DE19853757C2 - Meßvorrichtung für die Positionsbestimmung eines Maschinenteils - Google Patents

Description

Die Erfindung bezieht sich auf eine Meßvorrichtung für die Positionsbestimmung eines ersten Maschinenteils gegenüber einem zweiten Maschinenteil nach dem Oberbegriff des Anspruchs 1.

Traditionell werden zur Positionierung eines ersten Maschinen­ teils gegenüber einem zweiten Maschinenteil kreuzweise angeord­ nete und hintereinander geschaltete lineare Positioniereinrich­ tungen verwendet. Die serielle Anordnung der Positioniereinrich­ tungen weist jedoch den Nachteil auf, daß die direkt an dem zweiten Maschinenteil gelagerte Positioniereinrichtung nicht nur das erste Maschinenteil sondern auch noch die ihr nachgeschal­ teten Positioniereinrichtungen positionieren muß. Das heißt, die von dieser Positioniereinrichtung zu positionierende Masse ist erheblich größer als die entsprechende Masse bei der letzten Positioniereinrichtung der Reihe, die nur das erste Maschinen­ teil selbst positionieren muß. Hierdurch ergeben sich recht früh kinematische Grenzen für die Beschleunigung des zweiten Maschi­ nenteils gegenüber dem ersten Maschinenteil. Hohe Beschleunigun­ gen des ersten Maschinenteils gegenüber dem zweiten Maschinen­ teil sind jedoch für verschiedene mit einer Werkzeugmaschine durchzuführende Bearbeitungsverfahren evident und auch für die Erreichung kurzer Bearbeitungszeiten von grundsätzlicher Bedeutung.

Eine Vorrichtung für die Bearbeitung und/oder Montage von Werkstücken, die sich von dem Oberbegriff des Anspruchs 1 nur duch aktiv ansteuerbare Linearantriebe als Positionierelemente anstelle der Wegmeßelemente unterscheidet, ist aus der EP 0 812 652 A1 bekannt. Diese Positioniervorrichtung für die Positionie­ rung eines ersten Maschinenteils gegenüber einem zweiten Maschinenteil kann Linearmotoren als Positionierelemente aufweisen. Linearmotoren weisen bekannterweise ihrerseits eine steife Führung für den Läufer gegenüber dem Stator auf, um den inhärenten starken seitlichen Kräften zwischen diesen beiden Bauteilen entgegen zu wirken. Gemäß der EP 0 812 652 A1 ist das erste Maschinenteil über ein separat an dem zweiten Maschinen­ teil gelagertes Koppelgetriebe mit mindestens zwei Koppel­ gliedern zusätzlich zu den Linearantrieben mit dem zweiten Maschinenteil verbunden und gegenüber diesem geführt, um eine ebene Bewegung des ersten Maschinenteils zu erlauben und den Freiheitsgrad quer zur Bewegungsebene zu sperren.

Aus der nachveröffentlichten DE 197 43 149 A1 geht eine Werk­ zeugmaschine hervor, die sich von dem Oberbegriff des Anspruchs 1 ebenfalls nur durch aktiv ansteuerbare längenveränderliche Konstruktionen als Positionierelemente anstelle der Wegmeß­ elemente unterscheidet. Dabei ist vorgesehen, auf Führungs­ elemente zu verzichten, die an anderen Stellen als die längen­ veränderlichen Konstruktionen an dem zweiten Maschinenteil gelagert sind. Z. B. sind zwei Linearantriebe an ihrem zweiten Ende um zwei vertikale Schwenkachsen schwenkbar an dem zweiten Maschinenteil gelagert, während ihre ersten Enden mit dem ersten Maschinenteil verbunden sind, wobei das erste Maschinenteil "hängend" direkt von den Linearantrieben getragen wird. Durch beliebige Längenveränderung der beiden Linearantriebe kann der Spindelkopf nun jeden Punkt in der Verfahrebene des Arbeitsraums anfahren. Die an dem ersten und dem zweiten Maschinenteil gelagerten Linearantriebe, d. h. die längenveränderlichen Konstruktionen, können jeweils ein Hebelgetriebe umfassen. Jedes Hebelgetriebe kann wiederum einen Linearantrieb aufweisen, der zwischen seinen beiden Hebelarmen wirkt. Hier ist von Vorteil, daß ein sehr schnell wirkender, preiswerter und leichter Antrieb wie z. B. ein Elektrolinearantrieb eingesetzt werden kann.

