DE19812786A1 - Elektromechanische Vorrichtung zur Ausführung linearer Bewegungen - Google Patents

Abstract

Die Erfindung betrifft eine elektromechanische Vorrichtung zur Ausführung linearer Bewegungen mit mindestens einem eine axial wirkende Kraft ausübenden elektromechanischen Festkörperaktor und einem zumindest in bezug zur Achse, in der die Kraft des elektromechanischen Festkörperaktors wirkt, elastisch verformbaren Element. Eine solche elektromechanische Vorrichtung soll ein erhöhtes Übersetzungsverhältnis mit vergrößerter Auslenkung der Antriebsbewegung von Festkörperaktoren auch im hohen Frequenzbereich erreichen und dabei zwei Übersetzungsstufen aufweisen. Die erfindungsgemäße Vorrichtung verfügt zur Lösung dieser Aufgabe über zwei elastisch verformbare Elemente, wobei das zweite elastisch verformbare Element orthogonal zur Achse, in der die Kraft des/der elektromechanischen Festkörperaktors/-Aktoren wirkt, ausgerichtet und dort mit dem ersten elastisch verformbaren Element verbunden ist.

Description

Die Erfindung betrifft eine elektromechanische Vor­ richtung nach dem Oberbegriff des Patentanspruchs 1 sowie deren Verwendung zur Gravur von Druckwalzen, wie sie in der Druckindustrie eingesetzt werden kön­ nen.

Für Festkörperantriebe, die elektromechanische oder magnetomechanische Festkörperaktoren verwenden, kön­ nen verschiedene Prinzipien für die mechanische Über­ setzung der Antriebsbewegung eingesetzt werden. Dabei handelt es sich um hydraulische, Biege-, Kipphebel- oder Schubhebelübersetzungen.

Bei der Verwendung von hydraulischen Übersetzungen können Probleme durch zu hohe Zeitkonstanten bzw. Resonanzen, die durch die hohen Frequenzen, die mit den Festkörperaktoren erreicht werden können, auftre­ ten.

Bei der Verwendung des Biegeprinzips für die Überset­ zung der Bewegung eines Festkörperaktors treten ins­ besondere beim Dauerbetrieb Probleme auf, da die me­ chanischen Belastung des Festkörperaktors relativ hoch ist, so daß deren Dauerfestigkeit nicht ausrei­ chend groß ist, um eine Zerstörung in jedem Fall zu vermeiden.

Werden Kipphebel zur Übersetzung der mechanischen Bewegung verwendet, muß die lineare Ausgangsbewegung von mindestens einem Aktor unter Verwendung von min­ destens einem Gelenk übertragen werden. Hierfür wer­ den normalerweise Festkörpergelenke eingesetzt, um die Einleitung von Drehmomenten in den Wandler bei Vorspannung und Betrieb zu vermeiden. Solche Gelenke verschlechtern die dynamischen Eigenschaften durch relativ kleine Steifigkeiten und zusätzliche parasi­ täre Massen.

Daneben ist in DE 196 43 180 A1 eine verstärkte piezoaktive Betätigungseinrichtung mit hoher Steifig­ keit beschrieben, die einen Bewegungsverstärker ver­ wendet, der in Form einer Schale mit mehreren ellip­ tischen Armen gestaltet ist. Im Inneren dieser ellip­ tischen Schale können mindestens zwei piezoaktive Elemente angeordnet werden. Durch elektrische Erre­ gung dieser piezoaktiven Elemente wird eine Verfor­ mung der elliptischen Schale hervorgerufen und das Übersetzungsverhältnis demzufolge allein durch die geometrischen Verhältnisse in bezug zur linearen Be­ wegung der piezoaktiven Elemente realisiert.

Ausgehend von den bekannten Lösungen, ist es Aufgabe der Erfindung, eine kompakt ausgebildete elektrome­ chanische Vorrichtung zur Ausführung linearer Bewe­ gungen vorzuschlagen, die ein erhöhtes Übersetzungs­ verhältnis mit vergrößerter Auslenkung der Antriebs­ bewegung von Festkörperaktoren auch im hohen Frequenzbereich zu erreichen.

