DE19654664A1

DE19654664A1 - Stator plate for planar hybrid stepper motor

Info

Publication number: DE19654664A1
Application number: DE1996154664
Authority: DE
Inventors: Frank Dipl Ing Richter
Original assignee: Individual
Current assignee: Individual
Priority date: 1995-08-26
Filing date: 1996-12-28
Publication date: 1998-07-02

Abstract

A stator plate for a planar hybrid stepping motor has a support structure located between two almost parallel flat cover plates. The support structure contains at least one closed hollow space divided into chambers with at least one pneumatic connection. At least the lower cover plate (1) has holes or recesses of small cross-section through which the individual chambers (5) are connected pneumatically with the surroundings. The chambers of one hollow space are linked together through openings or holes and the individual cross-section of the openings or holes is small in relation to the surface area of the individual chambers.

Description

Die Erfindung betrifft eine Statorplatte für einen plana ren Hybridschrittmotor mit einer zwischen zwei zumindest annähernd parallelen, ebenen Deckplatten angeordneten Stützstruktur, wobei die Stützstruktur mindestens einen abgeschlossenen in Kammern unterteilten Hohlraum mit min destens einem pneumatischen Anschluß enthält.The invention relates to a stator plate for a plan Ren hybrid stepper motor with one between at least two arranged approximately parallel, flat cover plates Support structure, the support structure at least one closed cavity divided into chambers with min contains at least one pneumatic connection.

Aus der DE 44 39 159 A1 ist ein Rohrkerndoppelplattenkör per bekannt, der den Aufbau einer derartigen Statorplatte beschreibt. Der Rohrkerndoppelplattenkörper ist ein Leichtbauelement flächiger Ausdehnung mit hoher Steifig keit bei geringem Bauteilgewicht. Er besteht aus zwei me tallischen Deckplatten, die durch einen Verband aus metal lischen Zylinderrohren miteinander verbunden sind. Die Zy linderrohre stehen dabei mit senkrecht zu den Deckplatten ausgerichteten Mittellinien nebeneinander. Sie berühren sich gegenseitig an den Mantelflächen. An den Stirnseiten der Zylinderrohre sind Stege angeordnet, die formschlüssig in entsprechende Aussparungen der Deckplatten eingreifen und dort fixiert sind. DE 44 39 159 A1 is a tubular core double plate body per known, the structure of such a stator plate describes. The tube core double plate body is a Lightweight construction element with extensive stiffness speed with low component weight. It consists of two me metallic cover plates, which are connected by a bandage of metal tical cylinder tubes are interconnected. The Zy linder pipes are perpendicular to the cover plates aligned centerlines side by side. You touch each other on the lateral surfaces. On the face the cylinder tubes are arranged webs that are positive engage in corresponding recesses in the cover plates and are fixed there.

Ein derartiger Plattenkörper kann als Statorplatte in ei nem planaren Hybridschrittmotor verwendet werden. Die Sta torplatte trägt hierbei einen luftgelagerten, beliebig po sitionierbaren Läufer.Such a plate body can be used as a stator plate in egg planar hybrid stepper motor can be used. The Sta Torplatte carries an air-bearing, any po sitionable runners.

Planare Hybridschrittmotoren können beispielsweise im Werkzeugmaschinenbau als Grundeinheit einer Vorrichtung zum Spannen und Positionieren von Werkstücken eingesetzt werden. Besonders als Spannvorrichtung bei Mehrkoordina tenmeßgeräten ist diese Vorrichtung geeignet, da bei Prüf- und Meßvorgängen nur sehr kleine Prozeßkräfte auftreten.Planar hybrid stepper motors can, for example, in the Machine tool construction as the basic unit of a device used for clamping and positioning workpieces will. Especially as a clamping device in multi-coordina This device is suitable because and measuring processes only very small process forces occur.

Die Statorplatten benötigen eine hohe Formsteifigkeit, um die Ebnizität der Läuferführung bei jedem Betriebszustand gewährleisten zu können. Daher haben konventionelle Sta torplatten eine große Bauhöhe, wodurch sie den verbleiben den Meß- oder Bearbeitungsraum beträchtlich einschränken.The stator plates require a high degree of dimensional stability in order to the ebnicity of the runner guidance in every operating condition to be able to guarantee. Therefore conventional sta door panels have a large height, which means that they remain limit the measuring or processing space considerably.