Die bekannten Positioniervorrichtungen weisen eine Vielzahl von beweglich gelagerten Teilen auf. Die Präzision bei der Positio­ nierung mit den bekannten Positioniervorrichtungen hängt dabei von der Spielfreiheit und Steifigkeit sämtlicher Schwenklager ab. Hieraus resultieren hohe Fertigungskosten.

Eine Positioniervorrichtung für die aktive Positionierung eines ersten Maschinenteils gegenüber einem zweiten Maschinenteil kann grundsätzlich in eine Vorrichtung zur aktiven oder passiven Positionsbestimmung abgewandelt werden. In diesem Zusammenhang ist dann unter einer aktiven Positionsbestimmung eine Positions­ bestimmung mit automatisiertem Anfahren des jeweiligen Meßpunkts und unter einer passiven Positionsbestimmung eine Positions­ bestimmung zu verstehen, bei der das erste Maschinenteil per Hand an den jeweiligen Meßpunkt heranzuführen ist. Entsprechend weist eine Meßvorrichtung zur passiven Positionsbestimmung statt der Positionierelemente dann Wegmeßelemente auf, während eine Meßvorrichtung zur aktiven Positionsbestimmung sowohl Positionierelemente als auch Wegmeßelemente oder Positionier­ elemente besitzt, die auch als Wegmeßelemente dienen. Eine Meßvorrichtung zur aktiven Positionsbestimmung weist darüber­ hinaus noch einen Sensor auf, der detektiert, wann der jeweilige Meßpunkt mit Hilfe der Positionierelemente erreicht ist.

Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, eine Meßvorrichtung nach dem Oberbegriff des Anspruchs 1 aufzuzeigen, die mit wenig Bauteilen auskommen und die damit bei präziser Ausführung grundsätzlich kostengünstiger herstellbar sind als Vorrichtungen nach dem Stand der Technik.

Erfindungsgemäß wird diese Aufgabe durch eine Meßvorrichtung mit den Merkmalen des Anspruchs 1 gelöst. Vorteilhafte Ausgestaltung dieser Meßvorrichtung sind in den Unteransprüchen 2 bis 8 darge­ legt.

Bei der neuen Meßvorrichtung wird bewußt auf zusätzliche, d. h. extra zwischen den beiden Maschinenteilen angeordnete und dort separat gelagerte Führungselemente, verzichtet. Vielmehr wird die Führung durch eine spezielle Ausgestaltung der Wegmeß­ elemente selbst realisiert. Die Wegmeßelemente erhalten damit die zusätzliche Funktion der Führung des ersten Maschinenteils gegenüber dem zweiten Maschinenteil. Hierzu sind die Wegmeß­ elemente in einer solchen Weise an dem ersten Maschinenteil und dem zweiten Maschinenteil zu lagern bzw. zu befestigen, wie es zuvor bei den Führungsarmen der Fall war. Darüberhinaus müssen bestimmte Relativbewegungen der beiden Enden der Wegmeßelemente blockiert werden. Dabei handelt es sich um Bewegungen in Rich­ tungen, in denen bei einer reinen Wegmeßfunktion der Wegmeß­ elemente normalerweise keine äußeren Belastungen der Wegmeß­ elemente auftreten. Konkret geht es um eine Stabilisierung des ersten Maschinenteils gegenüber dem zweiten Maschinenteil bezüglich der Verfahrebene.

