DE19730471B4 - Method for scanning with a coordinate measuring machine - Google Patents

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Hans-Jürgen Müller
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Abstract

Verfahren zum Scannen mit einem Tastkopf eines Koordinatenmeßgerätes, wobei wahlweise zuerst geregeltes Scannen ohne vorgegebene Sollkontur und danach gesteuertes Scannen mit einer vorgegebenen oder erzeugten Sollkontur oder in umgekehrter Reihenfolge in einem einzigen Scanlauf durchgeführt wird, und dass das Umschalten zwischen beiden Scanarten automatisch durchgeführt wird.Method for scanning with a probe of a coordinate measuring machine, wherein optionally first controlled scanning without a predetermined target contour and then controlled scanning with a predetermined or generated target contour or in reverse order in a single scan run, and that the switching between the two types of scan is carried out automatically.

Figure 00000001
Figure 00000001

Description

Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum Scannen mit einem Koordinatenmeßgerät.The invention relates to a method for scanning with a coordinate measuring machine.

Bei Koordinatenmeßgeräten werden im wesentlichen zwei Betriebsarten unterschieden:
Die Einzelpunktantastung, wobei der Taststift an einem Punkt in Kontakt mit der Werkstückoberfläche gebracht wird, um einen Meßpunkt aufzunehmen und das Scannen, wobei der Taststift im kontinuierlichen Kontakt mit der Werkstückoberfläche geführt wird und dabei im Maschinentakt Meßpunkte aufnimmt.
There are two main operating modes for coordinate measuring machines:
The single point probing, in which the stylus is brought into contact with the workpiece surface at one point in order to record a measuring point and the scanning, wherein the stylus is guided in continuous contact with the workpiece surface and in the process takes measuring points in the machine cycle.

Beim Scannen sind zwei unterschiedliche Verfahren bekannt:
Beim "geregelten" Scannen wird die Auslenkung des Tastkopfes in einem Regelkreis auf einen Sollwert geregelt. Zur Steuerung wird lediglich eine Fläche vorgegeben, die die Werkstückoberfläche schneidet und in der die Tastkugel geführt wird. Dieses Verfahren ist universell einsetzbar, aber schwingungsanfällig, da hierbei über das gesamte Koordinatenmeßgerät ein Regelkreis geschlossen werden muß, in den aus der gescannten Kontur beliebige Frequenzen eingekoppelt werden. Die erreichbare Geschwindigkeit ist bei gegebener Genauigkeit daher durch die Dynamik des Gesamtsystems begrenzt.
Two different methods are known for scanning:
In "controlled" scanning, the deflection of the probe is regulated in a control loop to a setpoint. For control purposes, only a surface is specified that intersects the workpiece surface and in which the probe ball is guided. This method can be used universally, but is susceptible to vibrations, since a control loop must be closed across the entire coordinate measuring machine, into which any frequencies can be coupled from the scanned contour. The achievable speed is therefore limited, given the accuracy, by the dynamics of the overall system.

Beim "gesteuerten" Scannen wird andererseits der Tastkopf entlang einer durch Soll-Daten vorgegebenen Bahn geführt und die Abweichung der Ist- von der Sollkontur gemessen. Dieses Verfahren ist regelungstechnisch einfacher zu beherrschen und erlaubt in der Regel größere Geschwindigkeiten als das geregelte Scannen, jedoch müssen vorher die Sollkontur und die Lage des Werkstückes bekannt sein. In beschränktem Maße können Abweichungen der Form oder Lage durch Anpassung der vorgegebenen Soll-Daten kompensiert werden, beispielsweise durch Aufschalten einer veränderlichen Größe, die die ursprüngliche Soll-Scanlinie verändert.With "controlled" scanning, on the other hand, the probe guided along a path predetermined by target data and the deviation of the actual from the target contour measured. This method is easier to master in terms of control technology and allows in Usually higher speeds than the controlled scanning, however, the target contour must be and the position of the workpiece be known. In limited Dimensions can vary Shape or position compensated by adapting the specified target data be, for example, by changing a variable Size that the original Target scan line changed.

Beide bekannten Verfahren unterliegen somit verfahrenseigenen Beschränkungen im praktischen Einsatz.Both known methods are subject thus inherent limitations in practical use.

Gemäß dem Stand der Technik ( DE 195 29 574 A1 ) ist ein Verfahren bekannt, bei dem ausschließlich gesteuert gescannt wird. Der Tastkopf des Meßgerätes verfährt ausschließlich nach Solldaten. Das bedeutet, daß dem Koordinatenmessgerät von vornherein eine Sollkontur zum Antasten vorgegeben wird. Gegebenenfalls wird ein Nachbessern oder ein Anpassen der Sollkontur vorgenommen, beispielsweise wenn der Tastkopf gemäß der DE 195 29 574 A1 die Kante (18a) anfährt. In diesem Fall erfahren auch alle weiteren die Sollbahn definierenden Punkte eine Verschiebung.According to the state of the art ( DE 195 29 574 A1 ) a method is known in which only controlled scanning is carried out. The probe of the measuring device only moves according to target data. This means that the coordinate measuring machine is given a target contour for probing from the outset. If necessary, a correction or adjustment of the target contour is carried out, for example if the probe is in accordance with the DE 195 29 574 A1 the edge ( 18a ) starts. In this case, all other points defining the target path are also displaced.