Erfindungsgemäß wird diese Aufgabe mit den Merkmalen des Patentanspruch 1 gelöst. Vorteilhafte Ausgestal­ tungsformen und Weiterbildungen der Erfindung ergeben sich bei Nutzung der in den untergeordneten Ansprü­ chen genannten Merkmale.

Bei der erfindungsgemäßen elektromechanischen Vor­ richtung wird ähnlich, wie bei der in DE 196 43 180 A1 beschriebenen Betätigungseinrichtung ein erstes elastisch verformbares Element verwendet, das durch Aktivierung von mindestens einem elektromechanischen Festkörperaktor verformt werden kann. Dabei kann das erste elastisch verformbare Element mit innenliegen­ den elektromechanischen Festkörperaktoren oder von außen mit mindestens einem solchen Festkörperaktor verformt werden, wobei im letzten Fall Festkörperak­ tor und erstes elastisch verformbares Element z. B. in einem rahmenförmigen Element vorgespannt, in einer Reihenanordnung gehalten sind. Die Erfindung zeichnet sich aber gegenüber dem Stand der Technik durch eine zweite Übersetzungsstufe aus, die mit einem zweiten elastisch verformbaren Element, das am ersten ela­ stisch verformbaren Element befestigt ist, realisiert wird.

Hierfür ist das zweite elastisch verformbare Element orthogonal zur Achse, in der die Kraft des bzw. der elektromechanischen Festkörperaktor(en) wirkt, ausge­ richtet. Dadurch wird nicht nur die Übersetzung der Antriebsbewegung, sondern auch deren Richtung zusätz­ lich verändert, was bei der Beschreibung der Ausfüh­ rungsbeispiele noch weiter verdeutlicht wird.

Für die Auslösung der linearen Antriebsbewegungen können vorteilhaft mindestens zwei in einer Achse wirkende elektromechanische Festkörperaktoren verwen­ det werden, die entweder im Inneren des ersten ela­ stisch verformbaren Elementes oder an zwei sich auf einer Achse gegenüberliegenden Außenseiten angeordnet sind, wobei im letzteren Fall ein zusätzliches rah­ menförmiges Element erforderlich ist, in dem Aktoren und das erste elastisch verformbare Element vorge­ spannt in einer Reihenanordnung gehalten sind.

Bei dieser Ausführung der Erfindung ist es weiter günstig, wenn zwischen erstem elastisch verformbaren Element und jeweils einem elektromechanischen Fest­ körperaktor eine Membranführung angeordnet ist, die auch in der Lage ist, das erste elastisch verformbare Element allein im rahmenförmigen Element zu halten, so daß bei einem erforderlichen Austausch der Fest­ körperaktoren der Montageaufwand und die hierfür er­ forderliche Sorgfalt verringert werden kann.

Im einfachsten Fall können die beiden verschiedenen elastisch verformbaren Elemente kreisringförmig oder ellipsenförmig ausgebildet sein. Es besteht aber auch die Möglichkeit, diese beiden Elemente in Form von Federn auszubilden, wie sie bei den Ausführungsbei­ spielen verwendet werden sollen.

Vorteilhaft können die beiden elastisch verformbaren Elemente monolithisch aus einem Stück, z. B. mit be­ kannten Erodierverfahren gefertigt werden, wobei hier kein nachträglicher Fügevorgang zweier Einzelteile erforderlich ist.

Das zweite elastisch verformbare Element kann aber auch klammerförmig mit zwei parallelen Übersetzungs­ elementen ausgebildet sein, wobei die Verbindung mit dem ersten elastisch verformbaren Element durch Kraft- und/oder Formschluß erreicht werden kann. Die Form des zweiten elastisch verformbaren Elementes im Verbindungsbereich mit dem ersten elastisch verform­ baren Element kann so sein, daß die Verbindung allein am Innen- oder Außendurchmesser (Innen- oder Außen­ mantelfläche) des ersten elastisch verformbaren Ele­ mentes oder auch an beiden, also als Klammerverbin­ dung, erfolgen kann.

Die Verbindung dieser beiden Elemente kann aber auch allein oder zusätzlich dazu durch Fügeverfahren, wie Kleben, Schweißen oder Löten erfolgen.

