DE19748922A1

DE19748922A1 - Ceiling system for clean rooms

Info

Publication number: DE19748922A1
Application number: DE1997148922
Authority: DE
Inventors: Dietmar Dipl Ing Krieg
Original assignee: Mannesmann AG
Current assignee: Vodafone GmbH
Priority date: 1997-10-30
Filing date: 1997-10-30
Publication date: 1999-05-06
Also published as: WO1999023323A1; AU1661299A

Abstract

The invention relates to a ceiling system for cleanrooms (15) constructed of a plurality of joined grid-like profile bars (1) and module systems containing joint pieces (2), whereby the profile bars (1) and the joint pieces (2) each have two interspaced, stacked impermeable plane surfaces (18, 19). A connected cavity (23) is located between said plane surfaces. The cavity (23) is provided with at least one supply opening (3) for supplying particle-free intake air and is provided with at least one discharge opening (4) for the supplied intake air. The discharge opening (4) is connected to a suction blower (5) and the suction blower (5) is designed and operable in such a way that a low pressure can be constantly maintained in the cavity opposite the cleanroom.

Description

Die Erfindung betrifft ein Deckensystem für Reinräume, das aus einem eine Vielzahl rastermäßig zusammengefügter Profilleisten und Knotenstücke enthaltenden Modulsystem gebildet ist, wobei die Profilleisten und Knotenstücke jeweils zwei im Abstand übereinander angeordnete Dichtheitsebenen aufweisen, zwischen denen ein zusammenhängender Hohlraum besteht.The invention relates to a ceiling system for clean rooms, which consists of a variety grid-like assembled profile strips and knot pieces Module system is formed, the profile strips and node pieces each two in Have spaced superimposed levels of tightness, between which a contiguous cavity.

Aus der nicht vorveröffentlichten DE 197 09 823.1 ist ein gattungsgemäßes Modulsystem für Zwischendeckenkonstruktionen in Reinräumen bekannt. Der Inhalt dieser Schrift wird hiermit ausdrücklich in den Offenbarungsgehalt der Beschreibung der vorliegenden Erfindung einbezogen. Dieses Modulsystem beinhaltet Profilleisten, die in Einbaulage an ihrer Oberseite eine hinterschnittene Längsnut und unterhalb dieser einen an den Stirnseiten der Profilleisten offenen Kanal für die Einschraubung eines Verbindungsbolzens aufweist. Ferner beinhaltet dieses Modulsystem Knotenstücke zur stirnseitigen Verbindung von zwei oder mehr Profilleisten untereinander, wobei die Knotenstücke jeweils kastenförmig mit einer quadratischen Grundfläche ausgebildet sind, deren Kantenlänge der Breite des unteren Teils der Profilleisten entspricht. Die Seitenwände der Knotenstücke bestehen im oberen Teil aus in der Draufsicht U-förmigen Profilen und weisen längliche Ausnehmungen mit in Längsrichtung veränderlicher Breite auf. Durch diese Ausnehmungen kann jeweils das verdickte Ende eines Verbindungsbolzens einer Profilleiste eingeführt und in eine den Rand der Ausnehmung hintergreifende Befestigungsposition geschoben werden. Die Unterseite der Profilleisten und der Knotenstücke ist jeweils durch einen einstückig mit der Profilleiste bzw. dem Knotenstück verbundenen Boden oder aber mit einem gasdicht einsetzbaren Deckel verschlossen, so daß über die Profilleisten und Knotenstücke hinweg eine untere Dichtheitsebene gebildet ist. Die Profilleisten weisen im Abstand von der unteren Dichtheitsebene einen durchgehenden Zwischenboden auf, der eine obere Dichtheitsebene bildet. Ein entsprechender Zwischenboden ist auch in jedem der Knotenstücke vorgesehen, so daß auch dort eine obere Dichtheitsebene gewährleistet ist. Die Ausnehmung für die Einführung des verdickten Endes des Verbindungsbolzens ist oberhalb der oberen Dichtheitsebene angeordnet. Die Seitenwände der Knotenstücke sind zwischen der oberen und der unteren Dichtheitsebene jeweils mit einem Wanddurchbruch versehen. Auf diese Weise ist gewährleistet, daß in den Profilleisten und in den Knotenstücken ein insgesamt zusammenhängender Hohlraum zwischen den beiden Dichtheitsebenen gebildet wird.From the unpublished DE 197 09 823.1 is a generic Module system known for false ceiling constructions in cleanrooms. The content this document is hereby expressly included in the disclosure content of the description of the present invention. This modular system includes profile strips, which in the installed position has an undercut longitudinal groove on the top and below this one channel open for screwing in on the end faces of the profile strips a connecting bolt. This module system also includes Knot pieces for the frontal connection of two or more profile strips with each other, the knot pieces each box-shaped with a square Base area are formed, the edge length of the width of the lower part of the Profiles corresponds. The side walls of the knot pieces are in the upper part made of U-shaped profiles in plan view and have elongated recesses with in Longitudinal direction of variable width. Through these recesses can the thickened end of a connecting bolt of a profile bar inserted and into one the mounting position engaging behind the edge of the recess. The underside of the profile strips and the node pieces is each by a one piece with the profile strip or the node piece connected floor or closed with a gas-tight cover, so that over the profile strips and a lower level of tightness is formed across node pieces. The profile strips have a continuous distance from the lower sealing level Intermediate floor, which forms an upper level of tightness. A corresponding one Intermediate floor is also provided in each of the knot pieces, so that there too an upper level of tightness is guaranteed. The recess for the introduction of the thickened end of the connecting bolt is above the upper sealing level arranged. The side walls of the knot pieces are between the top and the provide a wall opening in the lower sealing level. To this This ensures that a in the profile strips and in the node pieces overall coherent cavity between the two tightness levels is formed.

