DE19832185A1 - Vorrichtung und Verfahren zur Behandlung von Oberflächen - Google Patents
Vorrichtung und Verfahren zur Behandlung von OberflächenInfo
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Abstract
Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung zur Behandlung von Oberflächen mit einer Laserstrahlquelle und Mitteln für die Übertragung des Laserlichts zu einem der Ausrichtung des Laserlichts auf die Oberfläche dienenden Bearbeitungskopf, wobei für den Bearbeitungskopf Mittel zur Einkopplung des Laserlichts, Mittel zur Kollination des Laserlichts, sowie optionale Aufnahmeeinrichtungen zum Auftragsschweißen und Reinigen mit Laserlicht vorgesehen sind. Bevorzugtes Anwendungsgebiet ist die Behandlung von Werkzeugen für den Spritz- und Druckguß sowie für Vulkanisierungsprozesse, bei denen die Oberfläche sowohl gereinigt als auch repariert werden muß.
Description
Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung und ein Verfahren zur Behandlung von Oberflä
chen, insbesondere von Oberflächen von Bauteilen, mittels Laserstrahlung nach den
Oberbegriffen der Ansprüche 1 und 10, wie sie aus der WO 94/21418 bekannt sind.
Bevorzugtes Anwendungsgebiet ist die Behandlung von Werkzeugen für den Spritz- und
Druckguß sowie für Vulkanisationsprozesse, bei denen die Oberfläche sowohl
gereinigt als auch repariert werden muß.
Werkzeuge, insbesondere Formwerkzeuge für den Spritz- und Druckguß, müssen in
regelmäßigen Abständen von den Resten des Spritzgutes gereinigt werden, da sich
auf der Formoberfläche nach und nach ein störender Belag bildet. Die Beläge
bestehen dabei aus dem Spritzgut selbst, oder aus dessen kondensierten
Ausgasungen. Zur Reinigung werden die meist beheizten Werkzeuge abgekühlt,
ausgebaut und nach erfolgter Reinigung erneut aufgeheizt, was zu erheblichen
Maschinenstillstandzeiten und Produktionsausfällen führt. Ein weiterer Problemkreis
im Werkzeugbau sind fehlerhafte Fertigungen bzw. Maßungenauigkeiten. Diese
können bereits bei der Herstellung auftreten und müssen dann nachträglich korrigiert
werden. Kommt es durch das Spritzgut zum Verschleiß von Werkzeugteilen so
müssen von Zeit zu Zeit deren Oberflächen zu repariert werden um
Qualitätseinbußen bei den Spritzgußteilen zu vermeiden. Wünschenswert kann es
ferner sein, den Verschleiß besonders beanspruchter Bereiche durch das Auftragen
einer verschleißbeständigen Schicht zu reduzieren.
In der WO 94/21418 wird ein System zur Reinigung von Formwerkzeugen offenbart,
bei welchem Laserlicht auf die zu reinigende Formoberfläche gerichtet wird, um die
anhaftenden Beläge durch einen Verdampfungsprozeß abzutragen, und bei welchem
die Formwerkzeuge ohne einen zeitaufwendigen Ausbau gereinigt werden können.
Die WO 94/21418 enthält jedoch keine Angaben über die verwendete
Bearbeitungsoptik, aus welchem das Laserlicht austritt. Die konkrete Ausführung
dieses Bearbeitungskopfes ist allerdings wichtig bei der Lösung des Problems, wie
die Rekondensation des ablatierten Materials auf benachbarten Flächen vermieden
werden kann. Eine effiziente Entfernung des abgetragenen Materials aus
dem Bearbeitungsbereich ist jedoch Voraussetzung für eine vollständige Reinigung
der Oberflächen. Ein weiterer Nachteil der WO 94/21418 besteht darin, daß mit die
sem System die Oberflächen lediglich gereinigt, aber nicht durch Beschichten
repariert werden können.
