DE19859024A1 - Antriebsvorrichtung - Google Patents
AntriebsvorrichtungInfo
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- 230000036316 preload Effects 0.000 description 15
- 230000033001 locomotion Effects 0.000 description 12
- 238000011161 development Methods 0.000 description 5
- 230000018109 developmental process Effects 0.000 description 5
- 238000005452 bending Methods 0.000 description 3
- 239000000463 material Substances 0.000 description 3
- 230000001141 propulsive effect Effects 0.000 description 3
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 2
- 230000001771 impaired effect Effects 0.000 description 2
- 238000010276 construction Methods 0.000 description 1
- 230000008878 coupling Effects 0.000 description 1
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 description 1
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 description 1
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 1
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 1
- 238000009434 installation Methods 0.000 description 1
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000000737 periodic effect Effects 0.000 description 1
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- H—ELECTRICITY
- H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
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Abstract
Es wird eine Antriebsvorrichtung (1) mit einem vorgespannten Piezo-Element (2) vorgeschlagen, bei dem der Anpressdruck an das anzutreibende Teil (10) unabhängig von der Vorspannkraft einzustellen ist. Dies wird erfindungsgemäß dadurch erreicht, dass auf der zum anzutreibenden Teil (10) hinweisenden Seite des Piezo-Elementes (2) ein vom anzutreibenden Teil (10) verschiedenes Druckelement (4) vorhanden ist.
Description
Die Erfindung betrifft eine Antriebsvorrichtung nach dem
Oberbegriff des Anspruchs 1.
Als Antrieb für unterschiedlichste Zwecke werden mittlerweile
neben elektromotorischen Antriebsvorrichtungen auch Antriebe
unter Verwendung von Piezo-Elementen benutzt. Derartige
Antriebsvorrichtungen werden bei linearen Verstellungen,
beispielsweise als Schiebedachantrieb oder Einzugsvorrichtung
für Magnet- oder Chipkarten oder auch als rotatorische
Antriebe verwendet.
Bei solchen Antriebselementen werden Piezo-Kristalle
verwendet, die aufgrund ihrer inneren Struktur in der Lage
sind, nach entsprechender elektrischer Ansteuerung eine
Stößelbewegung, zum Beispiel eine kreisförmige Bewegung oder
elliptische Bewegung durchzuführen. Beim Anpressen solcher
Elemente gegen das anzutreibende Teil wird dieses
entsprechend bewegt.
Grundsätzlich ist mit Piezo-Elementen nur ein gewisser Anteil
der eingebrachten Energie in mechanische Energie umzusetzen.
Der hierfür relevante Verlustfaktor kann durch eine
mechanische Vorspannung des Piezo-Elements reduziert werden.
Mit zunehmender Vorspannung wird der Verlustfaktor kleiner.
Damit verbunden ist eine Verringerung der Erwärmung des
Piezo-Elements im Betrieb, wobei die maximale erzielbare
Auslenkung des Piezo-Elementes hiervon kaum beeinflußt wird.
Bisherige Antriebselemente der beschriebenen Art erzeugen
eine Vorspannung durch Anpressung des Piezo-Antriebselementes
an das anzutreibende Teil. Hierdurch wird zum einen die
Vorspannung des Antriebselementes und zum anderen die zur
Erzeugung des für die Mitnahme des anzutreibenden Teils
notwendige Reibung durch Anpressung des Antriebselementes an
das anzutreibende Teil erzielt. Nicht immer ist jedoch ein
hoher Anpressdruck an das anzutreibende Teil erwünscht. Falls
ein niedriger Anpressdruck gewählt wird, so ist bislang ein
entsprechend schlechter Verlustfaktor in Kauf zu nehmen.
Gegenüber einer Antriebsvorrichtung der beschriebenen Art hat
die Erfindung die Aufgabe, einen Antrieb vorzuschlagen, bei
dem auch bei niedrigem Anpressdruck des anzutreibende Teils
ein guter Verlustfaktor erreicht wird.
Diese Aufgabe wird ausgehend von einer Antriebsvorrichtung
der einleitend genannten Art durch die kennzeichnenden
Merkmale des Anspruchs 1 gelöst.
Durch die in den Unteransprüchen genannten Maßnahmen sind
vorteilhafte Ausführungen und Weiterbildungen der Erfindung
möglich.
Dementsprechend wird bei einer erfindungsgemäßen
Antriebsvorrichtung wenigstens auf der zum antreibenden Teil
hinweisenden Seite des Piezo-Elementes ein vom anzutreibenden
Teil verschiedenes Druckelement zum Vorspannen des Piezo-
Elements vorgesehen.