Auch dieses zum Stand der Technik gehörende verfahren hat den Nachteil, daß eine Sollbahn jeweils vorgegeben sein muß.This also represents the state of the art belonging has the disadvantage that a Target path must be specified in each case.

Zum Stand der Technik ( DE 42 12 455 A1 ) gehört ein weiteres Verfahren zur Messung von Formelementen auf einem Koordinatenmeßgerät. Auch gemäß diesem Stand der Technik wird ausschließlich ein gesteuerter Scanvorgang vorgenommen mit den schon genannten Nachteilen.State of the art ( DE 42 12 455 A1 ) is another method for measuring shaped elements on a coordinate measuring machine. According to this prior art, too, only a controlled scanning process is carried out with the disadvantages already mentioned.

Das der Erfindung zugrunde liegende technische Problem besteht darin, ein Scanverfahren anzugeben, das diese Nachteile nicht aufweist, das heißt, das einerseits nicht, wie das gesteuerte Scannen, die Vorgabe einer Sollkontur erfordert, andererseits aber eine höhere Stabilität besitzt und damit höhere Scangeschwindigkeiten erlaubt als das geregelte Scannen.The basis of the invention technical problem is to specify a scanning method that does not have these disadvantages, that is, on the one hand, not how controlled scanning, the specification of a target contour requires on the other hand, a higher one stability owns and therefore higher Scanning speeds allowed as controlled scanning.

Diese Aufgabe wird durch ein Verfahren mit den Merkmaleim Anspruch 1 gelöst.This task is accomplished through a process solved with the features in claim 1.

Dadurch, daß beide Scanverfahren abwechselnd möglich sind, und daß je nach Bedarf automatisch und ruckfrei zwischen beiden Scanverfahren umgeschaltet werden kann, werden die Vorteile der beiden Verfahren in einem Verfahren vereint.Because the two scanning methods alternate possible are, and that ever automatically and smoothly switched between the two scanning methods as required The advantages of both methods can be combined in one method united.

Erfindungsgemäß findet zwischen den beiden Scanarten ein ruckfreier Übergang statt. Der ruckfreie Übergang von geregeltem zu gesteuertem Scannen kann durch Zwischenschaltung einer Übergangsphase erreicht werden, innerhalb derer der Tastkopf auf die Tastkopf-Soll-Bahn geführt wird.According to the invention takes place between the two Scan types a smooth transition instead of. The smooth transition from regulated to controlled scanning can be switched a transition phase can be reached, within which the probe on the probe target path guided becomes.

In einem Scanlauf werden die folgenden Schritte in der angegebenen oder in einer anderen Reihenfolge durchgeführt:

  • a) Es wird ein festgelegter Startpunkt angefahren;
  • b) es wird in einer festgelegten Richtung mit einer vorgegebenen Steuerfläche geregelt gescannt;
  • c) es werden aus den Ist-Daten der bereits gemessenen Kontur durch Extrapolation Soll-Daten für die zu messende Kontur berechnet;
  • d) es ist eine Übergangsphase zwischen dem geregelten und dem gesteuerten Scannen vorgesehen;
  • e) es wird gesteuert gescannt, indem der Tastkopf entlang einer Soll-Bahn, die aus den Soll-Daten für die Kontur berechnet wird, geführt wird;
  • f) die Ist-Daten der Kontur werden überwacht;
  • g) die Soll-Daten für die zu messende Kontur werden, falls notwendig, angepaßt;
  • h) der Scanlauf wird nach Vorliegen eines Abbruchkriteriums abgebrochen oder mit einem anderen Schritt fortgesetzt.
The following steps are carried out in a scan run in the specified or in a different order:
  • a) A specified starting point is approached;
  • b) it is scanned in a defined direction with a predetermined control surface;
  • c) target data for the contour to be measured are calculated from the actual data of the already measured contour by extrapolation;
  • d) there is a transition phase between regulated and controlled scanning;
  • e) it is scanned in a controlled manner by guiding the probe along a target path which is calculated from the target data for the contour;
  • f) the actual data of the contour are monitored;
  • g) the target data for the contour to be measured are adjusted if necessary;
  • h) the scan run is terminated after an abort criterion has been met or is continued with another step.

Im folgenden wird die Ausführung des erfindungsgemäßen Verfahrens an einem 3D-Koordinatenmeßgerät mit einer gegebenen Grundgenauigkeit und einer gegebenen Dynamik im Antriebs- und im Scanregelkreis beschrieben. Ausgegangen wird dabei von einem Meßobjekt mit einer nicht genauer bekannten Kontur, die mit einer gegebenen Genauigkeit möglichst rasch vermessen werden soll. Der Bediener wird sich daher für die Betriebsart "Scannen" entscheiden, wobei die abzufahrende Konturlinie gegeben sei als die Schnittlinie der Werkstückoberfläche mit einer Steuerfläche, beispielsweise einer Ebene.In the following, the execution of the method according to the invention is described on a 3D coordinate measuring machine with a given basic accuracy and a given dynamic in the drive and in the scan control loop. The starting point is a measurement object with a contour that is not known more precisely, with a given accuracy should be measured as quickly as possible. The operator will therefore opt for the "scanning" operating mode, the contour line to be traversed being the cutting line of the workpiece surface with a control surface, for example a plane.

