DE19730741C1 - Verfahren zur Herstellung von Leichtbauteilen und ein solches Bauteil für den Einsatz im Weltraum - Google Patents

Description

Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Herstellung von Leichtbauteilen und die Bauteile an sich für den Einsatz im Weltraum. Dabei können solche Bauteile Reflektoren, Antennen, Sendehörner, Teleskopstruktu­ ren, optische Bänke, Triebwerkskomponenten, thermi­ sche Isolatoren aber auch andere denkbare Formen sein.

Bauteile, die im Weltraum eingesetzt werden sollen, erfordern zum Teil extreme Eigenschaften, die unter normalen Bedingungen in der Regel nicht erforderlich sind. Dabei spielt insbesondere eine relativ geringe Masse bei gleichzeitig hoher Steifig- und Festigkeit eine große Rolle, da kleine Massenträgheitsmomente gewünscht sind. Insbesondere Bauteile, die als opti­ sche Komponenten Verwendung finden sollen, sollten thermisch und elektrisch leitfähig sein. Der hierfür verwendete Werkstoff soll Möglichkeiten eröffnen, um Öberflächengüten mit sehr geringer Rauhigkeit zu er­ möglichen, um darauf reflektierende Schichten mit ho­ hem Reflektionsgrad aufbringen zu können. Außerdem müssen die verwendeten Werkstoffe eine niedrige ther­ mische Ausdehnung bei gleichzeitig relativ hoher Wär­ meleitfähigkeit, gute Termperaturwechsel- und Thermo­ schockbeständigkeit aufweisen.

Die reflektierenden Flächen solcher optischen Kompo­ nenten dienen der geordneten Weiterleitung von Strah­ len durch Brechung oder Reflextion. Da bei solchen reflektierenden Bauteilen oder solchen Schichten kei­ ne 100%-ige Reflexion erreicht werden kann, wird der übrige Strahlungsanteil an der Oberfläche absorbiert und führt zur lokalen Erwärmung. Durch die entspre­ chende Erwärmung und Wärmeausdehnung treten lokale Verformungen auf, die eine Verschlechterung der opti­ schen Eigenschaften bewirken.

Die reflektierenden Schichten werden in bekannter Form durch Aufdampfen im Hochvakuum oder andere che­ mische Verfahren aufgebracht. Für die Beschichtung kommen verschiedene Metalle oder Metalloxide, wie z. B. Chrom, Nickel, Silber, Quecksilber, Gold, Pla­ tin, Rhodium, Siliziummonoxid und Siliziumdioxid zur Anwendung. Dabei können auch mehrere dieser Elemente und Oxide einen Mehrschichtaufbau bilden, wobei z. B. die Oxide als Schutzschichten für eine darunter lie­ gende Metallschicht eingesetzt werden können.

Aus den obengenannten hohen Anforderungen an die Ei­ genschaften für Bauteile, die im Weltraum eingesetzt werden sollen, kann ohne weiteres darauf geschlossen werden, daß metallische Bauteile diese nicht erfüllen können, so daß im Zuge der weiteren Entwicklung suk­ zessive auf metallische Bauteile für solche Einsätze verzichtet worden ist.

So ist es bekannt, Spiegel aus Glaskeramik herzu­ stellen. Hierfür werden verschiedene Oxide (z. B. LiO₂, Al₂O₃, MgO, ZnO und P₂O₅) in Platinöfen geschmol­ zen und nach Sturzabkühlung und Entformung wird eine kontrollierte Temperung bei 700°C durchgeführt. Da­ bei erfolgt eine Kristallisation des Glases zu Glas­ keramik. Eine so hergestellte Glaskeramik hat einen relativ geringen thermischen Ausdehnungskoeffizienten von 0,15 × 10^-6K^-1 in einem Temperaturbereich zwischen 273 K-323 K. Nachteilig ist es, daß ein solcher Werkstoff eine relativ geringe Festigkeit und sprödes Bruchverhalten aufweist. Außerdem können nicht alle beliebigen Formen ohne weiteres hergestellt werden.

Bei mechanischer Belastung kann es zum plastischen Fließen kommen, so daß auch eine Langzeitformstabili­ tät unter solchen Bedingungen nicht gesichert ist. Außerdem ist der Einsatz auf Temperaturen bis maximal 423 K begrenzt und da die Glaskeramik im Temperatur­ bereich zwischen 200 und 300 K sowie im Bereich zwi­ schen 360 bis 480 K einer Spannungshysterese unter­ liegt ist sie nur für Einsatzgebiete mit relativ ho­ her Temperaturkonstanz geeignet, die im Weltraum je­ doch nicht gegeben ist. Weiter ist zu beachten, daß das Gefüge bei Temperaturen oberhalb 700 K irrever­ sibel geschädigt wird.