Bei einer großflächigen Statorplatte besteht zudem das Problem, daß sie nach dem Auflegen auf den planen Spann tisch eines Mehrkoordinatenmeßgerätes dort nicht präzise anliegt. Beispielsweise bewirken Lufteinschlüsse zwischen der Spanntischfläche und der Statorplattenunterseite ein partielles Beulen der Statorplatte, wodurch z. B. die Luft lagerung der Läufer negativ beeinträchtigt wird.This also applies to a large-area stator plate Problem that after hanging up on the flat instep table of a multi-coordinate measuring machine there is not precise is present. For example, air pockets between the clamping table surface and the underside of the stator plate partial bulge of the stator plate, whereby z. B. the air storage of the runners is adversely affected.

Desweiteren sind großflächige Statorplatten sehr schwer und dadurch auf einem empfindlichen Granittisch einer Meß maschine schwierig zu handhaben, zu positionieren und zu spannen. Alternativ zu verschiedenen mechanischen Spann mechanismen ist ein Vakuumspannmechanismus bekannt. Hierzu hat die Statorplatte an ihrem unteren, äußeren Rand eine durchgehende, auf dem Granittisch aufliegende Dichtlippe. Durch ein Evakuieren des Raumes zwischen der Statorplatte und dem Granittisch wird die positionierte Statorplatte am Granittisch fixiert. Nachteilig wirkt sich bei dieser Lö sung aus, daß das Vakuum sofort abbricht, sobald eine üb liche Undichtigkeit entsteht, beispielsweise, wenn die Statorplatte platzbedingt über den Granittisch übersteht, oder die Dichtlippe über einer üblichen Montagegewindeboh rung des Granittisches positioniert wird.Furthermore, large-area stator plates are very heavy and thereby on a sensitive granite table of a measuring machine difficult to handle, position and close tighten. As an alternative to various mechanical clamps mechanisms, a vacuum clamping mechanism is known. For this the stator plate has one at its lower, outer edge continuous sealing lip resting on the granite table. By evacuating the space between the stator plate and the positioned stator plate on the granite table Fixed granite table. This Lö has a disadvantage solution that the vacuum breaks immediately as soon as one ex Leakage occurs, for example, when the Stator plate protrudes beyond the granite table due to space, or the sealing lip over a common mounting thread positioning of the granite table.

Der Erfindung liegt das Problem zugrunde, eine Stator platte zu schaffen, die bei hoher Formsteifigkeit zum einen ein niedriges Gewicht und zum anderen eine geringe Bauhöhe hat. Auch soll die Statorplatte auf Werkzeug- oder Meßmaschinentischen mit weitgehend geschlossener Tisch oberfläche leichtgängig und präzise positionierbar sein. Ferner sind die aus dem Bereich des Standes der Technik bekannten Nachteile zu vermeiden.The invention is based on the problem of a stator to create the plate with high dimensional stability for a low weight and a low one Height. The stator plate should also be on tool or Measuring machine tables with largely closed table be smooth and precisely positionable. Furthermore, they are from the field of the prior art to avoid known disadvantages.

Das Problem wird mit Hilfe einer Statorplatte mit den Merkmalen des Hauptanspruchs gelöst. Hierbei weist zumin dest die untere Deckplatte eine Vielzahl von Bohrungen oder Ausnehmungen mit kleinen Querschnitten auf, über die die zwischen den Deckplatten angeordneten Kammern mit der Umgebung pneumatisch in Verbindung stehen. Die Kammern ei nes Hohlraums sind untereinander über Öffnungen oder Durchbrüche verbunden, wobei der einzelne Querschnitt der Öffnungen oder Durchbrüche klein im Verhältnis zur Grund fläche der einzelnen Kammer ist. The problem is solved with the help of a stator plate Features of the main claim solved. Here points at least least the bottom cover plate has a variety of holes or recesses with small cross sections over which the chambers arranged between the cover plates with the Pneumatically connect the environment. The chambers ei nes cavity are among themselves through openings or Breakthroughs connected, the single cross section of the Openings or openings small in relation to the bottom area of the individual chamber.