Das erfindungsgemäße Verfahren läuft nun in folgenden Schritten: The method according to the invention now runs in following steps:

1. Start:1st start:

sErfindungsgemäß braucht der Bediener keine weiteren Vorgaben zu machen als den Anfangspunkt, die Steuerfläche und die Startrichtung des Scans innerhalb der Steuerfläche. Die Tastkugel wird manuell oder automatisch am Startpunkt auf die Werkstückoberfläche aufgesetzt, und die Tasterauslenkung wird automatisch in die Nähe des Sollwertes, dies ist in der Regel die Mitte des Meßbereiches des Tastkopfes, eingestellt.According to the invention, the operator does not need any to make further specifications than the starting point, the control surface and the start direction of the scan within the control surface. The Probe ball is placed on the workpiece surface manually or automatically at the starting point, and the button deflection will automatically be close to the set point, this is usually the middle of the measuring range of the probe, set.

2. Vorbeschleunigungsphase:2. Pre-acceleration phase:

Das Koordinatenmeßgerät beginnt dann in der vorgegebenen Richtung die Werkstückkontur abzufahren. Dabei werden die Antriebe so geregelt, daß die Auslenkung des Tastkopfes stets innerhalb des Meßbereiches bleibt, das heißt, die Betriebsart ist das geregelte Scannen. Die Scangeschwindigkeit wird allmählich gesteigert in einem durch die Dynamik des Gesamtsystems vorgegebenen Maße bis zu einer ebenfalls vorgegebenen ersten Grenzgeschwindigkeit v1. Diese Geschwindigkeit v1 ist so bestimmt, daß mit allen gängigen Taststiftkombinationen und unter den in der Praxis vorkommenden Bedingungen geregeltes Scannen mit der spezifizierten Genauigkeit möglich ist. Damit ist v1 niedriger als die mit gesteuertem Scannen bei derselben Genauigkeitsforderung mögliche Geschwindigkeit und auch in der Regel niedriger als die unter den aktuellen Bedingungen maximal mögliche Geschwindigkeit beim geregelten Scannen.The coordinate measuring machine then begins to traverse the workpiece contour in the specified direction. The drives are controlled so that the deflection of the probe always remains within the measuring range, which means that the operating mode is controlled scanning. The scanning speed is gradually increased to an extent predetermined by the dynamics of the overall system up to a likewise predetermined first limit velocity v 1 . This speed v 1 is determined so that controlled scanning with the specified accuracy is possible with all common stylus combinations and under the conditions that occur in practice. This means that v 1 is lower than the speed possible with controlled scanning with the same accuracy requirement and also generally lower than the maximum possible speed under controlled conditions for controlled scanning.

3. Regelphase:3rd control phase:

Erfindungsgemäß wird die Scanlinie in der beschrie benen Weise nun solange abgefahren, bis ein genügend großes Stück der Werkstückkontur gemessen worden ist, um mit einer vorgegebenen Genauigkeit die Lage, die Richtung und die Krümmung der gescannten Kontur zu bestimmen. Hierfür werden bekannte Verfahren, wie etwa die Least-Squares-Methode, verwendet. Auch die in der Vorbeschleunigungsphase aufgenommenen Meßwerte können zur Bestimmung der genannten Größen benutzt werden. Die vorbestimmte Genauigkeit, mit der diese bestimmt werden müssen, hängt dabei von einer Vielzahl von Parametern ab, wie etwa der Dynamik des Gesamtsystems oder dem Meßbereich des Tastkopfes.According to the scan line is described in the Now proceed until a sufficiently large piece of the workpiece contour has been measured in order to determine the position, the direction and curvature of the to determine the scanned contour. For this, known methods, such as the least squares method. Also in the pre-acceleration phase recorded measured values can used to determine the sizes mentioned become. The predetermined accuracy with which they are determined have to, depends on a variety of parameters, such as the dynamics of the overall system or the measuring range of the Probe.

4. Übergangsphase:4th transition phase:

Aus der gemessenen Lage, Richtung und Krümmung der bisher gescannten Kontur wird ein Stück der zu scannenden Kontur als Soll-Scanlinie extrapoliert. Damit ist die Voraussetzung für gesteuertes Scannen erfüllt. Das Koordinatenmeßqerät stellt die Betriebsart automatisch auf gesteuertes Scannen um. Dabei sollte auf einen Übergang geachtet werden, der nicht zur Einkoppelung von Schwingungen führt. Dieser Anschluß kann nach dem unten beschriebenen Übergangsverfahren erfolgen. In der Praxis wird jedoch oft auch eine Filterung der Meßdaten ausreichen, um Übergangseffekte zu vermeiden.From the measured position, direction and curvature the previously scanned contour becomes a piece of the contour to be scanned extrapolated as the target scan line. This is the prerequisite for controlled Scanning accomplished. The coordinate measuring machine provides the operating mode automatically switches to controlled scanning. It should on a transition be observed that does not lead to the coupling of vibrations. This Connection can according to the transition procedure described below respectively. In practice, however, filtering the measurement data sufficient to transition effects to avoid.