Daneben ist es bekannt, optische Komponenten aus Werkstoffen auf Quarzbasis einzusetzen, deren Wärme­ ausdehnungskoeffizienten im Bereich zwischen 0 und 273 K beinahe bei 0 liegen und bei Temperaturen bis 373 K der Wärmeausdehnungskoeffizient lediglich auf 5,1 × 10^-6K^-1 ansteigt. Diese Werkstoffe haben jedoch eine geringe Festigkeit (< 50 MPa), eine geringe Steifigkeit und kriechen ebenfalls unter Last. Dabei geht mit dem hohen Fertigungsaufwand auch der Kosten­ faktor nach oben und es können wegen des komplexen Herstellungsverfahrens nur relativ kleine Durchmesser bis zu 500 mm hergestellt werden (W. Englisch, R. Takke: "Reflectiv Optics II", SPIE Conference, Vol. 1113, Page 190 bis 194).

Da Beryllium bekanntermaßen sehr gute mechanische und thermische Eigenschaften und eine relativ geringe Dichte von 1,85 g/cm³ aufweist, ist es auch für die Herstellung von leichten Bauteilen verwendet worden. Nachteil dieses Materials ist der hohe Rohstoffpreis und die sehr hohen Herstellungskosten (heiß-isostati­ sches Pressen) und das starke toxische Verhalten von Beryllium (Naumann & Schröder: "Bauelemente der Op­ tik", 5. Auflage, Seite 64, Hanser Verlag, 1992; P. R. Yoder; Jr.: "Opto-meccchanical System Design", Marcel Decker Inc., New Jork, 1992).

Die auch in anderen Gebieten der Technik für den Leichtbau verwendeten kunstharzgebundenen Verbundma­ terialien können in verschiedenen Laminatschichten in Kombination mit Zellkern oder Wabenschichten verwen­ det werden. Als Materialien können kunstharzgetränkte Gewebe aus Papier, Kunststoff, Glas, Kohlenstoffasern oder Polyamid eingesetzt werden. Solche Verbundmate­ rialien aus faserverstärkten Kunststoffen sind jedoch auf die Verwendung bei Raumtemperaturen beschränkt. Die starke Anisotropie der Kohlenstoffasern führt unter Berücksichtigung von Wärmeausdehnung und Wärme­ leitfähigkeit bei Temperaturwechselbeanspruchungen zu thermisch induzierten Spannungen in der gerichteten Laminatstruktur, so daß ebenfalls die unerwünschten Oberflächenverformungen auftreten. Weitere Nachteile solcher Werkstoffe sind die relativ geringe Langzeit­ beständigkeit und durch Wasseraufnahme bzw. Abgabe hervorgerufene Alterungseffekte (U. Pappenburg, M. Deyerler, B. Kunkel: "Optomechanische Leichtgewichts­ strukturen aus kurzfaserverstärkter Keramik (C/SiC)", Festigkeitsseminar "Keramische (Verbund) Werkstoffe", Wien, 29.09.1994).

Aus DE 41 36 880 C2 ist es bekannt, Leichtbau-Spie­ gelstrukturen unter Verwendung von kurzfaserverstärk­ ter Keramik (C/SiC) herzustellen. Dabei werden Koh­ lenstoff-Kurzfasern zu so großformatigen carbonisier­ ten C/C-Strukturen mit isotroper Kurzfaserverstärkung durch Verkokung im Vakuum bei 1000°C erhalten. Im Anschluß daran wird eine Graphitierung, ebenfalls im Vakuum bei Temperaturen unterhalb 2100°C durchge­ führt. Die so erhaltenen C/C-Hartfilzrohteile müssen danach mechanisch aufwendig durch Fräsen bearbeitet werden. Nach Ausbildung einer entsprechenden Kontur wird eine Siliziuminfiltration und SiC-Konvertierung im Vakuum bei Temperaturen von ca. 1600°C durchge­ führt. Nach einer entsprechenden mechanischen Bear­ beitung, kann die geglättete Oberfläche mit einer reflektierenden Schicht versehen werden. Wie sich ohne weiteres aus der relativ hohen Anzahl einzelner Verfahrensschritte erkennen läßt, ist der Herstel­ lungsaufwand beträchtlich und ein so hergestellter Spiegel bedingt eine gesamte Herstellungsdauer von mindestens einem Monat.

