DE19648694C1 - Bi-directional dynamic micropump - Google Patents

Bi-directional dynamic micropump

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KLINGNER, HOLGER, 99096 ERFURT, DE HEUN, PETER, 99
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Abstract

The channels (7,8) have different cross-sectional shapes or surfaces or different lengths or a combination of these. They have non-linear, undirected flow resistances of varying characteristics and their variable fluid flows are controlled in direction-dependent manner between laminar and turbulent flow with suitable impulses applied to the actuator (3) with unsymmetrical flank steepness. The structure is formed by anisotropic etching in a silicon wafer (1), is closed with a cover and provided with a piezo-actuator (3). The impulse has a flank steepness during at least the lapse of a period, which during this period produces a turbulent flow in one of the channels.

Description

Die Erfindung betrifft eine bidirektionale dynamische Mikropumpe für kleine Flüssig­ keitsmengen, bei der mit einfachen Mitteln der Fluidstrom in Menge und Richtung va­ riierbar ist, die in einen Silizium-Wafer geätzt ist.The invention relates to a bidirectional dynamic micropump for small liquids quantities in which, with simple means, the fluid flow in quantity and direction, above all is riatable, which is etched in a silicon wafer.

Allgemein bekannt sind bidirektionale Pumpen mit rotatorischen Antrieben, die mit Hilfe von Zahnrad- oder Propelleranordnungen eine gerichtete Beschleunigung des Fluides bewirken. Hierbei erfolgt die Richtungsumkehr durch Umkehrung der Rotati­ onsrichtung. Diese Anordnungen bestehen aus einer Anzahl mechanisch bewegter Elemente, die dem Verschleiß unterliegen und deren Miniaturisierung große Proble­ me bereitet bzw. begrenzt ist. Außerdem ergeben sich an den Lagerstellen Dich­ tungsprobleme.Bidirectional pumps with rotary drives are well known With the help of gear or propeller arrangements a directional acceleration of the Effect fluids. The direction is reversed by reversing the rotati direction. These arrangements consist of a number of mechanically moved ones Elements that are subject to wear and their miniaturization are major problems me prepares or is limited. In addition, you arise at the bearings problems.

Weiterhin bekannt sind bidirektionale Pumpen, bei denen ein ungerichteter Volumen­ strom erzeugt wird, dem durch geeignete Maßnahmen eine variable Richtung gege­ ben werden kann. Bei diesen Anordnungen wird der Volumenstrom durch Volu­ menänderung einer Kammer, in der Regel durch Verwendung von Pumpmembranen, erreicht und die Richtungsbestimmung erfolgt durch aktiv gesteuerte mechanische Ein- und Auslaßventile. Nachteilig ist hierbei, daß außer des Pumpantriebes weitere Antriebe für die Ventile erforderlich sind und sich ein hoher Steuerungsaufwand er­ gibt.Also known are bidirectional pumps in which an undirected volume electricity is generated, which is countered by suitable measures, a variable direction can be used. With these arrangements the volume flow is determined by Volu change in the volume of a chamber, usually through the use of pump membranes, reached and the direction is determined by actively controlled mechanical Inlet and outlet valves. The disadvantage here is that in addition to the pump drive  Actuators for the valves are required and there is a high control effort gives.

Bekannt sind auch Mikropumpen mit gerichteten passiven Ventilen, die eine Vor­ zugspumprichtung besitzen und bei denen eine Richtungsumkehr durch Ausnutzung von Resonanzerscheinungen möglich ist. Diese bestehen aus einer Anzahl sehr ex­ akt zueinander ausgerichteter Elemente /1/. Die Mengensteuerung in der Umkehr­ richtung ist sehr stark eingegrenzt und die mögliche Fördermenge unterscheidet sich von der Vorzugsrichtung. In den Patentschriften DE 42 23 019 und DE 44 22 743 sind dynamische Mikropumpen ohne mechanische Ventile enthalten, die auf Basis ge­ richteter Strömungswiderstände arbeiten und eine festgelegte Strömungsrichtung aufweisen.Also known are micropumps with directional passive valves, which have a pre-pumping direction and in which a reversal of direction is possible by utilizing resonance phenomena. These consist of a number of very precisely aligned elements / 1 /. The flow control in the reverse direction is very limited and the possible delivery rate differs from the preferred direction. In the patents DE 42 23 019 and DE 44 22 743 dynamic micropumps without mechanical valves are included, which work on the basis of ge directed flow resistances and have a fixed flow direction.