5. Steuerphase:5th tax phase:

Der Tastkopf des Koordinatenmeßgerätes wird nun entlang der jetzt bekannten Sollkontur geführt, wobei die bekannten Korrekturen, wie etwa Tasterradius-, Auslenkungs-, Fliehkraft- und Biegungskorrektur, an der extrapolierten Scanlinie angebracht werden, um die Soll-Bahn des Tastkopfes festzulegen. Da gesteuertes Scannen in der Regel eine höhere Geschwindigkeit zuläßt als v1, wird zunächst in einer weiteren Beschleunigungsphase die Scangeschwindigkeit bis zu einer zweiten Grenzgeschwindigkeit v2 gesteigert, die dann bis zum Eintreten eines Abbruchkriteriums beibehalten wird. Der Vorgang der Berechnung der Sollkontur aus der bekannten Istkontur beziehungsweise aus einem Stück der Istkontur wird, sobald erstmals eine Sollkontur berechnet worden ist, kontinuierlich wiederholt, um die Soll-Bahn des Tastkopfes zu verlängern. Treten Abweichungen zwischen Ist- und Sollkontur auf, so kann nach ebenfalls bekannten Verfahren, zum Beispiel gemäß der DE 197 01 693.6-52 , die Sollkontur angepaßt werden, um ein Auswandern des Tasters aus dem Meßbereich des Tastkopfes zu verhindern.The probe of the coordinate measuring machine is now guided along the now known target contour, the known corrections, such as probe radius, deflection, centrifugal force and bending correction, being applied to the extrapolated scan line in order to determine the target path of the probe. Since controlled scanning generally allows a higher speed than v 1 , the scanning speed is first increased in a further acceleration phase to a second limit speed v 2 , which is then maintained until an abort criterion occurs. The process of calculating the target contour from the known actual contour or from a piece of the actual contour is repeated as soon as a target contour has been calculated for the first time in order to extend the target path of the probe. If there are deviations between the actual and target contours, it is also possible to use known methods, for example according to DE 197 01 693.6-52 , the target contour to be adjusted to prevent the probe from moving out of the measuring range of the probe.

Ein Abbruch oder eine Umschaltung zwischen Regel- und Steuerphase erfolgt, wenn eines der folgenden Abbruch- oder Umschaltkriterien, die kontinuierlich überwacht werden, erfüllt ist:

  • a) Der Anfangspunkt des Scans, gegebenenfalls ein vorgegebener Endpunkt oder beispielsweise der Rand des Meßbereichs des Koordinatenmeßgerätes sind erreicht. In diesem Fall wird der gesamte Scan beendet.
  • b) Die Schwingungsamplitude des Systems überschreitet ein vorbestimmtes Maß. Solche Schwingungen müssen sich noch nicht in den Meßwerten äußern, beispielsweise bei einer Regelkreisschwingung zwischen Achsen und Tastkopfwerten, können aber auf eine be ginnende Instabilität hinweisen. In diesem Fall wird der Scan mit einer niedrigeren Geschwindigkeit fortgesetzt, oder es wird auch schon bei einer niedrigeren Geschwindigkeit als v1 auf gesteuertes Scannen umgeschaltet.
  • c) Es tritt eine Kollision ein, oder die Tastkopfauslenkung über- oder unterschreitet ein vorbestimmtes Maß. In diesem Fall kann der Scan abgebrochen werden oder an einem zurückliegenden Punkt der Scanlinie wieder mit der Vorbeschleunigungsphase neu angesetzt werden, gegebenenfalls mit veränderten Parametern oder verlängerter Regelphase.
  • d) Die notwendige Anpassung der Sollkontur durch Abweichung zwischen Ist- und Sollkontur überschreitet ein vorbestimmtes Maß. In diesem Fall wird der Scan mit der Geschwindigkeit v1 mit der Regelphase fortgesetzt, wobei wiederum auf einen ruckfreien Übergang zu achten ist.
A termination or a switchover between the regulation and control phase takes place if one of the following termination or switchover criteria, which are continuously monitored, is fulfilled:
  • a) The starting point of the scan, possibly a predetermined end point or, for example, the edge of the measuring range of the coordinate measuring machine has been reached. In this case, the entire scan is ended.
  • b) The vibration amplitude of the system exceeds a predetermined level. Such vibrations do not yet have to be expressed in the measured values, for example in the case of a control loop oscillation between axes and probe values, but can indicate an instability that is starting. In this case, the scan is continued at a lower speed, or a switch is made to controlled scanning even at a speed lower than v 1 .
  • c) A collision occurs, or the probe deflection exceeds or falls below a predetermined level. In this case, the scan can be stopped or restarted at a previous point on the scan line with the pre-acceleration phase, if necessary with changed parameters or an extended control phase.
  • d) The necessary adjustment of the target contour due to the deviation between the actual and target contour exceeds a predetermined dimension. In this case, the scan continues at the speed v 1 with the control phase, again ensuring a smooth transition.

Durch Vorgabe einer Vielzahl von Parametern, beispielsweise für die Geschwindigkeit oder das Verfahren der Bahn-Extrapolation, kann das erfindungsgemäße Verfahren an die Eigenschaften des Koordinatenmeßgerätes, gegebenenfalls auch an die jeweilige Meßaufgabe, angepaßt werden. Dementsprechend können auch noch weitere Abbruch- oder Umschaltkriterien definiert werden.By specifying a variety of Parameters, for example for the speed or method of web extrapolation the inventive method to the properties of the coordinate measuring machine, if necessary also the respective measurement task, customized become. Accordingly, you can further termination or switchover criteria can also be defined.