Desweiteren ist es bekannt, Spiegelstrukturen auf der Basis von Siliziumcarbid in einer Schlickerguß-Tech­ nik herzustellen. Dabei wird eine SiC-Pulversuspen­ sion in eine Negativform gefüllt, der so erhaltene Rohling nach der Trocknung im Vakuum oder Schutzgas­ ofen bei Temperaturen bis zu 2200°C gesintert. Für den Fachmann liegt es auf der Hand, daß mit dieser Technologie nur eine begrenzte Formenvielfalt bei kleinen Geometrien herstellbar ist. Weitere Probleme ergeben sich auch durch die relativ große Schwindung der SiC-Formkörper nach Trocknung und Sinterung, so daß eine aufwendige Nachbearbeitung zur Sicherung der geforderten Maßhaltigkeit erforderlich wird. Durch chemische Gasphasenabscheidung ist der Auftrag einer Schicht aus SiC erforderlich, um die bei optischen Strukturen erforderlichen geringen Rauhtiefen zu er­ reichen. So hergestellte Bauteile haben eine relativ hohe Dichte von 3,2 g/cm³, die außerdem ein sprödes Bruchverhalten aufweisen. Für die Herstellung sind mindestens zwei Monate erforderlich, so daß auch der Kostenfaktor gegen die Verwendung dieser Werkstoffe bei dieser Technologie spricht.

Neben anderen ist beispielsweise aus US 4,863,538 und 5,182,170 ein sogenanntes selektives Lasersinterver­ fahren zur Herstellung von Formkörpern aus Keramikma­ terial bekannt. Dabei wird ein Keramikausgangspulver mit einer Polymerbeschichtung versehen, die als Bin­ demittel dient. Dabei ist es insbesondere nachteilig, daß ein hoher Anteil an Bindemittel erforderlich ist, der im Nachgang aufwendig aus dem porösen Grünkörper entfernt werden muß und der poröse Grünkörper außer­ dem noch dicht gesintert werden muß (US 5,342,919).

Desweiteren ist von U. Papenburg in "Optomechanische Leichtgewichtstrukturen aus kurzfaserverstärkter Ke­ ramik"; Festigkeitsseminar "Keramische (Verbund) Werkstoffe"; Wien; 29.09.1994; Seiten 93, 103, 111 und 112 bekannt, Bauteile mit hoher Steifigkeit, thermischer Stabilität und mechanischer Genauigkeit für Spiegel, Reflektoren, Antennen, Großteleskope, optische Bänke für die Raumfahrt unter Verwendung keramischer Faserverbundwerkstoffe herzustellen. Da­ bei soll so verfahren werden, daß ein Grünkörper aus vorverarbeiteten Kohlenstoff-Fasern unter Verwendung eines wärmehärtbaren Bindemittels auf herkömmliche Art und Weise geformt, die im Bindemittel enthaltenen Lösungsmittel, bei erhöhten Temperaturen entfernt und so ein entsprechend geformter CFK-Vollkörper als C/C- Vollkörper erhalten wird.

Dieser poröse kurzfaserverstärkte C/C-Vollkörper wird bei Temperaturen bis maximal 1900°C einer Silizium­ infiltration unterzogen, wobei sich reaktiv SiC bil­ det und das fertige Bauteil ein keramisiertes C/SiC- Bauteil ist. Dabei ist bei diesem Verfahren für die Herstellung des C/C-Vollkörpers als Grünkörper gene­ rell eine Form erforderlich, was sich negativ auf die Kosten bei den in der Raumfahrt üblicherweise kleinen Stückzahlen niederschlägt.

In DE 42 01 240 C2 ist ein weiteres Verfahren zur Herstellung eines Formkörpers und entsprechender Formkörper aus Siliziumcarbid beschrieben. Nach die­ ser Lehre wird der Grünkörper aus pulvrigem Silizium­ carbid unter Zugabe von mindestens Kohlenstoff herge­ stellt und der Grünkörper im Nachgang mit im Über­ schuß vorhandenem flüssigen oder gasförmigen Silizium gebrannt. Anschließend dazu wird eine Rekristallisa­ tion des gebrannten Grünkörpers bei Temperaturen zwi­ schen 1950 bis 2300°C in Schutzgasatmosphäre bei Überdruck durchgeführt. Auch bei diesem Verfahren werden herkömmliche Formgebungsverfahren, für die Herstellung des Grünkörpers verwendet.