Der Erfindung liegt deshalb die Aufgabe zugrunde, mit einer geringen Anzahl von Funktionselementen eine leicht reproduzierbare miniaturisierte Pumpeinrichtung zu schaffen, die mit einfachem Steueraufwand einen in beide Richtungen in weiten Grenzen variablen Fluidstrom erzeugt und sich durch sehr geringe Abmessungen auszeichnet.The invention is therefore based on the object with a small number of Functional elements an easily reproducible miniaturized pumping device create that with a simple tax effort in both directions Limits of variable fluid flow are generated and characterized by very small dimensions distinguished.

Die Lösung dieser Aufgabe besteht in einer miniaturisierten Anordnung von einer Membranpumpe und zwei angeschlossenen Strömungskanälen derart, daß sich infol­ ge der Anregung mit speziellen Impulsen in den Strömungskanälen zu unterschiedli­ chen Zeitpunkten unterschiedliche Widerstandsverhältnisse ausbilden.The solution to this problem consists in a miniaturized arrangement of one Diaphragm pump and two connected flow channels such that infol To differentiate the excitation with special impulses in the flow channels different instants of resistance.

Die Erfindung wird nachstehend an einem konkreten Ausführungsbeispiel näher er­ läutert. The invention is he closer to a specific embodiment purifies.  

Es zeigtIt shows

Fig. 1 Schnittdarstellung der Pumpanordnung, Fig. 1 sectional view of the pump arrangement,

Fig. 2 Darstellung der Kanalgeometrie, Fig. 2 showing the channel geometry,

Fig. 3 Widerstandsverlauf eines Strömungswiderstandes in Abhängigkeit von der Flußgeschwindigkeit, Fig. 3 resistance profile of a flow resistance as a function of the flow rate,

Fig. 4 Volumenströme und Kammervolumen beim Pumpvorgang, Fig. 4 flow rates and chamber volume during the pumping process,

Fig. 5 Volumenströme und Kammervolumen beim Pumpvorgang in Ge­ genrichtung. Fig. 5 volume flows and chamber volume during the pumping process in the opposite direction.

Im beschriebenen Ausführungsbeispiel wird in einen (100) orientierten Si-Wafer 1 durch anisotropes Ätzen eine Struktur eingebracht, die zusammen mit einer durch anodisches Bonden aufgebrachten Glasdeckschicht 2 eine Anordnung von Pump­ kammer 4 und Kanälen 7, 8 ergibt (Fig. 1).In the exemplary embodiment described, a structure is introduced into a (100) oriented Si wafer 1 by anisotropic etching which, together with a glass cover layer 2 applied by anodic bonding, results in an arrangement of pump chamber 4 and channels 7 , 8 ( FIG. 1).

Die Pumpkammer verwendet als Antriebsmembran ein Piezo-Bimorph-System das durch Aufbringen einer Piezoplatte oder Piezoschicht 3 auf Glasdeckschicht oder Kammerboden gebildet wird. Zwischen Piezoaktor 3 und Glasdeckschicht 2 befindet sich eine Metallisierung 6 und auf dem Piezoaktor 3 eine weitere Metallisierung 5 zur elektrischen Kontaktierung des Aktors 3 (Fig. 2).The pump chamber uses a piezo-bimorph system as the drive membrane which is formed by applying a piezo plate or layer 3 to the glass cover layer or chamber bottom. Between the piezoelectric actuator 3 and glass cover layer 2 is a metallization 6 and the piezoelectric actuator 3, a further metallization 5 for the electrical contacting of the actuator 3 (Fig. 2).

