DE19825092A1

DE19825092A1 - Lasersystem zur Erzeugung eines fokussierten Laserstrahls mit variablem Fokusdurchmesser

Info

Publication number: DE19825092A1
Application number: DE1998125092
Authority: DE
Inventors: Thomas Renner
Original assignee: Carl Baasel Lasertechnik GmbH and Co KG
Current assignee: Carl Baasel Lasertechnik GmbH and Co KG
Priority date: 1998-06-05
Filing date: 1998-06-05
Publication date: 1999-12-16
Anticipated expiration: 2018-06-06
Also published as: DE19825092C2

Description

Die Erfindung betrifft ein Lasersystem zur Erzeugung eines fokussierten Laserstrahls mit variablem Fokusdurchmesser gemäß dem Oberbegriff von Patentanspruch 1. Bevorzugtes Anwendungsge biet der vorliegenden Erfindung ist das Schweißen von Werkstü cken mit Laserstrahlung. Die Erfindung ist jedoch allgemein bei der Bearbeitung von Werkstücken mit Laserstrahlung, wie z. B. auch beim Schneiden oder Bohren, einsetzbar.

Bei der Verwendung von Laserstrahlung zur Bearbeitung von Werkstücken wird auf der Bearbeitungsstelle ein Laserfokus erzeugt, dessen Durchmesser typischerweise unter einem Millime ter liegt. Um optimale Bearbeitungsergebnisse zu erzielen, ist es wichtig, den Durchmesser des Laserfokus entsprechend der jeweiligen Bearbeitungsaufgabe einstellen zu können.

Zusätzlich treten besondere Probleme bei der Übertragung der Laserstrahlung mittels Lichtwellenleitern auf (Fig. 1). Man unterscheidet unter anderem zwischen sogenannten Stufenindex- und Gradientenindexfasern. Die Stufenindexfasern haben die optische Eigenschaft, daß die Größe des Strahldurchmessers an der Faseraustrittsseite unabhängig von dem Durchmesser an der Eintrittsseite ist und genau dem Durchmesser der Faser ent spricht. Allerdings wird der Öffnungswinkel des Strahlkegels im Regelfall nur annähernd konserviert. Eine Änderung des Öffnungs winkels ergibt sich beispielsweise beim für Festkörperlaser typischen Erstpulsverhalten (erster Puls hat im Regelfall eine bessere Strahlqualität als die nachfolgenden). Dadurch ergibt sich für eine häufig verwendete Abbildungsoptik der in Fig. 1 skizzierte Strahlenverlauf (durchgezogener Strahlenverlauf: z. B. Erstpuls; gestrichelter Strahlverlauf: z. B. Dauerpuls). Deutlich ist zu sehen, daß der Strahldurchmesser nur in der Abbildungsebe nene der Faser (Fokusebene) konstant bleibt. Dies ist ein Grund, weshalb der Materialbearbeitungsprozeß vorzugsweise in Fokusebe ne des Laserstrahls stattfinden sollte. Ein weiterer Grund ist der, daß sich in der Fokusebene auf Grund der gekrümmten Strahl kaustik der Strahldurchmesser bei Fehlpositionierung in Strahl richtung (z) relativ am geringsten ändert und somit am wenigsten fehlpositionierempfindlich ist. Zudem sind die meisten Material bearbeiungsprozesse Vorgänge, die in die Tiefe des Materials ein dringen und somit einen relativ tiefenunabhängigen Strahldurch messer erfordern.

Ein konkretes Anwendungsbeispiel für das Erfordernis eines variabel einstellbaren Fokusdurchmessers sind Maschinen zur Herstellung von Schmuckketten. Je nach zu bearbeitender Draht stärke (in der Regel zwischen 0,2 und 0,8 mm) ist ein entspre chend gleich großer Schweißpunktdurchmesser gewünscht.