In der EP 0 742 089 A2 werden ein Verfahren und eine Vorrichtung zur Reinigung
von Vulkanisationsformen offenbart, bei denen die Rückstände der
Vulkanisationsprozesse durch Beaufschlagung mit Laserlicht gereinigt werden, ohne
daß es eines Ausbaus der Formen bedarf. Nachteilig bei dieser Lösung ist das große,
aus einer Spiegeloptik mit mehreren Einzelspiegeln bestehende
Strahlführungssystem, welches unflexibel bzgl. der zu reinigenden Bauteile ist, und
mit welcher insbesondere kleinere Formen nur schwer zu reinigen sind. Die
Spiegeloptik und auch der Bearbeitungskopf verursachen hohe Kosten und erlauben
nur in sehr eingeschränktem Maße einen Handbetrieb. Zusätzlich ist es nachteilig,
daß auch mit dieser Lösung eine Reparatur der Oberflächen durch Beschichten nicht
möglich ist.
Die Reparatur von Oberflächen bei den oben genannten Beispielfällen kann
grundsätzlich durch Auftragsschweißen bzw. Laserstrahlbeschichten erfolgen, einer
allgemein bekannten Arbeitstechnik. Hierzu werden meist draht- und seltener
pulverförmige Zusatzwerkstoffe in das vom Laser aufgeschmolzene
Werkstoffvolumen zugeführt. Als Zusatzwerkstoffe werden Eisen-, Nickel-, Kobalt-, Kup
ferlegierungen, Leichtmetalle und verschiedene Hartstoffe verwendet. Beim
Auftragschweißen werden CO2- und Nd:YAG-Laser im gepulsten oder
kontinuierlichen Betrieb eingesetzt. Zunehmend finden auch Diodenlaser
Verwendung. Die Reparatur von Formen oder Werkzeugen wird industriell
vorwiegend an Handarbeitsplätzen durchgeführt. Diese bestehen meist aus einem
der o.g. Laser, einer Lichtleitfaser, welche die Laserstrahlung zur Bearbeitungsoptik
führt, und einer Bearbeitungsoptik mit Mikroskop. Die Zufuhr des Zusatzwerkstoffes
erfolgt entweder manuell oder automatisiert über eine geeignete Zufuhreinrichtung.
Zur Zeit wird fast ausschließlich Draht als Zusatzwerkstoff verwendet. Bei drahtförmi
gen Zusatzwerkstoffen können jedoch häufig nur weiche Werkstoffe eingesetzt wer
den, welche zudem exakt mit dem Laserstrahl geführt werden müssen. Allgemein
sind für den Handbetrieb keine Zufuhrsysteme für pulverförmige Zusatzwerkstoffe bei
Laserleistungen größer 100 W bekannt. Zwar wird in der Zeitschrift "Laser und
Optoelektronik", Sonderdruck Ausgabe Juni Heft 3/97 von Laserstrahlbeschichten mit
einer Laserleistung von 1200 W unter Verwendung pulverförmigem
Schweißzusatzwerkstoffs berichtet, die zitierte Druckschrift macht jedoch keine
Ausführungen über die Ausgestaltung des verwendeten Bearbeitungskopfs.
Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, eine Vorrichtung und ein Verfahren zur
Reinigung von Oberflächen von Formwerkzeugen zu schaffen, die die oben ge
nannten Nachteile vermeiden, und welche auch zum Reparieren der Oberflächen
geeignet sind.
Die Lösung der vorrichtungsgemäßen Aufgabe erfolgt durch die im Anspruch 1 gege
benen Merkmale. Vorteilhafte Ausgestaltungen dieser Vorrichtung werden in den Un
teransprüchen 2-9 angegeben. Die Lösung der verfahrensmäßigen Aufgabe erfolgt
durch die im Anspruch 10 gegebenen Merkmale, wobei die Unteransprüche 11-13
vorteilhafte Ausgestaltungen enthalten.
Erfindungsgemäß wurde erkannt, daß sich die oben genannten Nachteile der
bekannten Reinigungs- und Auftragschweißvorrichtungen durch einen kompakten
Bearbeitungskopf in modularer Bauweise vermeiden lassen. Der Bearbeitungskopf ist
dabei derart modular aufgebaut, so daß neben der Reinigung der Oberflächen durch
Beaufschlagung mit Laserlicht auch ein Auftragsschweißen der Oberfläche möglich
ist. Die erfindungsgemäße Vorrichtung besteht aus einer Laserstrahlquelle,
vorteilhafterweise einer mobilen Laserstrahlquelle, Mitteln für die Übertragung des
Laserlichts zum Bearbeitungskopf, sowie dem modular konzipierten Bearbeitungskopf
selbst. Dies ist in Fig. 1 graphisch dargestellt. Die Modularität des
Bearbeitungskopfes äußert sich darin, daß für den Bearbeitungskopf optionale
Aufnahmevorrichtungen (6, 8, 9, 10, 11) vorgesehen sind die zum Beispiel ein
Auftragsschweißen mit Laserlicht ermöglichen.
