DE19730471C5 - Method for scanning with a coordinate measuring machine - Google Patents

Method for scanning with a coordinate measuring machine Download PDF

Info

Publication number
DE19730471C5
DE19730471C5 DE1997130471 DE19730471A DE19730471C5 DE 19730471 C5 DE19730471 C5 DE 19730471C5 DE 1997130471 DE1997130471 DE 1997130471 DE 19730471 A DE19730471 A DE 19730471A DE 19730471 C5 DE19730471 C5 DE 19730471C5
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
contour
probe
controlled
scanning
scan
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Lifetime
Application number
DE1997130471
Other languages
German (de)
Other versions
DE19730471A1 (en
DE19730471B4 (en
Inventor
René Dr. Theska
Hans-Jürgen Müller
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Hexagon Metrology GmbH
Original Assignee
Hexagon Metrology GmbH
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Family has litigation
First worldwide family litigation filed litigation Critical https://patents.darts-ip.com/?family=7835885&utm_source=google_patent&utm_medium=platform_link&utm_campaign=public_patent_search&patent=DE19730471(C5) "Global patent litigation dataset” by Darts-ip is licensed under a Creative Commons Attribution 4.0 International License.
Application filed by Hexagon Metrology GmbH filed Critical Hexagon Metrology GmbH
Priority to DE1997130471 priority Critical patent/DE19730471C5/en
Publication of DE19730471A1 publication Critical patent/DE19730471A1/en
Publication of DE19730471B4 publication Critical patent/DE19730471B4/en
Application granted granted Critical
Publication of DE19730471C5 publication Critical patent/DE19730471C5/en
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Lifetime legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G05CONTROLLING; REGULATING
    • G05BCONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
    • G05B19/00Programme-control systems
    • G05B19/02Programme-control systems electric
    • G05B19/42Recording and playback systems, i.e. in which the programme is recorded from a cycle of operations, e.g. the cycle of operations being manually controlled, after which this record is played back on the same machine
    • G05B19/4202Recording and playback systems, i.e. in which the programme is recorded from a cycle of operations, e.g. the cycle of operations being manually controlled, after which this record is played back on the same machine preparation of the programme medium using a drawing, a model
    • G05B19/4207Recording and playback systems, i.e. in which the programme is recorded from a cycle of operations, e.g. the cycle of operations being manually controlled, after which this record is played back on the same machine preparation of the programme medium using a drawing, a model in which a model is traced or scanned and corresponding data recorded
    • GPHYSICS
    • G05CONTROLLING; REGULATING
    • G05BCONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
    • G05B19/00Programme-control systems
    • G05B19/02Programme-control systems electric
    • G05B19/18Numerical control [NC], i.e. automatically operating machines, in particular machine tools, e.g. in a manufacturing environment, so as to execute positioning, movement or co-ordinated operations by means of programme data in numerical form
    • G05B19/19Numerical control [NC], i.e. automatically operating machines, in particular machine tools, e.g. in a manufacturing environment, so as to execute positioning, movement or co-ordinated operations by means of programme data in numerical form characterised by positioning or contouring control systems, e.g. to control position from one programmed point to another or to control movement along a programmed continuous path
    • G05B19/39Numerical control [NC], i.e. automatically operating machines, in particular machine tools, e.g. in a manufacturing environment, so as to execute positioning, movement or co-ordinated operations by means of programme data in numerical form characterised by positioning or contouring control systems, e.g. to control position from one programmed point to another or to control movement along a programmed continuous path using a combination of the means covered by at least two of the preceding groups G05B19/21, G05B19/27 and G05B19/33
    • GPHYSICS
    • G05CONTROLLING; REGULATING
    • G05BCONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
    • G05B2219/00Program-control systems
    • G05B2219/30Nc systems
    • G05B2219/37Measurements
    • G05B2219/37062Regulated scanning, the head deflection is controlled by a regulation circuit
    • GPHYSICS
    • G05CONTROLLING; REGULATING
    • G05BCONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
    • G05B2219/00Program-control systems
    • G05B2219/30Nc systems
    • G05B2219/37Measurements
    • G05B2219/37063Controlled scanning, the head is moved along a given path

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Automation & Control Theory (AREA)
  • Human Computer Interaction (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Length Measuring Devices With Unspecified Measuring Means (AREA)
  • A Measuring Device Byusing Mechanical Method (AREA)

Abstract

Verfahren zum Scannen mit einem Tastkopf eines Koordinatenmeßgerätes, wobei zuerst geregeltes Scannen ohne vorgegebene Sollkontur mit einer vorgegebenen Fläche, die eine Werkstückoberfläche schneidet und in der eine Tastkugel geführt wird, und danach gesteuertes Scannen mit einer erzeugten Sollkontur in einem einzigen Scanlauf durchgeführt wird, dass das Umschalten zwischen beiden Scanarten automatisch durchgeführt wird und dass in einem Scanlauf die folgenden Schritte durchgeführt werden:
a) es wird ein festgelegter Startpunkt angefahren;
b) es wird in einer festgelegten Richtung mit einer vorgegebenen Steuerfläche geregelt gescannt;
c) es werden aus den Ist-Daten (I1) der bereits gemessenen Kontur durch Extrapolation Soll-Daten (S2) für die zu messende Kontur berechnet;
d) es findet eine Übergangsphase mit einer geregelten Bewegung des Tastkopfes (1) statt;
e) es wird gesteuert gescannt, indem der Tastkopf (1) entlang einer Soll-Bahn (T2), die aus den Soll-Daten (S2) für die Kontur berechnet wird, geführt wird;
f) die...
A method for scanning with a probe of a coordinate, wherein first controlled scanning without predetermined nominal contour with a predetermined surface which cuts a workpiece surface and in which a Tastkugel is guided, and then controlled scanning with a generated target contour in a single scan is performed that the Switching between both types of scans is performed automatically and the following steps are performed in a scan:
a) a fixed starting point is approached;
b) it is scanned in a fixed direction controlled with a given control surface;
c) it is calculated from the actual data (I 1 ) of the already measured contour by extrapolation desired data (S 2 ) for the contour to be measured;
d) there is a transitional phase with a controlled movement of the probe head (1);
e) it is scanned controlled by the probe head (1) along a reference path (T 2), which (from the target data S 2) is calculated for the contour, is guided;
f) the ...