Vorteilhafterweise kann die erfindungsgemäße Vorrich­ tung durch die Anordnung eines Stößels zwischen den beiden Übersetzungselementen des zweiten elastisch verformbaren Elementes weiter gebildet werden. Dieser Stößel ist in der Achse der letztendlich mit der er­ findungsgemäßen Vorrichtung bewirkten Antriebsbewe­ gung angeordnet. Dabei kann an seiner einen Stirnflä­ che bzw. an einem der beiden Übersetzungselemente ein Werkzeug bzw. ein Sensor angeordnet werden, die mit der erfindungsgemäßen Vorrichtung bewegt werden kön­ nen.

Für eine erfindungsgemäße Anwendung zur Gravur von Druckwalzen, kann ein solches Werkzeug ein Schneid­ werkzeug, wie z. B. ein Diamant sein.

Wird eine erfindungsgemäße elektromechanische Vor­ richtung verwendet, bei der die Festkörperaktoren im Inneren des ersten elastisch verformbaren Elementes angeordnet sind, kann ein Stützblock verwendet wer­ den, an welchem sich die Festkörperaktoren abstützen und der zur Befestigung der erfindungsgemäßen Vor­ richtung in einer Maschine bzw. einem Gerät verwendet wird.

Vorteilhaft ist es außerdem, wenn am ersten und/oder zweiten Element ein Wegmeßsystem angeordnet ist. Hierfür eignen sich insbesondere induktive Wegmeßsy­ steme, die günstigerweise um den bereits erwähnten Stößel im Inneren angeordnet sind.

Da die erfindungsgemäße Vorrichtung auch im kHz-Be­ reich betrieben werden kann, kann es vorteilhaft sein, daß Dämpfungselemente in Ring- oder Plattenform verwendet werden. Diese können am zweiten elastisch verformbaren Element und/oder am Stößel günstigerwei­ se angeordnet sein.

Bei der erfindungsgemäßen Vorrichtung können auch Festkörperaktoren verwendet werden, die rohrförmige Hohlkörper bilden, wobei die Hohlräume solcher Fest­ körperaktoren wieder mit Durchbrechungen im rahmen­ förmigen Element und/oder dem ersten elastisch ver­ formbaren Element verbunden sind, so daß die erfin­ dungsgemäße Vorrichtung durch ein durch die Durchbre­ chungen und die Hohlräume führbares Kühlfluid verbes­ sert werden kann.

Günstig ist es außerdem, wenn mindestens zwei elek­ tromechanische Festkörperaktoren verwendet werden, diese phasengesteuert, d. h. mit ständig maximaler Auslenkungsamplitude zu betreiben und damit konstante Betriebsbedingungen herzustellen. In diesem Fall kann jedoch nur die halbe Auslenkungsamplitude genutzt werden.

Für viele Anwendungsfälle kann es günstig sein, meh­ rere solcher erfindungsgemäßen Vorrichtungen in einer gemeinsamen Aufnahme fixiert anzuordnen. Eine solche Aufnahme kann beispielsweise ein rahmenförmiges Ge­ bilde sein, in dem mehrere erfindungsgemäße Vorrich­ tungen parallel in einer Reihe oder versetzt in meh­ reren Reihen angeordnet sein können. Selbstverständ­ lich kann in einem solchen Fall, jede der so in einer gemeinsamen Aufnahme gehaltenen erfindungsgemäße Vor­ richtung auch gesondert angesteuert werden. Es können aber auch die rahmenförmigen Elemente mehrerer erfin­ dungsgemäßer Vorrichtungen verbunden werden.

Die erfindungsgemäße Vorrichtung ist neben der bereits erwähnten Verwendung für die Gravur von Druckwalzen auch für die Messung verschiedenster phy­ sikalischer Größen geeignet und sie kann aber auch zum Auslesen von Informationen, die auf magnetischen oder optischen Datenträgern gespeichert sind, verwen­ det werden.