Falls bekannt, kann durch Vorgabe eines Sollkonturstücks der Scanlauf auch mit gesteuertem Scannen beginnen.If known, by default a target contour piece the scan run also start with controlled scanning.

Weitere Einzelheiten der Erfindung können den Unteransprüchen entnommen werden.Further details of the invention can do that dependent claims be removed.

Auf der Zeichnung ist ein Ausführungsbeispiel der Erfindung dargestellt, und zwar zeigen:In the drawing is an embodiment illustrated of the invention, namely:

1 einen erfindungsgemäßen Verfahrensablauf mit einem Übergang vom geregelten zum gesteuerten Scannen; 1 a process flow according to the invention with a transition from regulated to controlled scanning;

2 ein geändertes Ausführungsbeispiel; 2 a modified embodiment;

3 eine verwendete Vorrichtung. 3 a device used.

Gemäß 1 ist das erfindungsgemäße Verfahren mit einem Übergang vom geregelten zum gesteuerten Scannen gezeigt.According to 1 the method according to the invention is shown with a transition from regulated to controlled scanning.

Es wird angenommen, daß in vorherigen Scanphasen ein Teil der Istkontur I1 ermittelt worden ist. Hiervon wird aufgrund des Bereiches B1 der Istkontur durch bekannte Auswerteverfahren, zum Beispiel durch Mittelung, Glättung, Filterung, Spline-Einpassung und so weiter, eine gemittelte Istkontur IM ermittelt. Diese gemittelte Istkontur IM wird extrapoliert, ebenfalls mit Hilfe bekannter Verfahren, vorzugsweise durch stetigen und zweimal stetig differenzierbaren Anschluß bei konstanter räumlicher Krümmung, um zumindest in einem Bereich B2 eine Sollkontur S2 zu bestimmen. I1, IM und S2 beschreiben dabei die Koordinaten der Werkstückoberfläche in einem beliebigen, aber festen Koordinatensystem, wobei die üblichen Korrekturen, wie Tastkugelradius-, Geometrie-, Biegungs-, Linearitäts-, Temperatur- oder dynamische Korrekturen, bereits alle oder einige durchgeführt sein können, aber auch nachfolgenden Auswertungsschritten überlassen sein können. Aus S2 wird wiederum unter Rückrechnung der Soll-Auslenkung des Tastkopfes und gegebenenfalls der genannten Korrekturen die Soll-Bahn des Tastkopfes T2, zumindest im Bereich B2 berechnet.It is assumed that part of the actual contour I 1 has been determined in previous scan phases. Based on the area B 1 of the actual contour, an averaged actual contour I M is determined by known evaluation methods, for example by averaging, smoothing, filtering, spline fitting and so on. This averaged actual contour I M is extrapolated, likewise with the aid of known methods, preferably by means of a constant and twice continuously differentiable connection with constant spatial curvature, in order to determine a desired contour S 2 at least in a region B 2 . I 1 , I M and S 2 describe the coordinates of the workpiece surface in any, but fixed, coordinate system, with the usual corrections, such as probe ball radius, geometry, bending, linearity, temperature or dynamic corrections, all or some can be carried out, but can also be left to subsequent evaluation steps. The target path of the probe head T 2 , at least in the area B 2 , is in turn calculated from S 2 , taking back the target deflection of the probe head and, if necessary, the above-mentioned corrections.

Während die für die Extrapolation verwendeten Daten nur bis zum Punkt P1 reichen, wird sich die Tastkugel aktuell bereits im Punkt P2 befinden. In diesem Punkt wird, wenn die vorhergehende Phase die Regelphase war, aufgrund der Regelabweichung zwischen der Istkontur I und der Sollkontur S2 im allgemeinen auch eine Regelbewegung des Tastkopfes stattfinden, um die Soll-Auslenkung des Tastkopfes wieder einzustellen. Das bedeutet, daß die Tastkopfbahn T nach Position, Geschwindigkeit und Beschleunigung in P2 nicht der Sollbahn T2 entspricht.While the data used for the extrapolation only reach point P 1 , the probe ball will currently be located at point P 2 . At this point, if the previous phase was the control phase, a control movement of the probe will generally also take place due to the control deviation between the actual contour I and the target contour S 2 in order to set the target deflection of the probe again. This means that the probe path T does not correspond to the desired path T 2 in terms of position, speed and acceleration in P 2 .