Der Hintergrund dieser Maßnahme ist die Entkopplung der
Funktion der Vorspannung des Piezo-Elementes und der
Anpressung des Antriebselementes an das anzutreibende Teil.
Hierdurch kann die Anpressung des Antriebselementes an das
anzutreibende Teil, die sich auch auf die maximale
Vortriebskraft bzw. die Geschwindigkeit der
Antriebsvorrichtung auswirkt, unabhängig von der Vorspannung
variiert werden, durch die der Verlustfaktor beeinflußt wird.
Zur Vorspannung des Piezo-Elementes wird bevorzugt auf der
dem ersten Druckelement gegenüberliegenden Seite des Piezo-
Elementes ein weiteres, zweites Druckelement vorgesehen, so
daß das Piezo-Element durch Zusammenziehen oder -drücken der
beiden Druckelemente vorgespannt wird. Hierzu wird wenigstens
ein Spannelement zum Verspannen der Druckelemente vorgesehen.
Die Druckelemente und Spannelemente müssen mit hohen
Vorspannkräften arbeiten, ohne daß die Bewegungsfähigkeit des
Piezo-Elementes, insbesondere quer zur Vorspannrichtung
nennenswert beeinträchtigt wird. In Biegerichtung soll das
Piezoelement seine volle Bewegungsfreiheit beibehalten.
Bei der momentan zur Verfügung stehenden Materialauswahl sind
daher metallische Elemente zur Erzielung der hohen
Vorspannkräfte von Vorteil, wobei grundsätzlich jede andere
Art von Material, das die erforderlichen mechanischen
Eigenschaften aufweist, verwendbar ist.
Das zweite, auf der der Antriebsseite gegenüberliegenden
Seite des Piezo-Elementes angeordnete Druckelement kann
beispielsweise durch die Lagerung gebildet werden. Das Piezo-
Element ist auf dieser Lagerung montiert und wird dann durch
das Druckelement und das Spannelement auf diese Lagerung
gepreßt, wobei die Lagerung den für das Vorspannen
erforderlichen Gegendruck aufbringt.
In einer anderen vorteilhaften Ausführungsform wird ein von
der Lagerung verschiedenes Druckelement verwendet. Hierdurch
wird die Lagerung der Antriebsvorrichtung unabhängig von der
Ausbildung der Vorspannung und muß dementsprechend auch die
hohen Vorspannkräfte nicht aufnehmen. Die Konstruktion der
Lagerung ist daher nicht mehr durch die Funktion als
Druckelement beeinträchtigt.
Bevorzugt werden ein oder mehrere Druckelemente als
Druckplatten ausgebildet, um einen flächigen Angriff der
Vorspannkraft auf dem Piezo-Element zu verwirklichen.
Weiterhin empfiehlt es sich, wenigstens ein Spannelement als
zwischen den Druckelementen wirkendes Zugelement auszubilden.
Ein derartiges Zugelement wirkt unmittelbar auf die beidseits
des Piezo-Elements angeordneten Druckelemente und ist daher
konstruktiv erheblich einfacher zu gestalten, als
beispielsweise ein Spannelement, das auf Druck arbeitet und
zusätzlich ein weiteres Gegenlager benötigt.
In einer Weiterbildung der Erfindung wird ein solches
Spannelement in einem entsprechenden Durchlaß des Piezo-
Elementes angeordnet. Diese Anordnung erlaubt zum einen eine
gleichmäßige Druckverteilung der Vorspannkraft durch
zentralen Angriff des Spannelements an den Druckelementen und
benötigt zum anderen keinen Platz außerhalb des Piezo-
Elementes.
In einer anderen Ausführungsart der Antriebsvorrichtung
werden die Druckelemente seitlich über das Piezo-Element
überstehend ausgebildet, so daß im Bereich dieses Überstandes
ein Spannelement zum Zusammenziehen der Druckelemente
angeordnet werden kann.
Eine weitere besondere Ausführungsform der Erfindung besteht
darin, zwei oder mehrere Piezo-Elemente mit einem oder
mehreren gemeinsamen Druckelementen zu versehen. So kann
beispielsweise eine gemeinsame Druckplatte sich über die
Antriebsseite mehrerer benachbart zueinander angeordneter
Piezo-Elemente erstrecken. In einer Weiterbildung dieser
Ausbildungsform kann das Spannelement zum Aufbringen der
Vorspannkraft zwischen zwei Piezo-Elementen angeordnet werden
und bei Verwendung eines Druckelementes für zwei oder mehrere
Piezo-Elemente die Vorspannkraft zugleich für eben diese
Vielzahl von Piezo-Elementen erzeugen.