Die zu einem gemeinsamen Hohlraum miteinander verbundenen Kammern wirken als Druckspeicher für zwei unterschiedliche Anwendungsfälle. Zum Positionieren der Statorplatte wird der Hohlraum zwischen den Deckplatten mit Druckluft ge speist. Die Druckluft entweicht gedrosselt durch die Boh rungen in der unteren Deckplatte, wodurch die Statorplatte statisch luftgelagert über der Meßtischoberfläche schwebt. Die Drosselung der einzelnen Bohrungen ist so groß, daß die Luftlagerung auch erhalten bleibt, wenn beispielsweise die Statorplatte teilweise über eine Meßtischkante über kragt und Druckluft über ein Teil der Luftlagerbohrungen ins Freie bläst. Auch Bohrungen oder vereinzelte Nut schienen in der Granitauflage des Meßtisches beeinträchti gen nur unwesentlich die Tragfähigkeit der Luftlagerung. Die Kammeraufteilung hat hierbei eine unterstützende Puf ferwirkung.The interconnected to a common cavity Chambers act as pressure accumulators for two different ones Use cases. To position the stator plate the cavity between the cover plates with compressed air feeds. The compressed air escapes throttled by the Boh stanchions in the lower cover plate, creating the stator plate static air-bearing hovers above the surface of the measuring table. The throttling of the individual holes is so great that the air storage is also retained if, for example the stator plate partly over a measuring table edge collar and compressed air over part of the air bearing holes blows outside. Even holes or isolated grooves seemed to be impaired in the granite surface of the measuring table the bearing capacity of the air bearing is only insignificant. The chamber division has a supporting pouf effect.

Zum Fixieren bzw. Spannen der Statorplatte werden die Kam mern evakuiert. Über die Bohrungen in der unteren Deck platte wird die Luft unter der Statorplatte abgesaugt, wo durch sich die Statorplatte präzise an der Meßtischober fläche anschmiegt. Dabei ist es unwesentlich, ob einige Bohrungen Falschluft ansaugen.To fix or tension the stator plate, the cam evacuated. Over the holes in the lower deck air is extracted under the stator plate, where through the stator plate precisely on the measuring table top hugs the surface. It is immaterial whether some Suck in the wrong air holes.

Die Stützstruktur zwischen den Deckplatten kann zur Aus bildung der Kammern verschiedene Formen haben. Beispiels weise besteht sie aus Längs- und Querstegen, die den Ab stand zwischen den beiden Deckplatten überbrücken. Die Stege können zum einen ein regelmäßiges Gitter bilden, bei dem die Querstege gegenüber den Längsstegen nicht unbe dingt rechtwinklig sein müssen. Zum anderen kann die Git terstruktur in ggf. höher belasteten Zonen eine größere Stegdichte oder Stege mit größer Wandstärke aufweisen. The support structure between the cover plates can formation of the chambers have different shapes. Example wise it consists of longitudinal and transverse webs, the Ab stood between the two cover plates. The Bridges can form a regular grid, on the one hand which the crossbars not inconsistent with the longitudinal webs things must be rectangular. On the other hand, the git structure in larger, possibly heavier areas Have web density or webs with greater wall thickness.

Die Verbindung zwischen den Stegen und den Deckplatten wird u. a. durch Strahlschweißen, Widerstandsschweißen oder Punktschweißen hergestellt. Das Steggitter kann hierzu auch vorgefertigt vorliegen. Bei einer Tiefenschweißung mittels Laserstrahl entlang der Auflageflächen der Längs- und Querstege an den Deckplatten entstehen durchgängige Schweißnähte. Dadurch lassen sich die Kammern gasdicht trennen. Außerdem ist durch die große Schweißnahtfläche die Ebnizität im Druckluftbetrieb höher.The connection between the webs and the cover plates we you. a. by beam welding, resistance welding or Spot welding. The web gate can do this also available prefabricated. With a deep weld using a laser beam along the contact surfaces of the longitudinal and crossbars on the cover plates are created continuously Welds. This makes the chambers gas-tight separate. In addition, due to the large weld surface the ebnicity in compressed air operation is higher.