Durch die mit der Erfindung realisierbaren zwei Über­ setzungsstufen eines linearen Antriebes kann eine flexiblere Auslegung, bei freier Wahl der Werkstoff­ paarungen für die elastisch verformbaren Elemente, erreicht werden. Durch die Verteilung der Vorspannung und Übersetzung auf zwei unterschiedliche Elemente tritt eine Querentkopplung der beiden Stufen, die wesentlich bessere mechanische Eigenschaften zur Fol­ ge hat, auf. Mit der erfindungsgemäßen Vorrichtung können Auslenkungsübersetzungen bis in den Bereich von 1 : 20 erreicht werden. Die linear gerichtete Bewe­ gung weist eine hohe Momenten- und Quersteifigkeit auf, da sie exakt geführt ist.

Gegenüber den bekannten Antriebsvorrichtungen können höhere Resonanzfrequenzen, bei entsprechend höheren Kräften, erwartet werden. Die Festkörperaktoren werd­ en symmetrisch belastet und Biegekräfte bzw. Biegemo­ mente werden weitestgehend vermieden.

Günstig ist außerdem, daß die elastisch verformbaren Elemente neben der Verwendung als Auslenkungsüberset­ zung auch für das Aufbringen der Vorspannkraft für die Festkörperaktoren zu nutzen sind. Die Vorspannung kann einfach gemessen und eingestellt werden.

Zur Verringerung der thermischen Belastung kann, ob­ wohl die erfindungsgemäße Vorrichtung bereits an sich durch Wärmeleitung über die einzelnen Elemente und den gegebenenfalls verwendeten Stützblock gut ausge­ nutzt werden kann, zusätzlich mit einer Luftkühlung versehen werden, wobei sich in diesem Fall die rohr­ förmige Ausbildung der Festkörperaktoren günstig aus­ wirkt.

Die kompakt ausgebildete, kostengünstig herstellbare erfindungsgemäße Vorrichtung kann auch einfach und schnell gewartet bzw. instandgesetzt werden, da bei einem erforderlichen Austausch der Festkörperaktoren, die anderen Einzelelemente in ihrer justierten ge­ wünschten Position verbleiben.

Wird die erfindungsgemäße Vorrichtung mit einem inte­ grierten Wegmeßsystem versehen, wobei dieses Meßsy­ stem vorteilhaft im Inneren der Vorrichtung angeord­ net werden kann, so daß die Baugröße nicht erhöht werden muß, vergrößern sich auch die möglichen Ein­ satzgebiete einer solchen Vorrichtung.

Durch die mit der erfindungsgemäßen Vorrichtung rea­ lisierbaren hohen Frequenzen können hohe Bearbei­ tungs- und Meßgeschwindigkeiten erreicht werden.

Nachfolgend soll die Erfindung an Ausführungsbeispie­ len näher beschrieben werden.

Dabei zeigen:

Fig. 1 ein Beispiel einer erfindungsgemäßen elek­ tromechanischen Vorrichtung mit zwei elek­ tromechanischen Festkörperaktoren;

Fig. 2 zwei Beispiele für elastisch verformbare Elemente, die in einer erfindungsgemäßen Vorrichtung verwendet werden können, als Einzelteile und in zusammengesetzter Form;

Fig. 3 die in Fig. 2 gezeigten Elemente mit den jeweils möglichen Bewegungsachsen und Rich­ tungen;

Fig. 4 mögliche Varianten für Verbindungen zwischen den beiden elastisch verformbaren Elementen, die in einer erfindungsgemäßen Vorrichtung verwendet werden können;

Fig. 5 den schematischen Aufbau einer erfindungs­ gemäßen Vorrichtung mit integriertem induk­ tiven Wegmeßsystem;

• a) Seitenansicht; b) Draufsicht;

Fig. 6 ein Beispiel einer erfindungsgemäßen Vor­ richtung mit Dämpfungselementen;

• a) Seitenansicht; b) Draufsicht;

Fig. 7 Varianten für verschiedene Anordnungen ei­ nes oder mehrerer elektromechanischer Fest­ körperaktoren in einer erfindungsgemäßen Vorrichtung;

Fig. 8 eine Anordnung von mehreren erfindungsgemä­ ßen Vorrichtungen in einer gemeinsamen Auf­ nahme;

Fig. 9 ein Beispiel einer erfindungsgemäßen Vor­ richtung mit rohrförmigen elektromechani­ schen Festkörperaktoren mit Luftkühlung und

Fig. 10 ein Beispiel einer erfindungsgemäßen Vor­ richtung in einer Draufsicht mit einem zu­ sätzlichen Stützblock.

