DE19639892C1 - Verfahren zur Qualitätssicherung in einer Fertigung - Google Patents

Description

Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Qualitätssicherung in einer Fertigung, in welcher je Fertigungslos mindestens ein Ausgangsprodukt zu einem Endprodukt in mehreren Prozeß­ schritten bearbeitet wird, zu deren Durchführung jeweils min­ destens ein Prozeßmodul eingesetzt wird.

Viele Fertigungsprozesse bestehen aus einer Reihe von Prozeß­ schritten, die zur Erzeugung des Endprodukts sequentiell ab­ gearbeitet werden. Die zu fertigenden Produkte laufen entwe­ der als Einzellos, beispielsweise ein Auto, oder als Gruppen­ los durch den Fertigungsprozeß. Normalerweise befinden sich viele solcher Lose gleichzeitig in der Fertigung. Diese kön­ nen entweder eine strenge Reihenfolge, beispielsweise bei ei­ nem Fließband, oder eine variable Reihenfolge einhalten, wel­ che bei komplizierten Prozessen häufig ist. Bei letztgenann­ ten Fertigungsprozessen werden die Lose an einem Prozeß­ schritt nicht notwendigerweise in der Reihenfolge prozes­ siert, in dem sie den vorhergehenden Prozeßschritt verlassen haben, sondern Lose werden in der am Prozeß anstehenden War­ teschlange vorgezogen oder verzögert. Bei diesen Fertigungs­ prozessen lassen sich Qualitätsabweichungen bei den Endpro­ dukten nicht vermeiden. Die Ursache von Qualitätsverlusten sind meist Defekte in den Prozeßmodulen, welche beispielswei­ se durch Verschleiß oder Verschmutzung der Bearbeitungsein­ heit oder des Prozeßmoduls entstehen.

Um Qualitätsverluste zuverlässig zu vermeiden, müßte daher nach jedem Prozeßschritt die Qualität des Zwischenproduktes überprüft werden. Ein solches Verfahren ist aber in der Regel zu zeit- und kostenaufwendig, oder technisch nicht möglich.

Eine Qualitätsüberprüfung findet üblicherweise nur bei den Endprodukten hinsichtlich bestimmter Qualitätsmerkmale statt. Bei diesem Verfahren zur Qualitätssicherung ist es aber kaum möglich, festgestellte Qualitätsverluste schnell und einfach bestimmten Ursachen im Prozeßablauf zuzuordnen.

Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, ein Verfah­ ren zur Qualitätssicherung zu schaffen, mit dem eine einfache und schnelle Identifikation von Schwachstellen in der Ferti­ gung möglich ist.

Die Aufgabe wird erfindungsgemäß durch ein Verfahren zur Qua­ litätssicherung in einer Fertigung gelöst, in welcher je Fer­ tigungslos mindestens ein Ausgangsprodukt zu einem Endprodukt in mehreren Prozeßschritten bearbeitet wird, zu deren Durch­ führung jeweils mindestens ein Prozeßmodul eingesetzt wird, bei dem für jedes Fertigungslos die Abfolge der Prozeßschrit­ te und die dafür eingesetzten Prozeßmodule als Flußdaten ge­ speichert werden, nach Durchlauf durch die Fertigung Ferti­ gungslose auf das Vorhandensein bestimmter Defekte des End­ produktes hin überprüft werden und das Prüfergebnis als eine Gesamtdefektquote des Fertigungsloses gespeichert wird, und in einer Berechnungseinheit die Defektdichte für jedes Pro­ zeßmodul mittels eines ART-Algorithmus bestimmt wird, bei dem die Flußdaten eines Fertigungsloses einen Projektionsstrahl durch die Fertigung und die Gesamtdefektquote ein integrales Projektionsergebnis repräsentieren.

Die Erfindung beruht zunächst auf der Erkenntnis, daß der an einem Endprodukt auftretende Qualitätsverlust einen kumulati­ ven Wert von Qualitätsverlusten aus den einzelnen Prozeßmodu­ len darstellt. Der Qualitätsverlust in einem einzelnen Pro­ zeßmodul hängt von dessen sogenannter Defektdichte ab. Be­ sitzt ein Prozeßmodul eine große Defektdichte, so tritt ein großer Qualitätsverlust ein. Besitzt ein Prozeßmodul hingegen eine geringe Defektdichte, so tritt ein entsprechend geringe­ rer Qualitätsverlust ein.