Die Pumpkammer 4 ist rechteckig mit trapezförmigem Querschnitt. Unmittelbar vor und hinter der Pumpkammer befinden sich Kanäle 7, 8 mit dreieckigem oder oder tra­ pezförmigem Querschnitt unterschiedlicher Querschnittsfläche, die bezüglich der Strömungsgeschwindigkeit einen nichtlinearen Strömungswiderstand darstellen. The pump chamber 4 is rectangular with a trapezoidal cross section. Immediately in front of and behind the pump chamber are channels 7 , 8 with a triangular or trapezoidal cross section with different cross-sectional areas, which represent a non-linear flow resistance with regard to the flow velocity.

Die Funktionsweise der bidirektionalen dynamischen Mikropumpe beruht darauf, daß in den Kanälen der Pumpstruktur bis zu einer bestimmten Strömungsgeschwindigkeit laminare Strömungen mit definierten Strömungswiderständen vorherrschen und daß beim Überschreiten dieser Strömungsgeschwindigkeit der Umschlag von laminarer zu turbulenter Strömung erfolgt (Fig. 3). Daraus resultiert eine Erhöhung des Strö­ mungswiderstandes von Rl auf Rt im betroffenen Kanal.The mode of operation of the bidirectional dynamic micropump is based on the fact that laminar flows with defined flow resistances predominate in the channels of the pump structure up to a certain flow rate and that the flow changes from laminar to turbulent flow when this flow rate is exceeded ( FIG. 3). This results in an increase in flow resistance from R l to R t in the affected channel.

Erfindungsgemäß wird dieser Effekt genutzt, indem für die Kanäle 7 und 8 unter­ schiedliche Geometrien gewählt werden (d. h. Kanal 7 besitzt im Verhältnis zum Kanal 8 einen deutlich geringeren Querschnitt und damit eine höhere Strömungsgeschwin­ digkeit, jedoch einen vergleichbaren laminaren Strömungswiderstand Rl) und der Pie­ zoaktor 3 der Pumpkammer 4 mit einer für die Pumprichtung charakteristischen Im­ pulsform beaufschlagt wird. Vereinfacht wird davon ausgegangen, daß die Volu­ menänderung der Pumpkammer 4 linear zur am Piezoaktor 3 angelegten Spannung ist.According to the invention, this effect is used by selecting different geometries for channels 7 and 8 (ie channel 7 has a significantly smaller cross section in relation to channel 8 and thus a higher flow speed, but a comparable laminar flow resistance R 1 ) and the pie zoaktor 3 of the pump chamber 4 is acted upon with a pulse shape characteristic of the pumping direction. Simplified, it is assumed that the change in volume of the pump chamber 4 is linear to the voltage applied to the piezo actuator 3 .

Pumpvorgang in Richtung Kanal 8 (Fig. 4):
Der Piezoaktor 3 wird mit einer Impulsflanke angeregt, die für das Zeitintervall Tsenk einen steilen negativen Anstieg besitzt (Fig. 4). Dadurch wird eine schnelle Volumen­ verringerung ΔV1 = V0-Vmin in der Pumpkammer 3 verursacht, aus der eine hohe Fluidströmungsgeschwindigkeit resultiert. Im Kanal 7 mit dem geringeren Quer­ schnitt führt dieser Fluidstrom hoher Geschwindigkeit zum Übergang zu turbulenter Strömung und demzufolge zu einem erhöhten Strömungswiderstand Rt (Fig. 3). Die Erhöhung dieses Widerstandes betrage x mit x<1, dh. Rt=x*Rl.Pumping in the direction of channel 8 ( Fig. 4):
The piezo actuator 3 is excited with a pulse edge which has a steep negative rise for the time interval T lower ( FIG. 4). This causes a rapid volume reduction ΔV 1 = V 0 -V min in the pump chamber 3 , which results in a high fluid flow rate. In channel 7 with the lower cross-section, this high-speed fluid flow leads to the transition to turbulent flow and consequently to an increased flow resistance R t ( FIG. 3). The increase in this resistance is x with x <1, ie. R t = x * R l .