Figure 00000001
Figure 00000001

Description

Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum Scannen mit einem Koordinatenmeßgerät.The The invention relates to a method for scanning with a coordinate measuring machine.

Stand der TechnikState of the art

Bei Koordinatenmeßgeräten werden im wesentlichen zwei Betriebsarten unterschieden:
Die Einzelpunktantastung, wobei der Taststift an einem Punkt in Kontakt mit der Werkstückoberfläche gebracht wird, um einen Meßpunkt aufzunehmen und das Scannen, wobei der Taststift im kontinuierlichen Kontakt mit der Werkstückoberfläche geführt wird und dabei im Maschinentakt Meßpunkte aufnimmt.
Coordinate measuring machines essentially distinguish two operating modes:
The Einzelpunktantastung, wherein the stylus is brought at a point in contact with the workpiece surface to receive a measuring point and the scanning, wherein the stylus is guided in continuous contact with the workpiece surface and thereby receives measuring points in the machine cycle.

Beim Scannen sind zwei unterschiedliche Verfahren bekannt:
Beim "geregelten" Scannen wird die Auslenkung des Tastkopfes in einem Regelkreis auf einen Sollwert geregelt. Zur Steuerung wird lediglich eine Fläche vorgegeben, die die Werkstückoberfläche schneidet und in der die Tastkugel geführt wird. Dieses Verfahren ist universell einsetzbar, aber schwingungsanfällig, da hierbei über das gesamte Koordinatenmeßgerät ein Regelkreis geschlossen werden muß, in den aus der gescannten Kontur beliebige Frequenzen eingekoppelt werden. Die erreichbare Geschwindigkeit ist bei gegebener Genauigkeit daher durch die Dynamik des Gesamtsystems begrenzt.
When scanning two different methods are known:
In "controlled" scanning, the deflection of the probe is regulated in a control loop to a setpoint. For control, only a surface is predetermined, which cuts the workpiece surface and in which the probe ball is guided. This method is universally applicable, but susceptible to vibration, since in this case a loop must be closed over the entire coordinate, in which any frequencies are coupled from the scanned contour. The achievable speed is therefore limited by the dynamics of the overall system given the accuracy.

Beim "gesteuerten" Scannen wird andererseits der Tastkopf entlang einer durch Soll-Daten vorgegebenen Bahn geführt und die Abweichung der Ist- von der Sollkontur gemessen. Dieses Verfahren ist regelungstechnisch einfacher zu beherrschen und erlaubt in der Regel größere Geschwindigkeiten als das geregelte Scannen, jedoch müssen vorher die Sollkontur und die Lage des Werkstückes bekannt sein. In beschränktem Maße können Abweichungen der Form oder Lage durch Anpassung der vorgegebenen Soll-Daten kompensiert werden, beispielsweise durch Aufschalten einer veränderlichen Größe, die die ursprüngliche Soll-Scanlinie verändert.On the other hand, with "controlled" scanning guided the probe along a predetermined path by target data and the deviation of the actual from the nominal contour measured. This method is regulatory easier to master and usually allows greater speeds as the controlled scanning, but must first be the target contour and the position of the workpiece be known. In limited Dimensions may vary Form or position compensated by adaptation of the predetermined target data be, for example, by switching on a variable Size that the original Target scan line changed.

Beide bekannten Verfahren unterliegen somit verfahrenseigenen Beschränkungen im praktischen Einsatz.Both known methods are thus subject to inherent limitations in practical use.

Gemäß dem Stand der Technik ( DE 195 29 574 A1 ) ist ein Verfahren bekannt, bei dem ausschließlich gesteuert gescannt wird. Der Tastkopf des Meßgerätes verfährt ausschließlich nach Solldaten. Das bedeutet, daß dem Koordinatenmessgerät von vornherein eine Sollkontur zum Antasten vorgegeben wird. Gegebenenfalls wird ein Nachbessern oder ein Anpassen der Sollkontur vorgenommen, beispielsweise wenn der Tastkopf gemäß der DE 195 29 574 A1 die Kante (18a) anfährt. In diesem Fall erfahren auch alle weiteren die Sollbahn definierenden Punkte eine Verschiebung.According to the prior art ( DE 195 29 574 A1 A method is known in which only controlled scanning is performed. The probe of the measuring device moves exclusively according to target data. This means that the coordinate measuring machine is predetermined from the outset a target contour for probing. If necessary, a correction or adaptation of the desired contour is made, for example, if the probe according to the DE 195 29 574 A1 the edge ( 18a ) starts. In this case, all other points defining the desired path also experience a shift.

Auch dieses zum Stand der Technik gehörende verfahren hat den Nachteil, daß eine Sollbahn jeweils vorgegeben sein muß.Also this belongs to the prior art method has the disadvantage that a Target path must be specified in each case.

Zum Stand der Technik ( DE 42 12 455 A1 ) gehört ein weiteres Verfahren zur Messung von Formelementen auf einem Koordinatenmeßgerät. Auch gemäß diesem Stand der Technik wird ausschließlich ein gesteuerter Scanvorgang vorgenommen mit den schon genannten Nachteilen.The prior art ( DE 42 12 455 A1 ) is another method of measuring features on a coordinate measuring machine. Also according to this prior art, only a controlled scanning is done with the disadvantages mentioned above.

Aufgabenstellungtask

Das der Erfindung zugrunde liegende technische Problem besteht darin, ein Scanverfahren anzugeben, das diese Nachteile nicht aufweist, das heißt, das einerseits nicht, wie das gesteuerte Scannen, die Vorgabe einer Sollkontur erfordert, andererseits aber eine höhere Stabilität besitzt und damit höhere Scangeschwindigkeiten erlaubt als das geregelte Scannen.The The technical problem underlying the invention is that specify a scanning method that does not have these disadvantages, that is, that On the one hand, not how the controlled scanning, the specification of a Target contour requires, but on the other hand has a higher stability and thus higher Scan speeds allowed as the regulated scanning.

Diese Aufgabe wird durch ein Verfahren mit den Merkmale im Anspruch 1 gelöst.These Object is achieved by a method having the features in claim 1 solved.