Bei der neuen Meßvorrichtung müssen die Wegmeßelemente minde­ stens die Stabilisierung des ersten Maschinenteils gegenüber dem zweiten Maschinenteil in zwei unabhängigen Richtungen bewirken. Dies ist bereits dreh zwei torsionssteife und nicht parallel zueinander verlaufende Wegmeßelemente, durch zwei senkrecht zur Verfahrebene gegenüber Verschwenkungen steife und nicht parallel zueinander verlaufende Wegmeßelemente, durch ein torsionssteifes und ein senkrecht zur Verfahrebene gegenüber Verschwenkungen steifes Wegmeßelement oder durch ein sowohl torsionssteifes als auch senkrecht zur Verfahrebene gegenüber Verschwenkungen steifes Wegmeßelement realisierbar. Sinnvoll sind zwei sowohl torsionssteife als auch senkrecht zur Verfahrebene gegenüber Verschwenkungen steife Wegmeßelemente, damit ein möglichst großer Verfahrbereich des ersten Maschinenteils gegenüber dem zweiten Maschinenteil bei voller Lagestabilität des ersten Maschinenteils ausnutzbar ist.

Die für die Führung des ersten Maschinenteils gegenüber dem zweiten Maschinenteil notwendige Stabilisierung der Relativ­ position der beiden Enden des mindestens einen für die Führung herangezogenen Wegmeßelements kann durch eine Kniegelenk­ anordnung von zwei Schwenkarmen erreicht werden. Die Schwenkarme werden dabei vorzugsweise in gemeinsamen Schwenklagern mit den Enden der Wegmeßelemente an den beiden Maschinenteilen gelagert.

Ganz ohne zusätzliche Führungselemente kommt man aus, wenn mindestens ein Wegmeßelement einen Linearmotor mit üblicher Führung zwischen Stator und Läufer aufweist. Überraschenderweise bedeutet das Weglassen der Führungsarme aber nur einen weniger aufwendigen Aufbau der Meßvorrichtung und keinen entscheidenden Verlust an Führungsstabilität des ersten Maschinenteils bezüglich der Verfahrebene.

Eine besonders gute Stabilität des ersten Maschinenteils bezüg­ lich der Verfahrebene wird erreicht, wenn beide Wegmeßelemente Linearmotoren mit der üblichen Führung zwischen Stator und Rotor aufweisen. Ein zweites Wegmeßelement kann aber auch kosten­ günstiger, beispielsweise als Gewindespindel ausgebildet werden. Bei zusätzlichen Führungselementen kann das erste Maschinenteil ebenfalls auf einer Gewindespindel aufbauen.

Die möglichst spielfreie und steife Definition der Schwenkachsen für die Enden der Wegmeßelemente wird durch mindestens zwei in Richtung der jeweiligen Schwenkachse beabstandete Teillager erleichtert. Es kann auch ein zusätzliches drittes Wegmeßelement zwischen dem ersten und dem zweiten Maschinenteil vorgesehen sein. Dieses Wegmeßelement kann dazu verwendet werden, eine Druck- oder Zugverspannung aller drei Wegmeßelemente hervor­ zurufen, die jedes Spiel bei der Positionsbestimmung in der Verfahrebene eliminiert.

Wenn das zweite Maschinenteil gegenüber einem dritten Maschinen­ teil um eine Kippachse verkippbar ist, die quer zu den Schwenk­ achsen der Wegmeßelemente verläuft, kann das erste Maschinenteil gegenüber diesem dritten Maschinenteil eine einstellbare Winkelposition einnehmen, die es über seine gesamte Verfahrebene beibehält. Eine dabei notwendige Höhenkorrektur, kann beispiels­ weise durch einen zusätzlichen Z-Trieb an dem ersten Maschinen­ teil realisiert werden.