In der Übergangsphase wird daher eine geregelte Bewegung eingeschoben, die den Tastkopf über ein Bahnstück T' auf seine Soll-Bahn T2 führt. Diese Regelung kann analog zum geregelten Scannen aufgebaut sein, nur daß nicht die Abweichung der Ist-Auslenkung des Tastkopfes von der Soll-Auslenkung als Eingangsgröße des Reglers dient, sondern die Abweichung der Ist-Position des Tastkopfes von der Soll-Bahn T2. Wie beim gesteuerten Scannen spielt die Auslenkung des Tastkopfes keine Rolle, kann aber überwacht werden. Ebenso wie bei der eigentlichen Scanregelung kann bei dieser Regelung durch geeignete Parameter dafür gesorgt werden, daß die Schwingungseinkoppelung so gering wie möglich ist. Gegebenenfalls kann durch entsprechendes Verschieben der Soll-Bahn T2 des Tastkopfes für einen stetigen Übergang der Regler-Eingangsgrößen gesorgt werden (nicht dargestellt in 1). In Punkt P3 ist der Tastkopf genü gend nahe an der Soll-Bahn T2, so daß die Steuerphase beginnen kann.In the transition phase, therefore, a regulated movement is inserted, which leads the probe over its path T 2 to its target path T 2 . This control can be constructed analogously to controlled scanning, except that it is not the deviation of the actual deflection of the probe head from the target deflection that serves as the input variable of the controller, but rather the deviation of the actual position of the probe head from the target path T 2 . As with controlled scanning, the deflection of the probe is irrelevant, but can be monitored. As with the actual scan control system, suitable parameters can be used to ensure that the coupling of vibrations is as low as possible. If necessary, a corresponding transition of the controller input variables can be ensured by correspondingly shifting the desired path T 2 of the probe (not shown in FIG 1 ). In point P 3 the probe is sufficiently close to the target path T 2 so that the control phase can begin.

Anstatt durch rechnerische Verfahren im Bereich B1 eine gemittelte Istkontur zu bestimmen, kann auch im Bereich B1 der Regelkreis kontinuierlich verändert werden, beispielsweise durch Reduzieren der Regelkreisverstärkung, bis bei P1 der Tastkopf kaum noch auf die Tastkopfauslenkung reagiert, so daß nahezu ruckfrei auf die Steuerphase umgeschaltet werden kann (2).Instead of using arithmetic methods in area B 1 to determine an averaged actual contour, the control loop can also be changed continuously in area B 1 , for example by reducing the control loop gain, until at P 1 the probe hardly reacts to the probe deflection, so that the jerk is almost jerky the tax phase can be switched ( 2 ).

Bei geeigneter Form der Regelkreisveränderung folgt der Tastkopf im Bereich B1 immer weniger den hochfrequenten Fluktuationen der Werkstückoberfläche und erzeugt damit automatisch eine Bahn, die stetig und zweimal stetig differenzierbar in die für die Steuerphase gewünschte Soll-Bahn für den Tastkopf übergeht und aus der durch Extrapolation die ab P1 gültigen Soll-Daten für die Tastkopfbahn berechnet werden.With a suitable form of the control loop change, the probe head in area B 1 follows the high-frequency fluctuations of the workpiece surface less and less and thus automatically generates a path that continuously and twice continuously differentiates into the desired path for the probe head for the control phase and from that by extrapolation the target data for the probe path valid from P 1 are calculated.

Der umgekehrte Übergang vom gesteuerten zum geregelten Scannen wird in der Regel mit dem Vorliegen eines Abbruchkriteriums verbunden sein. Je nach Art des Abbruchkriteriums wird dann mit der Vorbeschleunigungsphase aus dem Stillstand oder, nach Abbremsen auf eine Geschwindigkeit nahe v1, direkt mit der Regelphase begonnen. In beiden Fällen ist außer der Bremsphase, die gesteuert erfolgen kann, keine weitere Übergangsphase erforderlich.The reverse transition from controlled to regulated scanning will usually be associated with the existence of an abort criterion. Depending on the type of termination criterion, the pre-acceleration phase from standstill or, after braking to a speed close to v 1 , the control phase is started. In both cases In addition to the braking phase, which can be controlled, len no further transition phase is required.

Gemäß 3 sind die Bauteile einer verwendeten Vorrichtung dargestellt.According to 3 the components of a device used are shown.

Der Tastkopf (1) wird durch Antriebsregler (4) und Antriebe (2) an einen festgelegten Startpunkt oder an einen zurückliegenden Punkt der Scanlinie gefahren.The probe ( 1 ) is controlled by the drive controller ( 4 ) and drives ( 2 ) to a specified starting point or to a previous point on the scan line.

Anschließend wird in einer festgelegten Richtung mit einer vorgegebenen Steuerfläche geregelt gescannt, wobei ein Meßwerterfassungssystem (3) die gelieferten Meßwerte erfaßt. Die Ist-Daten aus dem Meßwerterfassungssystem (3) werden dem Maschinenrechner (8) zugeführt, der aus den Ist-Daten der bereits gemessenen Kontur durch Extrapolation Soll-Daten für die zu messende Kontur berechnet.Subsequently, a predetermined control surface is scanned in a defined direction in a controlled manner, with a measured value acquisition system ( 3 ) records the delivered measured values. The actual data from the data acquisition system ( 3 ) the machine computer ( 8th ) which calculates target data for the contour to be measured from the actual data of the already measured contour by extrapolation.

Nach einer Übergangsphase wird gesteuert gescannt, indem der Tastkopf (1) entlang einer Soll-Bahn T2, die aus den Soll-Daten für die Kontur berechnet wird, geführt wird.After a transition phase, scanning is carried out in a controlled manner by 1 ) along a target path T 2 , which is calculated from the target data for the contour.

Eine Überwachungseinheit (5) überwacht die Ist-Daten der Kontur.A monitoring unit ( 5 ) monitors the actual data of the contour.

