DE19821127A1

DE19821127A1 - Steuerbare Mikrocodezeile, insbesondere für Spektrometer

Info

Publication number: DE19821127A1
Application number: DE1998121127
Authority: DE
Inventors: Evelin Riesenberg; Rainer Riesenberg; Thomas Seifert
Original assignee: Institut fuer Physikalische Hochtechnologie eV
Current assignee: Institut fuer Physikalische Hochtechnologie eV
Priority date: 1998-05-12
Filing date: 1998-05-12
Publication date: 1999-11-18

Abstract

Die Erfindung betrifft eine steuerbare Mikrocodezeile für Spektrometer. Die Aufgabe der Erfindung, eine derartige Mikrocodezeile anzugeben, die bei kleinsten geometrischen Abmessungen eine maximale laterale Detektorausnutzung in einem Spektrometer gewähleistet, wird dadurch gelöst, daß eine Mikrocodezeile vorgesehen ist, die in einem ersten Bereich (B¶1¶) in n identische Teilbereiche (21, 22) unterteilt ist, deren Anzahl in Abhängigkeit von der Elementenanzahl einer Zeile einer vorgebbaren Diagonalmatrix festgelegt ist, wobei den Teilbereichen in bezug auf die im Spektrometer zum Einsatz gelangende Strahlung eine transparente oder reflektierende und eine nichtransparente oder absorbierende optische Wirkung entsprechend der Codefolge in der ersten Zeile der vorgegebenen Diagonalmatrix verliehen ist und sich an diesen ersten Bereich unmittelbar anschließend zumindest ein zweiter Bereich (B¶1¶) vorgesehen ist, der eine zum ersten Bereich identische Anzahl n von Teilbereichen enthält, denen eine analoge optische Wirkung zu den Teilbereichen des ersten Bereichs verliehen ist und diesen Bereichen vorgelagert eine feststehende Blende (3) zugeordnet ist, die eine Öffnung (Sp) aufweist, welche in ihrer Ausdehnung so bemessen ist, daß ausschließlich eine Anzahl der n festgelegten Teilbereiche erfaßt sind, die der Länge einer Zeile der vorgegebenen Diagonalmatrix entspricht und diese Mikrocodezeile in (n-1) diskreten Schritten gegenüber der feststehenden Blende (3) so verschiebbar ...

Description

Die Erfindung betrifft eine steuerbare Mikrocodezeile, insbesondere für Spektrometer, oder abbildende Spektrometer oder abbildende digitale Anordnungen. Neben einer Vielzahl bekannter Spaltanordnungen in Spektrometern ist in DE 198 15 079.2 eine steuerbare Mikrospaltzeile beschrieben, die vorliegender Erfindung am nächsten kommt. Die dort beschriebene Lösung bedient sich zweier gegeneinander verschiebbarer Spaltblenden, die insbesondere eine dem Hadamard-Prinzip folgende Spaltbeleuchtung ermöglicht. Dieser Mikrospaltzeile haftet jedoch der Nachteil an, daß durch die notwendige Unterteilung der Bereiche zwischen n Spalten in (n-1) Teilbereiche mit der Zunahme der Spaltzahl n der Abstand der Spalte zunimmt. Die laterale Ausdehnung der Zeile nimmt mit einer Erhöhung der Spaltzahl dabei erheblich zu. Das erfordert zusätzliche Maßnahmen zur homogenen Ausleuchtung und der Meßbereich wird bei der Abbildung der gesamten Zeile auf ein Diodenarray eingeschränkt. Einerseits steigen die Leistungsmerkmale, insbesondere das Signal/Rausch-Verhältnis eines Spektrometers mit Zunahme der Anzahl n der Spalte, andererseits gerät bei genannter Anordnung die praktikabel nutzbare Zahl n der Spalte an Grenzen infolge der gegebenen optischen Abbildungsverhältnisse.

Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, eine Mikrocodezeile anzugeben, die bei kleinsten geometrischen Abmessungen eine maximale laterale Detektorausnutzung in einem Spektrometer gewährleistet und keine zusätzlichen Anforderungen an die weiteren optischen Komponenten im Spektrometer erfordert. Das Wesen der Erfindung besteht darin, daß eine Mikrocodezeile mit lichtemittierenden und nichtemittierenden Bereichen in definierter Weise derart versehen ist, daß mit geringfügigen Schaltstellungsänderungen der Mikrocodezeile in bezug auf eine fest angeordnete Blende alle Schaltzustande, die durch eine vorgebbare Diagonalmatrix, insbesondere eine Hadamardmatrix, notwendig sind, einstellbar sind.