Aus dem Stand der Technik sind bereits vier verschiedene Metho den bekannt, den Laserfokusdurchmesser zu variieren. Die ein fachste Methode ist, die Bearbeitungsebene aus der Fokusebene heraus zu bewegen, wie dies in Fig. 1, Ebene 1, dargestellt ist. Nachteilig hierbei ist, daß nicht mehr im Fokus gearbeitet wird, was die Präzision beeinträchtigt. Außerdem wirken sich dann Fehlpositionierungen wegen der gekrümmten Strahlkaustik empfind licher als in der Fokusebene aus. Alternativ dazu ist die Verwendung von austauschbaren Fokussieroptiken mit verschiedenen Brennweiten möglich, um verschiedene Spotdurchmesser zu erzeu gen. Allerdings ist diese Methode Zeit- und kostenaufwendig, da immer ein geeignetes Sortiment an Fokussieroptiken bereitgehal ten werden muß und für den jeweiligen Anwendungszweck ein Austausch der Fokussieroptik durchgeführt werden muß. Eine weitere Möglichkeit sieht die reine Divergenzverstellung vor, bei der in den Strahlengang zwischen den beiden Linsen in Fig. 1 eine oder mehrere weitere Linsen eingebracht und die Position einer Linse variabel einstellbar gewählt wird. Dadurch kann der Fokus des Laserstrahls verändert und bei festem Arbeitsabstand von der letzten Fokussierlinse der Spotdurchmesser variabel eingestellt werden. Diese Methode wird vor allem bei sogenannten Handschweißarbeitsplätzen eingesetzt, bei denen der Spotdurch messer relativ schnell und einfach verändert werden muß. Aller dings arbeitet man bei dieser Methode bis auf die Einstellung des kleinsten Durchmessers ebenfalls nicht im Fokus.

Eine bessere Möglichkeit zur Erzeugung eines Laserfokus mit variablem Fokusdurchmesser bietet die Verwendung eines sogenann ten afokalen Teleskops, welches sich dadurch auszeichnet, daß es paralleles Eingangslicht in paralleles Ausgangslicht mit variab lem Durchmesser transformiert. Dadurch ändert sich auch die Größe des Durchmessers des Laserfokus in der Arbeitsebene und der Laserfokus bleibt im wesentlichen in der Arbeitsebene positioniert (EP 0 723 834 A1, US 4,353,617). Derartige afokale Teleskope bestehen typischerweise aus mindestens drei, im Regel fall jedoch aus vier Linsen, wobei immer zwei Linsen bewegt werden müssen (Arbeiten mit Tabelle notwendig). Ein wesentlicher Nachteil ist weiterhin, daß die in das Teleskop eintretende Laserstrahlung zunächst fokussiert wird, so daß das nachfolgende optische Element mit einer höheren Leistungsdichte beaufschlagt wird. In der Praxis liegt dann häufig der Fokus innerhalb eines optischen Elements, wie dies beispielsweise in der US 4,353,617 dargestellt ist. Die optischen Elemente können jedoch nur bis zur einer bestimmten Leistungsdichte beansprucht werden, so daß ein afokales Teleskop gerade für hohe Laserpulsleistungen nicht geeignet ist. Da die Baugröße des afokalen Teleskops in der Regel verhältnismäßig groß ist und zudem noch eine Fokussierlin se verwendet werden muß, ergibt sich insgesamt ein vergleichswei se großes optisches System zur Erzeugung eines Laserfokus mit variablem Fokusdurchmesser.

Demgegenüber liegt der Erfindung die Aufgabe zugrunde, ein Lasersystem anzugeben, welches bei einem vergleichsweise einfa chen Aufbau auch bei hohen Laserpulsleistungen gestattet, einen Laserfokus mit variablem Fokusdurchmesser zu erzeugen.

Die Lösung dieser Aufgabe folgt durch ein Lasersystem mit den Merkmalen von Patentanspruch 1. Vorteilhafte Ausgestaltungen und Weiterentwicklungen finden sich in den Unteransprüchen 2 bis 11.