Im Kanal 8 tritt wegen des größeren Querschnittes eine geringere Strömungsge­ schwindigkeit auf und der Übergang zu turbulenter Strömung und damit zu einem er­ höhten Strömungswiderstand wird nicht erreicht. Das aus der Pumpkammer ver­ drängte Volumen teilt sich im umgekehrten Verhältnis der Strömungswiderstände auf die Kanäle 7 und 8 auf, d. h. der Anteil im Kanal 7 beträgt (Rl)/(Rl+Rt)* ΔV1=1/(1+x)* ΔV1 und der Anteil im Kanal b beträgt (Rt)/(Rl+Rt)* ΔV1=x/(1+x)* ΔV1.In channel 8 , because of the larger cross-section, a lower flow rate occurs and the transition to turbulent flow and thus to an increased flow resistance is not achieved. The volume displaced from the pump chamber is divided in the reverse ratio of the flow resistances to channels 7 and 8 , ie the proportion in channel 7 is (R l ) / (R l + R t ) * ΔV 1 = 1 / (1+ x) * ΔV 1 and the proportion in channel b is (R t ) / (R l + R t ) * ΔV 1 = x / (1 + x) * ΔV 1 .

Die Rückstellung des Piezoaktors 3 von Vmin auf V0 erfolgt mit einer Impulsflanke, die für das Zeitintervall Thub einen flachen positiven Anstieg besitzt. Dadurch wird eine langsame Volumenerhöhung ΔV2= -ΔV1 in der Pumpkammer 3 verursacht, aus der eine niedrige Fluidströmungsgeschwindigkeit resultiert. Sowohl in Kanal 7 als auch in Kanal 8 tritt demzufolge eine geringere Strömungsgeschwindigkeit auf und der Übergang zu turbulenter Strömung und damit zu einem erhöhten Strömungswider­ stand wird in beiden Kanälen nicht erreicht. Das in die Pumpkammer 3 einströmende Volumen teilt sich gleichmäßig auf die Kanäle 7 und 8 auf, d. h. der Anteil im Kanal 7 beträgt (Rl)/(Rl+Rl)*ΔV2 = -1/2*ΔV1 und der Anteil im Kanal 8 beträgt dementsprechend (Rl)/(Rl+ Rl)*ΔV2 = -1/2*ΔV1.The reset of the piezo actuator 3 from V min to V 0 takes place with a pulse edge which has a flat positive rise for the time interval T hub . This causes a slow volume increase ΔV 2 = -ΔV 1 in the pump chamber 3 , which results in a low fluid flow rate. Accordingly, both in channel 7 and in channel 8 a lower flow velocity occurs and the transition to turbulent flow and thus to an increased flow resistance was not achieved in either channel. The volume flowing into the pump chamber 3 is divided evenly between the channels 7 and 8 , ie the proportion in the channel 7 is (R l ) / (R l + R l ) * ΔV 2 = -1 / 2 * ΔV 1 and The proportion in channel 8 is accordingly (R l ) / (R l + R l ) * ΔV 2 = -1 / 2 * ΔV 1 .

Somit ist der Betrag der Fluidströme während der Senk- und Hubbewegung unter­ schiedlich, d. h. über den gesamten Betrachtungszeitraum hinweg resultiert ein Fluidstrom in Richtung Kanal 8.Thus, the amount of fluid flows during the lowering and lifting movement is different, that is, a fluid flow in the direction of channel 8 results over the entire observation period.