Die Erfindung wird im folgenden anhand von Ausführungsbeispielen einer Positioniervorrichtung näher erläutert und beschrieben. Die neue Meßvorrichtung weist einen entsprechenden Aufbau auf, wobei dann die Positionierelemente als rein passive Wegmeß­ elemente oder als aktive Positionierelemente mit zusätzlicher Wegmeßfunktion ausgebildet sind. In den Zeichnungen zeigt

Fig. 1 eine perspektivische Ansicht der wesentlichen Teile einer ersten Ausführungsform der Positioniervorrich­ tung,

Fig. 2 eine Seitenansicht der Positioniervorrichtung gemäß Fig. 1,

Fig. 3 eine Draufsicht auf die Positioniervorrichtung gemäß den Fig. 1 und 2,

Fig. 4 eine Seitenansicht einer Weiterentwicklung der Positioniervorrichtung gemäß den Fig. 1 bis 3, wobei auch weitere Teile dargestellt sind, und

Fig. 5 eine perspektivische Ansicht einer anderen Ausführungsform der Positioniervorrichtung.

Die in den Fig. 1 bis 3 dargestellte Positioniervorrichtung 1 dient zum Positionieren eines ersten Maschinenteils 2 gegen­ über einem nur in Fig. 2 in Form von ortsfesten Lagerschalen 3 angedeuteten zweiten Maschinenteil. Dabei sind Positionier­ elemente 4 und 6 vorgesehen, die in Richtung von Doppelpfeilen 5 auf eine lineare Längenänderung hin ansteuerbar sind. Die Längenänderung der Positionierelemente 4 und 6 vollzieht sich zwischen ihren jeweiligen beiden Enden 9 und 10 bzw. 11 und 12. Das Ende 9 des Positionierelements 4 ist starr an dem ersten Maschinenteil 2 befestigt. Das Ende 11 des Positionierelements 6 ist um eine Schwenkachse 13 verschwenkbar an dem ersten Maschinenteil 2 gelagert. Die beiden anderen Enden 10 und 12 der Positionierelemente 4 und 6 sind um Schwenkachsen 7 und 8 an dem zweiten Maschinenteil verschwenkbar gelagert. Die Schwenkachsen 7, 8 und 13 verlaufen parallel zueinander und definieren die zu ihnen senkrecht verlaufende Verfahrebene 30 des ersten Maschi­ nenteils 2. Diese Verfahrebene 30 fällt mit der Zeichenebene gemäß Fig. 3 zusammen. Durch eine Ansteuerung der Positionier­ elemente 4 und 6 auf eine lineare Längenänderung ist innerhalb eines gewissen Bereichs jeder Ort mit dem ersten Maschinenteil 2 relativ zu dem zweiten Maschinenteil anfahrbar. An dem ersten Maschinenteil 2 ist eine Spindel 14 mit einem Werkzeughalter 15 gelagert, wobei die Spindel 14 relativ zu dem ersten Maschinen­ teil 2 in Richtung des Doppelpfeils 16 senkrecht zu dessen Verfahrebene 30 verfahrbar ist. Die Spindel 14 treibt den Werkzeughalter 15 zu einer Drehbewegung um eine Drehachse 17 an. Die Drehachse 17 verläuft senkrecht zur Verfahrebene des Maschinenteils 2. Um diese Orientierung zu konservieren, sind die Positionierelemente 4 und 6 mit ihren Enden 10 und 12 so an dem zweiten Maschinenteil gelagert, daß tatsächlich nur eine Verschwenkung um die Schwenkachsen 7 und 8 erfolgt, während jede andere Relativbewegung blockiert ist. Die anderen Enden 9 und 11 der Positionierelemente 4 und 6 sind starr bzw. wiederum unter Definition der einzigen Schwenkachse 13 an dem ersten Maschinen­ teil 2 gelagert. Gleichzeitig sind die beiden Enden 9 und 10 bzw. 11 und 12 jedes Positionierelements 4 bzw. 6 so gegeneinan­ der geführt, daß die Enden 9 und 11 gegenüber den Enden 10 und 12 weder eine translatorische Bewegung senkrecht zu der Verfahr­ ebene des Maschinenteils 2 noch eine rotatorische Bewegung um die Haupterstreckungsrichtung des jeweiligen Positionierelements 4 bzw. 6 ausführen können. Im Ergebnis ist die Lage des ersten Maschinenteils 2 gegenüber dem zweiten Maschinenteil durch die Positioniervorrichtung 1 vollständig definiert. Dabei werden nur drei Schwenklager benötigt, die allerdings zur besseren Definition der jeweiligen Schwenkachse 7, 8 bzw. 13 jeweils mindestens 2 in Richtung der jeweiligen Schwenkachse beanstan­ dete Teillager 18 aufweisen. Die zusätzlich erforderlichen Führungen zwischen den Enden 9 und 10 bzw. 11 und 12 der Positionierelemente 4 und 6 müssen bei der Ausführungsform gemäß den Fig. 1 und 3 nicht zusätzlich vorgesehen werden. Vielmehr handelt es sich bei den Positionierelementen 4 und 6 gemäß den Fig. 1 bis 3 um Linearmotoren 19, wobei die Enden 10 und 12 jeweils den Stator und die Enden 9 und 11 jeweils den Läufer ausbilden. Zwischen dem Stator und dem Läufer eines Linearmotors müssen allein zur Aufnahme der immer auftretenden seitlichen Abstoßungskräfte zwischen Stator und Läufer Führungen vorgesehen sein, die gleichzeitig die Führung des ersten Maschinenteils 2 in seiner definierten Verfahrebene gegenüber dem zweiten Maschinenteil bewirken können.