Bereits geringe Überdrücke in einer Größenordnung von z. B. 10 bis 100 Pa zwischen dem durch ein entsprechendes Deckensystem gebildeten Zwischendeckenbereich und dem eigentlichen Reinraum führen bei eventuellen Leckagen des Deckensystems (z. B. infolge unzulänglich bei der Montage abgedichteter Deckendurchführungen für Kabel und ähnliches) ohne Vorwarnung zu Partikelemissionen im Reinraum. Eine solche Druckdifferenz von 100 Pa oder mehr ist besonders dann anzutreffen, wenn über dem Deckensystem ein Druckplenum aufgebaut ist, wie dies in Fig. 1 schematisch dargestellt ist. Dort sind in stirnseitiger Ansicht drei nebeneinander angeordnete Profilleisten 1 dargestellt, die jeweils mit einer Leuchtstoffröhre 9 zur Beleuchtung des darunterliegenden Reinraums ausgestattet sind. Der Boden, also die untere Dichtheitsebene der Profilleisten, ist daher in diesem Fall in Form einer gasdicht eingesetzten lichtdurchlässigen Glasabdeckung 10 gestaltet. Die Felder zwischen den Profilleisten 1 sind mit Filtereinheiten 8 ausgefüllt, die abgedichtet mit den Profilleisten 1 mechanisch verbunden sind. Über den Profilleisten 1 befindet sich eine Einhausung 11, in die von außen vorgereinigte Luft mit einem entsprechenden Überdruck eingeführt werden kann. Die Luftzuführung ist in Fig. 1 nicht dargestellt. Durch die Filtereinheiten 8 wird diese Luft zusätzlich gereinigt bevor sie in den darunterliegenden Reinraum ausströmen kann. Es liegt auf der Hand, daß unter solchen Bedingungen infolge des Überdrucks bei vorhandenen Leckagen ungewollt Partikel in den Reinraum gefördert werden können.Even small overpressures in the order of z. B. 10 to 100 Pa between the intermediate ceiling area formed by a corresponding ceiling system and the actual clean room lead to possible leakages of the ceiling system (e.g. due to inadequate sealing of the ceiling ducts for cables and the like) without warning to particle emissions in the clean room. Such a pressure difference of 100 Pa or more is found particularly when a pressure plenum is built up above the ceiling system, as is shown schematically in FIG. 1. There are three side-by-side profile strips 1 shown in front view, each of which is equipped with a fluorescent tube 9 for illuminating the clean room below. The bottom, that is to say the lower sealing level of the profiled strips, is therefore designed in this case in the form of a translucent glass cover 10 used in a gastight manner. The fields between the profile strips 1 are filled with filter units 8 , which are mechanically sealed to the profile strips 1 . Above the profile strips 1 there is a housing 11 into which air which has been pre-cleaned from the outside can be introduced with a corresponding excess pressure. The air supply is not shown in Fig. 1. This air is additionally cleaned by the filter units 8 before it can flow out into the underlying clean room. It is obvious that under such conditions, due to the excess pressure in the presence of leaks, unwanted particles can be conveyed into the clean room.

Aufgabe der vorliegenden Erfindung ist es, ein gattungsgemäßes Deckensystem für Reinräume dahingehend weiterzubilden, daß auch im Falle kleinerer Leckagen in dem System der Profilleisten und Knotenstücke (letztere sind in Fig. 1 nicht dargestellt) ein unzulässiges Eindringen von Partikeln in den Reinraum sicher vermieden wird. The object of the present invention is to develop a generic ceiling system for clean rooms in such a way that even in the event of minor leaks in the system of profile strips and node pieces (the latter are not shown in FIG. 1), an inadmissible penetration of particles into the clean room is reliably avoided.

Gelöst wird diese Aufgabe durch ein Deckensystem mit den im Anspruch 1 angegebenen Merkmalen. Vorteilhafte Weiterbildungen der Erfindung sind in den Unteransprüchen 2 bis 20 angegeben.This problem is solved by a ceiling system with the in claim 1 specified features. Advantageous developments of the invention are in the Subclaims 2 to 20 specified.

