem der vorhergehenden Ansprü­ che, dadurch gekennzeichnet, daß der Abstand zwischen zwei Bearbeitungseinheiten (3), insbesondere zwischen ihren Arbeitsspindeln (4), oder zwischen zwei Werk­ stücktischen der Werkzeugmaschine über das mindestens eine piezoelektrische Stellelement (11) veränderbar ist.

9. Werkzeugmaschine nach einem der vorhergehenden Ansprü­ che, gekennzeichnet durch mindestens ein die Bearbei­ tungseinheit bzw. den Werkstücktisch (43) höhenver­ stellbar lagerndes piezoelektrisches Stellelement (33; 44).

10. Werkzeugmaschine nach einem der vorhergehenden Ansprü­ che, gekennzeichnet durch einen Meßfühler, der eine Verlagerung der Bearbeitungseinheit (3) bzw. des Werk­ stücktisches (43) unmittelbar oder einen die Verlage­ rung bestimmenden Parameter als Fühlgröße für das An­ steuern des mindestens einen piezoelektrischen Stell­ elements (11; 21; 33; 44) erfaßt.

11. Werkzeugmaschine nach Anspruch 10, dadurch gekenn­ zeichnet, daß als Sensor das mindestens eine piezo­ elektrisches Stellelement (11; 21; 33; 44) selbst vor­ gesehen ist.

12. Werkzeugmaschine nach einem der vorhergehenden Ansprü­ che, dadurch gekennzeichnet, daß jedem piezoelektri­ schen Stellelement (11; 21; 33; 44) eine Halteeinrich­ tung zugeordnet ist, welche die Bearbeitungseinheit (3) bzw. den Werkstücktisch (43) jeweils in der durch das piezoelektrische Stellelement (11; 21; 33; 44) vorgegebenen Lage hält.