Die Erfindung soll nachstehend anhand zweier schematischer Ausführungsbeispiele näher erläutert werden. Es zeigen:

Fig. 1 die Anordnung einer erfindungsgemäßen Mikrocodezeile in einem Spektrometer,

Fig. 2 eine erste Ausführungsform der Mikrocodezeile als zeilenförmige Mikrospaltzeile,

Fig. 3 eine zweite Ausführungsform der Mikrocodezeile als flächenförmige ausgebildete Mikrospaltzeile und

Fig. 4 eine Einsatzvariante einer Ausführungsform nach Fig. 3.

In Fig. 1 ist schematisch der Aufbau eines Array-Spektrometers S dargestellt. Dieses enthält zunächst als spektrometertypische Baugruppen ein Detektorarray D mit zeilenförmig angeordneten Einzelempfängerflächen und ein übliches Polychromatorgitter G, das die spektrale Zerlegung der von einer Quelle herrührenden Strahlung, die in Fig. 1 durch strichlinierte Pfeile angedeutet ist, bewirkt. Im Rahmen der Erfindung ist zwischen der Strahlungsquelle bzw. den Strahlungsquellen eine steuerbare Mikrocodezeile MS vorgesehen, die insbesondere als Mikrospaltzeile 2 ausgebildet ist, und deren Spaltfestlegung dem Hadamard-Prinzip folgt. Diese Mikrospaltzeile 2 ist gegenüber einer ihr in Abbildungsrichtung vorgelagerten Blende 3, die mit einem Spalt Sp definierter Spaltbreite versehen ist in definierten Schritten verschiebbar, wie es in Fig. 1 durch einen Doppelpfeil angedeutet ist. Für die Verschiebung der Mikrospaltzeile kommen übliche Präzisionsstellantriebe, insbesondere piezoelektrische Antriebe in Betracht.