Bevorzugt wird das Spannelement zum Aufbringen der
Vorspannkraft aus einem in Biegerichtung des Piezo-Elementes
flexiblen Material gefertigt.
Ein Ausführungsbeispiel der Erfindung ist in der Zeichnung
dargestellt und wird anhand der Figuren nachfolgend näher
erläutert.
Im einzelnen zeigen
Fig. 1 ein erstes Ausführungsbeispiel einer
erfindungsgemäßen Antriebsvorrichtung,
Fig. 2 eine Weiterbildung der
Antriebsvorrichtung gemäß Fig. 1,
Fig. 3 eine weitere Ausführungsform der
Erfindung,
Fig. 4 eine Weiterbildung der Ausführungsform
gemäß Fig. 3,
Fig. 5 ein weiteres Ausführungsbeispiel der
Erfindung und
Fig. 6 eine Weiterbildung der Ausführungsform
gemäß Fig. 5.
Die Antriebsvorrichtung 1 gemäß Fig. 1 umfaßt ein Piezo-
Element 2, das auf einem Lagerblock 3 aufgesetzt ist. Eine
Druckplatte 4 ist auf das Piezo-Element 2 aufgesetzt. Eine
Zugstange 5 ist mit einem Gewindeabschnitt 6 im Innengewinde
7 des Lagerblocks 3 verschraubt. Die Zugstange 5 durchsetzt
eine entsprechende Bohrung im Innern des Piezo-Elementes 2.
Eine Schraubenmutter 8 ist auf der gegenüberliegenden Seite
auf die Zugstange 5 aufgeschraubt und erzeugt über die
Druckplatte 4 die erforderliche Vorspannkraft. Weiterhin ist
ein Reibelement 9 vorgesehen, um die Vortriebskraft durch
Reibung auf ein anzutreibendes Teil 10 aufzubringen.
Durch die innere Struktur des Piezo-Elementes 2 kann mittels
Strombeaufschlagung an nicht näher dargestellten
Kontaktelementen das Piezo-Element 2 sowohl in eine
Hubbewegung in Richtung des Doppelpfeils V als auch in eine
Biegebewegung in Richtung des Doppelpfeils H im Bereich des
Reibelementes 9 versetzt werden. Durch Überlagerung beider
Bewegungen H, V mit entsprechender Phasenkopplung läßt sich
beispielsweise eine elliptische Bewegung des Reibelementes 9
erzeugen, wobei im Bereich des oberen Totpunkts das
Reibelements 9 auf das zu bewegende Teil 10 angepresst wird
und dieses in der Seitwärtsbewegung mitnimmt. Durch
Wiederholung dieser Bewegung steht ein linear Antrieb für das
zu bewegende Teil 10.
Die Geschwindigkeit dieses Linearantriebs hängt zum einen
natürlich von der Frequenz dieser periodischen Bewegung ab.
Zum anderen hängt die maximale Vortriebsgeschwindigkeit
jedoch auch von der Zeitdauer der Kontaktierung zwischen dem
Reibelement 9 und dem anzutreibenden Teil 10 ab. Im Bereich
des oberen Totpunkts bezüglich der Bewegungsrichtung V ist
die Vortriebsgeschwindigkeit in Querrichtung H am größten.
Bei geringer Anpresskraft des anzutreibenden Teils 10 auf das
Reibelement 9 ist der Winkelbereich dieser Kontaktphase um
den oberen Totpunkt kleiner als bei größerer Anpresskraft.
Somit ist die maximale Vortriebsgeschwindigkeit bei kleiner
Anpresskraft groß, die maximale Vortriebskraft jedoch
aufgrund der geringeren Reibung kleiner. Umgekehrt wird bei
größerer Anpresskraft die maximale Vortriebskraft größer,
wobei jedoch die maximale Vortriebsgeschwindigkeit reduziert
ist.
Diese Einstellung kann nunmehr aufgrund der vom Anpressdruck
des zu bewegenden Teils 10 auf das Reibelement 9 unabhängigen
Vorspannung des Piezo-Elementes 2 mit Hilfe der Druckplatte 4
und der Zugstange 5 nach Belieben eingestellte werden.
Unabhängig von der Einstellung der Anpresskraft kann die
Vorspannung möglichst hoch gewählt werden, um die
Energieverluste im Antriebssystem zu reduzieren.