Die Positioniervorrichtung 1 ist aber nicht darauf angewiesen, daß die Positionierelemente 4 und 6 Linearmotoren sind. Denkbar sind alle linearen Aktuatoren, die gegebenenfalls mit einer zusätzlichen Führung versehen werden müssen. Beispielsweise könnte eine derartige Führung bei dem Positionierelement 6, wenn es nicht bereits durch seinen Aufbau als Linearmotor eine aus­ reichende Lagedefinition der beiden Enden 11 und 12 gegenein­ ander aufweisen würde, so aussehen, daß um die beiden Schwenk­ achsen 8 und 13 herum jeweils ein Schwenkarm an dem Ende 12 bzw. dem Ende 11 gelagert ist, wobei die beiden Schwenkarme um eine dritte parallele Schwenkachse verschwenkbar miteinander verbunden sind. Dieses Kniegelenk würde dann bei ausreichend spielfreier Ausbildung der Lager die gewünschte Führung des ersten Maschinenteils 2 gegenüber dem zweiten Maschinenteil erbringen. Allgemein ist festzustellen, daß von den beiden Positionierelementen 4 und 6 zwingend nur eines über die jetzt schon mehrfach angesprochenen Führungsqualitäten verfügen muß. Hierauf wird in Zusammenhang mit Fig. 5 noch einmal eingegangen werden.

Fig. 4 skizziert weitergehende Möglichkeiten der Einstellung der Lage des Werkzeughalters 15 der Spindel 14 gegenüber einem Werkstück 20. Das Werkstück 20 ist auf einem Tisch 21 angeord­ net. Der Tisch 21 ist in zwei orthogonalen Richtungen, d. h. in einer Ebene gegenüber einem Maschinenrahmen 22 verfahrbar, wie durch Richtungssymbole 23 bis 26 angedeutet ist. An dem Maschi­ nenrahmen 22 ist das zweite Maschinenteil 27 mit der Positio­ niervorrichtung 1 in Richtung eines Doppelpfeils 29 um eine horizontale Kippachse 28 verschwenkbar gelagert. Auf diese Weise ist eine Winkelstellung der Drehachse 17 der Spindel 14 gegenüber dem Werkstück 20 einstellbar. Das heißt, die in Fig. 4 angedeutete Verfahrebene 30 des ersten Maschinenteils 2 verläuft dann unter einem Winkel zu der horizontalen Oberfläche des Tisches 21. Hieraus ergeben sich Änderungen der Höhe des Werkzeughalters 15 über dem Tisch 21 bzw. gegenüber dem Werk­ stück 20, wenn sich der seitliche Abstand des Werkzeughalters 15 gegenüber der Kippachse 28 ändert. Diese Höhenänderungen können aber durch Verschieben der Spindel 14 gegenüber dem ersten Maschinenteil 2 in Richtung des Doppelpfeils 16 kompensiert werden.