Ein wesentlicher Vorteil der vorliegenden Erfindung liegt darin, daß durch die Verwendung eines ersten negativen und eines zweiten positiven optischen Elementes die Fokussierung von Laserstrahlung in eines der optischen Elemente, wie beim afoka len Teleskop, vermieden wird. Daher kann das erfindungsgemäße Lasersystem auch beim Arbeiten mit hohen Laserpulsleistungen problemlos verwendet werden. Das Einspiegeln eines Beobach tungs- und/oder Überwachungsstrahlenganges in die parallele Laserstrahlung hat darüberhinaus den Vorteil, daß das Beobach tungsfeld stets ein konstantes Vielfaches des Laserfokusdurch messers ist. Zudem bietet das Einspiegeln des Beobachtungsstrah lenganges erhebliche Vorteile bei der Positionierung der Fokus ebene. Da nämlich zwei parallele Strahlen überlagert werden, sagt das zugrundeliegende Prinzip: Sieht der Beobachter das Werkstück scharf, so hat auch der Laserstrahlengang auf dem Werkstück seinen Fokus. Demnach kann nach dem Strahlteiler jegliche Optik angebracht bzw. verschoben werden, ohne daß sich obiges Prinzip verändert. Bei einem kleinen Fokusdurchmesser sieht der Beobachter ein kleines Arbeitsfeld, das der Beobachter jedoch vergrössert sieht. Mit zunehmenden Durchmesser des Laser fokusdurchmessers reduziert sich auch die optische Vergrös serung des vom Beobachter zu sehenden Bearbeitungsfeldes. Insge samt kommt das vorliegende Lasersystem im Vergleich zu afokalen Teleskopsystemen mit weniger Linsen aus und ist damit insgesamt preiswerter herzustellen.

Ein weiterer wesentlicher Abgrenzungspunkt gegenüber dem afoka len Teleskop besteht darin, daß beim afokalen Teleskop Aufweitung und Fokussierlinse entkoppelt sind. Da der parallele Beobach tungsstrahlengang nach dem afokalen Teleskop eingespiegelt wird, muß die Abbildungsqualität des optischen Vergrößerungssystems so ausgelegt sein, daß der vergrößerte Laserstrahl für alle Einstel lungen ebenfalls hinreichend parallel ist. Bei der Erfindung ge mäß Anspruch 1 müssen Vergrößerungssystem und Fokussierlinse nicht entkoppelt betrachtet werden. Dies hat zur Folge, daß Lin senfehler aus dem Vergrößerungssystem durch die anschließende Fo kussierlinse kompensiert werden können. In Folge dessen kann die Zahl der insgesamt benötigten Linsen reduziert werden.

Um nicht das gesamte Lasersystem oder das zu bearbeitende Werk stück verschieben zu müssen, sehen die Unteransprüche 3 und 5 ein Nachstellen der Fokussieroptik vor, damit der Laserfokus stets in der Bearbeitungsebene liegt. Am elagantesten ist hier bei die Lösung gemäß dem Unteranspruch 5, bei dem die Konkav linse fest positioniert ist und zwei Konvexlinsen durch ein nichtlineares Schneckengewinde gekoppelt verschiebbar gelagert sind, so daß nur noch eine Drehbewegung zum Verschieben der Konvexlinsen und zur Variation von deren Abstand untereinander erforderlich ist.

Nachfolgend wird die Erfindung anhand von Ausführungsbeispielen und unter Bezugnahme auf die Fig. 1 bis 5 näher erläutert werden. Es zeigen:

Fig. 1 Typischer Strahlenverlauf eines Schweißkopfes mit Licht wellenleiter zur Materialbearbeitung gemäß dem Stand der Technik (schematisch),

Fig. 2 Prinzipdarstellung einer ersten Ausführungsform des er findungsgemäßen Lasersystems mit variablem Fokusdruchmes ser,

Fig. 3 Prinzipdarstellung einer zweiten Ausführungsform des er findungsgemäßen Lasersystems mit variablem Fokusdurchmes ser,

Fig. 4 Gesamtdarstellung des erfindungsgemäßen Lasersystems ge mäß der ersten Ausführungsform,

Fig. 5 Geometrischer Strahlengang von exemplarischem Lasersystem gemäß der ersten Ausführungsform.

Fig. 1 zeigt eine häufig verwendete Abbildungsoptik zur Übertra gung der von einer nicht dargestellten Laserstrahlquelle erzeug ten Laserstrahlung und zu deren Fokussierung auf ein Werkstück 1. Das Austrittsende des Lichtwellenleiters 2 wird im Brennpunkt einer ersten Kollimationslinse 3 positioniert, wodurch nach der Linse 3 ein paralleler Strahlengang vorliegt. Zur Fokussierung dient eine weitere Kollimationslinse 4, in deren Brennebene das Werkstücks 1 positioniert ist. Der durchgezogene Strahl ent spricht einer geringen Einkoppeldivergenz, während der ge strichelte Strahl eine hohe Einkoppeldivergenz aufweist. Der Strahldurchmesser ist nur in der Abbildungsebene des Lichtwel lenleiters 2, also der Fokusebene, konstant. Außerhalb dieses Bereiches, beispielsweise in der Ebene 5, wird mit einem größe ren Strahldurchmesser gearbeitet, allerdings nicht mehr im Fokus. Die damit verbundenen Nachteile sind bei der Erörterung des Standes der Technik angegeben.