Eine erste Ausbildungsmöglichkeit der Mikrospaltzeile soll anhand von Fig. 2 näher erläutert werden. In ein in Fig. 2 nicht maßstäblich dargestelltes Si-Substrat 1 der Größe 20 mm 20 mm, welches mit einer 1,5 µm dicken Si₃N₄-Schicht versehen ist, wird durch einen üblichen Tiefenätzprozeß eine Ausnehmung mit dem Maßen 3 mm 5 mm geätzt, so daß die Si₃N₄-Schicht als Membran auf dem Si-Substrat verbleibt. Zusätzlich wird diese Membran mit einer bzgl. der zu analysierenden Strahlung undurchlässigen Belegung versehen. In diese Membran sind entsprechend einer Diagonalmatrix, insbesondere nach dem Hadamard- Prinzip verteilte Spalte eingebracht. Im Beispiel wird von zunächst von einer Zeile mit n = 15 Bereichen ausgegangen, die über den Bereich B₁ äquidistant verteilt sind. Die Breite der Bereiche ist bestimmt durch die gewünschte Spaltbreite, welche nach den Erfordernissen des speziellen Spektrometers vorgebbar ist. Geht man von einem Abstand der Empfängerelemente der Detektorzeile D von 25 µm aus, ergibt sich der Mittenabstand der Spalte 21 in der Zeile, unter Voraussetzung eines Abbildungsmaßstabes im Spektrometer von 1 : 1, grundsätzlich auch zu 25 µm. Um eine Auflösungserhöhung des Spektrometers zu erzielen, die nicht ursächlich Gegenstand dieser Erfindung ist, wird zwischen den Bereichen der Breite a, hier 25 µm, ein weiterer Bereich der Breite b, der als Steg präpariert sein kann, vorgesehen. Im Beispiel ergibt sich eine Breite von ca. b = 1,7 µm, die entsteht durch den Quotienten aus der Spaltbreite und der Anzahl der im Bereich B₁ vorgesehenen Elemente, also 25 µm/15 ≈ 1,7 µm. Der Mittenabstand der einzelnen Bereiche, die als geöffneter Spalt 21 oder uneröffneter Membranbereich 22 in Fig. 2 dargestellt sind, beträgt im Beispiel somit 26,7 µm. Im Beispiel ist den 25 µm breiten Spalten 21 eine Längsausdehnung von 2,5 mm gegeben. Dem so mit fünfzehn Bereichen versehenen ersten Bereich B₁ der Mikrospaltzeile 2 ist ein dazu identisch ausgebildeter Bereich B₂ einer Mikrospaltzeile 2' unmittelbar nachgeordnet. Die Verteilung von geöffneten Spalten 21 und uneröffneten Membranbereichen 22 über die Bereiche B₁ und B₂ ist dabei nach dem Hadamardprinzip der sogenannten S-Matrix festgelegt, wodurch sich für die erste Zeile der S-Matrix bei den hier vorgesehenen fünfzehn Elementen der Code 000100110101111 ergibt. Die 0 steht dabei für einen uneröffneten Membranbereich und die 1 für einen Spalt. Die Wiedergabe des genannten Codes der ersten Zeile ist in Fig. 2 von links beginnend ersichtlich, so folgen drei uneröffneten Membranbereichen ein Spalt, also 0001, zwei uneröffnete Membranbereiche, zwei Spalte (0011) usw. bis alle fünfzehn Elemente abgedeckt sind, worauf sich der Code im Bereich B₂ identisch wiederholend anschließt, so daß insgesamt dreißig Bereiche zur Verfügung stehen. Der so gebildeten Mikrospaltzeile ist eine feststehende Blende 3 vorgelagert, die einen Spalt Sp aufweist, der in seiner Breite so festgelegt ist, daß jeweils genau fünfzehn Elemente, von denen im Beispiel jeweils acht als Spalt 21 ausgebildet sind, zur Abbildung im Spektrometer zur Verfügung stehen. Ausgehend von der in Fig. 2 dargestellten ersten Meßposition wird die Mikrospaltzeile durch ein nicht dargestelltes lineares Verstellmittel um einen Betrag von genau 1.(a+b), hier also um 26,7 µm verschoben, wie es in Fig. 2-1 durch einen nach links weisenden Pfeil angedeutet ist. Vom Spalt Sp der Blende 3 ist somit die zweite Zeile der Hadamard S-Matrix (001001101011110) erfaßt. Diese äquidistante Verschiebung wird, ausgehend von Fig. 2, 14mal durchgeführt, so daß man in die Endstellung der Mikrospaltzeile gelangt, wie sie in Fig. 2-14 dargestellt ist, und somit fünfzehn Meßpositionen erhält, wodurch ein gebildetes Gleichungssystem mit fünfzehn Unbekannten auf übliche Weise lösbar ist. Der Vorteil der Anordnung nach Fig. 2 besteht darin, daß durch eine Mikrospaltzeile relativ geringer Breite, von der hier durch den Spalt Sp jeweils etwa 400 µm erfaßt sind, ein relativ hoher Intensitätsanteil der zu detektierenden Strahlung, durch die jeweils acht zur Abbildung gelangenden Spalte 21, auf die Detektorzeile D gelangt, wodurch das Signal/Rausch-Verhältnis günstig beeinflußt wird. Eine weitere Erhöhung der Elementenzahl auf der Mikrospaltzeile würde dieses Signal/Rausch- Verhältnis weitergehend verbessern, jedoch erhöht sich dadurch auch die Breite B₁ und B₂ der Mikrospaltzeile und die erforderliche Breite des Spalts Sp der Blende 3, wodurch man an die Abbildungsgrenzen im Spektrometer stößt.