Die Bauhöhe der ggf. in beiden Flächenausdehnungsrich tungen isotrop formsteifen Statorplatte kann für bestimmte Anwendungsfälle so klein gewählt werden, daß die Höhe der Stützstuktur die Dicke der Deckbleche erreicht.The overall height of the surface area, if applicable, in both areas isotropically dimensionally stable stator plate can be used for certain Use cases are chosen so small that the height of the Support structure reaches the thickness of the cover plates.

Zwischen den einzelnen Kammern sind Durchbrüche oder Ein kerbungen angeordnet, über die Luft von Kammer zu Kammer gelangt. Hierbei kann zumindest ein Teil der Kammern über mehrere andere Kammern gespeist werden. Die Durchbrüche oder Einkerbungen können sich an den Längs- und/oder Quer stegen befinden. Bei den Querstegen können beispielsweise die Ecken zur Bildung der notwendigen Öffnungsquerschnitte angefast sein.There are openings or on between the individual chambers Notches arranged over the air from chamber to chamber reached. Here, at least a part of the chambers can several other chambers are fed. The breakthroughs or notches can be on the longitudinal and / or transverse webs. With the crossbars, for example the corners to form the necessary opening cross-sections be chamfered.

Alternativ zur Gitterstruktur aus flächigen, quer zu den Deckplatten stehenden Stegen ist eine Gitterstruktur aus gestapelten Lochblechen denkbar. Eine derartige Stütz struktur besteht aus mindestens zwei übereinander gesta pelten und parallel zwischen den Deckplatten angeordneten Lochblechen, wobei sich die Ausnehmungen der direkt über einander liegenden Lochbleche bereichsweise überlappen. As an alternative to the lattice structure of flat, transverse to the The webs standing on the cover plates are made of a grid structure stacked perforated sheets conceivable. Such a support structure consists of at least two superimposed stacks pelt and arranged parallel between the cover plates Perforated sheets, the recesses being directly over overlapping perforated sheets lying in areas.

Die Ausnehmungen bilden die Kammern des Hohlraumes, wäh rend die Überlappungen die pneumatische Verbindung zwi schen den Kammern darstellt.The recesses form the chambers of the cavity, weh rend the overlaps the pneumatic connection between represents the chambers.

Die in den Lochblechen beispielsweise durch Stanzen er zeugten Ausnehmungen können eine beliebige Kontur haben. Praktikabel sind u. a. Ausnehmungen mit einem quadratischen Querschnitt. Bei derartigen Kammern werden die zwischen den Ausnehmungen verbleibenden Stege schmäler ausgebildet als die Kantenlängen der Ausnehmungen. Zusätzlich sind die Ausnehmungen zweier benachbarter Lochbleche in zumindest einer Ausdehnungsrichtung um eine halbe Teilung gegenein ander versetzt.For example, by punching it in the perforated sheets created recesses can have any contour. Practical are u. a. Recesses with a square Cross-section. In such chambers, the between the recesses remaining webs formed narrower than the edge lengths of the recesses. In addition, they are Recesses of two adjacent perforated sheets in at least direction of expansion by half a division other offset.

Mit Hilfe einer Stützstruktur aus Lochblechen lassen sich auch dünne Statorplatten mit niedrigem Fertigungsaufwand herstellen. Die Lochbleche und die Deckplatten werden ge stapelt und miteinander verschweißt.With the help of a support structure made of perforated sheets also thin stator plates with low manufacturing costs produce. The perforated plates and the cover plates are ge stacks and welded together.

Die Statorplatte kann auch an anderen Vorrichtungselemen ten montiert werden, z. B. an zu Spannzwecken verwendeten Winkeln, Quadern oder Würfeln. Mittels der integrierten Luftlagerung lassen sich die Vorrichtungselemente auf den Arbeits- und Maschinentischen ohne großen Kraftaufwand verschieben.The stator plate can also be used on other device elements ten be installed, e.g. B. used for clamping purposes Angles, cuboids or cubes. Using the integrated The device elements can be stored on the air Work and machine tables with little effort move.