Die Ausführungsform gemäß Fig. 2 entspricht im wesentlichen
dem vorgenannten Beispiel, wobei nun eine zweite Druckplatte
11 zwischen dem Lagerblock 3 und dem Piezo-Element 2
angeordnet ist. Dementsprechend ist die Zugstange 5 dieser
Ausführungsform zwischen die Druckplatten 4 und 11 gespannt.
In dieser Ausführungform dient der Lagerblock 2 nicht mehr
als Druckelement für das Piezo-Element 2. Zum einen ergibt
sich hierbei eine größere Freiheit in der konstruktiven
Ausgestaltung des Lagerblocks 3, da die aufzubringenden
Vorspannkräfte nicht mehr berücksichtigt werden müssen. Zum
anderen ist in diesem Fall die Antriebsvorrichtung 1
unabhängig vom Montageort 3 und kann als separate,
vorgespannte Einheit gehandhabt werden.
Die Ausführungsform gemäß Fig. 3 umfaßt eine Druckplatte 12,
die einen seitlichen Überstand 13, 14 über das Piezo-Element
2 aufweist. Zwei Zugstangen 15, 16 beidseits des Piezo-
Elementes 2 sorgen ähnlich wie im erstgenannten
Ausführungsbeispiel für eine Verspannung der Druckplatte 12
gegenüber dem Lagerblock 3, wobei sie in entsprechende
Innengewinde 17, 18 eingeschraubt sind. Zur Verspannung ist
wiederum jeweils eine Schraubenmutter 19, 20 vorgesehen.
In der Ausführungsform gemäß Fig. 4 ist eine zweite
Druckplatte 21 zwischen dem Lagerblock 3 und dem Piezo-
Kristall 2 angeordnet ist, die wiederum seitliche Überstände
22, 23 aufweist. Die Druckplatten 12, 21 werden über die
Zugstangen 15, 16 im Bereich der seitlichen Überstände 13,
14, 22, 23 verspannt. In dieser Ausführungsform findet die
Verspannung seitlich des Piezo-Elementes 2 ähnlich wie in dem
Ausführungsbeispiel gemäß Fig. 3 statt, wobei sich eine vom
Lagerblock 3 unabhängige Ausführungsvariante ähnlich dem
Ausführungsbeispiel gemäß Fig. 2 ergibt.
Im Ausführungsbeispiel gemäß Fig. 5 sind zwei Piezo-Elemente
24, 25 mit Hilfe einer Druckplatte 26 und einer Zugstange 27
am Lagerblock 3 verspannt. Die Zugstange 27 befindet sich
hierbei zwischen den Piezo-Elementen 24, 25 und ermöglicht
somit in Verbindung mit der Druckplatte 26 eine gleichmäßige
Druckverteilung auf beide Piezo-Elemente durch eine einzige
Zugstange 27. Die Vorspannung wird wiederum über eine auf die
Zugstange 27 aufgeschraubte Schraubenmutter 28 erzeugt.
Die Ausführungsform gemäß Fig. 6 weist gegenüber der
Antriebseinheit gemäß Fig. 5 eine zweite Druckplatte 29 auf,
so daß auch hier eine Anordnung mit mehreren Piezo-Elementen
24, 25 und nur einer Zugstange 27 unabhängig vom Lagerblock 3
zu verspannen und handzuhaben ist.
In den Ausführungsformen gemäß Fig. 5 und 6 sind beide
Piezo-Elemente 24, 25 mit Reibelementen 30, 31 versehen
wodurch die maximal auf das anzutreibende Teil 10
aufzubringende Vortriebskraft entsprechend vervielfacht ist.
1
Antriebsvorrichtung
2
Piezo-Element
3
Lagerblock
4
Druckplatte
5
Zugstange
6
Gewindeabschnitt
7
Innengewinde
8
Schraubenmutter
9
Reibelement
10
anzutreibendes Teil
11
zweite Druckplatte
12
Druckplatte
13
Überstand
14
Überstand
15
Zugstange
16
Zugstange
17
Innengewinde
18
Innengewinde
19
Schraubenmutter
20
Schraubenmutter
21
zweite Druckplatte
22
Überstand
23
Überstand
24
Piezo-Element
25
Piezo-Element
26
Druckplatte
27
Zugstange
28
Schraubenmutter
29
Druckplatte
30
Reibelement
31
Reibelement
Claims (11)
1. Antriebsvorrichtung mit einem Piezo-Element und einem
anzutreibenden Teil, wobei eine Vorspannung für das Piezo-
Element vorgesehen ist, dadurch gekennzeichnet, daß auf der
zum anzutreibenden Teil (10) hinweisenden Antriebsseite des
Piezo-Elementes (2) ein vom anzutreibenden Teil (10)
verschiedenes Druckelement (4) zur Vorspannung des Piezo-
Elements (2) vorgesehen ist.