Erfindungsgemäß findet zwischen den beiden Scanarten ein ruckfreier Übergang statt. Der ruckfreie Übergang von geregeltem zu gesteuertem Scannen kann durch Zwischenschaltung einer Übergangsphase erreicht werden, innerhalb derer der Tastkopf auf die Tastkopf-Soll-Bahn geführt wird.According to the invention finds a smooth transition takes place between the two scan types. The smooth transition from controlled to controlled scanning can be done by interposing a transitional phase be achieved, within which the probe to the probe target path guided becomes.

In einem Scanlauf werden die folgenden Schritte in der angegebenen oder in einer anderen Reihenfolge durchgeführt:

  • a) Es wird ein festgelegter Startpunkt angefahren;
  • b) es wird in einer festgelegten Richtung mit einer vorgegebenen Steuerfläche geregelt gescannt;
  • c) es werden aus den Ist-Daten der bereits gemessenen Kontur durch Extrapolation Soll-Daten für die zu messende Kontur berechnet;
  • d) es ist eine Übergangsphase zwischen dem geregelten und dem gesteuerten Scannen vorgesehen;
  • e) es wird gesteuert gescannt, indem der Tastkopf entlang einer Soll-Bahn, die aus den Soll-Daten für die Kontur berechnet wird, geführt wird;
  • f) die Ist-Daten der Kontur werden überwacht;
  • g) die Soll-Daten für die zu messende Kontur werden, falls notwendig, angepaßt;
  • h) der Scanlauf wird nach Vorliegen eines Abbruchkriteriums abgebrochen oder mit einem anderen Schritt fortgesetzt.
In a scan, the following steps are performed in the specified order or in a different order:
  • a) A fixed starting point is approached;
  • b) it is scanned in a fixed direction controlled with a given control surface;
  • c) it is calculated from the actual data of the already measured contour by extrapolation setpoint data for the contour to be measured;
  • d) there is a transitional phase between regulated and controlled scanning;
  • e) it is scanned under control by guiding the probe along a desired path calculated from the target data for the contour;
  • f) the actual data of the contour are monitored;
  • g) the nominal data for the contour to be measured are adjusted, if necessary;
  • h) the scan is aborted after the abort criterion has been met or continued with another step.

Im folgenden wird die Ausführung des erfindungsgemäßen Verfahrens an einem 3D-Koordinatenmeßgerät mit einer gegebenen Grundgenauigkeit und einer gegebenen Dynamik im Antriebs- und im Scanregelkreis beschrieben. Ausgegangen wird dabei von einem Meßobjekt mit einer nicht genauer bekannten Kontur, die mit einer gegebenen Genauigkeit möglichst rasch vermessen werden soll. Der Bediener wird sich daher für die Betriebsart "Scannen" entscheiden, wobei die abzufahrende Konturlinie gegeben sei als die Schnittlinie der Werkstückoberfläche mit einer Steuerfläche, beispielsweise einer Ebene.In the following, the execution of the method according to the invention on a 3D coordinate measuring machine with a given basic accuracy and a given dynamics in the drive and scan control circuits. The starting point is a measurement object with a contour which is not known in detail and which is to be measured as quickly as possible with a given accuracy. The operator will therefore opt for the operating mode "scanning", wherein the contour line to be traveled is given as the intersection line of the workpiece surface with a control surface, for example a plane.

Das erfindungsgemäße Verfahren läuft nun in folgenden Schritten:The inventive method is now running in following steps:

1. Start:1st start:

Erfindungsgemäß braucht der Bediener keine weiteren Vorgaben zu machen als den Anfangspunkt, die Steuerfläche und die Startrichtung des Scans innerhalb der Steuerfläche. Die Tastkugel wird manuell oder automatisch am Startpunkt auf die Werkstückoberfläche aufgesetzt, und die Tasterauslenkung wird automatisch in die Nähe des Sollwertes, dies ist in der Regel die Mitte des Meßbereiches des Tastkopfes, eingestellt.According to the invention needs the operator to make no further specifications than the starting point, the control surface and the start direction of the scan within the control area. The Tastkugel is placed manually or automatically at the starting point on the workpiece surface, and the probe deflection will automatically close to the setpoint, this is usually the middle of the measuring range of the probe, set.

2. Vorbeschleunigungsphase:2nd pre-acceleration phase:

Das Koordinatenmeßgerät beginnt dann in der vorgegebenen Richtung die Werkstückkontur abzufahren. Dabei werden die Antriebe so geregelt, daß die Auslenkung des Tastkopfes stets innerhalb des Meßbereiches bleibt, das heißt, die Betriebsart ist das geregelte Scannen. Die Scangeschwindigkeit wird allmählich gesteigert in einem durch die Dynamik des Gesamtsystems vorgegebenen Maße bis zu einer ebenfalls vorgegebenen ersten Grenzgeschwindigkeit v1. Diese Geschwindigkeit v1 ist so bestimmt, daß mit allen gängigen Taststiftkombinationen und unter den in der Praxis vorkommenden Bedingungen geregeltes Scannen mit der spezifizierten Genauigkeit möglich ist. Damit ist v1 niedriger als die mit gesteuertem Scannen bei derselben Genauigkeitsforderung mögliche Geschwindigkeit und auch in der Regel niedriger als die unter den aktuellen Bedingungen maximal mögliche Geschwindigkeit beim geregelten Scannen.The coordinate measuring machine then begins to descend the workpiece contour in the predetermined direction. The drives are controlled so that the deflection of the probe always remains within the measuring range, that is, the mode is the controlled scanning. The scanning speed is gradually increased in a predetermined by the dynamics of the overall system dimensions also to a predetermined first speed limit V1. This speed v 1 is determined so that controlled scanning with the specified accuracy is possible with all conventional stylus combinations and under the conditions encountered in practice. Thus, v 1 is lower than the rate possible with controlled scanning at the same accuracy requirement, and also generally lower than the maximum possible controlled scanning speed under the current conditions.