Der Kern der Erfindung ist in dem Gedanken zu sehen, daß der durchgehend zusammenhängende Hohlraum in den Profilleisten und Knotenstücken zwischen den beiden Dichtheitsebenen, der im störungsfreien Fall völlig von dem Reinraum abgeschottet sein müßte, ständig mit einem niedrigeren Druck versehen wird als der im Reinraum selbst herrschende Druck. Infolge dieser Druckdifferenz kann es nicht zu einer Überströmung von Luft aus diesem Zwischenraum in den Reinraum kommen, sondern die Luft kann nur umgekehrt aus dem Reinraum heraus in den Zwischenraum zwischen den beiden Dichtheitsebenen eindringen. Um dies zu erreichen, ist erfindungsgemäß vorgesehen, daß der Hohlraum zwischen den beiden Dichtheitsebenen mit mindestens einer Zufuhröffnung für die Zuführung von partikelfreier Zuluft und mindestens einer Abzugsöffnung für die zugeführte Zuluft versehen ist und daß die Abzugsöffnung an ein Sauggebläse angeschlossen ist, das derart ausgelegt und betreibbar ist, daß in dem Hohlraum gegenüber dem Reinraum stets der erforderliche Unterdruck aufrechterhaltbar ist. Zweckmäßigerweise wird das zusammenhängende System von Profilleisten und Knotenstücken je nach räumlicher Ausdehnung mit mehreren Zufuhr- und Abführöffnungen versehen. Die Zufuhröffnung für die gereinigte Zuluft kann in der oberen Dichtheitsebene oder auch in der Stirnseite einer Profilleiste oder eines Knotenstücks angeordnet sein. Bei einem stirnseitigen Anschluß bietet es sich als vorteilhaft an, entsprechende Übergangsstücke einzusetzen, die mit einem zylindrischen Rohrleitungsanschluß versehen sind und an die offene Stirnseite eines am Außenrand des Deckensystems liegenden Knotenstücks anschraubbar sind. Anstatt einen separaten Luftstrom durch die Profilleisten und Knotenstücke (z. B. im Sinne eines Umluftsystems) zu schicken, kann es auch zweckmäßig sein, hierzu einen Teil der Luft in dem Reinraum zu benutzen, der aus dem Reinraum abgesaugt wird. Hierzu kann die Zufuhröffnung als jeweils zum Reinraum offene Ansaugöffnung in der unteren Dichtheitsebene eines Knotenstücks angeordnet sein. Dabei empfiehlt es sich, die Ansaugöffnung in Form mehrerer nebeneinander angeordneter Bohrungen auszuführen. Besonders kostengünstig ist es, wenn die Bohrungen für die Ansaugöffnung jeweils in einem in das Knotenstück einsetzbaren Stopfen, also in einem separaten Bauteil angeordnet ist. Dieser Stopfen kann als untere Dichtheitsebene in das Knotenstück abdichtend eingeklemmt werden. Auf diese Weise kann bei einer bereits montierten Zwischendecke der Ort für die Ansaugöffnungen nachträglich noch beliebig verändert werden, ohne daß dies wesentlichen Aufwand erfordert. Die Abzugsöffnung bzw. -öffnungen werden zweckmäßig jeweils in der oberen Dichtheitsebene der Knotenstücke angeordnet. In entsprechender Weise wie bei der Zufuhröffnung kann selbstverständlich auch der Abzug der Luft aus den Profilleisten und Knotenstücken an der Stirnseite einer Profilleiste bzw. eines Knotenstücks erfolgen. Hierzu ist es wiederum zweckmäßig, die bereits erwähnten Zwischenstücke zu verwenden, die an ein Knotenstück abgedichtet anschraubbar sind und bereits einen zylindrischen Rohrleitungsanschluß aufweisen. Um auch bei ausgedehnten Deckensystemen mit einer Vielzahl von Abzugsöffnungen überall einen ausreichenden Unterdruck zu gewährleisten und gleichzeitig aber den Verrohrungsaufwand von der Abzugsöffnung zum Sauggebläse zu minimieren, empfiehlt es sich, mehrere Abzugsöffnungen über einen gemeinsamen Sammelkanal, der dann selbstverständlich einen entsprechend großen Querschnitt aufweist, an das Sauggebläse anzuschließen.The essence of the invention is to be seen in the idea that it is continuous contiguous cavity in the profile strips and nodes between the two levels of tightness, which in the fault-free case completely from the clean room should be sealed off, is constantly under a lower pressure than that pressure prevailing in the clean room itself. As a result of this pressure difference, it cannot an overflow of air from this space come into the clean room, but the air can only be reversed from the clean room into the Penetrate the space between the two levels of tightness. To do this achieve, it is provided according to the invention that the cavity between the two Tightness levels with at least one supply opening for the supply of particle-free supply air and at least one exhaust opening for the supplied supply air is provided and that the discharge opening is connected to a suction fan, the is designed and operable in such a way that in the cavity opposite the clean room the required vacuum can always be maintained. This is expediently contiguous system of profile strips and node pieces depending on the spatial Provide expansion with multiple feed and discharge openings. The feed opening for the cleaned supply air can be in the upper tightness level or in the Be arranged end face of a profile strip or a node piece. At a frontal connection, it is advantageous to provide appropriate To use transition pieces with a cylindrical pipe connection are provided and on the open end of one on the outer edge of the ceiling system lying node piece can be screwed. Instead of a separate air flow through to send the profile strips and node pieces (e.g. in the sense of a recirculation system), it may also be appropriate to do this by adding a portion of the air in the clean room use that is extracted from the clean room. For this purpose, the feed opening can be used as each suction opening open to the clean room in the lower tightness level of a Knot piece to be arranged. It is recommended to shape the intake opening several holes arranged side by side. Especially It is cost-effective if the holes for the suction opening are in one the plug insertable plug, so arranged in a separate component is. This stopper can seal into the node piece as the lower level of tightness be pinched. In this way, an already assembled one can False ceiling, the location for the suction openings can be changed later be without this requiring significant effort. The discharge opening or -Openings are expedient in each case in the upper level of tightness Knot pieces arranged. In the same way as for the feed opening of course, the extraction of air from the profile strips and knot pieces at the front of a profile strip or a node piece. This is it again useful to use the already mentioned intermediate pieces a node piece can be screwed on and sealed and already a cylindrical one Have pipe connection. To also with extensive ceiling systems sufficient suction pressure to a large number of discharge openings everywhere guarantee and at the same time the piping effort from the discharge opening to minimize the suction fan, it is advisable to use several exhaust openings a common collecting channel, which of course then corresponds accordingly has a large cross-section to connect to the suction fan.

Zweckmäßigerweise werden die Zufuhröffnungen und Abzugsöffnungen jeweils auf einander gegenüberliegenden Seiten des Deckensystems angeordnet. Dabei empfiehlt es sich, nur jedes zweite außen liegende Knotenstück mit einer Zufuhröffnung oder einer Abzugsöffnung zu versehen. Dadurch wird nämlich erreicht, daß die durch den Hohlraum zirkulierende Luft nicht auf dem kürzesten Wege geradlinig von der Zufuhröffnung durch die Profilleisten und ggf. dazwischenliegenden Knotenstücke zur gegenüberliegenden Abzugsöffnung strömen kann, sondern die zirkulierende Luft wird gezwungen, auch durch die quer zu dieser natürlichen Vorzugsrichtung liegenden Profilleisten zu strömen. Dies ist insbesondere dann der Fall, wenn in vorteilhafter Weiterbildung der Erfindung die Zufuhröffnungen und die Abzugsöffnungen versetzt zueinander angeordnet sind.The feed openings and discharge openings are expediently opened opposite sides of the ceiling system. Here it is recommended to use only every second outer node piece with a Supply opening or a discharge opening. This is because that the air circulating through the cavity is not by the shortest route straight from the feed opening through the profile strips and, if necessary, between them Knot pieces can flow to the opposite discharge opening, but the circulating air is forced through, even across this natural To flow in the preferred direction lying profile strips. This is particularly the case Case when in an advantageous development of the invention, the feed openings and the Discharge openings are arranged offset to one another.