Wegen der geringen Abmessungen des Bearbeitungskopfes ist sowohl ein
automatischer Betrieb, z. B. mittels CNC-Maschinen, als auch ein Handbetrieb
möglich. Bei automatischer Bedienung erschließen sich Anwendungsbereiche mit
immer wiederkehrenden Werkstückgeometrien. Des weiteren lassen sich Werkzeuge
bei ungünstigen Arbeitsbedingungen wie hohen Temperaturen der Werkzeuge oder
beengte Platzverhältnisse, mit diesen Maschinen automatisiert reinigen.
Als Strahlquellen werden vorteilhafterweise Laser eingesetzt, deren Strahlung mit
Lichtleitfasern geführt werden kann, wie z. B. Nd:YAG- oder Diodenlaser. Es ist dabei
vorteilhaft, den Laser sowie die Versorgungseinheiten inklusive Pulver- oder
Drahtfördersystem auf einer mobilen Plattform bzw. einem Gestell zu montieren. Der
Laser und die Lichtleitfaser werden dann zu den verschiedenen Arbeitsstationen
geführt, wo ein Reinigungs- und/oder Reparaturprozeß durchgeführt werden soll. Das
optische System als Zwischenglied zwischen Laser und Bearbeitungskopf kann ein
Lichtleitkabel sein.
Der Bearbeitungskopf, in welchen das Laserlicht zum Beispiel über einen
Lichtleitkabelstecker eingekoppelt wird, besteht in seiner einfachsten Form aus einem
Optikgehäuse mit einer Kollimationslinse, welches das aus dem Lichtleitkabel
divergent austretende Laserlicht kollimiert, vgl. Fig. 2. Vorteilhafterweise kann das
Optikgehäuse eine variable Anzahl optischer Linsen und/oder Spiegeln zur Erzielung
unterschiedlicher Strahlformungen beherbergen. Der kollimierte Laserstrahl erlaubt
einen großen Arbeitsbereich A, da sich die Strahldichteverteilung im propagierenden
Strahl nur geringfügig ändert. Bei einem typischen Arbeitsabstand L von 5-20 cm
(gemessen von der Austrittsöffnung des Laserstrahls) ist die Leistungsdichte im
Bereich einiger Zentimeter vor und hinter der Arbeitsebene E nahezu konstant,
wodurch das handgeführte Bearbeiten realisierbar ist. Typische Strahldurchmesser
liegen im Bereich einiger Millimeter. Andere Optikkonfigurationen können zum
Beispiel aus zwei, drei- oder mehrlinsigen Systemen bestehen, welche eine
Strahlkaustik erzeugen. Insbesondere kleine und tiefere Oberflächenstrukturen wie
zum Beispiel Löcher, Nuten und Stege können so bearbeitet werden. Nicht direkt mit
Laserlicht beaufschlagbare Oberflächenbereiche können dadurch gereinigt werden,
daß das Laserlicht durch andere Oberflächenbereiche reflektiert wird, so daß die
Laserstrahlung an die nicht direkt zugänglichen Bereiche gelangt.
Für leistungsstarke Laser kann modular eine Kühlvorrichtung, zum Beispiel eine
Wasserkühlung, vorgesehen sein, die einen Einsatz von Lasern mit Leistungen bis in
den Kilowattbereich ermöglicht. Zum Auftragsschweißen bzw. Laserstrahlbeschichten
wird an den Bearbeitungskopf eine Zufuhreinrichtung für Schweißzusatzwerkstoffe
angebaut. Die Wahl der Schweißmittelzufuhr, welche seitlich, aber auch koaxial
erfolgen kann, hängt dabei von der Zugänglichkeit der zu behandelnden Oberfläche
ab. Die Koaxialzufuhr, bei der der Schweißzusatzwerkstoff koaxial zum Laserstrahl
geführt wird, erlaubt eine richtungsunabhängige Beschichtung. Bei dieser Art der
Zufuhr ist der Einsatz pulverförmiger Zusatzwerkstoffe möglich. Für die Drahtzufuhr
ist lediglich eine seitliche Zufuhr möglich.