Eine erste Ausführungsform des erfindungsgemäßen Lasersystems sieht gemäß Fig. 2 vor, in den parallelen Laserstrahlengang, im vorliegenden Fall also nach der ersten Kollimationslinse 3, einen teilreflektierenden Spiegel 6 anzubringen, mit dem ein Beobachtungsstrahlengang eingespiegelt werden kann, der eben falls auf unendlich eingestellt ist. Da somit zwei parallele Strahlengänge überlagert sind, hat der Laserstrahlengang auf dem Werkstück 1 seinen Fokus, wenn auch der Beobachter das Werkstück 1 scharf sieht. Im Prinzip kann nun nach dem Strahlteiler jeg liche Optik angebracht bzw. verschoben werden, ohne daß sich das zuvorgenannte Prinzip ändert. Nachfolgend wird in den Strahlen gang eine Konkavlinse 7 und davon beabstandet eine Kollimations linse 4 eingebracht. Durch Variation des Abstandes d zwischen der Konkavlinse 7 und der Konvexlinse 4 läßt sich der Durchmes ser des Fokus variieren. Damit die Fokusebene in der Werkstück ebene liegen bleibt, muß das System aus Konkavlinse 7 und Konvexlinse 4 entsprechend in Z-Richtung verschoben werden. Um störende Linsenfehler zu vermeiden, besteht das Element 4 in der Praxis häufig aus zwei konvexen Einzellinsen.

Eine zweite Ausführungsform (fig. 3) unterscheidet sich von derjenigen gemäß Fig. 2 dadurch, daß die Konkavlinse 7 fest positioniert bleibt, und stattdessen zwei Konvexlinsen 8 und 9 vorgesehen sind, die relativ zueinander und gegenüber der fixierten Konkavlinse 7 verschiebbar sind. Hierfür sind die beiden Konvexlinsen 8 und 9 über ein nichtlineares Schneckenge winde gekoppelt, so daß nur noch eine Drehbewegung erforderlich ist, um einerseits den Durchmesser des Laserfokus zu verändern und gleichzeitig die Fokusebene 1 beizubehalten.

In den Ausführungsbeispielen, wie sie in den Fig. 2 und 3 dargestellt sind, ist der teilreflektiernde Spiegel 6 hochre flektierend für den Beobachtungsstrahlengang ausgelegt, während er für die Laserstrahlung transmittierend ausgelegt ist. Selbst verständlich kann dies auch in der umgekehrten Weise folgen, wie es z. B. in Fig. 4 der Fall ist.