Mit besonderem Vorteil sieht die Erfindung vor, daß in dem Hohlraum mindestens eine Meßsonde zur Druckmessung angeordnet wird, die regelungstechnisch mit dem Antrieb des Sauggebläses gekoppelt ist. Dadurch ist es möglich, auch bei Störeinflüssen einen stets ausreichenden Unterdruck aufrechtzuerhalten. Dies kann beispielsweise dann erforderlich sein, wenn örtlich die untere Dichtheitsebene an einer Profilleiste geöffnet wird, um etwa eine Leuchtstoffröhre auszutauschen. Trotz der durch eine solche Öffnung hervorgerufenen verstärkten Luftansaugung läßt sich durch eine entsprechende Erhöhung der Drehzahl des Sauggebläses in den übrigen Bereichen des Deckensystems ein ausreichender Unterdruck in dem Hohlraum zwischen den beiden Dichtheitsebenen gewährleisten. Ebenfalls sehr vorteilhaft ist es, wenn in dem Hohlraum oder in der Zuleitung zum Sauggebläse mindestens eine Meßeinrichtung zur Partikelmessung angeordnet ist. Wenn eine solche Meßeinrichtung einen unzulässigen Wert der Partikelbelastung detektiert, so ist dies ein Zeichen dafür, daß eine Leckage aufgetreten ist, also in unzulässiger Weise aus dem über dem Deckensystem befindlichen Raum Partikel in den Hohlraum eingedrungen sind. Daher kann eine entsprechende Leckage frühzeitig festgestellt werden, ohne daß diese Partikel in den Reinraum selbst gelangen und dort eventuell zu Störungen führen. Es empfiehlt sich, die Meßsonde zur Druckmessung und/oder die Meßeinrichtung zur Partikelmessung durch die obere Dichtheitsebene in den Hohlraum einzuführen und die Durchführstelle mittels einer Quetschverschraubung abzudichten. Dadurch wird auf einfache Weise eine sehr zuverlässige Dichtung erzielt.With particular advantage, the invention provides that at least in the cavity a measuring probe for pressure measurement is arranged, the control engineering with the Drive of the suction fan is coupled. This makes it possible to Maintaining sufficient negative pressure at all times. This can for example, be necessary if the lower tightness level is local a profile bar is opened, for example to replace a fluorescent tube. In spite of the increased air intake caused by such an opening can be by a corresponding increase in the speed of the suction fan in the rest Areas of the ceiling system have a sufficient negative pressure in the cavity between the two tightness levels. It is also very advantageous it if at least one in the cavity or in the feed line to the suction fan Measuring device for particle measurement is arranged. If such Measuring device detects an impermissible value of the particle load, this is the case a sign that a leak has occurred, i.e. in an inadmissible manner particles in the cavity above the ceiling system have penetrated. A corresponding leakage can therefore be identified at an early stage without these particles getting into the clean room itself and possibly there lead to malfunctions. It is recommended to use the measuring probe for pressure measurement and / or the measuring device for particle measurement through the upper tightness level in the Insert the cavity and the lead-through using a compression fitting to seal. This makes a very reliable seal in a simple manner achieved.

Je nach Ausdehnung des Deckensystems kann es zweckmäßig sein, den zusammenhängenden Hohlraum in den Profilleisten und Knotenstücken in mehrere Zonen aufzuteilen und die einzelnen Zonen separat an ein Sauggebläse anzuschließen, damit ein ausreichender Unterdruck sichergestellt ist. Die Abgrenzung der einzelnen Zonen kann auf einfache Weise dadurch erreicht werden, daß in die Verbindung zwischen den Profilleisten und Knotenstücken im Grenzbereich der jeweils gewünschten Zone einfache Flachdichtungen eingebaut werden, durch die der Hohlraum der Profilleiste jeweils vom Hohlraum des Knotenstücks abgeschottet wird. Es empfiehlt sich, die unter einem Druckplenum liegende Deckenfläche als eine solche separate Zone an ein Sauggebläse anzuschließen.Depending on the extent of the ceiling system, it may be appropriate contiguous cavity in the profile strips and node pieces in several Split zones and the individual zones separately to a suction fan to be connected so that a sufficient vacuum is ensured. The delimitation of the individual zones can be achieved in a simple manner in that Connection between the profile strips and node pieces in the border area of the Simple flat seals can be installed in each desired zone, through which the Cavity of the profile strip is sealed off from the cavity of the node piece. It is advisable to use the ceiling area under a plenum as one to connect such a separate zone to a suction fan.

Nachfolgend wird die Erfindung anhand der in der Figur dargestellten Ausführungsbeispiele näher erläutert. Es zeigen:The invention is described below with reference to the figure Exemplary embodiments explained in more detail. Show it:

Fig. 1 eine schematische Darstellung eines Druckplenums im Schnitt, Fig. 1 is a schematic representation of a pressure plenum in section,

Fig. 2 eine Draufsicht auf ein erfindungsgemäßes Deckensystem mit Druckplenum, Fig. 2 is a plan view of an inventive ceiling system with pressure plenum,

Fig. 3 eine Abwandlung des erfindungsgemäßen Deckensystems in Fig. 2, Fig. 3 shows a modification of the ceiling system according to the invention in Fig. 2,

Fig. 4 einen Querschnitt durch einen Reinraum mit erfindungsgemäßem Deckensystem und Umluftbetrieb und Fig. 4 shows a cross section through a clean room with ceiling system according to the invention and recirculation mode and

Fig. 5 einen Querschnitt durch ein Knotenstück mit Druckmeßeinrichtung. Fig. 5 shows a cross section through a node with pressure measuring device.