3. Regelphase:3rd control phase:

Erfindungsgemäß wird die Scanlinie in der beschriebenen Weise nun solange abgefahren, bis ein genügend großes Stück der Werkstückkontur gemessen worden ist, um mit einer vorgegebenen Genauigkeit die Lage, die Richtung und die Krümmung der gescannten Kontur zu bestimmen. Hierfür werden bekannte Verfahren, wie etwa die Least-Squares-Methode, verwendet. Auch die in der Vorbeschleunigungsphase aufgenommenen Meßwerte können zur Bestimmung der genannten Größen benutzt werden. Die vorbestimmte Genauigkeit, mit der diese bestimmt werden müssen, hängt dabei von einer Vielzahl von Parametern ab, wie etwa der Dynamik des Gesamtsystems oder dem Meßbereich des Tastkopfes.According to the invention Scanning line in the described manner now traversed until a enough great Piece of Workpiece contour has been measured in order to determine, with a given accuracy, the position the direction and the curvature of the to determine the scanned contour. For this purpose, known methods, such as the least-squares method. Also in the pre-acceleration phase recorded measured values can used to determine the sizes mentioned become. The predetermined accuracy with which they are determined have to, depends on it a variety of parameters, such as the dynamics of the overall system or the measuring range of the Probe.

4. Übergangsphase:4th transition phase:

Aus der gemessenen Lage, Richtung und Krümmung der bisher gescannten Kontur wird ein Stück der zu scannenden Kontur als Soll-Scanlinie extrapoliert. Damit ist die Voraussetzung für gesteuertes Scannen erfüllt. Das Koordinatenmeßgerät stellt die Betriebsart automatisch auf gesteuertes Scannen um. Dabei sollte auf einen Übergang geachtet werden, der nicht zur Einkoppelung von Schwingungen führt. Dieser Anschluß kann nach dem unten beschriebenen Übergangsverfahren erfolgen. In der Praxis wird jedoch oft auch eine Filterung der Meßdaten ausreichen, um Übergangseffekte zu vermeiden.Out the measured position, direction and curvature of the previously scanned Contour becomes a piece extrapolated the contour to be scanned as a target scan line. In order to is the requirement for controlled scanning fulfilled. The coordinate measuring machine provides automatically changes the operating mode to controlled scanning. It should on a transition be respected, which does not lead to the coupling of vibrations. This Connection can according to the transitional procedure described below respectively. In practice, however, is often a filtering of measurement data suffice for transitional effects to avoid.

5. Steuerphase:5. Control phase:

Der Tastkopf des Koordinatenmeßgerätes wird nun entlang der jetzt bekannten Sollkontur geführt, wobei die bekannten Korrekturen, wie etwa Tasterradius-, Auslenkungs-, Fliehkraft- und Biegungskorrektur, an der extrapolierten Scanlinie angebracht werden, um die Soll-Bahn des Tastkopfes festzulegen. Da gesteuertes Scannen in der Regel eine höhere Geschwindigkeit zuläßt als v1, wird zunächst in einer weiteren Beschleunigungsphase die Scangeschwindigkeit bis zu einer zweiten Grenzgeschwindigkeit v2 gesteigert, die dann bis zum Eintreten eines Abbruchkriteriums beibehalten wird. Der Vorgang der Berechnung der Sollkontur aus der bekannten Istkontur beziehungsweise aus einem Stück der Istkontur wird, sobald erstmals eine Sollkontur berechnet worden ist, kontinuierlich wiederholt, um die Soll-Bahn des Tastkopfes zu verlängern. Treten Abweichungen zwischen Ist- und Sollkontur auf, so kann nach ebenfalls bekannten Verfahren, zum Beispiel gemäß der DE 197 01 693.6-52 , die Sollkontur angepaßt werden, um ein Auswandern des Tasters aus dem Meßbereich des Tastkopfes zu verhindern.The probe of the coordinate measuring machine is now guided along the now known nominal contour, wherein the known corrections, such as stylus radius, deflection, centrifugal force and bending correction, are attached to the extrapolated scan line to set the target path of the probe. Since controlled scanning usually allows a higher speed than v 1 , the scan speed is first increased in a further acceleration phase up to a second limit speed v 2 , which is then maintained until the occurrence of a termination criterion. The process of calculating the desired contour from the known actual contour or from a piece of the actual contour is, as soon as a desired contour has been calculated for the first time continuously repeated to extend the target path of the probe. If deviations occur between the actual contour and the desired contour, it can also be known by known methods, for example according to the DE 197 01 693.6-52 , The target contour are adapted to prevent migration of the probe from the measuring range of the probe.

Ein Abbruch oder eine Umschaltung zwischen Regel- und Steuerphase erfolgt, wenn eines der folgenden Abbruch- oder Umschaltkriterien, die kontinuierlich überwacht werden, erfüllt ist:

  • a) Der Anfangspunkt des Scans, gegebenenfalls ein vorgegebener Endpunkt oder beispielsweise der Rand des Meßbereichs des Koordinatenmeßgerätes sind erreicht. In diesem Fall wird der gesamte Scan beendet.
  • b) Die Schwingungsamplitude des Systems überschreitet ein vorbestimmtes Maß. Solche Schwingungen müssen sich noch nicht in den Meßwerten äußern, beispielsweise bei einer Regelkreisschwingung zwischen Achsen und Tastkopfwerten, können aber auf eine beginnende Instabilität hinweisen. In diesem Fall wird der Scan mit einer niedrigeren Geschwindigkeit fortgesetzt, oder es wird auch schon bei einer niedrigeren Geschwindigkeit als v1 auf gesteuertes Scannen umgeschaltet.
  • c) Es tritt eine Kollision ein, oder die Tastkopfauslenkung über- oder unterschreitet ein vorbestimmtes Maß. In diesem Fall kann der Scan abgebrochen werden oder an einem zurückliegenden Punkt der Scanlinie wieder mit der Vorbeschleunigungsphase neu angesetzt werden, gegebenenfalls mit veränderten Parametern oder verlängerter Regelphase.
  • d) Die notwendige Anpassung der Sollkontur durch Abweichung zwischen Ist- und Sollkontur überschreitet ein vorbestimmtes Maß. In diesem Fall wird der Scan mit der Geschwindigkeit v1 mit der Regelphase fortgesetzt, wobei wiederum auf einen ruckfreien Übergang zu achten ist.
An abort or a changeover between control and control phase takes place if one of the following abort or switchover criteria that are continuously monitored is fulfilled:
  • a) The starting point of the scan, optionally a predetermined end point or, for example, the edge of the measuring range of the coordinate are reached. In this case, the entire scan is ended.
  • b) The vibration amplitude of the system exceeds a predetermined level. Such oscillations do not yet have to be expressed in the measured values, for example in the case of a control loop oscillation between the axes and the probe head but may indicate an incipient instability. In this case, the scan will continue at a lower speed, or it will switch to controlled scanning even at a speed lower than v 1 .
  • c) A collision occurs or the probe deflection exceeds or falls below a predetermined level. In this case, the scan can be aborted or readjusted at a previous point of the scan line again with the pre-acceleration phase, possibly with changed parameters or extended control phase.
  • d) The necessary adjustment of the nominal contour by deviation between actual and nominal contour exceeds a predetermined level. In this case, the scan is continued at speed v 1 with the control phase, again ensuring a smooth transition.