Bei dem in der Fig. 1 gezeigten Beispiel einer er­ findungsgemäßen Vorrichtung werden zwei elektromecha­ nische Festkörperaktoren 3, die auch magnetomechani­ sche Festkörperaktoren 3 sein können, in einer Achse und ein aus zwei elastisch verformbaren Elementen 2 und 9 gebildete Einheit beidseitig einschließend, in einem rahmenförmigen Element 4 vorgespannt, angeord­ net. Dabei sind die beiden elektromechanischen Fest­ körperaktoren 3 auf einer Achse ausgerichtet, so daß ihre jeweiligen Bewegungen ohne einen Achsversatz auf das elastisch verformbare Element 2 übertragen werden können. Das erste elastisch verformbare Element 2 ist hierbei eine parallel zur Achse, in der die Kräfte und Bewegungen wirkenden, symmetrisch ausgebildete Feder, die stirnflächig Auflageflächen und davon aus­ gehend abgewinkelte Schenkel 1 aufweist, wie dies in Fig. 2a) besonders deutlich erkannt werden kann. An dieser großen Feder 2 sind wieder im mittleren Be­ reich der Schenkel 1 Bereiche 8 ausgebildet, an denen das zweite elastisch verformbare Element 9, günsti­ gerweise formschlüssig befestigt werden kann.

Die insbesondere in Fig. 2b) dargestellte Feder als zweites elastisch verformbares Element 9, verfügt über zwei parallele Übersetzungselemente 10, die mit Verbindungsstegen 11 in einem Abstand gehalten werden und die Verbindungsstege 11 können für die form­ schlüssige Verbindung mit dem ersten elastisch ver­ formbaren Element 2 verwendet werden. Die Übertra­ gungsstege 10 haben in ihrer Mitte ebene Flächen 12 und sind ansonsten in der gleichen Richtung durchge­ bogen ausgebildet. Bei dem in den Fig. 1 und 2c) dar­ gestellten Ausführung wird das zweite elastisch ver­ formbare Element 9 von außen am ersten elastisch ver­ formbaren Element 2 befestigt.

In der Fig. 3 sind die entsprechenden Bewegungen, die durch die beiden elektromechanischen Festkörperakto­ ren 3 initiiert werden, mittels Pfeilen dargestellt. Dabei wirken die von den Festkörperaktoren 3 aufge­ brachten Kräfte gegen die Stirnseiten des ersten ela­ stisch verformbaren Elementes 2 und bewirken dessen Verformung, wie dies mit den Pfeilen an den Bereichen 8 dargestellt ist, nach außen. Durch diese Bewegung wird eine Verformung des zweiten elastisch verform­ baren Elementes 9, wie dies mit den Pfeilen an den Verbindungsstegen 11 dargestellt ist, erreicht und zwangsläufig werden die Übertragungselemente 10 in orthogonaler Richtung hierzu bewegt und dadurch die Übersetzung der durch die elektromechanischen Fest­ körperaktoren 3 hervorgerufenen Bewegungen entspre­ chend in zwei Stufen vorgenommen.

In den Fig. 1 und 2 sind außerdem Membranführungen 7 dargestellt, die zwischen den elektromechanischen Festkörperaktoren 3 und den Stirnflächen des ersten verformbaren Elementes 2 angeordnet sein können und dieses in fixierter Stellung halten, so daß auch nach Entfernung der elektromechanischen Festkörperaktoren 3 keine gesonderte Montage und Justage erforderlich ist.

Außerdem ist ein Stößel 13 dargestellt, der zwischen den Übertragungselementen 10 in der letztendlichen Achse der Antriebsbewegung, also zwischen den Flächen 12 angeordnet und dort gehalten ist.