Um eine gleichbleibende Bearbeitungsqualität zu erzielen ist es notwendig, den Ar
beitsabstand L von der Optik zur Werkstückoberfläche in einem gewissen
Toleranzbereich konstant zu halten. Um dies bei handgeführtem Betrieb zu
realisieren, kann der Bearbeitungskopf zusätzlich mit einem Abstandssensor wie zum
Beispiel einem Triangulationssensor ausgestattet werden, der kontinuierlich den
Abstand von der Optik zur Werkstückoberfläche mißt. Wird der vorgegebene
Toleranzbereich für den Abstand überschritten, so gibt eine Elektronik ein
entsprechendes Signal, zum Beispiel ein akustisches Signal, ab, und der Bediener
kann den Abstand korrigieren.
Des weiteren ist es möglich, den Bearbeitungskopf mit einer Vorrichtung zum Absau
gen von Gasen und Partikeln beim Reinigen auszustatten, wobei die Absaugung
bevorzugt lokal im Bearbeitungsbereich erfolgt. Die Absaugvorrichtung kann sowohl
in Form einer Rohrdüse als auch konzentrisch zur Schutzgaszuführung ausgeführt
sein. Über einen flexiblen Schlauch kann dann das abgesaugte Gas mit
Verunreinigungen einer kommerziellen Hochvakuum-Absauganlage mit integrierten
Filtern angeschlossen werden. Zusätzlich kann eine globale Absaugung wie zum
Beispiel bei einer Einhausung des Arbeitsbereichs oder eine gezielte Belüftung zur
Minimierung der Schadstoffbelastung am Arbeitsplatz eingesetzt werden.
Vorteilhafterweise verfügt der Bearbeitungskopf über eine Zufuhrvorrichtung für
Schutzgas wie z. B. Preßluft, Stickstoff, Argon oder Helium. Der Einsatz eines
Schutzgases hilft zum einen bei der Vermeidung von Oxidationen, andererseits wird
abgetragenes Material effektiver aus der Wechselwirkungszone entfernt, wodurch
jeweils die Bearbeitungsqualität gesteigert wird.
Zum Schutz von Bediener und Umgebung vor reflektierter Strahlung kann neben der
obligatorischen Schutzkleidung ein transparenter, auf die Optik aufsteckbarer Schutz
schirm eingesetzt werden.
Ohne Einschränkung des allgemeinen Erfindungsgedankens sollen die erfindungsge
mäße Vorrichtung und das erfindungsgemäße Verfahren an Ausführungsbeispielen
erläutert werden.
Fig. 2 zeigt den Bearbeitungskopf in einer einfachen Form. Das Laserlicht wird vom
Lichtleitkabel (1) mittels eines Lichtleitkabelsteckers (2) in den Bearbeitungskopf ein
gekoppelt. Der Kollimation des divergent aus dem Lichtleitkabelstecker austretenden
Laserlichts dient die Kollimationslinse (3). Die modulare Bauweise äußert sich hierbei
in dem Optikgehäuse (4), welches eine variable Anzahl und Anordnung von Linsen
(5) zur Erzielung unterschiedlicher Strahlformungen zuläßt. Die Linsen werden in Fig.
2 schematisch durch Abstufungen dargestellt. Je nach Brennweite der Linsen können
unterschiedliche Strahldurchmesser D und damit Strahlintensitäten erreicht werden,
um zum Beispiel den unterschiedlichen Verdampfungstemperaturen der
Oberflächenbeläge Rechnung tragen zu können. Modular ist eine Wasserkühlung (6)
vorgesehen, die den Einsatz von Hochleistungslasern bis in den Kilowattbereich
ermöglicht. Zum Schutz der Optik vor abgetragenem Material ist ein Schutzglas (7)
montiert. Der Arbeitsbereich A beträgt bei diesem Ausführungsbeispiel ca. ±10 cm.
Zum Auftragsschweißen bzw. Laserstrahlbeschichten wird an den Bearbeitungskopf
eine Zufuhreinrichtung für Schweißzusatzwerkstoffe wie Pulver oder Draht angebaut.