Das in Fig. 1 schematisch dargestellte Deckensystem mit einem darüber angeordneten Druckplenum wurde eingangs bereits erläutert, so daß hierauf nicht erneut eingegangen werden muß. Festzuhalten bleibt lediglich, daß infolge des in der Einhausung 11 herrschenden Überdrucks das Gefährdungspotential für das Eindringen von Partikeln in dem unter dem Deckensystem liegenden Reinraum zwangsläufig erheblich vergrößert wird. Dieser Nachteil wird durch ein erfindungsgemäßes Deckensystem, wie es in Fig. 2 in einer schematischen Draufsicht dargestellt ist, beseitigt. Auch in diesem Fall ist über dem Deckensystem ein Druckplenum 11 angeordnet. Die einzelnen zwischen den Profilleisten 1 rastermäßig entstandenen Felder sind, sofern keine Funktionseinheiten dort vorgesehen sind, mit Abdeckplatten luftdicht verschlossen. Um im Falle unzureichender Abdichtungen von Öffnungen (z. B. für Kabel oder Rohrleitungen) durch die beiden Dichtheitsebenen der Profilleisten 1 und Knotenstücke 2 dennoch ein Eindringen von Partikeln in den unter dem Deckensystem liegenden Reinraum sicher ausschließen zu können, wird erfindungsgemäß der zwischen den beiden Dichtungsebenen liegende Hohlraum gegenüber dem Druck des Reinraums mit Unterdruck versehen. Hierzu sind die Knotenstücke 2 an zwei einander gegenüberliegenden Rändern des Hohlraums mit Zufuhröffnungen 3 für die Einleitung von Zuluft bzw. mit Abzugsöffnungen 4 für die Ableitung dieser Zuluft versehen. Die einzelnen Hohlräume in den Profilleisten 1 und in den Knotenstücken 2 stehen alle miteinander in Verbindung, so daß sich ein zusammenhängender Hohlraum innerhalb des Profilleistensystems ergibt. Nach außen hin sind die außen liegenden Knotenstücke 2 stirnseitig jeweils mit einer Flachdichtung 12 verschlossen, so daß der Hohlraum nach außen abgeschottet ist. Die einzelnen Abzugsöffnungen 4 liegen jeweils einer entsprechenden Zuführöffnung 3 spiegelbildlich gegenüber. Damit in dem Profilleistensystem ein Unterdruck herrscht, sind die Abzugsöffnungen 4 an ein nicht dargestelltes Sauggebläse angeschlossen.The ceiling system shown schematically in FIG. 1 with a plenum of pressure arranged above it was already explained at the beginning, so that there is no need to go into this again. All that remains to be said is that, as a result of the overpressure prevailing in the housing 11 , the hazard potential for the penetration of particles in the clean room lying under the ceiling system is inevitably increased considerably. This disadvantage is eliminated by a ceiling system according to the invention, as shown in a schematic plan view in FIG. 2. In this case too, a pressure plenum 11 is arranged above the ceiling system. The individual fields created between the profile strips 1 are, if no functional units are provided, sealed airtight with cover plates. In order to be able to reliably rule out the penetration of particles into the clean room under the ceiling system in the event of inadequate sealing of openings (e.g. for cables or pipelines) through the two tightness levels of the profile strips 1 and node pieces 2 , according to the invention, that between the two Provide the cavity lying on the sealing levels with negative pressure compared to the pressure of the clean room. For this purpose, the node pieces 2 are provided on two mutually opposite edges of the cavity with supply openings 3 for the introduction of supply air or with extraction openings 4 for the discharge of this supply air. The individual cavities in the profile strips 1 and in the node pieces 2 are all connected to one another, so that there is a coherent cavity within the profile strip system. To the outside, the outer node pieces 2 are each closed at the end with a flat seal 12 , so that the cavity is sealed off from the outside. The individual discharge openings 4 are each mirror images of a corresponding feed opening 3 . So that there is a negative pressure in the profile strip system, the discharge openings 4 are connected to a suction fan (not shown).

In Fig. 3 ist eine Abwandlung der erfindungsgemäßen Lösung von Fig. 2 dargestellt. Diese unterscheidet sich lediglich dadurch, daß im Randbereich des Reinraums wechselweise nur jedes zweite Knotenstück 2 mit einer Zufuhröffnung 3 bzw. Abzugsöffnung 4 versehen ist. Auf diese Weise kann eine Verbesserung in der Durchströmung des Profilleistensystems erreicht werden. Während die durch die Zufuhröffnungen 3 in Fig. 2 zugeführte Zuluft bevorzugt unmittelbar geradlinig zur gegenüberliegenden Abzugsöffnung 4 strömt, muß die gemäß Fig. 3 zugeführte Zuluft auf jeden Fall auch durch die quer zur allgemeinen Strömungsrichtung der Zuluft verlaufenden Profilleisten 1 strömen, damit sie zur jeweiligen versetzt angeordneten Abzugsöffnung 4 gelangen kann. Selbstverständlich ist es auch möglich, wenngleich auch nicht bevorzugt die Zuführung bzw. den Abzug der Zuluft unmittelbar an der Oberseite der einzelnen Profilleisten 1 vorzunehmen. Vorteilhaft kann es jedoch sein, anstelle der externen Zufuhr gereinigter Zuluft eine entsprechende Absaugung von Reinluft aus dem Reinraum in den Hohlraum des Profilleistensystems vorzunehmen. Hierzu werden die Profilleisten 1 oder vorzugsweise die Knotenstücke 2 mit entsprechenden Absaugöffnungen versehen, die als Zufuhröffnungen 3 fungieren. In diesem Fall muß also lediglich eine Absaugleitung zum Sauggebläse installiert werden. FIG. 3 shows a modification of the solution according to the invention from FIG. 2. This differs only in that in the edge area of the clean room only every other node piece 2 is alternately provided with a feed opening 3 or discharge opening 4 . In this way, an improvement in the flow through the profile strip system can be achieved. While the supply air supplied through the supply openings 3 in FIG. 2 preferably flows in a straight line to the opposite exhaust opening 4 , the supply air supplied according to FIG. 3 must in any case also flow through the profile strips 1 which run transversely to the general flow direction of the supply air so that they reach the respective one staggered discharge opening 4 can reach. Of course, it is also possible, although not preferred, to supply or withdraw the supply air directly at the top of the individual profiled strips 1 . However, it can be advantageous to perform an appropriate extraction of clean air from the clean room into the cavity of the profile strip system instead of the external supply of cleaned supply air. For this purpose, the profile strips 1 or preferably the node pieces 2 are provided with corresponding suction openings, which act as feed openings 3 . In this case, only a suction line to the suction fan needs to be installed.