Die Detektion von Schwachstellen im Fertigungsprozeß stellt sich damit als die Problematik dar, aus dem kumulierten Qua­ litätsergebnis eines Fertigungsloses, d. h. der nach Durchlauf des Fertigungsprozesses vorliegenden Gesamtdefektquote des Loses, rückzuschließen auf die Qualitätsverluste bzw. die De­ fektdichten in den einzelnen Prozeßmodulen.

Diese Problemstellung ist - in Kenntnis der Erfindung - mit der bei der Computertomographie vergleichbar. Gemäß der Darstellung in Fig. 1 geht es bei der Computertomographie darum, eine unbekannte Struktur F mittels eines Projektions­ strahles S zu durchleuchten, um eine gewisse integrale Infor­ mation, eine sogenannte Projektion P, zu erhalten. Durch eine Vielzahl solcher Projektionen ist es in gewissen Genauig­ keitsgrenzen möglich, die Struktur zu rekonstruieren. Zur rechnerischen Rekonstruktion wird die sogenannte ART(Algebraic Reconstruction Techniques)-Methode eingesetzt. Dieses an sich bekannte Berechnungsverfahren ist beispiels­ weise in dem Artikel "A Tutorial on ART" in IEEE Transactions on Nuclear Science, Vol. NS-21, Juni 1974 beschrieben, wel­ cher in die Offenbarung der vorliegenden Anmeldung mit einbezogen wird.

Dieses bekannte Verfahren ist auf die Fehlerquellen-Ermittlung in einer Fertigung übertragbar. Die Fertigung mit den einzelnen Prozeßmodulen stellt dabei die unbekannte Struktur dar, die durch einzelne Fertigungslose als Projekti­ onsstrahlen durchleuchtet wird, wobei die Gesamtfehlerquote des Loses die sogenannte Projektion darstellt. Ein Ferti­ gungslos wird durch die gespeicherten Flußdaten beschrieben, dies sind insbesondere die Bearbeitungszeitpunkte an den Pro­ zeßmodulen, und, falls zur Durchführung eines Prozeßschrittes mehrere Prozeßmodule in Frage kommen, die Angaben der verwen­ deten Prozeßmodule.

Mit dem erfindungsgemäßen Verfahren ist es folglich möglich, lediglich durch eine Qualitätskontrolle der Endprodukte die Defektdichten der einzelnen Prozeßmodule schnell und einfach zu bestimmen. Prozeßmodule mit einer hohen Fehlerquote können so rechtzeitig erkannt und schwerpunktmäßig verbessert wer­ den. Plötzliche Defektdichtenanstiege, so genannte Bursts, bei einzelnen Prozeßmodulen können frühzeitig ermittelt und die Ursache gezielt festgestellt werden. Ist die Ursache er­ kannt, so können dann Maßnahmen zur Verhütung eines nochmali­ gen Auftretens getroffen werden, beispielsweise durch eine Prozeßoptimierung oder durch eine entsprechende Kontrolle oder Messung. Weiterhin ist es möglich, anhand der ermittel­ ten Daten den Wartungs- oder Reinigungszyklus der einzelnen Prozeßmodule zu optimieren.

Eine vorteilhafte Weiterbildung der Erfindung, bei der zur Durchführung eines Prozeßschrittes mehrere Prozeßmodule vorgesehen werden, besteht darin, daß jeweils nur ein Prozeßmodul für einen Prozeßschritt eines Fertigungsloses eingesetzt wird. Zur Ausführung eines Prozeßschrittes können insbesonde­ re verschiedene alternative Prozeßmodule verwendet werden. Dies bietet die Möglichkeit, durch das erfindungsgemäße Ver­ fahren die jeweils günstigste Prozeßalternative für einen Prozeßschritt zu bestimmen.

Die Qualität der Endprodukte wird noch dadurch verbessert, daß die Berechnungseinheit die Fertigungslose über das Pro­ zeßmodul mit der geringsten Defektdichte leitet. Die Berech­ nungseinheit stellt einen Fertigungs-Leitrechner dar, der beispielsweise über Datenfernübertragung mit allen Prozeßmo­ dulen in Verbindung steht. Anhand der vorliegenden Auftrags­ daten können dann die abzuarbeitenden Fertigungslose so ge­ steuert werden, daß je nach Auslastung der einzelnen Prozeß­ module die für jeden Prozeßschritt günstigsten Prozeßmodule ausgewählt werden.