In der Fig. 4 sind Varianten dargestellt, mit denen das zweite elastisch verformbare Element 9 mit dem ersten elastisch verformbaren Element 2 verbunden werden kann. Dabei entspricht die linke Darstellung a), der bei dem Beispiel, wie es in den Fig. 1 bis 3 gezeigt worden ist. Die mittlere Darstellung b) zeigt, daß das zweite elastisch verformbare Element 9 im Inneren des ersten elastisch verformbaren Elemen­ tes 2 angeordnet und mit diesem verbunden ist und die rechte Darstellung c) zeigt ein Beispiel, bei dem das zweite elastisch verformbare Element 9 das erste ela­ stisch verformbare Element 2 innen und außen umklam­ mert.

Die Fig. 5 zeigt eine Kombination einer erfindungs­ gemäßen Vorrichtung mit einem induktiven Wegmeß­ system. Hierbei kann der Stößel 13 als Kern des in­ duktiven Meßsystems 19 verwendet werden und so äußerst günstig und platzsparend der Weg der An­ triebsbewegung gemessen und überwacht werden.

In der Fig. 6 ist die Verwendung von Dämpfungselemen­ ten 15 dargestellt. Bei diesem Beispiel werden ring­ förmige Dämpfungselemente 15 z. B. aus einem Elastomer verwendet, die den Stößel 13 umschließen. Es können aber auch entsprechend ausgebildete plattenförmige Dämpfungselemente eingesetzt werden. Die Dämpfungs­ elemente können z. B. durch zwei Spannbacken 20, die mit einer Grundplatte verbunden sind, an den Stößel 13 angedrückt werden.

In der Fig. 7 sind verschiedene Varianten für die Anordnung von elektromechanischen Festkörperaktoren 3 in erfindungsgemäßen Vorrichtungen mit unterschiedli­ chen Phasenansteuerungen durch Pfeile dargestellt.

Dabei zeigt die Darstellung in Fig. 7a) den einfach­ sten Fall, nämlich die Verwendung lediglich eines in einer Achse oszillierenden elektromechanischen Fest­ körperaktors 3 mit einer Kombination der beiden ela­ stisch verformbaren Elemente 2 und 9.

Bei dem in der Darstellung der Fig. 7b) gezeigten Beispiel schließen zwei auf einer Achse angeordnete elektromechanische Festkörperaktoren 3 die Kombina­ tion der beiden elastisch verformbaren Elemente 2 und 9 ein. Werden die beiden elektromechanischen Festkör­ peraktoren 3 in Phase verschoben betrieben, so tritt eine Verschiebung des zweiten elastisch verformbaren Elementes 9 und demzufolge auch eine Verschiebung der eigentlichen Antriebsachse auf, die sich gegebenen­ falls nachteilig auswirken kann.

Bei dem in der Darstellung in Fig. 7c) gezeigten Bei­ spiel werden jeweils zwei elektromechanische Festkör­ peraktoren 3 an den beiden Seiten der Kombination der beiden elastisch verformbaren Elemente 2 und 9 ange­ ordnet und die beiden an einer Seite angeordneten elektromechanischen Festkörperaktoren 3 mit unter­ schiedlicher Phase betrieben, so daß bei einer sol­ chen Anordnung und Betriebsweise keine Querbewegungen auftreten.

In der Fig. 8 ist die parallele Anordnung von drei erfindungsgemäßen Vorrichtungen, entsprechend dem in der Fig. 1 gezeigten Beispiel dargestellt. Diese bil­ den eine gemeinsame Aufnahme 21.

In der Fig. 9 ist ein Beispiel mit Luftkühlungsmög­ lichkeit dargestellt. Hierbei werden rohrförmige elektromechanische Festkörperaktoren 16 verwendet, wobei im rahmenförmigen Element 4 Durchbrechungen ausgebildet sind, die in Verbindung mit den Hohlräu­ men der elektromechanischen Festkörperaktoren 16 ste­ hen und durch die Luft zur Kühlung geführt werden kann. Dabei sind entsprechende Durchbrechungen auch im zweiten elastisch verformbaren Element 2 ausgebil­ det, so daß eine Zu- und Abfuhr von Kühlluft ohne weiteres erreicht werden kann.