Fig. 4 zeigt exemplarisch einen Laserschweißkopf 10, in die die Laserstrahlung über einen Lichtwellenleiter 2 und eine Faserbu chse 11 eingekoppelt wird. Bei der hier nicht dargestellten Laserstralquelle kann es sich beispielsweise um einen Festkör perlaser vom Typ Nd : YAG-Festkörperlaser mit einer Wellenlänge von 1064 nm handeln. Der Laserstrahl mit einem Öffnungswinkel von 2 × 12,5° wird nach der Faser durch eine konvexe Linse 3 mit einer Brennweite f = 54 mm kollimiert. Der kollimierte Strahl besitzt nun einen Durchmesser von 24 mm und wird von dem teilre flektierendem Umlenkspiegel 6, der für die Laserwellenlänge (1064 nm) hochreflektierend und die Beobachtungswellenlänge (870 nm für CCD Kamera, 400-700 nm für visuelle Beobachtung) trans mittierend ist, umgelenkt. Anschließend durchläuft der parallele Laserstrahl zunächst die Konkavlinse 7 und wird von der Konvex linse 4 auf das Werkstück 1 fokussiert. Ein Schutzglas 12 ver hindert, daß das Innere des Laserschweißkopfes bei der Material bearbeitung verschmutzt wird. Die Beobachtung kann über eine CCD-Kamera, ein Binokular oder ein Monokular 13 erfolgen. Im vorliegenden Beispiel besitzt der Laserstrahl hinter dem Schutzglas einen Durchmesser von 44 mm. Der Arbeitsabstand bewegt sich im vorliegenden Beispiel im Bereich von 60-120 mm von der letzten Konvexlinse 4 und der Durchmesser des Laserfokus kann zwischen 0,3 mm und 0,8 mm variabel eingestellt werden. Zur Justage des Laserschweißkopfes wird zunächst der gewünschte Schweißpunktdurchmesser (Laserfokusdurchmesser) auf einer Skala an der Konkavlinse 7 durch Verschieben dieser Linse eingestellt. Anschließend erfolgt eine X-Y-Positionierung des Schweißpunktes über das Monokular 13 mit integriertem Fadenkreuz. Um den Schweißpunkt (Laserfokus) in die Werkstückebene 1 zu bringen, wird die gesamte Fokussieroptik aus Konkavlinse 7 und Konvexlin se 4 in Z-Richtung verschoben und das Werkstück 1 durch das Mono kular beobachtet. Sieht der Beobachter das Werkstück scharf, liegt dort auch der Laserfokus mit dem zuvor eingestellten Fokus durchmesser. Es wird also stets im Fokus des Laserstrahls gear beitet und die Anforderungen an die Toleranzen der Divergenzver stellung (Verschiebung der Konkavlinse 7) sind relativ gering. Es versteht sich von selbst, daß anstelle der Nachführung der Fokussieroptik auch der gesamte Schweißkopf oder das Werkstück bewegt werden kann, wenn auch aus praktischen Gründen die Ver schiebung der Fokussieroptik zu bevorzugen ist. Die Beein trächtigung der visuellen Beobachtung durch chromatische Linsen fehler kann reduziert werden, wenn ein geeignetes Interferenzfil ter (z. B. 550 nm) in dem Beobachtungsstrahlengang plaziert wird. Bei einem großen Abstand zwischen der Konkavlinse 7 und der Kon vexlinse 4 ergibt sich ein kleiner Fokusdurchmesser, was vorteil haft ist bei niedrigen Laserleistungen, und eine kleine Brennwei te, so daß der Arbeitsabstand relativ gering ist und andererseits die Vergrößerung des Arbeitsfeldes relativ groß ist. Demgegenüber wird bei einem kleinen Abstand der Linsen 7 und 4 ein großer Fo kusdurchmesser (vorteilhaft bei hoher Laserleistung/Pulsenergie) erzielt und eine große Brennweite liegt vor, so daß der Arbeits abstand automatisch größer ist, was zu einer Schonung des Schutz glases beträgt.

Wird die Beobachtung des Werkstückes weggelassen und stattdessen ein Pilotlaser mit dem eigentlichen Laserstrahl in die Faser eingekoppelt, sind nach der eigentlichen Aufkollimation durch die Linse 3 ebenfalls zwei kollineare Strahlen übergelagert. Mit Hilfe einer Z-Achsenverstellung der beiden letzten Linsen gilt ebenfalls das Prinzip: ist der Pilotlaser scharf, so hat auch der Materialbearbeitungslaser seinen Fokus auf dem Werkstück. Bei Lasern mit einer von der Pumpintensität unabhängigen Strahl divergenz kann prinzipiell immer der Laserstrahlengang mit dem Beobachtungsstrahlengang überlagert werden. Dadurch gewinnt das oben erwähnte Prinzip auch ohne Faser Gültigkeit.

Unter Bezugnahme auf Fig. 5 soll für das erfindungsgemäße Laser system eine konkrete Rechnung durchgeführt werden und zwar unter der idealisierenden Annahme, daß sich das Faserende nach den Ge setzen der geometrischen Optik abbildet. Dann ergibt sich für die Brennweite b sowie den Fokusdurchmesser B in Abhängigkeit des Linsenabstandes d:

G₂/G₁ = f₂/f₁ ⇒ G₂ = G₁ f₂/f₁
1/f₃ = 1/(d + f₂) + 1/b ⇒ b(d) = f₃.(d + f₂)/(d + f₂-f₃)
B/G₂ = b/(d + f₂) ⇒ B(d,G₁) = G₁.f₂.f₃/(d + f₂-f₃).f₁

Der maximale Abstand d_max zwischen den letzten beiden Linsen und somit der klein ste Fokusdurchmesser B_min, ergibt sich aus dem zur Verfügung stehenden Durch messer der Kollimationslinse D₃.