Pumpvorgang in Richtung Kanal 7 (Fig. 5):
Der Pumpvorgang in Richtung Kanal 7 stellt sich dar als Umkehrung des Pumpvor­ gangs in Richtung Kanal 8.Pumping in the direction of channel 7 ( Fig. 5):
The pumping process in the direction of channel 7 is a reversal of the pumping process in the direction of channel 8 .

Der Piezoaktor 3 wird mit einer Impulsflanke angeregt, die für das Zeitintervall Tsenk einen flachen negativen Anstieg besitzt (Fig. 5). Dadurch wird eine langsame Volu­ menverringerung ΔV1 = V0-Vmin in der Pumpkammer 3 verursacht, aus der eine nied­ rige Fluidströmungsgeschwindigkeit resultiert. Sowohl in Kanal 7 als auch in Kanal 8 tritt demzufolge eine geringe Strömungsgeschwindigkeit auf und der Übergang zu turbulenter Strömung und damit zu einem erhöhten Strömungswiderstand wird in bei­ den Kanälen nicht erreicht. Das aus der Pumpkammer verdrängte Volumen teilt sich gleichmäßig auf die Kanäle 7 und 8 auf, d. h. der Anteil im Kanal 7 beträgt (Rl)/(Rl+Rl)*ΔV1=1/2*ΔV1 und der Anteil im Kanal 8 beträgt dementsprechend (Rl)/(Rl+Rl)*ΔV1 = 1/2*ΔV1.The piezo actuator 3 is excited with a pulse edge which has a flat negative rise for the time interval T lower ( FIG. 5). This causes a slow volume reduction ΔV 1 = V 0 -V min in the pump chamber 3 , from which a low fluid flow rate results. Accordingly, both in channel 7 and in channel 8 a low flow velocity occurs and the transition to turbulent flow and thus to an increased flow resistance is not achieved in the channels. The volume displaced from the pump chamber is divided evenly between channels 7 and 8 , ie the proportion in channel 7 is (R l ) / (R l + R l ) * ΔV 1 = 1/2 * ΔV 1 and the proportion in Accordingly, channel 8 is (R l ) / (R l + R l ) * ΔV 1 = 1/2 * ΔV 1 .

Die Rückstellung des Piezoaktors 3 von Vmin auf V0 erfolgt mit einer Impulsflanke, die für das Zeitintervall Thub einen steilen positiven Anstieg besitzt (Fig. 5). Dadurch wird eine schnelle Volumenerhöhung ΔV2= -ΔV1 in der Pumpkammer 3 verursacht, aus der eine hohe Fluidströmungsgeschwindigkeit resultiert. Im Kanal 7 mit dem gerin­ geren Querschnitt führt dieser Fluidstrom hoher Geschwindigkeit zum Übergang zu turbulenter Strömung und demzufolge zu einem erhöhten Strömungswiderstand Rt (Fig. 3). Die Erhöhung dieses Widerstandes beträgt x mit x<1, dh. Rt=x*Rl (s. o.).The reset of the piezo actuator 3 from V min to V 0 takes place with a pulse edge which has a steep positive rise for the time interval T stroke ( FIG. 5). This causes a rapid volume increase ΔV 2 = -ΔV 1 in the pump chamber 3 , which results in a high fluid flow rate. In channel 7 with the smaller cross section, this high-speed fluid flow leads to the transition to turbulent flow and consequently to an increased flow resistance R t ( FIG. 3). The increase in this resistance is x with x <1, ie. R t = x * R l (see above).