Um Fehlerquellen in der Fertigung möglichst frühzeitig zu er­ kennen, ist es vorteilhaft, daß zu überprüfende Fertigungslo­ se als Eillose beschleunigt durch die Fertigung geschleust werden. Oftmals ist es technisch möglich, ein bestimmtes Los drei- bis fünfmal schneller zu prozessieren, als ein Normal­ los. Diese Fertigungslose zeigen ein Problem dann sehr schnell nach dem Auftreten an, so daß es schnell beseitigt werden kann. Da sich ein so erkanntes Problem auf die meisten Fertigungslose erst wesentlich später auswirkt, ist es zudem möglich, gewisse Ausbeuteprognosen zu machen und beispiels­ weise auf einen erwarteten Ausbeuteeinbruch mit erhöhter Ein­ schleusung von Fertigungsaufträgen zu reagieren, um Liefer­ verpflichtungen zu erfüllen.

Zur weiteren Beschleunigung der Fehlererkennung ist erfin­ dungsgemäß vorgesehen, daß durch die Berechnungseinheit für zu überprüfende Fertigungslose eine bestimmte Abfolge von Prozeßschritten sowie Prozeßmodulen und/oder eine bestimmte Losgröße vorgegeben werden. Liegen beispielsweise zu einzel­ nen Prozeßmodulen noch nicht genügend Daten für eine sichere Fehlerprognose vor, so leitet die Berechnungseinheit Ferti­ gungslose in einer gewünschten Losgröße gezielt über solche Prozeßmodule.

Für eine besonders zuverlässige Bestimmung der Defektdichten wurde erfindungsgemäß herausgefunden, daß die Anzahl der zu überprüfenden Fertigungslose gleich oder größer als die An­ zahl der zu ermittelnden Defektdichten der Prozeßmodule in der Fertigung gewählt wird. Da sich mit der Zeit die Defekt­ dichte eines Prozeßmoduls ändert, kann diese in zugeordnete Zeitintervalle als sogenannte Zelle unterteilt werden.

Eine bevorzugte Ausführungsform der Erfindung liegt darin, daß der ART-Algorithmus mit folgenden Iterationsschritten durchgeführt wird:

• a) Zuordnung eines Defektdichten-Mittelwertes zu jedem Pro­ zeß-Modul oder jeder Zelle,
• b) Auswahl eines Fertigungsloses mit einer ermittelten Ge­ samtdefektquote (Soll),
• c) Berechnung der Gesamtdefektquote des Fertigungsloses bei dem Stand der Iteration (Ist),
• d) Berechnung des Verhältnisses von Soll zu Ist als Korrek­ turfaktor,
• e) Multiplikation der Defektdichtenwerte der Prozeßmodule, die das Fertigungslos durchlaufen hat, mit dem Korrektur­ faktor, und
• f) weiter mit Schritt b)

Mit diesem Verfahren wird eine Verbesserung der Übereinstim­ mung von Soll- und Ist-Wert erreicht. Da jedoch nach jedem ausgewählten Fertigungslos eine Neuberechnung der Defektdich­ tenwerte erfolgt, wird keine Konvergenz erreicht. Zu diesem Zweck ist es vorteilhaft, daß der Faktor (Soll/Ist) mit einem Wert K potentiert wird, der zunächst den Wert 1 beträgt und mit weiteren Iterationen allmählich auf Null verringert wird.

Ein besonders gutes Einfrieren des Systems und eine möglichst gleichmäßige Verteilung des sogenannten Noise wird erfin­ dungsgemäß dadurch erreicht, daß der Wert K = e^{(-Anzahl Iterationsschritte/C)} ist, wobei C eine Abkühlrate definiert. Die Abkühl­ rate C ist eine Konstante, die so gewählt werden sollte, daß das System nicht zu schnell einfriert. Ansonsten würde ein nicht ausreichend relaxiertes Zwischenergebnis eingefroren werden.