Fig. 4 zeigt wiederum in einer schematischen Darstellung einen Reinraum 15 mit einem darüber angeordneten erfindungsgemäßen Deckensystem mit Profilleisten 1 und Knotenstücken 2 im Schnitt. Durch Pfeile ist der Strömungsweg der durch den Hohlraum der Profilleisten 1 und Knotenstücke 2 geführten Zuluft angedeutet. Für die Absaugung und Zuführung der Zuluft ist ein über dem Deckensystem angeordnetes Sauggebläse 5 vorgesehen, dem zur Reinigung der im Umluftverfahren geführten Zuluft Filtereinheiten 13 und 14 nachgeschaltet sind. Im Unterschied zu dem in Fig. 2 und Fig. 3 dargestellten Deckensystem erfolgt hierbei die Zuführung und Abführung der umgewälzten Zuluft nicht durch die obere oder untere Dichtheitsebene der am Rand des Reinraums liegenden Knotenstücke 2, sondern durch stirnseitig an die außen liegenden Knotenstücke 2 angeschraubte Übergangsstücke 7, die jeweils mit einem zylindrischen Anschlußstutzen für den Anschluß der Verbindungsleitungen mit dem Sauggebläse 5 geeignet sind. Um den Verrohrungsaufwand für die Leitungsverbindungen zwischen dem Sauggebläse 5 und den einzelnen Anschlußstücken 7 zu minimieren, ist sowohl auf der Absaugseite wie auch auf der Zuführungsseite jeweils ein Sammelkanal 6 vorgesehen, von dem aus eine einzige Leitung jeweils zum Sauggebläse 5 führt und von dem einzelne Leitungen zu den Übergangsstücken 7 geführt sind. Dieser Sammelkanal 6 hat jeweils einen wesentlich größeren Querschnitt als die Zuführungsleitung zu dem einzelnen Übergangsstück 7. Fig. 4 again shows a schematic representation of a clean room 15 with a ceiling system according to the invention arranged above with profile strips 1 and node pieces 2 in section. The flow path of the supply air led through the cavity of the profiled strips 1 and node pieces 2 is indicated by arrows. For the extraction and supply of the supply air, a suction blower 5 is provided above the ceiling system, which is followed by filter units 13 and 14 for cleaning the supply air guided in the recirculating air process. In contrast to the ceiling system shown in Fig. 2 and Fig. 3, the supply and discharge of the circulated supply air does not take place through the upper or lower sealing level of the node pieces 2 located at the edge of the clean room, but through transition pieces screwed on the end face to the outer node pieces 2 7 , which are each suitable with a cylindrical connecting piece for connecting the connecting lines to the suction fan 5 . In order to minimize the piping effort for the line connections between the suction fan 5 and the individual connecting pieces 7 , a collecting duct 6 is provided both on the suction side and on the supply side, from which a single line leads to the suction fan 5 and from which individual lines are led to the transition pieces 7 . This collecting duct 6 each has a substantially larger cross section than the feed line to the individual transition piece 7 .

Auf diese Weise ist sichergestellt, daß die Druckverhältnisse in dem einzelnen Zuführungsleitungen etwa gleich sind. Zur Erleichterung des stirnseitigen Anschlusses der Zu- und Abführungsleitungen kragt das erfindungsgemäße Deckensystem über die seitlichen Wände des Reinraums 15 hinaus. Die Anschlußstellen sind jedoch in den benachbarten Räumen nicht sichtbar, da sie durch abgehängte Decken 16 verdeckt werden.This ensures that the pressure conditions in the individual supply lines are approximately the same. To facilitate the frontal connection of the supply and discharge lines, the ceiling system according to the invention protrudes beyond the side walls of the clean room 15 . However, the connection points are not visible in the adjacent rooms, since they are covered by suspended ceilings 16 .