Die Soll-Daten werden für diese zu messende Kontur angepaßt. Diese Aufgabe wird von einem Rechner-Modul (6) übernommen.The target data are adapted for this contour to be measured. This task is performed by a computer module ( 6 ) accepted.

Bei Vorliegen eines Abbruchkriteriums, welches von einer Überwachungseinheit (7) überwacht wird, wird der Scanlauf abgebrochen oder unterbrochen und mit einem anderen Schritt wieder aufgenommen.If there is an abort criterion that a monitoring unit ( 7 ) is monitored, the scan run is interrupted or interrupted and resumed with another step.

Die eigentlichen Meßwerte werden an den Auswerterechner (9) weitergegeben. Über diesen erfolgt auch die Vorgabe von Scan-Parametern oder von Soll-Daten für einzelne Bahnstücke.The actual measured values are sent to the evaluation computer ( 9 ) passed on. This is also used to specify scan parameters or target data for individual web sections.

11
Tastkopfprobe
22
Antriebedrives
33
Meßwerterfassungssystem für die Ist-data acquisition system for the actual
DatenData
44
Antriebsreglerdrive controller
55
Überwachungseinheit für die Ist-Datenmonitoring unit for the Actual data
66
Einheit für die Anpassung der Soll-unit for the Adjustment of the target
DatenData
77
Überwachungseinrichtung für diemonitoring device for the
Abbruchkriterientermination criteria
88th
Maschinenrechnermachine computer
99
Auswerterechnerevaluation computer
II
Istkonturactual contour
I1 I 1
Istkontur im Bereich B1 Actual contour in the area B 1
IM I M
gemittelte Istkonturaveraged actual contour
B1 B 1
Bereich des geregelten ScannensArea of controlled scanning
(Regelphase)(Control phase)
B2 B 2
Bereich der Übergangsphase und desArea the transition phase and the
gesteuerten Scannenscontrolled scanning
B3 B 3
Bereich mit reduzierter RegelkreisverArea with reduced control loop ver
stärkungStrengthening
S2 S 2
Sollkontur im Bereich B2 Target contour in the area B 2
T2 T 2
Soll-Bahn des Tastkopf es im Bereich B2 Target path of the probe there in the area B 2
T'T '
Bahnstück mit geregelter Bewegung desTrack section with regulated Movement of the
Tastkopfesprobe
P1, P2, P3 P 1 , P 2 , P 3
PunktePoints

Claims (21)