Eine Statorplatte kann gegebenenfalls auch mit mehreren, gegeneinander getrennten, in Kammern aufgeteilten Hohlräu men ausgestattet sein. Dadurch ist es möglich, in einem Kreislauf ein Vakuum zum Spannen auf dem Meßmaschinentisch zu erzeugen, während in einem anderen Kreislauf Druckluft geführt wird, um u. a. einen weiteren Schlitten luftzula gern oder pneumatisch betätigbare Spannmittel mit Druck luft zu versorgen.A stator plate can optionally also have several, cavities separated from one another and divided into chambers men. This makes it possible in one Circuit a vacuum for clamping on the measuring machine table to generate compressed air while in another circuit is led to u. a. Another sled is airtight like or pneumatically operated clamping devices with pressure to supply air.

Durch den Aufbau der Statorplatten wird die Prozeßsicher heit und die Handhabbarkeit deutlich verbessert. Gleich zeitig wird die Herstellung wirtschaftlicher, da die Grundkomponenten, wie Gitterroste und Lochbleche als stan dardisierte Halbzeuge verfügbar sind. Als weiterer Vorteil zeigt sich die durch die Leichtbauweise erzielte Gewichts reduzierung. Letztere erleichtert auch die Handhabung in den Rüstphasen.The process is reliable due to the structure of the stator plates unit and manageability significantly improved. Soon In time, the production becomes more economical because the Basic components, such as gratings and perforated sheets as standard standardized semi-finished products are available. Another advantage shows the weight achieved by the lightweight construction reduction. The latter also facilitates handling in the setup phases.

Weitere Einzelheiten der Erfindung ergeben sich aus den zuvor nicht zitierten Unteransprüchen und der nachfolgen den Beschreibung von mehreren schematisch dargestellten Ausführungsformen.Further details of the invention emerge from the Subclaims not previously cited and the following the description of several shown schematically Embodiments.

Fig. 1 Abschnitt einer Statorplatte mit einer Gitter roststützstruktur; Fig. 1 section of a stator plate with a grid grating support structure;

Fig. 2 Teilschnitt einer Statorplatte mit gas geschweißter Stützstruktur; Fig. 2 partial section of a stator plate with gas welded support structure;

Fig. 3 Stützstruktur aus Lochblechen; Fig. 3 support structure made of perforated sheets;

Fig. 4 Teilschnitt einer Statorplatte mit Lochblech stützstruktur. Fig. 4 partial section of a stator plate with perforated sheet support structure.

Fig. 1 zeigt einen Ausschnitt einer Statorplatte. Die dargestellte Statorplatte besteht aus zwei Deckplatten (1, 2), die mit Hilfe einer Stützstruktur aus Längs- (11) und Querstegen (12) miteinander verbunden sind. Die Längs- (11) und Querstege (12) bilden beispielsweise einen Rechteckgitterrost, wobei jedes Gitterelement eine Kam mer (5) umfaßt. Fig. 1 shows a section of a stator plate. The stator plate shown consists of two cover plates ( 1 , 2 ) which are connected to one another with the aid of a support structure comprising longitudinal ( 11 ) and transverse webs ( 12 ). The longitudinal ( 11 ) and transverse webs ( 12 ) form, for example, a rectangular grating, each grating element comprising a chamber ( 5 ).

Die Deckplatten (1, 2) sind mit den Stegen (11, 12) ver schweißt. Soll die Verbindung zwischen den Deckplatten (1, 2) und den Stegen (11, 12) u. a. mittels Gas- oder Licht bogenschweißen hergestellt werden, so werden die Deck platten (1, 2) vorab an den Kreuzungspunkten der Längs- (11) und Querstege (12) mit Bohrungen (4) versehen, vgl. Fig. 2. Die Bohrungen (4) werden beim Schweißen mit Schweißzusatz aufgefüllt. Überstehende Schweißreste werden beim Planschleifen der Deckplatten (1, 2) entfernt.The cover plates ( 1 , 2 ) are welded to the webs ( 11 , 12 ). If the connection between the cover plates ( 1 , 2 ) and the webs ( 11 , 12 ) is to be produced by means of gas or arc welding, among other things, the cover plates ( 1 , 2 ) are made in advance at the crossing points of the longitudinal ( 11 ) and Provide crossbars ( 12 ) with holes ( 4 ), cf. Fig. 2. The holes ( 4 ) are filled with filler metal during welding. Surplus welding residues are removed when the cover plates ( 1 , 2 ) are ground flat.