In Fig. 5 ist in schematischer Darstellung ein Schnittbild eines Knotenstücks 2 wiedergegeben. Man erkennt hier den Hohlraum 23 zwischen der oberen Dichtheitsebene 18 und der unteren Dichtheitsebene 19. Die untere Dichtheitsebene 19 kann entweder wie im dargestellten Fall einstückig mit dem Knotenstück 2 ausgeführt oder aber auch als separates Bauteil im Sinne eines luftdicht einklemmbaren Deckels ausgebildet sein. Letzteres empfiehlt sich insbesondere dann, wenn das Knotenstück 2 mit einer Ansaugöffnung für die Einleitung der Zuluft unmittelbar aus dem Reinraum ausgestattet werden soll. Durch Öffnungen 24 ist der Hohlraum 23 mit den entsprechenden Hohlräumen der an das Knotenstück 2 sich anschließenden (nicht dargestellten) Profilleisten verbunden. In vorteilhafter Weiterbildung der Erfindung weist das dargestellte Knotenstück 2 eine Meßsonde 17 zur Druckmessung (z. B. ein Staurohr) innerhalb des Hohlraums 23 auf. Um den über der oberen Dichtheitsebene 18 liegenden Raum luftdicht gegenüber dem Hohlraum 23 abzuschließen, ist die Durchführstelle für die Meßsonde 17 mittels einer Quetschverschraubung abgedichtet. Diese Quetschverschraubung besteht im wesentlichen aus einem unteren Verschraubungsteil 21, das über eine Flachdichtung 20 und ein entsprechendes Gewinde in den die obere Dichtheitsebene 18 bildenden Zwischenboden des Knotenstücks 2 eingeschraubt ist. Durch ein oberes Verschraubungsteil 22 der Quetschverschraubung wird mittels eines konisch verlaufenden Gewindes eine dichte Anlage des unteren Teils an den zylindrischen Teil der Meßsonde 17 erreicht. Derartige Quetschverschraubungen aus Kunststoff sind beispielsweise als Kabelverschraubungen bekannt. Selbstverständlich können auch andere Dichtungssysteme verwendet werden. In gleicher Weise wie die Druckmeßsonde 17 könnte auch eine Meßeinrichtung zur Partikelmessung in dem Hohlraum 23 durch das Knotenstück 2 geführt sein. Beide Meßeinrichtungen bringen wesentliche Vorteile für den Betrieb des erfindungsgemäßen Deckensystems mit sich. Wenn die Druckmeßsonde 17 regelungstechnisch mit dem Antrieb des Sauggebläses 5 gekoppelt wird, kann eine sichere Aufrechterhaltung des erforderlichen Unterdrucks im Hohlraum 23 gewährleistet werden, auch wenn der Hohlraum 23 beispielsweise zu Reparaturzwecken (z. B. Auswechseln einer Leuchtstoffröhre) zeitweilig geöffnet wird. Durch eine Partikelmessung im Hohlraum 23 kann darüber hinaus frühzeitig festgestellt werden, ob das aus Profilleisten 1 und Knotenstücken 2 gebildete System Undichtigkeitsstellen aufweist. Durch die fortwährende Absaugung von Zuluft aus dem Hohlraum 23 führen derartige Undichtigkeiten aber im Regelfall nicht zu einem Eindringen von Partikeln in den unter dem Deckensystem liegenden Reinraum. Eine Beseitigung etwaiger Undichtigkeiten kann daher auf einen geeigneten Zeitpunkt verschoben werden, zu dem ein Eindringen von Partikeln in den Reinraum nicht zu Produktionsstörungen führt.In Fig. 5 a schematic representation of a sectional view of the knot 2 is reproduced. Here you can see the cavity 23 between the upper tightness level 18 and the lower tightness level 19 . The lower sealing level 19 can either be made in one piece with the knot piece 2 as in the case shown, or it can also be designed as a separate component in the sense of an airtight clampable cover. The latter is particularly recommended if the node piece 2 is to be equipped with a suction opening for introducing the supply air directly from the clean room. Through openings 24 , the cavity 23 is connected to the corresponding cavities of the profile strips (not shown) adjoining the node piece 2 . In an advantageous development of the invention, the node piece 2 shown has a measuring probe 17 for pressure measurement (for example a pitot tube) within the cavity 23 . In order to seal off the space lying above the upper sealing level 18 in an airtight manner with respect to the cavity 23 , the passage point for the measuring probe 17 is sealed by means of a compression fitting. This compression fitting essentially consists of a lower screw part 21 , which is screwed via a flat seal 20 and a corresponding thread into the intermediate floor of the node piece 2 forming the upper sealing level 18 . Through an upper screw part 22 of the compression fitting, a tight contact of the lower part against the cylindrical part of the measuring probe 17 is achieved by means of a conical thread. Such compression fittings made of plastic are known, for example, as cable fittings. Of course, other sealing systems can also be used. In the same way as the pressure measuring probe 17 , a measuring device for particle measurement in the cavity 23 could also be guided through the node piece 2 . Both measuring devices have significant advantages for the operation of the ceiling system according to the invention. If the pressure measuring probe 17 is coupled with the drive of the suction blower 5 in terms of control technology, a reliable maintenance of the required negative pressure in the cavity 23 can be ensured, even if the cavity 23 is temporarily opened, for example for repair purposes (e.g. replacing a fluorescent tube). A particle measurement in the cavity 23 can also be used to determine at an early stage whether the system formed from profile strips 1 and node pieces 2 has leakage points. As a result of the continuous suction of supply air from the cavity 23 , such leaks generally do not lead to the penetration of particles into the clean room located under the ceiling system. Elimination of any leaks can therefore be postponed to a suitable point in time at which penetration of particles into the clean room does not lead to production disruptions.

Bei flächenmäßig sehr ausgedehnten Reinräumen empfiehlt es sich, das erfindungsgemäß eingesetzte System zur Erzeugung des Unterdrucks jeweils auf bestimmte Zonen des Deckensystems zu beschränken, d. h. die Gesamtfläche des Deckensystems wird in einzelne voneinander getrennte Zonen aufgeteilt, die jeweils für sich einen separaten Hohlraum aufweisen, der an ein Sauggebläse zur Unterdruckerzeugung angeschlossen wird. Die Abschottung der einzelnen Zonen kann im Bereich der Knotenstücke mittels Flachdichtungen 12 vorgenommen werden, wie sie in den Fig. 2 und 3 angedeutet sind. Bei sehr ausgedehnten Deckensystemen wäre es nämlich sonst wegen des unvermeidlichen Druckabfalls schwierig, einen ausreichenden Unterdruck in allen Bereichen zu gewährleisten. Im allgemeinen ist es ausreichend, wenn der Differenzdruck zwischen dem Reinraum und dem Hohlraum des Deckensystems in einer Größenordnung von etwa 50 bis 100 Pa liegt.In the case of clean rooms which are very extensive in terms of area, it is advisable to limit the system used in accordance with the invention for generating the negative pressure to certain zones of the ceiling system, ie the total area of the ceiling system is divided into individual zones which each have a separate cavity which is separate a suction fan is connected to generate negative pressure. The individual zones can be partitioned off in the area of the node pieces by means of flat seals 12 , as indicated in FIGS. 2 and 3. With very extensive ceiling systems, it would otherwise be difficult to ensure sufficient vacuum in all areas due to the inevitable drop in pressure. In general, it is sufficient if the differential pressure between the clean room and the cavity of the ceiling system is of the order of about 50 to 100 Pa.