Verfahren zum Scannen mit einem Tastkopf eines Koordinatenmeßgerätes, wobei wahlweise zuerst geregeltes Scannen ohne vorgegebene Sollkontur und danach gesteuertes Scannen mit einer vorgegebenen oder erzeugten Sollkontur oder in umgekehrter Reihenfolge in einem einzigen Scanlauf durchgeführt wird, und dass das Umschalten zwischen beiden Scanarten automatisch durchgeführt wird.Procedure for scanning with a probe Coordinate measuring device, wherein optionally first controlled scanning without a predetermined target contour and then controlled scanning with a predetermined or generated one Target contour or in reverse order in a single scan run, and that switching between the two types of scans is carried out automatically. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß ein ruckfreier Übergang zwischen beiden Scanarten durchgeführt wird.A method according to claim 1, characterized in the existence smooth transition between the two types of scan. Verfahren nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß der ruckfreie Übergang von geregeltem zu gesteuertem Scannen durch Zwischenschalten einer Übergangsphase erfolgt, und daß in der Übergangsphase der Tastkopf (1) auf die Tastkopf-Soll-Bahn (T2) geführt wird.Method according to Claim 2, characterized in that the jerk-free transition from regulated to controlled scanning takes place by interposing a transition phase, and in that in the transition phase the probe ( 1 ) is guided to the probe head path (T 2 ). Verfahren nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß in der Übergangsphase eine geregelte Bewegung des Tastkopfes (1) stattfindet.A method according to claim 3, characterized in that in the transition phase a controlled movement of the probe ( 1 ) takes place. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß in einem Scanlauf die folgenden Schritte durchgeführt werden: a) es wird ein festgelegter Startpunkt angefahren; b) es wird in einer festgelegten Richtung mit einer vorgegebenen Steuerfläche geregelt gescannt; c) es werden aus den Ist-Daten (I1) der bereits gemessenen Kontur durch Extrapolation Soll-Daten (S2) für die zu messende Kontur berechnet; d) es findet eine Übergangsphase mit einer geregelten Bewegung des Tastkopfes (1) statt; e) es wird gesteuert gescannt, indem der Tastkopf (1) entlang einer Soll-Bahn (T2), die aus den Soll-Daten (S2) für die Kontur berechnet wird, geführt wird; f) die Ist-Daten der Kontur werden überwacht; g) die Soll-Daten für die zu messende Kontur werden, falls notwendig, angepaßt; h) der Scanlauf wird nach Vorliegen eines Abbruchkriteriums abgebrochen oder mit einem anderen Schritt fortgesetzt.A method according to claim 1, characterized in that the following steps in a scan run te are carried out: a) a specified starting point is approached; b) it is scanned in a defined direction with a predetermined control surface; c) target data (S 2 ) for the contour to be measured are calculated from the actual data (I 1 ) of the already measured contour by extrapolation; d) there is a transition phase with a controlled movement of the probe ( 1 ) instead of; e) it is scanned in a controlled manner by the probe ( 1 ) is guided along a target path (T 2 ), which is calculated from the target data (S 2 ) for the contour; f) the actual data of the contour are monitored; g) the target data for the contour to be measured are adjusted if necessary; h) the scan run is terminated after an abort criterion has been met or is continued with another step. Verfahren nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, daß die Schritte a) bis h) in einer anderen Reihenfolge durchgeführt werden.A method according to claim 5, characterized in that the Steps a) to h) are carried out in a different order. Verfahren nach Anspruch 5 oder 6, dadurch gekennzeichnet, daß für die Extrapolation eine rechnerische Mit telung, Glättung, Filterung oder Spline-Einpassung der Istkontur (I1) durchgeführt wird, und daß wenigstens Lage, Richtung und Krümmung dieser gemittelten Istkontur (IM) am Übergang verwendet werden.Method according to Claim 5 or 6, characterized in that a computational averaging, smoothing, filtering or spline adjustment of the actual contour (I 1 ) is carried out for the extrapolation, and that at least the position, direction and curvature of this averaged actual contour (I M ) be used at the transition. Verfahren nach Anspruch 5 oder 6, dadurch gekennzeichnet, daß für die Extrapolation der Regelkreis für die Tastkopfauslenkung so verstellt wird, daß der Tastkopf (1) in einem begrenzten Bereich (B3) automatisch einer gemittelten Bahn folgt.Method according to claim 5 or 6, characterized in that for the extrapolation the control loop for the probe head deflection is adjusted so that the probe ( 1 ) automatically follows an averaged path in a limited area (B 3 ). Verfahren nach Anspruch 5 oder 6, dadurch gekennzeichnet, daß für die Extrapolation die Projektion der extrapolierten Soll-Daten in die Steuerfläche verwendet wird, oder daß die Abweichung der Soll-Bahn aus der Steuerfläche heraus in Position, Geschwindigkeit und/oder Beschleunigung begrenzt wird.A method according to claim 5 or 6, characterized in that that for extrapolation the projection of the extrapolated target data into the control surface is used will, or that the Deviation of the target path from the control surface in position, speed and / or acceleration is limited. Verfahren nach Anspruch 5 oder 6, dadurch gekennzeichnet, daß das Auftreten von Schwingungen mit einer vorbestimmten Amplitude ein Abbruch- oder Umschaltkriterium ist.A method according to claim 5 or 6, characterized in that that this Occurrence of vibrations with a predetermined amplitude Abort or switchover criterion is. Verfahren nach Anspruch 10, dadurch gekennzeichnet, daß das Tastkopfsignal als Indikator für Schwingungen verwendet wird.A method according to claim 10, characterized in that this Probe signal as an indicator of Vibrations is used. Verfahren nach Anspruch 10, dadurch gekennzeichnet, daß die gemessene Istkontur als Indikator für Schwingungen verwendet wird.A method according to claim 10, characterized in that the measured actual contour is used as an indicator of vibrations. Verfahren nach Anspruch 10, dadurch gekennzeichnet, daß Schwingungssensoren verwendet werden.A method according to claim 10, characterized in that vibration sensors be used. Verfahren nach Anspruch 5 oder 6, dadurch gekennzeichnet, daß das Auftreten einer bestimmten Tastkopfauslenkung oder einer Kollision als Abbruchkriterium gilt.A method according to claim 5 or 6, characterized in that that this Occurrence of a particular probe deflection or collision is the termination criterion. Verfahren nach Anspruch 5 oder 6, dadurch gekennzeichnet, daß nach einem Abbruch der Scanlauf an einem Punkt der gemessenen Kontur fortgesetzt wird.A method according to claim 5 or 6, characterized in that that after an abort of the scan run at a point of the measured contour is continued. Verfahren nach Anspruch 5 oder 6, dadurch gekennzeichnet, daß nach einem Abbruch der Scanlauf mit veränderten Parametern fortgesetzt wird.A method according to claim 5 or 6, characterized in that that after aborting the scan run with changed parameters continued becomes. Verfahren nach Anspruch 16, dadurch gekennzeichnet, daß nach einem Abbruch der Scanlauf mit verringerter Geschwindigkeit fortgesetzt wird.A method according to claim 16, characterized in that after aborting the scan run continued at reduced speed becomes. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß vor Beginn des Scanlaufs zumindest für einzelne Stücke der zu messenden Kontur Soll-Daten vorgegeben werden.A method according to claim 1, characterized in that before Start of the scan run at least for individual pieces of the contour to be measured, target data are specified. Verfahren nach Anspruch 18, dadurch gekennzeichnet, daß vor Beginn des Scanlaufs festgelegt wird, welche Stücke der Kontur mit welchem Scanverfahren gemessen werden sollen.A method according to claim 18, characterized in that before At the beginning of the scan run it is determined which pieces of the contour with which scanning method should be measured. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß als Taster (1) des Koordinatenmeßgerätes ein mechanischer Tasterverwendet wird.A method according to claim 1, characterized in that as a button ( 1 ) a mechanical probe is used on the coordinate measuring machine. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß als Taster (1) des Koordinatenmeßgerätes ein optischer Taster verwendet wird.A method according to claim 1, characterized in that as a button ( 1 ) the coordinate measuring machine an optical button is used.
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