Aufgabe der Erfindung ist es daher, eine Möglichkeit zu schaffen, Bauteile für den Einsatz im Weltraum mit den dortigen Erfordernissen angepaßten Eigenschaften zur Verfügung zu stellen.

Erfindungsgemäß wird diese Aufgabe mit den Merkmalen des Patentanspruchs 1 gelöst.

Vorteilhafte Ausgestaltungsformen und Weiterbildungen der Erfindung ergeben sich bei Verwendung der in den untergeordneten Ansprüchen genannten Merkmale.

Nach der Lehre der Erfindung, wird ein Formkörper aus einem homogenen Siliziumcarbidpulver schichtweise durch selektives Lasersintern in oxidierender Atmo­ sphäre aufgebaut und der so erhaltene Grünkörper im Anschluß daran mit einem Metall infiltriert. Bevor­ zugt wird Silizium verwendet und die Infiltration im Vakuum bei Temperaturen zwischen 1410°C und 1800°C durchgeführt.

Während des selektiven Lasersinterns, das bevorzugt mit einem CO₂-Laser mit einer entsprechenden Scanner­ optik durchgeführt wird, bilden sich temporäre Binde­ phasen auf der Basis von Silizium bzw. dessen Oxiden in situ aus, die dem generativ aufgebauten Formkörper eine ausreichende Grünfestigkeit sichern.

Dabei wird so verfahren, daß das gut rieselfähige homogene SiC-Pulver mit einer konstanten Schichtdicke von ca. 50 µm aufgebracht und die schichtspezifische Struktur mit dem Laserstrahl, bevorzugt kreuzweise abgefahren wird, so daß das Ausgangspulver selektiv gesintert wird. Im Nachgang wird eine erneute Schicht gleicher Schichtdicke aufgebracht und wiederum schichtspezifisch mit dem Laserstrahl lokal definiert bestrahlt, so daß die gewünschte Form des Bauteils schichtweise nacheinander aufgebaut werden kann.

Die Korngröße des verwendeten SiC-Pulvers sollte mit einer mittleren Körnung gewählt werden, die kleiner als die jeweilige Schichtdicke des Pulvers für eine Schicht des selektiven Lasersinterverfahrens ist. Die mittlere Körnung des verwendeten Pulvers kann daher vorzugsweise im Bereich zwischen 10 und 40 µm liegen.

Beim selektiven Lasersintern sollte bevorzugt die Laserprozeßparameter so eingestellt werden, daß es während der Verfahrensführung dazu kommt, daß die Pulverkörner zumindest teilweise zertrümmert werden und sich eine Verzahnung zwischen den Pulverkörnern ergibt, die die Grünfestigkeit weiter erhöht.

Das infolge der Siliziuminfiltration gebildete sili­ ziuminfiltrierte Siliziumcarbid (SiSiC) bildet einen gut verfestigten Körper, dessen Massendichte größer als 99% der theoretischen Dichte liegen kann. Die maximale Dichte kann jedoch nicht über 3,1 g/cm³ lie­ gen. Die Dichte läßt sich aber je nach Infiltrations­ grad weiter verringern.

Ein so hergestellter Formkörper kann einen E-Modul oberhalb 200 GPa, eine Biegefestigkeit von ca. 200 MPa, eine Wärmeleitfähigkeit oberhalb 70 W/mK bei einem thermischen Ausdehnungskoeffizienten unterhalb 4,5 × 10^-6K^-1 aufweisen. Die Dichte kann, wie bereits erwähnt, im Bereich zwischen 2,5 und 3,0 g/cm³ einge­ stellt werden.

Günstig kann es sich auswirken, wenn vor der Silizi­ uminfiltration der Grünkörper mit Kohlenstoff ver­ setzt wird, was z. B. durch Tränken mit thermoreakti­ vem Kunststoff erfolgen kann, wobei sich während der Infiltration sekundäres SiC herausbilden kann.

Gegenüber den bekannten Verfahren hat die Erfindung den Vorteil, daß keine zusätzlichen Bindemittel ein­ gesetzt werden, die entweder im Nachgang aufwendig zu entfernen sind oder im Werkstoff verbleiben bzw. mit diesem Reagieren und die Eigenschaften negativ beein­ flussen.