Im Rahmen der Erfindung kann dennoch eine weitere förderliche Erhöhung der Elementenzahl erreicht werden, ohne an die Abbildungsgrenzen im Spektrometer zu gelangen, indem die zur Abbildung gelangenden Codes der Hadamard S-Matrix eine flächenhatte Aufteilung erfahren. Eine derartige Mikrospaltausbildung ist in einem zweiten Ausführungsbeispiel in den Fig. 3 dargestellt. Ebenso wie im ersten Ausführungsbeispiel wird auf einem Substrat eine Membran präpariert. Im Beispiel wird diese Membran nunmehr bevorzugt in quadratische Bereiche der Ausdehnung (a.a) von je 25 µm.25 µm unterteilt. Diese Flächenbereiche können für die Öffnung eines Mikrospalts vorgesehen sein, der im Beispiel eine Ausdehnung von 23 µm.23 µm annehmen kann, wobei die Breite der verbleibenden Stege St von 2 µm ausreicht, um die nicht geöffneten Membranflächen, welche in Fig. 3 senkrecht schraffiert dargestellt sind, zu tragen. Zur Erleichterung der Übersicht und zum deutlicheren Vergleich zum ersten Ausführungsbeispiel, jedoch ohne Begrenzung der Erfindung auf die dargestellte Elementenzahl wird im Beispiel der Aufbau einer Matrix mit (4.4) Elementen beschrieben, die mit dem im ersten Ausführungsbeispiel verwendeten zeilenweisen durchgeschobenen Code, beginnend mit (000100110101111) belegt sind. In der Ausgangsstellung der so gebildeten Mikrospaltzeile 2 ist genannter Code in der Weise der Mikrospaltzeile aufgeprägt, wie in Fig. 3-0 dargestellt, zunächst eine obere Spaltzeile vorgesehen ist, die drei uneröffnete Membranbereiche aufweist, an die sich ein geöffneter Spalt anschließt (0001); in der darunterliegenden Zeile wird genannter Code fortgesetzt durch zwei uneröffnete Membranbereiche, an die sich zwei geöffnete Spalte anschließen (0011); die folgende Zeile gibt den Code (0101) und die unterste Zeile den Code (111) wieder. Da bei dem hier gewählten Code mit fünfzehn Elementen und der gewählten (4.4)-Matrix der sechzehnte Feldplatz nichts zur Signalermittlung beiträgt, wird dafür Sorge getragen, daß dieser Feldplatz stets ausgeblendet ist. Die im Beispiel vorgesehene Blende 30 weist analog zum ersten Ausführungsbeispiel eine Öffnung 32 aufs die die Erfassung der (4.4) Elemente der Mikrospaltzeile gewährleistet, wobei in diesem Fall ein teilweiser Blendenteilverschluß 31 vorgesehen ist, der der Ausblendung des sechzehnten Elements dient. Im übrigen ist die durch Öffnung 32 umfaßte Fläche von einem nichttransparenten Rahmen der Blende 30 gebildet, der zur Verdeutlichung der vorliegenden Verhältnisse in Fig. 3 jedoch nur teilweise angedeutet und transparent dargestellt ist. Die durch die Öffnung 32 erfaßte Fläche der Mikrospaltzeile ist durch fluchtende strichlinierte Linien angedeutet. Diese zur Abbildung gelangende Fläche hat im Beispiel eine Ausdehnung von 100 µm.100 µm und weist wiederum jeweils acht geöffnete Mikrospalte auf, wie es in Fig. 3-0 ersichtlich ist. Ausgehend von dieser Ausgangsstellung der Mikrospaltblende erfolgt wiederum analog zum ersten Ausführungsbeispiel eine Verschiebung der Mikrospaltblende gegenüber der feststehenden Blende 30 um jeweils eine Elementeinheit der Mikrospaltblende, im Beispiel also um 25 µm, in Richtung eines Pfeils p. Die bei der ersten und nach der vierzehnten Verschiebung erhaltenen Teilbilder der Mikrospaltblende sind in den Fig. 3-1 respektive 3-14 dargestellt. Jedes der dabei erhaltenen fünfzehn Spaltbilder wird nacheinander analog zu Fig. 1 über das Gitter G auf die Detektorzeile D abgebildet und genannter Auswertung zugeführt. Die Verschiebung o.g. Codes der Hadamard 5-Matrix um jeweils eine Position ist auch bei diesem Ausführungsbeispiel identisch zum ersten.

Geht man von einer anderen Hadamard Matrix als der hier beschriebenen aus, kann es vorteilhaft sein, im Rahmen des zweiten Ausführungsbeispiels den Code einer Hadamard Matrixzeile und damit die geöffneten und geschlossenen Mikrospaltblendenbereiche auf eine Fläche zu verteilen, die von einer gleichzahligen Begrenzung der durch die Öffnung 32 der Blende erfaßten Elementbereiche der Mikrospaltzeile abweicht. So könnte die Blendenöffnung, für eine andere Hadamard S-Matrix, auch so ausgebildet sein, daß bspw. (3.4) oder andere Begrenzungen erfaßbar sind, wenn dadurch eine günstigere Verteilung des entsprechenden Codes auf der Mikrospaltzeile gegeben ist und die Anbringung weiterer als nur des einen Blendenverschlusses 31 vermieden werden soll. In jedem Fall soll jedoch eine weitestgehende Annäherung an eine gleichzahlige Elementbegrenzung der durch die Öffnung 32 erfaßten Fläche gegeben sein, da dadurch ein Code auf die kleinstmögliche Fläche übertragbar ist, welche bestmöglich den Abbildungsgegebenheiten im Spektrometer angepaßt ist.