In der Ausführungsform der Positioniervorrichtung 1 gemäß Fig. 5 ist das Positionierelement 6 im Unterschied zu den Fig. 1 bis 4 als Gewindespindel 31 ausgebildet, die durch eine drehan­ treibbare Mutter 32 angetrieben wird, welche verdrehbar an einem Widerlager 33 gelagert ist. Das Widerlager 33 ist wiederum um die Schwenkachse 8 gegenüber dem zweiten Maschinenteil verschwenkbar gelagert. Bei dieser Ausbildung ist das Positio­ nierelement 6 nicht steif gegenüber Torsionen zwischen seinen beiden Enden 11 und 12, wobei hier das Widerlager 33 als Ende 12 anzusehen ist. Auch gegenüber Bewegungen des Endes 11 senkrecht zu der Verfahrebenen des Maschinenteils 2 ist die Gewindespindel 31 bzw. sind ihre Drehlager nicht steif. Dennoch ist die Einhaltung der Verfahrebene und die senkrechte Orientierung der Drehachse 17 hierzu garantiert, weil bereits die Führungen des das Positionierelement 4 ausbildenden Linearmotors 19 und die Schwenklagerung des Positionierelements 4 um die Schwenkachse 7 die notwendigen Steifigkeiten aufweisen.

Mit einer zweiten, in Fig. 5 nicht dargestellten Gewindespindel mit antreibbarer Mutter und schwenkbar gelagerten Widerlager, die ebenfalls an dem ersten Maschinenteil 2 angreift, oder einem anderen zwischen dem ersten und dem zweiten Maschinenteil angeordneten dritten Positionierelement könnten alle Positio­ nierelemente insbesondere auf Zug gegeneinander verspannt werden, um jedes Spiel bei der Positioniervorrichtung 1 zu beseitigen. In diesem Fall wäre es auch möglich, auf die starre Anbindung des Endes 9 des Positionierelements 4 an das erste Maschinenteil 2 zu verzichten. Statt dessen könnte hier eine weiteres Schwenklager mit definierter Schwenkachse senkrecht zu der Verfahrebene ausgebildet werden. Allerdings bedeutet jedes zusätzliche Schwenklager zusätzlichen baulichen Aufwand.

BEZUGSZEICHENLISTE

1

- Wegmeß- bzw. Positioniervorrichtung

2

- erstes Maschinenteil

3

- Lagerschale (zweites Maschinenteil)

4

- Wegmeß- bzw. Positionierelement

5

- Doppelpfeil

6

- Wegmeß- bzw. Positionierelement

7

- Schwenkachse

8

- Schwenkachse

9

- erstes Ende

10

- zweites Ende

11

- erstes Ende

12

- zweites Ende

13

- Schwenkachse

14

- Spindel

15

- Werkzeughalter

16

- Doppelpfeil

17

- Drehachse

18

- Teillager

19

- Linearmotor

20

- Werkstück

21

- Tisch

22

- Maschinenrahmen (drittes Maschinenteil)

23

- Pfeil

24

- Richtungssymbol

25

- Richtungssymbol

26

- Pfeil

27

- zweites Maschinenteil

28

- Kippachse

29

- Doppelpfeil

30

- Verfahrebene

31

- Gewindespindel

32

- Mutter

33

- Widerlager

Claims (8)