Im Ausführungsbeispiel ist in der unteren Deckplatte (1) eine Vielzahl von Bohrungen (3) angebracht. Hierbei ent fällt auf jede Kammer (5) mindestens eine Bohrung (3). Jede Kammer (5) steht zumindest mit einer weiteren Kammer pneumatisch in Verbindung. Dazu ist in mindestens einem die jeweilige Kammer (5) begrenzenden Steg (11) oder (12) wenigstens ein Durchbruch (13) vorhanden. In Fig. 2 sind die Durchbrüche (13) beispielsweise in den Querstegen (12) angeordnet.In the exemplary embodiment, a plurality of bores ( 3 ) are made in the lower cover plate ( 1 ). Ent falls on each chamber ( 5 ) at least one bore ( 3 ). Each chamber ( 5 ) is pneumatically connected to at least one other chamber. For this purpose, at least one opening ( 13 ) is present in at least one web ( 11 ) or ( 12 ) delimiting the respective chamber ( 5 ). In Fig. 2 the openings ( 13 ) are arranged, for example, in the transverse webs ( 12 ).

Innerhalb der Statorplatte bilden mehrere Kammern (5) einen gemeinsamen Hohlraum. Dieser Hohlraum ist über einen Pneumatikanschluß (16), vgl. Fig. 3, an einer Anlage zur Druck- oder Unterdruckerzeugung angeschlossen. Um in allen Kammern (5) einen vergleichbaren Druck zu gewährleisten, sind die Öffnungsquerschnitte der Durchbrüche (13) so groß gewählt, daß sie im Vergleich zu den Bohrungen (3) keine oder nur eine vernachlässigbare Drosselwirkung erzeugen. Several chambers ( 5 ) form a common cavity within the stator plate. This cavity is via a pneumatic connection ( 16 ), cf. Fig. 3, connected to a system for generating pressure or vacuum. In order to ensure a comparable pressure in all chambers ( 5 ), the opening cross sections of the openings ( 13 ) are so large that they produce no or only a negligible throttling effect compared to the bores ( 3 ).

In den Fig. 3 und 4 ist eine Statorplatte dargestellt, die eine Stützstruktur aus zwei übereinander gestapelten Lochblechen oder -platten (21, 22) hat. Die Loch bleche (21, 22) haben hier Kammern bildende quadratische Ausnehmungen (6, 7). Letztere sind regelmäßig angeordnet, wobei die Abstände in Längs- und Querausdehnung der Sta torplatte zwischen den Ausnehmungen (6) bzw. (7) kleiner sind als deren Kantenlängen. Die Ausnehmungen (7) des obe ren Lochbleches (22) sind gegenüber den Ausnehmungen (6) des unteren Lochbleches (21) jeweils in Längs- und Quer ausdehnung um eine halbe Teilung gegeneinander versetzt.In FIGS. 3 and 4, a stator is shown, which plates a support structure made of two stacked perforated plates or (21, 22). The perforated plates ( 21 , 22 ) here have chamber-shaped square recesses ( 6 , 7 ). The latter are arranged regularly, the distances in the longitudinal and transverse dimensions of the gate plate between the recesses ( 6 ) and ( 7 ) being smaller than their edge lengths. The recesses ( 7 ) of the obe ren perforated plate ( 22 ) are offset relative to the recesses ( 6 ) of the lower perforated plate ( 21 ) in each case in longitudinal and transverse expansion by half a division.

Die Ausnehmungen (6, 7) bilden einen zusammenhängenden Hohlraum. Auch hier müssen die Überschneidungen der oberen und unteren Ausnehmungen (6, 7) so groß ausgelegt sein, daß sie nicht drosselnd wirken.The recesses ( 6 , 7 ) form a cohesive cavity. Here too, the overlaps of the upper and lower recesses ( 6 , 7 ) must be designed so large that they do not have a throttling effect.