Eine vorteilhafte Ausführungsform des erfindungsgemäßen Ver­ fahrens besteht darin, daß dieses bei der Fertigung von elek­ tronischen Bauteilen, insbesondere bei einer Chipfertigung, eingesetzt wird. Insbesondere bei der Fertigung von elektro­ nischen Bauteilen können die Endprodukte in einfacher Weise auf Prüfstationen auf bestimmte Qualitätsmerkmale hin unter­ sucht werden. In der Mikroelektronik beispielsweise ist ein wichtiges Qualitätsmerkmal eines Fertigungsloses die Ausbeu­ te. Die Ausbeute kann so durch Prüfstationen relativ schnell ermittelt und an die Berechnungseinheit weitergeleitet wer­ den.

Die Erfindung wird anhand von Zeichnungen noch weiter erläu­ tert. In den Zeichnungen zeigen

Fig. 1 eine schematische Darstellung zur Computer­ tomographie;

Fig. 2 eine schematische Darstellung des zeitli­ chen Verlaufs von Defektdichten in einer Fertigung mit zehn Prozeßmodulen, (Simu­ lation);

Fig. 3 eine schematische Darstellung der nach der Erfindung ermittelten Defektdichten zu der Fertigung gemäß Fig. 2, (Rekonstruktion);

Fig. 4 bis 6 verschiedene Graphen, die die Lage der er­ mittelten Defektdichten zu den tatsächli­ chen Werten demonstrieren.

Fig. 2 zeigt den zeitlichen Verlauf von Defektdichten einer Fertigung mit zehn Prozeßmodulen. Jedem der Prozeßmodule 1 bis 10 ist eine Spalte zugeordnet. In den insgesamt dreißig Zeilen ist die jeweilige Größe der Defektdichte durch die Fläche eines schwarzen Quadrats oder Pixels repräsentiert.

Jede Zeile stellt ein Zeitintervall dar, wobei die Zeitachse von oben nach unten verläuft.

Es ist zu erkennen, daß die Defektdichte eines Prozeßmoduls gewissen zeitlichen Schwankungen unterworfen ist. Für einen kurzen Zeitraum kann jedoch die Defektdichte mehr oder weni­ ger als konstant angenommen werden. Beispielsweise ist aus der mikroelektronischen Fertigung bekannt, daß die Defekt­ dichte mit der Standzeit von Bädern, den Plasmastunden einer Ätzkammer der Standzeit eines Sputtertargets allmählich an­ steigt. Nach einer Reinigung oder Wartung wird dann wieder für eine Weile ein niedriges Niveau erreicht.

Darüber hinaus ist aus der mikroelektronischen Fertigung be­ kannt, daß die Defektdichten betrachtet über einen mittleren Zeitraum, d. h. ohne langfristiges Driften und Prozeßverbesse­ rungen, aber inklusive der gerade genannten Variationen, ei­ ner Log-Normalverteilung folgen. Es kann angenommen werden, daß diese Verteilung auch für andere Fertigungen zutrifft. Die Log-Normalverteilung modelliert nämlich im wesentlichen die Alltagserfahrung, daß ein Prozeß im zeitlichen Verlauf meist "ziemlich gut" (Maximum der Verteilungskurve), manchmal aber "sehr schlecht" (langer Schwanz der Verteilung) ist.

Basierend auf den Erkenntnissen aus der Produktion mikroelek­ tronischer Bauteile wurde eine Fertigung mit zehn Prozeßmodu­ len und deren Defektdichten in dreißig Zeitintervallen simu­ liert. Die Defektdichte eines Prozeßmoduls in einem Zeitin­ tervall bildet eine sogenannte Zelle oder Pixel. Die Simula­ tion ist so entworfen, daß die Daten aus Log-Normalverteilungen stammen. Bei der Simulation sind auch aus der Praxis bekannte Sondereffekte berücksichtigt, beispiels­ weise die Einführung neuer Designvarianten und damit verbun­ dene Qualitätsverbesserung, Ausbeuteverringerung durch Durch­ führung verschärfter Prüfprogramme und die sprunghafte Reduk­ tion von Defektdichten einzelner Prozeßmodule aufgrund von Reinigung oder Wartung.

Durch diese realitätsnahe simulierte Fertigung wurden insge­ samt 600 Fertigungslose durchgeschleust. Die Fertigungslose haben dabei die Fertigung praxisnah mit unterschiedlichen Laufzeiten und unterschiedlichen Wegen durchlaufen. Die Ge­ samtdefektquote eines Loses berechnet sich zunächst als Summe der Defektdichten aller Zellen, die das Los während der Fer­ tigung durchschritten hat. Da alle Defektdichten in der Pra­ xis zusätzlich zufälligen Schwankungen unterworfen sind, wur­ de auf das Ergebnis jedes Loses ein zufälliger Defektdichte­ term addiert. Dieser "Noise" wurde mit einer Normalverteilung angenommen.