1. Meßvorrichtung für die Positionsbestimmung eines ersten Maschinenteils gegenüber einem zweiten Maschinenteil, wobei zwei Wegmeßelemente mit ihrem jeweils ersten Ende an dem ersten Maschinenteil angreifen und mit ihrem jeweils zweiten Ende an beabstandeten Orten an dem zweiten Maschinenteil schwenkbar gelagert sind, wobei die Wegmeßelemente jeweils eine lineare Abstandsänderung zwischen ihrem ersten und ihrem zweiten Ende registrieren, und wobei eine Führung für das Führen des ersten Maschinenteils gegenüber dem zweiten Maschinenteil in einer Verfahrebene vorgesehen ist, dadurch gekennzeichnet, daß die Führung ohne an anderen Orten an dem zweiten Maschinenteil (3, 27) schwenkbar gelagerte Führungselemente ausgebildet ist, indem bei mindestens einem Wegmeßelement (4, 6)

• - das zweite Ende (10, 12) nur um eine definierte, senkrecht zu der Verfahrebene verlaufende Schwenkachse (7, 8) gegenüber dem zweiten Maschinenteil (3, 27) verschwenkbar ist,
• - das erste Ende (9, 11) starr an dem ersten Maschinenteil (2) befestigt oder nur um eine weitere definierte, senkrecht zu der Verfahrebene (30) verlaufende Schwenkachse (13) gegenüber dem ersten Maschinenteil (2) verschwenkbar ist und
• - zumindest eine Verschwenkung des ersten Endes (9, 11) gegenüber dem zweiten Ende (10, 12) um eine in der Verfahrebene (30) und quer zu der Richtung der Abstandsänderung der beiden Enden (9 und 10, 11 und 12) verlaufende Achse blockiert ist, wobei das Wegmeßelement (4, 6) biegesteif ausgebildet ist, oder
  eine Verdrehung des ersten Endes (9, 11) gegenüber dem zweiten Ende (10, 12) um eine in Richtung der Abstandsänderung der beiden Enden (9 und 10, 11 und 12) verlaufende Achse blockiert ist, wobei das Wegmeßelement (4, 6) torsionssteif ausgebildet ist.

2. Meßvorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß mindestens zwei der Wegmeßelemente auch als Positionierelemente (4, 6) ausgebildet sind, die jeweils auf eine lineare Abstands­ änderung zwischen ihrem ersten Ende (9, 11) und ihrem zweiten Ende (10, 12) ansteuerbar sind.

3. Meßvorrichtung nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß mindestens ein Positionierelement (4, 6) einen Linearmotor (19) mit üblicher Führung zwischen Stator und Läufer aufweist.

4. Meßvorrichtung nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß beide Positionierelemente (4, 6) Linearmotoren (19) mit der üblichen Führung zwischen Stator und Läufer aufweisen.

5. Meßvorrichtung nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß ein erstes Positionierelement (4, 6) einen Linearmotor (19) mit üblicher Führung zwischen Stator und Läufer und ein zweites Positionierelement (6) eine Gewindespindel (31) aufweist.

6. Meßvorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, daß die mindestens eine Schwenkachse (7, 8, 13) durch ein Schwenklager verwirklicht ist, das mindestens zwei in Richtung der jeweiligen Schwenkachse (7, 8, 13) beabstandete Teillager (18) aufweist.

7. Meßvorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 6, dadurch gekennzeichnet, daß ein drittes Wegmeßelement zwischen dem ersten Maschinenteil (2) und dem zweiten Maschinenteil (3, 27) vorgesehen ist.

8. Meßvorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 7, dadurch gekennzeichnet, daß das zweite Maschinenteil (3, 27) gegenüber einem dritten Maschinenteil (22) um eine Kippachse (28) verkipp­ bar ist, die quer zu den Schwenkachsen (7, 8, 13) der Wegmeß­ elemente (4, 6) verläuft.