Zur Herstellung derartiger Statorplatten werden die Loch bleche zwischen die Deckplatten gelegt und nach dem Aus richten beispielsweise durch Punktschweißen aneinander ge heftet. Um eine Leckage an den vier Stirnseiten der Sta torplatte zu vermeiden, kann der Statorplattenrandbereich auch mittels einer Rollnahtschweißung abgedichtet sein.The hole is used to produce such stator plates sheets placed between the cover plates and after the end align each other by spot welding, for example staples. To prevent leakage on the four faces of the Sta To avoid the gate plate, the stator plate edge area also be sealed by means of a roller seam weld.

Alternativ hierzu sind diese Statorplatten wirtschaftlich auch mittels Lasertiefenschweißung herstellbar. Die Loch bleche werden dazu zwischen die Deckplatten gelegt, zusam mengespannt und an den Stellen, an denen zwei Stege der Lochbleche übereinanderliegen, verschweißt. Dieses Verfah ren hat den Vorteil, daß die Statorplatte in einem Ar beitsgang mit minimaler Nacharbeit hergestellt werden kann. Zudem kann mit der Lasertiefenschweißung eine Randabdichtung in derselben Aufspannung erfolgen.Alternatively, these stator plates are economical can also be produced by means of deep laser welding. The hole For this purpose, sheets are placed between the cover plates, together crowded and where two webs of the Perforated sheets lie one above the other, welded. This procedure ren has the advantage that the stator plate in one ar be prepared with minimal rework can. In addition, laser deep welding can be used Edge sealing in the same setting.

Reference list

1,1,

22nd

Deckplatten, unten, oben
Cover plates, below, above

33rd

Bohrungen, Düsen, Blenden
Bores, nozzles, orifices

44th

Bohrungen für Gasschweißung in (Bores for gas welding in (

11

, ,

22nd

)
)

5,5,

66

, ,

77

Kammern, Ausnehmungen
Chambers, recesses

1111

Längsstege
Longitudinal webs

1212th

Querstege
Crossbars

1313

Öffnungen, Durchbrüche, Einkerbungen
Openings, openings, notches

1616

pneumatischer Anschluß
pneumatic connection

21,21,

2222

Lochbleche, unten, oben
Perforated sheets, below, above

Claims

1. Stator plate for a planar hybrid stepper motor with a support structure arranged between two at least approximately parallel, flat cover plates, the support structure containing at least one closed cavity divided into chambers with at least one pneumatic connection, characterized in that

- That at least the lower cover plate ( 1 ) has bores or recesses ( 3 ) with a small cross-section, via which the individual chambers ( 5-7 ) are pneumatically connected to the environment,
- That the chambers ( 5-7 ) of a cavity are interconnected via openings or openings ( 13 ), the individual cross section of the openings or openings ( 13 ) being small in relation to the base area of the individual chamber ( 5-7 ).

2. Stator plate according to claim 1, characterized in that the support structure of longitudinal ( 11 ) and cross webs ( 12 ), which bridges the distance between the cover plates ( 1 , 2 ).

3. Stator plate according to claim 2, characterized in that the openings between the individual chambers ( 5 ) are recesses or notches ( 13 ) which are located in the longitudinal ( 11 ) and / or transverse webs ( 12 ).

4. Stator plate according to claim 2, characterized in that the support structure consists of at least two stacked and parallel between the cover plates ( 1 , 2 ) arranged perforated plates ( 21 , 22 ), the recesses of the adjacent perforated plates ( 21 , 22 ) partially overlap.

5. stator plate according to claim 4, characterized in that the recesses ( 6 , 7 ) each have a square cross section.

6. stator plate according to claim 4 and 5, characterized in that between the recesses ( 6 ) or ( 7 ) remaining webs are narrower than the edge length of the recesses ( 6 , 7 ) and that the recesses of two adjacent perforated plates ( 21 , 22 ) are offset from one another by at least one division in at least one direction of expansion.

7. stator plate according to claim 1, characterized in that the bores ( 3 ) are ausgebil det as nozzles or screens.