Mit diesen praxisnah ermittelten Gesamtdefektquoten der ein­ zelnen Fertigungslose wurde dann mit dem erfindungsgemäßen Verfahren die Defektdichte der einzelnen Prozeßmodule rekon­ struiert. Das Ergebnis dieser Rekonstruktion ist in Fig. 3 dargestellt. Jede durch Spalten- und Zeilenzahl definierte Zelle in Fig. 3 entspricht der jeweiligen Zelle von Fig. 2.

Bei einer idealen Rekonstruktion der tatsächlichen Fertigung müßte also das Muster von Fig. 3 dem Muster von Fig. 2 ent­ sprechen, außer in den markierten dreieckigen Gebieten, da durch diese keine oder wenige bewertete Lose durchgelaufen sind.

Ein Vergleich der Fig. 2 und 3 läßt eine akzeptable Überein­ stimmung der tatsächlichen Defektdichten der Prozeßmodule zu bestimmten Zeitpunkten mit den aus der Gesamtdefektquote der einzelnen Fertigungslose rekonstruierten Defektdichten erken­ nen. Insbesondere ist es mit dem erfindungsgemäßen Verfahren möglich, sogenannte "Bursts", d. h. sprunghafte Verschlechte­ rungen in den Prozeßmodulen zu ermitteln.

Fig. 4 zeigt ein Scatterplot der rekonstruierten (y) gegen die tatsächlichen durch Simulation vorgegebenen Losdefekt­ dichten (x) inklusive Noise. 10% der Lose wurde nicht mit in den Fit einbezogen, sondern dienen als Konvergenzindikator (Testlose). Obwohl sie nicht in die Rechnung eingehen, be­ steht auch bei diesen Losen eine gute Übereinstimmung. Dies ist ein Zeichen, daß wesentliche Merkmale der simulierten Da­ ten rekonstruiert werden konnten.

Fig. 5 zeigt einen Scatterplot der rekonstruierten (y) gegen die tatsächlichen Werte (x) jeder Zelle.

Grundsätzlich ist es wichtig, daß die zeitlichen Mittelwerte der Prozeßmodule rekonstruiert werden können. Dies ist ein für die Praxis ausschlaggebendes Kriterium. Nach diesen Mit­ telwerten wird man nämlich Prioritäten zur Verbesserung und Stabilisierung einzelner Prozeßmodule setzen. Andererseits ist gerade die Rekonstruktion der Mittelwerte mathematisch nicht eindeutig. Im Gegensatz zur Computertomographie, wo im wesentlichen aus allen Richtungen durchleuchtet werden kann, sind die Richtungen der Projektionen in diesem Fall relativ parallel und es gibt insbesondere keine Durchleuchtung paral­ lel zur Zeitachse. Dies würde natürlich direkt die Summen­ bzw. Mittelwerte der einzelnen Module ergeben. Addiert man in einem Gedankenexperiment z. B. bei dem Prozeßmodul Nr. 1 zu allen Zellen eine feste Zahl, so wird dies sich auf die Lo­ sergebnisse nur durch eine Addition dieser Zahl zu allen Lo­ sen abbilden. So ist es streng genommen nicht rekonstruier­ bar, bei welchem Modul die fragliche Zahl addiert wurde.

Allerdings erkennt man aus dem Graph von Fig. 6, in dem die tatsächlichen (x) zu den rekonstruierten Spaltenmittelwerten (y) eingetragen sind, daß auch die Mittelwerte ausreichend rekonstruiert wurden. Lediglich ein gewisser Kontrastverlust ist erkennbar. Hierbei werden hohe Werte etwas zu klein, niedrige zu hoch rekonstruiert. Dieses überraschend positive Ergebnis ist auf die angenommene Verteilung der Daten und die dazu passende Wahl eines Rechenverfahrens zur Rekonstruktion zurückzuführen. Ein passendes Rechenverfahren muß insbesonde­ re sicherstellen, daß keine negativen Werte rekonstruiert werden. Dies könnte rein mathematisch je nach Rechenverfahren ohne weiteres vorkommen. Durch die gewählte multiplikative Berechnung der Zellinhalte im Verlauf der Rekonstruktion kön­ nen in diesem Fall keine negativen Werte auftreten.