In der Fig. 10 ist die kombinierte Verwendung eines Beispiels einer erfindungsgemäßen Vorrichtung mit einem Stützblock 18 dargestellt. Dabei kann der Stützblock wieder mit geeigneten Verbindungselemen­ ten, wie z. B. Schrauben anderweitig befestigt werden. Der Stützblock 18 ist bei diesem Beispiel mit dem im Inneren des ersten elastisch verformbaren Elementes 2 angeordneten elektromechanischen Festkörperaktoren 3 günstigerweise kraftschlüssig verbunden.

Claims (15)

1. Elektromechanische Vorrichtung zur Ausführung linearer Bewegungen mit mindestens einem eine axial wirkende Kraft ausübenden elektromechani­ schen Festkörperaktor und einem zumindest in bezug zur Achse, in der die Kraft des elektrome­ chanischen Festkörperaktors wirkt, elastisch verformbaren ersten Element, dadurch gekennzeichnet, daß am ersten elastisch verformbaren Element (2) ein zweites elastisch verformbares Element (9) an den orthogonal zur Achse, in der die Kraft des/der elektromechanischen Festkörperaktors/-aktoren (3, 16) wirkt, liegenden Seiten ausge­ bildet oder befestigt ist.

2. Elektromechanische Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß das erste elastisch verformbare Element (2) und der elektromechani­ sche Festkörperaktor (3) in einem rahmenförmigen Element (4) vorgespannt in einer Reihenanordnung an zwei sich gegenüberliegenden Seiten gehalten sind.

3. Elektromechanische Vorrichtung nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß im Inneren oder an den Außenseiten des ersten Elementes (2) minde­ stens zwei in einer Achse wirkende elektromecha­ nische Festkörperaktoren (3, 16) vorgespannt gehalten, angeordnet sind.

4. Elektromechanische Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß zwischen erstem Ele­ ment (2) und elektromechanischem Festkörperaktor (3, 16) jeweils eine Membranführung (7) angeord­ net ist.

5. Elektromechanische Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß bei im Inneren des ersten Elementes (2) angeordneten elektromecha­ nischen Festkörperaktoren (3, 16) ein Stützblock (18) mit der Vorrichtung verbunden ist.

6. Elektromechanische Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, daß am ersten und/oder zweiten Element (2, 9) ein Wegmeßsystem angeord­ net ist.

7. Elektromechanische Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 6, dadurch gekennzeichnet, daß das zweite Element (9) mit zwei parallelen Übersetzungselementen (10) ausgebildet und mit Verbindungsstegen (11) im Inneren oder außen an das erste Element (2) angreifend oder klammerförmig mit diesem verbun­ den ist.

8. Elektromechanische Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 7, dadurch gekennzeichnet, daß die Übersetzungsele­ mente (10) mit einem Stößel (13) verbunden sind.

9. Elektromechanische Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 8, dadurch gekennzeichnet, daß erstes und zweites Element (2, 9) form- und/oder kraftschlüssig und/oder durch Kleben, Schweißen oder Löten ver­ bunden sind.

10. Elektromechanische Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 9, dadurch gekennzeichnet, daß am zweiten Element (9) und/oder am Stößel (13) Dämpfungselemente (15) angeordnet sind.

11. Elektromechanische Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 10, dadurch gekennzeichnet, daß der/die elektrome­ chanische(n) Festkörperaktor(en) (3, 16) als rohrförmige Hohlkörper ausgebildet ist/sind und deren Hohlräume mit Durchbrechungen im rahmen­ förmigen Element (4) und/oder dem ersten oder zweiten Element (2, 9) zur Durchleitung von Kühlfluid verbunden sind.

12. Elektromechanische Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 11, dadurch gekennzeichnet, daß bei mindestens zwei verwendeten elektromechanischen Festkörperakto­ ren (3, 16) eine Phasensteuerung realisierbar ist.

13. Elektromechanische Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 12, dadurch gekennzeichnet, daß mehrere Vorrichtun­ gen in einer gemeinsamen Aufnahme (21) fixiert gehalten sind.

14. Elektromechanische Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 13, dadurch gekennzeichnet, daß am zweiten elastisch verformbaren Element ein Schneidwerkzeug befe­ stigt ist.

15. Verwendung einer Vorrichtung nach einem der An­ sprüche 1 bis 14 zur Gravur von Druckwalzen.