Fig. 3 zeigt ein Beispiel für die Zufuhr von pulverförmigem Zusatzwerkstoff. Das Pul
ver wird von einem geeignetem Pulvergeber über Zufuhrleitungen (8) zur Zufuhrdüse
(9) transportiert. Mit der abgebildeten Düse wird eine koaxiale Zufuhr des Pulvers
realisiert. Gleichzeitig ist modular eine Zuführung von Schutzgas (10) unter
Verwendung einer Schutzgasdüse (11) vorgesehen. Der Arbeitsabstand L beträgt
hier ca. 8-10 cm.
Zur Reinigung von Vulkanisationswerkzeugen wird der in Fig. 2 dargestellte
Bearbeitungskopf eingesetzt. Strahlquelle ist ein gepulst betriebener Nd:YAG-Laser,
dessen Licht über eine Lichtleitfaser mit einem Durchmesser von 600 µm in den
wassergekühlten Bearbeitungskopf eingekoppelt wird. Mit einer Kollimationslinse der
Brennweite f = 25 mm wird die Laserstrahlung parallelisiert. Bei einem Abstand von
L = 27 cm vom Bearbeitungskopf wird ein Strahldurchmesser D von ca. 7 mm erreicht.
Zur Reinigung werden Pulse von 0,3 ms Dauer und einer Pulsenergie von 2 J
eingesetzt. Durch die Variation der Pulsfrequenz im Bereich von 1 Hz bis 330 Hz
kann die Laserleistung von 2 W bis ca. 660 Watt eingestellt werden. Mit
zunehmender Frequenz kann eine höhere Bearbeitungsgeschwindigkeit realisiert
werden, wobei auch die Wärmebelastung für den Grundwerkstoff steigt. Gute
Ergebnisse wurden bei einer Pulsfolgefrequenz von 90 Hz bei einer mittleren
Laserleistung von ca. 180 W erzielt. Die pulsbezogene Leistungsdichte beträgt dann
ca. 1,7.104 W/cm2 bei einer Energiedichte von ca. 5 J/cm2. Die
Bearbeitungsgeschwindigkeit hängt stark von der Dicke der Verunreinigungsschicht
ab. Bei 1-2 mm dicken Schichten aus Vulkanisationsrückständen wurde eine
Flächenrate von ca. 2,5 cm2/min erzielt. Bei dünneren Schichten erfolgte eine deutlich
schnellere Abtragung. Die abgetragenen Partikel und Gase wurden unter
Zuhilfenahme einer mitgeführten Preßluftdüse sowie einer lokalen Absaugung
entfernt. Die Abluft wurde mittels einer Partikel- sowie eines Aktivkohlefilters
gereinigt.
Das in Fig. 3 dargestellte Ausführungsbeispiel für den Bearbeitungskopf kann
vorteilhaft beim Reparatur-Beschichten von Spritzgußwerkzeugen eingesetzt werden.
Unter Einsatz einer seitlichen Düse für die Pulverzufuhr wurde unter Einsatz der
Vorrichtung nach Fig. 4 auf einem Stahlsubstrat eine flächige Beschichtung aus
mehreren Einzelspuren aufgebracht. Zur Führung des Bearbeitungskopfes wurde ein
CNC-gesteuertes Handhabungssystem eingesetzt. Bei einem Strahldurchmesser von
D = 2 mm wurden Pulse von 3,3 ms Länge bei einer Pulsenergie von ca. 5 J
verwendet. Bei einer Pulswiederholfrequenz von 80 Hz betrug die mittlere Leistung
385 W bei einem Tastverhältnis von 26%. Mit einer pulsbezogenen Leistungsdichte
von etwa 4,8.104 W/cm2 erfolgte eine Beschichtung mit einer Geschwindigkeit von
300 mm/min. Bei einer Fe-Basis Legierung konnte mit diesen Parametern eine
Schichtdicke von 0,3 mm erreicht werden. Dieses Ergebnis wurde durch einen
einzigen Beschichtungsvorgang erzielt, d. h. der Bearbeitungskopf wurde nur einmal
über die verschiedenen Oberflächenbereiche geführt.