Durch die erfindungsgemäße Durchleitung von Zuluft durch den Hohlraum des Deckensystems wird neben der besseren Absicherung der Partikelfreiheit vorteilhafterweise auch noch eine bessere Ableitung der Wärme sichergestellt, die durch die in den Profilleisten 1 installierten Lampen 9 freigesetzt wird. Dadurch ist es möglich, Lampen mit erhöhter Leistung zu verwenden und diese Lampen auch näher an die deckenbündige Abschlußscheibe der Profilleisten heranzuführen, ohne daß thermische Probleme in der Scheibe entstehen. Daher können auch anstelle üblicher Glasscheiben beispielsweise Plexiglasscheiben verwendet werden.Through the passage of supply air through the cavity of the ceiling system according to the invention, in addition to better securing the absence of particles, advantageously also better dissipation of the heat is ensured, which is released by the lamps 9 installed in the profile strips 1 . This makes it possible to use lamps with increased output and to bring these lamps closer to the flush-fitting cover plate of the profile strips without thermal problems occurring in the plate. Therefore, plexiglass panes can be used instead of conventional glass panes.

Claims

1. Ceiling system for clean rooms (15), formed of a a plurality of a grid pattern of assembled profile strips (1) and node elements (2) containing module system, wherein the profiled strips (1) and node elements (2) each two mutually spaced-tightness levels (18, 19 ), between which there is a coherent cavity ( 23 ), characterized in that
that the cavity ( 23 ) is provided with at least one supply opening ( 3 ) for supplying particle-free supply air and with at least one discharge opening ( 4 ) for the supplied supply air,
that the discharge opening ( 4 ) is connected to a suction fan ( 5 ) and
that the suction fan ( 5 ) is designed and operable in such a way that a vacuum can always be maintained in the cavity relative to the clean room.

2. Ceiling system according to claim 1, characterized in that a plurality of supply and discharge openings ( 3 , 4 ) are provided.

3. Ceiling system according to one of claims 1 to 2, characterized in that the feed opening ( 3 ) is arranged in each case in the upper sealing level ( 18 ) of a node piece ( 2 ).

4. Ceiling system according to one of claims 1 to 2, characterized in that the supply opening ( 3 ) is arranged as a suction opening open to the clean room in the lower sealing plane ( 19 ) of a node piece ( 2 ).

5. Ceiling system according to one of claims 1 to 2, characterized in that the feed opening ( 3 ) is in each case in the end face of a profile strip ( 1 ) or a node piece ( 2 ).

6. Ceiling system according to one of claims 1 to 5, characterized in that the discharge opening ( 4 ) in each case in the upper sealing level ( 18 ) of a node piece ( 2 ) is arranged.

7. Ceiling system according to one of claims 1 to 5, characterized in that the discharge opening ( 4 ) is in each case in the end face of a profile strip ( 1 ) or a node piece ( 2 ).

8. Ceiling system according to claim 4, characterized in that the feed opening ( 3 ), which is designed as a suction opening, consists of a plurality of bores arranged next to one another.

9. Ceiling system according to claim 8, characterized in that the bores are each arranged in a separate component (stopper) which is sealingly clamped as a lower sealing level ( 19 ) in a node piece ( 2 ).

10. ceiling system according to one of claims 8 to 9, characterized, that the suction opening is closed with an air-permeable fabric.

11. Ceiling system according to one of claims 2 to 10, characterized in that a plurality of discharge openings ( 4 ) are connected to the suction fan ( 5 ) via a common collecting duct ( 6 ).

12. Ceiling system according to claim 5 and 7, characterized in that the feed opening ( 3 ) and / or the discharge opening ( 4 ) is formed in each case by a transition piece ( 7 ) provided with a cylindrical pipe connection, which on the open end face of one on the outer edge of the Ceiling system lying node piece ( 2 ) is screwed.

13. Ceiling system according to claim 12, characterized in that the feed openings ( 3 ) and the discharge openings ( 4 ) are each arranged on opposite sides of the ceiling system.

14. Ceiling system according to one of claims 12 to 13, characterized in that only every second outer node piece ( 2 ) is provided with a feed ( 3 ) or extraction opening ( 4 ).

15. Ceiling system according to claim 14, characterized in that the feed openings ( 3 ) and the discharge openings ( 4 ) are arranged offset to one another.

16. Ceiling system according to one of claims 1 to 15, characterized in that in the cavity ( 23 ) at least one measuring probe ( 17 ) is arranged for pressure measurement, which is coupled in terms of control technology to the drive of the suction fan ( 5 ).

17. Ceiling system according to one of claims 1 to 16, characterized in that at least one measuring device for particle measurement is arranged in the cavity ( 23 ) or in the feed line to the suction fan ( 5 ).

18. Ceiling system according to claim 16 or 17, characterized in that the measuring probe ( 17 ) for pressure measurement or the measuring device for particle measurement is guided through the upper sealing level into the cavity ( 23 ) and the passage point by means of a compression fitting ( 20 , 21 , 22 ) is sealed.

19. Ceiling system according to one of claims 1 to 18, characterized in that in a large-area ceiling, the cavity ( 23 ) by in the area of individual node pieces ( 2 ) built-in seals ( 12 ) is divided into several separate zones, which are separate to a suction fan ( 5 ) are connected.

20. Ceiling system according to claim 19, characterized in that the ceiling surface lying under a pressure plenum is connected as a separate zone to a suction fan ( 5 ).