Durch Vorgabe einer Vielzahl von Parametern, beispielsweise für die Geschwindigkeit oder das Verfahren der Bahn-Extrapolation, kann das erfindungsgemäße Verfahren an die Eigenschaften des Koordinatenmeßgerätes, gegebenenfalls auch an die jeweilige Meßaufgabe, angepaßt werden. Dementsprechend können auch noch weitere Abbruch- oder Umschaltkriterien definiert werden.By Specification of a variety of parameters, such as the speed or the process of web extrapolation can be the process of the invention to the properties of the coordinate, possibly also to the respective measuring task, customized become. Accordingly, you can also further abort or switchover criteria can be defined.

Weitere Einzelheiten der Erfindung können den Unteransprüchen entnommen werden.Further Details of the invention can the dependent claims be removed.

Ausführungsbeispielembodiment

Auf der Zeichnung ist ein Ausführungsbeispiel der Erfindung dargestellt, und zwar zeigen:On The drawing is an embodiment of the invention, and show:

1 einen erfindungsgemäßen Verfahrensablauf mit einem Übergang vom geregelten zum gesteuerten Scannen; 1 a method sequence according to the invention with a transition from controlled to controlled scanning;

2 ein geändertes Ausführungsbeispiel; 2 a modified embodiment;

3 eine verwendete Vorrichtung. 3 a used device.

Gemäß 1 ist das erfindungsgemäße Verfahren mit einem Übergang vom geregelten zum gesteuerten Scannen gezeigt.According to 1 the method according to the invention with a transition from controlled to controlled scanning is shown.

Es wird angenommen, daß in vorherigen Scanphasen ein Teil der Istkontur I1 ermittelt worden ist. Hiervon wird aufgrund des Bereiches B1 der Istkontur durch bekannte Auswerteverfahren, zum Beispiel durch Mittelung, Glättung, Filterung, Spline-Einpassung und so weiter, eine gemittelte Istkontur IM ermittelt. Diese gemittelte Istkontur IM wird extrapoliert, ebenfalls mit Hilfe bekannter Verfahren, vorzugsweise durch stetigen und zweimal stetig differenzierbaren Anschluß bei konstanter räumlicher Krümmung, um zumindest in einem Bereich B2 eine Sollkontur S2 zu bestimmen. I1, IM und S2 beschreiben dabei die Koordinaten der Werkstückoberfläche in einem beliebigen, aber festen Koordinatensystem, wobei die üblichen Korrekturen, wie Tastkugelradius-, Geometrie-, Biegungs-, Linearitäts-, Temperatur- oder dynamische Korrekturen, bereits alle oder einige durchgeführt sein können, aber auch nachfolgenden Auswertungsschritten überlassen sein können. Aus S2 wird wiederum unter Rückrechnung der Soll-Auslenkung des Tastkopfes und gegebenenfalls der genannten Korrekturen die Soll-Bahn des Tastkopfes T2, zumindest im Bereich B2 berechnet.It is assumed that a part of the actual contour I 1 has been determined in previous scan phases. From this, due to the region B 1, the actual contour is determined by known evaluation methods, for example by averaging, smoothing, filtering, spline fitting and so on, an averaged actual contour I M. This averaged actual contour I M is extrapolated, likewise by means of known methods, preferably by continuous and twice continuously differentiable connection with constant spatial curvature, in order to determine a nominal contour S 2 at least in a region B 2 . I 1 , I M and S 2 describe the coordinates of the workpiece surface in any but fixed coordinate system, the usual corrections, such as Tastkugelradius-, geometry, bending, linearity, temperature or dynamic corrections, all or some can be performed, but can also be left to subsequent evaluation steps. From S 2 is again under back-calculation of the desired deflection of the probe and, if appropriate, the said corrections, the target path of the probe T 2 calculated at least in the region B2.

Während die für die Extrapolation verwendeten Daten nur bis zum Punkt P1 reichen, wird sich die Tastkugel aktuell bereits im Punkt P2 befinden. In diesem Punkt wird, wenn die vorhergehende Phase die Regelphase war, aufgrund der Regelabweichung zwischen der Istkontur I und der Sollkontur S2 im allgemeinen auch eine Regelbewegung des Tastkopfes stattfinden, um die Soll-Auslenkung des Tastkopfes wieder einzustellen. Das bedeutet, daß die Tastkopfbahn T nach Position, Geschwindigkeit und Beschleunigung in P2 nicht der Sollbahn T2 entspricht.While the data used for the extrapolation only reach to the point P 1 , the probe ball will actually already be in the point P 2 . In this point, if the preceding phase was the control phase, due to the control deviation between the actual contour I and the nominal contour S 2 , generally also a regulating movement of the probe takes place in order to set the desired deflection of the probe again. This means that the Tastkopfbahn T according to position, speed and acceleration in P 2 does not correspond to the desired path T 2 .