D₁ = D₂ = 2.f₁.tan α ⇒ D₃/D₂ = (d_max + f₂)/f₂
D₃ = 2.tan α f₁.(d_max + f₂)/f₂ ⇒ d_max = f₂ [D₃/(2.f₁ tan α)-1]
B_min(d = d_max) = G₁.f₂.f₃/{f₂[D₃/(2.f₁ tan α)-1] + f₂-f₃}.f1
B_max(d = d_min) = G₁.f₂.f₃/[(d_min + f₂-f₃).f₁]

Dabei ist d_min durch konstruktive Randbedingungen (endliche Linsendicken etc.) vorgegeben.

Bezugszeichenliste

1

Werkstück bzw. Fokusebene

2

Lichtwellenleiter

3

Kollimationslinse

4

Kollimationslinse

5

parallele Ebene oberhalb der Fokusebene

6

teilreflektierender Spiegel

7

Konkavlinse

8

Konvexlinse

9

Konvexlinse

10

Laserschweißkopf

11

Faserbuchse

12

Schutzglas

13

Monokular

Claims

1. Lasersystem zur Erzeugung eines fokussierten Laserstrahls mit variablem Fokusdurchmesser, mit Mitteln zum Erzeugen von paralleler Laserstrahlung, sowie mit einem optischen System zur Formung, Führung und Fokussierung der Laserstrahlung, dadurch gekennzeichnet, daß Mittel zum Einbringen eines Beobachtungs- und/oder Überwachungsstrahlengangs in die parallele Laserstrahlung vor dem optischen System vorgesehen sind, und daß das optische System ein erstes negatives (Konkaves) und ein zweites positives (Konvexes) optisches Element umfaßt, deren Abstand veränderbar ist.

2. Lasersystem nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß das optische System eine Konkavlinse und eine Konvexlinse umfaßt.

3. Lasersystem nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß Mittel zum Verschieben der Linsen vorgesehen sind, die vorzugsweise über Kurvenkulissen gekoppelt sind.

4. Lasersystem nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß das optische System eine fest positionierte Konkavlinse und zwei Konvexlinsen umfaßt, deren Abstand untereinander und zur Konkavlinse veränderbar ist.

5. Lasersystem nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß Mittel zum Verschieben der Konvexlinsen vorgesehen sind, insbesondere ein nichtlineares Schneckengewinde.

6. Lasersystem nach einem der Ansprüche 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, daß zum Einbringen des Beobachtungsstrahlen gangs in dem Bereich der parallelen Laserstrahlung ein teilre flektierender Spiegel angeordnet ist, der für die Laserwellen länge hochreflektierend und für die Beobachtungswellenlänge transmittierend ist.

7. Lasersystem nach einem der Ansprüche 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, daß zum Einbringen des Beobachtungsstrahlen gangs in dem Bereich der parallelen Laserstrahlung ein teilre flektierender Spiegel angeordnet ist, der für die Beobachtungs wellenlänge hochreflektierend und für die Laserwellenlänge transmittierend ist.

8. Lasersystem nach einem der Ansprüche 1 bis 7, dadurch gekennzeichnet, daß zur Beobachtung ein Monokular, ein Binoku lar, (visuelle Beobachtung) oder eine CCD-Kamera vorgesehen ist.

9. Lasersystem nach einem der Ansprüche 1 bis 8, dadurch gekennzeichnet, daß zur Erzeugung des Überwachungsstrahlengangs ein Pilotlaser, z. B. ein HeNe-Laser vorgesehen ist.

10. Lasersystem nach einem der Ansprüche 1 bis 9, dadurch gekennzeichnet, daß ein Lichtwellenleiter zur Übertragung der von einer Laserstrahlquelle erzeugten Laserstrahlung vorgesehen ist und daß ein positives (Konvexes) optisches Element, z. B. eine Kollimationslinse, im Abstand seiner Brennweite vor dem austrittseitigen Ende des Lichtwellenleiters angeordnet ist.

11. Lasersystem nach einem der Ansprüche 1 bis 9, dadurch gekennzeichnet, daß zur Erzeugung der parallelen Laserstrahlung eine Laserstrahlquelle und ein optisches Element, z. B. zwei zueinander verschiebbare Konvexlinsen vorgesehen sind.