Darüber hinaus ermöglicht eine Ausführung nach Fig. 3 die Ankopplung mehrerer Lichtkanäle, bspw. vermittels Lichtleitfasern LF, wie in Fig. 4 schematisch angedeutet, die mit unterschiedlichen spektralen Quellen in Verbindung stehen, ohne daß die Linearausdehnung der Mikrospaltzeile für die anschließende Signalverarbeitung zu weit ausgedehnt werden muß. Als Schaltstellung der Mikrospaltblende wurde in Fig. 4 die Ausgangsstellung entsprechend Fig. 3-0 gewählt. Auf diese Weise ist man in die Lage versetzt, quasi simultan unterschiedliche Spektren annehmen und zu trennen, was bspw. für ein Mehrkanalspektrometer hoher Kanalzahlen vorteilhaft genutzt werden kann.

Weiterhin eröffnet eine nach Fig. 3 ausgebildete Mikrospaltzeile die Möglichkeit, zweidimensionale Bilder durch einen preiswerten, nur eindimensionalen Zeilendetektor D zu verarbeiten.

Es liegt weiterhin im Rahmen der Erfindung, eine nach obigen Maßgaben in Einzelbereiche unterteilte Membran statt mit Spalten zu versehen, anstelle der Spalte mikrostrukturierte spiegelnde Metallschichten vorzusehen, wobei die Verteilung dieser spiegelnden Bereiche identisch zur Festlegung der Spalte nach den Fig. 2 oder 3 erfolgt. Eine so gebildete Mikrospiegelzeile würde in Abweichung zum prinzipiellen Aufbau nach Fig. 1 dann lediglich mit der zu analysierenden Strahlung zu beleuchten, also in Reflexion, bei sonst identischen Verhältnissen zu betreiben sein.

Alle in der Beschreibung, den nachfolgenden Ansprüchen und der Zeichnung dargestellten Merkmale können sowohl einzeln als auch in beliebiger Kombination miteinander erfindungswesentlich sein.

Bezugszeichenliste

1

Substrat

2

,

2

' Mikrospaltzeile

21

geöffnete Spalte

22

uneröffnete Membranbereiche

3

,

30

feststehende Blende

31

Blendenteilverschluß

32

Öffnung der Blende

30

a Spaltbreite
b Spaltabstand
B₁

erster Bereich der Mikrospaltzeile
B₂

zweiter Bereich der Mikrospaltzeile
D Detektorzeile
G Polychromatorgitter
LF Lichtleitfaser
MS Mikrocodezeile
S Array-Spektrometer
Sp Spalt
St Steg

Claims

1. Steuerbare Mikrocodezeile, insbesondere für Spektrometer, dadurch gekennzeichnet, daß eine Mikrocodezeile vorgesehen ist, die in einem ersten Bereich (B₁) in n identische Teilbereiche unterteilt ist, deren Anzahl in Abhängigkeit von der Elementenanzahl einer Zeile einer vorgebbaren Diagonalmatrix festgelegt ist, wobei den Teilbereichen in bezug auf die in der Anordnung zum Einsatz gelangende Strahlung eine transparente oder reflektierende und eine nichttransparente oder absorbierende optische Wirkung entsprechend der Codefolge in der ersten Zeile der vorgegebenen Diagonalmatrix verliehen ist und sich an diesen ersten Bereich (B₁) unmittelbar anschließend zumindest ein zweiter Bereich (B₂) vorgesehen ist, der eine zum ersten Bereich identische Anzahl n von Teilbereichen enthält, denen eine analoge optische Wirkung zu den Teilbereichen des ersten Bereichs (B₁) verliehen ist und diesen Bereichen (B₁, B₂) vorgelagert eine feststehende Blende (3, 30) zugeordnet ist, die eine Öffnung (Sp, 32) aufweist, welche in ihrer Ausdehnung so bemessen ist, daß ausschließlich eine Anzahl der n festgelegten Teilbereiche erfaßt sind, die der Länge einer Zeile der vorgegebenen Diagonalmatrix entspricht und diese Mikrocodezeile in (n-1) diskreten Schritten gegenüber der feststehenden Blende (3, 30) so verschiebbar ist, daß jeweils eine vollständige Anzahl von n Teilbereichen durch die Öffnung (Sp, 32) erfaßt sind.