In der Übergangsphase wird daher eine geregelte Bewegung eingeschoben, die den Tastkopf über ein Bahnstück T' auf seine Soll-Bahn T2 führt. Diese Regelung kann analog zum geregelten Scannen aufgebaut sein, nur daß nicht die Abweichung der Ist-Auslenkung des Tastkopfes von der Soll-Auslenkung als Eingangsgröße des Reglers dient, sondern die Abweichung der Ist-Position des Tastkopfes von der Soll-Bahn T2. Wie beim gesteuerten Scannen spielt die Auslenkung des Tastkopfes keine Rolle, kann aber überwacht werden. Ebenso wie bei der eigentlichen Scanregelung kann bei dieser Regelung durch geeignete Parameter dafür gesorgt werden, daß die Schwingungseinkoppelung so gering wie möglich ist. Gegebenenfalls kann durch entsprechendes Verschieben der Soll-Bahn T2 des Tastkopfes für einen stetigen Übergang der Regler-Eingangsgrößen gesorgt werden (nicht dargestellt in 1). In Punkt P3 ist der Tastkopf genügend nahe an der Soll-Bahn T2, so daß die Steuerphase beginnen kann.In the transition phase, therefore, a controlled movement is inserted, which leads the probe over a track T 'to its desired path T 2 . This control can be constructed analogously to controlled scanning, except that the deviation of the actual position of the probe from the target path T 2 is not the deviation of the actual deflection of the probe from the target deflection is used as the input of the controller. As with controlled scanning, the deflection of the probe does not matter, but can be monitored. As with the actual scan control can be ensured in this scheme by suitable parameters that the vibration coupling is as low as possible. Optionally, by appropriate displacement of the target path T 2 of the probe for a steady transition of the controller input variables are provided (not shown in FIG 1 ). In point P 3 , the probe is sufficiently close to the target path T 2 , so that the control phase can begin.

Anstatt durch rechnerische Verfahren im Bereich B1 eine gemittelte Istkontur zu bestimmen, kann auch im Bereich B1 der Regelkreis kontinuierlich verändert werden, beispielsweise durch Reduzieren der Regelkreisverstärkung, bis bei P1 der Tastkopf kaum noch auf die Tastkopfauslenkung reagiert, so daß nahezu ruckfrei auf die Steuerphase umgeschaltet werden kann (2).Instead of using computational methods in the area B 1 to determine an averaged actual contour, the control loop can be continuously changed in the area B 1 , for example, by reducing the loop gain until at P 1, the probe barely reacts to the Tastkopfauslenkung, so that almost jerk-free the control phase can be switched ( 2 ).

Bei geeigneter Form der Regelkreisveränderung folgt der Tastkopf im Bereich B1 immer weniger den hochfrequenten Fluktuationen der Werkstückoberfläche und erzeugt damit automatisch eine Bahn, die stetig und zweimal stetig differenzierbar in die für die Steuerphase gewünschte Soll-Bahn für den Tastkopf übergeht und aus der durch Extrapolation die ab P1 gültigen Soll-Daten für die Tastkopfbahn berechnet werden.With a suitable shape of the control loop change, the probe in the area B 1 less and less follows the high-frequency fluctuations of the workpiece berfläche and thus automatically generates a path that merges steadily and twice continuously differentiable in the desired path for the control phase for the probe and from the valid by extrapolation from P 1 valid target data for the Tastkopfbahn be calculated.

Gemäß 3 sind die Bauteile einer verwendeten Vorrichtung dargestellt.According to 3 the components of a device used are shown.

Der Tastkopf (1) wird durch Antriebsregler (4) und Antriebe (2) an einen festgelegten Startpunkt oder an einen zurückliegenden Punkt der Scanlinie gefahren.The probe ( 1 ) is controlled by controller ( 4 ) and drives ( 2 ) to a fixed starting point or to a previous point of the scan line.

Anschließend wird in einer festgelegten Richtung mit einer vorgegebenen Steuerfläche geregelt gescannt, wobei ein Meßwerterfassungssystem (3) die gelieferten Meßwerte erfaßt. Die Ist-Daten aus dem Meßwerterfassungssystem (3) werden dem Maschinenrechner (8) zugeführt, der aus den Ist-Daten der bereits gemessenen Kontur durch Extrapolation Soll-Daten für die zu messende Kontur berechnet.Thereafter, scanning is carried out in a fixed direction with a predetermined control surface, whereby a measured value acquisition system ( 3 ) detects the delivered measured values. The actual data from the measured value acquisition system ( 3 ) are sent to the machine computer ( 8th ), which calculates nominal data for the contour to be measured from the actual data of the already measured contour by extrapolation.

Nach einer Übergangsphase wird gesteuert gescannt, indem der Tastkopf (1) entlang einer Soll-Bahn T2, die aus den Soll-Daten für die Kontur berechnet wird, geführt wird.After a transitional phase, a controlled scan is performed by the probe ( 1 ) along a target path T 2 calculated from the target data for the contour.

Eine Überwachungseinheit (5) überwacht die Ist-Daten der Kontur.A monitoring unit ( 5 ) monitors the actual data of the contour.

Die Soll-Daten werden für diese zu messende Kontur angepaßt. Diese Aufgabe wird von einem Rechner-Modul (6) übernommen.The nominal data are adapted for this contour to be measured. This task is performed by a computer module ( 6 ) accepted.

Bei Vorliegen eines Abbruchkriteriums, welches von einer Überwachungseinheit (7) überwacht wird, wird der Scanlauf abgebrochen oder unterbrochen und mit einem anderen Schritt wieder aufgenommen.In the presence of an abort criterion, which is determined by a monitoring unit ( 7 ) is monitored, the scan is aborted or interrupted and resumed with another step.

Die eigentlichen Meßwerte werden an den Auswerterechner (9) weitergegeben. Über diesen erfolgt auch die Vorgabe von Scan-Parametern oder von Soll-Daten für einzelne Bahnstücke.The actual measured values are sent to the evaluation computer ( 9 ). This is also used to specify scan parameters or target data for individual track pieces.