Bei der vorgenannten Berechnung wurden die Defektdichten im Zeitintervall als konstant angenommen. Gegebenenfalls kann man die Defektdichte aber auch mittels eines Polygonzugs oder einer sonstigen geeigneten Funktion, wie etwa einem Fourier­ polynom, annähern und durch geeignete Rechenverfahren die De­ fektdichten an den Stützstellen des Polygons oder die unbe­ kannten Parameter der sonstigen Funktion anpassen.

Mit dem beschriebenen Verfahren zur Qualitätssicherung ist es daher möglich, allein anhand von Ergebnissen einer Endkon­ trolle in einfacher Weise die Prozeßmodule oder Maschinen zu bestimmen, welche für festgestellte Qualitätsmängel maßgeb­ lich verantwortlich sind.

Claims (10)

1. Verfahren zur Qualitätssicherung in einer Fertigung, in welcher je Fertigungslos mindestens ein Ausgangsprodukt zu einem Endprodukt in mehreren Prozeßschritten bearbeitet wird, zu deren Durchführung jeweils mindestens ein Prozeßmodul ein­ gesetzt wird, bei dem

• a) für jedes Fertigungslos die Abfolge der Prozeßschritte und die dafür eingesetzten Prozeßmodule als Flußdaten gespei­ chert werden,
• b) nach Durchlauf durch die Fertigung Fertigungslose auf das Vorhandensein bestimmter Defekte des Endproduktes hin überprüft werden und das Prüfergebnis als eine Gesamtde­ fektquote des Fertigungsloses gespeichert wird, und
• c) in einer Berechnungseinheit die Defektdichte für jedes Prozeßmodul mittels eines ART-Algorithmus bestimmt wird, bei dem die Flußdaten eines Fertigungsloses einen Projek­ tionsstrahl durch die Fertigung und die Gesamtdefektquote ein integrales Projektionsergebnis repräsentieren.

2. Verfahren nach Anspruch 1, bei dem zur Durchführung eines Prozeßschrittes mehrere Prozeßmo­ dule vorgesehen werden, von denen jeweils nur ein Prozeßmodul für einen Prozeßschritt eines Fertigungsloses eingesetzt wird.

3. Verfahren nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Berechnungseinheit die Fertigungslose über das Pro­ zeßmodul mit der geringsten Defektdichte leitet.

4. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß zu überprüfende Fertigungslose als Eillose beschleunigt durch die Fertigung geschleust werden.

5. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, daß durch die Berechnungseinheit für zu überprüfende Ferti­ gungslose eine bestimmte Abfolge von Prozeßschritten sowie Prozeßmodulen und/oder eine bestimmte Losgröße vorgegeben werden.

6. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, daß die Anzahl der zu überprüfenden Fertigungslose gleich oder größer als die Anzahl der zu ermittelnden Defektdichten der Prozeßmodule in der Fertigung gewählt wird.

7. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 6, dadurch gekennzeichnet, daß der ART-Algorithmus mit folgenden Iterationsschritten durchgeführt wird:

• a) Zuordnung eines Defektdichten-Mittelwertes zu jedem Pro­ zeßmodul oder jeder Zelle,
• b) Auswahl eines Fertigungsloses mit einer ermittelten Ge­ samtdefektquote (Soll),
• c) Berechnung der Gesamtdefektquote des Fertigungsloses bei diesem Stand der Iteration (Ist),
• d) Berechnung des Verhältnisses von Soll zu Ist als Korrek­ turfaktor,
• e) Multiplikation der Defektdichtenwerte der Prozeßmodule oder Zellen, die das Fertigungslos durchlaufen hat, mit dem Korrekturfaktor, und
• f) weiter mit Schritt b).

8. Verfahren nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, daß der Korrekturfaktor mit einem Wert (K) potenziert wird, der zunächst den Wert 1 besitzt und mit weiteren Iterationen allmählich auf Null verringert wird.

9. Verfahren nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, daß der Wert K gleich e^{(-Anzahl Iterationen/C)} ist, wobei C eine Ab­ kühlrate definiert.

10. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 9, dadurch gekennzeichnet, daß dieses bei der Fertigung von elektronischen Bauteilen, insbesondere bei einer Chipfertigung eingesetzt wird.