Durch die Möglichkeit der Beeinflussung des Silizium­ anteils im fertigen Werkstoff bzw. Bauteil können dessen letztendliche Eigenschaften, und dabei insbe­ sondere die elektrische und Wärmeleitfähigkeit sowie die Dichte maßgeblich beeinflußt werden, so daß eine Optimierung je nach Einsatz ohne weiteres erreicht werden kann.

Nach dem Infiltrieren kann das nahezu schwindungsfrei erhaltene Bauteil bei Bedarf zumindest teilweise nachgearbeitet werden, so daß sich Oberflächenberei­ che herstellen lassen, die eine Rauhigkeit aufweisen, die es gestattet reflektierende Schichten mit hoher optischer Qualität aufbringen zu können, wobei der Schichtaufbau mit herkömmlichen Verfahren ohne weite­ res erfolgen kann.

Wie sich bereits aus Aufzählung der erreichbaren Ei­ genschaften der erfindungsgemäß hergestellten Bautei­ le ableiten läßt, sind die aus dem Stand der Technik bekannten Nachteile mit der Erfindung weitestgehend beseitigt worden, so daß die erfindungsgemäß herge­ stellten Bauteile ohne weiteres auch als optische Komponenten im Weltraum eingesetzt werden können, ohne daß es durch die bisher aufgetretenen lokalen Verformungen zur Beeinträchtigung der optischen Ei­ genschaften kommen kann.

Die erfindungsgemäß hergestellten Bauteile können sowohl der hohen Belastung während des Startes in den Weltraum, wie auch den Belastungen im Weltraum stand­ halten, ohne daß funktionsbeeinträchtigende Verände­ rungen über einen längeren Zeitraum zu befürchten sind.

Mit dem erfindungsgemäßen Vorgehen können solche Bau­ teile innerhalb weniger Tage hergestellt werden, da der technologische Aufwand durch wenige, verhältnis­ mäßig einfache Verfahrensschritte und relativ gerin­ gem Energiebedarf, bei gleichzeitig geringen Roh­ stoffkosten einfach durchgeführt werden kann.

Ein solches Bauteil als optische Komponente, kann beispielsweise mit einer Wabenstruktur hergestellt werden, die zumindest an einer Seite mit einer ge­ schlossenen Deckfläche versehen ist, die als Spiegel­ träger verwendet werden kann. Nach einer bereits er­ wähnten mechanischen Bearbeitung, kann diese Deckflä­ che eine sehr geringe Oberflächenrauhigkeit aufwei­ sen, so daß eine reflektierende Beschichtung ohne weiteres rißfrei aufgebracht werden kann.

Die Wabenstruktur kann beispielsweise aus gleichsei­ tigen Dreiecken mit einer Wandstärke oberhalb 0,5 mm generativ aufgebaut werden, wobei es ebenfalls gün­ stig ist, die Übergänge zur Deckfläche durch eine geeignete Stützstruktur, ausgehend von den Wänden der Wabenzellen aufzubauen, wobei die Dicke der Deckflä­ che größer als 1 mm sein sollte, um eine ausreichende Stabilität und Festigkeit zu sichern.

Nachfolgend soll die Erfindung an einem Ausführungs­ beispiel näher beschrieben werden.

Dabei zeigt die einzige Figur einen erfindungsgemäß hergestellten Spiegelträger.

Der in der Figur dargestellte Spiegelträger besteht aus insgesamt 24 Wabenzellen mit jeweils gleichseiti­ gen Dreiecksflächen als Grundformen, die eine Kanten­ länge von 30 mm aufweisen und der gesamte Spiegelträ­ ger eine maximale Querschnittsdiagonale von 120 mm aufweist, wobei auch größere Abmessungen ohne weite­ res hergestellt werden können.

Die Wandstärke der Wabenzellen beträgt bei diesen Beispielen 1 mm und die Wabenzellen haben eine Höhe von 31 mm, was mit einer Deckflächendicke von 2 mm eine Gesamthöhe des Bauteiles von 33 mm ergibt. An den Unterseiten der Wabenzellen sind Öffnungen ausge­ bildet, durch die das überzählige lose Pulver, das beim selektiven Lasersintern anfällt, entfernt werden kann.