11
Tastkopfprobe
22
Antriebedrives
33
Meßwerterfassungssystem für die Ist-Datendata acquisition system for the actual data
44
Antriebsreglerdrive controller
55
Überwachungseinheit für die Ist-Datenmonitoring unit for the Actual data
66
Einheit für die Anpassung der Soll-Datenunit for the Adjustment of the target data
77
Überwachungseinrichtung für die Abbruchkriterienmonitoring device for the termination criteria
88th
Maschinenrechnermachine computer
99
Auswerterechnerevaluation computer
II
Istkonturactual contour
I1 I 1
Istkontur im Bereich B1 Actual contour in area B 1
IM I M
gemittelte Istkonturaveraged actual contour
B1 B 1
Bereich des geregelten Scannens (Regelphase)Area of controlled scanning (control phase)
B2 B 2
Bereich der Übergangsphase und des gesteuerten ScannensArea the transitional phase and controlled scanning
B3 B 3
Bereich mit reduzierter Regelkreisver stärkungArea with reduced control loop gain
S2 S 2
Sollkontur im Bereich B2 Target contour in area B 2
T2 T 2
Soll-Bahn des Tastkopf es im Bereich B2 Target path of the probe it in the area B 2
T'T '
Bahnstück mit geregelter Bewegung des TastkopfesPiece of track with regulated Movement of the probe
P1, P2, P3 P 1 , P 2 , P 3
PunktePoints

Claims (7)

Verfahren zum Scannen mit einem Tastkopf eines Koordinatenmeßgerätes, wobei zuerst geregeltes Scannen ohne vorgegebene Sollkontur mit einer vorgegebenen Fläche, die eine Werkstückoberfläche schneidet und in der eine Tastkugel geführt wird, und danach gesteuertes Scannen mit einer erzeugten Sollkontur in einem einzigen Scanlauf durchgeführt wird, dass das Umschalten zwischen beiden Scanarten automatisch durchgeführt wird und dass in einem Scanlauf die folgenden Schritte durchgeführt werden: a) es wird ein festgelegter Startpunkt angefahren; b) es wird in einer festgelegten Richtung mit einer vorgegebenen Steuerfläche geregelt gescannt; c) es werden aus den Ist-Daten (I1) der bereits gemessenen Kontur durch Extrapolation Soll-Daten (S2) für die zu messende Kontur berechnet; d) es findet eine Übergangsphase mit einer geregelten Bewegung des Tastkopfes (1) statt; e) es wird gesteuert gescannt, indem der Tastkopf (1) entlang einer Soll-Bahn (T2), die aus den Soll-Daten (S2) für die Kontur berechnet wird, geführt wird; f) die Ist-Daten der Kontur werden überwacht; g) die Soll-Daten für die zu messende Kontur werden, falls notwendig, angepasst; h) der Scanlauf wird nach Vorliegen eines Abbruchkriteriums abgebrochen.A method for scanning with a probe of a coordinate, wherein first controlled scanning without predetermined nominal contour with a predetermined surface which cuts a workpiece surface and in which a Tastkugel is guided, and then controlled scanning with a generated target contour in a single scan is performed that the Switching between both types of scanning is performed automatically and that in a scan the following steps are performed: a) it is approached a fixed starting point; b) it is scanned in a fixed direction controlled with a given control surface; c) it is calculated from the actual data (I 1 ) of the already measured contour by extrapolation desired data (S 2 ) for the contour to be measured; d) it finds a transition phase with a controlled movement of the probe ( 1 ) instead of; e) it is scanned under control by the probe ( 1 ) along a target path (T 2 ) calculated from the target data (S 2 ) for the contour; f) the actual data of the contour are monitored; g) the nominal data for the contour to be measured are adjusted, if necessary; h) the scan is aborted after the presence of an abort criterion. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß ein ruckfreier Übergang zwischen beiden Scanarten durchgeführt wird.Method according to claim 1, characterized in that the existence smooth transition between both scan types. Verfahren nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß der ruckfreie Übergang von geregeltem zu gesteuertem Scannen durch Zwischenschalten einer Übergangsphase erfolgt, und daß in der Übergangsphase der Tastkopf (1) auf die Tastkopf-Soll-Bahn (T2) geführt wird.Method according to Claim 2, characterized in that the smooth transition from controlled to controlled scanning takes place by interposing a transition phase, and in the transition phase the probe head ( 1 ) is guided on the probe target path (T 2 ). Verfahren nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß in der Übergangsphase eine geregelte Bewegung des Tastkopfes (1) stattfindet.A method according to claim 3, characterized in that in the transition phase, a controlled movement of the probe ( 1 ) takes place. Verfahren nach Anspruch 1 oder 4, dadurch gekennzeichnet, daß für die Extrapolation eine rechnerische Mittelung, Glättung, Filterung oder Spline-Einpassung der Istkontur (I1) durchgeführt wird, und daß wenigstens Lage, Richtung und Krümmung dieser gemittelten Istkontur (IM) am Übergang verwendet werden.A method according to claim 1 or 4, characterized in that for the extrapolation a computational averaging, smoothing, filtering or spline fitting of the actual contour (I 1 ) is performed, and that at least position, direction and curvature of this average actual contour (I M ) on Transition to be used. Verfahren nach Anspruch 1 oder 4, dadurch gekennzeichnet, daß für die Extrapolation die Projektion der extrapolierten Soll-Daten in die Steuerfläche verwendet wird, oder daß die Abweichung der Soll-Bahn aus der Steuerfläche heraus in Position, Geschwindigkeit und/oder Beschleunigung begrenzt wird.Method according to claim 1 or 4, characterized that for extrapolation the projection of the extrapolated target data into the control surface is used, or that the Deviation of the target path out of the control surface in position, speed and / or acceleration is limited. Verfahren nach Anspruch 1 oder 4, dadurch gekennzeichnet, daß das Auftreten einer bestimmten Tastkopfauslenkung oder einer Kollision als Abbruchkriterium gilt.Method according to claim 1 or 4, characterized that this Occurrence of a specific probe deflection or a collision as termination criterion.
DE1997130471 1997-07-16 1997-07-16 Method for scanning with a coordinate measuring machine Expired - Lifetime DE19730471C5 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE1997130471 DE19730471C5 (en) 1997-07-16 1997-07-16 Method for scanning with a coordinate measuring machine

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE1997130471 DE19730471C5 (en) 1997-07-16 1997-07-16 Method for scanning with a coordinate measuring machine

Publications (3)

Publication Number Publication Date
DE19730471A1 DE19730471A1 (en) 1999-02-11
DE19730471B4 DE19730471B4 (en) 2004-07-22
DE19730471C5 true DE19730471C5 (en) 2009-02-19

Family

ID=7835885

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE1997130471 Expired - Lifetime DE19730471C5 (en) 1997-07-16 1997-07-16 Method for scanning with a coordinate measuring machine

Country Status (1)

Country Link
DE (1) DE19730471C5 (en)