2. Vorrichtung nach Anspruch 1 dadurch gekennzeichnet, daß
auf der dem ersten Druckelement (4) gegenüberliegenden Seite
des Piezo-Elementes (2) ein zweites Druckelement (3, 11)
angeordnet ist und wenigstens ein Spannelement (5) zum
Verspannen der Druckelemente (3, 4, 11) vorgesehen ist.
3. Vorrichtung nach einem der vorgenannten Ansprüche
dadurch gekennzeichnet, daß eine auf der dem ersten
Druckelement (4) gegenüberliegenden Seite des Piezo-Elementes
(2) angeordnete Lagerung (3) als zweites Vorspannelement
dient.
4. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 oder 2 dadurch
gekennzeichnet, daß das zweite Druckelement (11) von der
Lagerung (3) verschieden ist.
5. Vorrichtung nach einem der vorgenannten Ansprüche
dadurch gekennzeichnet, daß wenigstens ein Druckelement (4,
11) als Druckplatte ausgebildet ist.
6. Vorrichtung nach einem der vorgenannten Ansprüche
dadurch gekennzeichnet, daß wenigstens ein Spannelement (5)
als zwischen den Druckelementen (3, 4, 11) wirkendes
Zugelement ausgebildet ist.
7. Vorrichtung nach einem der vorgenannten Ansprüche
dadurch gekennzeichnet, daß wenigstens ein Spannelement (5)
das Piezo-Element (2) durchsetzt.
8. Vorrichtung nach einem der vorgenannten Ansprüche
dadurch gekennzeichnet, daß die Druckelemente (3, 12, 21)
seitlich über das Piezo-Element überstehen und wenigstens ein
Spannelement (15, 16) im Bereich des Überstandes (13, 14, 22,
23) vorgesehen ist.
9. Vorrichtung nach einem der vorgenannten Ansprüche
dadurch gekennzeichnet, daß zwei oder mehrere Piezo-Elemente
(24, 25) mit einem gemeinsamen Druckelement (26) versehen
sind.
10. Vorrichtung nach einem der vorgenannten Ansprüche
dadurch gekennzeichnet, daß wenigstens ein Spannelement (27)
zwischen zwei Piezo-Elementen (24, 25) angeordnet ist.
11. Vorrichtung nach einem der vorgenannten Ansprüche
dadurch gekennzeichnet, daß eine in Querrichtung H flexibles
Spannelement (5, 15, 16, 27) vorhanden ist.
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE1998159024 DE19859024A1 (de) | 1998-12-21 | 1998-12-21 | Antriebsvorrichtung |
JP11359337A JP2000201488A (ja) | 1998-12-21 | 1999-12-17 | 駆動装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE1998159024 DE19859024A1 (de) | 1998-12-21 | 1998-12-21 | Antriebsvorrichtung |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE19859024A1 true DE19859024A1 (de) | 2000-06-29 |
Family
ID=7891963
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE1998159024 Withdrawn DE19859024A1 (de) | 1998-12-21 | 1998-12-21 | Antriebsvorrichtung |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2000201488A (de) |
DE (1) | DE19859024A1 (de) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2004036727A2 (en) * | 2002-10-18 | 2004-04-29 | Canon Kabushiki Kaisha | Piezoelectric driving apparatus |
EP2208643A1 (de) * | 2009-01-16 | 2010-07-21 | Robert Bosch GmbH | Verstellvorrichtung |
EP2330647A1 (de) * | 2009-12-04 | 2011-06-08 | Robert Bosch GmbH | Vielschichtaktor |
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1998
- 1998-12-21 DE DE1998159024 patent/DE19859024A1/de not_active Withdrawn
-
1999
- 1999-12-17 JP JP11359337A patent/JP2000201488A/ja active Pending
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WO2004036727A3 (en) * | 2002-10-18 | 2004-10-28 | Canon Kk | Piezoelectric driving apparatus |
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Publication number | Publication date |
---|---|
JP2000201488A (ja) | 2000-07-18 |
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Legal Events
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---|---|---|---|
8120 | Willingness to grant licenses paragraph 23 | ||
8141 | Disposal/no request for examination |