Im Kanal 8 tritt wegen des größeren Querschnittes eine geringere Strömungsge­ schwindigkeit auf und der Übergang zu turbulenter Strömung und damit zu einem er­ höhten Strömungswiderstand wird nicht erreicht. Das in die Pumpkammer einströ­ mende Volumen teilt sich im umgekehrten Verhältnis der Strömungswiderstände auf die Kanäle 7 und 8 auf, d. h. der Anteil im Kanal 7 beträgt (Rl)/(Rl+Rt)* ΔV2 = -1/(1+x)* ΔV1 und der Anteil im Kanal 8 beträgt (Rt)/(Rl+Rt)* ΔV2 = -x/(1+x)*ΔV1.In channel 8 , because of the larger cross-section, a lower flow rate occurs and the transition to turbulent flow and thus to an increased flow resistance is not achieved. The volume flowing into the pumping chamber is divided in the reverse ratio of the flow resistances to channels 7 and 8 , i.e. the share in channel 7 is (R l ) / (R l + R t ) * ΔV 2 = -1 / (1 + x) * ΔV 1 and the proportion in channel 8 is (R t ) / (R l + R t ) * ΔV 2 = -x / (1 + x) * ΔV 1 .

Somit ist der Betrag der Fluidströme während der Senk- und Hubbewegung unter­ schiedlich, d. h. über den gesamten Betrachtungszeitraum hinweg resultiert ein Fluidstrom in Richtung Kanal 7.Thus, the amount of fluid flows during the lowering and lifting movement is different, that is, a fluid flow in the direction of channel 7 results over the entire observation period.

Die Fördermenge ergibt sich aus der Differenz von Hub- und Senkstrom und kann durch Variation der Ansteueramplitude und der Impulsfolgefrequenz sehr flexibel in beide Pumprichtungen gesteuert werden.The delivery rate results from the difference between the lifting and lowering currents and can very flexible by varying the control amplitude and the pulse repetition frequency both pump directions can be controlled.

Der Wirkungsgrad der beschriebenen Anordnung (d.b. das Verhältnis von Förder­ menge zu Volumenverdrängung) steigt mit dem erreichten Verhältnis von Rt zu Rl, also mit dem Betrag des Wertes x.The efficiency of the arrangement described (db the ratio of delivery rate to volume displacement) increases with the achieved ratio of R t to R l , i.e. with the amount of the value x.

Ein Optimum der Fördermenge bei bekanntem Widerstandsverhältnis x (turbulent/laminar) kann erreicht werden, wenn der laminare Strömungswiderstand der Kanäle 7 und 8 nicht wie oben beschrieben gleich ist, sondern wenn das laminare Widerstandsverhältnis des Kanals 8 (bei dem kein Strömungsumschlag und somit keine Widerstandserhöhung verursacht wird) zum Kanal 7 den Betrag der Wurzel aus der Widerstandsänderung im Kanal 7 annimmt, d. h. R8l=y*R7l mit y=x-½ und 1<x=R7tt/R7l.An optimum delivery rate with a known resistance ratio x (turbulent / laminar) can be achieved if the laminar flow resistance of channels 7 and 8 is not the same as described above, but if the laminar resistance ratio of channel 8 (in which there is no flow change and therefore no increase in resistance) for channel 7 assumes the amount of the root of the change in resistance in channel 7 , ie R 8l = y * R 7l with y = x -½ and 1 <x = R 7t t / R 7l .

(Hierbei sind:
*R8l - der laminare Widerstand des Kanals 8,
*R7l - der laminare Widerstand des Kanals 7,
*R7t - der turbulente Widerstand des Kanals 7).(Here are:
* R 8l - the laminar resistance of channel 8 ,
* R 7l - the laminar resistance of channel 7 ,
* R 7 t - the turbulent resistance of the channel 7 ).