1
Lichtleitkabel
2
Lichtleitkabelstecker
3
Kollimationslinse
4
Optikgehäuse
5
Anordnung von Linsen und/oder Spiegeln
6
Wasserkühlung
7
Schutzglas
8
Zufuhrleitung für pulverförmigen Schweißzusatzwerkstoff
9
Zufuhrdüse für pulverförmigen Schweißzusatzwerkstoff
10
Schutzgas
11
Schutzgasdüse
12
Laserstrahlquelle
A Arbeitsbereich
D Strahldurchmesser
E Arbeitsebene
L Arbeitsabstand
A Arbeitsbereich
D Strahldurchmesser
E Arbeitsebene
L Arbeitsabstand
Claims (13)
1. Vorrichtung zur Behandlung von Oberflächen, mit einer Laserstrahlquelle (12) und
Mitteln (1) für die Übertragung des Laserlichts zu einem der Ausrichtung des
Laserlichts auf die Oberfläche dienenden Bearbeitungskopf, dadurch
gekennzeichnet, daß für den Bearbeitungskopf Mittel (2) zur Einkopplung des
Laserlichts, Mittel (3) zur Kollimation des Laserlichts, sowie optionale
Aufnahmeeinrichtungen (6, 8, 9,10,11) zum Auftragschweißen und Reinigen mit
Laserlicht vorgesehen sind.
2. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die
Laserstrahlquelle portabel ist.
3. Vorrichtung nach einem oder mehreren der Ansprüche 1-2, dadurch
gekennzeichnet, daß eine Aufnahmeeinrichtung eine Kühlvorrichtung (6) ist.
4. Vorrichtung nach einem oder mehreren der Ansprüche 1-3, dadurch
gekennzeichnet, daß in dem Bearbeitungskopf eine variable Anzahl optischer
Linsen und/oder Spiegeln (5) vorgesehen ist.
5. Vorrichtung nach einem oder mehreren der Ansprüche 1-4, dadurch
gekennzeichnet, daß eine Aufnahmeeinrichtung eine Zufuhreinrichtung für
Schweißzusatzwerkstoff (8, 9) ist.
6. Vorrichtung nach einem oder mehreren der Ansprüche 1-5, dadurch
gekennzeichnet, daß eine Aufnahmeeinrichtung eine Vorrichtung für die Zufuhr
von Schutzgas (10, 11) ist.
7. Vorrichtung nach einem oder mehreren der Ansprüche 1-6, dadurch
gekennzeichnet, daß eine Aufnahmeeinrichtung eine Vorrichtung zur Absaugung
von Gasen und Partikeln ist.
8. Vorrichtung nach einem oder mehreren der Ansprüche 1-7, dadurch
gekennzeichnet, daß dem Bearbeitungskopf eine Vorrichtung zum Schutz vor
reflektierter Laserstrahlung zugeordnet ist.
9. Vorrichtung nach einem oder mehreren der Ansprüche 1-8, dadurch
gekennzeichnet, daß dem Bearbeitungskopf ein den Abstand von
Bearbeitungskopf zur Werkstückoberfläche messenden Abstandssensor
zugeordnet ist.
10. Verfahren zur Behandlung von Oberflächen mit Hilfe der Vorrichtung nach einem
oder mehreren der Ansprüche 1-9, dadurch gekennzeichnet, daß die
Oberfläche gereinigt wird.
11. Verfahren zur Behandlung von Oberflächen mit Hilfe der Vorrichtung nach einem
oder mehreren der Ansprüche 1-10, dadurch gekennzeichnet, daß mittels des
Laserlichts eine Schicht auf die Oberfläche aufgebracht wird.
12. Verfahren nach einem der Ansprüche 10-11, dadurch gekennzeichnet, daß die
Oberflächenbehandlung manuell erfolgt.
13. Verfahren nach einem der Ansprüche 10-11, dadurch gekennzeichnet, daß die
Oberflächenbehandlung automatisiert erfolgt.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE19832185A DE19832185A1 (de) | 1998-07-17 | 1998-07-17 | Vorrichtung und Verfahren zur Behandlung von Oberflächen |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE19832185A DE19832185A1 (de) | 1998-07-17 | 1998-07-17 | Vorrichtung und Verfahren zur Behandlung von Oberflächen |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE19832185A1 true DE19832185A1 (de) | 2000-01-27 |
Family
ID=7874408
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE19832185A Ceased DE19832185A1 (de) | 1998-07-17 | 1998-07-17 | Vorrichtung und Verfahren zur Behandlung von Oberflächen |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
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- 1998-07-17 DE DE19832185A patent/DE19832185A1/de not_active Ceased
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Legal Events
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