2. Steuerbare Mikrocodezeile nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Diagonalmatrix eine Hadamardmatrix ist.

3. Steuerbare Mikrocodezeile, nach Anspruch 1 und 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Mikrocodezeile durch eine Dünnschichtmembran gebildet ist, die mit einer nichttransparenten Belegung und in einem ersten Bereich (B₁) entsprechend der n Elemente der ersten Zeile der Diagonalmatrix mit geöffneten Spalten (21) und uneröffneten Membranbereichen (22), deren Summe identisch n ist, in linearer Anordnung versehen ist, an den sich unmittelbar anschließend ein zum ersten Bereich (B₁) identisch ausgebildeter zweiter Bereich (B₂) anschließt, wobei der Mikrocodezeile eine Blende (3) vorgelagert ist, die einen Spalt (Sp) aufweist der die vorgegebene Anzahl n der Spalten (21) und uneröffneten Membranbereiche (22) erfaßt.

4. Steuerbare Mikrocodezeile nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß die n vorgesehenen Teilbereiche, bestehend aus Spalten (21) und uneröffneten Membranbereichen (22) jeweils um einen Betrag b voneinander beabstandet sind, wobei sich b ergibt aus einer Beziehung a/n = b, wobei a für die vorgebbare Breite eines Spalts (21) steht.

5. Steuerbare Mikrocodezeile nach Anspruch 1, 2 und 4, dadurch gekennzeichnet, daß die Mikrocodezeile, beginnend von einer vorgegebenen Ausgangsstellung, in (n-1) diskreten Schritten der Schrittweite (n-1).(a+b) gegenüber dem Spalt (Sp) der Blende (3) verschiebbar ist.

6. Steuerbare Mikrocodezeile nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Mikrocodezeile durch eine Membran gebildet ist, die mit einer nichttransparenten Belegung und in einem ersten Bereich entsprechend der n Elemente der ersten Zeile der Diagonalmatrix zeilenweise dem Code der ersten Zeile der Diagonalmatrix aufeinanderfolgend mit geöffneten Spalten und uneröffneten Membranbereichen, deren Summe identisch n ist, versehen ist, wobei alle n Teilbereiche zu einer ersten rechteckigen Fläche möglichst niedrigst realisierbaren Umfangs zusammengefaßt sind, und entsprechend dieser vorgegebenen Fläche und entsprechend der Codes der weiteren (n-1) Zeilen der Diagonalmatrix geöffnete Spalte und uneröffnete Membranbereiche der zeilenmäßigen Codeaufteilung der ersten Fläche folgend unmittelbar an das letzte Element der ersten Fläche anschließend hintereinander vorgesehen sind, wobei der Mikrocodezeile eine Blende (30) vorgelagert ist, die eine Öffnung (32) aufweist, deren äußere Berandung der der ersten Fläche entspricht.

7. Steuerbare Mikrocodezeile nach Anspruch 2 und 6, dadurch gekennzeichnet, daß die Öffnung (32) der Blende (30) zusätzlich mit mindestens einem Blendenteilverschluß (31) versehen ist, der der Ausdehnung eines Teilbereichs eines geöffneten Spalts oder uneröffneten Membranbereichs entspricht.

8. Steuerbare Mikrocodezeile nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, daß der Blendenteilverschluß (31) innerhalb der Öffnung (32) an einer solchen Stelle angeordnet ist, an der in Ausgangsstellung der Mikrocodezeile die Flächenbelegung mit geöffneten Spalten und uneröffneten Membranbereichen gemäß der Verteilung der ersten Hadamardmatrixzeile endet.

9. Steuerbare Mikrocodezeile nach einem der vorstehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß genannte Spalte (21) durch reflektierende Flächen ersetzt sind.

10. Steuerbare Mikrospaltzeile nach Anspruch 3 oder 6, dadurch gekennzeichnet, daß den jeweiligen Teilbereichen der Mikrocodezeile, die von der Öffnung (32) erfaßt sind, jeweils gesonderte Lichtkanäle (LF) zugeordnet sind, die mit unterschiedlichen Strahlungsquellen verbindbar sind.