Der Spiegelträger wird aus einem handelsüblichen SiC- Pulver mit einer mittleren Korngröße von 23 µm, das gut rieselfähig ist, generativ schichtweise aufge­ baut. Die Herstellung des Grünkörpers erfolgt durch selektives Lasersintern mit einem CO₂-Laser, dessen Strahl über einen X-Y-Scanner abgelenkt wird. Als Bauplattform wird eine gestrahlte Stahlplatte verwen­ det, auf die das SiC-Pulver lose aufgebracht und mit einem Abstreifer eine gleichmäßige Schichtdicke von 50 µm vor jedem Sintervorgang eingestellt wird. Der CO₂-Laser wird bei einer Leistung von 45 W, mit einer Ablenkgeschwindigkeit des Scanners von 200 mm/s be­ trieben. Der Laserstrahl wird so abgelenkt, daß er der gewünschten Kontur folgt, wobei sich die einzel­ nen Laserspuren überlappen und der Laserstrahl zwei­ mal kreuzweise über die jeweils zu sinternde Fläche der jeweiligen Schicht geführt wird. Um den Grünkör­ per von der Bauplattform einfacher lösen zu können, wird als erstes zumindest ein 4 mm hohe Stützkombina­ tion aufgebaut, auf dem im Anschluß daran die Waben­ zellen mit der anschließenden Deckfläche aufgebaut werden. Dabei hat die Stützkombination eine Gitter­ struktur, die ausreichend fest ist, jedoch eine rela­ tiv kleine Verbindungsfläche, die sich einfach vom fertigen Spiegelträger und der Bauplattform lösen läßt, hat. Das selektive Lasersintern wird unter ei­ ner Luft-Argon-Atmosphäre durchgeführt.

Der so hergestellte Grünkörper, der bereits die ge­ wünschte Form und die gewünschten Abmaße des fertigen Spiegelträgers aufweist, wird im Anschluß daran mit Silizium, bei einer Temperatur von 1600°C infil­ triert.

Im Anschluß an die Infiltration wird die Deckfläche geschliffen, geläppt und poliert, so daß auf eine so geglättete Deckfläche die eigentliche Spiegeloberflä­ che als Reflexionsschicht mit hoher Güte auf her­ kömmlichen Wege aufgebracht werden kann.

Der so hergestellte Spiegelträger hat eine Dichte von 2,65 g/cm³, so daß ein Infiltrationsgrad, der nahezu dem theoretisch erreichbaren entspricht, erreicht werden kann. Die im Grünkörper vor der Infiltration vorhandenen Poren sind nahezu vollständig geschlos­ sen, so daß eine dichte Struktur im Werkstoff er­ reicht worden ist.

Der nach diesem Beispiel hergestellte Spiegelträger hat eine Biegebruchfestigkeit von 195 MPa, einen E- Modul von 225 GPa, einen thermischen Ausdehnungskoef­ fizienten von 4,0 × 10^-6K^-1 und eine Wärmeleitfähigkeit von 70 W/mK.

Claims (11)

1. Verfahren zur Herstellung von Leichtbauteilen für den Einsatz im Weltraum, dadurch gekennzeichnet, daß ein Formkörper aus einem homogenen SiC-Pul­ ver schichtweise durch selektives Lasersintern in oxidierender Atmosphäre aufgebaut und der so erhaltene Grünkörper mit einem Metall infil­ triert wird.

2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der Grünkörper mit Silizium infiltriert wird.

3. Verfahren nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Infiltration im Vakuum bei Temperaturen zwischen 1410°C und 1800°C durchgeführt wird.

4. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß der Grünkörper vor der Infiltration mit Kohlenstoff versetzt wird.

5. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, daß die Laserprozeßpara­ meter so eingestellt werden, daß die Pulverkör­ ner zumindest teilweise zertrümmert werden.

6. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, daß der Grünkörper bis zu einer Massendichte infiltriert wird, die oberhalb 99% der theoretischen Massendichte liegt.

7. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 6, dadurch gekennzeichnet, daß SiC-Pulver mit einer mittleren Körnung unterhalb der jeweiligen Schichtdicke einer Schicht beim selektiven La­ sersintern verwendet wird.

8. Verfahren nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, daß SiC-Pulver mit einer mittleren Körnung zwischen 10 und 40 µm verwen­ det wird.

9. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 8, dadurch gekennzeichnet, daß das Bauteil nach der Infiltration mechanisch an Oberflächenbereichen nachbearbeitet und mit einer reflektierenden Beschichtung versehen wird.

10. Bauteil hergestellt mit einem Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 9, dadurch gekennzeichnet, daß es eine Wabenstruktur mit einer geschlosse­ nen Deckfläche aufweist.

11. Bauteil hergestellt nach Anspruch 10, dadurch gekennzeichnet, daß die Deckfläche mit einer reflektierenden Beschichtung versehen ist.