/1/ Prof. Dr. I. Ruge, Dr. P. Woias, S. Kluge: Mikro-Membranpumpe (Informations­ u. Datenblatt); Fraunhofer Institut Festkörpertechnologie/ 1 / Prof. Dr. I. Ruge, Dr. P. Woias, S. Kluge: Micro diaphragm pump (Informations u. Data sheet); Fraunhofer Institute Solid State Technology

Claims (7)

1. Bidirektionale dynamische Mikropumpe für kleine und kleinste Flüssigkeitsmengen mit Pumpkammer und zwei unterschiedlichen Kanälen dadurch gekennzeichnet, daß die Kanäle (7 und 8) unterschiedliche Querschnittsform oder -fläche oder un­ terschiedliche Länge oder eine Kombination daraus aufweisen, nichtlineare unge­ richtete Strömungswiderstände unterschiedlicher Charakteristik darstellen und de­ ren variable Fluidströme zwischen laminarer und turbulenter Strömung mit geeig­ neten an den Aktor (3) angelegten Impulsen mit unsymmetrischer Flankensteilheit richtungsabhängig gesteuert werden.1.Bidirectional dynamic micropump for small and very small amounts of liquid with a pump chamber and two different channels, characterized in that the channels ( 7 and 8 ) have different cross-sectional shape or area or different lengths or a combination thereof, represent non-linear non-directional flow resistances of different characteristics and Their variable fluid flows between laminar and turbulent flow with suitable impulses applied to the actuator ( 3 ) can be controlled in a direction-dependent manner with asymmetrical edge steepness. 2. Bidirektionale dynamische Mikropumpe nach Anspruch 1 dadurch gekennzeich­ net, daß die Struktur durch anisotropes Ätzen in einen Si-Wafer (1) eingebracht, mit einer Abdeckung verschlossen und mit einem Piezoaktor (3) versehen ist.2. Bidirectional dynamic micropump according to claim 1, characterized in that the structure is introduced by anisotropic etching in a Si wafer ( 1 ), closed with a cover and provided with a piezo actuator ( 3 ). 3. Bidirektionale dynamische Mikropumpe nach Anspruch 1 dadurch gekennzeich­ net, daß dieser Impuls während mindestens eines Zeitraumes einer Periode eine Flankensteilheit aufweist, die in diesem Zeitraum in einem der Kanäle eine turbu­ lente Strömung hervorruft.3. Bi-directional dynamic micropump according to claim 1 characterized net that this impulse during at least one period of a period Has steepness that has a turbu in one of the channels during this period lente flow. 4. Bidirektionale dynamische Mikropumpe nach Anspruch 1 bis 3 dadurch gekenn­ zeichnet, daß als einfachste Form des Impulses ein Sägezahn mit einer steilen und einer flachen Flanke geeignet ist.4. Bidirectional dynamic micropump according to claim 1 to 3 characterized thereby records that the simplest form of the pulse is a sawtooth with a steep and a flat flank is suitable. 5. Bidirektionale dynamische Mikropumpe nach Anspruch 1 bis 4 dadurch gekenn­ zeichnet, daß durch Vertauschen der Steilheit der Anstiegs- und Abfallflanke des Impulses eine Richtungsumkehr hervorgerufen wird. 5. Bidirectional dynamic micropump according to claim 1 to 4 characterized thereby records that by swapping the steepness of the rising and falling edges of the Impulse a reversal of direction is caused.   6. Bidirektionale dynamische Mikropumpe nach Anspruch 1 bis 5 dadurch gekenn­ zeichnet, daß der Arbeitsbereich bezüglich Frequenz und Amplitude des Ansteu­ ersignals für beide Pumprichtungen gleich ist.6. Bidirectional dynamic micropump according to claim 1 to 5 characterized thereby records that the working range with respect to frequency and amplitude of the control ersignal is the same for both pump directions. 7. Bidirektionale dynamische Mikropumpe nach Anspruch 1 bis 6 dadurch gekenn­ zeichnet, daß die Steilheit der Anstiegsflanke des Ansteuersignals das den Wir­ kungsgrad festlegende Verhältnis zwischen turbulentem und laminarem Strö­ mungswiderstand bestimmt.7. Bidirectional dynamic micropump according to claim 1 to 6 characterized thereby shows that the steepness of the rising edge of the drive signal that the We efficiency-determining ratio between turbulent and laminar flow resistance determined.
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