Families Citing this family (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE19914862B4 (en) * 1999-04-01 2006-11-23 E. Zoller Gmbh & Co. Kg Method and device for measuring a contour profile of a workpiece
DE10050795C2 (en) * 1999-12-23 2002-11-07 Klingelnberg Gmbh Method and device for scanning on a coordinate measuring machine
GB0228371D0 (en) 2002-12-05 2003-01-08 Leland E C E Workpiece inspection method
DE102005032749A1 (en) * 2005-07-13 2007-01-18 Carl Zeiss Industrielle Messtechnik Gmbh Method for probing a workpiece with a coordinate measuring machine and coordinate measuring machines
CN104995481B (en) 2012-04-18 2018-05-01 瑞尼斯豪公司 The method that feature is found out using lathe
EP2839240B1 (en) 2012-04-18 2017-09-06 Renishaw PLC A method of analogue measurement scanning on a machine tool and corresponding machine tool apparatus
WO2013156769A1 (en) 2012-04-18 2013-10-24 Renishaw Plc A method of measurement on a machine tool and corresponding machine tool apparatus

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE3523188A1 (en) * 1985-06-28 1987-01-08 Zeiss Carl Fa CONTROL FOR COORDINATE MEASURING DEVICES
DE4212455A1 (en) * 1992-04-14 1993-10-21 Zeiss Carl Fa Rapid measurement method e.g. for hardware with shaped elements of any spatial orientation - using coordinate measuring unit with a measuring scanning head having measurement systems, which give amount of scanner deflection in coordinate direction XYZ
US5334918A (en) * 1990-06-20 1994-08-02 Renishaw Plc Method of controlling a coordinate positioning machine for measurement of a workpiece
DE19529574A1 (en) * 1995-08-11 1997-02-13 Zeiss Carl Fa Coordinate measuring device with a control that moves the probe head of the measuring device according to target data

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE3523188A1 (en) * 1985-06-28 1987-01-08 Zeiss Carl Fa CONTROL FOR COORDINATE MEASURING DEVICES
US5334918A (en) * 1990-06-20 1994-08-02 Renishaw Plc Method of controlling a coordinate positioning machine for measurement of a workpiece
DE4212455A1 (en) * 1992-04-14 1993-10-21 Zeiss Carl Fa Rapid measurement method e.g. for hardware with shaped elements of any spatial orientation - using coordinate measuring unit with a measuring scanning head having measurement systems, which give amount of scanner deflection in coordinate direction XYZ
DE19529574A1 (en) * 1995-08-11 1997-02-13 Zeiss Carl Fa Coordinate measuring device with a control that moves the probe head of the measuring device according to target data

Non-Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
Auszug aus dem Buch "Koordinatenmesstechnik für die Qualitätssicherung" von Tilo Pfeifer, VDI-Verlag 1992, S. 50-68; *
Betriebsanleitung "MESCAL SCANNEN", Fa. Leitz Mess technik GmbH, 35578 Wetzlar; Auszug aus dem Buch " Koordinatenmesstechnik für die Qualitätssicherung" von Tilo Pfeifer, VDI-Verlag 1992, S. 50-68
Betriebsanleitung "MESCAL SCANNEN", Fa. Leitz Messtechnik GmbH, 35578 Wetzlar; *

Also Published As

Publication number Publication date
DE19730471A1 (en) 1999-02-11
DE19730471B4 (en) 2004-07-22

Similar Documents

Publication Publication Date Title
EP1688807B2 (en) Method to divide the relative movement between a workpiece and a tool of a machine tool
EP0537641B1 (en) Method for determining the instantaneous effective position of a probe or a tool supported by a carrier
DE102012109867B4 (en) Control device for a laser beam machining
DE102005003322B3 (en) Method for determining a spatial coordinate of a measuring point on a measuring object and corresponding coordinate measuring machine
DE602006000541T2 (en) Servo control apparatus and method for adjusting a servo system
WO1998033039A1 (en) Electro-optical measuring device for determining the relative position of two bodies, or of two surface areas of bodies, in relation to each other
DE19643909B4 (en) Motor controller
EP0762247B1 (en) Coordinate measuring machine with a controller that moves the probe of the measuring apparatus in accordance with reference date
DE60203753T2 (en) Method for controlling an elliptical vibrator
DE10149175A1 (en) Tracking control for machine tool, includes program segment for velocity control applied separately to linear- and angular axes
EP2353748A1 (en) Method and device for producing a bent component
DE19730471C5 (en) Method for scanning with a coordinate measuring machine
DE102015002040B4 (en) Numerical control for a laser processing machine
WO2007017068A1 (en) Method and device for guiding a machine part along a defined motion path over a workpiece surface
DE60200287T2 (en) Method and device for controlling a feed system for machine tool
DE10357650A1 (en) Method for smoothing polygonal contour definitions in NC-programs e.g. for NC machine tools, requires displacing coordinates of original polygonal contour points in geometrical filter unit
DE3609259A1 (en) METHOD AND DEVICE FOR ADJUSTING A RUNNING POSITION ERROR
EP1708058B1 (en) Method for compensating the oscillations of a main axis
DE2165926C2 (en) Control device for the feed movement of tools on machine tools with several tool spindles
EP0555854A1 (en) Method for positioning the sensors of a web run control installation
DE3928547A1 (en) NUMERICAL CONTROL METHOD
DE2332968A1 (en) Semiconductor rod zone refining - using line-scan camera to regulate induction heating in acco-rdance withbar dia
DE102014117733A1 (en) Parameter setting support apparatus having a function for supporting the parameter setting
EP1974854B1 (en) Method for scanning the contours of openings in a spectacles frame and device for scanning the contours of openings in a spectacles frame for the peripheral grinding of spectacles lenses
DE3405585A1 (en) Grinding machine

Legal Events

Date Code Title Description
OP8 Request for examination as to paragraph 44 patent law
8127 New person/name/address of the applicant

Owner name: LEITZ MESSTECHNIK GMBH, 35578 WETZLAR, DE

8363 Opposition against the patent
8327 Change in the person/name/address of the patent owner

Owner name: HEXAGON METROLOGY GMBH, 35578 WETZLAR, DE

8366 Restricted maintained after opposition proceedings
8392 Publication of changed patent specification
R071 Expiry of right